CN101071726B - 多段弯线型阴极结构的平板显示器及其制作工艺 - Google Patents

Abstract

本发明涉及一种多段弯线型阴极结构的平板显示器及其制作工艺，包括由阳极玻璃面板、阴极玻璃面板和四周玻璃围框所构成的密封真空腔；在阳极玻璃面板上有阳极导电层以及制备在阳极导电层上面的荧光粉层；在阴极玻璃面板上有阴极导电层、碳纳米管以及多段弯线型阴极结构；位于阳极玻璃面板和阴极玻璃面板之间的支撑墙结构以及消气剂附属元件，能够进一步增强栅极结构的控制功能，降低栅极结构的工作电压，提高碳纳米管阴极的电子发射效率和电子发射数量，具有制作过程稳定可靠、制作工艺简单、制作成本低廉、结构简单的优点。

Description

多段弯线型阴极结构的平板显示器及其制作工艺

技术领域

本发明属于平板显示技术领域、微电子科学与技术领域、真空科学与技术领域以及纳米科学与技术领域的相互交叉领域，涉及到平板场致发射显示器的器件制作，具体涉及到碳纳米管阴极的平板场致发射显示器的器件制作方面的内容，特别涉及一种多段弯线型阴极结构的平板显示器及其制作工艺。

背景技术

碳纳米管阴极的场致发射显示器是一种新兴的平板器件，它在显示原理上融合了阴极射线管显示器和液晶显示器二者的优势，并在功耗、显示品质和成本等方面表现更佳。碳纳米管具有小的尖端曲率半径，能够在外加电压的作用下发射出大量的电子，是一种相当优秀的冷阴极发射材料，而利用这一原理，已经进行了场致发射平板显示器件的研究和制作。这种显示器具有体积小、重量轻、视角大以及工作温区大等优点，代表着未来国际平板显示领域的发展方向。

为了降低总体器件成本，以便于能够和常规的集成驱动电路相联系，制作三极结构的场致发射平板显示器件已经成为了一种必然的选择。其中，栅极结构是比较关键的元件之一，它直接决定着碳纳米管阴极能否进行电子发射，而进一步降低栅极结构的工作电压，也符合低压平板器件质量体系的要求。很显然这要从多方面开始着手开展工作，一方面需要尽可能的缩减栅极结构和碳纳米管阴极结构之间的距离，使得利用较低的栅极电压就足以迫使碳纳米管阴极发射出大量的电子；另一方面还需要对碳纳米管阴极的形状加以改进，来进一步增强碳纳米管阴极表面顶端的电场强度；同时还要使得整体碳纳米管阴极的电场分布要均匀化和稳定化，来提高器件发光的均匀性。那么，在实际器件的制作过程中，究竟如何来进一步增强栅极结构的控制功能，究竟如何来进一步提高碳纳米管阴极的电子发射效率，以及究竟如何来进一步降低栅极的工作电压等等，都是急需解决的问题。

此外，在三极结构的平板场致发射显示器件当中，在确保栅极结构对碳纳米管阴极具有良好控制作用的前提下，还需要尽可能的降低总体器件成本，进行稳定可靠、成本低廉、性能优良、高质量的器件制作。

发明内容

本发明的目的在于克服上述平板显示器件中存在的缺点和不足而提供一种成本低廉、制作过程稳定可靠、制作成功率高、结构简单的多段弯线型阴极结构的平板显示器及其制作工艺。

本发明的目的是这样实现的，包括由阳极玻璃面板、阴极玻璃面板和四周玻璃围框所构成的密封真空腔、在阳极玻璃面板上设置的阳极导电层以及制备在阳极导电层上面的荧光粉层、位于阳极玻璃面板和阴极玻璃面板之间的支撑墙结构以及消气剂附属元件，在阴极玻璃面板上有阴极导电层、碳纳米管以及多段弯线型阴极结构。

