CN100555548C - 内栅控多角阴极结构的平板显示器及其制作工艺 - Google Patents

Abstract

本发明涉及一种内栅控多角阴极结构的平板显示器及其制作工艺，包括由阳极玻璃面板、阴极玻璃面板和四周玻璃围框所构成的密封真空腔；在阳极玻璃面板上有阳极导电层以及制备在阳极导电层上面的荧光粉层；位于阳极玻璃面板和阴极玻璃面板之间的支撑墙结构以及消气剂附属元件；在阴极玻璃面板上有阴极引线层、碳纳米管以及内栅控多角阴极结构；能够提高器件的显示亮度和图像质量，具有制作过程稳定可靠、制作工艺简单、制作成本低廉、结构简单的优点。

Description

内栅控多角阴极结构的平板显示器及其制作工艺

技术领域

本发明属于平板显示技术领域、微电子科学与技术领域、真空科学与技术领域以及纳米科学与技术领域的相互交叉领域，涉及到平板场致发射显示器的器件制作，具体涉及到碳纳米管阴极的平板场致发射显示器的器件制作方面的内容，特别涉及一种内栅控多角阴极结构的平板显示器及其制作工艺。

背景技术

利用碳纳米管作为阴极材料而制作的场致发射平板显示器，因其结构薄型化，并具有高清晰度、高分辨率、低能耗的大平面显示特点，一直是国际平板显示技术领域研究的热点。这种显示器是一种新型的平板显示设备，它采用了碳纳米管作为冷阴极电子发射源，通过电子束轰击荧光粉层而发出可见光。碳纳米管场致发射显示器具有阴极射线管显示器的高清晰图像质量，具有等离子体显示器的大面积性以及功耗低特点，被誉为平板显示领域的一项突破性技术。

在目前所报道的大多数场致发射显示器件当中，都采用了栅极结构位于碳纳米管阴极结构上方的控制模式，其制作工艺相对比较简单，但往往都存在着栅极电压居高不下、器件的显示亮度不高、阳极工作电流偏小等缺点，还很难和常规的集成驱动电路相结合。碳纳米管阴极的表面宏观形状对于在其表面顶端所形成的电场强度也有着一定的影响作用。碳纳米管阴极的表面形状的曲率越小，也就越有助于在较低的电压下能够产生足够强的电场强度，迫使碳纳米管发射出大量的电子，从而在间接角度上降低了栅极结构的工作电压。此外，还要进一步增大碳纳米管阴极的电子发射面积，使得更多的碳纳米管阴极都参与电子发射，增大器件阳极结构的工作电流，从而最终提高器件的显示亮度。因此，在实际器件的制作过程中，究竟采用何种栅极结构控制模式，究竟如何降低栅极工作电压，究竟如何提高碳纳米管的电子发射效率，等等。这些问题都是急需解决的现实问题。

此外，在三极结构的平板场致发射显示器件当中，在确保栅极结构对碳纳米管阴极具有良好控制作用的前提下，还需要尽可能的降低总体器件成本，进行稳定可靠、成本低廉、性能优良、高质量的器件制作。

发明内容

本发明的目的在于克服上述平板显示器件中存在的缺点和不足而提供一种成本低廉、制作过程稳定可靠、制作成功率高、结构简单的内栅控多角阴极结构的平板显示器及其制作工艺。

本发明的目的是这样实现的，包括由阳极玻璃面板、阴极玻璃面板和四周玻璃围框所构成的密封真空腔；在阳极玻璃面板上有阳极导电层以及制备在阳极导电层上面的荧光粉层；在阴极玻璃面板上有阴极引线层、碳纳米管以及内栅控多角阴极结构；位于阳极玻璃面板和阴极玻璃面板之间的支撑墙结构以及消气剂附属元件。

