CH717124A2 - A method of manufacturing a device with one-piece flexible silicon blades, in particular for watchmaking. - Google Patents

A method of manufacturing a device with one-piece flexible silicon blades, in particular for watchmaking. Download PDF

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CH717124A2
CH717124A2 CH00156/20A CH1562020A CH717124A2 CH 717124 A2 CH717124 A2 CH 717124A2 CH 00156/20 A CH00156/20 A CH 00156/20A CH 1562020 A CH1562020 A CH 1562020A CH 717124 A2 CH717124 A2 CH 717124A2
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silicon
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silicon oxide
space
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Cusin Pierre
Gandelhman Alex
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Nivarox Sa
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Abstract

L'invention se rapporte à un dispositif à lames flexibles (2, 3) monobloc en silicium, par exemple un pivot à lames croisées, et à un procédé de fabrication du dispositif (1). Le procédé comporte les étapes suivantes : former une ébauche de dispositif (1) monobloc en silicium à partir d'un wafer de type SOI, le dispositif (1) comportant deux lames flexibles (2, 3) formées chacune dans une couche différente du wafer SOI, les lames (2, 3) étant agencées dans deux plans sensiblement parallèles différents, les lames (2, 3) étant séparées par un espace, faire croître une première couche d'oxyde de silicium à la surface d'au moins une des lames (2, 3) bordant l'espace, la première couche d'oxyde de silicium étant formée à partir d'une première sous-couche de silicium de la ou des lames (2, 3), éliminer la première couche d'oxyde de silicium pour agrandir l'espace entre les deux lames (2, 3).The invention relates to a device with flexible blades (2, 3) in one piece made of silicon, for example a pivot with crossed blades, and to a method of manufacturing the device (1). The method comprises the following steps: forming a one-piece silicon device blank (1) from an SOI-type wafer, the device (1) comprising two flexible blades (2, 3) each formed in a different layer of the wafer SOI, the blades (2, 3) being arranged in two different substantially parallel planes, the blades (2, 3) being separated by a space, growing a first layer of silicon oxide on the surface of at least one of the blades (2, 3) bordering the space, the first layer of silicon oxide being formed from a first silicon sublayer of the blade (s) (2, 3), removing the first layer of oxide silicon to enlarge the space between the two blades (2, 3).

Description

Domaine de l'inventionField of the invention

[0001] L'invention se rapporte à un procédé de fabrication d'un dispositif à lames flexibles monobloc en silicium, notamment pour l'horlogerie, par exemple un pivot à lames croisées utilisé comme compensateur coopérant avec un balancier d'inertie connu pour former un résonateur comportant une fréquence prédéterminée. The invention relates to a method of manufacturing a device with one-piece flexible silicon blades, in particular for watchmaking, for example a pivot with crossed blades used as a compensator cooperating with a known inertia balance to form a resonator comprising a predetermined frequency.

Arrière-plan de l'inventionBackground of the invention

[0002] Les oscillateurs basés sur des lames flexibles sont assez communément formés en silicium et bénéficient ainsi des performances en terme de micro-usinage de ce matériau (DRIE). Une catégorie particulière de ces oscillateurs est celle des pivots dits „à lames croisées“, pour lesquels deux lames sont formées dans deux couches distinctes de deux plans sensiblement parallèles et se croisent. Ces pivots permettent de faire osciller en rotation un élément, par exemple un balancier de mécanisme oscillateur ou une ancre de mécanisme d'échappement. Oscillators based on flexible blades are quite commonly formed from silicon and thus benefit from performance in terms of micromachining of this material (DRIE). A special category of these oscillators is that of the so-called "crossed-leaf" pivots, for which two blades are formed in two distinct layers of two substantially parallel planes and intersect. These pivots make it possible to make an element, for example a balance of an oscillator mechanism or an anchor of an escapement mechanism, oscillate in rotation.

[0003] La fabrication de tels pivots peut se faire de manières différentes. Une première méthode consiste à fabriquer les deux lames séparément et les assembler en ménageant un espace entre les lames. Un tel procédé permet de choisir un espace suffisant entre les lames pour éviter qu'elles ne s'entrechoquent. Cependant, la disposition des lames l'une par rapport à l'autre n'est pas toujours précise, ce qui diminue les performances du pivot en terme de chronométrie. The manufacture of such pivots can be done in different ways. A first method consists in manufacturing the two blades separately and assembling them while leaving a space between the blades. Such a method makes it possible to choose a sufficient space between the blades to prevent them from colliding. However, the arrangement of the blades relative to each other is not always precise, which reduces the performance of the pivot in terms of chronometry.

[0004] Une deuxième méthode consiste à fabriquer un pivot monobloc en usinant deux couches d'un wafer de silicium de type SOI. Cette méthode est très efficace pour disposer les lames l'une par rapport à l'autre, mais elle ne permet pas d'avoir un espace de sécurité suffisamment large entre les lames, pour éviter l'entrechoquement durant le fonctionnement du pivot. En effet, l'espace dépend de l'épaisseur d'oxyde liant les deux couches du wafer SOI, l'épaisseur étant bien inférieure à l'espace de sécurité requis. [0004] A second method consists in manufacturing a one-piece pivot by machining two layers of an SOI type silicon wafer. This method is very effective for arranging the slats relative to each other, but it does not make it possible to have a sufficiently large safety space between the slats, to avoid clashing during the operation of the pivot. Indeed, the space depends on the thickness of oxide binding the two layers of the SOI wafer, the thickness being much less than the required safety space.

Résumé de l'inventionSummary of the invention

[0005] Le but de la présente invention est de pallier tout ou partie des inconvénients cités précédemment en proposant un procédé de fabrication d'un dispositif à lames flexibles monobloc en silicium, dont l'espace de sécurité entre les plans des lames est suffisant, en particulier en largeur. [0005] The aim of the present invention is to overcome all or part of the drawbacks mentioned above by providing a method of manufacturing a device with one-piece flexible silicon blades, the safety space between the planes of the blades of which is sufficient, especially in width.

[0006] A cet effet, l'invention se rapporte à un procédé de fabrication d'un dispositif à lames flexibles monobloc en silicium, par exemple un pivot à lames croisées, le procédé comprenant les étapes suivantes: former une ébauche de dispositif monobloc en silicium à partir d'un wafer de type SOI, le dispositif comportant deux lames flexibles formées chacune dans une couche différente du wafer SOI, les lames étant agencées dans deux plans sensiblement parallèles différents, les lames étant séparées par un espace, faire croître une première couche d'oxyde de silicium à la surface d'au moins une des lames bordant l'espace, la première couche d'oxyde de silicium étant formée à partir d'une première sous-couche de silicium de la ou des lames, éliminer la première couche d'oxyde de silicium pour agrandir l'espace entre les deux lames.[0006] To this end, the invention relates to a method of manufacturing a device with one-piece flexible silicon blades, for example a pivot with crossed blades, the method comprising the following steps: form a blank for a one-piece silicon device from an SOI type wafer, the device comprising two flexible blades each formed in a different layer of the SOI wafer, the blades being arranged in two different substantially parallel planes, the blades being separated by an area, growing a first layer of silicon oxide on the surface of at least one of the plates bordering the space, the first layer of silicon oxide being formed from a first sub-layer of silicon of the one or more blades, remove the first layer of silicon oxide to enlarge the space between the two blades.

