CN100561652C - 环内栅控型阴极结构的平板显示器及其制作工艺 - Google Patents

Abstract

本发明涉及一种环内栅控型阴极结构的平板显示器及其制作工艺，包括由阳极玻璃面板、阴极玻璃面板和四周玻璃围框所构成的密封真空腔；设置在阳极玻璃面板上的阳极导电层以及制备在阳极导电层上面的荧光粉层；在阴极玻璃面板上设置有阴极引线层、碳纳米管以及环内栅控型阴极结构；位于阳极玻璃面板和阴极玻璃面板之间的支撑墙结构以及消气剂附属元件；能够进一步提高整体器件的显示亮度和图像质量；具有制作过程稳定可靠、制作工艺简单、制作成本低廉、结构简单的优点。

Description

环内栅控型阴极结构的平板显示器及其制作工艺

技术领域

本发明属于平板显示技术领域、微电子科学与技术领域、真空科学与技术领域以及纳米科学与技术领域的相互交叉领域，涉及到平板场致发射显示器的器件制作，具体涉及到碳纳米管阴极的平板场致发射显示器的器件制作方面的内容，特别涉及一种环内栅控型阴极结构的平板显示器及其制作工艺。

背景技术

碳纳米管阴极场致发射显示器是利用碳纳米管作为冷阴极材料的一种新型平面显示设备，当在碳纳米管施加外电场强度以后，就会从碳纳米管阴极发射大量电子，轰击荧光粉层而发出可见光。这种显示器的发光原理与传统的阴极射线管显示器相似，但省却了热电子源的预热时间，是一种响应速度更快的显示器件，它具有高亮度、高显示分辨率、高清晰图像、功耗低、适用温区广以及完全平板化等特点，早已引起了科研人员的高度关注，也是环保、节能和健康型的新一代显示器件。

栅极结构是三极碳纳米管阴极场致发射显示器件中的关键控制元件，它直接决定着碳纳米管的电子发射。而目前所报道的显示器件当中，普遍都存在着栅极电压居高不下、显示器件亮度不高、碳纳米管阴极的有效发射面积小等缺点。在栅极结构位于碳纳米管阴极结构上方的控制模式当中，栅极结构还会对碳纳米管阴极所发射的电子束进行部分截留，也造成了阳极电流过于偏小的不利影响。而阴极的有效发射面积变小，则是直接导致器件显示亮度不高的重要原因之一。很显然，碳纳米管阴极的电子发射面积变大了，碳纳米管阴极的电子发射效率提高了，同时栅极结构对电子束的截留变小了，自然而然整体器件的显示亮度会得到极大的提高。因此，需要科研人员认真的对器件结构进行设计，对需要解决的问题进行仔细考虑，务实的解决实际问题。

此外，在三极结构的平板场致发射显示器件当中，在确保栅极结构对碳纳米管阴极具有良好控制作用的前提下，还需要尽可能的降低总体器件成本，进行稳定可靠、成本低廉、性能优良、高质量的器件制作。

发明内容

本发明的目的在于克服上述平板显示器件中存在的缺点和不足而提供一种成本低廉、制作过程稳定可靠、制作成功率高、结构简单的环内栅控型阴极结构的平板显示器及其制作工艺。

本发明的目的是这样实现的，包括由阳极玻璃面板、阴极玻璃面板和四周玻璃围框所构成的密封真空腔；设置在阳极玻璃面板上的阳极导电层以及制备在阳极导电层上面的荧光粉层；位于阳极玻璃面板和阴极玻璃面板之间的支撑墙结构以及消气剂附属元件；在阴极玻璃面板上设置有阴极引线层、碳纳米管以及环内栅控型阴极结构。

