CN101441625B - 利用探针卡测试仪实现的探针卡使用量的计数方法 - Google Patents

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Abstract

本发明公开了一种利用探针卡测试仪实现的探针卡使用量的计数方法，所述测试仪取得所述测试条件信息以及所使用的探针卡型号的信息，在所述测试条件数据库中查询到所述探针卡单次使用量的信息，然后通过所述探针卡型号的信息关联到所述探针卡用量数据库，得到累计使用量信息，并进行存储，所述探针卡用量数据库中相对应的累计使用量信息大于或等于探针卡使用寿命信息时，所述探针卡测试仪发出更换探针卡的提示。本发明按照实际使用条件客观地统计了探针卡的使用次数，起到了有效监控探针卡使用状态的作用，配合探针卡的定期维护和使用寿命管理，提高了自动化生产中探针卡的管理水平。

Description

利用探针卡测试仪实现的探针卡使用量的计数方法
技术领域
本发明涉及一种利用探针卡测试仪实现的探针卡使用量的计数方法。
背景技术
在集成电路元器件测试过程中，经常要用到探针对晶圆进行测试。现在使用的探针都是包装在探针卡上的，探针卡用完之后需要及时更换，从而使测试工作能够顺利进行。现行的探针卡用量的计数***如图1所示，该***是在探针卡测试仪外部建立探针卡用量计数数据库，该数据库直接与探针台通信、接受数据，该数据库中的内容如表1所示，其预先设定产品类别及其所使用的探针卡型号和每次的用量等字段，通过从探针台测试后得到的晶圆枚数与每次用量的乘积来实现对该探针卡实际用量的计数。
  产品类别   探针卡型号   探针卡用量/每枚晶圆
  AAA   A   50次
  BBB   B   100次
  CCC   C   80次
  DDD   D   30次
  ……   ……   ……
表1
但是，该计数方法的准确性完全建立在产品必须使用相同的测试条件(即相同的探针卡用量)的基础上，若产品不断变更测试条件，不同条件下探针卡的实际用量会因数据库中探针卡用量字段设定的固定数值无法得到准确的计算。即便在该数据库中增加与产品类别关联的测试条件字段来计算探针卡用量，也会因不同情况下测试条件的不断变换而需经常维护数据库(修改探针卡用量的设定值)使整个计数过程无法适合实际生产需要。
例如，在表1中，产品AAA事先设定了探针卡用量的次数50次，但若产品AAA需经常使用2个作业条件，其探针卡用量分别对应为50次和100次，按照数据库中探针卡用量的设定值，探针卡实际用量只能按照50次进行计数。这就导致探针卡用量的计数不准确，而探针卡是有一定的使用寿命的，如果探针卡的使用超过了使用寿命，就会影响测试效果；如果探针卡的使用尚未达到使用寿命就进行了更换，又会造成浪费。
发明内容
本发明所要解决的技术问题是提供一种利用探针卡测试仪实现的探针卡使用量的计数方法，能够按照当前测试条件的信息实时、正确的计算探针卡的用量。
为解决上述技术问题，本发明利用探针卡测试仪实现的探针卡使用量的计数方法的技术方案是，包括探针卡用量数据库和测试条件数据库，所述探针卡用量数据库中包含有探针卡型号信息、与所述探针卡型号相对应的累计使用量信息，以及与所述探针卡型号相对应的探针卡使用寿命的信息；所述测试条件数据库中包含有探针卡型号信息、与所述探针卡型号信息相对应的各种测试条件的信息，以及与所述各种测试条件信息相对应的在该测试条件下探针卡单次使用量的信息；所述探针卡用量数据库与所述测试条件数据库通过探针卡型号信息相互关联；其特征在于，所述测试仪取得所述测试条件信息以及所使用的探针卡型号的信息，根据所述测试条件信息和所使用的探针卡型号的信息在所述测试条件数据库中查询到所述探针卡单次使用量的信息，然后通过所述探针卡型号的信息关联到所述探针卡用量数据库，所述探针卡单次使用量乘以测试的晶圆数量就得到探针卡的实际使用量，对所述探针卡的实际使用量进行累计，得到累计使用量信息，将所述累计使用量信息根据探针卡型号信息对应的存储到所述探针卡用量数据库中，所述探针卡用量数据库中相对应的累计使用量信息大于或等于探针卡使用寿命信息时，所述探针卡测试仪发出更换探针卡的提示。