[0007] On obtient ainsi un dispositif à lames flexibles, par exemple un pivot à lames croisées, avec un espace de sécurité suffisant entre lames pour éviter une collision des lames pendant le fonctionnement du dispositif. En effet, lorsqu'une couche d'oxyde de silicium croît sur du silicium, une sous-couche de silicium est elle-même oxydée, de sorte que lorsque la couche d'oxyde de silicium est supprimée par gravure, la sous-couche de silicium a été enlevée de la masse de silicium du départ. Le volume de silicium final est donc réduit par rapport au volume de silicium de départ. [0007] A flexible blade device is thus obtained, for example a pivot with crossed blades, with sufficient safety space between blades to prevent a collision of the blades during the operation of the device. Indeed, when a silicon oxide layer grows on silicon, a silicon sublayer is itself oxidized, so that when the silicon oxide layer is removed by etching, the silicon sublayer is removed by etching. silicon has been removed from the starting silicon mass. The final silicon volume is therefore reduced relative to the starting silicon volume.

[0008] Ainsi, grâce à cet effet, on peut agrandir l'espace entre les lames en répétant les opérations de croissance d'oxyde de silicium, puis de suppression de la couche d'oxyde de silicium. A chaque suppression de couche d'oxyde de silicium, l'espace s'élargit. [0008] Thus, by virtue of this effect, the space between the blades can be enlarged by repeating the operations of growing silicon oxide, then removing the layer of silicon oxide. Each time the silicon oxide layer is removed, the space widens.

[0009] Selon un mode de réalisation particulier de l'invention, le procédé comprend les étapes suivantes: faire croître une deuxième couche d'oxyde de silicium à la surface d'au moins une des lames bordant l'espace, la deuxième couche d'oxyde de silicium étant formée à partir d'une deuxième sous-couche de silicium de la ou des lames, éliminer la deuxième couche d'oxyde de silicium pour agrandir davantage l'espace entre les deux lames.[0009] According to a particular embodiment of the invention, the method comprises the following steps: growing a second layer of silicon oxide on the surface of at least one of the plates bordering the space, the second layer of silicon oxide being formed from a second sub-layer of silicon of the one or more blades, removing the second layer of silicon oxide to further enlarge the space between the two blades.

[0010] Selon un mode de réalisation particulier de l'invention, on répète plusieurs fois les étapes successives de croissance de couches d'oxyde de silicium et d'élimination de la couche pour agrandir l'espace entre les deux lames pour atteindre une largeur souhaitée. According to a particular embodiment of the invention, the successive steps of growing silicon oxide layers and removing the layer are repeated several times to enlarge the space between the two blades to achieve a width desired.

[0011] Selon un mode de réalisation particulier de l'invention, l'ébauche de dispositif comprend des lames croisées jointes au croisement par une jointure, la jointure étant formée au moins en partie d'oxyde de silicium, le procédé comprenant une étape d'élimination de l'oxyde de silicium de la jointure entre les lames pour les séparer en créant ledit espace entre les lames. According to a particular embodiment of the invention, the device blank comprises crossed blades joined at the crossing by a joint, the joint being formed at least in part of silicon oxide, the method comprising a step of removal of silicon oxide from the joint between the blades to separate them by creating said space between the blades.

[0012] Selon un mode de réalisation particulier de l'invention, chaque couche d'oxyde de silicium est éliminée par gravure au moyen de fluorure d'hydrogène en phase vapeur. According to a particular embodiment of the invention, each layer of silicon oxide is removed by etching using hydrogen fluoride in the vapor phase.

[0013] Selon un mode de réalisation particulier de l'invention, la croissance d'oxyde de silicium est effectuée par oxydation thermique humide ou sèche du silicium. According to a particular embodiment of the invention, the growth of silicon oxide is carried out by wet or dry thermal oxidation of silicon.

[0014] Selon un mode de réalisation particulier de l'invention, l'ébauche de dispositif est effectuée par gravure ionique réactive profonde de type DRIE, par exemple réalisé à l'aide d'un gravage chimique. According to a particular embodiment of the invention, the device blank is carried out by deep reactive ionic etching of the DRIE type, for example carried out using chemical etching.

[0015] Selon un mode de réalisation particulier de l'invention, chaque croissance et élimination de couche d'oxyde de silicium permet d'enlever une sous couche de silicium d'au moins 0,10µm d'épaisseur sur une lame, de préférence d'au moins 0,40µm. [0015] According to a particular embodiment of the invention, each growth and elimination of a silicon oxide layer makes it possible to remove an underlayer of silicon at least 0.10 μm thick on a blade, preferably at least 0.40µm.

[0016] Selon un mode de réalisation particulier de l'invention, le procédé comprend une étape supplémentaire de croissance d'une couche d'oxyde supplémentaire sur le dispositif pour ajuster thermiquement la raideur du dispositif en fonction de la température, notamment pour compenser en température un oscillateur formé d'un ensemble pivot balancier, et/ou pour renforcer le dispositif. According to a particular embodiment of the invention, the method comprises an additional step of growing an additional oxide layer on the device to thermally adjust the stiffness of the device as a function of the temperature, in particular to compensate in temperature an oscillator formed by a pendulum pivot assembly, and / or to reinforce the device.

[0017] Selon un mode de réalisation particulier de l'invention, le procédé comprend une étape supplémentaire de dépôt d'une couche électriquement conductrice pour éviter les problèmes liés à l'accumulation de charges électrostatiques ou d'absorption d'humidité. According to a particular embodiment of the invention, the method comprises an additional step of depositing an electrically conductive layer to avoid the problems associated with the accumulation of electrostatic charges or moisture absorption.

[0018] Selon un mode de réalisation particulier de l'invention, le procédé comprend une étape de détermination de la raideur initiale du dispositif et de calcul de ses dimensions pour obtenir un pivot d'une raideur finale souhaitée. According to a particular embodiment of the invention, the method comprises a step of determining the initial stiffness of the device and of calculating its dimensions to obtain a pivot of a desired final stiffness.

