CN101133353A - 离散控制微镜的转动及平移的精密控制 - Google Patents

离散控制微镜的转动及平移的精密控制 Download PDF

Info

Publication number
CN101133353A
CN101133353A CNA2006800070578A CN200680007057A CN101133353A CN 101133353 A CN101133353 A CN 101133353A CN A2006800070578 A CNA2006800070578 A CN A2006800070578A CN 200680007057 A CN200680007057 A CN 200680007057A CN 101133353 A CN101133353 A CN 101133353A
Authority
CN
China
Prior art keywords
micromirror
baffle plate
micro mirror
control system
rotation
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
CNA2006800070578A
Other languages
English (en)
Inventor
鲁宰赫
赵京一
徐清洙
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Angstrom Inc
Stereo Display Inc
Original Assignee
Angstrom Inc
Stereo Display Inc
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Angstrom Inc, Stereo Display Inc filed Critical Angstrom Inc
Publication of CN101133353A publication Critical patent/CN101133353A/zh
Pending legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B26/00—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements
    • G02B26/08—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light
    • G02B26/0816—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light by means of one or more reflecting elements
    • G02B26/0833—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light by means of one or more reflecting elements the reflecting element being a micromechanical device, e.g. a MEMS mirror, DMD
    • G02B26/0841—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light by means of one or more reflecting elements the reflecting element being a micromechanical device, e.g. a MEMS mirror, DMD the reflecting element being moved or deformed by electrostatic means
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B26/00—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements
    • G02B26/08—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light
    • G02B26/10—Scanning systems
    • G02B26/105—Scanning systems with one or more pivoting mirrors or galvano-mirrors
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
    • G02B6/24—Coupling light guides
    • G02B6/26—Optical coupling means
    • G02B6/35—Optical coupling means having switching means
    • G02B6/3564—Mechanical details of the actuation mechanism associated with the moving element or mounting mechanism details
    • G02B6/3584—Mechanical details of the actuation mechanism associated with the moving element or mounting mechanism details constructional details of an associated actuator having a MEMS construction, i.e. constructed using semiconductor technology such as etching
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B7/00—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements
    • G02B7/18—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements for prisms; for mirrors
    • G02B7/182—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements for prisms; for mirrors for mirrors
    • G02B7/1821—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements for prisms; for mirrors for mirrors for rotating or oscillating mirrors
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B81—MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY
    • B81B—MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS, e.g. MICROMECHANICAL DEVICES
    • B81B2201/00—Specific applications of microelectromechanical systems
    • B81B2201/04—Optical MEMS

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Mechanical Light Control Or Optical Switches (AREA)
  • Micromachines (AREA)
  • Mounting And Adjusting Of Optical Elements (AREA)

Abstract

本发明公开了一种微镜控制***，该***包括被构造成支撑微镜控制***的底层，并包括在第一端处连接于底层且被构造成围绕轴线转动的止挡板。该微镜控制***还包括在底侧上通信地连接于止挡板的微镜，并包括被构造成反射光的反射顶侧。止挡板围绕轴线转动成与微镜接触的转动被构造成调节微镜的方位。一方面，该微镜控制***还包括致动装置，该致动装置通信地连接于止挡板，并被构造成控制止挡板围绕轴线的转动。本发明的优点包括对离散控制微镜的转动和平移进行精密控制的能力。

