CN101358997A - 检查夹具及检查装置 - Google Patents

Abstract

本发明提供的检查夹具，即使在形成为细长状的检查用端子的横向幅度非常狭窄的情况下，也能够对检查对象进行确切的检查；用于对形成有具备纵向和横向的细长状端子的检查对象(50)进行检查的检查夹具(1)，设有：形成有前端侧插通孔的前端侧支撑体(2)，相对于前端侧支撑体(2)通过间隙而配置、且形成有后端侧插通孔的后端侧支撑体(3)，以及具有***通于前端侧插通孔的前端侧部分和***通于后端侧插通孔的后端侧部分的探针(5)，其中，前端侧插通孔具有朝向检查对象(50)的探针引导方向，后端侧插通孔具有相对于前端侧插通孔的探针引导方向沿着端子的纵向而倾斜的探针引导方向；探针(5)的前端侧部分相对于后端侧部分配置于，在向后端侧插通孔的探针引导方向倾斜的一侧上偏移的位置。

Description

检查夹具及检查装置

技术领域

本发明涉及的是使用于电路板或电子器件等的电气检查的检查夹具以及设有该检查夹具的检查装置。

背景技术

一般情况下，用于发现电路板的布线图形或IC等集成电路的短路、断线等异常情况的电气检查中，使用设有与形成于检查对象的检查用端子进行导电接触的多个探针的检查夹具。作为这种检查夹具，本申请人提出了设有前端侧支撑体、后端侧支撑体以及电极的检查夹具，其中，前端侧支撑体支撑多个探针的前端侧部分，后端侧支撑体通过间隙而配置于前端侧支撑体的后方、并支撑多个探针的后端侧部分，电极配置于后端侧支撑体的后方、并与探针的后端侧部分相接(例如，参照专利文献1)。

在该专利文献1记载的检查夹具中，在前端侧支撑体上，在垂直相交于与检查对象相对的对置面的方向上形成有前端侧插通孔；在后端侧支撑体上，在相对于前端侧插通孔的形成方向倾斜的方向上形成有后端侧插通孔。另外，后端侧插通孔如插通于该后端侧插通孔的探针的前端侧朝向前端侧插通孔那样，相对于前端侧插通孔而倾斜。

在该检查夹具中，在多个探针的前端与检查对象相接时，配置于前端侧支撑体和后端侧支撑体之间的间隙中的探针中间部分弯曲。另外，通过探针的中间部分弯曲，全部的探针以适度的接触压力同时与检查对象接触。

专利文献1：日本公开公报、特开2005-338065号

发明内容

发明所要解决的课题

近年来，形成于检查对象的检查用端子正在多样化。例如，在检查对象上也形成有如长方形那样的细长端子。另外，近年来伴随着成为检查对象的电路板布线图形的复杂化或集成电路的高集成化等，细长端子的横向幅度变得非常狭窄。例如，存在横向幅度为20μm～30μm这样非常狭窄的幅度的端子形成于检查对象的情况。

在此，通过本申请发明人的研究明确了，在使用专利文献1中记载的检查夹具对端子的横向幅度非常狭窄的检查对象进行检查的情况下，存在对检查对象进行确切的检查变得困难的危险。

因此，本发明的课题在于提供一种，即使在形成为细长状的检查用端子的横向幅度非常狭窄的情况下，也能够对检查对象进行确切的检查的检查夹具以及设有该检查夹具的检查装置。

解决课题的手段

为了解决上述课题，本发明的检查夹具，是用于对形成有具备纵向和横向的细长状端子的检查对象进行检查的检查夹具，其特征在于，设有：形成有前端侧插通孔的前端侧支撑体，相对于前端侧支撑体通过规定的间隙而配置、且形成有后端侧插通孔的后端侧支撑体，以及探针，其中，前端侧插通孔具有朝向检查对象的探针引导方向，后端侧插通孔具有相对于前端侧插通孔的探针引导方向沿着纵向而倾斜的探针引导方向，探针具有***通于前端侧插通孔的前端侧部分和***通于后端侧插通孔的后端侧部分、以使与端子接触的前端能够在检查对象侧出入；探针的前端侧部分相对于后端侧部分配置于，在向后端侧插通孔的探针引导方向倾斜的一侧上偏移的位置。

