CN101207344B

CN101207344B - 蠕动式压电直线驱动器

Info

Publication number: CN101207344B
Application number: CN2007101244412A
Authority: CN
Inventors: 胡泓; 张兆成
Original assignee: Shenzhen Graduate School Harbin Institute of Technology
Current assignee: Shenzhen Graduate School Harbin Institute of Technology
Priority date: 2007-11-13
Filing date: 2007-11-13
Publication date: 2013-07-03
Anticipated expiration: 2027-11-13
Also published as: CN101207344A

Abstract

本发明公开一种具有纳米级精度的大行程蠕动式压电直线驱动器，主要包括底座，导向机构，可调箝位机构，可调中间驱动机构，带法兰盘输出轴，箝位用固定支撑架。底座用于固定箝位用固定支撑架，箝位用固定支撑架用于固定双平行直线导杆，形成导向平面；所述的可调中间驱动机构与带法兰盘输出轴固定一体并可在导向机构上自由移动，输出轴与箝位用固定支撑架小间隙配合；所述的可调箝位机构通过底座下的调节螺栓调节箝位机构与输出轴之间的间隙并达到零间隙。本发明独特的双平行直线导杆导向的结构不仅可以保证高的直线度，而且可以避免该驱动器长时间运行后性能下降的问题，该驱动器简单紧凑、易装可调、控制方便，适用于精密加工及精密运动平台的应用。

Description

蠕动式压电直线驱动器

技术领域

本发明涉及一种具有纳米级精度的大行程蠕动式压电直线驱动器。属于精密仪器设备技术领域。

背景技术

具有纳米精度的直线驱动器是纳米技术的动力部分，被人们称为纳米科技的心脏。国内外许多著名的研究机构都把这种微驱动***作为主要的研究方向。传统电磁旋转电机必须经特定机构才能转换成直线运动，使其很难实现纳米精度的直线运动。因此，当运动分辨率达到亚微米级或纳米级时，固体致动器特别是压电致动器在微驱动定位技术中体现出优势。压电陶瓷驱动器与电磁直线电机相比，具有惯性小、响应快、控制特性好、不受磁场影响、其本身亦不产生磁场、运动准确等特点。但是直接利用压电变形的驱动定位***有其明显的缺点，即位移行程小，最多数十微米。

蠕动式压电直线驱动器模仿自然界中蠕虫的爬行方式，通过对压电陶瓷微小变形的累加，能够实现大行程、高精度、高速度的双向运动，适用于精密光学工程、半导体制造、超精密微细加工与测量技术、微型机电***、航空航天技术、现代医学及生物遗传工程等诸多尖端科技领域的应用。

迄今为止，所实现的蠕动式压电直线驱动器都是由导向机构，如平行导轨或导杆，与箝位机构的直接接触来提供驱动所需要的摩擦力，步进运动和输出负载都是依赖箝位机构和导向机构夹持箝位的摩擦力实现，箝位机构的箝位夹持力决定了***的输出负载。由于磨损的存在，运行一段时间之后，由于间隙变大普遍出现输出负载下降，直线度不稳定的现象，并最终影响使用寿命。

发明内容

本发明所要解决的技术问题是设计一款新颖结构的蠕动式压电直线驱动器，该驱动器能够在长时间运行之后避免由于摩擦磨损所带来的性能下降问题，且***成本低廉，易装可调具有较高输出力和速度。

本发明设计的一种蠕动式压电直线驱动器，包括底座，导向机构，可调箝位机构，可调中间驱动机构，带法兰盘输出轴，箝位用固定支撑架；底座用于固定箝位用固定支撑架，而箝位用固定支撑架用于固定导向机构；导向机构为双平行直线导杆；所述的可调中间驱动机构与带法兰盘输出轴固定一体并可在导向机构上自由移动，输出轴与箝位用固定支撑架小间隙配合；所述的可调箝位机构通过底座下的调节螺栓调节箝位机构与输出轴之间的间隙并达到零间隙。

与现有的相同原理驱动器相比，本发明具有以下技术效果：（一）由于采用双平行直线导杆作为导向机构，可以得到较高的直线度，并且不受摩擦磨损的影响。（二）压电陶瓷的预紧和摩擦面间隙都采用可调机构，保证了本发明设计的高可靠性，大大降低了加工成本。（三）本发明设计结构紧凑，适用于精密加工与装配，增加导杆的刚度后，亦可以用于大承载能力的精密运动平台。

附图说明

图1是本发明的装配示意图。

图2是本发明的运动原理图。

图3是本发明的平行导杆滑动部分的装配示意图。

图4是本发明的中间驱动机构的装配示意图。

图5是本发明的中间驱动柔顺机构的预紧示意图。

图6是本发明的箝位机构的装配示意图。

图7是图6的侧视图。

图8是中间驱动柔顺机构示意图。

图9是箝位柔顺机构示意图。

图中：1．底座，2．可调箝位支撑板，3．箝位柔顺机构，4．箝位用压电叠堆，5．箝位用固定支撑架，6．带法兰盘输出轴，7．直线导杆，8．直线衬套，9．滑动块，10．中间驱动柔顺机构，11．弹簧钢丝，12．驱动用压电叠堆，13．驱动用压电叠堆的预紧螺钉，14．驱动用压电叠堆的垫块，15．箝位机构调节螺栓，16．箝位用压电叠堆的预紧螺栓，17．箝位用压电叠堆的垫块，18．柔性铰链。