Description

离散控制微镜的转动及平移的精密控制
技术领域
本发明大体上涉及微镜，且更具体地涉及微镜控制。
背景技术
微镜可替代传统的光电子装置或与传统的光电子装置一起应用于各种光学应用中。理想的是，可以通过非常精密控制的转动与平移来移动微镜。***法是离散控制微镜(DCM)方法的实例。
纯相位(phase-only)活塞型微镜已经被用于相位自适应光学应用，并且转动微镜已经被用来使光偏转。这些微镜中的大多数已经被控制为具有连续的位移，该位移由静电力与弹力之间的平衡确定。模拟控制比数字或离散控制复杂得多，并且不能与诸如MOS、CMOS等的公知半导体电子技术兼容。此外，当电力超过机械结构的弹力时，具有由静电力致动的连续位移的微镜会遭受典型的排出(snap-down)现象。排出现象限制微镜的平移与转范围。
高驱动电压是使用具有由静电力致动的连续位移的微镜时的另一缺点。为了与IC元件兼容，需要在与电路操作或控制电压相兼容的低压下来操作微镜。
在现有技术的微镜阵列中，诸如，例如US专利第4,566,939、5,083,857、及6,232,936号中的数字微镜装置，每个微镜都通过电压的数字控制而被致动。这种微镜具有大转度、低驱动电压，并且能与已知半导体电子技术兼容。然而，这种微镜仅具有一个自由度，即，围绕单个轴线的转，并且其仅具有两个水平位置。因此，这种微镜阵列仅仅是光学开关阵列。
因此，所需要的是用于对微镜转动及平移运动进行非常灵敏的控制的***和方法。
发明内容
本发明解决现有技术的问题并提供对离散控制微镜(DCM)的转动及平移的精密控制。如申请人于2004年5月27日提交的名为“包括具有两个转动自由度的微镜的可变焦距透镜”的US专利申请No.10/855,715、申请人的名为“包括具有两个转动自由度及一个平移自由度的微镜的可变焦距透镜”的US专利申请No.6,934,072、申请人于2004年5月28日提交的名为“微镜阵列透镜的阵列”的US专利申请No.10/857,714，以及申请人于2004年6月18日提交的名为“具有多级位置的离散控制微镜”的US专利申请No.10/872,241中所描述的，这些专利的公开内容结合进来作为参考，如同在此处完全阐述一样，包括具有两个转动自由度或者具有两个转动自由度及一个平移自由度(两个转动自由度与一个平移自由度是独立控制的)的微镜的微镜阵列可任意调节入射光。为此，需要通过对两个转动自由度的控制或者对两个转动自由度及一个平移自由度的控制来使光偏转至所需的任意方向。也需要对每个微镜进行独立平移，以满足相位条件。由于DCM具有许多优点并且能够具有两个转动自由度和/或一个平移自由度，因此包括DCM的微镜阵列比传统微镜阵列具有更好的性能。
在本发明的一个实施例中，微镜控制***包括：被构造成支撑微镜控制***的底层、在支撑件的第一端处通信地连接于底层并被构造成围绕支撑件的第二端处的轴线转动的止挡板。该微镜控制***还包括具有顶侧和底侧的微镜板或微镜，该微镜板或微镜在底侧上通信地连接于止挡板，并且还包括位于顶侧上的被构造成反射光的反射表面。止挡板围绕轴线转动成与微镜接触的转动被构造成调节微镜的方位。
在本发明的另一实施例中，微镜控制***还包括通信地连接于止挡板、并被构造成控制止挡板围绕所述轴线的转动的致动装置。一方面，致动装置包括电极，所述电极被构造成通过静电力控制止挡板的转动。另一方面，致动装置包括梳齿驱动器(comb-drive)，该梳齿驱动器被构造成通过机械力控制止挡板的转动。
在本发明的另一实施例中，微镜控制***包括被构造成支撑微镜控制***元件的底层，以及支撑件。支撑件在第一端处连接于微镜控制***底层，而在第二端处可转动地连接于止挡板，其中，支撑件被构造成支撑止挡板并为止挡板提供转动轴线。止挡板可转动地连接于支撑件，且被构造成围绕支撑件转动并支撑微镜柱。微镜柱可选地连接于止挡板或连接于微镜的底侧，其中微镜柱被构造成靠在止挡板上。微镜具有连接于微镜柱的底侧以及包括被构造成反射光的反射表面的顶侧。致动装置通信地连接于止挡板并构造成控制止挡板的转动。止挡板围绕轴线转动成与微镜接触的转动被构造成调节微镜的方位。
在本发明的另一实施例中，一种用于对离散控制微镜控制***(该***包括微镜、至少一个止挡板、以及被构造成支撑微镜控制***的底层)的转动及平移运动进行控制的方法包括以下步骤：转动止挡板以调节微镜的方位；使微镜板靠在转动后的止挡板上；以及然后根据调节后的方位反射来自微镜的光。通信地连接于止挡板的致动装置被构造成控制止挡板的转动。
本发明的优点包括对离散控制微镜的转动和平移进行精密控制的能力。
在下面结合附图对本发明的详细描述中，将更详细地描述本发明的这些和其它特征。
附图说明
下面通过附图中的实例(但不限于此)对本发明进行说明，在附图中，相同参考标号表示相同元件，并且在附图中：
图1A至图1E是示出根据本发明实施例的微镜控制***的示意性示图；
图2A至图2B是示出根据本发明另一实施例的微镜控制***的示意性示图；
图3A至图3C是示出根据本发明实施例的微镜控制***的止挡板的运动的示意性示图；以及
图4是根据本发明实施例的用于对离散控制的微镜控制***的转动及平移运动进行控制的方法的流程图，该离散控制的微镜控制***包括微镜、至少一个止挡板、以及被构造成支撑该微镜控制***的底层。
具体实施方式
