AT516595A1 - Apparatus and method for applying and / or peeling a wafer to / from a carrier - Google Patents

Abstract

Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung sowie ein Verfahren zum Ablösen eines Wafers (4) von einem Träger (2), wobei eine auf den Wafer (4) wirkende Ablösekraft durch Verformung einer an dem Wafer (4) anhaftenden Kontaktierungsfläche an dem Wafer (4) angesetzt wird, und wobei zuerst der Rand des Wafers (4) abgelöst wird.The invention relates to a device and a method for detaching a wafer from a carrier, wherein a detaching force acting on the wafer is applied to the wafer by deformation of a contacting surface adhering to the wafer and first removing the edge of the wafer (4).

Description

Vorrichtung und Verfahren zum Aufbringen und/oder Ablösen eines Wafers auf einen/von einem TrägerApparatus and method for applying and / or peeling a wafer to / from a carrier

Beschreibungdescription

Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung gemäß Anspruch 1 und Verfahren gemäß Anspruch 4 zum Ablösen eines Wafers von einem Träger.The invention relates to a device according to claim 1 and to a method according to claim 4 for detaching a wafer from a carrier.

Das Rückdünnen von Wafern ist in der Halbleiterindustrie häufig erforderlich und kann mechanisch und/oder chemisch erfolgen. Zum Rückdünnen werden die Wafer in der Regel auf einen Träger vorübergehend fixiert, wobei es für die Fixierung verschiedene Methoden gibt. Als Trägermaterial werden beispielsweise Folien, Glassubstrate oder Siliziumwafer verwendet.The re-thinning of wafers is often required in the semiconductor industry and may be mechanical and / or chemical. For re-thinning, the wafers are usually temporarily fixed to a carrier, with different methods for fixation. The carrier material used is, for example, films, glass substrates or silicon wafers.

In Abhängigkeit von den verwendeten Trägermaterialien und der verwendeten Verbindungsschicht zwischen Träger und Wafer sind verschiedene Verfahren zur Auflösung oder Zerstörung der Verbindungsschicht bekannt, wie beispielsweise die Verwendung von UV-Licht, Laserstrahlen, Temperatureinwirkung oder Lösungsmittel.Depending on the carrier materials used and the bonding layer between carrier and wafer used, various methods for dissolving or destroying the bonding layer are known, such as the use of UV light, laser beams, temperature action or solvents.

Das Ablösen stellt sich zunehmend als einer der kritischsten Prozessschritte dar, da die dünnen Substrate mit Substratdicken von wenigen μπι beim Ablösen/Abziehen leicht brechen oder durch die für den Vorgang des Ablösens notwendigen Kräfte Schaden erleiden.The detachment is increasingly seen as one of the most critical process steps, since the thin substrates with substrate thicknesses of a few μπι easily break off during peeling / peeling or suffer damage by the forces necessary for the process of detachment.

Darüber hinaus haben die dünnen Substrate kaum bis keine Formstabilität und rollen sich typischerweise ohne Stützmaterial ein. Während der Handhabung der rückgedünnten Wafer ist mithin eine Fixierung und Unterstützung der Wafer praktisch unumgänglich.In addition, the thin substrates have little to no dimensional stability and typically curl without support material. Thus, during the handling of the back-thinned wafers, fixing and supporting the wafers is practically unavoidable.

Es ist daher die Aufgabe der vorliegenden Erfindung, eine Vorrichtung und Verfahren anzugeben, um einen Wafer möglichst zerstörungsfrei von einem Träger zu lösen, mit dem darüber hinaus ein möglichst blasenfreies Aufbringen eines Wafers auf einen Träger möglich ist.It is therefore the object of the present invention to provide a device and method for detaching a wafer from a carrier as non-destructively as possible, with which, moreover, it is possible to apply a wafer to a carrier as bubble-free as possible.

Diese Aufgabe wird mit den Merkmalen der Ansprüche 1 und 4 gelöst. Vorteilhafte Weiterbildungen der Erfindung sind in den Unteransprüchen angegeben, ln den Rahmen der Erfindung fallen auch sämtliche Kombinationen aus zumindest zwei von in der Beschreibung, den Ansprüchen und/oder den Figuren angegebenen Merkmalen. Bei angegebenen Wertebereichen sollen auch innerhalb der genannten Grenzen liegende Werte als Grenzwerte offenbart und in beliebiger Kombination beanspruchbar sein.This object is achieved with the features of claims 1 and 4. Advantageous developments of the invention are specified in the subclaims. All combinations of at least two features specified in the description, the claims and / or the figures also fall within the scope of the invention. For given ranges of values, values within the stated limits are also to be disclosed as limit values and to be able to be claimed in any combination.

Der Erfindung liegt der Gedanke zugrunde, eine Vorrichtung anzugeben, um die auf den rückgedünnten Wafer wirkende Ablösekraft durch Verformung der Kontaktierungsfläche gezielt an dem Wafer anzusetzen, wobei vorzugsweise zuerst der Rand des meist kreisförmigen Wafers abgelöst wird, indem der Wafer an der Kontaktierungsseite anhaftet.The invention is based on the idea of providing a device for selectively applying the detachment force acting on the back-thinned wafer to the wafer by deforming the contacting surface, wherein the edge of the usually circular wafer is preferably detached first by adhering the wafer to the contacting side.

Bevorzugt ist eine Kombination aus horizontaler Abziehkraft und vertikaler Durchbiegung, durch die ein sukzessives und schonendes Abheben des Randes bewirkt wird.Preferred is a combination of horizontal peel force and vertical deflection, by which a successive and gentle lifting of the edge is effected.

Mit anderen Worten steigt die Ablösekraft vom Umfang des Wafers zum Zentrum während des Ablösens an, wobei insbesondere zusätzlich eine Querkraftkomponente vorteilhaft ist.In other words, the detachment force increases from the circumference of the wafer to the center during the detachment, wherein, in particular, a transverse force component is additionally advantageous.