在本发明的检查夹具中，在相对于形成有前端侧插通孔的前端侧支撑体通过规定的间隙而配置的后端侧支撑体上，形成有后端侧插通孔，其中，前端侧插通孔具有朝向检查对象的探针引导方向，后端侧插通孔具有相对于前端侧插通孔的探针引导方向沿着细长状端子的纵向而倾斜的探针引导方向。另外，探针的前端侧部分相对于后端侧部分配置于，在向后端侧插通孔的探针引导方向倾斜的一侧上偏移的位置。

因此，即使在为了使探针的前端能够在检查对象侧出入而前端侧插通孔形成为比探针的直径大的情况下，探针的前端与端子接触而配置于前端侧支撑体和后端侧支撑体之间间隙中的探针的中间部分弯曲的话，探针的前端侧部分在前端侧插通孔内沿着细长状端子的纵向移动。也就是说，本发明中，在探针的前端与端子接触而配置于前端侧支撑体和后端侧支撑体之间间隙中的探针的中间部分弯曲时，与端子接触的探针的前端沿着端子的纵向而偏移，而不太会有沿着端子的横向偏移的情况。其结果是，本发明中，即使在形成为细长状的检查用端子的横向幅度非常狭窄的情况下，也能够使探针的前端确实地与检查对象的端子接触，从而能够对检查对象进行确切的检查。

在本发明中，以检查夹具设有分别与纵向不同的多个端子接触的多个探针，多个探针的后端侧部分***通于沿着各个探针所接触的端子的纵向而倾斜的后端侧插通孔为佳。这样构成的话，即使在检查对象上形成有纵向不同的多个端子的情况下，也能够使探针的前端确实地与检查对象的端子接触，从而能够对检查对象进行确切的检查。

另外，为了解决上述课题，本发明为用于对形成有具备纵向和横向的细长状端子的检查对象进行检查的检查夹具，其特征在于，设有：形成有前端侧插通孔的前端侧支撑体，形成有后端侧插通孔、且相对于前端侧支撑体通过规定的间隙而配置的后端侧支撑体，以及具有与端子接触的前端、***通于前端侧插通孔的前端侧部分及***通于后端侧插通孔的后端侧部分的探针，其中，前端侧插通孔具有朝向检查对象的探针引导方向，后端侧插通孔具有相对于前端侧插通孔的探针引导方向、沿着由纵向和前端侧插通孔的探针引导方向形成的平面而倾斜的探针引导方向；在前端与端子接触时，前端朝向前端侧支撑体而被压入，同时，探针在前端侧支撑体和后端侧支撑体之间弯曲。

在本发明的检查夹具中，在相对于形成有前端侧插通孔的前端侧支撑体通过规定的间隙而配置的后端侧支撑体上，形成有后端侧插通孔，其中，前端侧插通孔具有朝向检查对象的探针引导方向，后端侧插通孔具有相对于前端侧插通孔的探针引导方向、沿着由细长状端子的纵向和前端侧插通孔的探针引导方向形成的平面而倾斜的探针引导方向。因此，即使为了在探针的前端与端子接触时使其前端朝向前端侧支撑体被压入而前端侧插通孔形成为比探针的直径大的情况下，探针的前端与端子接触而探针在前端侧支撑体与后端侧支撑体之间发生弯曲的话，探针的前端也沿着端子的纵向偏移，而不太会有沿着端子的横向偏移的情况。其结果是，本发明中，即使在形成为细长状的检查用端子的横向幅度非常狭窄的情况下，也能够使探针的前端确实地与检查对象的端子接触，从而能够对检查对象进行确切的检查。

本发明的检查夹具，能够使用于设有被导电连接于与探针后端侧部分相接的电极的电气***的检查装置。该检查装置，即使在形成为细长状的检查用端子的横向幅度非常狭窄的情况下，也能够使探针的前端确实地与检查对象的端子接触，从而能够对检查对象进行确切的检查。