现在参照如在附图中示出的本发明的一些实施例来对本发明进行详细描述。在下面的描述中，对多个特定细节进行阐述，以提供对本发明的全面理解。但是，显然，对于本领域技术人员来说，本发明可以在缺少多个或所有这些特定细节的前提下实施。在其它情况下，为了使本发明清楚起见，未对公知的处理步骤和/或结构进行详细说明。
图1A至图1E示出了根据本发明实施例的用于离散控制的微镜(DCM)130的微镜控制***100。该微镜控制***100包括构造成支撑诸如止挡板120的其它微镜控制***元件的底层105、支撑件110，以及微镜板，即微镜130。支撑件110在第一端111处连接于底层105，而在第二端112处可转动地连接于止挡板120。支撑件110构造成支撑止挡板120并提供用于该止挡板的转动轴线。止挡板120可转动地连接于支撑件110，并构造成围绕支撑件110转动且支撑微镜柱125。微镜柱125连接于微镜130底侧135。可替换地，微镜柱连接于止挡板120。微镜柱125被构造成停靠在止挡板120上，如图1B至图1D所示。微镜130包含有连接于微镜柱125的底侧135以及具有被构造成反射光的反射表面的顶侧140。致动装置115通信地(communicatively)连接于止挡板120并被构造成控制止挡板120的转动。止挡板120围绕轴线转动成与微镜130相接触的转动被构造成调节微镜130的方位。致动装置115可机械地连接于底层105，如图1A至图3B所示。该致动装置可通过由电极116形成的静电力来控制。
在微镜控制***100的操作中，止挡板120转动，微镜130的位置由于其接触转动后的止挡板120而得以调节。通过允许微镜柱125移动成与止挡板120相接触，止挡板120的倾斜至少部分地确定微镜130的转动及平移的量。也就是说，当止挡板120的倾斜改变时，微镜130可随着微镜柱125“进入”与止挡板120的接触而移动。微镜通过电极116的吸引力而与止挡板接触。在该实施例中，微镜130的运动通过电极116以及通过致动装置115对止挡板120所产生的作用而引起。例如，该致动装置可包括施加静电力以便移动止挡板120的电极，如进一步参照图3A至图3B所描述的。
在另一实施例中，微镜柱125相对于微镜130的底侧135的位置不改变。相反地，止挡板120与微镜130的接触决定微镜的位移。例如，通过一对止挡板120的接触可以确定微镜130的一个位移。为了获得微镜130的多个位移，多对止挡板120设置在微镜130下方。而且，微镜130的位移受相应的微镜柱125及止挡柱124的位置和高度的影响。相应微镜柱125的位置可以是固定的，而微镜柱125相对于微镜130的底侧135的布置可以在不同微镜柱125中改变。相应止挡柱124的位置可以是固定的，而止挡柱124相对于止挡板120的底侧135的布置可以在不同止挡柱124中改变。另外，止挡板120的位置和尺寸，以及从底层105到止挡板120的距离也是影响微镜130的转动量及平移量的因素。
作为实例，微镜柱125连接于微镜的底侧135，如图1A至图1D所示。可替换地，微镜柱127可连接于止挡板的顶侧，如图1E所示。而且，止挡板柱126连接于止挡板的底侧，如图1A至图1D所示。可替换地，止挡板柱126可连接于微镜控制***底层105，如图1E所示。
本领域技术人员将会理解，可以使用微镜柱和止挡板柱布置的多种组合来确定微镜的离散位移。例如，一种微镜控制***，其具有连接于微镜底侧的微镜柱以及连接于底层顶侧的止挡柱；连接于止挡板顶侧的微镜柱以及连接于止挡板底侧的止挡柱的微镜；以及不具有微镜柱以及连接于止挡板底侧的止挡柱。
图2A至图2B示出了根据本发明另一实施例的微镜控制***。在微镜控制***200的操作中，止挡板220转动，并通信地接触微镜230，从而将微镜230推入调节后的方位位置中，参阅图2B。也就是说，微镜230的运动是由于止挡板220的推动而产生的。连接于止挡板底侧的止挡板柱224确定微镜230的转动量及平移量。
图3A至图3C示出根据本发明另一实施例的微镜控制***300的止挡板的运动。图3B示出包括电极316的致动装置，其中止挡板320的运动通过电极316所施加的静电力而被启动。也就是说，电极316被构造成通过静电力控制止挡板320的转动。
图3C示出了致动装置，其包括止挡板320、连接于止挡板320的支撑件310、以及连接于支撑板310的梳齿驱动器317。止挡板320的运动通过由梳齿驱动器317所产生的力而被启动。梳齿驱动器位移由挡块350的位置确定。也就是说，梳齿驱动器317被构造成通过机械力控制止挡板320的转动。
参照图3B，注意到止挡板320围绕支撑件310的第二端312处的轴线转动，而在图3C所描述的实施例中，止挡板320和支撑件310围绕支撑件310的第一端311处的轴线转动。
图4是示出根据本发明另一实施例的用于对离散控制微镜控制***的转动及平移运动进行控制的方法的流程图，该离散控制微镜控制***包括微镜、至少一个止挡板、以及被构造成支撑该微镜控制***的底层。在步骤410时，转动止挡板以调节微镜的方位。在步骤420时，将微镜板靠在转动后的止挡板上。在步骤430时，根据调节后的方位反射光。通信地连接于止挡板的致动装置被构造成控制止挡板的转动。
这里介绍的技术用于通过转动和/或平移而对微镜的运动和/或方位进行精密、非常精密和/或灵敏的控制。微镜可以单独移动或与其它微镜同时移动。
本发明的优点包括对离散控制微镜的平移和转动进行精密控制的能力。
尽管已经参照本发明的不同实施例示出并描述了本发明，但是本领域技术人员将会理解，在不背离如所附权利要求限定的本发明的精神和范围的前提下，可以在形式、细节、组成和操作方面进行改变。

