CN101198859A - 膜检查装置和膜检查方法 - Google Patents

Abstract

解决问题：本发明提供检查在膜的制造时发生的缺陷点，并可有效地利用检查后的数据的检查装置和检查方法。解决方法：膜检查装置(10)具备：具有光源和多个受光部排列成的传感器，且用来扫描膜的照相机(12)；将扫描所得到的电荷信号变换为电压信号并根据电压信号分析膜的不良部分的分析单元(14)；存储用于区别膜的不良部分的大小的多个大小阈值的存储单元(16)；以及将所分析的电压信号与多个大小阈值进行比较，求出电压信号与哪个大小阈值相一致的比较器(18)。

Description

膜检查装置和膜检查方法

技术领域

本发明涉及检查在膜中构成的微小的不良、例如鱼眼(FE)等的膜检查装置和检查方法。

背景技术

在膜的制造时有时发生被称为鱼眼的微小的不良。鱼眼是由于在制造膜时膜的材料未完全地熔融或在该材料中混入了杂质而发生的(参照专利文献1)。

根据膜的使用用途，有时鱼眼损害膜的功能和外观。例如，有作为半导体晶片的切割用的薄片而使用的膜。当在该膜中有鱼眼的情况下，在膜上不能平坦地放置半导体晶片。有可能半导体晶片切割失败。

一般根据膜的使用用途决定所容许的鱼眼的大小或每单位面积的数目。因此，开发并公开了各种各样的检查鱼眼的装置(参照专利文献2～7)。这些装置用line-sensor对膜进行摄影，对用line-sensor得到的数据进行2值化等的图像处理来检出鱼眼。

在图33中表示图像处理的流程的一个例子。如果从line-sensor的数据检出异常，则从膜的行进方向计算异常部分的长度。如果该长度长，则是划伤等。在这样的情况下，判定为严重的缺陷点。如果该长度短，则进行是否是鱼眼的判定。如果不是鱼眼，则判定为噪声。如果是鱼眼，则求出大小，进行分类。

但是，以往的检查装置有时因line-sensor的分辨率的缘故而不能准确地计算鱼眼的大小。例如，如果鱼眼是微小的，则即使能确认鱼眼的存在，有时也不能准确地求出鱼眼的大小。在这样的情况下，不能进行是否是所容许的鱼眼的判断。即，存在图33的大小的n级分类被line-sensor的分辨率所制约的危险。

此外，由于膜的种类，鱼眼不形成在膜的表面上。在膜的内部形成鱼眼，即使用肉眼也难以确认鱼眼。在这样的情况下，难以对用line-sensor得到了的数据进行图像处理来发现缺陷点。

如果能得到关于鱼眼的数据，则也希望以各种各样的方式利用该数据。即，如果不单单能发现缺陷点，而且使用者在膜的使用时可简单地认识缺陷点的位置，则是便利的。

专利文献1：特开2001-150429号公报

专利文献2：专利第3224623号公报

专利文献3：专利第3224624号公报

专利文献4：特开平8-105842号公报

专利文献5：特开平6-82385号公报

专利文献6：专利第2736521号公报

专利文献7：特开2004-109069号公报

发明内容

本发明提供一种检查在制造膜时发生的鱼眼等缺陷点并可有效地利用检查后的数据的检查装置和检查方法。

本发明的检查装置是检出膜的不良的装置，包含：照相机，具有发出透过上述膜的光的光源和多个受光部排列成的传感器，用该传感器扫描上述膜；将用上述传感器扫描所得到的电荷信号变换为电压信号并从该电压信号分析膜的不良部分的单元；存储用于从上述电压信号区别膜的不良部分的大小的多个大小阈值的单元；以及将所分析的上述电压信号与上述多个大小阈值进行比较，求出该电压信号与哪个大小阈值相一致的单元。

本发明的检查装置可包含：存储扫描上述膜得到的上述膜的检查数据的存储单元；显示所扫描的上述膜的画面；在上述画面中指定所显示的上述膜的任意区域的区域指定单元；以及从上述存储单元中所存储的上述检查数据中抽取用上述区域指定单元所指定的上述区域的检查数据的抽取单元。

再者，本发明的检查装置可包含：卷绕上述膜的单元；在画面上指定上述膜被卷绕的状态的种类的卷绕状态指定单元；以及读出在上述存储单元中所存储的上述检查数据，并将在该检查数据中所包含的上述膜的检查时的缺陷点在上述膜上的位置信息变换为与用上述卷绕状态指定单元所指定的种类对应的位置信息的变换单元。

再者，本发明的检查装置可在上述光源与传感器之间包含分别配置在上述膜的上方和下方的偏振片。

本发明的检查方法是检出膜的不良的方法，包含：使光透过上述膜的步骤；用多个受光部排列成的传感器接受透过上述膜的光的步骤；根据所接受到的上述光来生成电压信号，并根据该电压信号分析不良部分的步骤；以及求出所分析的上述电压信号与多个大小阈值中的哪一个相一致的步骤。

本发明的检查方法可包含：存储以对上述膜进行摄像得到的图像数据为基础的上述薄片的检查数据的存储步骤；利用操作者的输入在画面上指定上述膜上的任意区域的区域指定步骤；以及从上述存储步骤中所存储的上述检查数据中抽取用上述区域指定步骤所指定的上述区域的检查数据的抽取步骤。

再者，本发明的检查方法可包含：卷绕上述膜的步骤；存储以对上述膜进行摄像得到的数据为基础的上述膜的检查数据的存储步骤；利用操作者的输入在画面上指定上述薄片被卷绕的状态的种类的卷绕状态指定步骤；以及读出在上述存储步骤中所存储的上述检查数据，并将在其中所包含的上述薄片检查时的缺陷点在上述薄片上的位置信息变换为与用上述卷绕状态指定步骤所指定了的种类对应的位置信息的变换步骤。

再者，本发明的检查方法可包含在上述光源与传感器之间在上述膜的上方和下方分别配置偏振片，并使光透过该偏振片的步骤。

按照本发明，将膜的鱼眼当作透镜那样地利用，用正常部分与不良部分的数据的差检测有无鱼眼。利用该差的值可知鱼眼的大小。此外，利用扫描了透过鱼眼的部分的光的次数也可判别鱼眼是否变为椭圆形。

