Claims (2)
PATENTANSPRÜCHEPATENT CLAIMS
1. Spannvorrichtung für ein Innen-Trennsägeblatt, wobei das Trennsägeblatt an seinem Umfang zwischen einem Haltering und einem Maschinen-Drehteil einspannbar ist, dadurch gekennzeichnet, dass im Haltering (3) ein Spannring (12) angeordnet ist, der durch symmetrisch am Umfang des Halteringes angeordnete Spannschrauben (14) axial bewegbar ist und dass das Maschinen-Drehteil (2) eine umlaufende, dem Spannring (12) gegenüberliegende Aussparung (15) aufweist, um das Ausweichen des Trennsägeblattes (1) beim Anziehen der Spannschrauben zu ermöglichen.1. Clamping device for an internal cut-off saw blade, the cut-off saw blade being able to be clamped on its circumference between a retaining ring and a rotary machine part, characterized in that a clamping ring (12) is arranged in the retaining ring (3) and is positioned symmetrically on the circumference of the retaining ring arranged clamping screws (14) can be moved axially and that the rotary machine part (2) has a peripheral recess (15) opposite the clamping ring (12) in order to allow the cutting saw blade (1) to deviate when the clamping screws are tightened.
2. Spannvorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass der Spannring (12) an der dem Maschinen-Drehteil zugekehrten Seite eine konvex gewölbte Fläche (13) hat und die Aussparung (15) im Maschinen-Drehteil (2) abgerundete Kanten aufweist.2. Clamping device according to claim 1, characterized in that the clamping ring (12) on the side facing the rotating machine part has a convex curved surface (13) and the recess (15) in the rotating machine part (2) has rounded edges.
Innen-Trennsägen werden bekanntlich für das Schneiden von harten Materialien, wie beispielsweise Silicium, Germanium oder Quarz verwendet, wobei das Sägeblatt in der Bohrung mit Diamant beschichtet ist und an seinem Aussendurch-messer gehalten und gespannt wird. Um den Ausschuss möglichst gering zu halten, wird eine hohe Anforderung an die Genauigkeit und Güte des Schnittes gestellt, wobei insbesondere das Spannen dieser Sägeblätter eine wichtige Rolle spielt.Internal cutting saws are known to be used for cutting hard materials such as silicon, germanium or quartz, with the saw blade being coated with diamond in the bore and being held and clamped at its outer diameter. In order to keep rejects as low as possible, high demands are placed on the accuracy and quality of the cut, with the tensioning of these saw blades playing a particularly important role.
Unter einer Vielzahl von Spannvorrichtungen haben sich in letzter Zeit zwei Arten durchgesetzt: a) das Trennsägeblatt wird, wie etwa in der US-PS 3 955 515 beschrieben, zwischen zwei Spannringen so eingeklemmt, dass beim nachfolgenden Spannen auf der Maschine das Trennsägeblatt nicht aus den Spannringen herausgezogen werden kann und dieses anschliessend über einen sich an der Maschine befindlichen Spannkantenring gezogen und so gespannt und zentriert wird. Dabei werden die Spannringe in axialer Richtung ungleich-massig verschoben, wodurch das Spannen und Zentrieren des Diamantbelages erreicht wird. Dadurch wird eine gleichmässige Spannung und eine gute Zentrierung erreicht, jedoch ist dieses Verfahren zeitlich sehr aufwendig. Ausserdem erzeugt die relativ grosse Masse der Spannringe bei den benötigten hohen Drehzahlen infolge der Unwucht erhebliche Vibrationen der Maschine sowohl in axialer als auch in radialer Richtung, was sich negativ auf die Qualität des Schnittes auswirkt, b) In einer Art von Spannvorrichtungen, wie beispielsweise in der CH-PS 527 014 der gleichen Anmelderin beschrieben, wird das Trennsägeblatt zwischen zwei Ringen eingespannt, wobei der Ring eine Nut mit einem Druckring aufweist und der zweite Ring eine Nut, in der eine Flüssigkeit unter Druck gesetzt wird. Dadurch wird das Trennsägeblatt in einer kreisförmigen Aussparung der Maschine verformt und gespannt. Während hier die Spannung am Umfang sehr gleichmässig ausfällt und zeitsparend eingerichtet werden kann, entstehen Probleme beim