AT397431B - Measuring system - Google Patents

Description

AT 397 431 BAT 397 431 B

Die Erfindung betrifft ein Meßsystem mit entlang eines Meßweges mit Abständen voneinander angeordneten ablesbaren Marken und einer in jeder möglichen Stellung wenigstens zwei dieser Marken erfassenden Abtasteinheit mit einer Vielzahl von in Form eines wenigstens eine Abtastspur mit einer Meßteilung bestimmenden Arrays angeordneten Signalerzeugem oder mit Signalerzeugem verbundenen Abtastfühlem zur Erzeugung von die jeweilige Stellung und/oder eine Relativverstellung der Abtasteinheit gegenüber dem Meßweg charakterisierenden elektrischen Meßsignalen, die, gegebenenfalls über eine Umformungs- oder Verarbeitungsstufe einer Auswerteeinheit bzw. einer Anzeige- oder Steuereinheit zuführbar sind.The invention relates to a measuring system with readable marks arranged along a measuring path at distances from one another and a scanning unit which detects at least two of these marks in any possible position and which has a plurality of signal generators arranged in the form of an array determining at least one scanning track with a measuring graduation or scanning sensors connected to signal generators Generation of the respective position and / or a relative adjustment of the scanning unit with respect to the measuring path characterizing electrical measuring signals, which can be supplied to an evaluation unit or a display or control unit, if necessary via a forming or processing stage.

Ein derartiges Meßsystem ist aus der DE-OS 3214 794 bekannt Bei diesem Meßsystem, das als Längen- oder Winkelmeßeinrichtung ausgebildet werden kann, ist ein abwechselnd magnetisch leitende und magnetisch nicht leitende Bereiche, die die ablesbaren Marken bestimmen, aufweisender Maßstab vorgesehen und die Abtasteinheit besitzt einen über ihre Länge durchgehenden Permanentmagneten, an dem als Signalerzeuger Hallsonden angebracht sind, die aus der Änderung des durchtretenden magnetischen Flusses elektrische Signale erzeugen. Dabei können diese Hallsonden in Form eines Arrays angebracht werden, dessen durch die aufeinanderfolgenden Hallsonden bestimmte Teilung z. B. ein Viertel einer vorzugsweise gleichmäßigen Teilung des Maßstabes, also der gleichen Länge magnetisch leitender und nicht leitender Bereiche dieses Maßstabes beträgt Durch Zusammenschaltung der aus den Hallsonden erhaltenen Signale und entsprechende Signalverarbeitung lassen sich bei der Relativverstellung der Abtasteinheit gegenüber dem Maßstab periodische, in Zählsignale verwandelbare Signale erzeugen, so daß dieses Meßsystem als Sonderfall eines Inkrementalmeßsystemes eingesetzt werden kann. Die Maßstabteilung wird hier in einfacher Weise dadurch erhalten, daß ein Körper aus magnetisch leitendem Material in der vorgesehenen Teilung Zähne und Zahnlücken, bei Linearmeßsystemen also die Form einer Zahnstange erhält, wobei die Zahnlücken mit Isoliermaterial ausgefüllt werden können, auf jeden Fall aber in den Hallsonden unterschiedliche Signale entstehen, wenn sich die Sonde über einem Zahn bzw. einer Zahnlücke befindet. Die durch die Zähne bzw. sonstigen magnetische leitenden Bereiche erzielten Meßmarken sind über die gesamte Maßstablänge untereinander ident.Such a measuring system is known from DE-OS 3214 794. In this measuring system, which can be designed as a length or angle measuring device, an alternating magnetically conductive and magnetically non-conductive areas, which determine the readable marks, are provided and have the scanning unit a permanent magnet over its length, on which Hall probes are attached as signal generators, which generate electrical signals from the change in the magnetic flux passing through. These Hall probes can be attached in the form of an array, the division determined by the successive Hall probes z. B. is a quarter of a preferably uniform division of the scale, i.e. the same length of magnetically conductive and non-conductive areas of this scale. By interconnecting the signals obtained from the Hall probes and corresponding signal processing, periodic, convertible into counting signals can be made when the scanning unit is adjusted relative to the scale Generate signals so that this measuring system can be used as a special case of an incremental measuring system. The scale division is obtained here in a simple manner in that a body made of magnetically conductive material is provided with teeth and tooth gaps in the intended pitch, i.e. in the case of linear measuring systems it takes the form of a rack, whereby the tooth gaps can be filled with insulating material, but in any case in the Hall probes Different signals are generated when the probe is over a tooth or a tooth gap. The measuring marks achieved by the teeth or other magnetic conductive areas are identical to one another over the entire scale length.

