CH424731A - Verfahren zum epitaktischen Abscheiden von Halbleitermaterial und Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens - Google Patents

Verfahren zum epitaktischen Abscheiden von Halbleitermaterial und Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens

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CH424731A
CH424731A CH1267565A CH1267565A CH424731A CH 424731 A CH424731 A CH 424731A CH 1267565 A CH1267565 A CH 1267565A CH 1267565 A CH1267565 A CH 1267565A CH 424731 A CH424731 A CH 424731A
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CH1267565A
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Eduard Dipl Ing Folkmann
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Siemens Ag
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    • C11DDETERGENT COMPOSITIONS; USE OF SINGLE SUBSTANCES AS DETERGENTS; SOAP OR SOAP-MAKING; RESIN SOAPS; RECOVERY OF GLYCEROL
    • C11D3/00Other compounding ingredients of detergent compositions covered in group C11D1/00
    • C11D3/02Inorganic compounds ; Elemental compounds
    • C11D3/04Water-soluble compounds
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
NL6700080A (de) * 1966-01-03 1967-07-04
US3717439A (en) * 1970-11-18 1973-02-20 Tokyo Shibaura Electric Co Vapour phase reaction apparatus
US3710757A (en) * 1970-12-09 1973-01-16 Texas Instruments Inc Continuous deposition system
US4522149A (en) * 1983-11-21 1985-06-11 General Instrument Corp. Reactor and susceptor for chemical vapor deposition process
US4694779A (en) * 1984-10-19 1987-09-22 Tetron, Inc. Reactor apparatus for semiconductor wafer processing
US4596208A (en) * 1984-11-05 1986-06-24 Spire Corporation CVD reaction chamber
FR2573325B1 (fr) * 1984-11-16 1993-08-20 Sony Corp Appareil et procede pour faire des depots de vapeur sur des plaquettes

Family Cites Families (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
NL273009A (de) * 1960-12-29
DE1137807B (de) * 1961-06-09 1962-10-11 Siemens Ag Verfahren zur Herstellung von Halbleiteranordnungen durch einkristalline Abscheidung von Halbleitermaterial aus der Gasphase
NL281754A (de) * 1961-08-04
US3296040A (en) * 1962-08-17 1967-01-03 Fairchild Camera Instr Co Epitaxially growing layers of semiconductor through openings in oxide mask

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DE1544253A1 (de) 1970-03-26

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