所述的内栅控多角阴极结构的衬底材料为玻璃，如钠钙玻璃、硼硅玻璃，也就是阴极玻璃面板；阴极玻璃面板上的印刷的绝缘浆料层形成绝缘层；绝缘层上面的刻蚀后的金属层形成栅极引线层；栅极引线层上面的印刷的绝缘浆料层形成栅极升高层；栅极升高层中存在小圆孔，作为栅极延长线层的通道；栅极升高层小圆孔中印刷的银浆层形成栅极延长线层；栅极升高层上面的印刷的绝缘浆料层形成附加栅极升高层；附加栅极升高层位于栅极升高层的上表面上，其纵向截面呈现半圆型形状，圆心位于栅极升高层上表面上，且在栅极延长线层的旁侧，以栅极延长线为轴心，将半圆型形状进行旋转，环绕形成一个环型形状；附加栅极升高层的上表面上的刻蚀后的金属层形成栅极管制层；栅极管制层和栅极延长线层是相互连通的；栅极管制层上面的印刷的绝缘浆料层形成间隔层；间隔层的下表面要覆盖住栅极管制层、附加栅极升高层、栅极延长线层以及栅极升高层；间隔层的上表面上存在多角孔，即此多角孔在间隔层上表面所形成的截面为一个中空的圆型面，在垂直方向上位于栅极管制层的正上方；间隔层中多角孔的内侧壁上存在多个尖角形状，即位于两个半圆中间部分存在一个向下的尖角，在两个半圆的正上方分别存在一个向下的尖角；在两个半圆的两侧分别存在一个朝向半圆方向的尖角；间隔层中多角孔的内侧壁上的刻蚀后的金属层形成渡越层；渡越层布满间隔层中多角孔的内侧壁；渡越层上面的刻蚀后的金属层形成阴极导电层；阴极导电层并不是布满整个渡越层表面上的，而是分布在距离栅极管制层较近的尖角部分；间隔层上表面上的刻蚀后的金属层形成阴极引线层；阴极引线层、渡越层和阴极导电层都是相互连通的；阴极引线层上面的印刷的绝缘浆料层形成阴极覆盖层；碳纳米管制备在阴极导电层的上面。

所述的内栅控多角阴极结构的固定位置为安装固定在阴极玻璃面板上；栅极引线层可以为金属金、银、铝、钼、铬；栅极管制层可以为金属金、银、铜、铝、钼、铬、锡；阴极引线层的走向和栅极引线层的走向是相互垂直的；阴极引线层可以为金属金、银、铜、铝、钼、铬、锡、铅、铟；渡越层可以为金属金、银、铝、铜、钼、铬、锡；阴极导电层可以为金属铁、钴、镍。

一种内栅控多角阴极结构的平板显示器的制作工艺，其制作工艺如下：

1)阴极玻璃面板的制作：对整体平板玻璃进行划割，制作出阴极玻璃面板；

2)绝缘层的制作：在阴极玻璃面板的上面印刷绝缘浆料层，经烘烤、烧结工艺后形成绝缘层；

3)栅极引线层的制作：在绝缘层的上面制备出一个金属层，刻蚀后形成栅极引线层；

4)栅极升高层的制作：在栅极引线层的上面印刷绝缘浆料层，经烘烤、烧结工艺后形成栅极升高层；

5)栅极延长线层的制作：在栅极升高层小圆孔内印刷银浆，经烘烤、烧结工艺后形成栅极延长线层；

6)附加栅极升高层的制作：在栅极升高层上面印刷绝缘浆料层，经烘烤、烧结工艺后形成附加栅极升高层；

7)栅极管制层的制作：在附加栅极升高层的上表面上制备出一个金属层，刻蚀后形成栅极管制层；

8)间隔层的制作：在栅极管制层的上面印刷绝缘浆料层，经烘烤、烧结工艺后形成间隔层；

9)渡越层的制作：在间隔层中多角孔的内侧壁上制备出一个金属层，刻蚀后形成渡越层；

10)阴极导电层的制作：在渡越层的上面制备出一个金属层，刻蚀后形成阴极导电层；

11)阴极引线层的制作：在间隔层上表面上制备出一个金属层，刻蚀后形成阴极引线层；

12)阴极覆盖层的制作：在阴极引线层的上面印刷绝缘浆料层，经烘烤、烧结工艺后形成阴极覆盖层；

13)内栅控多角阴极结构的表面清洁处理：对内栅控多角阴极结构的表面进行清洁处理，除掉杂质和灰尘；

14)碳纳米管的制备：将碳纳米管制备在阴极导电层上面；

15)阳极玻璃面板的制作：对整体平板玻璃进行划割，制作出阳极玻璃面板；

16)阳极导电层的制作：在阳极玻璃面板上蒸镀一层锡铟氧化物膜层；刻蚀后形成阳极导电层；

17)绝缘浆料层的制作：在阳极导电层的非显示区域印刷绝缘浆料层；

18)荧光粉层的制作：在阳极导电层上面的显示区域印刷荧光粉层；

19)器件装配：将阴极玻璃面板、阳极玻璃面板、支撑墙结构和四周玻璃围框装配到一起，并将消气剂放入到空腔当中，用低熔点玻璃粉固定；

20)成品制作：对已经装配好的器件进行封装工艺形成成品件。

所述步骤17具体为在阳极导电层的非显示区域印刷绝缘浆料层，用于防止寄生电子发射；经过烘烤(烘烤温度：150℃，保持时间：5分钟)之后，放置在烧结炉中进行高温烧结(烧结温度：580℃，保持时间：10分钟)。