Claims (21)

1.一种微镜控制***，包括：
底层，被构造成支撑所述微镜控制***；
止挡板，通信地连接于所述底层，被构造成围绕轴线转动；以及
微镜，具有顶侧和底侧，所述微镜在所述底侧上通信地连接于所述止挡板，并包括位于所述顶侧上的被构造成反射光的反射表面。
2.根据权利要求1所述的微镜控制***，进一步包括致动装置，所述致动装置通信地连接于所述止挡板，并被构造成控制所述止挡板围绕所述轴线的所述转动。
3.根据权利要求2所述的微镜控制***，其中，所述致动装置包括电极，所述电极被构造成通过静电力控制所述止挡板的所述转动。
4.根据权利要求2所述的微镜控制***，其中，所述致动装置包括梳齿驱动器，所述梳齿驱动器被构造成通过机械力控制所述止挡板的所述转动。
5.根据权利要求1所述的微镜控制***，其中，所述止挡板包括顶侧、底侧和支撑件，所述支撑件具有第一端和第二端，所述第一端连接于所述微镜控制***底层，而所述第二端连接于所述止挡板底侧。
6.根据权利要求1所述的微镜控制***，进一步包括连接于所述微镜底侧的多个微镜柱，所述微镜柱通信地接触所述止挡板以调节所述微镜的方位。
7.根据权利要求1所述的微镜控制***，进一步包括连接于所述止挡板顶侧的微镜柱，所述微镜柱通信地接触所述微镜底侧以调节所述微镜的方位。
8.一种微镜控制***，包括：
底层，被构造成支撑所述微镜控制***；
支撑件，具有第一端和第二端，所述第一端连接于所述底层；
止挡板，可转动地连接于所述支撑件第二端，提供围绕所述支撑件第二端的转动轴线；
多个微镜柱，通信地连接于微镜，并通信地连接所述止挡板；以及
致动装置，通信地连接于所述止挡板以控制所述止挡板的所述转动；
其中，所述止挡板围绕所述轴线转动成与所述微镜接触，以调节所述微镜的方位。
9.根据权利要求8所述的微镜控制***，其中，所述致动装置包括电极，所述电极被构造成通过静电力控制所述止挡板的所述转动。
10.根据权利要求8所述的微镜控制***，其中，所述致动装置包括梳齿驱动器，所述梳齿驱动器被构造成通过机械力控制所述止挡板的所述转动。
11.根据权利要求8所述的微镜控制***，其中，所述微镜包括底侧和顶侧，所述顶侧具有被构造成反射光的反射表面。
12.根据权利要求11所述的微镜控制***，其中，所述止挡板包括顶侧和底侧，所述微镜柱连接于所述止挡板顶侧，所述微镜柱通信地接触所述微镜底侧以调节所述微镜的方位。
13.根据权利要求11所述的微镜控制***，其中，所述止挡板包括顶侧和底侧，所述微镜柱连接于所述微镜底侧，所述微镜柱通信地接触所述止挡板顶侧以调节所述微镜的方位。
14.根据权利要求12所述的微镜控制***，其中，所述止挡板进一步包括止挡板柱，所述止挡板柱连接在所述止挡板底侧处以调节所述微镜的方位。
15.根据权利要求13所述的微镜控制***，其中，所述止挡板进一步包括止挡板柱，所述止挡板柱连接在所述微镜控制***底层处以调节所述微镜的方位。
16.一种用于对离散控制微镜控制***的转动和平移运动进行控制的方法，所述微镜控制***包括微镜、至少一个止挡板、以及被构造成支撑所述微镜控制***的底层，所述方法包括以下步骤：
转动所述至少一个止挡板以调节所述微镜的方位；
使所述微镜靠在所述转动后的止挡板上；以及
根据调节后的方位反射来自所述微镜的光。
17.根据权利要求16的方法，其中，通信地连接于所述止挡板的致动装置被构造成控制所述止挡板的所述转动。
18.根据权利要求16的方法，其中，所述微镜控制***进一步包括连接于微镜底介的多个微镜柱，所述微镜柱通信地接触所述止挡板以调节所述微镜的方位。
19.根据权利要求16所述的方法，其中，所述微镜控制***进一步包括连接于止挡板顶侧的微镜柱，所述微镜柱通信地接触微镜底侧以调节所述微镜的方位。
20.根据权利要求17所述的方法，其中，所述致动装置为电极，所述电极被构造成通过静电力控制所述止挡板的所述转动。
21.根据权利要求17所述的方法，其中，所述致动装置为梳齿驱动器，所述梳齿驱动器被构造成通过机械力控制所述止挡板的所述转动。
CNA2006800070578A 2005-03-04 2006-03-03 离散控制微镜的转动及平移的精密控制 Pending CN101133353A (zh)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US11/072,597 2005-03-04
US11/072,597 US7330297B2 (en) 2005-03-04 2005-03-04 Fine control of rotation and translation of discretely controlled micromirror