Vorrichtungsgemäß betrifft die Erfindung eine Vorrichtung zum Aufbringen und/oder Ablösen eines Wafers auf einen/von einem Träger: mit einer parallel zu einer Kontaktfläche des Wafers ausrichtbaren, verformbaren Membran mit einer Kontaktseite zur zumindest teilweisen Kontaktierung der Kontaktfläche, rückwärtig zu der Kontaktseite angeordneten Verformungsmitteln zu definiert steuerbaren Verformung der Membran und mit Haftmitteln zur Anhaftung des Wafers an die Membran.According to the invention, the invention relates to a device for applying and / or detaching a wafer to / from a support: with a deformable membrane alignable parallel to a contact surface of the wafer with a contact side for at least partial contacting of the contact surface, deformation means arranged rearward to the contact side defines controllable deformation of the membrane and with adhesives for adhering the wafer to the membrane.

Durch die definiert steuerbare Verformung der Membran kann der rückgedünnte Wafer im Zusammenspiel mit der Anhaftung des Wafers an die Membran gezielt, vorzugsweise von außen nach innen, von dem Träger abgelöst werden.As a result of the defined controllable deformation of the membrane, the back-thinned wafer can be removed from the carrier in a targeted manner, preferably from outside to inside, in cooperation with the adhesion of the wafer to the membrane.

In einer vorteilhaften Ausgestaltung der Erfindung ist die Membran omnipermeabel, insbesondere durch die Membran durchsetzende Löcher, wobei vorzugsweise die Zahl und/oder der Durchmesser der Löcher vorgegeben sind. Durch diese Maßnahme ist es möglich, den Wafer an dieIn an advantageous embodiment of the invention, the membrane is omnipermeable, in particular holes passing through the membrane, wherein preferably the number and / or the diameter of the holes are predetermined. By this measure it is possible to attach the wafer to the

Membran anzusaugen, und zwar bei vorgegebener Zahl und/oder vorgegebenem Durchmesser der Löcher mit definierter Haftkraft. Es werden damit auch negative Effekte von Vakuumrillen auf den Wafer vermieden.Aspirate membrane, namely for a given number and / or predetermined diameter of the holes with a defined adhesive force. It also prevents negative effects of vacuum grooves on the wafer.

Ein entsprechender Effekt wird erzielt, indem die Membran durch die Haftmittel mit einer Druckdifferenz beaufschlagbar ist.A corresponding effect is achieved by the membrane can be acted upon by the adhesive with a pressure difference.

In einer besonders bevorzugten Ausführungsform der Erfindung umfassen die Haftmittel: einen durch eine Saugwanne und eine die Saugwanne bedeckenden Membran gebildeten Saugraum sowie eine an den Saugraum angeschlossene Vakuumpumpe.In a particularly preferred embodiment of the invention, the adhesives comprise: a suction chamber formed by a suction trough and a membrane covering the suction trough and a vacuum pump connected to the suction chamber.

Weiterhin ist mit Vorteil vorgesehen, die Saugwanne durch einen, insbesondere impermeablen, durch Druck verformbaren Boden und eine Umfangswand zu bilden, da hierdurch von Außen über den verformbaren Boden Druckkräfte in den Saugraum übertragen werden können.Furthermore, it is advantageously provided to form the suction trough by a, in particular impermeable, deformable by pressure bottom and a peripheral wall, as this can be transmitted from the outside via the deformable bottom pressure forces in the suction chamber.

In vorteilhafter Ausgestaltung der Erfindung umfassen die Verformungsmittel: den verformbaren Boden der Saugwanne und mindestens einen, vorzugsweise eine Vielzahl von, Abstandhaltern zur definierten Beabstandung der Membran von dem Boden.In an advantageous embodiment of the invention, the deformation means comprise: the deformable bottom of the suction trough and at least one, preferably a plurality of, spacers for the defined spacing of the membrane from the bottom.

Durch die vorgenannte Ausgestaltung wird eine besonders effektive Übertragung der Druckkräfte auf die Membran ermöglicht und indem der Boden eine ähnliche Grundform wie die Membran und auch wie der Wafer aufweist, können die tlber die Fläche des verformbaren Bodens anliegenden Druckkräfte optimal an die Membran weitergegeben werden.By the aforementioned embodiment, a particularly effective transmission of the compressive forces on the membrane is made possible and in that the bottom has a similar basic shape as the membrane and also like the wafer, the pressure forces acting on the surface of the deformable bottom can be optimally transmitted to the membrane.

In einer weiteren vorteilhaften Ausführungsform der Erfindung sind die Abstandhalter kantenfrei, insbesondere kugelförmig ausgebildet, wodurch eine möglichst gleichmäßige Kraftverteilung und -Übertragung auf die Membran und damit auf den Wafer möglich ist. Vorzugsweise sind die Abstandhalter vom Zentrum der Membran gleichmäßig über die Fläche der Membran verteilt. Die Abstandhalter können unterschiedliche Geometrien aufweisen, sind aber vorzugsweise identisch. Noch bevorzugter wird eine Vielzahl von kleinen Kugeln als Abstandhalter in den Saugraum gefüllt.In a further advantageous embodiment of the invention, the spacers are edge-free, in particular spherical, so that the most uniform possible force distribution and transfer to the membrane and thus to the wafer is possible. Preferably, the spacers are distributed evenly over the surface of the membrane from the center of the membrane. The spacers may have different geometries, but are preferably identical. More preferably, a plurality of small balls are filled as spacers in the suction space.

Weiterhin können die Verformungsmittel mit Vorteil umfassen: einen durch eine Druckwanne und den die Druckwanne bedeckenden Boden gebildeten Druckraum sowie eine an den Druckraum angeschlossene Druckpumpe.Furthermore, the deformation means can advantageously comprise: a pressure chamber formed by a pressure trough and the bottom covering the pressure trough and a pressure pump connected to the pressure chamber.

Der Druckraum ist mit einem Druck von bis zu 10 bar beaufschlagbar.The pressure chamber can be acted upon with a pressure of up to 10 bar.