所述步骤18具体为在阳极导电层上面的显示区域印刷荧光粉层；在烘箱当中进行烘烤(烘烤温度：120℃，保持时间：10分钟)。

所述步骤20具体为对已经装配好的器件进行如下的封装工艺：将样品器件放入烘箱当中进行烘烤；放入烧结炉当中进行烧结；在排气台上进行器件排气、封离，在烤消机上对器件内部的消气剂进行烤消，最后加装管脚形成成品件。

本发明具有如下的积极效果：

首先，在所述的内栅控多角阴极结构中，将碳纳米管阴极制备在了呈现多个尖角形状的多角孔中的阴极导电层的上面。这样，改变了碳纳米管阴极的宏观表面形状，充分利用了碳纳米管阴极电子发射中的边缘位置能够发射大量电子的特有现象，使得碳纳米管阴极能够发射出更多的电子，提高了碳纳米管阴极的电子发射效率；同时，使得碳纳米管阴极能够在较低的电压下就获得了足够大的电场强度，而进行电子发射，从而在间接角度而言有助于进一步降低栅极结构的工作电压。

其次，在所述的内栅控多角阴极结构中，将栅极结构制作在了碳纳米管阴极的内部，也就是说栅极结构被碳纳米管阴极结构所包围着。当在栅极结构上施加适当电压以后，在碳纳米管阴极的表面顶端就会形成强大的电场强度，迫使碳纳米管发射出大量的电子，从而体现了栅极结构的强有力控制功能。由于栅极结构被间隔层所覆盖，不会对碳纳米管阴极发射的电子束进行截留，从而减小了栅极电流。半圆型的栅极管制层能够尽可能的接近于呈现尖角形状的碳纳米管阴极，缩减了二者之间的距离，有助于再次降低栅极结构的工作电压。

此外，在所述的内栅控多角阴极结构中，并没有采用特殊的结构制作材料，也没有采用特殊的器件制作工艺，这在很大程度上就进一步降低了整体平板显示器件的制作成本，简化了器件的制作过程，能够进行大面积的器件制作，有利于进行商业化的大规模生产。

附图说明

图1给出了内栅控多角阴极结构的纵向结构示意图；

图2给出了内栅控多角阴极结构的横向结构示意图；

图3给出了带有内栅控多角阴极结构的、碳纳米管场致发射平面显示器的结构示意图。

具体实施方式

下面结合附图和实施例对本发明进行进一步说明，但本发明并不局限于这些实施例。

所述的一种带有内栅控多角阴极结构的平板显示器，包括由阳极玻璃面板[14]、阴极玻璃面板[1]和四周玻璃围框[19]所构成的密封真空腔；在阳极玻璃面板上有阳极导电层[15]以及制备在阳极导电层上面的荧光粉层[17]；在阴极玻璃面板上有阴极引线层[11]、碳纳米管[13]以及内栅控多角阴极结构；位于阳极玻璃面板和阴极玻璃面板之间的支撑墙结构[18]以及消气剂[20]附属元件。

所述的内栅控多角阴极结构包括阴极玻璃面板[1]、绝缘层[2]、栅极引线层[3]、栅极升高层[4]、栅极延长线层[5]、附加栅极升高层[6]、栅极管制层[7]、间隔层[8]、渡越层[9]、阴极导电层[10]、阴极引线层[11]、阴极覆盖层[12]和碳纳米管[13]部分。