此外，利用操作者的输入在画面上指定薄片上的任意区域，从检查数据中抽取了该所指定的区域的检查数据。因而，可将检查数据加工为便利性更高的数据。

进而，利用操作者的输入在画面上指定薄片被卷绕的状态的种类并将片的检查时的缺陷点在片上的位置信息变换为与上述所指定的种类对应的位置信息。由此，可将检查数据加工为便利性更高的数据。

附图说明

图1是表示关于与本实施方式有关的塑料膜检查和检查数据的加工的概略图。

图2是表示本发明的检查装置结构的框图。

图3是在膜中存在不良部分的情况下在信号电压中发生了异常部分的图。

图4是对信号电压进行了微分的图。

图5是对透过了不良部分的光是明亮的、不良部分的宽度窄的情况的信号电压进行了微分的图。

图6是对透过了不良部分的光是暗的、不良部分的宽度窄的情况的信号电压进行了微分的图。

图7是对透过了不良部分的光是明亮的、不良部分的宽度宽的情况的信号电压进行了微分的图。

图8是对透过了不良部分的光是暗的、不良部分的宽度宽的情况的信号电压进行了微分的图。

图9是对发生了噪声的情况的信号电压进行了微分的图。

图10是表示膜的不良部分的图，(a)是鱼眼的图，(b)是在膜中沾上了颜色的不良的图，(c)是在膜中带有的条纹形的伤痕的图，(d)是在膜中形成的大的缺陷点的图。

图11是判定鱼眼的大小的图，(a)是大小阈值1的情况的图，(b)是大小阈值2的情况的图。

图12是表示信号电压根据鱼眼的大小而不同的图，(a)是3个受光部接受透过了鱼眼的光的情况，(b)是5个受光部接受透过了鱼眼的光的情况。

图13是表示即使鱼眼的大小不同而信号电压也相同的情况的图，(a)是圆形的鱼眼，(b)是椭圆形的鱼眼。

图14是表示用于判定鱼眼的大小的流程的图。

图15是倾斜地扫描了鱼眼的情况的图，(a)是5个受光部接受透过了鱼眼的光的情况，(b)是7个受光部接受透过了鱼眼的光的情况。

图16是表示形成在膜的内部的鱼眼的图，(a)是剖面图，(b)是正面图。

图17是在膜的上方和下方配置了偏振片的图。

图18是表示可配置偏振片的结构的图，(a)是表示配置了偏振片的板的图，(b)是表示该板与照相机的位置关系的剖面图。

图19是与本实施方式有关的检查数据加工的流程图。

图20是表示在与本实施方式有关的检查数据加工装置的显示器上显示的画面的一个例子的图。

图21是与本实施方式有关的检查数据加工(1)的流程图。

图22是表示执行检查数据加工(1)中的画面的图。

图23是表示执行了检查数据加工(1)后的画面的图。

图24是表示在缺陷点图上被指定了的任意区域的一个例子的图。

图25是表示在缺陷点图上被指定了的任意区域的另一个例子的图。

图26是表示用图1的卷绕机卷绕的膜的图。

图27是表示图9的膜的缺陷点图的图。

图28是说明膜被卷绕的状态的种类中「下卷绕」和「上卷绕」的图。

图29是说明膜被卷绕的状态的种类中「反转上卷绕」的图。

图30是说明膜被卷绕的状态的种类中「反转下卷绕」的图。

图31是与本实施方式有关的检查数据加工(2)的流程图。

图32是表示与本实施方式有关的检查数据加工装置的功能块图。

图33是表示以往的鱼眼的检查方法的流程的图。

符号的说明

1：压出机

3：塑料膜(薄片的一个例子)

5：辊

7：卷绕机

9：光源

10：检查装置

11：主机

12：照相机

13：照相机驱动部

14：分析单元

16：大小阈值的存储单元

18：比较器

20：基准数的存储单元

22：比较单元

24：校正单元

26：微分单元

28：判定用阈值的存储单元

30：判定单元

32：测量长度的单元

34：不良部分的种类的判定单元

115：检查数据加工装置

117：画面

119：缺陷点图

121：缺陷点直方图

123：标记

125：按钮

127：复选框

129：图标

131、133、135：任意的区域

137：芯

139：缺陷点

141：芯

151：存储部

153：通信部

155：输入部

157：处理部

159：输出部

161：区域指定部

163：抽取部

165：卷绕状态指定部

167：变换部

169：图像显示部

171：纸输出部

具体实施方式

使用附图说明与本发明有关的膜检查装置和检查方法的实施方式。在本发明中被检查的膜(或称为薄片)是以半导体晶片的切割片为代表的各种各样的膜(或薄片)。除了用树脂等形成的膜以外，只要是使光透过的膜即可，可检查布或金属片等任意的膜。膜可以是卷绕成卷筒状的，也可以是单张状的。本发明特别用于检查鱼眼(FE)，但也可检查其它的缺陷点(或称为不良)。再有，图中有时用所存储的内容表示了各种各样的存储单元。此外，图3以后的各波形是一个例子，有时与实际不同。

如图1中所示，用辊5引导由压出机1连续成形的膜(包含塑料膜等)3。然后，用卷绕机7卷绕膜3，作成卷筒。若将膜3卷绕了规定的长度后，在宽度方向上切断膜3，完成一个卷筒。接着，开始新的卷筒的制作。在该生产线的规定部位上配置了膜检查装置10的照相机12和光源9。因而，就在卷绕膜的过程中检查膜。如果是单张的膜，则在膜运送中来检查。

再有，在图1中表示压出机，但即使用其它的机械制作膜，也能应用本发明。例如，用加热延伸、无延伸等制作膜的情况。

图2中表示的本发明的膜检查装置10包含：具有发出透过膜的光的光源和多个受光部排在一起的传感器，并用传感器扫描膜的照相机12；将用传感器扫描所得到的电荷信号变换为电压信号并从电压信号分析膜的不良部分的分析单元14；存储用于根据电压信号区别膜的不良部分的大小的多个大小阈值的存储单元16；以及比较所分析的电压信号与多个大小阈值以求出电压信号与哪个大小阈值一致的比较器(比较单元)18。再有，在上述的记载中，记载为照相机12具有光源和传感器，但也可将光源作为与照相机分开的独立的部分来处理。

由主机11控制膜检查装置10整体来工作。即，主机11对各种各样的单元发出指令。可将用主机得到了的检查数据，如在后面说明的那样，加工为便利性高的数据。

照相机12是line-sensor照相机，由照相机驱动部13进行控制。例如，可使用排列为1列的多个光电二极管作为受光部(传感器)。为了依次取出在这些光电二极管中蓄积了的电荷，使用CCD(电荷耦合器件)。上述的扫描是用受光部接受透过了膜的光。