Durch die vorgenannte Ausgestaltung der Verformungsmittel können nicht nur die Haftmittel, sondern auch die Verformungsmittel durch eine Vakuumpumpe betrieben werden, wobei möglicherweise sogar Synergieeffekte der Vakuumeinrichtung genutzt werden können.As a result of the abovementioned embodiment of the deformation means, not only the adhesives but also the deformation means can be operated by a vacuum pump, whereby possibly even synergy effects of the vacuum device can be utilized.

Beispielsweise könnte die Vakuumpumpe gleichzeitig die Druckpumpe sein.For example, the vacuum pump could be the pressure pump at the same time.

Mit Vorteil ist weiterhin vorgesehen, dass die Verformungsmittel mindestens einen Begrenzer aufweisen, der die Verformung des Bodens in Richtung Druckraum begrenzend ausgebildet ist, insbesondere derart, dass der Boden bei Anliegen des Bodens am Begrenzer plan eben ist. Durch die Begrenzung der Verformung des Bodens kann mit Vorteil eine Ausgangsstellung der Vorrichtung vorgegeben werden, die vorliegt, wenn zumindest im Druckraum Atmosphärendruck/Umgebungsdruck oder Unterdrück bis Vakuum anliegt.Advantageously, it is further provided that the deformation means have at least one limiter, which is designed to limit the deformation of the soil in the direction of the pressure chamber, in particular in such a way that the soil is flat when the soil is present on the limiter. Due to the limitation of the deformation of the bottom, an initial position of the device can advantageously be specified, which is present if at least in the pressure chamber atmospheric pressure / ambient pressure or negative pressure applied to vacuum.

Indem die Fläche der Kontaktseite kleiner als die Fläche der Kontaktfläche ist, um beim Abziehen des Wafers von dem Träger gegebenenfalls entstehende Klebewulste nicht auf die Membran zu übertragen, wird vermieden, die Membran und insbesondere deren Löcher zu kontaminieren.By the surface of the contact side is smaller than the surface of the contact surface in order not to transfer any resulting adhesive beads on removal of the wafer from the carrier to the membrane, it is avoided to contaminate the membrane and in particular their holes.

Mit Vorteil sind in einer Ausgestaltung der erfindungsgemäßen Vorrichtung Aufheizmittel vorgesehen, die in einer Aufnahmeeinheit zur Aufnahme des Trägers integriert sind und/oder unterhalb einer Aufnahmeeinheit zur Aufnahme des Trägers angeordnet sind. Bei der Anordnung der Aufheizmittel unterhalb der Aufnahmeeinheit kann die Aufnahmeeinheit vor Aufheizen der Aufheizmittel zum Ablösen des Wafers weggefahren werden, damit eine direkte Wärmebeaufschlagung des Trägers und Wafers möglich ist.Advantageously, in one embodiment of the device according to the invention heating means are provided which are integrated in a receiving unit for receiving the carrier and / or are arranged below a receiving unit for receiving the carrier. In the arrangement of the heating means below the receiving unit, the receiving unit can be moved away before heating the heating means for detaching the wafer, so that direct heat application of the carrier and wafer is possible.

Dadurch, dass der Saugraum mit Unterdrück, insbesondere kleiner 500 mbar, beaufschlagt ist, wirkt die Wärme optimal auf das Verbindungsmittel zwischen Wafer und Träger ein. Die Aufheizmittel können dadurch sogar kleiner dimensioniert werden.Due to the fact that the suction chamber is subjected to negative pressure, in particular less than 500 mbar, the heat acts optimally on the connecting means between the wafer and the carrier. The heating means can thereby be even smaller dimensioned.

Um die Verbindungskraft zu zerstören, ist es wichtig, das Verbindungsmittel sehr genau und gleichmäßig auf die zur Zerstörung der Hafteigenschaft nötige Temperatur zu bringen. Dies wird insbesondere erreicht, indem eine Abkohlung an der entgegengesetzten Seite der Wärmeeinbringung reduziert und minimiert wird. Dadurch entsteht eine sehr geringe Temperaturdifferenz zwischen der Temperatur des Trägers und des Wafers (hohe Gleichmäßigkeit). Würde dies nicht der Fall sein, hätte der Träger unter Umständen eine hohe Temperatur insbesondere an der zur Strahlungsquelle ausgesetzten Seite und das Temperaturgefälle zur Membran des Wafers würde sehr groß sein. Da der Wafer besonders dünn ist und Silizium eine sehr gute Wärmeleitfähigkeit besitzt, würde in diesem Fall die Klebeschicht nicht die zur Zerstörung der Hafteigenschaft notwendige Temperatur erreichen. Deshalb ist es besonders wichtig, beim Wafer einen hohen Isolationswert zu haben.In order to destroy the bonding force, it is important to bring the bonding agent very accurately and evenly to the temperature necessary to destroy the adhesive property. This is achieved in particular by reducing and minimizing decarburization on the opposite side of the heat input. This results in a very small temperature difference between the temperature of the carrier and the wafer (high uniformity). If this were not the case, the carrier would possibly have a high temperature, in particular on the side exposed to the radiation source, and the temperature gradient to the membrane of the wafer would be very great. Since the wafer is particularly thin and silicon has a very good thermal conductivity, in this case the adhesive layer would not reach the temperature necessary for destroying the adhesive property. Therefore, it is particularly important to have a high insulation value for the wafer.

Verfahrengemäß ist die Aufgabe durch ein Verfahren zum Ablösen eines Wafers von einem Träger mit einer vorbeschriebenen Vorrichtung gelöst, das folgende Verfahrensschritte, insbesondere in der angegebenen Reihenfolge, aufweist: a) Ausrichten der verformbaren Membran mit deren Kontaktseite parallel zu der Kontaktfläche des Wafers, b) Kontaktierung von Membran und Wafer, und c) Verformung und Ablösung der Membran mittels der Verformungsmittel in Richtung der Kontaktseite, wobei die Verformung der Membran konvex erfolgt.According to the method, the object is achieved by a method for detaching a wafer from a carrier with a device described above, comprising the following method steps, in particular in the stated order: a) aligning the deformable membrane with its contact side parallel to the contact surface of the wafer, b) Contacting of membrane and wafer, and c) Deformation and detachment of the membrane by means of the deformation means in the direction of the contact side, wherein the deformation of the membrane is convex.

