CN101100266A - 搬运台车运行轨道 - Google Patents

Abstract

提供一种容易形成顶棚下悬挂有高低差的搬运台车运行轨道。搬运台车运行轨道2由顶棚下用悬挂构件14悬挂的第一直线轨道构件8及弯曲轨道模件41、42互相连接而构成。弯曲轨道模件41由沿着凹型弯曲构件10的下面形成的弯曲面10a排列五个第二直线轨道构件12而构成，弯曲构件42由沿着凸型弯曲构件11的下面形成的弯曲面11a排列五个第二直线轨道构件12而构成。就弯曲轨道模件41、42来说，相邻的第二直线轨道构件42的延伸方向不同，而五个第二直线轨道构件12作为整体，沿着弯曲面10a、11a构成平滑弯曲的轨道。

Description

搬运台车运行轨道

技术领域

本发明涉及一种安装了搬运台车可移动的搬运台车运行轨道。

背景技术

日本专利文献1记载着一种搬运***：该搬运***的OHT(Overhead Hoist Transport)搬运台车悬垂在顶棚下悬挂的轨道(搬运台车运行轨道)下，OHT搬运台车可沿着轨道移动(搬运台车可移动地固定在搬运台车运行轨道)。

日本专利文献1：特开2005-112563号公报(图1)

发明内容

目前，在生产半导体或液晶装置的净化室等内使用这样的搬运台车时，为了扩大生产规模，进行与最新一代设备相应的生产线更新等，有时在现有的工厂厂房内增设新车间、有时在现有的工厂场地内增设新生产设备。上述这样的搬运***，一般是这样构成的，在顶棚附近沿着水平方向架设轨道，使OHT搬运台车可在水平方向移动，在这样的新车间、新设备的增设中，往往出现架设在顶棚下的轨道需要设置高低差。

日本专利文献1的搬运***，在这种情形下，对于轨道高度变化地部分，就要根据高低差而倾斜配设构成轨道的多个轨道构件，此时，需要一边确定每个轨道构件的倾斜角一边加以配设，于是增加作业工时，同时也容易产生作业错误。另外，为了使轨道成为沿着平滑曲线的状态，而配设在该部分的轨道构件比水平配设的轨道构件要短，同时需要使用多个这样长度短小轨道构件来形成倾斜部分，因此在倾斜部分将轨道悬挂在顶棚的作业工时增加了。

本发明的目的在于提供一种作业工时少且也难以发生作业错误的具有高低差的搬运台车运行轨道。

本发明的搬运台车运行轨道是一种安装了搬运台车可移动的搬运台车运行轨道，具有：上端固定在顶棚并向下方延伸的多个悬挂构件；向一个方向延伸，用悬挂构件以规定间隔支撑的第一直线轨道构件；以及在垂直面内弯曲并沿着其弯曲方向延伸的，用悬挂构件以规定间隔支撑的弯曲轨道模件，弯曲轨道模件与第一直线轨道模件在有关这些延伸方向的端面互相连接一起，弯曲轨道模件由表面上具有在垂直面内沿着其延伸方向弯曲的弯曲面的弯曲构件；有关一个方向延伸并在其延伸方向的长度比第一直线轨道构件短，固定在弯曲构件的多个第二直线轨道构件而构成，多个第二直线轨道构件与弯曲面接触排列，使其相邻的第二直线轨道构件延伸方向互相不同，同时连接配置使有关第二直线轨道构件延伸方向的端面彼此互相对向，搬运台车受接连配置的第二轨道构件导向运行。

根据此，在搬运台车运行轨道具有高低差时，能够将高度变化地部分用弯曲轨道模件相连接。此处，弯曲轨道模件可使多个第二直线轨道构件与弯曲面接触排列，通过固定在弯曲构件而形成，当形成搬运台车运行轨道的高度变化部分时，就不需要确定每一个第二直线轨道构件的倾斜角，从而减少作业工时，同时也难以发生作业错误。进而，在弯曲轨道模件方面，由于多个第二直线轨道构件固定在弯曲构件，通过用悬挂构件以规定间隔支撑弯曲轨道模件，能够将弯曲轨道模件悬挂在顶棚下，不需要分别用悬挂构件支撑多个第二直线轨道构件，既减少了悬挂构件数，同时也减少了悬挂弯曲轨道模件用的作业工时。