所述的环内栅控型阴极结构的衬底材料为玻璃，如钠钙玻璃、硼硅玻璃，也就是阴极玻璃面板；阴极玻璃面板上的印刷的绝缘浆料层形成阻滞层；阻滞层上面的刻蚀后的金属层形成栅极引线层；栅极引线层上面的印刷的绝缘浆料层形成栅极增高层；栅极增高层中存在小圆孔，作为栅极延长线层的通道；栅极增高层中小圆孔内印刷的银浆层形成栅极延长线层；栅极增高层上面的刻蚀后的金属层形成调控栅极层；调控栅极层呈现圆环型形状，坐落于栅极增高层的上表面上，并且和底部的栅极延长线层是相互连通的；栅极增高层上表面上的印刷的绝缘浆料层形成间隔一层；间隔一层的上下表面均为平面，下表面要覆盖住栅极增高层的上表面；间隔一层中存在圆型孔，即圆型孔在间隔一层的上表面形成中空的圆盘型面，圆型孔的内侧壁是垂直于阴极玻璃面板的圆筒面，圆型孔的底面要暴露出栅极增高层的上表面以及圆环型调控栅极层；间隔一层中圆型孔的直径要大于圆环型调控栅极层的外直径；间隔一层中圆型孔内印刷的绝缘浆料层形成间隔二层；间隔二层的总体形状呈现圆环型形状，覆盖在圆环型调控栅极层的上面，间隔二层的内直径要小于调控栅极层的内直径，间隔二层的外直径要大于调控栅极层的外直径；间隔二层的纵向截面呈现类圆台面型形状，即间隔二层的上顶面为平面，平面的宽度与调控栅极层圆环的宽度相同，间隔二层的两侧面均为弧形面，从间隔二层的上顶面开始，逐渐向间隔二层的底面倾斜，形成一个略向外凸起的弧形面，间隔二层的下底面要完全覆盖住调控栅极层；类圆台面型形状的间隔二层以调控栅极层的中心位置为中心，环绕形成一个圆环型形状，覆盖在调控栅极层的上方；间隔二层上表面上的以及间隔一层圆型孔内侧壁上的刻蚀后的金属层形成阴极过渡层；间隔二层上面的阴极过渡层上面的刻蚀后的金属层形成阴极导电层；阴极过渡层和阴极导电层是相互连通的；间隔一层上面的刻蚀后的金属层形成阴极引线层；阴极引线层和阴极过渡层是相互连通的；阴极引线层上面的印刷的绝缘浆料层形成阴极覆盖层；碳纳米管制备在阴极导电层的上面。

所述的环内栅控型阴极结构的固定位置为安装固定在阴极玻璃面板上；栅极引线层可以为金属金、银、铝、钼、铬；调控栅极层可以为金属金、银、铜、铝、钼、铬、锡；阴极引线层的走向和栅极引线层的走向是相互垂直的；阴极引线层可以为金属金、银、铜、铝、钼、铬、锡、铅；阴极过渡层可以为金属金、银、铜、铝、钼、铬、锡；阴极导电层可以为金属铁、钴、镍。