Beim Ausrichten der verformbaren Membran mit deren Kontaktseite parallel zu der Kontaktfläche des Wafers ist möglicherweise ein Keilfehler durch im Stand der Technik bekannte Verfahren und Vorrichtungen auszugleichen.When aligning the deformable membrane with its contact side parallel to the contact surface of the wafer, a wedge error may be compensated by methods and devices known in the art.

Zur Kontaktierung ist es sowohl möglich die Membran an den Wafer heranzufahren als auch umgekehrt oder durch Bewegung der beiden Bauteile Membran und Wafer aufeinander zu.For contacting it is both possible to bring the membrane to the wafer as well as vice versa or by moving the two components membrane and wafer toward each other.

Anstelle einer Membran kann auch eine Klebefolie verwendet werden.Instead of a membrane, an adhesive film can also be used.

Indem das Anhaften durch Anlegen eines Unterdrucks an der Rückseite der Membran erfolgt, wird durch den Unterdrück auf der Rückseite der Membran der zusätzliche Effekt erzielt, dass durch das Vakuum eine hervorragende Isolierung beim Aufheizen gewährleistet wird und damit ein gleichmäßiges Aufheizen mit geringem Energieverlust gewährleistet werden kann.By adhering to the backside of the membrane by applying a vacuum, the backpressure on the back of the membrane has the additional effect of providing excellent insulation during heating by the vacuum and thus ensuring uniform heating with little energy loss ,

Die Verformung der Membran beim Ablösen des Wafers erfolgt mit Vorteil konvex, das heißt die Ablösekraft steigt vom Rand der Membran möglichst gleichmäßig zum Zentrum der Membran hin an.The deformation of the membrane during detachment of the wafer advantageously takes place convexly, that is to say the detachment force rises as evenly as possible from the edge of the membrane to the center of the membrane.

Umgekehrt kann das erfindungsgemäße Verfahren auch zum Aufbringen eines Wafers auf einen Träger mit der oben beschriebenen Vorrichtung durch folgende, insbesondere in der nachfolgenden Reihenfolge ablaufende, Verfahrensschrittc erfolgen: a) Kontaktierung von Membran und Wafer sowie Anhaften des Wafers an die Membran durch die Haftmittel, b) Ausrichten der verformbaren Membran sowie des daran anhaftenden Wafers mit einem Träger, c) konvexe Verformung der Membran und des Wafers mittels der Verformungsmittel und Aufbringung des Wafers auf den Träger.Conversely, the method according to the invention can also be carried out for applying a wafer to a carrier with the device described above by the following step, in particular in the following sequence: a) contacting membrane and wafer and adhering the wafer to the membrane by the adhesives, b ) Aligning the deformable membrane and the adhered wafer with a carrier, c) convexly deforming the membrane and the wafer by means of the deforming means and applying the wafer to the carrier.

Die Aufbringung erfolgt mit Vorteil auf Grund der konvexen Verformung des Wafers vom Zentrum des Wafers aus, so dass LufteinschlOsse, die bei einer flachen Auflage des Wafers auf den Träger häufig unvermeidbar sind, weitgehend vermieden werden.The application advantageously takes place due to the convex deformation of the wafer from the center of the wafer, so that trapped air, which is often unavoidable in the case of a flat support of the wafer on the support, is largely avoided.

Weitere Vorteile, Merkmale und Einzelheiten der Erfindung ergeben sich aus der nachfolgenden Beschreibung bevorzugter Ausführungsbeispiele sowie anhand der Zeichnungen; diese zeigen in:Further advantages, features and details of the invention will become apparent from the following description of preferred embodiments and from the drawings; these show in:

Fig. 1: eine schematische Seitenansicht einer erfindungsgemäßenFig. 1: a schematic side view of an inventive

Vorrichtung undDevice and

Fig. 2: eine schematische Aufsicht auf die erfindungsgemäße Membran.2 shows a schematic plan view of the membrane according to the invention.

In den Figuren sind gleiche Bauteile und Bauteile mit der gleichen Funktion mit den gleichen Bezugszeichen gekennzeichnet.In the figures, the same components and components with the same function with the same reference numerals.

In Figur 1 ist eine erfindungsgemäße Vorrichtung als Ausführungsform schematisch dargestellt, wobei Bauteile wie ein die Vorrichtung umgebendes Gehäuse oder Positionier- und/oder Justiereinrichtungen, wie beispielsweise ein Roboterarm, nicht dargestellt sind, da diese im Stand der Technik hinreichend bekannt sind.In Figure 1, a device according to the invention as an embodiment is shown schematically, wherein components such as a housing surrounding the device or positioning and / or adjusting devices, such as a robot arm, are not shown, since these are well known in the art.

Auf einer Aufnahmeeinheit 1 mit darin integrierten Heizmitteln 14, die vorliegend als Heizwendeln ausgebildet sind, ist ein Träger 2 durch Unterdruckfixiermittel 16 fixierbar. Mit dem Träger 2 ist durch Verbindungsmittel 3, beispielsweise ein Kleber, ein Wafer 4 verbunden, der in einem vorherigen Verfahrensschritt rückgedünnt worden ist, so dass eine Kontaktfläche 4k des Wafers 4 auf der dem Träger 2 abgewandten Seite des Wafers 4 frei liegt.On a receiving unit 1 with heating means 14 integrated therein, which in the present case are designed as heating coils, a support 2 can be fixed by means of vacuum fixing means 16. A wafer 4, which has been thinned back in a previous method step, is connected to the carrier 2 by connecting means 3, for example an adhesive, so that a contact surface 4k of the wafer 4 is exposed on the side of the wafer 4 facing away from the carrier 2.

Wesentlicher Bestandteil der erfindungsgemäßen Vorrichtung ist die aus den oberhalb des Wafers 4 angeordneten Bauteilen bestehende Einrichtung, an deren Unterseite eine Membran S mit ihrer Kontaktseite Sk zu der Kontaktfläche 4k des Wafers 4 gegenüberliegend angeordnet ist.An essential component of the device according to the invention is the device consisting of the components arranged above the wafer 4, on the underside of which a membrane S with its contact side Sk is arranged opposite the contact surface 4k of the wafer 4.