照相机12的数目是多个，例如是4台，将这些照相机在膜3的上方且在膜3的宽度方向上配置成直线形状。在照相机12是1台的情况下，不能覆盖膜3的宽度方向上的全部。因此，设置4台照相机12，使各照相机12分担膜3的宽度方向的一部分，从而覆盖了膜3的宽度方向上的全部。

光源9与照相机12相对置，被配置在膜3的下方。光源9具有透过照明的功能。一边将来自光源9的光照射到膜3上，一边用照相机12的传感器接受透过了的光。将接受光所得的数据发送给膜检查装置10。膜检查装置10根据该数据生成膜3的检查数据。再有，该数据包含在图3等中表示的数据。

分析单元14是求出在电压信号中是否有异常信号的单元。该单元由电路、软件或其两者构成。透过不良部分的光成为如图3中所示那样突出了的电压(异常信号)。这是由于例如鱼眼起到作为透镜的作用，聚光在光电二极管上的缘故。通过检测异常信号，可求出不良部分的存在。

存储大小阈值的存储单元16是在计算机等中使用的硬盘或存储器等的存储数据的单元。

对于各阈值来设置比较器18。求出所分析的电压信号与哪个大小阈值一致。由此，可求出膜的不良部分的大小。再有，比较器18也可使电压信号2值化来处理该电压信号。

如果用1次扫描形状判断就可判断为缺陷点，则在长度测量中打开门电路，用比较器18保持比较的结果，发送给校正单元24。图中的门电路19a、保存电路19b、大小19c的块表示了上述的数据的流动。

与以往不同，可利用电压信号求出大小。也可对由照相机12的分辨率所限制的不良部分大小进行分类。

本发明的膜检查装置10包含：存储为了区别膜的不良部分的大小而设定的基准数的存储单元20；比较扫描了不良部分的受光部的数目与基准数的单元22；以及通过比较求出受光部的数目是否比基准数多的校正单元24。

基准数是扫描了透过不良部分的光的次数。有时鱼眼是圆形或是椭圆形都成为相同的电压信号。可认为这是由于电压信号与扫描鱼眼的方向的宽度成比例。在该情况下，即使不良部分的大小不同，也判定为大小相同。因此，设定基准数，例如，如果扫描了不良部分的次数比基准数多，则增大不良部分的大小。

存储基准数的存储单元20是在计算机等中使用的硬盘或存储器等的存储数据的单元。

校正单元24由电路、软件或其两者构成。校正单元，如上所述，例如如果扫描了不良部分的次数大于等于基准数，则增大不良部分的大小。作为增大不良部分的大小的方法的一个例子，变更为比用比较器18求出了的大小大1个的大小、即大1个大小阈值的大小。

即使在膜的制造时鱼眼在膜的拉出方向上流动(即使椭圆形的长轴朝向拉出的方向)，也能将鱼眼分类为适当的大小。

对于每个大小阈值使基准数不同。这是因为接受透过了该鱼眼的光的受光部的数目因鱼眼的大小而不同。

本发明包含在使光透过膜时，使膜在制造时的膜的拉出方向上移动的膜运送装置。椭圆形的鱼眼的长轴为相对于膜的移动方向为相同的方向。这是由于在膜的制造时鱼眼在膜的拉出方向上流动。因而，如果扫描了不良部分的次数大于等于基准数，则校正单元24进行将不良部分的大小分类提高1个等级等使大小的分类增大。

分析单元14包含：对电压信号进行微分的微分单元26；存储用于判定是否是膜的不良部分的判断用阈值的存储单元28；以及比较所微分的电压信号与判断用阈值以判定是否是膜不良的判定单元30。

微分单元26由电路、软件或其两者构成。通过对电压信号进行微分，可使正常部分与不良部分的差从绝对的差变为相对的差。通过变为相对的差，可不考虑因膜引起的光透过的差别。

存储判断用阈值的存储单元28与其它的存储单元同样，是在计算机等中使用的硬盘或存储器等的存储数据的单元。

判定单元30是若所微分的电压信号中的异常信号比判断用阈值大或小就判定为不良的单元。与其它的单元同样，判定单元由电路、软件或其两者构成。

膜检查装置10包含：根据扫描了膜的不良部分的次数、扫描的时间间隔和膜的移动速度求出不良部分的长度的单元32；以及根据不良部分的长度和所微分的电压信号的波形形状对不良部分的种类进行分类的单元34；此外，包含根据所微分的信号的波形判断1次扫描的波形形状的单元31。

膜检查装置10的膜的扫描的时间间隔是恒定的，可根据扫描了的次数和膜的移动速度求出不良部分的长度。再有，每单位长度的受光部的数目成为膜的宽度方向的分辨率。此外，利用扫描的时间间隔和膜的移动速度可求出膜的移动方向的分辨率。本发明不会因该分辨率而影响不良部分的大小的判定。

不良部分不仅包含鱼眼，而且也包含颜色不同的缺陷点或伤痕。可根据所微分的信号的波形，如图5～8中所示，将从1次扫描的信号得知的不良分类为4种。根据该分类和不良部分的长度可判断不良部分的种类。再有，在膜检查装置10的任意的存储单元中预先存储了各种各样的波形。

此外，如果最终将不良部分的形状在计算机的显示器等上显示，则设置缺陷点图像生成单元35。设置编码器，将膜的X方向和Y方向的同步信号输入到缺陷点图像生成单元35中，与该信号同步地生成缺陷点图像。膜的X方向和Y方向是膜的宽度方向和行进方向。

也可存储膜上的缺陷点的位置。利用膜的移动速度、检测了缺陷点的时间、用哪个传感器检测了缺陷点可求出缺陷点的位置。在后面说明该数据的利用。

再者，也可在膜检查装置10中设置对利用上述的各单元而检测出了的鱼眼的数目进行计数的单元。判别在膜中形成了的鱼眼的数目是否是容许范围的鱼眼数目。也可在检查装置10中设置自动地进行该判别的单元(电路和/或程序)。此外，也可在检查装置10中设置按每单位面积对鱼眼的数目进行计数的单元(电路和/或程序)。进而，也可对每种鱼眼的大小进行上述的鱼眼的数目的计数，也可在检查装置10中设置用于该目的的单元(电路和/或程序)。