一种环内栅控型阴极结构的平板显示器的制作工艺，其制作工艺如下：

1)阴极玻璃面板的制作：对整体平板玻璃进行划割，制作出阴极玻璃面板；

2)阻滞层的制作：在阴极玻璃面板上印刷绝缘浆料层，经烘烤、烧结工艺后形成阻滞层；

3)栅极引线层的制作：在阻滞层的上面制备出一个金属层，刻蚀后形成栅极引线层；

4)栅极增高层的制作：在栅极引线层的上面印刷绝缘浆料层，经烘烤、烧结工艺后形成栅极增高层；

5)栅极延长线层的制作：在栅极增高层小圆孔内印刷银浆层，经烘烤、烧结工艺后形成栅极延长线层；

6)调控栅极层的制作：在栅极增高层的上面制备出一个金属层，刻蚀后形成调控栅极层；

7)间隔一层的制作：在栅极增高层的上表面上印刷绝缘浆料层，经烘烤、烧结工艺后形成间隔一层；

8)间隔二层的制作：在间隔一层中圆型孔内印刷绝缘浆料层，经烘烤、烧结工艺后形成间隔二层；

9)阴极过渡层的制作：在间隔二层上表面上以及间隔一层圆型孔内侧壁上制备出一个金属层，刻蚀后形成阴极过渡层；

10)阴极导电层的制作：在间隔二层上面的阴极过渡层的上面制备出一个金属层，刻蚀后形成阴极导电层；

11)阴极引线层[11]的制作：在间隔一层的上面制备出一个金属钼层，刻蚀后形成阴极引线层；

12)阴极覆盖层[12]的制作：在阴极引线层的上面印刷绝缘浆料层，经烘烤、烧结工艺后形成阴极覆盖层；

13)环内栅控型阴极结构的表面清洁处理：对环内栅控型阴极结构的表面进行清洁处理，除掉杂质和灰尘；

14)碳纳米管的制备：将碳纳米管制备在阴极导电层上面；

15)阳极玻璃面板的制作：对整体平板钠钙玻璃进行划割，制作出阳极玻璃面板；

16)阳极导电层的制作：在阳极玻璃面板上蒸镀一层锡铟氧化物膜层；刻蚀后形成阳极导电层；

17)绝缘浆料层的制作：在阳极导电层的非显示区域印刷绝缘浆料层；

18)荧光粉层的制作：在阳极导电层上面的显示区域印刷荧光粉层；

19)器件装配：将阴极玻璃面板、阳极玻璃面板、支撑墙结构和四周玻璃围框装配到一起，并将消气剂放入到空腔当中，用低熔点玻璃粉固定；

20)成品制作：对已经装配好的器件进行封装工艺形成成品件。

所述步骤17具体为在阳极导电层的非显示区域印刷绝缘浆料层，用于防止寄生电子发射；经过烘烤(烘烤温度：150℃，保持时间：5分钟)之后，放置在烧结炉中进行高温烧结(烧结温度：580℃，保持时间：10分钟)。

所述步骤18具体为在阳极导电层上面的显示区域印刷荧光粉层；在烘箱当中进行烘烤(烘烤温度：120℃，保持时间：10分钟)。

所述步骤20具体为对已经装配好的器件进行如下的封装工艺：将样品器件放入烘箱当中进行烘烤；放入烧结炉当中进行烧结；在排气台上进行器件排气、封离，在烤消机上对器件内部的消气剂进行烤消，最后加装管脚形成成品件。

本发明具有如下的积极效果：

首先，在所述的环内栅控型阴极结构中，将栅极结构制作在了碳纳米管阴极的内部。当在栅极结构上施加适当电压以后，通过栅极引线层将外界电压传递到器件内部，经过栅极延长线层传递到调控栅极层上面，就会将外界电压转换成碳纳米管阴极表面顶端强大的电场强度，迫使碳纳米管发射出大量的电子，体现了栅极结构的强有力控制功能。由于间隔二层的上顶面为平面，而其两侧面为弧形面，确保了位于间隔二层表面上的碳纳米管阴极到调控栅极层的距离相同，也就确保了调控栅极层能够均匀的将外界电压施加给碳纳米管阴极，确保整体器件发光的均匀性和稳定性。

其次，在所述的环内栅控型阴极结构中，将碳纳米管阴极制备在了阴极导电层的上面，而阴极导电层则布满间隔二层的上表面。极大的增加了碳纳米管阴极的电子发射面积，使得更多的碳纳米管阴极都参与电子发射，有助于提高器件的显示亮度。由于呈现类圆台面型的阴极导电层可以尽可能的接近于呈现圆环型的调控栅极层，缩短了二者之间的有效距离，有助于进一步降低栅极结构的工作电压。将栅极结构和阴极结构高度集成到一起，有助于促进整体器件的高度集成化发展。

此外，在所述的环内栅控型阴极结构中，并没有采用特殊的结构制作材料，也没有采用特殊的器件制作工艺，这在很大程度上就进一步降低了整体平板显示器件的制作成本，简化了器件的制作过程，能够进行大面积的器件制作，有利于进行商业化的大规模生产。

