CN101430394A

CN101430394A - 衍射光学元件及其制造方法

Info

Publication number: CN101430394A
Application number: CNA2007102023794A
Authority: CN
Inventors: 张仁淙
Original assignee: Hongfujin Precision Industry Shenzhen Co Ltd; Hon Hai Precision Industry Co Ltd
Current assignee: Hongfujin Precision Industry Shenzhen Co Ltd; Hon Hai Precision Industry Co Ltd
Priority date: 2007-11-05
Filing date: 2007-11-05
Publication date: 2009-05-13
Anticipated expiration: 2027-11-05
Also published as: US8804244B2; CN101430394B; US20120266448A1; US8254028B2; US20090116110A1

Abstract

本发明提供一种衍射光学元件及其制造方法。所述衍射光学元件包括一个基片，所述基片一面具有第一光栅结构，所述第一光栅结构具有第一周期的第一刻槽，所述基片的另一面具有第二光栅结构，所述第二光栅结构具有第二周期的第二刻槽。衍射光学元件的第一刻槽和第二刻槽采用快速刀具伺服***加工而成，刀具在光栅结构函数表达式的控制下完成第一光栅结构和第二光栅结构。

Description

衍射光学元件及其制造方法

技术领域

本发明涉及一种光学元件及其制造方法，尤其是一种衍射光学元件及其制造方法。

背景技术

近年来，衍射光栅在工业生产和科学技术的发展中起着越来越大的作用。首先，作为色散元件广泛用于光谱分析，是分析物质成分、探索宇宙奥秘、开发大自然的必需仪器。其次，衍射光栅大量用于激光器，对激光器输出光谱进行选择、调谐和扩束，促使激光技术的发展。在集成光学和光通讯方面，衍射光栅是合适的光耦合元件。由于衍射光栅的重要作用推动可自身的发展。

目前。衍射光栅的制造方法主要可以分为两种：

1)利用光栅刻划机在光栅基底刻划出具有周期结构的刻槽，这种光栅称为机械刻划式光栅；

2)利用激光干涉技术，将涂覆在基底上的光致刻蚀剂曝光并显影，在光栅基底上形成具有周期结构的刻槽，或者进而利用离子束轰击刻槽使之成为闪耀光栅，增强光栅的衍射效率，这种光栅称为全息光栅(参见formation of holographic diffraction gratings inphotoresist，apply physicist，1981，A26，P143~149)或者全息离子刻蚀光栅。

采用上述方法得的光栅一般为单面结构，经过该光栅的光束不能有空间低频变换成空间高频。

但是，由于机械加工精度、装调精度、控制精度等因素的限制，机械刻划式光栅仍存在一些残余误差，在光栅的谱面上还可以产生强度可观的各种鬼线，影响光栅在高精度光谱仪器中的应用，而且光栅刻划机的制造成本高、光栅刻划周期长、对周围环境的要求苛刻，正是由于这些因素限制了机械刻划式光栅的应用范围。

激光干涉技术制造光栅时，需要光栅基底的表面上涂胶。均匀的光刻胶涂层是得到高质量光栅必不可少的条件之一。不同的光栅基底需要采用不同的方法涂胶：尺寸和重量较小的光栅基底，可以采用高速离心机利用立新法将光刻胶均匀涂在光栅基底表面上；尺寸和重量较大的光栅基底采用浸入法将光刻胶涂在光栅基底表面上，将光栅基底浸入盛满光刻胶溶液的容器中，然后缓慢地、匀速地将其拉出。

采用离心法和浸入法涂布光刻胶时，不可避免地使得光刻胶涂层存在缺陷、污染及光刻胶溶液不均匀等问题，从而影响光栅刻槽的质量。

发明内容

有鉴于此，提供一种可以将空间低频变换为空间高频的衍射光学元件及其制造方法实为必要。

一种衍射光学元件，其包括一个基片，所述基片一面具有第一光栅结构，所述第一光栅结构具有第一周期的第一刻槽，所述基片的另一面具有第二光栅结构，所述第二光栅结构具有第二周期的第二刻槽。