发明效果

如上所述，本发明的检查夹具及检查装置，即使在形成为细长状的检查用端子的横向幅度非常狭窄的情况下，也能够对检查对象进行确切的检查。

附图说明

图1是本发明实施形态涉及的检查夹具的俯视图。

图2是图1所示检查夹具的侧面图。

图3是表示以图1所示检查夹具进行检查的检查对象的俯视图。

图4是将图3的E部放大表示的放大图。

图5是表示图1所示前端侧支撑体的剖面构造的放大剖面图。

图6是表示图1所示后端侧支撑体的剖面构造的放大剖面图。

图7是表示搭载有图1所示检查夹具的检查装置的概略构成图。

图8是用于说明以图7所示检查装置检查检查对象时的探针动作的图，(A)从端子的横向表示探针的前端与端子接触前的状态，(B)从端子的横向表示探针的前端与端子接触的状态，(C)从端子的纵向表示探针的前端与端子接触的状态。

图9是本发明其他实施形态涉及的检查对象的端子排列的示意图。

图10是本发明其他实施形态涉及的检查对象的端子排列的示意图。

图11是本发明其他实施形态涉及的端子的形状的示意图。

符号说明

1    检查夹具

2    前端侧支撑体

3    后端侧支撑体

5    探针

5c   前端侧部分

5d   后端侧部分

5e   前端

7    电极

13   前端侧插通孔

20   后端侧插通孔

30   检查装置

31   控制部(电气***)

50   检查对象

60、61、62、63  端子

V    探针引导方向

具体实施方式

以下，根据附图对本发明的实施形态进行说明。

(检查夹具的构成)

图1是本发明实施形态涉及的检查夹具1的俯视图。图2是图1所示检查夹具1的侧面图。图3是表示以图1所示检查夹具1进行检查的检查对象50的俯视图。图4是将图3的E部放大表示的放大图。图5是表示图1所示前端侧支撑体2的剖面构造的放大剖面图。图6是表示图1所示后端侧支撑体3的剖面构造的放大剖面图。

另外，在以下的说明中，将图1的左右方向作为X方向、图1的上下方向作为Y方向、图1的纸面垂直方向作为Z方向。另外，将由Y方向和Z方向形成的平面作为YZ平面、Z方向和X方向形成的平面作为ZX平面。

本形态的检查夹具1如下面所述，搭载于对印刷线路板或半导体集成电路等的检查对象50进行电气检查的检查装置30而被使用(参照图7)。另外，本形态的检查夹具1，如图3、图4所示，是用于对形成有检查用端子60的检查对象50进行检查的夹具，其中，检查用端子60为具备纵向和横向的细长状。

检查对象50，作为整体而形成为扁平的长方体状(矩形的板状)。该检查对象50上，如上所述，形成有多个具备纵向和横向的细长状的检查用端子60。具体地说，如图3、图4所示，在检查对象50上形成有多个端子60、并形成为两个第一端子群60A以在Y方向上隔开规定间隔的状态而形成、且两个第二端子群60B以在X方向上隔开规定间隔的状态而形成，其中，两个第一端子群60A由在X方向上以规定间隔排成一行的多个端子60构成，两个第二端子群60B由在Y方向上以规定间隔排成一列的多个端子60构成。也就是说，在检查对象50上，形成有沿着检查对象50的四边而配置为一列直线状的多个端子60。

本形态中，构成第一端子群60A的端子60，形成为以X方向为横向、以Y方向为纵向的细长长方形形状。另外，构成第二端子群60B的端子60，形成为以Y方向为横向、以X方向为纵向的细长长方形形状。也就是说，检查对象50上形成有纵向不同的多个端子60。另外，端子60的纵向幅度W1(参照图4)例如为2～3mm，端子60的横向幅度W2(参照图4)例如为20～30μm。

如图1、图2所示，检查夹具1设有前端侧支撑体2、和相对于前端侧支撑体2通过规定间隙而配置的后端侧支撑体3。

前端侧支撑体2及后端侧支撑体3，分别形成为扁平的长方体状(矩形的板状)。另外，前端侧支撑体2和后端侧支撑体3，被配置为各自的表面相互平行。具体地说，前端侧支撑体2和后端侧支撑体3通过配置于前端侧支撑体2的四角的四支支撑柱4而被连接并固定。