本发明按照实际使用条件客观地统计了探针卡的使用次数，起到了有效监控探针卡使用状态的作用，配合探针卡的定期维护和使用寿命管理，提高了自动化生产中探针卡的管理水平。
附图说明
下面结合附图和实施例对本发明作进一步详细的说明：
图1为现有的探针卡测试***的示意图；
图2为采用本发明所采用的探针卡测试仪的测试***的示意图。
具体实施方式
本发明所使用的晶圆特性测试中探针卡测试仪，包括探针卡用量数据库和测试条件数据库，所述探针卡用量数据库中包含有探针卡型号信息，以及与所述探针卡型号相对应的累计使用量信息；所述测试条件数据库中包含有探针卡型号信息，以及与所述探针卡型号信息相对应的各种测试条件的信息，以及与所述各种测试条件信息相对应的在该测试条件下探针卡单次使用量的信息；所述探针卡用量数据库与所述测试条件数据库通过探针卡型号信息相互关联。
所述探针卡用量数据库中还包含有与所述探针卡型号相对应的探针卡使用寿命的信息。
所述测试条件数据库还包括产品类别的信息，所述产品类别的信息与所述探针卡型号信息、测试条件信息以及探针卡单次使用量信息相互对应。
所述探针卡用量数据库内数据结构可参见表2所示：
  探针卡型号   累计使用量   PM回数   使用寿命   备注
  A卡   500   ％％％   2000   ％％％
  探针卡型号   累计使用量   PM回数   使用寿命   备注
  B卡   ％％％   ％％％   ％％％   ％％％
  C卡   ％％％   ％％％   ％％％   ％％％
  D卡   ％％％   ％％％   ％％％   ％％％
  ……   ……   ……   ……   ……
表2
所述测试条件数据库内数据结构可参见表3所示：
  产品类别   探针卡型号   测试条件   单次使用量
  AAA   A卡   条件1   ％％％
  AAA   A卡   条件2   50
  BBB   B卡   条件3   ％％％
  BBB   C卡   条件4   ％％％
…… …… …… ……
本发明晶圆特性测试中探针卡测试仪在使用时如图2所示，所述探针卡测试仪连接到探针台上，及时获取诸如晶圆数量、测试条件等的各种需要的数据信息。
本发明提供了一种利用上述晶圆特性测试中探针卡测试仪实现的晶圆特性测试中探针卡使用量的计数方法，所述测试仪取得所述测试条件信息以及所使用的探针卡型号的信息，根据所述测试条件信息和所使用的探针卡型号的信息在所述测试条件数据库中查询到所述探针卡单次使用量的信息，然后通过所述探针卡型号的信息关联到所述探针卡用量数据库，所述探针卡单次使用量乘以测试的晶圆数量就得到探针卡的实际使用量，对所述探针卡的实际使用量进行累计，得到累计使用量信息，将所述累计使用量信息根据探针卡型号信息对应的存储到所述探针卡用量数据库中。
所述探针卡用量数据库中相对应的累计使用量信息大于或等于使用寿命信息时，所述探针卡测试仪发出更换探针卡的提示。
所述测试仪取得所述测试条件信息以及所使用的探针卡型号的信息，并且还取得所述产品类别的信息，根据所述测试条件信息和所使用的探针卡型号的信息，以及产品类别的信息，在所述测试条件数据库中查询到所述探针卡单次使用量的信息。
结合图2、表2和表3的内容，现举一例说明本发明晶圆特性测试中探针卡使用量的计数方法的具体实施过程。所述探针卡测试仪获取信息，得知探针卡型号为A卡，产品类别为AAA，测试条件为条件2，晶圆数量为7，所述探针卡测试仪在所述测试条件数据库中查询，得到单次使用量为50，经过计算得到本次测试的实际使用量为单次使用量50×晶圆数量7＝实际使用量350，在此之前，所述探针卡用量数据库中的A卡的累计使用量为500，因此探针卡测试仪就将探针卡用量数据库中的A卡的累计使用量更新为500+350＝850。当累计使用量大于或等于使用寿命时，所述探针卡测试仪发出更换探针卡的提示。
综上所述，本发明按照实际使用条件客观地统计了探针卡的使用次数，起到了有效监控探针卡使用状态的作用，配合探针卡的定期维护和使用寿命管理，提高了自动化生产中探针卡的管理水平。

Claims (2)