附图说明

图1给出了环内栅控型阴极结构的纵向结构示意图；

图2给出了环内栅控型阴极结构的横向结构示意图；

图3给出了带有环内栅控型阴极结构的、碳纳米管场致发射平面显示器的结构示意图。

具体实施方式

下面结合附图和实施例对本发明进一步说明，但本发明并不局于实施例。

所述的一种带有环内栅控型阴极结构的平板显示器，包括由阳极玻璃面板[14]、阴极玻璃面板[1]和四周玻璃围框[19]所构成的密封真空腔；在阳极玻璃面板上有阳极导电层[15]以及制备在阳极导电层上面的荧光粉层[17]；在阴极玻璃面板上有阴极引线层[11]、碳纳米管[13]以及环内栅控型阴极结构；位于阳极玻璃面板和阴极玻璃面板之间的支撑墙结构[18]以及消气剂[20]附属元件。

所述的环内栅控型阴极结构包括阴极玻璃面板[1]、阻滞层[2]、栅极引线层[3]、栅极增高层[4]、栅极延长线层[5]、调控栅极层[6]、间隔一层[7]、间隔二层[8]、阴极过渡层[9]、阴极导电层[10]、阴极引线层[11]、阴极覆盖层[12]和碳纳米管[13]部分。

所述的环内栅控型阴极结构的衬底材料为玻璃，如钠钙玻璃、硼硅玻璃，也就是阴极玻璃面板；阴极玻璃面板上的印刷的绝缘浆料层形成阻滞层；阻滞层上面的刻蚀后的金属层形成栅极引线层；栅极引线层上面的印刷的绝缘浆料层形成栅极增高层；栅极增高层中存在小圆孔，作为栅极延长线层的通道；栅极增高层中小圆孔内印刷的银浆层形成栅极延长线层；栅极增高层上面的刻蚀后的金属层形成调控栅极层；调控栅极层呈现圆环型形状，坐落于栅极增高层的上表面上，并且和底部的栅极延长线层是相互连通的；栅极增高层上表面上的印刷的绝缘浆料层形成间隔一层；间隔一层的上下表面均为平面，下表面要覆盖住栅极增高层的上表面；间隔一层中存在圆型孔，即圆型孔在间隔一层的上表面形成中空的圆盘型面，圆型孔的内侧壁是垂直于阴极玻璃面板的圆筒面，圆型孔的底面要暴露出栅极增高层的上表面以及圆环型调控栅极层；间隔一层中圆型孔的直径要大于圆环型调控栅极层的外直径；间隔一层中圆型孔内印刷的绝缘浆料层形成间隔二层；间隔二层的总体形状呈现圆环型形状，覆盖在圆环型调控栅极层的上面，间隔二层的内直径要小于调控栅极层的内直径，间隔二层的外直径要大于调控栅极层的外直径；间隔二层的纵向截面呈现类圆台面型形状，即间隔二层的上顶面为平面，平面的宽度与调控栅极层圆环的宽度相同，间隔二层的两侧面均为弧形面，从间隔二层的上顶面开始，逐渐向间隔二层的底面倾斜，形成一个略向外凸起的弧形面，间隔二层的下底面要完全覆盖住调控栅极层；类圆台面型形状的间隔二层以调控栅极层的中心位置为中心，环绕形成一个圆环型形状，覆盖在调控栅极层的上方；间隔二层上表面上的以及间隔一层圆型孔内侧壁上的刻蚀后的金属层形成阴极过渡层；间隔二层上面的阴极过渡层上面的刻蚀后的金属层形成阴极导电层；阴极过渡层和阴极导电层是相互连通的；间隔一层上面的刻蚀后的金属层形成阴极引线层；阴极引线层和阴极过渡层是相互连通的；阴极引线层上面的印刷的绝缘浆料层形成阴极覆盖层；碳纳米管制备在阴极导电层的上面。

