CN101063637A - 一种双电容厚膜陶瓷感压元件的制备方法 - Google Patents
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Description
Claims (2)
- l、一种双电容厚膜陶瓷感压元件的制备方法,包括绘制平面化设计版图、电极印刷、粘结密封层的丝网印刷及烧结,其特征在于它是按以下步骤完成的:1.1绘制平面化设计版图,经照相制版、感光胶曝光显影,将原图转印于丝网上构成掩模网版,选择96%Al2O3陶瓷盖板及陶瓷弹性膜片作电极板,并在净化间进行超声波清洗;1.2厚膜电极丝网印刷,取Pd/Ag电极浆料,并充分搅拌匀浆,采用250目尼龙丝网,将Pd/Ag电极浆料置于网板上,用刮板匀浆并通过网孔把浆料均匀地印刷淀积在陶瓷基片上;印刷后的电极水平放置流平5~15min后,置于50~180℃下60~80min,其中,自50℃始,升温速率为15~25℃/min,烘干,温度分别为50℃,70℃,90℃,110℃,130℃,150℃,180℃,各温点保温10min后在干燥箱内自然冷却;1.3Pd/Ag电极烧结,使用烧结炉,将陶瓷弹性膜片、陶瓷盖板一起分别置于400℃、563℃、831℃、854℃、852℃和700℃下合计0.9~1.1小时,带速0.87m/min;1.4印刷、烧结高温粘结玻璃,通过粘结网板在陶瓷弹性膜片及陶瓷盖板上印刷高温粘结白玻璃层,经流平、烘干干燥后烧结白玻璃,温度参数设置,同Pd/Ag电极烧结;1.5印刷、烘干、烧结绝缘玻璃层,通过绝缘层网版在陶瓷弹性膜片上再丝网印刷淀积一层二氧化硅绝缘膜,流平10min后,置于50~180℃下60~80min,其中自50℃始,升温速率为15~25℃/min,烘干,温度分别为50℃,70℃,90℃,110℃,130℃,150℃,180℃,各温点保温10min后在干燥箱内自然冷却,于580~620℃下烧结50-70min;1.6印刷低温粘结玻璃,通过粘结网板在陶瓷弹性膜片及陶瓷盖板上,再印刷一层低温玻璃粘结层,流平10min;1.7上下电极粘结,将陶瓷弹性膜片和陶瓷盖板粘结,感压元件在干燥箱烘干冷却;1.8烧结粘结好的感压元件,烧结温度300℃,400℃,510℃,520℃,520℃,400℃,带速0.87m/min,烧结时长0.9~1.1小时,烧结成感压元件。
- 2、根据权利要求1所说的一种双电容厚膜陶瓷感压元件的制备方法,其特征是:所说的平面化设计版图,其测量电极半径为R1、参考电极内半径为R2、参考电极外半径为R3时,则应满足R3 2-R2 2=R1 2,且R2≥R10.5cm。
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