所述的多段弯线型阴极结构的衬底材料为玻璃，如钠钙玻璃、硼硅玻璃，也就是阴极玻璃面板；阴极玻璃面板上的印刷的绝缘浆料形成绝缘层；绝缘层上面的刻蚀后的金属层形成阴极引线层；阴极引线层上面的刻蚀后的金属层形成阴极基底层；阴极基底层为六边棱型形状，其下表面和阴极引线层紧密接触；阴极基底层上面的刻蚀后的金属层形成阴极导电层；阴极导电层呈现多段弯线型形状，即一段弯线为两半部分，每半部分都是一小段直线，两半部分的角度为135度，三段弯线为一组，整个阴极导电层有三组，斜对称着排列；绝缘层上面的印刷的绝缘浆料形成分隔一层；分隔一层的上下表面均为平面，下表面要覆盖住阴极引线层以及空余的绝缘层部分；分隔一层中存在圆型孔，暴露出底部的阴极基底层以及阴极导电层；分隔一层中圆型孔的内侧壁为弧形凹陷形状，即分隔一层上表面处的圆型孔的横截面为圆型，从上表面开始，逐渐斜向分隔一层的内部凹陷，其直径逐渐扩大，直至到达分隔一层的下表面为止；分隔一层中圆型孔的内侧壁上的刻蚀后的金属层形成可调栅极层；可调栅极层呈现弯面圆环型形状，依附于圆型孔内侧壁靠近分隔一层上表面的位置；分隔一层上面的印刷的绝缘浆料层形成分隔二层；分隔二层的上下表面均为平面，其下表面和分隔一层的上表面相互接触；分隔二层中也存在圆型孔，其圆型孔的最底端和分隔一层中圆型孔的最顶端的直径是完全相同的；分隔二层中圆型孔的内侧壁为一个斜面型形状，分隔二层上表面处圆型孔的直径最大，依次逐渐直径变小，直至到达分隔二层的下表面为止，其内侧壁形成一个斜坡面；分隔二层底部的圆型孔与分隔一层顶部的圆型孔完全重合；分隔二层上表面的刻蚀后的金属层形成栅极引线层；栅极引线层要覆盖分隔二层中圆型孔的整个斜面内侧壁，并和分隔一层中圆型孔的可调栅极层相互连通；栅极引线层上面的印刷的绝缘浆料层形成栅极覆盖层；栅极覆盖层要完全覆盖住栅极引线层，包括分隔二层中圆型孔的斜面部分在内；碳纳米管制备在阴极导电层上面。

所述的多段弯线型阴极结构的固定位置为安装固定在阴极玻璃面板上；阴极引线层可以为金属金、银、铜、铝、钼、铬、锡、铅、铟；阴极基底层可以为金属金、银、铝、钼、铬、锡；阴极导电层可以为金属铁、钴、镍；可调栅极层可以为金属金、银、铝、钼、铬、铜、锡、铟；栅极引线层的走向和阴极引线层的走向是相互垂直的；栅极引线层可以为金属金、银、铝、钼、铬。

一种带有多段弯线型阴极结构的平板显示器的制作工艺，其制作工艺如下：

1)阴极玻璃面板的制作：对整体平板玻璃进行划割，制作出阴极玻璃面板；

2)绝缘层的制作：在阴极玻璃面板上印刷绝缘浆料，经烘烤、烧结工艺后形成绝缘层；

3)阴极引线层的制作：在绝缘层的上面制备出一个金属层，刻蚀后形成阴极引线层；

4)阴极基底层的制作：在阴极引线层的上面制备出一个金属层，刻蚀后形成阴极基底层；

5)阴极导电层的制作：在阴极基底层的上面制备出一个金属层，刻蚀后形成阴极导电层；

6)分隔一层的制作：在绝缘层的上面印刷绝缘浆料，经烘烤、烧结工艺后形成分隔一层；

7)可调栅极层的制作：在分隔一层圆型孔的内侧壁上制备出一个金属层，刻蚀后形成可调栅极层；

8)分隔二层的制作：在分隔一层的上表面上印刷绝缘浆料，经烘烤、烧结工艺后形成分隔二层；

9)栅极引线层的制作：在分隔二层的上表面上制备出一个金属层，刻蚀后形成栅极引线层；

10)栅极覆盖层的制作：在栅极引线层的上面印刷绝缘浆料，经烘烤、烧结工艺后形成栅极覆盖层；

11)多段弯线型阴极结构的表面清洁处理：对多段弯线型阴极结构的表面进行清洁处理，除掉杂质和灰尘；

12)碳纳米管的制备：将碳纳米管制备在阴极导电层上面；

13)阳极玻璃面板的制作：对整体平板钠钙玻璃进行划割，制作出阳极玻璃面板；

14)阳极导电层的制作：在阳极玻璃面板上蒸镀一层锡铟氧化物膜层；刻蚀后形成阳极导电层；

15)绝缘浆料层的制作：在阳极导电层的非显示区域印刷绝缘浆料层；

16)荧光粉层的制作：在阳极导电层上面的显示区域印刷荧光粉层；

17)器件装配：将阴极玻璃面板、阳极玻璃面板、支撑墙结构和四周玻璃围框装配到一起，并将消气剂放入到空腔当中，用低熔点玻璃粉固定。在玻璃面板的四周涂抹好低熔点玻璃粉，用夹子固定；