所述的环内栅控型阴极结构的固定位置为安装固定在阴极玻璃面板上；栅极引线层可以为金属金、银、铝、钼、铬；调控栅极层可以为金属金、银、铜、铝、钼、铬、锡；阴极引线层的走向和栅极引线层的走向是相互垂直的；阴极引线层可以为金属金、银、铜、铝、钼、铬、锡、铅；阴极过渡层可以为金属金、银、铜、铝、钼、铬、锡；阴极导电层可以为金属铁、钴、镍。

一种带有环内栅控型阴极结构的平板显示器的制作工艺，其制作工艺如下：

1)阴极玻璃面板[1]的制作：对整体平板钠钙玻璃进行划割，制作出阴极玻璃面板；

2)阻滞层[2]的制作：在阴极玻璃面板上印刷绝缘浆料层，经烘烤、烧结工艺后形成阻滞层；

3)栅极引线层[3]的制作：在阻滞层的上面制备出一个金属铬层，刻蚀后形成栅极引线层；

4)栅极增高层[4]的制作：在栅极引线层的上面印刷绝缘浆料层，经烘烤、烧结工艺后形成栅极增高层；

5)栅极延长线层[5]的制作：在栅极增高层小圆孔内印刷银浆层，经烘烤、烧结工艺后形成栅极延长线层；

6)调控栅极层[6]的制作：在栅极增高层的上面制备出一个金属铬层，刻蚀后形成调控栅极层；

7)间隔一层[7]的制作：在栅极增高层的上表面上印刷绝缘浆料层，经烘烤、烧结工艺后形成间隔一层；

8)间隔二层[8]的制作：在间隔一层中圆型孔内印刷绝缘浆料层，经烘烤、烧结工艺后形成间隔二层；

9)阴极过渡层[9]的制作：在间隔二层上表面上以及间隔一层圆型孔内侧壁上制备出一个金属钼层，刻蚀后形成阴极过渡层；

10)阴极导电层[10]的制作：在间隔二层上面的阴极过渡层的上面制备出一个金属镍层，刻蚀后形成阴极导电层；

11)阴极引线层[11]的制作：在间隔一层的上面制备出一个金属钼层，刻蚀后形成阴极引线层；

12)阴极覆盖层[12]的制作：在阴极引线层的上面印刷绝缘浆料层，经烘烤、烧结工艺后形成阴极覆盖层；

13)环内栅控型阴极结构的表面清洁处理：对环内栅控型阴极结构的表面进行清洁处理，除掉杂质和灰尘；

14)碳纳米管[13]的制备：将碳纳米管制备在阴极导电层上面；

15)碳纳米管的后处理：对碳纳米管进行后处理，改善场致发射特性；

16)阳极玻璃面板[14]的制作：对整体平板钠钙玻璃进行划割，制作出阳极玻璃面板；

17)阳极导电层[15]的制作：在阳极玻璃面板上蒸镀一层锡铟氧化物膜层；刻蚀后形成阳极导电层；

18)绝缘浆料层[16]的制作：在阳极导电层的非显示区域印刷绝缘浆料层；

19)荧光粉层[17]的制作：在阳极导电层上面的显示区域印刷荧光粉层；

20)器件装配：将阴极玻璃面板、阳极玻璃面板、支撑墙结构[18]和四周玻璃围框[19]装配到一起，并将消气剂[20]放入到空腔当中，用低熔点玻璃粉固定。在玻璃面板的四周涂抹好低熔点玻璃粉，用夹子固定；

21)成品制作：对已经装配好的器件进行封装工艺形成成品件。

所述步骤18具体为在阳极导电层的非显示区域印刷绝缘浆料层，用于防止寄生电子发射；经过烘烤(烘烤温度：150℃，保持时间：5分钟)之后，放置在烧结炉中进行高温烧结(烧结温度：580℃，保持时间：10分钟)。