其次，说明使用了上述的膜检查装置10的膜检查方法。

检查方法包含以下的(1)～(4)步骤。(1)使光透过膜。(2)用多个受光部排列成的传感器接受透过了膜的光。(3)根据所接受的光生成电压信号，由电压信号分析不良部分。(4)求出所分析的信号与多个大小阈值中的哪一个相一致。

在(1)的步骤中，一边使膜移动，一边进行该步骤。这是因为传感器的种类是line-sensor。只要是传感器依次扫描膜即可，可移动传感器来代替移动膜。

在(2)的步骤中接受了光时，如果在膜中有不良部分，则在(3)的步骤中如图3中所示那样在电压信号中发生了突出的部分。根据该突出的部分可知在膜中有不良部分。

(3)的分析包含对电压信号进行微分的步骤和比较所微分的电压信号与判断用阈值以判定是否是膜不良的步骤。

如图3中所示，通过对电压信号进行微分，将不良部分与正常部分的电压的差从绝对值变更为相对值。除去了因膜的差别引起的光的透射率等差别的影响。

判断用阈值，如图4中所示，设定上限值和下限值。如果在所微分的电压信号中有超过判断用阈值的上限值或打破下限值的部位，则判定为有不良部分。

由于膜的不良部分不仅是鱼眼，故也有必要对不良的种类进行分类。因此，检查方法包含根据接受了透过膜的不良部分的光的次数(扫描次数)、接受光的时间间隔和膜的移动速度求出不良部分的长度的步骤和根据不良部分的长度和所微分的电压信号的波形形状对不良部分的种类进行分类的步骤。

由于传感器每隔一定时间接受光，故可根据接受了不良部分的光的次数和膜的移动速度求出不良部分的长度。

所微分的电压信号的波形根据不良部分的种类而不同。例如，在图5～8中表示因不良部分的种类引起的波形的差别。图5表示透过了不良部分的光是明亮的、宽度窄的情况，如果不良部分的长度短，则是鱼眼(参照图10(a))。图10(a)表示了在膜50中有鱼眼52a。如果是鱼眼，则进行上述(4)的步骤。

图6表示透过了不良部分的光是暗的、宽度窄的情况。该不良部分是由因在膜的精制时混入了的杂质而在膜中发生了的着色引起的不良(参照图10(b))。图10(b)表示了在膜50中有被着色的不良52b。即使是这样的不良，也可转移到上述(4)的步骤，进行大小的分类。

如果透过了不良部分的光的亮度是明亮的或暗的、不良部分的宽度是窄、不良部分的长度长，则判定为图10(c)那样的条纹状的不良52c。不转移到上述(4)的步骤，或即使转移了，大小的值也定为无效。这是由于如果是条纹状的不良，则在大部分情况下在几mm中连续地发生，故有时不能计算出面积。

图7表示透过了不良部分的光是明亮的、宽度宽的情况。图8表示透过了不良部分的光是暗的、宽度宽的情况。如果透过了不良部分的光的亮度是明亮的或暗的、不良部分的宽度宽、不良部分的长度长，则判定为不良部分非常大(参照图10(d))。图10(d)表示在膜50中有大的缺陷点52d。不转移到上述(4)的步骤，或即使转移了，大小的值也定为无效。

如图11(a)、(b)中所示，通过求出在上述(4)的步骤中所分析的信号与哪个大小阈值一致，可求出不良部分的大小。再有，在所微分的信号电压的值的最大值为大小阈值n以上但小于n+1的情况下，定为与大小阈值n一致(n是大于等于1的整数)。即，求出不良部分的大小时的大小阈值成为具有一定的宽度的值。如果是图11(a)，则由于在大小阈值1与2之间具有所微分的信号电压，故是与大小阈值1一致。上述的大小阈值的宽度和大小阈值的数目是任意的。根据在鱼眼的检查中所求出的精度等来决定大小阈值的宽度和大小阈值的数目。

再有，不会发生光的亮度明亮或暗、不良部分的宽度宽、不良部分的长度短的情况。此外，如果是图9那样的波形，就判定为噪声，忽略该信号来进行以后的处理。噪声只用1次扫描就可判定，但也可根据几次扫描的信号来判定，可提高判定为噪声的精度。

关于上述(4)的步骤，在存储单元16中预先存储多个大小阈值。该大小阈值如上所述，具有一定的宽度。如图11(a)、(b)中所示，通过求出所微分的电压信号进入哪个大小阈值的范围，可简单地求出不良部分的大小。

如上所述，使用所微分的电压信号来判定不良部分的大小，而不受传感器的分辨率的影响。可判定在以往因传感器的分辨率的缘故不能判定的不良部分的大小。

在用加热延伸制造了膜时，有时鱼眼成为椭圆形。在该情况下，只用上述的步骤有可能错误地进行大小的判定。如图12(a)、(b)中所示，电压信号根据传感器扫描的鱼眼52a的宽度而变化。如图13(a)、(b)中所示，如果是在传感器扫描的方向上相同的宽度的鱼眼52a，则是圆形也好、是椭圆形也好，最大的信号电压都是相同的。可认为这是由于信号电压的大小受到鱼眼52a的扫描的宽度方向的影响。因而，将椭圆形的鱼眼52a判定为比实际的大小小。因此，本发明的检查方法在上述(4)的步骤后包含比较接受了透过不良部分的光的受光部的数目与基准数的步骤。如果上述的数目比基准数多，则成为大1个的大小阈值的大小。如果简单地表示大小的分类的流程，则如图14中所示。图14是重新表示了在现有技术中表示了的图33的大小的n级分类。再有，在图12、13中，用圆包围了的数字表示扫描次数，纵轴是电压，横轴为时间，排列地表示了各受光部以怎样的方式变化。扫描的方向是图中的箭头的方向，膜的行进方向是相对箭头垂直的方向。

此外，在使光透过膜时，使膜在膜制造时的拉出方向上移动。通过使长轴与膜的移动方向一致，如果是椭圆形，则与圆形的鱼眼相比，扫描透过了鱼眼的光的次数变多。因而，利用上述的比较的步骤，可将鱼眼的大小判定为大1个的大小。

对于每个大小阈值使基准数不同。这是因为鱼眼的大小不同。

如上所述，本发明可不受传感器的分辨率的影响地判定鱼眼的大小。即使鱼眼是椭圆形，也能对大小进行分类。

最后根据需要生成不良部分的图像，并在计算机的显示器等上显示。将对信号电压进行了微分的信号作为缺陷点信号而输入到图像生成单元35中，与X方向和Y方向的同步信号同步地生成图像。该图像，如后面说明的那样，也可作为检测出的数据来利用。