1.一种利用探针卡测试仪实现的探针卡使用量的计数方法，包括探针卡用量数据库和测试条件数据库，所述探针卡用量数据库中包含有探针卡型号信息、与所述探针卡型号相对应的累计使用量信息，以及与所述探针卡型号相对应的探针卡使用寿命的信息；所述测试条件数据库中包含有探针卡型号信息、与所述探针卡型号信息相对应的各种测试条件的信息，以及与所述各种测试条件信息相对应的在该测试条件下探针卡单次使用量的信息；所述探针卡用量数据库与所述测试条件数据库通过探针卡型号信息相互关联；其特征在于，所述测试仪取得所述测试条件信息以及所使用的探针卡型号的信息，根据所述测试条件信息和所使用的探针卡型号的信息在所述测试条件数据库中查询到所述探针卡单次使用量的信息，然后通过所述探针卡型号的信息关联到所述探针卡用量数据库，所述探针卡单次使用量乘以测试的晶圆数量就得到探针卡的实际使用量，对所述探针卡的实际使用量进行累计，得到累计使用量信息，将所述累计使用量信息根据探针卡型号信息对应的存储到所述探针卡用量数据库中，所述探针卡用量数据库中相对应的累计使用量信息大于或等于探针卡使用寿命信息时，所述探针卡测试仪发出更换探针卡的提示。
2.根据权利要求1所述的利用探针卡测试仪实现的探针卡使用量的计数方法，其特征在于，所述测试条件数据库还包括产品类别的信息，所述产品类别的信息与所述探针卡型号信息、测试条件信息以及探针卡单次使用量信息相互对应，所述测试仪取得所述测试条件信息以及所使用的探针卡型号的信息，并且还取得所述产品类别的信息，根据所述测试条件信息和所使用的探针卡型号的信息，以及产品类别的信息，在所述测试条件数据库中查询到所述探针卡单次使用量的信息。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN103217558B (zh) * 2013-03-14 2015-08-19 上海华力微电子有限公司 一种探针卡维护方法
CN103336256B (zh) * 2013-06-26 2016-03-30 上海华力微电子有限公司 Wat探针卡智能处理***及方法
CN103400238A (zh) * 2013-08-14 2013-11-20 上海华力微电子有限公司 一种晶圆测试探针卡管理***及其使用方法
CN103809099B (zh) * 2014-03-05 2016-09-28 上海华虹宏力半导体制造有限公司 晶圆探针测试次数的检测方法
CN104237695B (zh) * 2014-09-24 2017-01-25 苏州博众精工科技有限公司 一种探针寿命测试机构
CN104636863A (zh) * 2015-01-07 2015-05-20 青岛海信移动通信技术股份有限公司 一种工装状态的测试方法和设备
CN109540051A (zh) * 2018-11-21 2019-03-29 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所南昌研究院 一种晶圆测试探针卡磨损度的监控方法
JP7175171B2 (ja) * 2018-12-12 2022-11-18 東京エレクトロン株式会社 プローブカード管理システムおよびプローブカード管理方法
CN112069170B (zh) * 2020-07-31 2024-04-09 嘉兴威伏半导体有限公司 探针卡云管理***

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN2311004Y (zh) * 1997-02-18 1999-03-17 明碁电脑股份有限公司 电路板测试承接装置
US6400173B1 (en) * 1999-11-19 2002-06-04 Hitachi, Ltd. Test system and manufacturing of semiconductor device
CN1657949A (zh) * 2004-02-17 2005-08-24 财团法人工业技术研究院 集成化探针卡及组装方式
CN1770415A (zh) * 2004-11-03 2006-05-10 周万全 薄膜式晶圆测试装置暨其探针感测传输结构
CN1979197A (zh) * 2005-12-08 2007-06-13 上海华虹Nec电子有限公司 增加芯片同测数目的方法

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN2311004Y (zh) * 1997-02-18 1999-03-17 明碁电脑股份有限公司 电路板测试承接装置
US6400173B1 (en) * 1999-11-19 2002-06-04 Hitachi, Ltd. Test system and manufacturing of semiconductor device
CN1657949A (zh) * 2004-02-17 2005-08-24 财团法人工业技术研究院 集成化探针卡及组装方式
CN1770415A (zh) * 2004-11-03 2006-05-10 周万全 薄膜式晶圆测试装置暨其探针感测传输结构
CN1979197A (zh) * 2005-12-08 2007-06-13 上海华虹Nec电子有限公司 增加芯片同测数目的方法

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