CN101504914B - 一种改良的硅片切割液的冷却装置 - Google Patents

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Abstract

本发明涉及一种改良的硅片切割液的冷却装置，其交换效果均匀，没有死角，清洗方便，保证了切割质量。其包括壳体，壳体内部分隔为切割液出液腔和进液腔以及换热腔，换热腔上端、下端分别开有冷却液进液口和出液口，其特征在于：切割液出液腔和进液腔分别设置在壳体的上端、下端，位于中间部位的换热腔其内部设置有冷却管道，冷却管道将所述切割液出液腔和进液腔连通。

Description

一种改良的硅片切割液的冷却装置
(一)技术领域
本发明涉及硅片切割技术领域，具体为一种改良的硅片切割液的冷却装置。
(二)背景技术
在半导体行业和太阳能行业，硅棒加工成硅片多使用多线切割机，多线切割机的切割线使用表面镀铜的不锈钢丝，在切割过程中切割液由喷嘴沿着钢丝流动，由钢丝把切割液带入切割区域，钢丝表面的游离磨料在钢丝的压力和速度的带动下进行硅片的切割。切削后的切割液流入砂浆桶再循环使用。切割过程中产生大量热量，切削后的切割液温度升高，硅片切割过程中对切削液的温度有严格要求，因此切割液必须冷却后再循环使用。由于切割液的粘度大，在切削过程中硅粉，钢丝的磨屑都会流入切割液，以前冷却器采用板式换热器，容易存在死角，不易清理，时间长容易形成大的颗粒，硅片切割要求磨料的大小在一定范围内，如有大颗粒，硅片表面形成线痕等质量缺陷。
(三)发明内容
针对上述问题，本发明提供了一种改良的硅片切割液的冷却装置，其交换效果均匀，没有死角，清洗方便，保证了切割质量。
其技术方案是这样的：其包括壳体，所述壳体内部分隔为切割液出液腔和进液腔以及换热腔，所述换热腔上端、下端分别开有冷却液进液口和出液口，其特征在于：所述切割液出液腔和进液腔分别设置在壳体的上端、下端，位于中间部位的换热腔其内部设置有冷却管道，所述冷却管道将所述切割液出液腔和进液腔连通。
其进一步特征在于：所述切割液进液腔和出液腔分别包括固定法兰和封头；所述固定法兰安装于所述壳体两端；所述固定法兰与所述封头之间通过连接法兰连接；所述连接法兰与所述固定法兰之间设置有垫片；出液腔的出液口和进液腔的进液口分别设置于对应端的所述封头；所述固定法兰上开有通孔，所述管道分别插装于两端所述固定法兰的所述通孔。
本装置采用管式热交换，交换效果均匀，没有死角，清洗方便，保证了切割质量。
(四)附图说明
图1为本发明的结构示意图；
图2为图1的A-A向剖视图。
(五)具体实施方式
见图1、图2，本发明包括壳体4，壳体4内部分隔为切割液出液腔和进液腔以及换热腔，换热腔上端、下端分别开有冷却水进水口12和出水口6，切割液出液腔和进液腔分别设置在壳体4的上端、下端，位于中间部位的换热腔其内部设置有冷却管道5，冷却管道5将切割液出液腔和进液腔连通。切割液出液腔和进液腔均包括固定法兰13、7和封头10、2，固定法兰13、7分别安装于壳体5的上下两端；固定法兰13、7与封头10、2之间分别通过连接法兰1、9连接；连接法兰1、9与固定法兰13、7之间分别设置有垫片14、8；封头10、2上分别开有进液口11和出液口3；固定法兰13、7上开有通孔；管道5插在通孔中；管道5设置有若干根。
下面描述一下本发明的具体工作过程：工作时，切割液从壳体4下端的进液口11进入切割液进液腔，然后通过管道5进入切割液出液腔，并从壳体4上端的切割液出液口3流出，切割液中的杂质颗粒沉淀在进液腔内，不会与切割液一起再循环切割硅片，保证硅片的切割质量；冷却液从进液口12进入壳体4与管道5外壁构成的水腔内，再从出液口6流出，这样冷却液与切割液通过管道5的内外壁完成热交换。

Claims (7)

1.一种改良的硅片切割液的冷却装置，其包括壳体，所述壳体内部分隔为切割液出液腔和进液腔以及换热腔，所述换热腔上端、下端分别开有冷却液进液口和出液口，其特征在于：所述切割液出液腔和进液腔分别设置在壳体的上端、下端，位于中间部位的换热腔其内部设置有冷却管道，所述冷却管道将所述切割液出液腔和进液腔连通。
2.根据权利要求1所述的一种改良的硅片切割液的冷却装置，其特征在于：所述切割液进液腔和出液腔分别包括固定法兰和封头。
3.根据权利要求2所述的一种改良的硅片切割液的冷却装置，其特征在于：所述固定法兰安装于所述壳体两端。
4.根据权利要求3所述的一种改良的硅片切割液的冷却装置，其特征在于：所述固定法兰与所述封头之间通过连接法兰连接。
5.根据权利要求4所述的一种改良的硅片切割液的冷却装置，其特征在于：所述连接法兰与所述固定法兰之间设置有垫片。
6.根据权利要求5所述的一种改良的硅片切割液的冷却装置，其特征在于：出液腔的出液口和进液腔的进液口分别设置于对应端的所述封头。
7.根据权利要求6所述的一种改良的硅片切割液的冷却装置，其特征在于：所述固定法兰上开有通孔，所述管道分别插装于两端所述固定法兰的所述通孔。
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