Bei den meisten anderen bekannten Meßsystemen wird entlang des Meßweges ein meist eine sehr feine Teilung aufweisender Maßstab vorgesehen, der über Abtasteinheiten nach verschiedenen Abtastprinzipien, z. B. nach optoelektronischen Abtastprinzipien abgetastet werden kann, wobei es bei Inkrementalmeßsystemen üblich ist, die Abtastung durch Abtastgitter vorzunehmen, die die gleiche Grundteilung wie der Maßstab aufweisen können, gegeneinander aber um Teilungsbruchteile versetzt sind, so daß an den zugeordneten Empfängern bei der Abtastung des Maßstabes phasenverschobene Signale entstehen, die zu inkrementalen Zählsignalen ausgewertet werden können, wobei wegen des Phasenversatzes eine Richtungseikennung möglich ist. Bei bekannten absoluten Meßsystemen besitzt ein vorgesehener Maßstab eine meist mehrspurige Absolutteilung, die nach verschiedenen Prinzipien codiert sein kann und die über den einzelnen Spuren zugeordnete Ableseeinrichtungen ablesbar ist. Schließlich gibt es auch Inkrementalmeßsysteme, bei denen ein oder mehrere Maßstabpunkte durch zugeordnete, in einer eigenen Maßstabspur angeordnete Referenzmarken zusätzlich identifizierbar sind. Bei Absolutmeßsystemen ist jede Stellung der Abtasteinheit durch eine bestimmte Signalverteilung an den Signalerzeugem identifizierbar. Wenn eine besonders feine Auflösung erwünscht ist, kann zusätzlich zu den Codespuren noch wenigstens eine weitere Spur mit Inkrementalteilung vorgesehen werden, die über einen eigenen Signalerzeuger abgetastet wird. Neben optoelektronischen Signalerzeugem sind bei den bekannten Meßsystemen auch Signalerzeuger einsetzbar, die nach induktiven, magnetischen oder kapazitiven Abtastprinzipien arbeiten und mit entsprechenden Maßstäben Zusammenwirken. Bei inkrementalen Meßsystemen ist es bekannt, durch Mehrfachauswertung der Meßsignale oder Interpolationsberechnung eine elektronische Unterteilung des Maßstabes vorzunehmen, also das Auflösungsvermögen zu erhöhen.In most other known measuring systems along the measuring path a mostly very fine graduation scale is provided, which can be scanned using scanning units according to different scanning principles, e.g. B. can be scanned according to optoelectronic scanning principles, it being customary in incremental measuring systems to carry out the scanning by scanning grids which can have the same basic division as the scale, but are offset from one another by divisional fractions, so that on the assigned receivers when scanning the scale phase-shifted signals are generated which can be evaluated to incremental count signals, a direction identification being possible because of the phase shift. In known absolute measuring systems, a scale provided has a mostly multi-track absolute division, which can be coded according to various principles and which can be read off from the reading devices assigned to the individual tracks. Finally, there are also incremental measuring systems in which one or more scale points can additionally be identified by assigned reference marks arranged in their own scale track. In absolute measuring systems, each position of the scanning unit can be identified by a specific signal distribution on the signal generators. If a particularly fine resolution is desired, in addition to the code tracks, at least one further track with incremental division can be provided, which is scanned by a separate signal generator. In addition to optoelectronic signal generators, the known measuring systems can also use signal generators which operate according to inductive, magnetic or capacitive scanning principles and which interact with corresponding standards. In incremental measuring systems, it is known to carry out an electronic subdivision of the scale by multiple evaluation of the measurement signals or interpolation calculation, that is to say to increase the resolving power.

Um bei einem mit Referenzmarken ausgestatteten Inkrementalmaßstab eine Auswahl jener Maßstabstellen, an denen ein Referenzsignal erzeugt werden soll, zu ermöglichen bzw. um eine Absolutposition der Abtasteinheit durch Anfahren nur einer von mehreren über die Maßstablänge verteilten Referenzmarken zu ermöglichen, ist es z. B. aus der EP-0 050195 bekannt, den Referenzmarken zusätzliche Identifizierungsmarken zuzuordnen, die in einem einfachen Codemuster geteilt sind, über gesonderte Abtasteinheiten abgetastet werden und im einfachsten Fall durch ihre Codierung die ihrer Referenzmarke zugeordnete Nummer angeben. Von einem durch Anfahren einer Referenzmarke erzeugbaren Meß-Nullpunkt an erfolgt die weitere Messung ausschließlich als Inkrementalmessung. Es sind unterschiedliche Sipalerzeuger und Abtasteinrichtungen für die Inkrementalspur, die Referenzmarkenspur und die Spur mit den den Referenzmarken zugeordneten Codemarken notwendig.In order to enable a selection of those scale positions at which an reference signal is to be generated, or to enable an absolute position of the scanning unit by approaching only one of a plurality of reference marks distributed over the scale length, in the case of an incremental scale equipped with reference marks, it is e.g. B. from EP-0 050195 known to assign the reference marks additional identification marks, which are divided into a simple code pattern, are scanned via separate scanning units and, in the simplest case, indicate the number assigned to their reference mark by their coding. From a measurement zero point that can be generated by approaching a reference mark, the further measurement takes place exclusively as an incremental measurement. Different sipal generators and scanning devices for the incremental track, the reference mark track and the track with the code marks assigned to the reference marks are necessary.