具体实施方式

下面结合附图，详细介绍本发明的内容。

本发明所采用的技术方案是：本发明设计主要包括底座1，导向机构7、8，可调箝位机构2、3、4、15、16、17，可调中间驱动机构9、10、11、12、13、14，带法兰盘输出轴6，箝位用固定支撑架5。两个箝位用固定支撑架5固定在底座1上，用于固定两个平行的直线导杆7提供导向平面，并且与左右两个带法兰盘输出轴6小间隙配合提供箝位接触面。带法兰盘输出轴6与滑动块9固定联接，滑动块9与中间驱动柔顺机构10通过铆钉和螺栓固定，两个滑动块9通过四个直线衬套8可以在直线导杆7上自由移动。箝位柔顺机构3放在可调箝位支撑板2上通过下面的两个可调螺栓15，保证箝位柔顺机构3上面的圆弧面与输出轴6的无间隙配合。箝位机构与中间驱动机构都是由压电叠堆、柔顺机构、垫块和可调螺栓组成，中间驱动机构还配有四个回复弹簧钢丝11。

如图2所示，本发明设计的蠕动式压电直线驱动器模仿蠕虫的运动方式，通过对两个箝位用压电叠堆4和驱动用压电叠堆12顺序加电压实现如图所示的单步位移，如此循环可以实现大的位移行程，改变加电的逻辑顺序可以实现双向的运动。通过调整电压的幅值和输入波形的频率可以改变驱动器的速度。如运动原理图所示的结构，箝位机构固定，中间驱动机构运动的构型属于步进－推动型的蠕动式压电直线驱动器，该构型运动部分质量最小有利于***的快速响应。

本发明直接采用高精度的直线导杆7作为导向，为了保证两个直线导杆7在一个水平面内，左右箝位用固定支撑架5和两个滑动块9都采用一体化加工，然后从中间切开。如图3所示，可调中间驱动机构9、10、11、12、13、14通过嵌在滑动块9中的直线衬套8可以在导杆7上自由移动。该结构避免了由导向机构直接提供驱动所需的摩擦力，容易实现驱动用摩擦表面间隙可调，降低配合精度，利于提高***的使用寿命，同时也避免了使用大行程用导向机构所必须的高的直线度和平面度的加工要求。

本发明采用压电叠堆直接驱动箝位的方式以及增大接触面积的圆弧面配合来保证尽量大的输出力。尽管柔性放大机构能够放大压电叠堆的变形，减小加工公差的要求，但是输出刚度太小，并不能真正有效地提高输出刚度和输出力，并且柔性放大机构必然降低***的响应速度。通过仔细研磨输出轴6与箝位用固定支撑架5的接触圆弧面，来保证上端的摩擦箝位面的小间隙配合。如图6、7所示，箝位柔顺机构3放在箝位支撑板2上，通过下面的两个调节螺栓15来保证下端的摩擦箝位面，即柔顺机构3与输出轴6之间的零间隙，间隙越小损失的箝位力就越少，克服了直接驱动对加工精度依赖的技术问题，简单有效地提高了***的可靠性。

压电叠堆在预紧情况下可以更有效运动，而且为了保护压电叠堆4、12，避免承受剪切破坏，柔顺机构3、10与预紧螺栓16和预紧螺钉13配合垫块17、14对压电叠堆进行预紧，相对于直接使用柔顺机构的过盈配合来施加预紧，可以降低加工的精度要求。如图8和9，分别是驱动用压电叠堆12和箝位用压电叠堆4的柔顺机构10和3，两者都是基于柔性铰链18的柔性八杆机构，通过优化设计，两者在满足刚度和应力的前提下，具有尽可能高的固有频率，使***具有良好的静态和动态性能。为了进一步增加***的动态性能，如图4所示，增加4根弹簧钢丝11，相当于质量不变并联了4个小刚度弹簧，可以显著提高***的固有频率，适用于大承载能力的精密运动平台的预紧。

本发明在保证具有较高输出力和速度的前提下，结构简单紧凑、成本低廉且易装可调便于市场推广，适用于精密加工进给装置的应用，特别是适用于大承载的精密运动平台的应用。

Claims

1.一种蠕动式压电直线驱动器，包括底座，导向机构，可调箝位机构，可调中间驱动机构，带法兰盘输出轴，箝位用固定支撑架；其特征在于，底座用于固定箝位用固定支撑架，而箝位用固定支撑架用于固定导向机构；所述的可调中间驱动机构与带法兰盘输出轴固定一体并可在导向机构上自由移动，输出轴与箝位用固定支撑架小间隙配合；所述的可调箝位机构通过底座下的调节螺栓调节所述箝位机构与所述输出轴之间的间隙并达到零间隙。

2.根据权利要求1所述的一种蠕动式压电直线驱动器，其特征在于，所述的导向机构为双平行直线导杆。