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CN101133353A true CN101133353A (zh) 2008-02-27

Family

ID=36943846

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CNA2006800070578A Pending CN101133353A (zh) 2005-03-04 2006-03-03 离散控制微镜的转动及平移的精密控制

Country Status (8)

Country Link
US (1) US7330297B2 (zh)
EP (1) EP1861744A2 (zh)
JP (1) JP2008533515A (zh)
KR (1) KR101208273B1 (zh)
CN (1) CN101133353A (zh)
CA (1) CA2600202A1 (zh)
IL (1) IL185632A0 (zh)
WO (1) WO2006096593A2 (zh)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN103487934A (zh) * 2013-09-25 2014-01-01 南京理工大学 一种光电陶瓷驱动的微镜微调节装置
CN109896496A (zh) * 2019-03-28 2019-06-18 京东方科技集团股份有限公司 镜子组件及其控制方法、调光板

Families Citing this family (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP5002757B2 (ja) * 2006-12-20 2012-08-15 富士通株式会社 光波面制御装置
US7863799B1 (en) * 2007-03-02 2011-01-04 AG Microsystems Inc. Micro electro mechanical system using comb and parallel plate actuation
US7535618B2 (en) * 2007-03-12 2009-05-19 Angstrom, Inc. Discretely controlled micromirror device having multiple motions
US8612467B2 (en) * 2008-02-28 2013-12-17 Red Hat, Inc. Caching name-based filters in a full-text search engine
US8622557B2 (en) * 2008-05-20 2014-01-07 Stereo Display, Inc. Micromirror array lens with self-tilted micromirrors
WO2011023423A1 (en) * 2009-08-25 2011-03-03 Asml Netherlands B.V. Optical apparatus, and method of orienting a reflective element