Aufrechterhalten des Flüssigkeitsdruckes und die durch das nicht genau symmetrische Walzen des Blattes auftretenden Ungleichförmigkeiten bezüglich Vorspannung können damit ungenügend korrigiert werden.Among a large number of clamping devices, two types have recently become established: a) the cutting saw blade is clamped between two clamping rings, as described in US Pat. No. 3,955,515, so that the cutting saw blade does not come out of the Clamping rings can be pulled out and this is then pulled over a clamping edge ring located on the machine and is thus clamped and centered. The clamping rings are shifted unevenly in the axial direction, which results in the clamping and centering of the diamond coating. This achieves an even tension and good centering, but this process is very time-consuming. In addition, the relatively large mass of the clamping rings at the required high speeds, as a result of the imbalance, generates considerable vibrations in the machine both in the axial and in the radial direction, which has a negative effect on the quality of the cut, b) In one type of clamping device, such as in As described in CH-PS 527 014 by the same applicant, the saw blade is clamped between two rings, the ring having a groove with a pressure ring and the second ring having a groove in which a liquid is pressurized. This deforms and clamps the saw blade in a circular recess in the machine. While the tension on the circumference is very uniform here and can be set up in a time-saving manner, problems arise in maintaining the liquid pressure and the non-uniformities in pretension that occur due to the not exactly symmetrical rolling of the sheet can thus be insufficiently corrected.
Es ist Aufgabe der vorliegenden Erfindung eine Spannvorrichtung anzugeben, welche die oben beschriebenen Vorteile vereinigt, d. h. die es erlaubt, die mit den Vorrichtungen gemäss a) erzielbare hohe Genauigkeit bezüglich Vorspannung, Zentrizität und Rundheit mit den Vorrichtungen gemäss b) mit vernachlässigbar kleiner Unwucht und verhältnismässig schnellem Ausrichten des Trennsägeblattes zu vereinigen,It is an object of the present invention to provide a tensioning device which combines the advantages described above, i. H. which makes it possible to combine the high accuracy that can be achieved with the devices according to a) with regard to prestressing, centricity and roundness with the devices according to b) with a negligibly small imbalance and relatively quick alignment of the cutting saw blade,
ohne die oben beschriebenen Nachteile in Kauf nehmen zu müssen.without having to accept the disadvantages described above.
Die Spannvorrichtung, die diese Aufgabe löst, ist dadurch gekennzeichnet, dass im Haltering ein Spannring angeordnet ist, der durch symmetrisch am Umfang des Halterings angeordnete Spannschrauben axial bewegbar ist und dass das Maschinen-Drehteil eine umlaufende, dem Spannring gegenüberliegende Aussparung aufweist, um das Ausweichen des Trennsägeblattes beim Anziehen der Spannschrauben zu ermöglichen.The clamping device that solves this problem is characterized in that a clamping ring is arranged in the retaining ring, which can be moved axially by means of clamping screws arranged symmetrically on the circumference of the retaining ring, and that the rotary machine part has a circumferential recess opposite the clamping ring to prevent the evasion of the cutting saw blade when tightening the clamping screws.
Im folgenden wird die Erfindung anhand einer Zeichnung eines Ausführungsbeispiels näher erläutert.The invention is explained in more detail below with reference to a drawing of an exemplary embodiment.
Fig. 1 zeigt einen Teil-Axialschnitt durch das Ausführungsbeispiel,Fig. 1 shows a partial axial section through the embodiment,
Fig. 2 zeigt einen vergrösserten Ausschnitt von Fig. 1 undFig. 2 shows an enlarged section of Fig. 1 and
Fig. 3 zeigt eine Aufsicht auf die erfindungsgemässe Spannvorrichtung.3 shows a plan view of the clamping device according to the invention.