[0019] Selon un mode de réalisation particulier de l'invention, l'étape de formation de l'ébauche de dispositif comprend les sous-étapes suivantes: se munir d'un wafer SOI comprenant successivement une première couche de silicium, une couche de liaison en oxyde de silicium, et une deuxième couche de silicium; faire croître une couche d'oxyde de silicium à la surface du wafer; graver la couche d'oxyde de silicium d'un premier côté du wafer à travers un masque formé précédemment; réaliser un gravage ionique réactif profond pour former au moins une première lame du dispositif à lames flexibles monobloc en silicium; graver la couche d'oxyde de silicium d'un deuxième côté du wafer à travers un second masque formé précédemment, de préférence aligné par rapport aux motifs formés sur le premier côté du wafer, réaliser un gravage ionique réactif profond pour former au moins une deuxième lame du dispositif à lames flexibles monobloc en silicium.According to a particular embodiment of the invention, the step of forming the device blank comprises the following sub-steps: provide an SOI wafer comprising successively a first layer of silicon, a bonding layer of silicon oxide, and a second layer of silicon; growing a layer of silicon oxide on the surface of the wafer; etching the silicon oxide layer on a first side of the wafer through a mask formed previously; performing a deep reactive ion etching to form at least a first blade of the one-piece silicon flexible blade device; etching the silicon oxide layer on a second side of the wafer through a second mask formed previously, preferably aligned with the patterns formed on the first side of the wafer, performing a deep reactive ion etching to form at least a second blade of the one-piece silicon flexible blade device.

[0020] Selon un mode de réalisation particulier de l'invention, l'espace minimal obtenu entre les lames après les étapes du procédé a une largeur supérieure à 10µm, de préférence supérieure à 15µm. [0020] According to a particular embodiment of the invention, the minimum space obtained between the plates after the steps of the method has a width greater than 10 μm, preferably greater than 15 μm.

[0021] L'invention se rapporte également à un dispositif à lames flexibles en silicium, par exemple un pivot comprenant deux lames croisées, le dispositif étant monobloc et obtenu par le procédé selon l'invention, les deux lames étant séparées par un espace de sécurité de largeur supérieure à 10µm, de préférence supérieure à 15µm. The invention also relates to a device with flexible silicon blades, for example a pivot comprising two crossed blades, the device being in one piece and obtained by the method according to the invention, the two blades being separated by a space of security width greater than 10µm, preferably greater than 15µm.

[0022] L'invention se rapporte encore à un mouvement d'horlogerie comprenant un tel dispositif à lames flexibles. The invention also relates to a timepiece movement comprising such a flexible blade device.

Description sommaire des dessinsBrief description of the drawings

[0023] D'autres particularités et avantages ressortiront clairement de la description qui en est faite ci-après, à titre indicatif et nullement limitatif, en référence aux dessins annexés, dans lesquels: la figure 1illustre une vue de dessus d'un pivot à lames croisées selon l'invention, la figure 2illustre une vue en perspective d'un pivot à lames croisées selon l'invention, la figure 3illustre une vue de côté d'un pivot à lames croisées obtenu grâce au procédé selon l'invention, la figure 4est un schéma synoptique illustrant les différentes étapes d'un procédé de fabrication d'un pivot flexible à lames croisées monobloc en silicium selon l'invention, la figure 5illustre une vue en coupe d'un wafer permettant le fabrication du pivot, la figure 6illustre une vue de côté d'un pivot à lames croisées obtenu après la première étape du procédé selon l'invention, la figure 7illustre une vue de côté d'un pivot à lames croisées obtenu après la deuxième étape du procédé selon l'invention, la figure 8illustre une vue de côté d'un pivot à lames croisées obtenu après la troisième étape du procédé selon l'invention, la figure 9illustre une vue de côté d'un pivot à lames croisées obtenu après la quatrième étape du procédé selon l'invention, la figure 10illustre une vue de côté d'un pivot à lames croisées obtenu après la cinquième étape du procédé selon l'invention, la figure 11illustre une vue de côté d'un pivot à lames croisées obtenu après la sixième étape du procédé selon l'invention.Other features and advantages will emerge clearly from the description which is given below, by way of indication and in no way limiting, with reference to the accompanying drawings, in which: FIG. 1 illustrates a top view of a pivot with crossed blades according to the invention, FIG. 2 illustrates a perspective view of a pivot with crossed blades according to the invention, FIG. 3 illustrates a side view of a pivot with crossed blades obtained by means of the method according to the invention, FIG. 4 is a block diagram illustrating the different stages of a method of manufacturing a flexible pivot with monobloc silicon crossed blades according to the invention, FIG. 5 illustrates a sectional view of a wafer allowing the manufacture of the pivot, FIG. 6 illustrates a side view of a pivot with crossed blades obtained after the first step of the method according to the invention, FIG. 7 illustrates a side view of a pivot with crossed blades obtained after the second step of the method according to the invention, FIG. 8 illustrates a side view of a pivot with crossed blades obtained after the third step of the method according to the invention, FIG. 9 illustrates a side view of a pivot with crossed blades obtained after the fourth step of the method according to the invention, FIG. 10 illustrates a side view of a pivot with crossed blades obtained after the fifth step of the method according to the invention, FIG. 11 illustrates a side view of a pivot with crossed blades obtained after the sixth step of the method according to the invention.

Description détaillée des modes de réalisation préférésDetailed description of the preferred embodiments

[0024] L'invention se rapporte à un dispositif à lames flexibles monobloc en silicium, en particulier un pivot à lames croisées 1visible aux figures 1à 3, ainsi que son procédé de fabrication permettant d'obtenir un pivot monobloc dont l'espace entre les lames est suffisamment large pour éviter un entrechoquement des lames en cours d'utilisation. The invention relates to a device with one-piece flexible silicon blades, in particular a pivot with crossed blades 1visible in FIGS. 1 to 3, as well as its manufacturing process making it possible to obtain a one-piece pivot whose space between the blades is wide enough to avoid knocking the blades together during use.

[0025] Un tel pivot 1comporte un premier 5et un deuxième élément 6, ainsi que deux lames croisées 2, 3, les deux lames croisées 2, 3reliant les deux éléments 5, 6l'un à l'autre. Les deux lames 2, 3sont reliées à chaque élément 5, 6, le pivot 1étant monobloc. Le premier élément 5est par exemple un support de fixation du pivot au mouvement d'horlogerie, et le deuxième élément 6est un composant nécessitant d'être pivoté. Un tel composant est par exemple une ancre d'échappement, un balancier ou un support de balancier de mouvement d'horlogerie. Les deux lames 2, 3se croisent entre les deux éléments 5, 6à un croisement 4. Grâce aux lames flexibles 2, 3, le deuxième élément 6est mobile par rapport au premier élément 5autour d'un axe virtuel. Ainsi, le premier élément 5est fixe sur le mouvement d'horlogerie, tandis que le deuxième élément 6effectue un mouvement de va-et-vient périodique. Les lames 2, 3se courbent latéralement, pour permettre le déplacement du deuxième élément 6dans un sens, puis dans l'autre sens. Such a pivot 1comporte a first 5et a second element 6, as well as two crossed blades 2, 3, the two crossed blades 2, 3 connecting the two elements 5, 6l'un to the other. The two blades 2, 3 are connected to each element 5, 6, the pivot 1 being in one piece. The first element 5 is, for example, a support for fixing the pivot to the clockwork movement, and the second element 6 is a component that needs to be pivoted. Such a component is, for example, an escapement anchor, a pendulum or a pendulum support for a clockwork movement. The two blades 2, 3 cross between the two elements 5, 6 at a crossing 4. Thanks to the flexible blades 2, 3, the second element 6 is movable relative to the first element 5 around a virtual axis. Thus, the first element 5 is fixed on the clockwork movement, while the second element 6 performs a periodic reciprocating movement. The blades 2, 3 bend laterally, to allow the movement of the second element 6 in one direction, then in the other direction.

