ATE174637T1 - Verfahren und vorrichtung zur beschichtung eines substrats mittels kathodenzerstäubung - Google Patents

Verfahren und vorrichtung zur beschichtung eines substrats mittels kathodenzerstäubung

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ATE174637T1
ATE174637T1 AT95870065T AT95870065T ATE174637T1 AT E174637 T1 ATE174637 T1 AT E174637T1 AT 95870065 T AT95870065 T AT 95870065T AT 95870065 T AT95870065 T AT 95870065T AT E174637 T1 ATE174637 T1 AT E174637T1
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AT95870065T
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Brande Pierre Vanden
Stephane Lucas
Rene Winand
Alain Weymeersch
Lucien Renard
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Cockerill Rech & Dev
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    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
    • C23C14/56—Apparatus specially adapted for continuous coating; Arrangements for maintaining the vacuum, e.g. vacuum locks
    • C23C14/562—Apparatus specially adapted for continuous coating; Arrangements for maintaining the vacuum, e.g. vacuum locks for coating elongated substrates
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
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    • C23C14/3407—Cathode assembly for sputtering apparatus, e.g. Target
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AT95870065T 1994-06-02 1995-06-02 Verfahren und vorrichtung zur beschichtung eines substrats mittels kathodenzerstäubung ATE174637T1 (de)

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BE9400552A BE1008303A3 (fr) 1994-06-02 1994-06-02 Procede et dispositif pour la formation d'un revetement sur un substrat par pulverisation cathodique.

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