此外，本发明的检查方法也可包含对用上述的步骤检测出的鱼眼的数目进行计数的步骤。这是因为鱼眼的容许数目根据膜的使用目的等而不同。也可包含按每单位面积对鱼眼的数目进行计数的步骤。进而，也可对每种鱼眼的大小进行上述的鱼眼的计数。

以上说明了本发明的实施方式，但本发明不限定于上述的实施方式。例如，在膜是单张的、在使光透过膜时，也可相对加热延伸时的拉出方向沿倾斜方向上使膜移动。通过在倾斜方向上使膜移动，使圆形和椭圆形的鱼眼的电压信号不同。因而，可不进行对接受了透过不良部分的光的受光部的数目与基准数进行比较的步骤。在该情况下，如图15(a)、(b)中所示，由于在圆形的鱼眼和椭圆形的鱼眼中信号电压的大小不同，故可直接将大小输入到主机中而不包含比较的单元或校正单元。

此外，即使是将膜卷绕成卷筒的情况，通过使照相机的受光部的排列对于膜的移动方向相对地倾斜，从而成为与图15相同。

根据膜的种类或制造方法，有时在膜的内部埋入了鱼眼。即，如图16(a)、(b)中所示，膜3的材料变得不均匀，如图中的符号52e的部分那样，仅仅在一部分中固定了的情况。在这样的情况下，在目视膜3中不能识别鱼眼52e，而且存在只是使光透过膜3而不能很好地检测的危险。因此，设置了检测这样的鱼眼52e的单元。

其次，说明用于该检测的单元。如图17中所示，作为该单元，在光源9与传感器12s之间且在膜3的上方和下方分别配置偏振片60。使偏振片60的平面与膜3的平面平行。偏振片60使用进行直线偏振光、圆偏振光、椭圆偏振光的某一种偏振片。2片偏振片60的种类使用相同的。

以直线偏振光的偏振片60为例，说明可检查的原理。图17的偏振片60和膜3的箭头是光的振动方向。利用第1片偏振片60使光源9的光只成为与偏振轴相同方向的振动分量的光。只使振动方向一致的光照射到膜3上。对于用高分子构成的膜3来说，如果高分子的长轴一致，则入射到膜3上的光一边在相同的方向上双折射一边行进。但是，如果存在鱼眼时，则只在该部分中双折射的方向不同。因而，另1片偏振片60可只使透过了鱼眼的部分的光(或与其相反)透过。由于用传感器12s接受该光，故可判别鱼眼。

在至少一方的偏振片60中设置使偏振片60旋转的机构。这是因为通过膜3而双折射的方向不同，有必要变更偏振片60的偏振轴的方向。

也可设置使偏振片60移动的单元。这是因为根据膜3的种类而是否需要偏振片60这一情况将发生变化。例如，如图18(a)那样使偏振片60和玻璃62在板64上交替地排列。玻璃62使全部的波长的光透过。此外，也可在该部分中不设置任何构件来代替玻璃62。如图18(b)所示那样，照相机12的数目是4台。在进入照相机12的透镜的像角的位置和不进入的位置上设置使偏振片60滑动的机构。此外，对膜3的下侧的偏振片60也设置进行滑动的机构，根据需要在膜3的下方配置偏振片60。

光若透过偏振片60则其光量减少。因而，为了弥补因偏振片60引起的光减少量，设置用于提高光量的单元。例如，设置使光源上下移动的机构。在使用偏振片60时光源9接近膜3。在不使用偏振片60时光源9远离膜3。此外，也可设置新的光源9，在使用偏振片60时，将该光源9滑动到膜3下的附近配置。

也可利用1个按钮控制使偏振片60移动的单元和提高光源9的光量的单元。在利用偏振片60时，在偏振片60移动的同时使光源9接近膜3。在不利用偏振片60时，在偏振片60移动的同时使光源9远离膜3。

通过利用偏振片60，连不能检查的膜也可检查。此外，通过可选择有无偏振片60，而成为通用性高的检查装置。

进而，如果能以各种各样的方式利用在上述的过程中检测出的数据，则是便利的。以下说明该数据的利用。

在图1中表示了的膜检查装置10上连接了检查数据加工装置115。将检查数据发送给检查数据加工装置115，在该处加工成便利性更高的数据。

但是，根据膜的利用者的要求，有时对用卷绕机7卷绕了的膜作进一步的处理。例如，如果用截断处理来说明，则一边卷绕作成卷筒的膜，一边沿膜的长度方向切断、分割膜，分别卷绕所分割的膜，作成卷筒。由此对顾客提供所希望的宽度的膜。

之所以在图1中表示的从压出机1到卷绕机7的流水线上不进行截断处理，主要是根据以下的(1)～(3)的原因。(1)这是为了对顾客提供以恒定的张力使卷筒端一致地卷绕成的卷筒。为此，需要多个棍或停止了卷绕的状态，但从压出机开始膜被连续地成形，不能停止膜的卷绕。(2)这是为了防止膜松弛。如果将紧接从压出机出来之后的膜以恒定的张力使卷筒端一致地进行卷绕，则因膜的卷绕勒紧等原因，膜发生松弛。为了防止该现象，对于从压出机出来的膜，忽略卷绕偏移，粗略地卷绕，作成卷筒，在对其进行了老化处理后，在截断处理时以恒定的张力使卷筒端一致地进行卷绕。(3)由于膜的宽度根据顾客而不同，故制作大的宽度的膜，根据顾客的要求对膜进行截断处理的作法是高效的。

以上说明了截断处理作为膜的处理，但除此以外，例如有在膜上形成新的层以形成多层膜的处理。

检查数据是涉及处理前的膜的数据，如果将其按原样应用于处理后的膜，则对于处理后的膜来说，不能容易地掌握膜上的缺陷点的位置或分布。因此，在本实施方式中，使用检查数据加工装置115将检查数据加工成便利性更高的数据，即使对于处理后的膜，也能容易地掌握膜上的缺陷点的位置或分布。

以将膜卷绕成卷筒状的情况为例，详细地说明检查数据的加工。图19是其流程图。首先，读入检查数据(步骤S1)。检查数据包含产品编号、批次号、检查开始·结束时刻、膜宽度、膜长度、原始缺陷点信息等，对于各卷筒来作成上述信息。