[0026] Les lames 2, 3sont agencées dans deux plans parallèles séparés d'un espace minimal 7pour éviter un entrechoquement des lames 2, 3 pendant le fonctionnement du pivot flexible, notamment en cas de déformation parasite. The blades 2, 3 are arranged in two parallel planes separated by a minimum space 7 to avoid clashing of the blades 2, 3 during the operation of the flexible pivot, in particular in the event of parasitic deformation.

[0027] L'utilisation d'un matériau, par exemple à base de silicium, pour la fabrication d'un pivot 1offre l'avantage d'être précis par les méthodes de gravage existantes et de posséder de bonnes propriétés mécaniques et chimiques en étant notamment peu ou pas sensible aux champs magnétiques. The use of a material, for example based on silicon, for the manufacture of a pivot 1 offers the advantage of being precise by existing etching methods and of having good mechanical and chemical properties being in particular little or not sensitive to magnetic fields.

[0028] Préférentiellement, le matériau à base de silicium utilisé peut être du silicium monocristallin quelle que soit son orientation cristalline, du silicium monocristallin dopé quelle que soit son orientation cristalline, du silicium amorphe, du silicium poreux, du silicium polycristallin, du nitrure de silicium, du carbure de silicium, du quartz quelle que soit son orientation cristalline ou de l'oxyde de silicium. Preferably, the silicon-based material used can be monocrystalline silicon regardless of its crystalline orientation, doped monocrystalline silicon regardless of its crystalline orientation, amorphous silicon, porous silicon, polycrystalline silicon, nitride of silicon, silicon carbide, quartz regardless of its crystalline orientation or silicon oxide.

[0029] Ainsi, l'invention se rapporte à un procédé de fabrication 20d'un pivot 1à lames flexibles 2, 3croisées en silicium visible à la figure 4. Thus, the invention relates to a method of manufacturing 20d'un pivot 1à flexible blades 2, 3crossed silicon visible in Figure 4.

[0030] Le procédé 20comporte une première étape 21de fabrication d'une ébauche de pivot en silicium. Cette étape 21consiste à se munir de wafers SOI 10, représenté à la figure 5, qui est composé de deux couches de silicium 11et 12, liées l'une à l'autre par une première couche d'oxyde de silicium 13. Les couches de silicium 11, 12sont formées dans une plaque de silicium monocristallin (dont les orientations principales peuvent être variées). Chaque couche de silicium 11, 12permettra de fabriquer une lame différente du pivot 1à lames croisées 2, 3. Ainsi, les lames 2, 3sont agencées sur deux niveaux différents. La première couche d'oxyde 13permet de lier intimement les deux couches de silicium 11et 12. En outre, elle va également servir de couche d'arrêt lors d'opérations ultérieures. The method 20comporte a first step 21 of manufacturing a silicon pivot blank. This step 21 consists of using SOI wafers 10, shown in FIG. 5, which is composed of two layers of silicon 11 and 12, bonded to each other by a first layer of silicon oxide 13. The layers of silicon silicon 11, 12 are formed in a single crystal silicon wafer (the main orientations of which can be varied). Each silicon layer 11, 12 will make it possible to manufacture a different blade from the pivot 1 with crossed blades 2, 3. Thus, the blades 2, 3 are arranged on two different levels. The first oxide layer 13 makes it possible to intimately bond the two silicon layers 11 and 12. In addition, it will also serve as a stop layer during subsequent operations.

[0031] Plusieurs ébauches de pivots peuvent être formées dans le même wafer. Several pivot blanks can be formed in the same wafer.

[0032] Ensuite, on fait croître à la surface des couches de silicium 11, 12une deuxième couche d'oxyde de silicium 14, en exposant le ou les wafers à une atmosphère oxydante à haute température. La couche d'oxyde de silicium 14varie selon l'épaisseur de la couche de silicium 11, 12à structurer. Elle se situe typiquement entre 1et 4µm. Next, the surface of the silicon layers 11, 12a second silicon oxide layer 14 is grown by exposing the wafer (s) to an oxidizing atmosphere at high temperature. The silicon oxide layer 14 varies according to the thickness of the silicon layer 11, 12 to be structured. It is typically between 1 and 4 µm.

[0033] Puis, on va définir, par exemple dans une résine positive, les motifs que l'on souhaite réaliser par la suite dans le wafer 10en silicium à l'aide d'un masque. Le motif comprend au moins une lame du pivot. Les deux lames d'un même pivot sont réalisées chacune sur l'une des deux couches de silicium distinctes 11, 12. On réalise chaque lame l'une après l'autre. Then, we will define, for example in a positive resin, the patterns that we want to achieve subsequently in the silicon wafer 10 using a mask. The pattern includes at least one blade of the pivot. The two blades of the same pivot are each made on one of the two distinct silicon layers 11, 12. Each blade is made one after the other.

[0034] Cette étape 21comprend les opérations suivantes: la résine est déposée, par exemple à la tournette, en une couche très mince d'épaisseur comprise entre 1et 2µm, une fois séchée, cette résine, aux propriétés photolithographiques, est exposée à travers un masque photolithographique (plaque transparente recouverte d'une couche de chrome, elle-même représentant les motifs souhaités) à l'aide d'une source lumineuse; dans le cas précis d'une résine positive, les zones exposées de la résine sont ensuite éliminées au moyen d'un solvant, révélant alors la première couche d'oxyde 13. En l'occurrence, les zones toujours recouvertes de résine définissent les zones que l'on ne souhaite pas voir attaquées dans l'opération ultérieure de gravage ionique réactif profond (également connu sous l'abréviation „D.R.I.E.“) du silicium.This step 21 includes the following operations: the resin is deposited, for example with a spinner, in a very thin layer with a thickness of between 1 and 2 μm, once dried, this resin, with photolithographic properties, is exposed through a photolithographic mask (transparent plate covered with a layer of chromium, itself representing the desired patterns) using a light source; in the specific case of a positive resin, the exposed areas of the resin are then removed by means of a solvent, then revealing the first oxide layer 13. In this case, the areas still covered with resin define the areas. which one does not wish to see attacked in the subsequent operation of deep reactive ionic etching (also known by the abbreviation "DRIE") of silicon.

[0035] On exploite alors les zones exposées ou au contraire recouvertes de résine. Un premier processus de gravure permet de transférer dans l'oxyde de silicium 14préalablement crû, les motifs définis dans la résine aux étapes précédentes. Toujours dans une optique de répétabilité du processus de fabrication, l'oxyde de silicium est structuré par une gravure sèche par plasma, directionnelle et reproduisant la qualité des flancs de la résine servant de masque pour cette opération. The areas exposed or on the contrary covered with resin are then exploited. A first etching process makes it possible to transfer the patterns defined in the resin in the previous steps into the previously grown silicon oxide. Still with a view to the repeatability of the manufacturing process, the silicon oxide is structured by a dry plasma etching, directional and reproducing the quality of the sides of the resin serving as a mask for this operation.