另外，在本发明的搬运台车运行轨道，弯曲部构件也可以是具有朝向第二直线部件弯曲形成凸部弯曲面的凸型弯曲构件，和具有朝向与第二直线轨道构件相反侧形成凸部弯曲面的凹型弯曲构件之中的一种。据此，无论只能将弯曲构件配置在第二直线轨道构件的上方或者下方两者之一的情况，都能使用凸型弯曲构件或凹型弯曲构件作为弯曲构件，制造向上弯曲而形成凸部的弯曲轨道模件以及向下弯曲而形成凸部的弯曲轨道模件的任意一种，能够用弯曲轨道模件连接搬运台车运行轨道的高度变化的所有部分。

附图说明

图1是本发明实施方式的搬运台车***1的概略结构图。

图2为图1的搬运台车运行轨道的侧视图。

图3为图2的第一直线轨道构件概略立体图。

图4为图2的弯曲轨道模件概略立体图。

图5为图4的凹型弯曲构件及凸型弯曲构件与第二直线轨道构件相连接部分的剖视图。

图6为从 OHT搬运台车搬运方向观察时的直线轨道构件及OHT搬运台车的侧视图。

符号说明

2         搬运台车运行轨道

5         OHT搬运台车

8         第一直线轨道构件

10        凹型弯曲构件

11        凸型弯曲构件

10a、11a  弯曲面

12        第二直线轨道构件

14        悬挂构件

41、42    弯曲轨道模件

具体实施方式

以下说明有关本发明的优选实施方式。

图1是本发明实施方式的搬运台车***1的概略结构图。搬运***1设置在用于制造半导体的净化室内，如图1所示，并具有搬运台车运行轨道2与OHT搬运台车5，通过OHT搬运台车5沿着搬运台车运行轨道2移动将在制造的各个工序之间及各个工序内对加工途中的中间制品进行搬运。

搬运台车运行轨道2具有：工序间轨道6、多条分叉轨道7及多条工序内轨道4。工序间轨道6在进行半导体制造的各工序的图1上下方向排列的多个间场(ベイ)9的左方，是图1的上向方向上延伸的环状轨道，搬运台车5沿着工序间轨道6在间场9之间移动。多条分叉轨道7是对应于多个间场9从工序之间轨道6起分叉的轨道，搬运台车5从工序间轨道6向对应于搬运目的地间场9的分叉轨道7移动，沿着分叉轨道7移动到间场9的上方。多条工序内轨道4与多条分叉轨道7相连接，并在各个间场9上呈环状延伸。各个间场9内设有贮存制造半导体用的半导体制造装置36及用OHT搬运台车5搬运的FOUP(Front-Opening Unified Pod)34(参照图6)的贮存库37。半导体制造装置36设有用于装卸FOUP34(参照图6)的小舟35，贮存库37设有用于将FOUP34搬出搬入贮存库37的出库小舟38及入库小舟39。OHT搬运台车5沿着工序内轨道4移动到小舟35、出库小舟38及入库小舟39的上方。因此，如后所述，能够将在进行某一工序的间场9中制成的零件等装载到FOUP34(参照图6)上，然后搬运到进行其他工序的间场9。

接着，用图2～图5说明搬运台车运行轨道2的结构。图2为图1的搬运台车运行轨道2的侧视图。图3为图2的第一直线轨道构件8的概略立体图。图4(a)为图2的弯曲轨道模件41的概略立体图，图4(b)为图2的弯曲轨道模件42的概略立体图。图5为图4(a)的凹型弯曲构件10与第二直线轨道构件12的连接部分和图4(b)的凸型弯曲构件11与第二直线轨道构件12的连接部分的剖视图。

如图2所示，搬运台车运行轨道2具有：第一直线轨道构件8，两种类型的弯曲轨道模件41、42及悬挂构件14。如图3所示，第一直线轨道构件8具有大致长方体的外形形状，并在其延伸方向的两个端面上分别具有开口8b，同时下面向第一直线轨道构件8的延伸方向延伸，两端形成具有与两个开口8b连接的开口8c的空间8a。并且，如后所述，OHT搬运台车5的初级侧线圈21、初级侧铁心23、次级侧线圈24、分叉滚轮27及运行车轮28(参照图6)在空间8a内移动。

如图2、图4(a)所示，弯曲构件模块41由五个第二直线轨道构件12和凹型弯曲构件10构成，在垂直面内弯曲，并沿着其弯曲方向延伸。第二直线轨道构件12其延伸方向的长度具有比第一直线轨道构件8短的大致长方体的外形形状，在其延伸方向的两个端面各自具有开口12b，同时下面形成沿着第二直线轨道构件12的延伸方向延伸，两端具有与两个开口12b连接的开口12c的空间12a。并且，如后说述，OHT搬运台车5的初级侧线圈21、初级侧铁心23、次级侧线圈24、分叉滚轮27及运行车轮28(参照图6)在空间12a内移动。