所谓原始缺陷点信息，是关于处理前的膜、即用图1的卷绕机7卷绕所得到的膜的缺陷点的信息。具体地说，对于所发现的各缺陷点，由发现时刻(例如2005年2月4日15时4分)、大小(例如，分类为大、中、小、极小中的某一类)、膜上的位置(例如，膜长度方向的位置125.8m、膜宽度方向的位置41.3mm)等构成。

其次，在排列A中存储检查数据中的原始缺陷点信息(步骤S3)。然后，在排列B中存储显示用缺陷点信息(步骤S5)。所谓显示用缺陷点信息是为了在画面上显示后述的缺陷点图或缺陷点直方图而使用的信息。在紧接读入了检查数据之后的初始状态下，在排列B中按原样存储原始缺陷点信息作为显示用缺陷点信息。

然后，在图1的检查数据加工装置115的监视器上显示包含作为编辑了检查数据的数据的缺陷点图或缺陷点直方图的画面(步骤S7)。图20是表示该画面117的一个例子的图。缺陷点图119表示了缺陷点的膜上的位置。纵轴是膜长度方向(m)、横轴是膜宽度方向(mm)。将缺陷点的大小分类为大、中、小、极小。缺陷点直方图121表示了膜上的缺陷点的分布，由膜宽度方向和膜长度方向的分布构成。

这里的缺陷点是被称为鱼眼的缺陷点，但也可显示除此以外的缺陷点(例如，虫、针孔)。既可对于每种缺陷点来显示，也可同时显示全部的缺陷点。鱼眼是由于在膜的制造时膜的材料未完全地熔融或在该材料中混入了杂质而发生的(参照专利文献1)。

将画面上的标记123、按钮125和复选框127在检查数据加工(1)中利用(步骤S9)，在检查数据加工(2)中利用图标129(步骤S11)。其次，说明检查数据加工(1)、(2)。

检查数据加工(1)是所谓的修整(trimming)。对于膜上的任意的区域的缺陷点，生成缺陷点图或缺陷点直方图。使用图20～图23说明这一点。图21是检查数据加工(1)的流程图。图22是表示检查数据加工(1)的执行中的画面117的图。图23是表示执行了检查数据加工(1)后的画面17的图。

初始状态是图20中表示的画面117。处理前的膜，例如宽度1200mm、长度150m。在用截断处理对该膜进行了二等分的情况下，为了得到关于其中一个膜上的缺陷点的编辑数据(缺陷点图、缺陷点直方图等)，进行以下的操作。

首先，操作者点击按钮125，在画面117上显示修整设定窗口(未图示)。在该窗口中设定修整范围、即任意的区域。这里的任意的区域是与上述一个膜对应的区域。例如，在区域是从膜宽度方向600mm至1200mm、膜长度方向5m至150m的情况下，输入并确定这些数字。由此，如图22中所示，在画面117上指定任意的区域131(步骤T1)。

也可用鼠标在缺陷点图119上拖动从而指定任意的区域131来代替输入数字。之所以删除了小于等于膜长度方向5m的部分，是因为由于是膜的开始卷绕的部分，故缺陷点多，不能使用。在此用5m来说明，但不一定限于此。

判断是否在缺陷点图119中对任意的区域131、即修整范围进行全画面显示(步骤T3)。如果没有在修整范围全画面显示复选框127中输入选中，则检查数据加工(1)结束。如果输入了选中，则从在图19的步骤S1中读入了的检查数据中抽取任意的区域131的检查数据(步骤T5)。具体地说，从在图19中说明了的排列A中所存储的原始缺陷点信息中选择任意的区域131的原始缺陷点信息。

关于所选择的原始缺陷点信息，就膜宽度方向，对各缺陷点的缺陷点图119上的位置进行再计算，将其结果存储在图19中说明了的排列B中(步骤T7)，然后关于膜长度方向，对各缺陷点的缺陷点图上的位置进行再计算，将其结果存储在排列B中(步骤T9)。

所谓步骤T7的再计算，是在排列A中所存储的缺陷点的膜宽度方向的位置-宽度的下限值。另一方面，所谓步骤T9的再计算，是在排列A中所存储的缺陷点的膜长度方向的位置-长度的下限值。例如，区域131设为膜宽度方向600mm至1200mm、膜长度方向5m至150m的范围，某个缺陷点的膜宽度方向的位置设为980.5mm、膜长度方向的位置设为19.5m。

再计算出的缺陷点的膜宽度方向的位置是980.5mm-600mm＝380.5mm，膜长度方向的位置成为19.5m-5m＝14.5m。再有，关于确定宽度或长度的下限值，由于区域可任意地被取得，故例如在图24中表示的那样的区域133中，用符号A表示的部分成为宽度的下限值，用符号B表示的部分成为长度的下限值。

在步骤T9后，如图23中所示，在画面117上显示作为对用检查数据加工(1)加工出的检查数据进行编辑得到的数据的缺陷点图119、缺陷点直方图121(步骤T11)。在图23的画面117中，在缺陷点图119中对区域131进行全画面显示，显示了关于区域131上的缺陷点的缺陷点直方图121。再有，也可用纸输出在画面117上显示的内容来代替在画面117上显示。

如上所述，根据检查数据加工(1)，通过将检查数据加工为便利性更高的数据，即使对于截断处理后的膜，也可容易地掌握膜上的缺陷点的位置或分布。此外，关于不作为膜利用的部分(在此是膜长度0～5m的部分)的缺陷点，使用加工被删除。因而，可得到更准确的编辑数据。

在缺陷点图119上对任意的区域131进行了全画面显示，但不一定限定于此。例如，在图22中，也可指定任意的区域131，缺陷点图119在按照原样状态下，对存在于任意的区域131上的缺陷点作成缺陷点直方图121。

再有，也可在画面上设定多个任意的区域。例如，在设定了四个任意区域的情况下，如果点击与各区域对应的标记123，则转换为关于该区域的画面。

可自由地设定任意区域的形状。例如，如图25中所示，区域135可以是圆形的。

其次，说明检查数据加工(2)。在检查数据加工(2)中，根据膜被卷绕的状态的种类校正缺陷点的膜上的位置信息，生成缺陷点图或缺陷点直方图。在膜被卷绕的状态的种类中，有下卷绕、上卷绕、反转上卷绕、反转下卷绕，首先说明这些种类。

图26是表示用图1的卷绕机7卷绕了的膜3的图，图27是表示该膜3的缺陷点图119的图。在卷绕机7中，将芯137置于膜3之上地卷绕例如宽度1200mm、长度150m的膜3，用缺陷点图119的坐标(1000mm、149m)表示的缺陷点139假定存在于膜3上。这是膜3的检查时的缺陷点在膜上的位置信息，包含在检查数据中。将图26中表示的膜3称为「下卷绕」。