[0036] On peut également utiliser des masques directement sur le wafer, qui sont appelés hard-mask, tels les masques en oxyde de silicium, nitrures de silicium ou métal. Ces masques sont préalablement structurés avec le motif adéquate et peuvent comprendre de la résine ou non lors de leur utilisation. Masks can also be used directly on the wafer, which are called hard-mask, such masks made of silicon oxide, silicon nitrides or metal. These masks are structured beforehand with the appropriate pattern and may or may not include resin during their use.

[0037] Une fois l'oxyde de silicium gravé dans les zones ouvertes de la résine, la surface de silicium de la première couche supérieure 11est alors exposée et prête pour une gravure DRIE. La résine peut être conservée ou non selon qu'on souhaite employer la résine comme masque lors de la gravure DRIE. Once the silicon oxide etched in the open areas of the resin, the silicon surface of the first upper layer 11 is then exposed and ready for DRIE etching. The resin may or may not be retained depending on whether it is desired to use the resin as a mask during the DRIE etching.

[0038] Le silicium exposé et non protégé par l'oxyde de silicium est gravé selon une direction perpendiculaire à la surface du wafer (gravure anisotrope DRIE Bosch®). Les motifs de lame formés d'abord dans la résine, puis dans l'oxyde de silicium, sont „projetés“ dans l'épaisseur de la couche 11. The silicon exposed and not protected by the silicon oxide is etched in a direction perpendicular to the surface of the wafer (Bosch® DRIE anisotropic etching). The blade patterns formed first in the resin, then in the silicon oxide, are “projected” into the thickness of layer 11.

[0039] Lorsque la gravure débouche sur la première couche d'oxyde de silicium 13liant les deux couches de silicium 11et 12, la gravure s'arrête. En effet, à l'instar de l'oxyde de silicium servant de masque lors du processus Bosch® et résistant à la gravure elle-même, la couche d'oxyde enterrée 13, de même nature, y résiste également. When the etching opens onto the first layer of silicon oxide 13binding the two layers of silicon 11 and 12, the etching stops. Indeed, like the silicon oxide serving as a mask during the Bosch® process and resisting the etching itself, the buried oxide layer 13, of the same nature, also resists it.

[0040] La première couche de silicium 11est alors structurée dans toute son épaisseur par les motifs définis représentant au moins une première lame de l'ébauche de pivot à fabriquer, maintenant révélée par cette gravure DRIE. On pourrait aussi utiliser un gravage chimique dans un même matériau à base de silicium. The first silicon layer 11 is then structured throughout its thickness by the defined patterns representing at least a first blade of the pivot blank to be manufactured, now revealed by this DRIE etching. It would also be possible to use chemical etching in the same silicon-based material.

[0041] Les lames restent solidaires de la deuxième couche de silicium 12à laquelle ils sont liés par la première couche d'oxyde de silicium enterrée 13. The blades remain integral with the second silicon layer 12 to which they are bonded by the first buried silicon oxide layer 13.

[0042] On effectue les mêmes opérations de photolithographie sur la deuxième couche de silicium 12, afin de former l'autre lame du pivot à lames croisées. Pour ce faire le wafer 10est retourné, la résine y est déposée, puis exposée à travers un masque, afin de structurer la deuxième couche de silicium 12, de manière similaire à la première couche 11. The same photolithography operations are carried out on the second silicon layer 12, in order to form the other blade of the pivot with crossed blades. To do this, the wafer 10 is turned upside down, the resin is deposited there, then exposed through a mask, in order to structure the second layer of silicon 12, in a similar manner to the first layer 11.

[0043] Il existe d'autres variantes de réalisation pour graver le wafer, qui peuvent bien-sûr être utilisées pour ce procédé, que cela soit avec des masques en résine ou des masques durs, dits hard-mask. There are other alternative embodiments for burning the wafer, which can of course be used for this process, whether with resin masks or hard masks, called hard-mask.

[0044] Le premier et le deuxième élément 5, 6du pivot 1sont, de préférence, formés également pendant la fabrication des lames 2, 3sur chaque couche de silicium 11, 12du wafer 10. The first and the second element 5, 6 of the pivot 1 are preferably also formed during the manufacture of the blades 2, 3 on each layer of silicon 11, 12 of the wafer 10.

[0045] A ce stade les deux lames 2, 3sont jointes l'une à l'autre au croisement 4des lames 2, 3, de façon à former une jointure 8. La jointure 8comporte au moins en partie de l'oxyde de silicium issue de la couche d'oxyde de silicium 13reliant la première et la deuxième couche de silicium 11, 12. De préférence, la jointure 8est formé en totalité d'oxyde de silicium. L'ébauche de pivot 1est représentée sur la figure 6. Les lames 2, 3sont agencées dans deux plans sensiblement parallèles différents, les lames 2, 3étant jointes entre les deux plans par la jointure 8. At this stage the two blades 2, 3 are joined to each other at the crossing 4des blades 2, 3, so as to form a joint 8. The joint 8 comprises at least part of the silicon oxide from of the silicon oxide layer 13 connecting the first and the second silicon layer 11, 12. Preferably, the joint 8 is entirely formed of silicon oxide. The pivot blank 1 is shown in FIG. 6. The blades 2, 3 are arranged in two different substantially parallel planes, the blades 2, 3 being joined between the two planes by the joint 8.

[0046] Une deuxième étape 22du procédé 20consiste à éliminer l'oxyde de silicium à la jointure 8des lames 2, 3pour les séparer en créant un espace 7entre les lames 2, 3. La couche d'oxyde de silicium 13est alors gravées au moyen de fluorure d'hydrogène en phase vapeur. A second step 22du process 20consist in removing the silicon oxide at the joint 8des blades 2, 3 to separate them by creating a space 7 between the blades 2, 3. The silicon oxide layer 13est then etched by means of hydrogen fluoride in the vapor phase.

[0047] Ainsi, on obtient deux lames 2, 3séparées par un espace 7permettant le mouvement des lames l'une par rapport à l'autre. L'espace 7obtenu a une largeur D correspondant à l'épaisseur de la couche d'oxyde de la jointure, et donc de la couche d'oxyde du wafer. Thus, we obtain two blades 2, 3 separated by a space 7 allowing movement of the blades relative to each other. The space obtained has a width D corresponding to the thickness of the oxide layer of the joint, and therefore of the oxide layer of the wafer.