所述的内栅控多角阴极结构的衬底材料为玻璃，如钠钙玻璃、硼硅玻璃，也就是阴极玻璃面板；阴极玻璃面板上的印刷的绝缘浆料层形成绝缘层；绝缘层上面的刻蚀后的金属层形成栅极引线层；栅极引线层上面的印刷的绝缘浆料层形成栅极升高层；栅极升高层中存在小圆孔，作为栅极延长线层的通道；栅极升高层小圆孔中印刷的银浆层形成栅极延长线层；栅极升高层上面的印刷的绝缘浆料层形成附加栅极升高层；附加栅极升高层位于栅极升高层的上表面上，其纵向截面呈现半圆型形状，圆心位于栅极升高层上表面上，且在栅极延长线层的旁侧，以栅极延长线为轴心，将半圆型形状进行旋转，环绕形成一个环型形状；附加栅极升高层的上表面上的刻蚀后的金属层形成栅极管制层；栅极管制层和栅极延长线层是相互连通的；栅极管制层上面的印刷的绝缘浆料层形成间隔层；间隔层的下表面要覆盖住栅极管制层、附加栅极升高层、栅极延长线层以及栅极升高层；间隔层的上表面上存在多角孔，即此多角孔在间隔层上表面所形成的截面为一个中空的圆型面，在垂直方向上位于栅极管制层的正上方；间隔层中多角孔的内侧壁上存在多个尖角形状，即位于两个半圆中间部分存在一个向下的尖角，在两个半圆的正上方分别存在一个向下的尖角；在两个半圆的两侧分别存在一个朝向半圆方向的尖角；间隔层中多角孔的内侧壁上的刻蚀后的金属层形成渡越层；渡越层布满间隔层中多角孔的内侧壁；渡越层上面的刻蚀后的金属层形成阴极导电层；阴极导电层并不是布满整个渡越层表面上的，而是分布在距离栅极管制层较近的尖角部分；间隔层上表面上的刻蚀后的金属层形成阴极引线层；阴极引线层、渡越层和阴极导电层都是相互连通的；阴极引线层上面的印刷的绝缘浆料层形成阴极覆盖层；碳纳米管制备在阴极导电层的上面。

所述的内栅控多角阴极结构的固定位置为安装固定在阴极玻璃面板上；栅极引线层可以为金属金、银、铝、钼、铬；栅极管制层可以为金属金、银、铜、铝、钼、铬、锡；阴极引线层的走向和栅极引线层的走向是相互垂直的；阴极引线层可以为金属金、银、铜、铝、钼、铬、锡、铅、铟；渡越层可以为金属金、银、铝、铜、钼、铬、锡；阴极导电层可以为金属铁、钴、镍。

