CH359486A - Procédé d'ionisation d'un gaz et dispositif pour la mise en oeuvre du procédé - Google Patents

Procédé d'ionisation d'un gaz et dispositif pour la mise en oeuvre du procédé

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CH359486A
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Commissariat Energie Atomique
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    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J27/00—Ion beam tubes
    • H01J27/02—Ion sources; Ion guns
    • H01J27/16—Ion sources; Ion guns using high-frequency excitation, e.g. microwave excitation

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