[0048] Cependant, cette épaisseur n'est pas assez importante pour éviter le risque d'entrechoquement des lames 2, 3lors du fonctionnement du pivot 1. En effet, la première couche d'oxyde de silicium 13est trop mince pour que les lames 2, 3soient suffisamment écartées However, this thickness is not large enough to avoid the risk of clashing of the blades 2, 3 during the operation of the pivot 1. Indeed, the first layer of silicon oxide 13 is too thin for the blades 2 , 3 are sufficiently separated

[0049] Le procédé 20se poursuit avec une séquence destinée à retirer de la matière des lames jusqu'aux dimensions nécessaires en vue d'obtenir un espace 7de largeur D suffisante, ainsi qu'une raideur de lame adéquate. A cette fin, l'épaisseur des lames 2, 3est diminuée lors des étapes suivantes. The method 20se continues with a sequence intended to remove material from the blades to the necessary dimensions in order to obtain a space 7de sufficient width D, as well as an adequate blade stiffness. To this end, the thickness of the blades 2, 3est reduced during the following steps.

[0050] Pour augmenter la largeur D de l'espace 7entre les lames 2, 3, une troisième étape 23consiste à faire croître une première couche d'oxyde de silicium 15à la surface des lames 2, 3bordant l'espace 7. La première couche d'oxyde de silicium 15est formée en partie à partir d'une sous-couche de silicium formant le pivot 1. En effet, lors de la croissance de l'oxyde de silicium sur du silicium, une sous-couche de silicium sur la quelle croît l'oxyde de silicium est elle-même oxydée. Ainsi, l'oxyde de silicium croît aux dépens du silicium sur lequel il croît. Autrement dit, non seulement l'oxyde de silicium croît sur le silicium, mais il croît également dans le silicium. To increase the width D of the space 7 between the blades 2, 3, a third step 23 consists in growing a first layer of silicon oxide 15 on the surface of the blades 2, 3 bordering the space 7. The first layer of silicon oxide 15 is formed in part from a silicon sublayer forming the pivot 1. In fact, during the growth of silicon oxide on silicon, a silicon sublayer on which grows silicon oxide is itself oxidized. Thus, silicon oxide grows at the expense of the silicon on which it grows. In other words, not only does silicon oxide grow on silicon, but it also grows in silicon.

[0051] Une telle phase peut, par exemple, être obtenue par oxydation thermique. Une telle oxydation thermique peut, par exemple, être réalisée entre 800et 1200°C sous atmosphère oxydante à l'aide de vapeur d'eau ou de gaz de dioxygène permettant de former de l'oxyde de silicium sur les lames. Lors de cette étape 23, on exploite le fait que l'oxyde de silicium croît de façon régulière, la vitesse d'oxydation et l'épaisseur qui en résulte sont parfaitement maîtrisées par l'homme du métier, ce qui permet d'assurer l'uniformité de la couche d'oxyde. Such a phase can, for example, be obtained by thermal oxidation. Such thermal oxidation can, for example, be carried out between 800 and 1200 ° C. under an oxidizing atmosphere using water vapor or oxygen gas making it possible to form silicon oxide on the blades. During this step 23, it takes advantage of the fact that the silicon oxide grows regularly, the oxidation rate and the resulting thickness are perfectly controlled by those skilled in the art, which makes it possible to ensure the uniformity of the oxide layer.

[0052] Dans une quatrième étape 24, on élimine la première couche d'oxyde de silicium 15de chaque lame 2, 3, pour obtenir le pivot 1représenté sur la figure 9. La sous-couche de silicium étant oxydée, elle est également supprimée. Ainsi, on agrandit l'espace 7entre les deux lames 2, 3. Une telle élimination est obtenue par gravure chimique. Une telle gravure chimique peut être réalisée, par exemple, au moyen d'une solution à base d'acide fluorhydrique en phase vapeur, qui permet de retirer l'oxyde de silicium. In a fourth step 24, removing the first layer of silicon oxide 15de each blade 2, 3, to obtain the pivot 1represented in Figure 9. The silicon sublayer being oxidized, it is also removed. Thus, the space 7 between the two blades 2, 3 is enlarged. Such elimination is obtained by chemical etching. Such a chemical etching can be carried out, for example, by means of a solution based on hydrofluoric acid in the vapor phase, which makes it possible to remove the silicon oxide.

[0053] De préférence, on répète plusieurs fois les paires d'étapes successives de croissance de couches d'oxyde de silicium et d'élimination de la couche d'oxyde. Ainsi, on peut agrandir la largeur D de l'espace 7entre les deux lames 2, 3pour atteindre une largeur d'espace souhaitée. Preferably, the pairs of successive steps of growing silicon oxide layers and removing the oxide layer are repeated several times. Thus, it is possible to enlarge the width D of the space 7 between the two blades 2, 3 to achieve a desired width of space.

[0054] Par exemple, tel que représenté sur la figure 10, une cinquième étape 25consiste à faire croître une deuxième couche d'oxyde de silicium 17à la surface des lames 2, 3de part et d'autre de l'espace, la deuxième couche d'oxyde de silicium 17étant formée en partie à partir d'une deuxième sous-couche de silicium des lames 2, 3. Puis, en sixième étape 26, on élimine la deuxième couche d'oxyde de silicium 17de chaque lame 2, 3pour agrandir davantage l'espace 7entre les deux lames 2, 3. For example, as shown in Figure 10, a fifth step 25consists in growing a second layer of silicon oxide 17 on the surface of the blades 2, 3 on either side of the space, the second layer of silicon oxide 17 being formed in part from a second sub-layer of silicon of the plates 2, 3. Then, in the sixth step 26, the second layer of silicon oxide 17 is removed from each plate 2, 3 to enlarge more space 7 between the two blades 2, 3.

[0055] Chaque croissance et élimination de couche d'oxyde de silicium permet, par exemple, d'enlever une sous couche de silicium d'au moins 0,10µm d'épaisseur sur chaque lame 2, 3, de préférence supérieur à 0,40µm. La largeur D minimale souhaitée de l'espace 7entre les lames 2,3après les étapes du procédé est, par exemple, supérieur à 10µm, de préférence supérieur à 15µm. Néanmoins, la largeur est librement ajustable entre une valeur correspondant à l'épaisseur de la couche d'oxyde initiale liant les deux couches de silicium et une valeur supérieure pouvant aller au-delà de 15µm, la valeur supérieure étant limitée par le nombre d'opération que l'on souhaite effectuer. Each growth and elimination of silicon oxide layer makes it possible, for example, to remove a silicon sublayer at least 0.10 μm thick on each blade 2, 3, preferably greater than 0, 40µm. The desired minimum width D of the space 7 between the plates 2, 3 after the steps of the method is, for example, greater than 10 μm, preferably greater than 15 μm. Nevertheless, the width is freely adjustable between a value corresponding to the thickness of the initial oxide layer binding the two silicon layers and a higher value which can go beyond 15 μm, the upper value being limited by the number of operation that you want to perform.

[0056] La couche d'oxyde de silicium 13du wafer 10au départ a par exemple une épaisseur de 2µm, ce qui définit l'espace initial entre les lames 2, 3après la suppression de la jointure 8. Ainsi, pour obtenir un espace d'au moins 10µm, on effectue en série une pluralité de paires d'étapes de croissance et d'élimination d'oxyde de silicium. Pour réduire le nombre d'opérations, on peut allonger le temps d'oxydation des lames, de sorte qu'on enlève une sous-couche de silicium plus épaisse. De préférence, on effectue des étapes de croissance plus courte au début et de plus en plus longue par la suite. The silicon oxide layer 13du wafer 10 at the start has for example a thickness of 2 μm, which defines the initial space between the blades 2, 3 after the removal of the join 8. Thus, to obtain a space of at least 10 μm, a plurality of pairs of silicon oxide growth and elimination steps are carried out in series. To reduce the number of operations, it is possible to lengthen the oxidation time of the blades, so that a thicker silicon underlayer is removed. Preferably, shorter growth steps are carried out at the start and increasingly longer thereafter.