18)成品制作：对已经装配好的器件进行封装工艺形成成品件。

所述步骤15具体为在阳极导电层的非显示区域印刷绝缘浆料层，用于防止寄生电子发射；经过烘烤(烘烤温度：150℃，保持时间：5分钟)之后，放置在烧结炉中进行高温烧结(烧结温度：580℃，保持时间：10分钟)。

所述步骤16具体为在阳极导电层上面的显示区域印刷荧光粉层；在烘箱当中进行烘烤(烘烤温度：120℃，保持时间：10分钟)。

所述步骤18具体为对已经装配好的器件进行如下的封装工艺：将样品器件放入烘箱当中进行烘烤；放入烧结炉当中进行烧结；在排气台上进行器件排气、封离，在烤消机上对器件内部的消气剂进行烤消，最后加装管脚形成成品件。

本发明具有如下的积极效果：

首先，在所述的多段弯线型阴极结构中，将碳纳米管制备在了多段弯线型阴极导电层的上面。这样，充分利用了碳纳米管阴极的场致电子发射中边缘位置能够发射出大量电子的现象，有力的提高了碳纳米管阴极的电子发射效率；同时，极大地增加了有效的碳纳米管阴极电子发射面积和电子发射数量，使得更多的碳纳米管阴极都进行电子发射，提高了整体器件的显示亮度。将栅极结构和阴极结构高度集成到一起，有助于促进整体器件的高度集成化发展。

其次，在所述的多段弯线型阴极结构中，分别制作了可调栅极层和栅极引线层结构。栅极引线层能够将外界电压传递到可调栅极层上面，由可调栅极层来在碳纳米管阴极表面顶端形成强大的电场强度，迫使碳纳米管发射出大量的电子，体现了栅极结构的强有力控制作用。同时，由于可调栅极层呈现弯曲斜面圆环型形状环绕在周围，能够将电压均匀的施加到碳纳米管阴极顶端，确保了碳纳米管电子发射的均匀性；可调栅极层的下端能够尽可能的接近于碳纳米管阴极，缩短二者之间的距离，从而极大地降低了栅极结构的工作电压。

此外，在所述的多段弯线型阴极结构中，并没有采用特殊的结构制作材料，也没有采用特殊的器件制作工艺，这在很大程度上就进一步降低了整体平板显示器件的制作成本，简化了器件的制作过程，能够进行大面积的器件制作，有利于进行商业化的大规模生产。

附图说明

图1给出了多段弯线型阴极结构的纵向结构示意图；

图2给出了多段弯线型阴极结构的横向结构示意图；

图3给出了多段弯线型阴极结构中阴极导电层的俯视示意图；

图4给出了带有多段弯线型阴极结构发射结构的、碳纳米管场致发射平面显示器的结构示意图。

具体实施方式

下面结合附图和实施例对本发明进行进一步说明，但本发明并不局限于这些实施例。

所述的一种带有多段弯线型阴极结构的平板显示器，包括由阳极玻璃面板[12]、阴极玻璃面板[1]和四周玻璃围框[16]所构成的密封直空腔；存阳极玻璃面板上有阳极导电层[13]以及制备在阳极导电层上面的荧光粉层[15]；在阴极玻璃面板上有阴极导电层[5]、碳纳米管[11]以及多段弯线型阴极结构；位于阳极玻璃面板和阴极玻璃面板之间的支撑墙结构[18]以及消气剂附属元件[17]。

所述的多段弯线型阴极结构包括阴极玻璃面板[1]、绝缘层[2]、阴极引线层[3]、阴极基底层[4]、阴极导电层[5]、分隔一层[6]、可调栅极层[7]、分隔二层[8]、栅极引线层[9]、栅极覆盖层[10]和碳纳米管[11]部分。