一种带有内栅控多角阴极结构的平板显示器的制作工艺，其制作工艺如下：

1)阴极玻璃面板[1]的制作：对整体平板钠钙玻璃进行划割，制作出阴极玻璃面板；

2)绝缘层[2]的制作：在阴极玻璃面板的上面印刷绝缘浆料层，经烘烤、烧结工艺后形成绝缘层；

3)栅极引线层[3]的制作：在绝缘层的上面制备出一个金属铬层，刻蚀后形成栅极引线层；

4)栅极升高层[4]的制作：在栅极引线层的上面印刷绝缘浆料层，经烘烤、烧结工艺后形成栅极升高层；

5)栅极延长线层[5]的制作：在栅极升高层小圆孔内印刷银浆，经烘烤、烧结工艺后形成栅极延长线层；

6)附加栅极升高层[6]的制作：在栅极升高层上面印刷绝缘浆料层，经烘烤、烧结工艺后形成附加栅极升高层；

7)栅极管制层[7]的制作：在附加栅极升高层的上表面上制备出一个金属铬层，刻蚀后形成栅极管制层；

8)间隔层[8]的制作：在栅极管制层的上面印刷绝缘浆料层，经烘烤、烧结工艺后形成间隔层；

9)渡越层[9]的制作：在间隔层中多角孔的内侧壁上制备出一个金属钼层，刻蚀后形成渡越层；

10)阴极导电层[10]的制作：在渡越层的上面制备出一个金属钴层，刻蚀后形成阴极导电层；

11)阴极引线层[11]的制作：在间隔层上表面上制备出一个金属钼层，刻蚀后形成阴极引线层；

12)阴极覆盖层[12]的制作：在阴极引线层的上面印刷绝缘浆料层，经烘烤、烧结工艺后形成阴极覆盖层；

13)内栅控多角阴极结构的表面清洁处理：对内栅控多角阴极结构的表面进行清洁处理，除掉杂质和灰尘；

14)碳纳米管[13]的制备：将碳纳米管制备在阴极导电层上面；

15)碳纳米管的后处理：对碳纳米管进行后处理，改善场致发射特性；

16)阳极玻璃面板[14]的制作：对整体平板钠钙玻璃进行划割，制作出阳极玻璃面板；

17)阳极导电层[15]的制作：在阳极玻璃面板上蒸镀一层锡铟氧化物膜层；刻蚀后形成阳极导电层；

18)绝缘浆料层[16]的制作：在阳极导电层的非显示区域印刷绝缘浆料层；

19)荧光粉层[17]的制作：在阳极导电层上面的显示区域印刷荧光粉层；

20)器件装配：将阴极玻璃面板、阳极玻璃面板、支撑墙结构[18]和四周玻璃围框[19]装配到一起，并将消气剂[20]放入到空腔当中，用低熔点玻璃粉固定。在玻璃面板的四周涂抹好低熔点玻璃粉，用夹子固定；

21)成品制作：对已经装配好的器件进行封装工艺形成成品件。

所述步骤18具体为在阳极导电层的非显示区域印刷绝缘浆料层，用于防止寄生电子发射；经过烘烤(烘烤温度：150℃，保持时间：5分钟)之后，放置在烧结炉中进行高温烧结(烧结温度：580℃，保持时间：10分钟)。

所述步骤19具体为在阳极导电层上面的显示区域印刷荧光粉层；在烘箱当中进行烘烤(烘烤温度：120℃，保持时间：10分钟)。

所述步骤21具体为对已经装配好的器件进行如下的封装工艺：将样品器件放入烘箱当中进行烘烤；放入烧结炉当中进行烧结；在排气台上进行器件排气、封离，在烤消机上对器件内部的消气剂进行烤消，最后加装管脚形成成品件。

Claims (7)

1、一种内栅控多角阴极结构的平板显示器，包括由阳极玻璃面板(14)、阴极玻璃面板(1)和四周玻璃围框(19)所构成的密封真空腔；在阳极玻璃面板上有阳极导电层(15)以及制备在阳极导电层上面的荧光粉层(17)；位于阳极玻璃面板和阴极玻璃面板之间的支撑墙结构(18)以及消气剂附属元件(20)；其特征在于：在阴极玻璃面板上有阴极引线层(11)、碳纳米管(13)以及内栅控多角阴极结构。

2、根据权利要求1所述的内栅控多角阴极结构的平板显示器，其特征在于：所述的内栅控多角阴极结构的阴极玻璃面板的材料为钠钙玻璃或硼硅玻璃；阴极玻璃面板上的印刷的绝缘浆料层形成绝缘层；绝缘层上面的刻蚀后的金属层形成栅极引线层；栅极引线层上面的印刷的绝缘浆料层形成栅极升高层；栅极升高层中存在小圆孔，作为栅极延长线层的通道；栅极升高层小圆孔中印刷的银浆层形成栅极延长线层；栅极升高层上面的印刷的绝缘浆料层形成附加栅极升高层；附加栅极升高层位于栅极升高层的上表面上，其纵向截面呈现半圆型形状，圆心位于栅极升高层上表面上，且在栅极延长线层的旁侧，以栅极延长线为轴心，将半圆型形状进行旋转，环绕形成一个环型形状；附加栅极升高层的上表面上的刻蚀后的金属层形成栅极管制层；栅极管制层和栅极延长线层是相互连通的；栅极管制层上面的印刷的绝缘浆料层形成间隔层；间隔层的下表面要覆盖住栅极管制层、附加栅极升高层、栅极延长线层以及栅极升高层；间隔层的上表面上存在多角孔，即此多角孔在间隔层上表面所形成的截面为一个中空的圆型面，在垂直方向上位于栅极管制层的正上方；间隔层中多角孔的内侧壁上存在多个尖角形状，即位于两个半圆中间部分存在一个向下的尖角，在两个半圆的正上方分别存在一个向下的尖角；在两个半圆的两侧分别存在一个朝向半圆方向的尖角；间隔层中多角孔的内侧壁上的刻蚀后的金属层形成渡越层；渡越层布满间隔层中多角孔的内侧壁；渡越层上面的刻蚀后的金属层形成阴极导电层；阴极导电层并不是布满整个渡越层表面上的，而是分布在距离栅极管制层较近的尖角部分；间隔层上表面上的刻蚀后的金属层形成阴极引线层；阴极引线层、渡越层和阴极导电层都是相互连通的；阴极引线层上面的印刷的绝缘浆料层形成阴极覆盖层；碳纳米管制备在阴极导电层的上面。