一种衍射光学元件的制造方法，包括：

提供一基片；

提供第一光栅结构和第二光栅结构的函数表达式；

将上述函数表达式进行变换得到第一光栅结构的傅里叶级数和第二光栅结构的傅里叶级数；

快速刀具伺服***在第一光栅结构傅里叶级数控制下在基片的一面刻出第一光栅结构；

快速刀具伺服***在第二光栅结构傅里叶级数控制下在基片的与设有第一光栅结构相对的一面刻出第二光栅结构。

与现有技术相比，光束通过所述衍射光学元件的第一光栅结构、第二光栅结构时分别被调制，可由空间低频调制成空间高频。采用快速刀具伺服***加工出第一光栅结构和第二光栅结构，可省略涂布光刻胶的步骤，且不需要昂贵的光栅刻划机，因而制造成本低。

附图说明

图1是本发明实施例衍射光学元件结构示意图。

具体实施方式

如图1所示，本实施例衍射光学元件10包括基片12、第一光栅结构14和第二光栅结构16。

第一光栅结构14的周期为d₁，其包括若干第一刻槽140。第二光栅结构16的周期为d₂，其包括若干第二刻槽160。第一刻槽140的宽度记为w₁、第二刻槽160的宽度记为w₂，二者关系为：w₁＝w₂、w₁<w₂、或者w₁>w₂。

周期d₁与d₂的关系为：d₁＝d₂、d₁<d₂、或者d₁>d₂。

当d₁≠d₂，二者的差值小于等于5微米(μm)。

当d₁＝d₂，第一刻槽140与第二刻槽160可以间隔分布，即第一刻槽140的起点与第二刻槽160的起点不同。

当然，第一刻槽140与第二刻槽160也可以对齐分布，即第一刻槽140的起点与第二刻槽160的起点相同。

由于两束记录光在干涉场中所形成干涉条纹的光强近似正弦分布，显影后的光栅如不经特殊处理，光栅的刻槽形状也为近似正弦形状，因此，第一光栅结构14的槽轮廓可用周期为d₁的函数f₁(x)来描写：

y＝f₁(x)＝tgθ·x

(- \frac{d_{1}}{2} \leq x \leq \frac{d_{1}}{2})

f₁(x)为奇函数，可展开为傅里叶正弦级数：

f_{1} (x) = Σ_{n = 1}^{\infty} b_{n} \cdot \sin \frac{2 nπx}{d_{1}}

b_{n} = \frac{4}{d_{1}} {&Integral;}_{0}^{\frac{d_{1}}{2}} tgθ \cdot x \cdot \sin \frac{2 nπx}{d_{1}} d_{1} x = {(- 1)}^{n - 1} \frac{d_{1} \cdot tgθ}{nπ} x

因此，f₁(x)可写成：

f_{1} (x) = \frac{d_{1} tgθ}{π} [\sin \frac{2 πx}{d_{1}} - \frac{1}{2} \sin \frac{4 πx}{d_{1}} + \frac{1}{3} \sin \frac{6 πx}{d_{1}} - \frac{1}{4} \sin \frac{4 πx}{d_{1}} + . . . . . .] - - - (1)

由式(1)可知，如果能取更多的级数项，那么合成的曲线越接近函数f₁(x)，也就是合成精度越高。但是，从制造角度来看，则希望取较少的项数来满足一定合成精度的要求。为寻求最优的解，可适当修正式(1)的振幅或者相位。本实施例中f₁(x)取级数中的前三项且振幅不变：

f_{1} (x) = \frac{d_{1} tgθ}{π} [\sin \frac{2 πx}{d_{1}} - \frac{1}{2} \sin \frac{4 πx}{d_{1}} + \frac{1}{3} \sin \frac{6 πx}{d_{1}}]

同理，第二光栅结构16的槽轮廓可用f₂(x)表示：

f_{2} (x) = \frac{d_{2} tgθ}{π} [\sin \frac{2 πx}{d_{2}} - \frac{1}{2} \sin \frac{4 πx}{d_{2}} + \frac{1}{3} \sin \frac{6 πx}{d_{2}} - \frac{1}{4} \sin \frac{4 πx}{d_{2}} + . . . . . .]

