CH674785A5 - Pumping unit for atomic or molecular beams - uses stacked hexagonal blocks with transverse walls between and molecular pumps set in transverse holes in block walls - Google Patents
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Description
La présente invention a pour objet une installation de pompage pour faisceau atomique ou moléculaire comprenant une enceinte à vide traversée par ledit faisceau, équipée de moyens de pompage agissant transversalement par rapport à l'axe du faisceau de façon à pomper la partie extérieure de celui-ci. La formation de faisceaux (jets) atomiques, moléculaires ou de groupes ou d'agrégats de molécules (clusters), du type sonique ou supersonique, s'effectue dans une enceinte à vide équipée d'un système de pompage puissant, pour que le faisceau parvienne, sur une distance minimum comptée à partir de son origine (buse de projection), dans une région de vide très poussé. Dans la pratique, on utilise à cet effet un système de pompage dit "différentiel" obtenu en divisant l'enceinte traversée par le faisceau en plusieurs compartiments se succédant dans l'axe du faisceau et qui sont séparés les uns des autres par des parois présentant chacune une ouverture centrale (skimmer ou éplucheur) qui permet le passage du faisceau d'un compartiment au suivant. Cet agencement évite la diffusion du gaz injecté dans toute l'enceinte à vide tout en préservant une haute densité du faisceau dans la partie centrale de celui-ci. La fig.1 du dessin illustre le principe d'une telle disposition, connue en soi: la buse de projection du faisceau, à la pression PO, est désignée par 1, le faisceau par 2, les parois munies d'une ouverture centrale par 3, leur ouverture par 4. On voit que dans les compartiments représentés en
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CH83888A CH674785A5 (en) | 1988-03-07 | 1988-03-07 | Pumping unit for atomic or molecular beams - uses stacked hexagonal blocks with transverse walls between and molecular pumps set in transverse holes in block walls |
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Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
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CH674785A5 true CH674785A5 (en) | 1990-07-13 |
Family
ID=4196378
Family Applications (1)
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CH83888A CH674785A5 (en) | 1988-03-07 | 1988-03-07 | Pumping unit for atomic or molecular beams - uses stacked hexagonal blocks with transverse walls between and molecular pumps set in transverse holes in block walls |
Country Status (1)
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CH (1) | CH674785A5 (fr) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP0751297A1 (fr) * | 1995-06-30 | 1997-01-02 | Alcatel Cit | Pompe turbomoléculaire |
WO1999061799A1 (fr) * | 1998-05-26 | 1999-12-02 | Leybold Vakuum Gmbh | Pompe a vide rotative munie d'un chassis, d'un rotor et d'un carter, et dispositif pourvu d'une pompe a vide rotative de ce type |
EP1422423A1 (fr) * | 1998-05-26 | 2004-05-26 | Leybold Vakuum GmbH | Appareil avec boítier pouvant être mis à vide |
-
1988
- 1988-03-07 CH CH83888A patent/CH674785A5/fr not_active IP Right Cessation
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FR2736103A1 (fr) * | 1995-06-30 | 1997-01-03 | Cit Alcatel | Pompe turbomoleculaire |
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US6457954B1 (en) | 1998-05-26 | 2002-10-01 | Leybold Vakuum Gmbh | Frictional vacuum pump with chassis, rotor, housing and device fitted with such a frictional vacuum pump |
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PL | Patent ceased |