在前端侧支撑体2及后端侧支撑体3上插通有多个探针5。具体地说，如图1、图2所示，在前端侧支撑体2及后端侧支撑体3上插通有多个探针5、并***通为两个第一探针群5A以在Y方向上隔开规定间隔的状态而形成、且两个第二探针群5B以在X方向上隔开规定间隔的状态而形成，其中，两个第一探针群5A由在X方向上以规定间隔排成一行的多个探针5构成，两个第二探针群5B由在Y方向上以规定间隔排成一行的多个探针5构成。

另外，如图2所示，构成第二探针群5B的多个探针5，如随着从前端侧支撑体2朝向后端侧支撑体3而向X方向外侧扩展那样，插通于前端侧支撑体2及后端侧支撑体3。另外，构成第一探针群5A的多个探针5，如随着从前端侧支撑体2朝向后端侧支撑体3而向Y方向外侧扩展那样，插通于前端侧支撑体2及后端侧支撑体3。

具体地说，如构成第二探针群5B的多个探针5沿着X方向(更具体地说是ZX平面)倾斜、构成第一探针群5A的多个探针5沿着Y方向(更具体地说是YZ平面)倾斜那样，而***通于前端侧支撑体2及后端侧支撑体3。另外，在本形态中，对检查对象50进行检查时，构成第一探针群5A的探针5与构成第一端子群60A的端子60接触，构成第二探针群5B的探针5与构成第二端子群60B的端子60接触。也就是说，在前端侧支撑体2和后端侧支撑体3之间，探针5沿着所接触的端子60的纵向而倾斜。

另外，如图5所示，探针5的前端5e在前端侧支撑体2的表面上略微突出。例如，前端5e从前端侧支撑体2的表面突出100μm～200μm。另外，前端5e从前端侧支撑体2的表面的突出量可以超过200μm，也可以不足100μm(例如50μm)。

在后端侧支撑体3的后方安装有电极支撑体6。电极支撑体6上，如图2所示，固定有与探针5(具体地说是后端侧部分5d)导电接触的多个电极7。

探针5在由钨、高速钢(SKH)、铍铜(Be-Cu)等金属及其他的导电体形成的同时，形成为具有可弯曲的弹性的金属丝状。本形态的探针5具有由上述那样的导电体构成的导电金属丝5a、和覆盖该导电金属丝5a外周面的绝缘外皮5b。绝缘外皮5b由合成树脂等的绝缘体形成。另外，绝缘外皮5b也可以为通过在导电金属丝5a的表面进行绝缘涂装而形成的绝缘膜。

如图5、图6所示，在探针5的前端侧部分5c及后端侧部分5d中形成导电金属丝5a露出的状态。另外，探针5的前端5e或后端5f，如图中所示那样形成为球面状。

前端侧支撑体2，从配置检查对象50的一侧(图示上侧)依次层叠多张(本形态中为三张)支撑板10、11、12而构成。这些支撑板10～12通过螺栓等固定部件而相互固定。如图5所示，各支撑板10、11、12上分别形成有贯通孔10a、11a、12a。通过这些贯通孔10a、11a、12a，构成探针5的前端侧部分5c所插通的一个前端侧插通孔13。

前端侧插通孔13具有朝向检查对象50的探针引导方向。具体地说，前端侧插通孔13具有与对置面2a垂直相交的探针5的引导方向，其中，对置面2a是前端侧支撑体2的、与检查对象50相对的面(图示上侧的表面)。也就是说，前端侧插通孔13形成在与对置面2a垂直相交的方向(Z方向)上。因此，能够使探针5的前端5e垂直地与检查对象50的端子60接触。

该前端侧插通孔13仅形成有检查夹具1所具有的探针5的数量。具体地说，前端侧插通孔13形成为，构成第一探针群5A的探针5与构成第一端子群60A的端子60接触、构成第二探针群5B的探针5与构成第二端子群60B的端子60接触。