Aufgabe der Erfindung ist die Schaffung eines Meßsystems der eingangs genannten Art, das in jeder Lage der Abtasteinheit gegenüber dem Meßweg als Absolutmeßsystem arbeitet, dabei eine hohe Auflösung ermöglicht und mit einer einfachen Ausgestaltung des Meßweges das Auslangen findetThe object of the invention is to provide a measuring system of the type mentioned, which works in any position of the scanning unit relative to the measuring path as an absolute measuring system, thereby enabling high resolution and with a simple design of the measuring path it is sufficient

Die gestellte Aufgabe wird dadurch gelöst, daß die abtastbaren Marken, wie an sich bekannt, eine Codeteilung bzw. ein Codemuster aufweisen, daß die Grundteilung der Codeteilung bzw. des Codemusters jener Teilung entspricht, in der die Signalerzeuger in den in jeder Stellung wenigstens zwei dieser Marken erfassenden Arrays angeordnet sind, wobei die Auswerteeinheit zusätzlich zu einer das durch die jeweils abgetastete Marke bzw. die jeweils abgetasteten Marken gegebene codierte Signalmuster erfassenden und -2-The object is achieved in that the scannable marks, as is known per se, have a code division or a code pattern, that the basic division of the code division or code pattern corresponds to that division in which the signal generators in at least two of these in each position Arrays that detect marks are arranged, the evaluation unit in addition to a coded signal pattern that detects and encodes the coded signal pattern given by the respectively scanned mark or marks.

AT 397 431B auswertenden Lageerkennungsstufe für das Absolutmaß eine auf die jeweiligen Signalhöhen an den Signalerzeugem empfindliche Meß- oder Interpolationsstufe zur Bestimmung von die durch die Anordnung der Signalerzeuger gegebenen Grundmeßteilung unterteilenden Zwischenmeßwerten aufweist.AT 397 431B evaluating position detection stage for the absolute dimension has a measuring or interpolation stage sensitive to the respective signal heights on the signal generators for determining the intermediate measuring values dividing the basic measuring division given by the arrangement of the signal generators.

Auch bei der erfindungsgemäßen Ausführung werden gleichzeitig wenigstens je zwei Marken auf der S Meßstrecke abgetastet, doch wird durch die Codierung dieser Marken und die besondere Ausbildung des Meßsystems ein absolutes Meßsystem erhalten, bei dem das mit dem Array erfaßte Signalverteilungsmuster aus den Meßmarken und die Relativlage der Meßmarken gegenüber dem Anay die Absolutstellung der Abtasteinheit gegenüber dem Meßweg angeben. Dabei wird zusätzlich zu der möglichen Absolutmessung unter Einsatz der Codeteilung der Meßmarken eine Vergrößerung des Auflösungsvermögens durch Erfassung 10 der Absoluthöhe der an den einzelnen Signalerzeugem des Arrays auftretenden Signalzwischenwerte ermöglicht Signalzwischenwerte entstehen bei einem System mit optoelektronischer Abtastung als jene Werte, die zwischen den durch volle Beleuchtung bei absoluter Deckung eines Signalerzeugers mit einem lichtdurchlässigen Element gegebenen Signalstärken und jenen Signalstärken auftreten, die bei absoluter Abschattung eines Signalerzeugers vorhanden sind. Die Erfindung kann aber natürlich auch bei nach anderen 15 Abtastprinzipien arbeitenden Abtasteinheiten verwirklicht werden. Aus der Reihenfolge der Aktivierung der einzelnen Elemente des Arrays beim Überfahren der ablesbaren Marken ergibt sich die Verstellrichtnng. Bei hochgenauen Messungen kann man zur Berücksichtigung von Teilungsfehlern im Array, Teilungsfehlem im Abstand bzw. in den Codierungen der Marken und Abweichungen der Abtastrichtung von der gewünschten Meßrichtung Korrekturspeicher verwenden, wobei man z. B. jedem Signalerzeuger im Array und jeder Marke 20 einen Korrekturspeicherwert zuordnet und diese Werte bei der Endauswertung des Meßergebnisses berücksichtigt. Zwischenkorrekturwerte können interpoliert werden.Also in the embodiment according to the invention at least two marks are simultaneously scanned on the S measuring section, but the coding of these marks and the special design of the measuring system result in an absolute measuring system in which the signal distribution pattern from the measuring marks and the relative position of the measured with the array Measure marks relative to the Anay indicate the absolute position of the scanning unit in relation to the measuring path. In addition to the possible absolute measurement using the code division of the measuring marks, an increase in the resolving power is made possible by recording 10 the absolute level of the intermediate signal values occurring at the individual signal generators of the array. Intermediate signal values arise in a system with optoelectronic scanning as those values between the full illumination given absolute coverage of a signal generator with a translucent element given signal strengths and those signal strengths that are present with absolute shadowing of a signal generator. However, the invention can of course also be implemented with scanning units operating according to other 15 scanning principles. The adjustment direction results from the sequence in which the individual elements of the array are activated when the readable marks are passed over. In the case of highly accurate measurements, correction memories can be used to take into account division errors in the array, division errors in the distance or in the coding of the marks and deviations in the scanning direction from the desired measurement direction. B. assigns a correction memory value to each signal generator in the array and each mark 20 and takes these values into account in the final evaluation of the measurement result. Intermediate correction values can be interpolated.