Family Cites Families (86)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US2002376A (en) * 1931-03-16 1935-05-21 Mannheimer Manfred Searchlight reflector
US2002378A (en) 1934-05-17 1935-05-21 Walter G Richardson Bird bath
FR2425085A1 (fr) * 1978-05-05 1979-11-30 Quantel Sa Objectif a longueur focale variable
US4834512A (en) * 1984-12-21 1989-05-30 Hughes Aircraft Company Three-dimensional display
US5004319A (en) * 1988-12-29 1991-04-02 The United States Of America As Represented By The Department Of Energy Crystal diffraction lens with variable focal length
GB9107144D0 (en) * 1991-04-05 1991-05-22 Rank Cintel Ltd Recording video signals on cinematographic film
ES2102412T3 (es) * 1991-10-11 1997-08-01 Coherent Hull Ltd Aparato para escritura matricial por puntos que usa un laser de onda continua.
US5212555A (en) * 1991-12-17 1993-05-18 Texas Instruments Incorporated Image capture with spatial light modulator and single-cell photosensor
DE69328385T2 (de) * 1992-06-19 2000-10-19 Sony Corp., Tokio/Tokyo Optisches Abtastgerät
JPH0843881A (ja) 1994-07-29 1996-02-16 Nikon Corp カメラ
US5696619A (en) * 1995-02-27 1997-12-09 Texas Instruments Incorporated Micromechanical device having an improved beam
US5612736A (en) * 1995-06-07 1997-03-18 Nview Corporation Stylus position sensing and digital camera with a digital micromirror device
US5986811A (en) * 1995-06-07 1999-11-16 Meso Scale Technologies Llp Method of and apparatus for generating a 3-D image from a 2-D image having a changeable focusing micro-lens array
US6046840A (en) * 1995-06-19 2000-04-04 Reflectivity, Inc. Double substrate reflective spatial light modulator with self-limiting micro-mechanical elements
US5999306A (en) * 1995-12-01 1999-12-07 Seiko Epson Corporation Method of manufacturing spatial light modulator and electronic device employing it
JPH09238367A (ja) * 1996-02-29 1997-09-09 Matsushita Electric Ind Co Ltd テレビジョン信号送信方法，テレビジョン信号送信装置，テレビジョン信号受信方法，テレビジョン信号受信装置，テレビジョン信号送信受信方法，テレビジョン信号送信受信装置
US5881034A (en) * 1996-08-20 1999-03-09 Sony Corporation Apparatus for driving objective lens
US6025951A (en) * 1996-11-27 2000-02-15 National Optics Institute Light modulating microdevice and method
US6028689A (en) * 1997-01-24 2000-02-22 The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Air Force Multi-motion micromirror
JPH10256638A (ja) * 1997-03-13 1998-09-25 Ricoh Co Ltd 固体レーザ装置
JP3653923B2 (ja) * 1997-03-19 2005-06-02 ソニー株式会社 記録再生装置および方法
JPH1169209A (ja) 1997-08-22 1999-03-09 Minolta Co Ltd 撮像装置
JPH11168134A (ja) * 1997-12-03 1999-06-22 Shin Etsu Chem Co Ltd 静電吸着装置およびその製造方法
US5897195A (en) * 1997-12-09 1999-04-27 Optical Gaging, Products, Inc. Oblique led illuminator device
US6064423A (en) * 1998-02-12 2000-05-16 Geng; Zheng Jason Method and apparatus for high resolution three dimensional display
SE9800665D0 (sv) * 1998-03-02 1998-03-02 Micronic Laser Systems Ab Improved method for projection printing using a micromirror SLM
CN1178467C (zh) * 1998-04-16 2004-12-01 三星电子株式会社 自动跟踪运动目标的方法和装置
DE19832874C2 (de) * 1998-07-22 2000-10-26 Daimler Chrysler Ag Energieversorgungseinrichtung für eine elektromagnetische Ventilsteuerung einer Brennkraftmaschine
US6282213B1 (en) * 1998-09-14 2001-08-28 Interscience, Inc. Tunable diode laser with fast digital line selection
US6123985A (en) * 1998-10-28 2000-09-26 Solus Micro Technologies, Inc. Method of fabricating a membrane-actuated charge controlled mirror (CCM)
WO2000036447A1 (en) * 1998-12-15 2000-06-22 Seagate Technology Llc Optical microswitch with rotary electrostatic microactuator
US6315423B1 (en) * 1999-07-13 2001-11-13 Input/Output, Inc. Micro machined mirror
JP3893809B2 (ja) * 1999-09-29 2007-03-14 コニカミノルタフォトイメージング株式会社 焦点位置を変更できる空間変調ユニット、光束偏向装置、焦点検出装置、およびカメラ
EP1223575B1 (en) * 1999-10-06 2008-05-07 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Lens, optical head, optical information recording/reproducing apparatus, and optical information recording/recorded medium recording/reproducing method
US6498673B1 (en) * 2000-01-19 2002-12-24 At&T Corp. Micro-machined tunable delay line
JP2001209037A (ja) * 2000-01-26 2001-08-03 Olympus Optical Co Ltd 可変ホログラム素子及びそれらを用いた光学装置
KR20010093031A (ko) * 2000-03-28 2001-10-27 구자홍 광 픽업 엑츄에이터
JP4844780B2 (ja) * 2000-04-13 2011-12-28 ソニー株式会社 撮像制御装置、撮像制御方法、プログラム、およびプログラム記録媒体
JP2002006405A (ja) * 2000-06-26 2002-01-09 Fuji Photo Film Co Ltd 画像記録装置
KR20020037371A (ko) * 2000-08-02 2002-05-18 마츠시타 덴끼 산교 가부시키가이샤 광 픽업 장치
US6943950B2 (en) 2000-08-07 2005-09-13 Texas Instruments Incorporated Two-dimensional blazed MEMS grating
US6958777B1 (en) * 2000-09-29 2005-10-25 Ess Technology, Inc. Exposure control in electromechanical imaging devices
WO2002042999A2 (en) * 2000-11-03 2002-05-30 Actuality Systems, Inc. Three-dimensional display systems