凹型弯曲构件10其上面构成平面状，同时下面构成了沿着其延伸方向在垂直面内平滑弯曲而向上形成凸部(凸部朝着与第二直线轨道构件12的相反侧)的弯曲面10a。五个第二直线轨道构件12与弯曲面10a接触排列并固定在凹型弯曲构件10，使其相邻的第二直线轨道构件12的延伸方向相互不同，相邻的第二直线轨道构件12的开口12b(在延伸方向的端面)彼此互相对向地连接配置。此处，相邻的第二直线轨道构件12的开口12b之间存在间隙，但该间隙很小，而搬运台车5跨过该间隙(即跨过相邻的第二直线轨道构件12的开口12b)可被五个第二直线轨道构件12导向移动，所以间隙并不能成为实用上的问题。并且，通过调整第二直线轨道构件12的端面形状，也可以不产生这样的间隙。并且，五个第二直线轨道构件5整体沿着弯曲面10a构成了平滑地弯曲的轨道。还有，如图5所示，第二直线轨道构件12与凹型弯曲构件10，通过从凹型弯曲构件10一侧将螺母16安装在从第二直线轨道构件12的空间12a内的顶面贯通第二直线轨道构件12及凹型弯曲构件10并伸出的螺栓15上加以固定。此处，螺栓15与螺母16，通过配置在空间12a的顶面下方的垫圈19、配置在凹型弯曲构件上面之上的垫圈17及弹簧垫圈18来夹住第二直线轨道构件12与凹型弯曲构件10并固定两者。

如图2、图4(a)所示，弯曲轨道模件42由五个第二直线轨道构件12和凸型弯曲构件11构成，在垂直面内弯曲并沿着该弯曲方向延伸。第二直线轨道构件12具有和弯曲轨道模件41相同的结构。凸型弯曲构件11其上面构成为平面状，同时其下面沿着延伸方向在垂直面内平滑弯曲而向下形成凸部(向第二直线轨道构件12凸出)的弯曲面11a。五个第二直线轨道构件12与弯曲面11a接触并固定在凸型弯曲构件11，使其相邻的第二直线轨道构件12的延伸方向相互不同，以便相邻的第二直线轨道构件12的开口12b(在延伸方向的端面)彼此互相对向连接配置。此处，相邻的第二直线轨道构件12的开口12b之间存在间隙，但该间隙很小，搬运台车5跨过该间隙就可以被五个第二直线轨道构件12导向移动。而且，第二直线轨道构件12也可以制成不产生这样间隙的端面形状。并且，五个第二直线轨道构件12整体沿着弯曲面11a构成了平滑弯曲的轨道。还有，如图5所示，第二直线轨道构件12与凸型弯曲构件10和第二直线轨道构件12与凹型弯曲构件10相同，可用螺栓15、螺母16、垫圈17、19及弹簧垫圈18固定一起。

多个悬挂构件14，其上端固定在顶棚从上端向下方延伸，同时其下端固定在位于第一直线轨道构件8的延伸方向的两端附近及弯曲轨道模件41、42的延伸方向的两端的第二直线轨道构件12上(以规定间隔支撑)。因此，第一直线轨道构件8及弯曲轨道模件41、42通过悬挂构件14悬挂在顶棚下。

如图2所示，搬运台车运行轨道2成了有高低差的轨道，在相同高度水平方向延伸的部分配设多个第一直线轨道构件8，同时相邻的第一直线轨道构件8的开口8b彼此连接一起。在高度有变化的部分，与处于较高位置的第一直线轨道构件8相邻配设弯曲轨道模件41的同时将开口8b和开口12b连接起来，而与处于较低位置的第一直线轨道构件8相邻配设弯曲轨道模件42的同时将开口8b和开口1 2b连接起来。还有，弯曲轨道模件41与弯曲轨道模件42通过第一直线轨道构件8互相连接一起。

此处，通过将五个第二直线轨道构件12沿着弯曲面10a及弯曲面11a排列并固定在凹型弯曲构件10及凸型弯曲构件11就可以形成弯曲轨道模件41、42，因为能够使用弯曲轨道模件41、42连接搬运台车运行轨道2的高度变化部分，所以对于高度变化部分不需要一边确定每个第二直线轨道构件12的倾斜角一边配设第二直线轨道构件12，从而减少作业工时并且也难以发生作业错误。另外，在弯曲构件模块41、42方面，将五个第二直线轨道构件12分别固定在凹型弯曲构件10、凸型弯曲构件11，因此通过将位于弯曲轨道模件41、42的延伸方向两端的两个第二直线轨道构件12固定在悬挂构件14的下端(通过用悬挂构件14以规定间隔支撑弯曲轨道模件41、42)，能够悬挂弯曲轨道模件41、42而不需要用悬挂构件14分别悬挂五个第二直线轨道构件12，所以悬挂构件14的件数少，并且减少了用于悬挂的作业工时。