如果将图28(a)的「下卷绕」的膜3卷绕出来，则膜3如图28(b)所示那样被展开。由于膜3上的缺陷点139的位置(1000mm、149m)与图27的缺陷点图119上所表示的缺陷点的位置相对应，故可按原样使用图27中表示的缺陷点图119。

以使膜3的表面背面相反的方式将「下卷绕」的膜3重复拉出的状态是图28(c)中表示的「上卷绕」的膜3。如果将「上卷绕」的膜3卷绕出来，则膜3如图28(d)所示那样被展开。缺陷点139位于(200mm，149m)。与图28(b)相比，缺陷点139的位置改变了。于是，图28(d)的膜3上的缺陷点139的位置不与图27的缺陷点图119上表示了的缺陷点的位置相对应。有必要加工图27中表示的缺陷点图119。

如图29(a)中所示，如果将芯141设在下方，卷绕「下卷绕」的膜3，则成为「反转上卷绕」的膜3。如果将该膜3从图29(b)的状态如图29(c)所示那样展开，则由于缺陷点139的位置(1000mm，1m)与迄今为止的位置不同，故有必要加工图27中表示的缺陷点图119。

如图30(a)中所示，将芯141设在上方，卷绕「下卷绕」的膜3的情况是「反转下卷绕」的膜3。如果将该膜3从图30(b)的状态如图30(c)所示那样展开，则缺陷点139的位置(200mm，1m)与迄今为止的位置不同。即使对于这种情况，也有必要加工图27中表示的缺陷点图119。

再有，之所以除了「下卷绕」外还存在「上卷绕」、「反转上卷绕」、「反转下卷绕」，是基于以下的原因。例如，使用者的装置有时不与「下卷绕」相对应，而是与「上卷绕」相对应。此外，在膜上新形成层的情况下，根据层的特性，而选择「反转上卷绕」或「反转下卷绕」。

图31是检查数据加工(2)的流程图。在检查数据加工(2)中，以「下卷绕」的膜为基准。在膜是「上卷绕」、「反转上卷绕」、「反转下卷绕」的情况下，与上述类型相对应地变换缺陷点的膜上的位置信息。

首先，使用者在图20中表示的画面117中从「下卷绕」、「上卷绕」、「反转上卷绕」、「反转下卷绕」的图标129中点击与膜被卷绕的状态的种类对应的图标129，在画面17上指定膜被卷绕的状态的种类(步骤U1、U3、U5)。

在「上卷绕」的情况下，如下述那样来处理。如果将图28(d)中表示的「上卷绕」的展开图与图28(b)中表示的「下卷绕」的展开图比较，则缺陷点139的膜长度L方向的位置是相同的，但膜宽度W方向的位置不同。因而，关于膜宽度W方向，对各缺陷点的缺陷点图上的位置进行再计算(位置信息的变换)，将其结果存储在图19中说明了的排列B中(步骤U7)。所谓步骤U7的再计算，是膜宽度的值-在排列A中所存储的缺陷点的膜宽度方向的位置。在步骤U7后，在画面上显示缺陷点图、缺陷点直方图(步骤U9)。

在「反转上卷绕」的情况下，如下述那样来处理。如果将图29(c)中表示的「上卷绕」的展开图与图28(b)中表示的「下卷绕」的展开图比较，则缺陷点139的膜宽度W方向的位置未变化，但膜长度L方向的位置变化了。因而，关于膜长度L方向，对各缺陷点的缺陷点图上的位置进行再计算(位置信息的变换)，将其结果存储在图18中说明了的排列B中(步骤U11)。所谓步骤U11的再计算，是膜长度的值-在排列A中所存储的缺陷点的膜长度方向的位置。在步骤U11后，在画面上显示缺陷点图、缺陷点直方图(步骤U9)。

在「反转下卷绕」的情况下，如图30(c)的展开图中所示，图28(b)中表示的「下卷绕」的情况，与缺陷点39的膜宽度W方向、膜长度L方向中的哪一个都不同。因而，在步骤U13中进行了与步骤U7相同的处理，在步骤U15中进行了与步骤U11相同的处理之后，在画面上显示缺陷点图、缺陷点直方图(步骤U9)。

如以上说明了的那样，按照检查数据加工(2)，通过将检查数据加工为便利性更高的数据，即使将「下卷绕」的膜作成「上卷绕」、「反转上卷绕」、「反转下卷绕」的膜，也可调整缺陷点图或缺陷点直方图，可容易地掌握膜上的缺陷点的位置或分布。

以被检查数据加工(1)、(2)加工的检查数据为基础的膜的图像数据是在用压出机对膜进行连续成形、卷绕的工序中进行摄像得到了的数据。在该工序中一般来说进行摄像。其原因是，由于在上述工序后进行截断处理、膜形成处理、改变卷绕长度的处理(例如，根据需要将全长100m的膜重新卷绕成20m)等与膜的用途对应的处理，故将得到图像数据的部位统一为源头的作法，对于图像数据的使用方便来说是较好的。

再有，图像数据也可以是在上述工序后进行摄像得到的数据。例如，是在膜上形成膜以作成多层膜的工序中摄像的数据。即使对多层膜进行截断处理，通过应用检查数据加工(1)、(2)，从而对于截断处理后的膜，也可容易地掌握膜上的缺陷点的位置或分布。

其次，说明与本实施方式有关的检查数据加工装置115的结构的一个例子。图32的检查数据加工装置115由存储部151、通信部153、输入部155、处理部157和输出部159构成。

在存储部151中，存储经通信部153从图1的膜检查装置10发送来的基于对膜进行摄像得到了的图像数据的膜的检查数据。此外，在存储部151中存储对于检查数据的加工或编辑为必要的程序。在存储部151中包含在图18、图21和图31中说明了的排列A、排列B。利用硬盘、存储器等来实现存储部151。利用通信用硬件或程序来实现通信部153。

利用鼠标、键盘等来实现输入部155。在输入部155中，进行用于在画面上指定膜上的任意区域或在画面上指定膜被卷绕的状态的种类的输入。

处理部157例如用CPU来实现，执行用于检查数据加工的处理。用处理部157的区域指定部161和抽取部163执行检查数据加工(1)的处理。区域指定部161利用操作者的输入在画面上指定膜上的任意的区域。抽取部163从在存储部151中所存储的检查数据中抽取用区域指定部161指定了的区域的检查数据。