[0057] Le procédé peut comporter en outre une étape supplémentaire 27destinée à déterminer la raideur initiale des lames flexibles, notamment pour pouvoir modifier les dimensions et obtenir de caractéristiques physiques spécifiques recherchées. The method may further include an additional step 27 intended to determine the initial stiffness of the flexible blades, in particular to be able to modify the dimensions and obtain specific physical characteristics sought.

[0058] Enfin, une fois le pivot 1aux bonnes dimensions, une autre étape optionnelle supplémentaire 28peut consister à oxyder à nouveau le pivot 1pour le revêtir d'une couche de dioxyde de silicium afin de former un pivot 1qui est thermo-compensé et/ou pour renforcer le pivot. Dans le cas d'un oscillateur, cette dernière oxydation permet d'ajuster à la fois les performances mécanique (raideur) et thermique (compensation en température) du futur pivot 1. Finally, once the pivot 1 is the right size, another additional optional step 28 may consist of oxidizing the pivot 1 again to coat it with a layer of silicon dioxide in order to form a pivot 1 which is thermo-compensated and / or to strengthen the pivot. In the case of an oscillator, this last oxidation makes it possible to adjust both the mechanical (stiffness) and thermal (temperature compensation) performance of the future pivot 1.

[0059] Dans une autre étape optionnelle supplémentaire, non représentée sur les figures, on dépose une couche électriquement conductrice sur le pivot pour éviter les problèmes liés à l'accumulation de charges électrostatiques ou d'absorption d'humidité. A cette fin, on dépose d'abord une couche d'oxyde sur le pivot 1, puis on dépose la couche électriquement conductrice par un dépôt de type PVD. La couche électriquement conductrice comprend par exemple du chrome, du nickel, du cuivre, du titane, du zirconium, du nickel-phosphore ou du titane-tungstène. In another additional optional step, not shown in the figures, an electrically conductive layer is deposited on the pivot to avoid the problems associated with the accumulation of electrostatic charges or moisture absorption. To this end, an oxide layer is first deposited on the pivot 1, then the electrically conductive layer is deposited by a PVD type deposition. The electrically conductive layer comprises, for example, chromium, nickel, copper, titanium, zirconium, nickel-phosphorus or titanium-tungsten.

[0060] Bien entendu, la présente invention ne se limite pas à l'exemple illustré mais est susceptible de diverses variantes et modifications qui apparaîtront à l'homme de l'art. Ainsi, il est possible de réaliser d'autres types de dispositifs à lames flexibles monobloc en silicium, le dispositif ayant par exemple des lames non croisées, et/ou qui servent à un mouvement en translation au lieu d'un mouvement de rotation. Of course, the present invention is not limited to the example illustrated but is susceptible of various variants and modifications which will appear to those skilled in the art. Thus, it is possible to produce other types of devices with one-piece flexible silicon blades, the device having for example non-crossed blades, and / or which serve for a translational movement instead of a rotational movement.

Claims (15)