接着，使用图6说明OHT搬运台车5。图6为从OHT搬运台车5搬运方向观察时的直线轨道构件8、12及OHT搬运台车5的侧视图。而且，为了规更容易明白附图，在图6中将空间8a(空间12a)画得比图3～图5还要大。

如图6所示，OHT搬运台车5具有：在空间8a、12a内移动的初级侧线圈21、初级侧铁心23、两个次级侧线圈24、两个分叉滚轮27、两个运行车轮28，以及跨过开口8c、12c并配置在向下方延伸的部分的定位机构29、悬垂式轮带30和升降体31。

初级侧线圈21与初级侧铁心23设置在以平面观察的OHT搬运台车5的大致中央部分。另一方面，直线轨道构件8、12内与初级侧线圈21、初级侧铁心23相对应，在空间8a、12a顶面的大致中央部分配置了沿延伸方向延伸的次级侧永久磁铁22。

在和直线轨道构件8、12垂直方向的空间8a、12a的两个侧面附近分别形成两个次级侧线圈24。另一方面，在这两条直线轨道构件8、12的两个侧面，分别对应于次级侧线圈24，设有沿直线轨道构件8、12的延伸方向延伸的两条初级侧供电线25。

并且，对OHT搬运台车5而言，要将供给初级侧电线25的电力作为以非接触感应的感应电力供给次级侧线圈24，用所供的电力，由初级侧线圈21、初级侧铁心23及次级侧永久磁铁22构成的线性电机产生OHT搬运台车5的运行推力。

两个分叉滚轮27分别配置在次级侧线圈24的下方。另一方面，直线轨道构件8、12的工序间轨道6和分叉轨道7的分叉口(参照图2)附近部分，对应于分叉滚轮27，在初级侧供给电线25下方形成了沿直线轨道构件8、12的延伸方向延伸的分叉导轨26，该分叉导轨26从和设有初级侧供电线25的相同侧面向水平方向伸出，其顶端具有向下方曲折的剖面形状。并且，两个滚轮27就整体地可在图6的左右方向上移动，并有如下构成：只有两个分叉滚轮27中的一个有选择地与对应的分叉导轨26扣合。因此，能够选择是否使OHT搬运台车5从工序间轨道6移动到分叉轨道7上。

两个运行车轮28分别设置在两个分叉滚轮27的下方，其直径应超过上述的弯曲轨道模件41、42之中相邻的第二直线轨道构件12的开口12b之间所形成的间隙大小范围。运行车轮28被支撑在空间8a、12a的底面上，通过运行车轮28的转动，运行车轮28和初级侧线圈21、初级侧铁心23、次级侧线圈24及分叉滚轮27一起在空间8a、12a内转动，因此，OHT搬运台车5沿着直线轨道构件8、12移动。

定位机构29进行OHT搬运台车5和小舟35的定位。悬垂皮带30从定位机构29的下面向下方延伸，其下端装有升降体31。并且，通过悬垂皮带30的卷起或者放出，就可使升降体31沿着上下方向移动。

升降体31的下面设有用于夹持FOUP34的夹片器32。FOUP34是一种将所搬运的硅大圆片等半导体衬底装入内部的箱，其上面形成与夹片器32扣合的法兰盘33。并且，在FOUP34的搬运中，夹片器32与法兰盘33扣合并夹持FOUP34，到达搬运目的地的小舟35、入库小舟39时，解除和法兰盘33的扣合，然后将FOUP34装到小舟35、入库小舟39上边。

在这里，说明有关OHT搬运台车5搬运FOUP34的动作。当搬运FOUP34的时候，首先，OHT搬运台车5沿着搬运台车运行轨道2，将被搬运的FOUP34移动到某一个小舟35的上方。在目标小舟35的上方，OHT搬运台车5通过定位机构29进行定位，定位完毕后，放出悬垂皮带30，使升降体31向下方移动直到夹片器32与FOUP34的法兰盘33接触。并且，使夹片器32与法兰盘33扣合后，卷起悬垂皮带30。