所述步骤19具体为在阳极导电层上面的显示区域印刷荧光粉层；在烘箱当中进行烘烤(烘烤温度：120℃，保持时间：10分钟)。

所述步骤21具体为对已经装配好的器件进行如下的封装工艺：将样品器件放入烘箱当中进行烘烤；放入烧结炉当中进行烧结；在排气台上进行器件排气、封离，在烤消机上对器件内部的消气剂进行烤消，最后加装管脚形成成品件。

Claims (6)

1、一种环内栅控型阴极结构的平板显示器，包括由阳极玻璃面板[14]、阴极玻璃面板[1]和四周玻璃围框[19]所构成的密封真空腔；设置在阳极玻璃面板上的阳极导电层[15]以及制备在阳极导电层上面的荧光粉层[17]；位于阳极玻璃面板和阴极玻璃面板之间的支撑墙结构[18]以及消气剂附属元件[20]；其特征在于：

所述的环内栅控型阴极结构以阴极玻璃面板为衬底材料，该衬底材料为钠钙玻璃或硼硅玻璃；阴极玻璃面板上的印刷的绝缘浆料层形成阻滞层；阻滞层上面的刻蚀后的金属层形成栅极引线层；栅极引线层上面的印刷的绝缘浆料层形成栅极增高层；栅极增高层中存在小圆孔，作为栅极延长线层的通道；栅极增高层中小圆孔内印刷的银浆层形成栅极延长线层；栅极增高层上面的刻蚀后的金属层形成调控栅极层；调控栅极层呈现圆环型形状，坐落于栅极增高层的上表面上，并且和底部的栅极延长线层是相互连通的；栅极增高层上表面上的印刷的绝缘浆料层形成间隔一层；间隔一层的上下表面均为平面，下表面要覆盖住栅极增高层的上表面；间隔一层中存在圆型孔，即圆型孔在间隔一层的上表面形成中空的圆盘型面，圆型孔的内侧壁是垂直于阴极玻璃面板的圆筒面，圆型孔的底面要暴露出栅极增高层的上表面以及圆环型调控栅极层；间隔一层中圆型孔的直径要大于圆环型调控栅极层的外直径；间隔一层中圆型孔内印刷的绝缘浆料层形成间隔二层；间隔二层的总体形状呈现圆环型形状，覆盖在圆环型调控栅极层的上面，间隔二层的圆环内直径要小于调控栅极层的圆环内直径，间隔二层的圆环外直径要大于调控栅极层的圆环外直径；间隔二层的纵向截面呈现圆台面型形状，即间隔二层的上顶面为平面，平面的宽度与调控栅极层圆环的宽度相同，间隔二层的两侧面均为弧形面，从间隔二层的上顶面开始，逐渐向间隔二层的底面倾斜，形成一个略向外凸起的弧形面，间隔二层的下底面要完全覆盖住调控栅极层；圆台面型形状的间隔二层以调控栅极层的中心位置为中心，环绕形成一个圆环型形状，覆盖在调控栅极层的上方；间隔二层上表面上的以及间隔一层圆型孔内侧壁上的刻蚀后的金属层形成阴极过渡层；间隔二层上面的阴极过渡层上面的刻蚀后的金属层形成阴极导电层；阴极过渡层和阴极导电层是相互连通的；间隔一层上面的刻蚀后的金属层形成阴极引线层；阴极引线层和阴极过渡层是相互连通的；阴极引线层上面的印刷的绝缘浆料层形成阴极覆盖层；碳纳米管制备在阴极导电层的上面。

2、根据权利要求1所述的环内栅控型阴极结构的平板显示器，其特征在于：所述的环内栅控型阴极结构的固定位置为安装固定在阴极玻璃面板上；栅极引线层为金属金、银、铝、钼、铬；调控栅极层为金属金、银、铜、铝、钼、铬、锡；阴极引线层的走向和栅极引线层的走向相互垂直；阴极引线层为金属金、银、铜、铝、钼、铬、锡、铅；阴极过渡层为金属金、银、铜、铝、钼、铬、锡；阴极导电层为金属铁、钴、镍。