Eventuelle sich aus einem Keil des Waferstapels ergebende Nichtparallelitäten werden durch einen sogenannten Keilfehlerausgleich ausgeglichen, der im Stand der Technik hinreichend bekannt ist.Any non-parallelities resulting from a wedge of the wafer stack are compensated by a so-called wedge error compensation, which is well known in the art.

Die Kontaktseite 5k ist demnach möglichst parallel zu der Kontaktfläche 4k und fluchtend zu der Kontaktfläche 4k ausgerichtet. Die Kontaktfläche 4k und die Kontaktseite 5k sind meist kreisförmig.Accordingly, the contact side 5k is aligned as parallel as possible to the contact surface 4k and in alignment with the contact surface 4k. The contact surface 4k and the contact side 5k are usually circular.

Die Membran 5 ist an einer hier kreisringförmigen Stirnfläche 7s kraftschlüssig und dicht fixiert, wobei die Membran 5 über die Kontaktseite 5k verteilt Löcher 13 aufweist, um über eine an der Membran 5 anliegende Druckdifferenz den Wafer 4 ansaugen zu können.The membrane 5 is frictionally and tightly fixed to an annular end face 7s here, the membrane 5 having holes 13 distributed over the contact side 5k in order to be able to suck in the wafer 4 via a pressure difference applied to the membrane 5.

Oberhalb der Membran 5 ist durch eine Umfangswand 7u und einem Boden 7b einer Saugwanne 7 zusammen mit der Membran 5 ein Saugraum 17 gebildet, der über eine Saugleitung 12 durch eine nicht dargestellte Vakuumpumpe mit Unterdrück beaufschlagbar ist.Above the membrane 5, a suction chamber 17 is formed by a peripheral wall 7u and a bottom 7b of a suction trough 7 together with the membrane 5, which can be acted upon via a suction line 12 by a vacuum pump, not shown, with negative pressure.

Der Boden 7b ist in seiner in Figur 1 gezeigten Ausgangsstellung eben und parallel zu der Membran 5, so dass der Saugraum 17 im Wesentlichen eine flache Zylinderform aufweist.In its initial position shown in FIG. 1, the bottom 7b is flat and parallel to the membrane 5, so that the suction space 17 has a substantially flat cylindrical shape.

Gleichmäßig im Saugraum 17 verteilt befinden sich kugelförmige Abstandhalter 6 und deren Kugeldurchmesser 6d entspricht im Ausgangszustand dem Abstand zwischen dem Boden 7b und der Membran 5.Evenly distributed in the suction chamber 17 are spherical spacers 6 and the ball diameter 6 d corresponds in the initial state, the distance between the bottom 7 b and the membrane fifth

Oberhalb der Saugwanne 7 ist in etwa formkongruent eine Druckwanne 9 mit einer Stirnfläche 9s, einer Umfangswand 9u und einem Boden 9b angeordnet, deren Stirnfläche 9s auf dem Boden 7b des Saugraums 7 plan und dicht aufliegt.Above the suction trough 7, a pressure trough 9 with an end face 9s, a peripheral wall 9u and a bottom 9b is arranged approximately congruently, whose end face 9s rests flush on the bottom 7b of the suction space 7.

Durch der von der Druckwanne 9 und dem Boden 7b umschlossenen Raum wird ein Druckraum 8 gebildet, der über eine Druckleitung 11 und eine nicht dargestellte Pumpe mit Druck beaufschlagbar ist. Die Druckwanne 9 ist mit der Saugwanne 7 fixiert, beispielsweise durch eine Kraft auf denBy enclosed by the pressure pan 9 and the bottom 7b space, a pressure chamber 8 is formed, which is acted upon via a pressure line 11 and a pump, not shown, with pressure. The pressure trough 9 is fixed to the suction trough 7, for example by a force on the

Boden 9b der Druckwanne 9 oder durch eine anderweitige kraftschlüssige Verbindung.Bottom 9b of the pressure trough 9 or by another non-positive connection.

In dem in Figur 1 dargestellten Ausgangszustand, in welchem im Saugraum 7 und im Druckraum 8 atmosphärischer Druck bzw. Umgebungsdruck vorherrscht, ist der impermeable Boden 7b plan eben und liegt an zwischen dem Boden 7b und dem Boden 9b im Druckraum 9 angeordneten Begrenzern 10 an.In the initial state shown in Figure 1, in which prevails in the suction chamber 7 and in the pressure chamber 8 atmospheric pressure or ambient pressure, the impermeable bottom 7b flat and is located at between the bottom 7b and the bottom 9b arranged in the pressure chamber 9 limiters 10.

Unterhalb der Aufnahmeeinheit 1 können zusätzlich oder alternativ zu den Heizmitteln 14 weitere Heizmittel 15 vorgesehen sein.Below the receiving unit 1, in addition to or as an alternative to the heating means 14, further heating means 15 may be provided.

Die Fläche der Kontaktseite 5k ist kleiner als die Fläche der Kontaktfläche 4k des Wafers 4, um eine Kontamination der Membran 5 durch Verbindungsmittel 3 beim Ablösen des Wafers 4 von dem Träger 2 zu vermeiden.The area of the contact side 5k is smaller than the area of the contact surface 4k of the wafer 4 in order to avoid contamination of the membrane 5 by connecting means 3 upon detachment of the wafer 4 from the carrier 2.