接着，OHT搬运台车5沿着搬运台车运行轨道2移动到搬运目的地的小舟35的上方。在搬运目的地的小舟35的上方，OHT搬运台车5通过定位机构29进行定位，当定位完毕时，放出悬垂皮带30，与FOUP34一起使升降体31向下方移动直到小舟35为止。并且，FOUP34的下面到达了小舟35的时刻，解除夹片器32与法兰盘的扣合，将FOUP34装到小舟35上。之后，OHT搬运台车5卷起悬垂皮带30，根据下一个指令，沿着搬运台车运行路线2进行移动。而且，从出库小舟38取下FOUP34时的动作以及搬运FOUP34到入库小舟39时的动作也都是相同的，此处就省略其的说明。

根据上面说明的实施方式，运行轨道2设有高低差的情况下，可用弯曲轨道模件41、42连接高度变化的部分。此处，弯曲轨道模件41、42可以采用分别使五个第二直线轨道构件的弯曲面10a、11a接触排列并固定在弯曲构件10、11上的办法来形成，所以形成搬运台车运行轨道2的高度变化部分之际，就不需要确定每一个第二直线轨道构件12的倾斜角，从而减少作业工时，同时也难以发生作业错误。进而，在弯曲轨道模件41、42方面，由于五个第二直线轨道构件12分别固定在凹型弯曲构件10、凸型弯曲构件11，通过将位于弯曲轨道模件41、42的延伸方向两端的两条第二直线轨道构件12固定在悬挂构件14的下端，能够在顶棚下悬挂弯曲轨道模件41、42而不需要分别用悬挂构件14悬挂五个第二直线轨道构件12，所以悬挂构件14的件数少，同时减少悬挂的作业工时。

进而，通过使用凹型弯曲构件与凸型弯曲构件作为弯曲构件，能够形成具有轨道向上弯曲而形成凸部的弯曲轨道模件41，及具有轨道向下弯曲而形成凸部的弯曲轨道模件42，因此即使只能将弯曲构件设置在第二直线轨道构件12上方的情况下，也能够全部用弯曲轨道模件41、42连接搬运台车运行轨道2的高度变化部分。

以上，虽然就本发明的优选实施方式进行了说明，但是本发明并非仅仅限定于上述的实施方式，在权利要求书所记载的限定范围内也可进行各种各样的变更。例如，在本实施方式中，对于构成弯曲轨道模件41、42使用了五个第二直线轨道构件12，不过第二直线轨道构件12的件数并非限定于此，按照轨道高低差的程度、弯曲面10a及第二直线轨道构件12的延伸方向的长度，适当选择最佳设计值，变更应用也行。

另外，本实施方式中，在搬运台车运行轨道2的高度不同的部分，将弯曲轨道模件41连接到处于较高位置的第一直线轨道构件8，将弯曲轨道模件42连接到处于较低位置的第一直线轨道构件8，并弯曲轨道模件41和弯曲轨道模件42之间连接第一直线轨道构件8，不过并非限定于此，对于高低差较小的部分，直接连接弯曲轨道模件41和弯曲轨道模件42也可。相反，对于高低差较大的部分，分别连接多个弯曲轨道模件41及弯曲轨道模件43也可。

另外，本实施方式中说明了用于搬运OHT搬运台车5的搬运台车运行轨道，不过除此之外，在用于搬运OHS(Over Head Shuttle)等其他种类搬运台车的搬运台车运行轨道方面，也能应用本发明。

Claims (2)

1.一种安装搬运台车可移动的搬运台车运行轨道，具有：

上端固定在顶棚并向下方延伸的多个悬挂构件；

向一个方向延伸，用所述悬挂构件以规定间隔支撑的第一直线轨道构件；以及

在垂直面内弯曲并沿着其弯曲方向延伸的，用所述悬挂构件以规定间隔支撑的弯曲轨道模件，

所述弯曲轨道模件与所述第一直线轨道模件关于这些延伸方向的端面互相连接一起，

所述弯曲轨道模件

由表面上具有在垂直面内沿着其延伸方向弯曲的弯曲面的弯曲构件；和

有关向一个方向延伸并在其延伸方向的长度比所述第一直线轨道构件要短，并由固定在所述弯曲构件的多个第二直线轨道构件而构成，其特征在于，

多个所述第二直线轨道构件，与所述弯曲面接触排列，使其相邻的所述第二直线轨道构件延伸方向互相不同，同时连接配置使关于所述第二直线轨道构件延伸方向的端面彼此互相对向，所述搬运台车在所述接连配置的所述第二轨道构件上受导向运行。

2.根据权利要求1记载的搬运台车运行轨道，其特征在于，所述弯曲构件是具有朝向所述第二直线轨道构件弯曲而形成凸部的所述弯曲面的凸型弯曲构件和具有朝向与所述第二直线轨道构件相反侧弯曲而形成凸部的所述弯曲面的凹型弯曲构件的两者之一。

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