1. Procédé (20) de fabrication d'un dispositif (1) à lames flexibles (2, 3) monobloc en silicium, par exemple un pivot à lames croisées, caractérisé en ce qu'il comporte les étapes suivantes: - former (21) une ébauche de dispositif (1) monobloc en silicium à partir d'un wafer de type SOI, le dispositif (1) comportant deux lames flexibles (2, 3) formées chacune dans une couche différente du wafer SOI, les lames (2, 3) étant agencées dans deux plans sensiblement parallèles différents, les lames (2, 3) étant séparées par un espace (7) - faire croître (23) une première couche d'oxyde de silicium (15) à la surface d'au moins une des lames (2, 3) bordant l'espace (7), la première couche d'oxyde de silicium (15) étant formée à partir d'une première sous-couche de silicium de la ou des lames (2, 3), - éliminer (24) la première couche d'oxyde de silicium (15) pour agrandir l'espace (7) entre les deux lames (2, 3).1. Method (20) of manufacturing a device (1) with flexible blades (2, 3) monobloc silicon, for example a pivot with crossed blades, characterized in that it comprises the following steps: - forming (21) a blank for a one-piece silicon device (1) from an SOI type wafer, the device (1) comprising two flexible blades (2, 3) each formed in a different layer of the SOI wafer, the blades (2, 3) being arranged in two different substantially parallel planes, the blades (2, 3) being separated by a space (7) - growing (23) a first layer of silicon oxide (15) on the surface of at least one of the blades (2, 3) bordering the space (7), the first layer of silicon oxide (15 ) being formed from a first silicon sublayer of the blade (s) (2, 3), - Eliminate (24) the first layer of silicon oxide (15) to enlarge the space (7) between the two blades (2, 3). 2. Procédé de fabrication selon la revendication 1, caractérisé en ce qu'il comprend les étapes suivantes: - faire croître (25) une deuxième couche d'oxyde de silicium (17) à la surface d'au moins une des lames (2, 3) bordant l'espace (7), la deuxième couche d'oxyde de silicium (17) étant formée à partir d'une deuxième sous-couche de silicium de la ou des lames (2, 3), - éliminer (26) la deuxième couche d'oxyde de silicium (17) pour agrandir davantage l'espace entre les deux lames (2, 3).2. Manufacturing process according to claim 1, characterized in that it comprises the following steps: - growing (25) a second layer of silicon oxide (17) on the surface of at least one of the blades (2, 3) bordering the space (7), the second layer of silicon oxide (17 ) being formed from a second silicon sublayer of the blade (s) (2, 3), - Eliminate (26) the second layer of silicon oxide (17) to further enlarge the space between the two blades (2, 3). 3. Procédé de fabrication selon la revendication 1ou 2, caractérisé en ce que l'on répète plusieurs fois les étapes successives de croissance (23, 25) de couches d'oxyde de silicium (15, 17) et d'élimination (24, 26) de la couche (15, 17) pour agrandir l'espace (7) entre les deux lames (2, 3) pour atteindre une largeur (D) souhaitée.3. Manufacturing process according to claim 1 or 2, characterized in that the successive stages of growth (23, 25) of silicon oxide layers (15, 17) and elimination (24, 24) are repeated several times. 26) of the layer (15, 17) to enlarge the space (7) between the two blades (2, 3) to achieve a desired width (D). 4. Procédé de fabrication selon l'une, quelconque, des revendications précédentes, caractérisé en ce que l'ébauche de dispositif (1) comprend des lames (2, 3) croisées jointes au croisement (4) par une jointure (8), la jointure (8) étant formée au moins en partie d'oxyde de silicium, le procédé comprenant une étape d'élimination (22) de l'oxyde de silicium de la jointure (8) entre les lames (2, 3) pour les séparer en créant ledit espace (7) entre les lames (2, 3).4. Manufacturing process according to any one of the preceding claims, characterized in that the device blank (1) comprises crossed blades (2, 3) joined to the crossing (4) by a joint (8), the joint (8) being formed at least in part of silicon oxide, the method comprising a step of removing (22) the silicon oxide from the joint (8) between the blades (2, 3) for the separate by creating said space (7) between the blades (2, 3). 5. Procédé de fabrication selon l'une, quelconque, des revendications précédentes, caractérisé en ce que chaque couche d'oxyde de silicium (13, 14, 15, 17) est éliminée par gravure au moyen de fluorure d'hydrogène en phase vapeur.5. Manufacturing process according to any one of the preceding claims, characterized in that each silicon oxide layer (13, 14, 15, 17) is removed by etching using hydrogen fluoride in the vapor phase. . 6. Procédé de fabrication selon l'une, quelconque, des revendications précédentes, caractérisé en ce que la croissance (23, 25) d'oxyde de silicium est effectuée par oxydation thermique humide ou sèche du silicium.6. Manufacturing process according to any one of the preceding claims, characterized in that the growth (23, 25) of silicon oxide is carried out by wet or dry thermal oxidation of silicon. 7. Procédé de fabrication selon l'une, quelconque, des revendications précédentes, caractérisé en ce que l'ébauche de dispositif (1) est effectuée par gravure ionique réactive profonde de type DRIE.7. Manufacturing process according to any one of the preceding claims, characterized in that the device blank (1) is carried out by deep reactive ionic etching of the DRIE type. 8. Procédé de fabrication selon l'une, quelconque, des revendications précédentes, caractérisé en ce que chaque croissance (23, 25) et élimination (22, 24) de couche d'oxyde de silicium (15, 17) permet d'enlever une sous couche de silicium d'au moins 0, 10µm d'épaisseur sur une lame (2, 3), de préférence d'au moins 0,40µm.8. Manufacturing process according to any one of the preceding claims, characterized in that each growth (23, 25) and elimination (22, 24) of the silicon oxide layer (15, 17) makes it possible to remove an underlayer of silicon at least 0.10 μm thick on a plate (2, 3), preferably at least 0.40 μm. 9. Procédé de fabrication selon l'une, quelconque, des revendications précédentes, caractérisé en ce qu'il comprend une étape supplémentaire (27) de croissance d'une couche d'oxyde supplémentaire sur le dispositif (1) pour ajuster thermiquement la raideur du dispositif en fonction de la température, notamment pour compenser en température un oscillateur formé d'un ensemble pivot balancier, et/ou pour renforcer le dispositif.9. The manufacturing method according to any one of the preceding claims, characterized in that it comprises an additional step (27) of growing an additional oxide layer on the device (1) to thermally adjust the stiffness. of the device as a function of the temperature, in particular to compensate for temperature an oscillator formed by a pivoting pendulum assembly, and / or to reinforce the device. 10. Procédé de fabrication selon l'une, quelconque, des revendications précédentes, caractérisé en ce qu'il comprend une étape (28) de détermination de la raideur initiale du pivot (1) et de calcul de ses dimensions pour obtenir un dispositif (1) d'une raideur finale souhaitée.10. The manufacturing method according to any one of the preceding claims, characterized in that it comprises a step (28) of determining the initial stiffness of the pivot (1) and of calculating its dimensions to obtain a device ( 1) of a desired final stiffness. 11. Procédé de fabrication selon l'une, quelconque, des revendications précédentes, caractérisé en ce qu'il comprend une étape supplémentaire de dépôt d'une couche électriquement conductrice.11. The manufacturing method according to any one of the preceding claims, characterized in that it comprises an additional step of depositing an electrically conductive layer. 12. Procédé de fabrication selon l'une, quelconque, des revendications précédentes, caractérisé en ce que l'étape de formation (21) de l'ébauche de dispositif (1) comprend les sous-étapes suivantes: - se munir d'un wafer SOI (10) comprenant successivement une première couche de silicium (11), une couche de liaison (13) en oxyde de silicium, et une deuxième couche de silicium (12); - faire croître une couche d'oxyde de silicium (14) à la surface du wafer (10); - graver la couche d'oxyde de silicium (14) d'un premier côté du wafer (10) à travers un masque; - réaliser un gravage ionique réactif profond pour former au moins une première lame (2) du dispositif (1) à lames flexibles monobloc en silicium; - graver la couche d'oxyde de silicium (14) d'un deuxième côté du wafer (10) à travers un second masque formé précédemment, de préférence aligné par rapport aux motifs formés sur le premier côté du wafer, - réaliser un gravage ionique réactif profond pour former au moins une deuxième lame (3) du dispositif (1) à lames flexibles monobloc en silicium.12. The manufacturing method according to any one of the preceding claims, characterized in that the forming step (21) of the device blank (1) comprises the following sub-steps: - Provide an SOI wafer (10) comprising successively a first layer of silicon (11), a bonding layer (13) of silicon oxide, and a second layer of silicon (12); - growing a layer of silicon oxide (14) on the surface of the wafer (10); - etching the silicon oxide layer (14) on a first side of the wafer (10) through a mask; - Perform a deep reactive ionic etching to form at least a first blade (2) of the device (1) with one-piece flexible silicon blades; - etching the silicon oxide layer (14) on a second side of the wafer (10) through a second mask formed previously, preferably aligned with respect to the patterns formed on the first side of the wafer, - Perform a deep reactive ionic etching to form at least a second blade (3) of the device (1) with one-piece flexible silicon blades. 13. Procédé de fabrication selon l'une, quelconque, des revendications précédentes, caractérisé en ce que l'espace (7) minimal obtenu entre les lames (2, 3) après les étapes du procédé a une largeur (D) supérieure à 10µm, de préférence supérieur à 15µm.13. Manufacturing process according to any one of the preceding claims, characterized in that the minimum space (7) obtained between the blades (2, 3) after the process steps has a width (D) greater than 10 μm. , preferably greater than 15 μm. 14. Dispositif (1) à lames flexibles en silicium, par exemple un pivot comprenant deux lames croisées (2, 3), le dispositif étant monobloc, caractérisé en ce qu'il est obtenu par le procédé selon la revendication 13, les deux lames étant séparées par un espace (7) de sécurité de largeur supérieure à 10µm, de préférence supérieure à 15µm.14. Device (1) with flexible silicon blades, for example a pivot comprising two crossed blades (2, 3), the device being in one piece, characterized in that it is obtained by the method according to claim 13, the two blades being separated by a safety space (7) of width greater than 10 μm, preferably greater than 15 μm. 15. Mouvement d'horlogerie, caractérisé en ce qu'il comprend un dispositif à lames flexibles monobloc en silicium selon la revendication 14.15. Timepiece movement, characterized in that it comprises a device with one-piece flexible silicon blades according to claim 14.
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