Das Ablösen des Wafers 4 von dem Träger 2 mit der in Figur 1 dargestellten Vorrichtung läuft wie folgt ab:The detachment of the wafer 4 from the carrier 2 with the device shown in Figure 1 proceeds as follows:

Nach dem Rückdünnen des durch die Verbindungsmittel 3 auf dem Träger 2 fixierten Wafers 4 (Waferstapel) wird dieser Waferstapel von der Rückdünneinrichtung durch einen nicht dargestellten Roboterarm auf die Aufnahmeeinheit 1 positioniert und anschließend durch Unterdruckfixiermittel 16 auf der Aufnahmeeinheit 1 fixiert. Mit demselben oder einem weiteren Roboterarm wird die mit Druckraum 9 und Saugraum 7 verbundene Membran 5 mit deren Kontaktseite 5k parallel zu der Kontaktfläche 4k und fluchtend zu dieser ausgerichtet.After re-thinning of the wafer 4 (wafer stack) fixed on the carrier 2 by the connecting means 3, this wafer stack is positioned on the receiving unit 1 by the back-thinning device by a robot arm, not shown, and then fixed on the receiving unit 1 by negative pressure fixing means 16. With the same or another robot arm, the diaphragm 5 connected to the pressure chamber 9 and suction chamber 7 is aligned with the contact side 5k parallel to the contact surface 4k and in alignment therewith.

Anschließend wird die Membran 5 auf den Wafer 4 abgesenkt und kontaktiert diesen in der in Figur 1 gezeigten drucklosen Ausgangsstellung.Subsequently, the membrane 5 is lowered onto the wafer 4 and contacts it in the unpressurized starting position shown in FIG.

Der Roboterarm kann den Waferstapel auch direkt an die Membran 5 übergeben, ohne Fixierung auf der Aufnahmeeinheit 1, so dass die Aufnahmeeinheit 1 entfallen kann. In diesem Fall werden nur Heizmittel 15 benötigt. Die Querkraft beim Ablösen des Trägers zum Wafer 4 wird durch den Greifer 18 (Figur 3) eingebracht, der weiter unten beschrieben ist.The robot arm can also transfer the wafer stack directly to the membrane 5, without fixing on the receiving unit 1, so that the receiving unit 1 can be dispensed with. In this case, only heating means 15 are needed. The lateral force on detachment of the carrier to the wafer 4 is introduced by the gripper 18 (FIG. 3), which is described below.

Durch die Haftmittel, bestehend aus der Membran 5 mit Löchern 13, dem Saugraum 17 und der über die Saugleitung 12 angeschlossenen Vakuumpumpe wird die Membran 5 an den Wafer 4 angehaftet. Währenddessen oder anschließend an das Anhaften und/oder Kontaktieren der Membran 5 mit dem Wafer 4 wird der aus Wafer 4, Verbindungsmittel ' 3 und Träger 2 bestehende Stapel durch die Heizmittel 14 und/oder Heizmittel 15 aufgeheizt, wobei der Saugraum 17 als Wärmeisolator und -regulator dient.By the adhesive, consisting of the membrane 5 with holes 13, the suction chamber 17 and connected via the suction line 12 vacuum pump, the membrane 5 is adhered to the wafer 4. Meanwhile, or subsequent to adhering and / or contacting the membrane 5 with the wafer 4, the stack consisting of wafer 4, connecting means 3 and support 2 is heated by the heating means 14 and / or heating means 15, wherein the suction chamber 17 as a heat insulator and regulator serves.

Das Verfahren wird über eine nicht dargestellte Steuereinheit gesteuert.The method is controlled by a control unit, not shown.

Nach Erreichen der für das Lösen des Klebers (Verbindungsmittel 3) erforderlichen Temperatur wird der an der Membran anhaftende Wafer 4 durch konvexe Verformung der Membran 5 mittels der Verformungsmittel abgelöst, wobei automatisch ein Ablösen des Wafers 4 vom Rand 4r des Wafers 4 erfolgt. Bevorzugt wird über Relativbewegung des Trägers 2 zur Membran 5 eine Querkraft eingebracht.After reaching the temperature required for dissolving the adhesive (connecting means 3), the wafer 4 adhering to the membrane is removed by convex deformation of the membrane 5 by means of the deforming means, automatically detaching the wafer 4 from the edge 4r of the wafer 4. Preferably, a transverse force is introduced via relative movement of the carrier 2 to the membrane 5.

Die Verformungsmittel sind gebildet durch den über die Druckleitung 11 und die nicht dargestellt Pumpe mit Druck beaufschlagten Druckraum 8 sowie den impermeablen, verformbaren Boden 7b, die Abstandhalter 6 und die Membran 5.The deformation means are formed by the pressurized space 8 pressurized via the pressure line 11 and the pump, not shown, as well as the impermeable, deformable bottom 7b, the spacers 6 and the membrane 5.

Die Druckwanne 9 und die Saugwanne 7 können einstückig ausgebildet sein. Ebenso können die Begrenzer 10 und/oder die Abstandhalter 6 Ausformungen der Böden 7b und/oder 9b sein.The pressure trough 9 and the suction trough 7 may be integrally formed. Likewise, the limiters 10 and / or the spacers 6 can be formations of the bottoms 7b and / or 9b.

Durch Anlegen von Oberdruck im Druckraum 8 wird der Boden 7b wegen der massiveren Bauweise der Druckwanne 9 konvex gewölbt bzw. dynamisch durchgebogen, wobei die Durchbiegung proportional zu dem anliegenden Überdruck von bis zu 10 bar und damit programmierbar bzw. steuerbar durch die Steuereinheit ist.By applying top pressure in the pressure chamber 8, the bottom 7b is curved convexly or dynamically bent due to the solid construction of the pressure trough 9, wherein the deflection is proportional to the applied pressure of up to 10 bar and thus programmable or controllable by the control unit.

Durch die Durchbiegung des Bodens 7b werden die Abstandhalter 6 in Richtung der Membran S gedrückt, wodurch die Membran 5 ebenfalls analog dem Boden 7b durchgebogen wird. Durch diesen Effekt einer gleichmäßigen, präzisen und genau programmierbaren Durchbiegung der Membran 5 unter Beibehaltung der Haftkraft an der Membran 5 kann der Wafer 4 vom Rand her vom Träger 2 abgelöst werden. Zusätzlich zu der vertikalen Kraftkomponente über die Membran 5 kann der Wafer 4 durch einen Greifer 18 gemäß Figur 3 in horizontaler Richtung abgeschoben werden, wodurch der Wafer 4 schonend von dem Träger 2 gelöst wird, ohne auf dem Wafer 4 befindliche Chips 19 zu beschädigen.Due to the deflection of the bottom 7b, the spacers 6 are pressed in the direction of the membrane S, as a result of which the membrane 5 is also deflected analogously to the bottom 7b. By this effect of a uniform, precise and precisely programmable deflection of the membrane 5 while retaining the adhesive force on the membrane 5, the wafer 4 can be detached from the carrier 2 from the edge. In addition to the vertical force component across the membrane 5, the wafer 4 can be pushed off in the horizontal direction by a gripper 18 according to FIG. 3, whereby the wafer 4 is gently detached from the carrier 2 without damaging chips 19 located on the wafer 4.