3、根据权利要求2所述的内栅控多角阴极结构的平板显示器，其特征在于：所述的内栅控多角阴极结构的固定位置为安装固定在阴极玻璃面板上；栅极引线层为金属金、银、铝、钼、铬之一；栅极管制层为金属金、银、铜、铝、钼、铬、锡之一；阴极引线层的走向和栅极引线层的走向相互垂直；阴极引线层为金属金、银、铜、铝、钼、铬、锡、铅、铟之一；渡越层为金属金、银、铝、铜、钼、铬、锡之一；阴极导电层为金属铁、钴、镍之一。

4、一种内栅控多角阴极结构的平板显示器的制作工艺，其特征在于，其制作工艺如下：

1)阴极玻璃面板(1)的制作：对整体平板玻璃进行划割，制作出阴极玻璃面板；

2)绝缘层(2)的制作：在阴极玻璃面板的上面印刷绝缘浆料层，经烘烤、烧结工艺后形成绝缘层；

3)栅极引线层(3)的制作：在绝缘层的上面制备出一个金属层，刻蚀后形成栅极引线层；

4)栅极升高层(4)的制作：在栅极引线层的上面印刷绝缘浆料层，经烘烤、烧结工艺后形成栅极升高层；

5)栅极延长线层(5)的制作：在栅极升高层小圆孔内印刷银浆，经烘烤、烧结工艺后形成栅极延长线层；

6)附加栅极升高层(6)的制作：在栅极升高层上面印刷绝缘浆料层，经烘烤、烧结工艺后形成附加栅极升高层；

7)栅极管制层(7)的制作：在附加栅极升高层的上表面上制备出一个金属层，刻蚀后形成栅极管制层；

8)间隔层(8)的制作：在栅极管制层的上面印刷绝缘浆料层，经烘烤、烧结工艺后形成间隔层；

9)渡越层(9)的制作：在间隔层中多角孔的内侧壁上制备出一个金属层，刻蚀后形成渡越层；

10)阴极导电层(10)的制作：在渡越层的上面制备出一个金属层，刻蚀后形成阴极导电层；

11)阴极引线层(11)的制作：在间隔层上表面上制备出一个金属层，刻蚀后形成阴极引线层；

12)阴极覆盖层(12)的制作：在阴极引线层的上面印刷绝缘浆料层，经烘烤、烧结工艺后形成阴极覆盖层；

13)内栅控多角阴极结构的表面清洁处理：对内栅控多角阴极结构的表面进行清洁处理，除掉杂质和灰尘；

14)碳纳米管(13)的制备：将碳纳米管制备在阴极导电层上面；

15)阳极玻璃面板(14)的制作：对整体平板钠钙玻璃进行划割，制作出阳极玻璃面板；

16)阳极导电层(15)的制作：在阳极玻璃面板上蒸镀一层锡铟氧化物膜层；刻蚀后形成阳极导电层；

17)绝缘浆料层(16)的制作：在阳极导电层的非显示区域印刷绝缘浆料层；

18)荧光粉层(17)的制作：在阳极导电层上面的显示区域印刷荧光粉层；

19)器件装配：将阴极玻璃面板、阳极玻璃面板、支撑墙结构(18)和四周玻璃围框(19)装配到一起，并将消气剂附属元件(20)放入到空腔当中，用低熔点玻璃粉固定；

20)成品制作：对已经装配好的器件进行封装工艺形成成品件。

5、根据权利要求4所述的内栅控多角阴极结构的平板显示器的制作工艺，其特征在于：所述步骤17具体为在阳极导电层的非显示区域印刷绝缘浆料层，用于防止寄生电子发射；经过烘烤，烘烤温度：150℃，保持时间：5分钟，之后，放置在烧结炉中进行高温烧结，烧结温度：580℃，保持时间：10分钟。

6、根据权利要求4所述的内栅控多角阴极结构的平板显示器的制作工艺，其特征在于：所述步骤18具体为在阳极导电层上面的显示区域印刷荧光粉层；在烘箱当中进行烘烤，烘烤温度：120℃，保持时间：10分钟。

7、根据权利要求4所述的内栅控多角阴极结构的平板显示器的制作工艺，其特征在于：所述步骤20具体为对已经装配好的器件进行如下的封装工艺：将样品器件放入烘箱当中进行烘烤；放入烧结炉当中进行烧结；在排气台上进行器件排气、封离，在烤消机上对器件内部的消气剂附属元件进行烤消，最后加装管脚形成成品件。

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