所述的多段弯线型阴极结构的衬底材料为玻璃，如钠钙玻璃、硼硅玻璃，也就是阴极玻璃面板；阴极玻璃面板上的印刷的绝缘浆料形成绝缘层；绝缘层上面的刻蚀后的金属层形成阴极引线层；阴极引线层上面的刻蚀后的金属层形成阴极基底层；阴极基底层为六边棱型形状，其下表面和阴极引线层紧密接触；阴极基底层上面的刻蚀后的金属层形成阴极导电层；阴极导电层呈现多段弯线型形状，即一段弯线为两半部分，每半部分都是一小段直线，两半部分的角度为135度，三段弯线为一组，整个阴极导电层有三组，斜对称着排列；绝缘层上面的印刷的绝缘浆料形成分隔一层；分隔一层的上下表面均为平面，下表面要覆盖住阴极引线层以及空余的绝缘层部分；分隔一层中存在圆型孔，暴露出底部的阴极基底层以及阴极导电层；分隔一层中圆型孔的内侧壁为弧形凹陷形状，即分隔一层上表面处的圆型孔的横截面为圆型，从上表面开始，逐渐斜向分隔一层的内部凹陷，其直径逐渐扩大，直至到达分隔一层的下表面为止；分隔一层中圆型孔的内侧壁上的刻蚀后的金属层形成可调栅极层；可调栅极层呈现弯面圆环型形状，依附于圆型孔内侧壁靠近分隔一层上表面的位置；分隔一层上面的印刷的绝缘浆料层形成分隔二层；分隔二层的上下表面均为平面，其下表面和分隔一层的上表面相互接触；分隔二层中也存在圆型孔，其圆型孔的最底端和分隔一层中圆型孔的最顶端的直径是完全相同的；分隔二层中圆型孔的内侧壁为一个斜面型形状，分隔二层上表面处圆型孔的直径最大，依次逐渐直径变小，直至到达分隔二层的下表面为止，其内侧壁形成一个斜坡面；分隔二层底部的圆型孔与分隔一层顶部的圆型孔完全重合；分隔二层上表面的刻蚀后的金属层形成栅极引线层；栅极引线层要覆盖分隔二层中圆型孔的整个斜面内侧壁，并和分隔一层中圆型孔的可调栅极层相互连通；栅极引线层上面的印刷的绝缘浆料层形成栅极覆盖层；栅极覆盖层要完全覆盖住栅极引线层，包括分隔二层中圆型孔的斜面部分在内；碳纳米管制备在阴极导电层上面。

所述的多段弯线型阴极结构的固定位置为安装固定在阴极玻璃面板上；阴极引线层可以为金属金、银、铜、铝、钼、铬、锡、铅、铟；阴极基底层可以为金属金、银、铝、钼、铬、锡；阴极导电层可以为金属铁、钴、镍；可调栅极层可以为金属金、银、铝、钼、铬、铜、锡、铟；栅极引线层的走向和阴极引线层的走向是相互垂直的；栅极引线层可以为金属金、银、铝、钼、铬。

