CN101441625B - 利用探针卡测试仪实现的探针卡使用量的计数方法 - Google Patents
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Abstract
Description
产品类别 | 探针卡型号 | 探针卡用量/每枚晶圆 |
AAA | A | 50次 |
BBB | B | 100次 |
CCC | C | 80次 |
DDD | D | 30次 |
…… | …… | …… |
探针卡型号 | 累计使用量 | PM回数 | 使用寿命 | 备注 |
A卡 | 500 | %%% | 2000 | %%% |
探针卡型号 | 累计使用量 | PM回数 | 使用寿命 | 备注 |
B卡 | %%% | %%% | %%% | %%% |
C卡 | %%% | %%% | %%% | %%% |
D卡 | %%% | %%% | %%% | %%% |
…… | …… | …… | …… | …… |
产品类别 | 探针卡型号 | 测试条件 | 单次使用量 |
AAA | A卡 | 条件1 | %%% |
AAA | A卡 | 条件2 | 50 |
BBB | B卡 | 条件3 | %%% |
BBB | C卡 | 条件4 | %%% |
…… | …… | …… | …… |
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