Der Aussenrand des Innen-Trennsägeblattes 1 ist zwischen dem Maschinen-Drehteil 2 und dem Haltering 3 eingespannt, wobei das in der Regel 0,1 bis 0,2 mm Dicke aufweisende Sägeblatt der Übersichtlichkeit wegen vergrössert gezeichnet ist, und bei 4 dessen beschichtete Trennschneide angedeutet ist. Das Maschinen-Drehteil 2 wird über einen Ring 5 mittels Schrauben 6 an der Hohlwelle 7 der Maschine befestigt und mittels eines O-Rings 8 gegenüber dem Ring 5 abgedichtet. Der Haltering 3 ist mittels Halteschrauben 9 mit dem Maschinendrehteil verbunden. Ausserdem ermöglichen Zentrierbolzen 10, zusammen mit den Zentrierbohrungen im Trennsägeblatt eine Grobzentrierung desselben.The outer edge of the internal cutting saw blade 1 is clamped between the rotating machine part 2 and the retaining ring 3, the saw blade, which is usually 0.1 to 0.2 mm thick, being drawn enlarged for the sake of clarity, and its coated cutting edge is indicated at 4 is. The rotary machine part 2 is fastened to the hollow shaft 7 of the machine via a ring 5 by means of screws 6 and is sealed off from the ring 5 by means of an O-ring 8 . The retaining ring 3 is connected to the rotating part of the machine by means of retaining screws 9 . In addition, centering bolts 10, together with the centering holes in the cutting saw blade, permit rough centering of the same.
In Fig. 2 erkennt man die für die Feinjustierung des Trennsägeblattes notwendigen Teile in einem vergrösserten Ausschnitt von Fig. 1. Der Haltering 3 weist an der Innenseite eine ringförmige Nut 11 mit rechteckigem Profil auf, in welcher ein Spannring 12 gleitend eingepasst ist. Die Vorderseite des Spannringes weist eine konvex gewölbte Fläche 13 auf, die auf das Trennsägeblatt 1 wirkt. Der Spannring wird durch symmetrisch am Umfang angeordnete Spannschrauben 14 in axialer Richtung verschoben. Das Maschinen-Drehteil 2 weist gegenüber dem Spannring 12 eine Aussparung 15 mit abgerundeten Kanten auf, um ein Ausweichen des Trennsägeblattes zu ermöglichen. Um den Spannring zur Trennfläche hin abzudichten, ist im Haltering ein O-Ring 16 angeordnet.2 shows the parts necessary for the fine adjustment of the cutting saw blade in an enlarged detail from FIG. The front side of the clamping ring has a convex surface 13 which acts on the saw blade 1 . The clamping ring is displaced in the axial direction by clamping screws 14 arranged symmetrically on the circumference. The rotary machine part 2 has a recess 15 with rounded edges opposite the clamping ring 12 in order to allow the cutting saw blade to deviate. In order to seal off the clamping ring from the parting surface, an O-ring 16 is arranged in the retaining ring.
Zur Inbetriebnahme des Trennsägeblattes wird dieses zuerst mit dem Haltering und durch die Zentrierbolzen 10 und Halteschrauben 9 am Maschinen-Drehteil befestigt und vorzentriert. Anschliessend wird mittels der Spannschrauben, die über den Spannring auf das Trennsägeblatt wirken, die Vorspannung, Zentrizität und die Rundheit genau eingestellt. Aus obiger Beschreibung der erfindungsgemässen Spannvorrichtung geht hervor, dass sie einerseits eine sehr hohe Genauigkeit erlaubt und anderseits einfach und schnell zu justieren ist und dass die durch den Spannring erzeugte Unwucht sehr klein ist.To start up the cut-off saw blade, it is first fastened and pre-centered to the rotary part of the machine with the retaining ring and the centering bolt 10 and retaining screws 9 . The tension, centricity and roundness are then set precisely using the clamping screws, which act on the cutting saw blade via the clamping ring. It is clear from the above description of the clamping device according to the invention that on the one hand it permits very high accuracy and on the other hand it can be adjusted easily and quickly and that the imbalance generated by the clamping ring is very small.
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SS
2 Blatt Zeichnungen2 sheets of drawings