Der Greifer 18 ist dabei in Form eines Hakens ausgebildet, mit einem Vorsprung 20, der eine geringere Höhe H aufweist als die Dicke D desThe gripper 18 is in the form of a hook, with a projection 20 which has a smaller height H than the thickness D of

Wafers 4. Die Querkraft oder horizontale Kraftkomponente kann auch durch die Aufnahmeeinheit 1 oder einem Vakuumgreifer übertragen werden.Wafers 4. The lateral force or horizontal force component can also be transmitted by the receiving unit 1 or a vacuum gripper.

Um bei thermischen temporären Klebeverbindungen als Verbindungsmittel 3 die genaue Einhaltung der Temperatur zu ermöglichen, befinden sich in der Aufnahmeeinheit 1 und/oder im Bereich des Saugraums 17 einer oder mehrerer Temperaturfühler, die eine Kontrolle der eingebrachten Temperatur ermöglichen und über eine Steuerungssoftware der Steuerungseinrichtung (nicht gezeigt) den Ablösevorgang steuern.In order to enable precise adherence to the temperature in the case of thermal temporary adhesive bonds as connecting means 3, 17 or more temperature sensors are located in the receiving unit 1 and / or in the region of the suction chamber 17, which allow control of the introduced temperature and control software (not shown) control the detachment process.

Durch die Isolierwirkung des Saugraumes 17 muss der Stapel aus Wafer 4, Verbindungsmittel 3 und Träger 2 nur von einer Seite beheizt werden.Due to the insulating effect of the suction chamber 17, the stack of wafer 4, connecting means 3 and carrier 2 must be heated only from one side.

Die oben beschriebene Vorrichtung kann weiterhin für ein Verfahren zum Aufbringen des Wafers 4 auf einen weiteren Träger 2', beispielsweise eine Sägefolie oder einen prozessierten Wafer, verwendet werden und zur Vermeidung von Lufteinschlüssen beim Übertragen bzw. Kontaktieren des dünnen Wafers 4 mit dem weiteren Träger 2' ist eine Aufbringung des Wafers 4 in gewölbter Form besonders vorteilhaft.The device described above can furthermore be used for a method for applying the wafer 4 to a further carrier 2 ', for example a sawing foil or a processed wafer, and for avoiding air inclusions when transferring or contacting the thin wafer 4 with the further carrier 2 An application of the wafer 4 in a curved shape is particularly advantageous.

Das heißt, dass der durch obiges Verfahren abgelöste Wafer 4 durchgebogen an der Membran 5 bleibt und mit dem weiteren Träger 2' ausgerichtet wird. Der konvex geformte Wafer 4 wird dann im Zentrum auf den Träger 2' aufgesetzt und durch Rückverformung, also Absenken des Drucks im Druckraum 9 auf den Träger 2' aufgebracht, wobei Lufteinschlüsse weitgehend vermieden werden.This means that the wafer 4 removed by the above method remains bent on the membrane 5 and is aligned with the further support 2 '. The convex shaped wafer 4 is then placed in the center on the support 2 'and applied by re-deformation, ie lowering the pressure in the pressure chamber 9 on the support 2', with air inclusions are largely avoided.

Die Gefahr von Lufteinschlüssen ist insbesondere bei Klebefolien besonders groß, so dass es das vorliegende Verfahren erlaubt, Wafer ohne Lufteinschlüsse auf adhäsiven Materialien abzulegen.The risk of air inclusions is particularly great in the case of adhesive films, so that the present method allows wafers to be deposited on adhesive materials without air inclusions.

Vorrichtung und Verfahren zum Aufbringen und/oder Ablösen eines Wafers auf einen/von einem TrägerApparatus and method for applying and / or peeling a wafer to / from a carrier

Bezugszeichenliste I Aufnahmeeinheit 2, 2' Träger 3 Verbindungsmittel 4 Wafer 4k Kontaktfläche 4r Rand 5 Membran 5k Kontaktseite 6 Abstandhalter 6d Kugeldurchmesser 7 Saug wanne 7b Boden 7s Stirnfläche 7u Umfangswand 8 Druckraum 9 Durckwanne 9b Boden 9s Stirnfläche 9u Umfangswand 10 Begrenzer II Druckleitung 12 Saugleitung 13 Löcher 14 Heizmittel 15 Heizmittel 16 Unterdruckfixiermittel 17 Saugraum 18 Griefer 19 Chips 20 Vorsprung H Höhe D DickeI Support unit 2, 2 'support 3 connecting means 4 wafer 4k contact surface 4r edge 5 diaphragm 5k contact side 6 spacers 6d ball diameter 7 suction trough 7b bottom 7s end face 7u peripheral wall 8 pressure chamber 9 pressure trough 9b bottom 9s end face 9u peripheral wall 10 limiter II pressure line 12 suction line 13 Holes 14 Heating means 15 Heating means 16 Vacuum fixing means 17 Suction chamber 18 Griefer 19 Chips 20 Projection H Height D Thickness

Claims (9)