US6658208B2 (en) * 2001-01-30 2003-12-02 Olympus Optical Co., Ltd. Focal-length adjusting unit for photographing apparatuses
US6804429B2 (en) * 2001-02-09 2004-10-12 The Board Of Trustees Of The Leland Stanford Junior University Reconfigurable wavelength multiplexers and filters employing micromirror array in a gires-tournois interferometer
US20020135873A1 (en) 2001-03-21 2002-09-26 Franko Joseph D. Three-dimensional images and method of manufacture thereof
JP2002288873A (ja) 2001-03-27 2002-10-04 Ricoh Co Ltd 光情報記録再生装置
US6956687B2 (en) * 2001-04-03 2005-10-18 Cidra Corporation Optical blocking filter having an array of micro-mirrors
US6625342B2 (en) * 2001-07-03 2003-09-23 Network Photonics, Inc. Systems and methods for overcoming stiction using a lever
US6784771B1 (en) * 2001-07-24 2004-08-31 New Peregrine, Inc. MEMS optical mirror array
US6649852B2 (en) * 2001-08-14 2003-11-18 Motorola, Inc. Micro-electro mechanical system
US6858904B2 (en) * 2001-08-30 2005-02-22 Micron Technology, Inc. High aspect ratio contact structure with reduced silicon consumption
US6711319B2 (en) * 2001-09-07 2004-03-23 Agilent Technologies, Inc. Optical switch with converging optical element
KR100385066B1 (ko) * 2001-10-16 2003-05-23 삼성전자주식회사 레이저 스캐닝 유니트
US6646072B2 (en) * 2002-01-23 2003-11-11 Equistar Chemicals, Lp Process for making polyolefin compositions containing exfoliated clay
JP3992992B2 (ja) * 2002-02-19 2007-10-17 株式会社リコー 被写体像取得装置
GB0204010D0 (en) * 2002-02-20 2002-04-03 Xaar Technology Ltd Droplet deposition apparatus
JP4537664B2 (ja) * 2002-04-17 2010-09-01 株式会社リコー 光路偏向素子、光路偏向装置、画像表示装置、光書込み装置、光インターコネクション装置、光学素子及びその製造方法
JP2004039897A (ja) * 2002-07-04 2004-02-05 Toshiba Corp 電子デバイスの接続方法
KR100439700B1 (ko) * 2002-07-16 2004-07-12 한국과학기술원 전자기력으로 구동되는 미소거울 구동기 및 그 제조방법
JP4025990B2 (ja) * 2002-09-26 2007-12-26 セイコーエプソン株式会社 ミラーデバイス、光スイッチ、電子機器およびミラーデバイス駆動方法
US7046447B2 (en) * 2003-01-13 2006-05-16 Pc Mirage, Llc Variable focus system
US7027232B2 (en) * 2003-01-29 2006-04-11 Intel Corporation Optical cross-connect switch with telecentric lens and multi-surface optical element
US6900922B2 (en) * 2003-02-24 2005-05-31 Exajoule, Llc Multi-tilt micromirror systems with concealed hinge structures
US6906848B2 (en) * 2003-02-24 2005-06-14 Exajoule, Llc Micromirror systems with concealed multi-piece hinge structures
JP4222569B2 (ja) * 2003-02-25 2009-02-12 パナソニック株式会社 光検出装置
US6741384B1 (en) * 2003-04-30 2004-05-25 Hewlett-Packard Development Company, L.P. Control of MEMS and light modulator arrays
JP3896988B2 (ja) * 2003-05-12 2007-03-22 コニカミノルタフォトイメージング株式会社 撮像レンズ装置
US7306344B2 (en) * 2003-06-10 2007-12-11 Abu-Ageel Nayef M Light guide array, fabrication methods and optical system employing same
US7091057B2 (en) * 2003-12-19 2006-08-15 Agency For Science, Technology And Research Method of making a single-crystal-silicon 3D micromirror
US7077523B2 (en) * 2004-02-13 2006-07-18 Angstorm Inc. Three-dimensional display using variable focusing lens
US7031046B2 (en) * 2004-05-27 2006-04-18 Angstrom Inc. Variable focal length lens comprising micromirrors with two degrees of freedom rotation
US7239438B2 (en) * 2004-07-16 2007-07-03 Angstrom, Inc. Variable focal length lens and lens array comprising discretely controlled micromirrors
US6934073B1 (en) * 2004-05-28 2005-08-23 Angstrom Inc. Variable focal length lens comprising micromirrors with one degrees of freedom rotation and one degree of freedom translation
US6999226B2 (en) * 2004-05-28 2006-02-14 Angstrom Inc. Variable focal length lens comprising micromirrors with one degree of freedom translation
US7333260B2 (en) * 2004-08-09 2008-02-19 Stereo Display, Inc. Two-dimensional image projection system
US7161729B2 (en) * 2004-05-28 2007-01-09 Angstrom Inc. Array of micromirror array lenses
US7068416B2 (en) * 2004-04-12 2006-06-27 Angstrom Inc. Three-dimensional imaging device
US6970284B1 (en) * 2004-05-27 2005-11-29 Angstrom Inc. Variable focusing lens comprising micromirrors with one degree of freedom rotation
US7267447B2 (en) * 2004-05-27 2007-09-11 Angstrom, Inc. Variable focal length lens comprising micromirrors
US6934072B1 (en) * 2004-05-27 2005-08-23 Angstrom Inc. Variable focal length lens comprising micromirrors with two degrees of freedom rotation and one degree of freedom translation
US7261417B2 (en) * 2004-02-13 2007-08-28 Angstrom, Inc. Three-dimensional integral imaging and display system using variable focal length lens
US7742232B2 (en) * 2004-04-12 2010-06-22 Angstrom, Inc. Three-dimensional imaging system
CA2464207C (en) * 2004-04-14 2011-03-29 Institut National D'optique Light modulating microdevice
JP2005326620A (ja) 2004-05-14 2005-11-24 Fujitsu Ltd マイクロミラー素子
US7164465B2 (en) * 2004-07-13 2007-01-16 Anvik Corporation Versatile maskless lithography system with multiple resolutions