三个贯通孔10a、11a、12a形成为同心状。具体地说，贯通孔10a由小径孔10b和直径比小径孔10b大的大径孔10c构成，贯通孔12a由小径孔12b和直径比小径孔12b大的大径孔12c构成。另外，小径孔10b和小径孔12b，以比导电金属丝5a的外径略大、且比绝缘外皮5b部分的探针5的外径略小的内径而形成。另外，贯通孔11a的内径形成为比小径孔10b的内径以及小径孔12b的内径大。

探针5前端侧的绝缘外皮5b的端缘5g，如图5所示，相对于前端侧插通孔13的小径孔12b配置于后方。另外，如上所述，小径孔12b以比绝缘外皮5b部分的探针5的外径略小的内径而形成。因此，绝缘外皮5b的端缘5g能够与小径孔12b的开口边缘12d相接。也就是说，端缘5g和开口边缘12d，成为用于防止探针5向检查对象侧脱落的防脱部。

后端侧支撑体3，从前端侧支撑体2侧依次层叠多张(本形态中为三张)支撑板15、16、17而构成。这些支撑板15～17通过螺栓等的固定部件而相互固定。如图6所示，各支撑板15～17上分别形成有贯通孔15a、16a、17a。通过这些贯通孔15a～17a，构成探针5的后端侧部分5d所插通的一个后端侧插通孔20。该后端侧插通孔20仅形成有检查夹具1所具有的探针5的数量。

后端侧插通孔20具有相对于前端侧插通孔13的探针引导方向(即，对置面2a的垂直相交方向)而倾斜的探针引导方向V。也就是说，三个贯通孔15a～17a以各自的中心一点一点地偏移的状态而形成，后端侧插通孔20的整体相对于对置面2a的垂直相交方向而倾斜。例如，如图6所示，在以贯通孔15a～17a的顺序其中心一点一点向图示右方偏移的状态下，形成有三个贯通孔15a～17a。也就是说，探针引导方向V，相对于与后端侧支撑体3的表面垂直相交的法线n向图6的逆时针方向仅倾斜角度θ。

贯通孔15a由小径孔15b和直径比小径孔15b大的大径孔15c构成。同样地，贯通孔16a由小径孔16b和大径孔16c构成，贯通孔17a由小径孔17b和大径孔17c构成。小径孔17b以比导电金属丝5a的外径略大、且比绝缘外皮5b部分的探针5的外径略小的内径而形成，小径孔15b、16b，以比形成有绝缘外皮5b部分的探针5的外径略大的内径而形成。

如上所述，本形态中，探针5沿着所接触的端子60的纵向而倾斜。也就是说，在本形态中，某一后端侧插通孔20的探针引导方向V，如沿着***通于该后端侧插通孔20的探针5所接触的端子60的纵向那样，而相对于前端侧插通孔13的探针引导方向而倾斜。具体地说，构成第一探针群5A的探针5所插通的后端侧插通孔20的探针引导方向V，为沿着Y方向(更具体地说是YZ平面)、且随着从支撑板15朝向支撑板17而向Y方向外侧扩展那样倾斜的方向，构成第二探针群5B的探针5所插通的后端侧插通孔20的探针引导方向V，为沿着X方向(更具体地说是ZX平面)、且随着从支撑板15朝向支撑板17而向X方向外侧扩展那样倾斜的方向。

另外，在各探针5中，插通于前端侧插通孔13的前端侧部分5c相对于插通于后端侧插通孔20的后端侧部分5d，配置在向后端侧插通孔20的探针引导方向V的倾斜方向偏移的位置。也就是说，某一探针5的前端侧部分5c所插通的前端侧插通孔13的后端侧开口位置(即，支撑板12的贯通孔12a的开口位置)如图6所示，从该探针5的后端侧部分5d所插通的后端侧插通孔20观察时配置于后端侧插通孔20的探针引导方向V的倾斜侧。

探针5的后端5f，如上所述那样形成为球面状。因此，即使探针5的后端侧部分5d沿着具有倾斜的探针引导方向V的后端侧插通孔20倾斜，也不会对后端5f和电极7的表面的导电接触状态产生影响。