一种带有多段弯线型阴极结构的平板显示器的制作工艺，其制作工艺如下：

1)阴极玻璃面板[1]的制作：对整体平板钠钙玻璃进行划割，制作出阴极玻璃面板；

2)绝缘层[2]的制作：在阴极玻璃面板上印刷绝缘浆料，经烘烤、烧结工艺后形成绝缘层；

3)阴极引线层[3]的制作：在绝缘层的上面制备出一个金属钼层，刻蚀后形成阴极引线层；

4)阴极基底层[4]的制作：在阴极引线层的上面制备出一个金属铬层，刻蚀后形成阴极基底层；

5)阴极导电层[5]的制作：在阴极基底层的上面制备出一个金属镍层，刻蚀后形成阴极导电层；

6)分隔一层[6]的制作：在绝缘层的上面印刷绝缘浆料，经烘烤、烧结工艺后形成分隔一层；

7)可调栅极层[7]的制作：在分隔一层圆型孔的内侧壁上制备出一个金属铬层，刻蚀后形成可调栅极层；

8)分隔二层[8]的制作：在分隔一层的上表面上印刷绝缘浆料，经烘烤、烧结工艺后形成分隔二层；

9)栅极引线层[9]的制作：在分隔二层的上表面上制备出一个金属铬层，刻蚀后形成栅极引线层；

10)栅极覆盖层[10]的制作：在栅极引线层的上面印刷绝缘浆料，经烘烤、烧结工艺后形成栅极覆盖层；

11)多段弯线型阴极结构的表面清洁处理：对多段弯线型阴极结构的表面进行清洁处理，除掉杂质和灰尘；

12)碳纳米管[11]的制备：将碳纳米管制备在阴极导电层上面；

13)碳纳米管的后处理：对碳纳米管进行后处理，改善场致发射特性；

14)阳极玻璃面板[12]的制作：对整体平板钠钙玻璃进行划割，制作出阳极玻璃面板；

15)阳极导电层[13]的制作：在阳极玻璃面板上蒸镀一层锡铟氧化物膜层；刻蚀后形成阳极导电层；

16)绝缘浆料层[14]的制作：在阳极导电层的非显示区域印刷绝缘浆料层；

17)荧光粉层[15]的制作：在阳极导电层上面的显示区域印刷荧光粉层；

18)器件装配：将阴极玻璃面板、阳极玻璃面板、支撑墙结构[18]和四周玻璃围框[16]装配到一起，并将消气剂[17]放入到空腔当中，用低熔点玻璃粉固定。在玻璃面板的四周涂抹好低熔点玻璃粉，用夹子固定；

19)成品制作：对已经装配好的器件进行封装工艺形成成品件。

所述步骤16具体为在阳极导电层的非显示区域印刷绝缘浆料层，用于防止寄生电子发射；经过烘烤(烘烤温度：150℃，保持时间：5分钟)之后，放置在烧结炉中进行高温烧结(烧结温度：580℃，保持时间：10分钟)。

所述步骤17具体为在阳极导电层上面的显示区域印刷荧光粉层；在烘箱当中进行烘烤(烘烤温度：120℃，保持时间：10分钟)。

所述步骤19具体为对已经装配好的器件进行如下的封装工艺：将样品器件放入烘箱当中进行烘烤；放入烧结炉当中进行烧结；在排气台上进行器件排气、封离，在烤消机上对器件内部的消气剂进行烤消，最后加装管脚形成成品件。

Claims (6)

1.一种多段弯线型阴极结构的平板显示器，包括由阳极玻璃面板[12]、阴极玻璃面板[1]和四周玻璃围框[16]所构成的密封真空腔、在阳极玻璃面板上设置的阳极导电层[13]以及制备在阳极导电层上面的荧光粉层[15]、位于阳极玻璃面板和阴极玻璃面板之间的支撑墙结构[18]以及消气剂附属元件[17]，其特征在于：在阴极玻璃面板上有碳纳米管[11]以及多段弯线型阴极结构，

所述的多段弯线型阴极结构的衬底材料为钠钙玻璃或硼硅玻璃，即阴极玻璃面板；阴极玻璃面板上的印刷的绝缘浆料形成绝缘层；绝缘层上面的刻蚀后的金属层形成阴极引线层；阴极引线层上面的刻蚀后的金属层形成阴极基底层；阴极基底层为六边棱型形状，其下表面和阴极引线层紧密接触；阴极基底层上面的刻蚀后的金属层形成阴极导电层；阴极导电层呈现多段弯线型形状，即一段弯线为两半部分，每半部分都是一小段直线，两半部分的角度为135度，三段弯线为一组，整个阴极导电层有三组，斜对称着排列；绝缘层上面的印刷的绝缘浆料形成分隔一层；分隔一层的上下表面均为平面，下表面要覆盖住阴极引线层以及空余的绝缘层部分；分隔一层中存在圆型孔，暴露出底部的阴极基底层以及阴极导电层；分隔一层中圆型孔的内侧壁为弧形凹陷形状，即分隔一层上表面处的圆型孔的横截面为圆型，从上表面开始，逐渐斜向分隔一层的内部凹陷，其直径逐渐扩大，直至到达分隔一层的下表面为止；分隔一层中圆型孔的内侧壁上的刻蚀后的金属层形成可调栅极层；可调栅极层呈现弯面圆环型形状，依附于圆型孔内侧壁靠近分隔一层上表面的位置；分隔一层上面的印刷的绝缘浆料层形成分隔二层；分隔二层的上下表面均为平面，其下表面和分隔一层的上表面相互接触；分隔二层中也存在 圆型孔，其圆型孔的最底端和分隔一层中圆型孔的最顶端的直径是完全相同的；分隔二层中圆型孔的内侧壁为一个斜面型形状，分隔二层上表面处圆型孔的直径最大，依次逐渐直径变小，直至到达分隔二层的下表面为止，其内侧壁形成一个斜坡面；分隔二层底部的圆型孔与分隔一层顶部的圆型孔完全重合；分隔二层上表面的刻蚀后的金属层形成栅极引线层；栅极引线层要覆盖分隔二层中圆型孔的整个斜面内侧壁，并和分隔一层中圆型孔的可调栅极层相互连通；栅极引线层上面的印刷的绝缘浆料层形成栅极覆盖层；栅极覆盖层要完全覆盖住栅极引线层，包括分隔二层中圆型孔的斜面部分在内；碳纳米管制备在阴极导电层上面。