3、一种如权利要求1所述的环内栅控型阴极结构的平板显示器的制作工艺，其特征在于，其制作工艺如下：

1)阴极玻璃面板[1]的制作：对整体平板玻璃划割，制出阴极玻璃面板；

2)阻滞层[2]的制作：在阴极玻璃面板上印刷绝缘浆料层，经烘烤、烧结工艺后形成阻滞层；

3)栅极引线层[3]的制作：在阻滞层的上面制备出一个金属层，刻蚀后形成栅极引线层；

4)栅极增高层[4]的制作：在栅极引线层的上面印刷绝缘浆料层，经烘烤、烧结工艺后形成栅极增高层；

5)栅极延长线层[5]的制作：在栅极增高层小圆孔内印刷银浆层，经烘烤、烧结工艺后形成栅极延长线层；

6)调控栅极层[6]的制作：在栅极增高层的上面制备出一个金属层，刻蚀后形成调控栅极层；

7)间隔一层[7]的制作：在栅极增高层的上表面上印刷绝缘浆料层，经烘烤、烧结工艺后形成间隔一层；

8)间隔二层[8]的制作：在间隔一层中圆型孔内印刷绝缘浆料层，经烘烤、烧结工艺后形成间隔二层；

9)阴极过渡层[9]的制作：在间隔二层上表面上以及间隔一层圆型孔内侧壁上制备出一个金属层，刻蚀后形成阴极过渡层；

10)阴极导电层[10]的制作：在间隔二层上面的阴极过渡层的上面制备出一个金属层，刻蚀后形成阴极导电层；

11)阴极引线层[11]的制作：在间隔一层的上面制备出一个金属层，刻蚀后形成阴极引线层；

12)阴极覆盖层[12]的制作：在阴极引线层的上面印刷绝缘浆料层，经烘烤、烧结工艺后形成阴极覆盖层；

13)环内栅控型阴极结构的表面清洁处理：对环内栅控型阴极结构的表面进行清洁处理，除掉杂质和灰尘；

14)碳纳米管[13]的制备：将碳纳米管制备在阴极导电层上面；

15)阳极玻璃面板[14]的制作：对整体平板钠钙玻璃进行划割，制作出阳极玻璃面板；

16)阳极导电层[15]的制作：在阳极玻璃面板上蒸镀一层锡铟氧化物膜层；刻蚀后形成阳极导电层；

17)绝缘浆料层[16]的制作：在阳极导电层的非显示区域印刷绝缘浆料层；

18)荧光粉层[17]的制作：在阳极导电层上面的显示区域印刷荧光粉层；

19)器件装配：将阴极玻璃面板、阳极玻璃面板、支撑墙结构[18]和四周玻璃围框[19]装配到一起，并将消气剂附属元件[20]放入到空腔当中，用低熔点玻璃粉固定；

20)成品制作：对已经装配好的器件进行封装工艺形成成品件。

4、根据权利要求3所述的环内栅控型阴极结构的平板显示器的制作工艺，其特征在于：所述步骤17具体为在阳极导电层的非显示区域印刷绝缘浆料层，用于防止寄生电子发射；经过烘烤，烘烤温度：150℃，保持时间：5分钟，之后，放置在烧结炉中进行高温烧结，烧结温度：580℃，保持时间：10分钟。

5、根据权利要求3所述的环内栅控型阴极结构的平板显示器的制作工艺，其特征在于：所述步骤18具体为在阳极导电层上面的显示区域印刷荧光粉层；在烘箱当中进行烘烤，烘烤温度：120℃，保持时间：10分钟。

6、根据权利要求3所述的环内栅控型阴极结构的平板显示器的制作工艺，其特征在于：所述步骤20具体为对已经装配好的器件进行如下的封装工艺：将样品器件放入烘箱当中进行烘烤；放入烧结炉当中进行烧结；在排气台上进行器件排气、封离，在烤消机上对器件内部的消气剂进行烤消，最后加装管脚形成成品件。

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