如图2所示，电极支撑体6是埋设有多个电极7的支撑板22、23、和支持被导电连接于电极7的布线24的支撑板25层叠而构成。布线24与后述的检查装置30的控制部31连接。另外，电极支撑体6通过螺栓等固定部件可装卸地固定于后端侧支撑体3。

如上所述那样构成的检查夹具1，如以下那样被组装。也就是说，首先通过支撑柱4将前端侧支撑体2和后端侧支撑体3连接并固定。

然后，将多个探针5插通于前端侧支撑体2和后端侧支撑体3。具体地说，将探针5从处于支撑板17被取下状态的后端侧支撑体3的后方***，直至前端侧的绝缘外皮5b的端缘5g与小径孔12b的开口边缘12d相接。也就是说，如探针5的前端5e依次通过后端侧插通孔20、前端侧支撑体2和后端侧支撑体3之间的空间、以及前端侧插通孔13那样，而***探针5。其后，固定支撑板17。

然后，将电极支撑体6固定于后端侧支撑体3，完成检查夹具1。

(检查装置的构成)

图7是表示搭载有图1所示检查夹具1的检查装置30的概略构成图。

如图7所示，本形态的检查夹具1搭载于对检查对象50进行电气检查(具体指断线或短路等的检查)的检查装置30而被使用。该检查装置30设有：作为包含判定检查对象50导通状态的检查电路的电气***的控制部31，与控制部31连接的驱动部32，以及通过驱动部32而被驱动的检查机构33。

检查机构33设有：安装有检查夹具1的第一支撑盘34，与第一支撑盘34相对配置的第二支撑盘35，以及使第一支撑盘34和第二支撑盘35可相对接触离开地进行移动的移动机构36。移动机构36由滚珠丝杠机构或油压机构等构成，并通过驱动部32而被驱动。

安装固定于第一支撑盘34的检查夹具1的电极7，通过布线24及连接于该布线24的布线37与控制部31导电连接。另外，在第二支撑盘35上，检查对象50以被定位的状态而被载置并固定。具体地说，如构成第一探针群5A的探针5与构成第一端子群60A的端子60接触、构成第二探针群5B的探针5与构成第二端子60B的端子60接触那样、检查对象50被固定于第二支撑盘35上。

该状态下，通过控制部31的控制信号驱动部32驱动移动机构36，第一支撑盘34向第二支撑盘35接近，并以规定压力将检查夹具1按压于检查对象50。将检查夹具1按压于检查对象50的话，检查夹具1的各探针5与检查对象50的端子60接触，并朝向前端侧支撑体2而被压入。另外，各探针5与端子60导通。该状态下，通过控制部31利用布线37向检查夹具1供给规定信号、或接收利用检查夹具1检测出的电位等，而进行检查对象50的电气检验。

(检查对象检查时的探针的动作)

图8是用于说明以图7所示检查装30对检查对象50进行检查时的探针5的动作的图，(A)从端子60的横向表示探针5的前端5e与端子60接触前的状态，(B)从端子60的横向表示探针5的前端5e与端子60接触的状态，(C)从端子60的纵向(即，(B)的F-F方向)表示探针5的前端5e与端子60接触的状态。另外，图8中省略绝缘外皮5b的图示。

本形态的检查夹具1中，处于前端侧支撑体2和后端侧支撑体3之间的探针5的中间部分，成为沿着后端侧插通孔20在后端侧部分5d倾斜的方向上倾斜并延伸、直至插通于前端侧插通孔13的状态。因此，在对检查对象50进行检查时，若探针5的前端5e与端子60接触并朝向前端侧支撑体2而被压入的话，则处于倾斜姿态的探针5的中间部分挠曲(发生弯曲)。

该弯曲时的探针5的中间部分的弯曲方向，为与探针5的倾斜方向(即，该探针5所插通的后端侧插通孔20的探针引导方向V)相对应的方向。具体地说，构成第一探针群5A的探针5沿着YZ平面弯曲，构成第二探针群5B的探针5沿着ZX平面弯曲。