2.根据权利要求2所述的多段弯线型阴极结构的平板显示器，其特征在于：所述的多段弯线型阴极结构固定在阴极玻璃面板上；阴极引线层为金属金、银、铜、铝、钼、铬、锡、铅、铟之一；阴极基底层为金属金、银、铝、钼、铬、锡之一；阴极导电层为金属铁、钴、镍之一；可调栅极层为金属金、银、铝、钼、铬、铜、锡、铟之一；栅极引线层的走向和阴极引线层的走向是相互垂直的；栅极引线层为金属金、银、铝、钼、铬之一。

3.一种如权利要求1所述的多段弯线型阴极结构的平板显示器的制作工艺，其特征在于，其制作工艺如下：

1)阴极玻璃面板[1]的制作：对整体平板玻璃进行划割，制作出阴极玻璃面板；

2)绝缘层[2]的制作：在阴极玻璃面板上印刷绝缘浆料，经烘烤、烧结工艺后形成绝缘层；

3)阴极引线层[3]的制作：在绝缘层的上面制备出一个金属层，刻蚀后形成阴极引线层； 

4)阴极基底层[4]的制作：在阴极引线层的上面制备出一个金属层，刻蚀后形成阴极基底层；

5)阴极导电层[5]的制作：在阴极基底层的上面制备出一个金属层，刻蚀后形成阴极导电层；

6)分隔一层[6]的制作：在绝缘层的上面印刷绝缘浆料，经烘烤、烧结工艺后形成分隔一层；

7)可调栅极层[7]的制作：在分隔一层圆型孔的内侧壁上制备出一个金属层，刻蚀后形成可调栅极层；

8)分隔二层[8]的制作：在分隔一层的上表面上印刷绝缘浆料，经烘烤、烧结工艺后形成分隔二层；

9)栅极引线层[9]的制作：在分隔二层的上表面上制备出一个金属层，刻蚀后形成栅极引线层；

10)栅极覆盖层[10]的制作：在栅极引线层的上面印刷绝缘浆料，经烘烤、烧结工艺后形成栅极覆盖层；

11)多段弯线型阴极结构的表面清洁处理：对多段弯线型阴极结构的表面进行清洁处理，除掉杂质和灰尘；

12)碳纳米管[11]的制备：将碳纳米管制备在阴极导电层上面；

13)阳极玻璃面板[12]的制作：对整体平板玻璃进行划割，制作出阳极玻璃面板；

14)阳极导电层[13]的制作：在阳极玻璃面板上蒸镀一层锡铟氧化物膜层；刻蚀后形成阳极导电层；

15)绝缘浆料层[14]的制作：在阳极导电层的非显示区域印刷绝缘浆料层； 

16)荧光粉层[15]的制作：在阳极导电层上面的显示区域印刷荧光粉层；

17)器件装配：将阴极玻璃面板、阳极玻璃面板、支撑墙结构[18]和四周玻璃围框[16]装配到一起，并将消气剂[17]放入到空腔当中，用低熔点玻璃粉固定；

18)成品制作：对已经装配好的器件进行封装工艺形成成品件。

4.根据权利要求3所述的多段弯线型阴极结构的平板显示器的制作工艺，其特征在于：所述步骤15具体为在阳极导电层的非显示区域印刷绝缘浆料层，用于防止寄生电子发射；经过烘烤，烘烤温度：150℃，保持时间：5分钟，之后，放置在烧结炉中进行高温烧结，烧结温度：580℃，保持时间：10分钟。

5.根据权利要求3所述的多段弯线型阴极结构的平板显示器的制作工艺，其特征在于：所述步骤16具体为在阳极导电层上面的显示区域印刷荧光粉层；在烘箱当中进行烘烤，烘烤温度：120℃，保持时间：10分钟。

6.根据权利要求3所述的多段弯线型阴极结构的平板显示器的制作工艺，其特征在于：所述步骤18具体为对已经装配好的器件进行如下的封装工艺：将样品器件放入烘箱当中进行烘烤；放入烧结炉当中进行烧结；在排气台上进行器件排气、封离，在烤消机上对器件内部的消气剂进行烤消，最后加装管脚形成成品件。 

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