Vorrichtung und Verfahren zum Aufbringen und/oder Ablösen eines Wafers auf einen/von einem Träger PatentansprücheApparatus and method for applying and / or peeling a wafer to / from a carrier. Claims 1. Vorrichtung zum Ablösen eines Wafers (4) von einem Träger (2), mit der eine auf den Wafer (4) wirkende Ablösekraft durch Verformung einer an dem Wafer (4) anhaftenden Kontaktierungsfläche an dem Wafer (4) angesetzt wird, wobei zuerst der Rand des Wafers (4) abgelöst wird.A device for detaching a wafer (4) from a carrier (2) by means of which a detachment force acting on the wafer (4) is applied to the wafer (4) by deformation of a contacting surface adhering to the wafer (4), wherein first the edge of the wafer (4) is detached. 2. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Kontaktierungsfläche an einer Membran (5) oder einer Klebefolie angeordnet ist.2. Apparatus according to claim 1, characterized in that the contacting surface is arranged on a membrane (5) or an adhesive film. 3. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass die Ablösekraft beim Ablösen vom Umfang des Wafers (4) zum Zentrum während des Ablösens ansteigt, insbesondere zusätzlich mit einer Querkraftkomponente.3. A device according to any one of claims 1 or 2, characterized in that the detachment force upon detachment from the circumference of the wafer (4) increases to the center during the detachment, in particular in addition to a transverse force component. 4. Verfahren zum Ablösen eines Wafers (4) von einem Träger (2), wobei eine auf den Wafer wirkende Ablösekraft durch Verformung einer an dem Wafer anhaftenden Kontaktierungsfläche an dem Wafer angesetzt wird, und wobei zuerst der Rand des Wafers abgelüst wird.A method of detaching a wafer from a carrier, wherein a detachment force acting on the wafer is applied to the wafer by deformation of a contacting surface adhering to the wafer, and wherein first the edge of the wafer is scanned. 5. Verfahren nach Anspruch 4, bei dem die Kontaktierungsfläche an einer Membran (5) oder einer Klebefolie angeordnet ist.5. The method of claim 4, wherein the contacting surface is arranged on a membrane (5) or an adhesive film. 6. Verfahren nach Anspruch 4 oder 5, bei dem die Ablösekraft beim Ablösen vom Umfang des Wafers (4) zum Zentrum während des Ablösens ansteigt, insbesondere zusätzlich mit einer Querkraftkomponente. 7 Vorrichtung zum Aufbringen eines Wafers (4) auf einen und/oder Ablösen eines Wafers (4) von einem Träger (2), mit einer parallel zu einer Kontaktfläche (4k) des Wafers (4) ausrichtbaren, verformbaren Klebefolie mit einer Kontaktseite (Sk) zur zumindest teilweisen Kontaktierung der Kontaktfläche (4k), rückwärtig zu der Kontaktseite (5k) angeordneten Verformungsmitteln zur definiert steuerbaren Verformung der Klebefolie und Haftmitteln zur Anhaftung des Wafers (4) an die Klebefolie (5).A method according to claim 4 or 5, wherein the peeling force upon detachment from the periphery of the wafer (4) to the center increases during peeling, in particular in addition to a transverse force component. 7 Apparatus for applying a wafer (4) to and / or detaching a wafer (4) from a carrier (2) with a deformable adhesive film which can be oriented parallel to a contact surface (4k) of the wafer (4) and has a contact side (Sk ) for at least partially contacting the contact surface (4k), rearward to the contact side (5k) arranged deformation means for the defined controllable deformation of the adhesive film and adhesives for adhesion of the wafer (4) to the adhesive film (5). 8. Verfahren zum Ablösen eines Wafers (4) von einem Träger (2) mit einer Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche durch folgende Verfahrensschritte: a) Ausrichten der verformbaren Membran (5) oder Klebefolie mit deren Kontaktseite (5k) parallel zu der Kontaktfläche (4k) des Wafers (4), b) Kontaktierung von Membran (5) oder Klebefolie und Wafer (4) sowie Anhaften des Wafers (4) an die Membran (S) oder Klebefolie durch die Haftmittel, und c) definiert gesteuerte Verformung und dadurch Ablösung der Membran (S) oder Klebefolie vom Wafer (4) mittels der Verformungsmittel in Richtung der Kontaktseite (5k), wobei die Verformung der Membran (4) konvex erfolgt.8. A method for detaching a wafer (4) from a carrier (2) with a device according to one of the preceding claims by the following method steps: a) aligning the deformable membrane (5) or adhesive film with its contact side (5k) parallel to the contact surface ( 4k) of the wafer (4), b) contacting of membrane (5) or adhesive film and wafer (4) and adhesion of the wafer (4) to the membrane (S) or adhesive film by the adhesives, and c) defined controlled deformation and thereby Detachment of the membrane (S) or adhesive film from the wafer (4) by means of the deformation means in the direction of the contact side (5k), wherein the deformation of the membrane (4) is convex. 9. Verfahren nach Anspruch 8, bei dem der Träger (2) und der Wafer (4) vor der Ablösung des Wafers (4) zur Lösung eines zwischen Wafer (4) und Träger (2) befindlichen Verbindungsmittels (3) durch Aufheizmittel (15) aufgeheizt werden.9. The method of claim 8, wherein the carrier (2) and the wafer (4) prior to the detachment of the wafer (4) for dissolving a between wafer (4) and carrier (2) located connecting means (3) by heating means (15 ) are heated. 10. Verfahren zum Aufbringen eines Wafers (4) auf einen Träger (2') mit einer Vorrichtung nach Anspruch 7 durch folgende Verfahrensschritte: a) Kontaktierung von Membran (5) oder Klebefolie und Wafer (4) sowie Anhaften des Wafers (4) an die Membran (5) oder Klebefolie durch die Haftmittel. b) Ausrichten der verformbaren Membran (5) oder Klebefolie sowie des daran anhaftenden Wafers (4) mit einem Träger (2'), und c) definiert gesteuerte konvexe Verformung der Membran (5) oder Klebefolie und damit des anhaftenden Wafers (4) mittels der Verformungsmittel und Aufbringung des Wafers (4) auf den Träger (2').10. A method for applying a wafer (4) to a carrier (2 ') with a device according to claim 7 by the following method steps: a) contacting of membrane (5) or adhesive film and wafer (4) and adhesion of the wafer (4) the membrane (5) or adhesive film through the adhesive. b) aligning the deformable membrane (5) or adhesive film and the wafer (4) adhered thereto with a carrier (2 '), and c) defined controlled convex deformation of the membrane (5) or adhesive film and thus of the adhering wafer (4) the deformation means and application of the wafer (4) on the carrier (2 ').