因此，探针5的前端5e与端子60接触的话，如图8(B)所示，构成第一探针群5A的探针5的前端侧部分5c，在前端侧插通孔13内沿着构成第一端子群60A的端子60的纵向(更具体地说是YZ平面)移动，构成第二探针群5B的探针5的前端侧部分5c，在前端侧插通孔13内沿着构成第二端子群60B的端子60的纵向(更具体地说是ZX平面)移动。也就是说，此时如图8(C)所示，构成第一探针群5A的探针5的前端侧部分5c在前端侧插通孔13内基本不向构成第一端子群60A的端子60的横向移动，构成第二探针群5B的探针5的前端侧部分5c在前端侧插通孔13内基本不向构成第二端子群60B的端子60的横向移动。

因而，探针5的前端5e与端子60接触的话，如图8(B)所示，前端5e以小径孔12b的图示下端为支点而沿着端子60的纵向偏移。另一方面，即使前端5e与端子60接触，如图8(C)所示，前端5e也几乎不会沿着端子60的横向偏移。

(本形态的效果)

如以上所说明，在本形态中，后端侧支撑体3上形成有后端侧插通孔20，其中，该后端侧插通孔20具有相对于前端侧插通孔13的探针引导方向沿着端子60的纵向(更具体地说，为由前端侧插通孔13的探针引导方向(Z方向)和端子60的纵向形成的YZ平面或ZX平面)倾斜的探针引导方向V。另外，探针5的前端侧部分5c相对于后端侧部分5d配置于，在向后端侧插通孔20的探针引导方向V倾斜的一侧上偏移的位置。

因此，即使为了使探针5的前端5e能够在检查对象50侧出入(即，前端5e朝向前端侧支撑体2而被压入)而使前端侧插通孔13形成为比探针5的直径(具体地说，为导电金属丝5a的直径)大的情况下，如上所述，在前端5e与端子60接触而配置于前端侧支撑体2与后端侧支撑体3之间间隙中的探针5的中间部分弯曲时，与端子60接触的前端5e沿着端子60的纵向偏移，而不太会沿着端子60的横向偏移。

其结果是，在本形态中，即使在端子60的横向幅度W2例如为20～30μm这样非常狭窄的情况下，对检查对象50进行检查时，也能够使探针5的前端5e确实地与端子60接触，从而能够对检查对象50进行确切的检查。

特别是在本形态中，与纵向不同的、构成第一端子群60A的端子60和构成第二端子群60B的端子60接触的探针5的后端侧部分5d分别插通于，沿着各个探针5所接触的端子60的纵向而倾斜的后端侧插通孔20。因此，即使在检查对象50上形成有纵向不同的多个端子60的情况下，也能够使探针5的前端5e确实地与端子60接触，从而能够对检查对象50进行确切的检查。

(其他的实施形态)

上述形态，虽为本发明适宜形态的一例，但并不限定于此，在不改变本发明主旨的范围内可以进行各种变形。

上述形态中，在检查对象50上形成有沿着检查对象50的四边而配置为一列直线状的多个端子60。除此之外，例如如图9所示，也可以在检查对象50上形成沿着检查对象50的四边而配置为两列(或两列以上的多列)直线状的多个端子60。另外，如图10所示，也可以在检查对象50上形成沿着检查对象50的一边而配置为一列(或多列)直线状的多个端子60。进而，也可以在检查对象50上形成沿着检查对象50的两边或者三边而配置为一列或多列直线状的多个端子60。另外，也可以在检查对象50上形成沿着检查对象50四边中的至少任意一边而配置为略圆弧状的多个端子60。进而，检查对象50也可以不形成为矩形的板状，另外，端子60也可以以任意的排列模式而形成于检查对象50上。

另外，在这些情况下，多个探针5的后端侧部分5d，插通于沿着各个探针5所接触的端子60的纵向而倾斜的后端侧插通孔20。

上述形态中，被形成为细长长方形形状的端子60形成于检查对象50上。除此之外，例如如图11(A)所示，也可以使具有幅度宽的宽幅部61a和比宽幅部61a幅度窄小的窄幅部61b的细长状端子61形成于检查对象50。另外，如图11(B)所示，可以使田径赛用跑道状的细长状端子62形成于检查对象50，如图11(C)所示，也可以使椭圆状端子63形成于检查对象50。

