ATE42224T1 - Verfahren und vorrichtung zur drucktraenkung eines substrats. - Google Patents

Verfahren und vorrichtung zur drucktraenkung eines substrats.

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ATE42224T1
ATE42224T1 AT85305822T AT85305822T ATE42224T1 AT E42224 T1 ATE42224 T1 AT E42224T1 AT 85305822 T AT85305822 T AT 85305822T AT 85305822 T AT85305822 T AT 85305822T AT E42224 T1 ATE42224 T1 AT E42224T1
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pressurizing
substrate
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Howard K Menser
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Miply Equipment Inc
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AT85305822T 1984-08-16 1985-08-15 Verfahren und vorrichtung zur drucktraenkung eines substrats. ATE42224T1 (de)

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US64156884A 1984-08-16 1984-08-16
US06/661,913 US4588616A (en) 1984-08-16 1984-10-17 Method and apparatus for pressure saturation of substrate
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ATE42224T1 true ATE42224T1 (de) 1989-05-15

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