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN103487934A (zh) * 2013-09-25 2014-01-01 南京理工大学 一种光电陶瓷驱动的微镜微调节装置
CN103487934B (zh) * 2013-09-25 2015-05-13 南京理工大学 一种光电陶瓷驱动的微镜微调节装置
CN109896496A (zh) * 2019-03-28 2019-06-18 京东方科技集团股份有限公司 镜子组件及其控制方法、调光板
US11054633B2 (en) 2019-03-28 2021-07-06 Beijing Boe Display Technology Co., Ltd. Mirror assembly, control method thereof and light adjusting board
CN109896496B (zh) * 2019-03-28 2021-11-16 京东方科技集团股份有限公司 镜子组件及其控制方法、调光板

Also Published As

Publication number Publication date
KR101208273B1 (ko) 2012-12-05
US7330297B2 (en) 2008-02-12
KR20070118619A (ko) 2007-12-17
WO2006096593A2 (en) 2006-09-14
WO2006096593A3 (en) 2006-11-09
US20060198012A1 (en) 2006-09-07
EP1861744A2 (en) 2007-12-05
IL185632A0 (en) 2008-01-06
CA2600202A1 (en) 2006-09-14
JP2008533515A (ja) 2008-08-21

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN101133353A (zh) 离散控制微镜的转动及平移的精密控制
US6970284B1 (en) Variable focusing lens comprising micromirrors with one degree of freedom rotation
US7031046B2 (en) Variable focal length lens comprising micromirrors with two degrees of freedom rotation
EP1130442B1 (en) Optical switches using dual axis micromirrors
US20090185067A1 (en) Compact automatic focusing camera
US7400438B2 (en) Micro-electro mechanical device, micro-electro mechanical device array, light modulation device, micro-electro mechanical light modulation device, micro-electro mechanical light modulation device array and image forming apparatus using the same
US7474454B2 (en) Programmable micromirror motion control system
JP4406549B2 (ja) 光変調素子及び光変調アレイ素子並びにそれを用いた露光装置
JP2004280105A (ja) 光の角度を拡大するマイクロミラー素子
MX2007000630A (es) Lente de longitud focal variable y formacion de lentes que contiene microespejos con control discreto.
JP2004078136A (ja) 光偏向方法並びに光偏向装置及びその光偏向装置の製造方法並びにその光偏向装置を具備する光情報処理装置及び画像形成装置及び画像投影表示装置及び光伝送装置
WO2005102909A1 (ja) アクチュエータ
JP2000214397A (ja) 光偏向装置
JPH11231234A (ja) 反射鏡
KR20110070925A (ko) 디지털 마이크로미러 장치
US20070018065A1 (en) Electrically controlled tiltable microstructures
US20080130079A1 (en) Non-Contacting Electrostatically Driven MEMS Device
TW201024203A (en) Digital micro-mirror device
JP4452560B2 (ja) 透過型光変調素子及び透過型光変調アレイ素子
US7535618B2 (en) Discretely controlled micromirror device having multiple motions
CN117930495A (zh) 一种微镜装置
KR100697715B1 (ko) 단결정실리콘 시소동작 미소거울 어레이 및 그 제조방법
KR100270813B1 (ko) 화상표시장치용가동형마이크로미러

Legal Events

Date Code Title Description
C06 Publication
PB01 Publication
C10 Entry into substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
C02 Deemed withdrawal of patent application after publication (patent law 2001)
WD01 Invention patent application deemed withdrawn after publication

Open date: 20080227