另外，在上述形态中，X方向或Y方向为端子60的纵向、横向，但是也可以使相对于X方向或Y方向倾斜的方向为端子60的纵向、横向。

上述形态中，构成第一探针群5A的探针5，如随着从前端侧支撑体2朝向后端侧支撑体3而向Y方向外侧扩展那样，插通于前端侧支撑体2及后端侧支撑体3。除此之外，例如构成第一探针群5A的探针5也可以如随着从前端侧支撑体2朝向后端侧支撑体3而向Y方向内侧收缩那样，而插通于前端侧支撑体2及后端侧支撑体3。

另外也可以是，作为构成第一探针群5A的探针5中的、在X方向上相互邻接的一方探针5，如随着从前端侧支撑体2朝向后端侧支撑体3而向Y方向外侧扩展那样，插通于前端侧支撑体2及后端侧支撑体3，在X方向上相互邻接的另一方探针5，如随着从前端侧支撑体2朝向后端侧支撑体3而向Y方向内侧收缩那样，插通于前端侧支撑体2及后端侧支撑体3。也就是说，也可以如构成第一探针群5A的探针5的后端5f被交错排列那样，使探针5插通于前端侧支撑体2及后端侧支撑体3。

同样地，可以使构成第二探针群5B的探针5如随着从前端侧支撑体2朝向后端侧支撑体3而向X方向内侧收缩那样，插通于前端侧支撑体2及后端侧支撑体3，也可以如构成第二探针群5B的探针5的后端5f被交错排列那样，使探针5插通于前端侧支撑体2及后端侧支撑体3。

在上述形态中，由三张支撑板10～12构成前端侧支撑体2。除此之外例如，也可以由两张以下或四张以上的支撑板构成前端侧支撑体2。同样地，在上述形态中，由三张支撑板15～17构成后端侧支撑体3，但是也可以由两张以下或四张以上的支撑板构成后端侧支撑体3。

Claims (4)

1.一种检查夹具，用于对形成有具备纵向和横向的细长状端子的检查对象进行检查，其特征在于，

设有：形成有前端侧插通孔的前端侧支撑体，相对于上述前端侧支撑体通过规定的间隙而配置、且形成有后端侧插通孔的后端侧支撑体，以及探针，其中，前端侧插通孔具有朝向上述检查对象的探针引导方向，后端侧插通孔具有相对于上述前端侧插通孔的探针引导方向沿着上述纵向而倾斜的探针引导方向，探针具有***通于上述前端侧插通孔的前端侧部分和***通于上述后端侧插通孔的后端侧部分、以使与上述端子接触的前端能够在上述检查对象侧出入；

上述探针的上述前端侧部分相对于上述后端侧部分配置于，在向上述后端侧插通孔的探针引导方向倾斜的一侧上偏移的位置。

2.如权利要求1所述的检查夹具，其特征在于，

设有分别与上述纵向不同的多个上述端子接触的多个上述探针；

多个上述探针的上述后端侧部分，***通于沿着各个上述探针所接触的上述端子的上述纵向而倾斜的上述后端侧插通孔。

3.一种检查夹具，用于对形成有具备纵向和横向的细长状端子的检查对象进行检查，其特征在于，

设有：形成有前端侧插通孔的前端侧支撑体，形成有后端侧插通孔、且相对于上述前端侧支撑体通过规定的间隙而配置的后端侧支撑体，以及具有与上述端子接触的前端、***通于上述前端侧插通孔的前端侧部分及***通于上述后端侧插通孔的后端侧部分的探针，其中，前端侧插通孔具有朝向上述检查对象的探针引导方向，后端侧插通孔具有，相对于上述前端侧插通孔的探针引导方向、沿着由上述纵向和上述前端侧插通孔的探针引导方向形成的平面而倾斜的探针引导方向；

在上述前端与上述端子接触时，上述前端朝向上述前端侧支撑体而被压入，同时，上述探针在上述前端侧支撑体和上述后端侧支撑体之间弯曲。

4.一种检查装置，其特征在于，设有权利要求1～3中的任意一项所述的检查夹具、和被导电连接于与上述探针的上述后端侧部分相接的电极的电气***。

Images