本实施例中f₂(x)取级数中的前三项且振幅不变：

f_{2} (x) = \frac{d_{2} tgθ}{π} [\sin \frac{2 πx}{d_{2}} - \frac{1}{2} \sin \frac{4 πx}{d_{2}} + \frac{1}{3} \sin \frac{6 πx}{d_{2}}]

由光的干涉可知，第一光栅结构14的周期

d_{1} = \frac{λ_{1}}{2 n_{1} \sin α_{1}}

(λ₁为波长，α₁为两相干光束夹角之半，n₁为折射率)，空间频率

f_{1} = \frac{1}{d_{1}} .

如果在空气中，n₁＝1，则

d_{1} = \frac{λ_{1}}{2 \sin α_{1}} .

同理，在空气中，第二光栅结构16的周期

d_{2} = \frac{λ_{2}}{2 \sin α_{2}}

(λ₂为波长，α₂为两相干光束夹角之半)，空间频率

f_{2} = \frac{1}{d_{2}} .

当一束空间频率为f的光线照射至衍射光学元件10上时，假由有第一光栅结构14入射至第二光栅结构16，其首先被第一光栅结构14调制而具有f+f₁的频率，然后，被调制以后的光线被第二光栅结构16调制从而具有f+f₁+f₂的频率，由此可见，空间低频的光线经过衍射光学元件10后被调制为具有空间高频的光线。

在制造衍射光学元件10时，采用快速刀具伺服***(fast tool servo system，简称FTS***)加工第一光栅结构14和第二光栅结构16。

将f₁(x)输入FTS***中，刀具在f₁(x)的控制下在基片10的一面加工出第一光栅结构14；然后，将f₂(x)输入FTS***中，刀具在f₂(x)的控制下在基片10的另一面加工出第二光栅结构16。

如果，第一光栅结构14与第二光栅结构16的凹槽相互错开，则在加工第二光栅结构16时，首先使FTS***的刀具发生一定偏移量，然后在f₂(x)的控制下加工第二光栅结构16。

FTS***可采用压电陶瓷驱动刀具的运动。

当然，也可以在基片10的相对两面涂布镍合金薄膜后，再行加工第一光栅结构14和第二光栅结构16。

可以理解的是，对于本领域的普通技术人员来说，可以根据本发明的技术方案和技术构思做出其他各种相应的改变和变形，而所有这些改变和变形都应属于本发明权利要求的保护范围。

Claims

【权利要求1】一种衍射光学元件，其特征在于：包括一个基片，所述基片一面具有第一光栅结构，所述第一光栅结构具有第一周期的第一刻槽，所述基片的另一面具有第二光栅结构，所述第二光栅结构具有第二周期的第二刻槽。
【权利要求2】如权利要求1所述的衍射光学元件，其特征在于：所述第一周期等于第二周期。
【权利要求3】如权利要求2所述的衍射光学元件，其特征在于：所述第一刻槽与第二刻槽交错排布。
【权利要求4】如权利要求2所述的衍射光学元件，其特征在于：所述第一刻槽与第二刻槽对齐排布。
【权利要求5】如权利要求1所述的衍射光学元件，其特征在于：所述第一周期大于或者小于第二周期。
【权利要求6】如权利要求5所述的衍射光学元件，其特征在于：所述第一周期与第二周期之差小于等于5微米。
【权利要求7】如权利要求2或5所述的衍射光学元件，其特征在于：所述第一刻槽的宽度等于、大于或小于所述第二刻槽的宽度。
【权利要求8】一种权利要求1至7任一项所述的衍射光学元件的制造方法，其包括：

提供一基片；

提供第一光栅结构和第二光栅结构的函数表达式；

将上述函数表达式进行变换得到第一光栅结构的傅里叶级数和第二光栅结构的傅里叶级数；

快速刀具伺服***在第一光栅结构傅里叶级数控制下在基片的一面刻出第一光栅结构；

快速刀具伺服***在第二光栅结构傅里叶级数控制下在基片的与设有第一光栅结构相对的一面刻出第二光栅结构。
【权利要求9】如权利要求8所述的衍射光学元件的制造方法，其特征在于：所述基片的表面具有镍合金薄膜。
【权利要求10】如权利要求8所述的衍射光学元件的制造方法，其特征在于：利用压电陶瓷驱动的快速刀具伺服***加工第一光栅结构和第二光栅结构。