用处理部157的卷绕状态指定部165和变换部167执行检查数据加工(2)的处理。卷绕状态指定部165利用操作者的输入在画面上指定膜被卷绕的状态的种类。变换部167读出在存储部151中存储了的检查数据。将检查该数据中包含的膜时的缺陷点在膜上的位置信息变换为与用卷绕状态指定部165所指定的种类对应的位置信息。

输出部159用图像显示部169和纸输出部171构成。图像显示部169是显示图20、图22或图23中表示的画面117的监视器。在图像显示部169中显示对用检查数据加工(1)、(2)所加工了的检查数据进行编辑所得的编辑数据(缺陷点图、缺陷点直方图等)。纸输出部171将在图像显示部169中显示的内容打印出来。图像显示部169由LCD、CRT等来实现。纸输出部171由打印机来实现。

再有，与本实施方式有关的检查数据加工程序使计算机执行图19、图21和图31中表示的各步骤。而且，通过使计算机起到图32中表示的各块的功能，可得到和与上述的本实施方式有关的检查数据加工装置或检查数据加工方法同样的效果。可将上述程序存储并分发给光盘等可进行计算机读取的存储介质中，也可用互联网等来分配。

如果在该程序中包含检查数据，则检查数据加工装置即使不与膜检查装置进行网络连接，也能进行检查数据的加工。

除此以外，在不脱离本发明的主旨的范围内，可根据从业者的知识以附加了各种各样的改良、修正、变更的形态来实施本发明。

Claims (15)

1.一种检查膜的不良的膜检查装置，其特征在于，包含：

照相机，具有发出透过上述膜的光的光源和多个受光部排列成的传感器，用该传感器扫描上述膜；

将用上述传感器扫描所得到的电荷信号变换为电压信号并从该电压信号分析膜的不良部分的单元；

存储用于从上述电压信号区别膜的不良部分的大小的多个大小阈值的单元；以及

将所分析的上述电压信号与上述多个大小阈值进行比较，求出该电压信号与哪个大小阈值相一致的单元。

2.如权利要求1中所述的膜检查装置，其特征在于，包含：

存储用于区别上述膜的不良部分的大小的基准数的单元；以及

将扫描上述不良部分的次数与基准数进行比较，求出该次数是否是基准数以上的单元。

3.如权利要求2中所述的膜检查装置，其特征在于：

上述进行分析的单元包含：

对上述电压信号进行微分的单元；

存储用于判定是否是上述膜的不良部分的判断用阈值的单元；以及

将所微分的上述电压信号与判断用阈值进行比较，判定是否是膜不良的单元。

4.如权利要求3中所述的膜检查装置，其特征在于，包含：

根据扫描上述膜的不良部分的次数、扫描间隔和膜的移动速度求出不良部分的长度的单元；以及

根据上述不良部分的长度和上述所微分的电压信号的波形对不良部分的种类进行分类的单元。

5.如权利要求4中所述的膜检查装置，其特征在于，包含：

存储扫描上述膜得到的上述膜的检查数据的存储单元；

显示所扫描的上述膜的画面；

在上述画面中指定所显示的上述膜的任意区域的区域指定单元；以及

从上述存储单元中所存储的上述检查数据中抽取用上述区域指定单元所指定的上述区域的检查数据的抽取单元。

6.如权利要求5中所述的膜检查装置，其特征在于，包含：

卷绕上述膜的单元；

在画面上指定上述膜被卷绕的状态的种类的卷绕状态指定单元；以及

读出在上述存储单元中所存储的上述检查数据，并将在该检查数据中所包含的上述膜的检查时的缺陷点在上述膜上的位置信息变换为与用上述卷绕状态指定单元所指定的种类对应的位置信息的变换单元。

7.如权利要求6中所述的膜检查装置，其特征在于：

在上述光源与传感器之间包含分别配置在上述膜的上方和下方的偏振片。

8.一种检查膜的不良的膜检查方法，其特征在于，包含：

使光透过上述膜的步骤；

用多个受光部排列成的传感器接受透过上述膜的光的步骤；

根据所接受到的上述光来生成电压信号，并根据该电压信号分析不良部分的步骤；以及

求出所分析的上述电压信号与多个大小阈值中的哪一个相一致的步骤。

9.如权利要求8中所述的膜检查方法，其特征在于，包含：

设置针对上述每个大小阈值而不同的基准数，并将接受了透过上述不良部分的光的受光部的数目与基准数进行比较的步骤。

10.如权利要求9中所述的膜检查方法，其特征在于：

上述膜利用加热延伸来制造，包含在使光透过膜时使膜在加热延伸时的拉出方向或其倾斜方向上移动的步骤。

11.如权利要求10中所述的膜检查方法，其特征在于：

上述进行分析的步骤包含：

对上述电压信号进行微分的步骤；以及

将所微分的上述电压信号与判断用阈值进行比较，判定是否是膜不良的步骤。

12.如权利要求11中所述的膜检查方法，其特征在于，包含：

根据接受了透过上述膜的不良部分的光的次数、受光间隔和膜的移动速度求出不良部分的长度的步骤；以及

根据上述不良部分的长度和上述所微分的电压信号的波形对不良部分的种类进行分类的步骤。

13.如权利要求12中所述的膜检查方法，其特征在于，包含：

存储以对上述膜进行摄像得到的图像数据为基础的上述薄片的检查数据的存储步骤；

利用操作者的输入在画面上指定上述膜上的任意区域的区域指定步骤；以及

从上述存储步骤中所存储的上述检查数据中抽取用上述区域指定步骤所指定的上述区域的检查数据的抽取步骤。

14.如权利要求13中所述的膜检查方法，其特征在于，包含：

卷绕上述膜的步骤；

存储以对上述膜进行摄像得到的数据为基础的上述膜的检查数据的存储步骤；

利用操作者的输入在画面上指定上述薄片被卷绕的状态的种类的卷绕状态指定步骤；以及

读出在上述存储步骤中所存储的上述检查数据，并将在其中所包含的上述薄片检查时的缺陷点在上述薄片上的位置信息变换为与用上述卷绕状态指定步骤所指定了的种类对应的位置信息的变换步骤。

15.如权利要求14中所述的膜检查方法，其特征在于，包含：

在上述光源与传感器之间在上述膜的上方和下方分别配置偏振片，并使光透过该偏振片的步骤。

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