In Weiterbildung sind, wie an sich bekannt, eine Codeteilung aufweisende, optisch abtastbare Marken vorgesehen und die Signalerzeuger sind als Array lichtempfindliche Elemente ausgebildet, die, abhängig vom Abdeckungsgrad durch helle bzw. dunkle Bereiche der Codeteilung, Signale unterschiedlicher Höhe erzeugen. 25 Arrays lichtempfindlicher Elemente, wie sie beispielsweise für die zeilenweise Ablesung von Bildschirmen verwendet werden, können mit ein»1 Teilung in der Größenordnung von Zehntelmillimeter angeordnet werden und sind trotzdem in der Lage, zehn oder mehr Grautonstufen zu erkennen, so daß bei jedem Einsatz beim erfindungsgemäßen Meßsystem aus den Signalen der Oberdeckungsgrad des Signalerzeugers mit einem aktivierenden bzw. inaktivierenden Abtastmarkenbereich feststellbar ist und zur elektronischen oder 30 rechnerischen Maßstabunterteilung herangezogen werden kann. Demgemäß weist dann die Auswerteeinheit des Meßsystems zusätzlich zu einer das durch die jeweils abgetastete Marke bzw. die jeweils abgetasteten Marken gegebene Signalmuster auscodierenden Lageerkennungsstufe eine auf die jeweiligen Signalhöhen empfindliche Meßstufe zur Bestimmung von den Maßstab unterteilenden Zwischenwerten auf.In a further development, as is known per se, optically scannable marks having code division are provided and the signal generators are designed as an array of light-sensitive elements which, depending on the degree of coverage by light or dark areas of the code division, generate signals of different heights. 25 arrays of light-sensitive elements, such as those used for the line-by-line reading of screens, can be arranged with a »1 division on the order of tenths of a millimeter and are still able to recognize ten or more levels of gray, so that each time they are used for Measuring system according to the invention can be determined from the signals, the degree of coverage of the signal generator with an activating or inactivating scanning mark area and can be used for electronic or arithmetic scale division. Accordingly, the evaluation unit of the measuring system then has, in addition to a position detection stage coding the signal pattern given by the respectively scanned mark or marks, a measuring stage sensitive to the respective signal heights for determining intermediate values dividing the scale.

Weitere Einzelheiten und Vorteile des Erfindungsgegenstandes entnimmt man der nachfolgenden 35 Zeichnungsbeschreibung.Further details and advantages of the subject matter of the invention can be found in the following description of the drawings.

In der Zeichnung ist der Erfindungsgegenstand beispielsweise veranschaulicht Es zeigt Fig. 1 ein erfindungsgemäßes Meßsystem in seiner prinzipiellen Anordnung im Blockschema und Fig. 2 ein Schema zur Erläuterung des Abtastprinzips.The subject matter of the invention is illustrated in the drawing, for example. FIG. 1 shows a measuring system according to the invention in its basic arrangement in the block diagram, and FIG. 2 shows a diagram for explaining the scanning principle.

In Fig. 1 wurde der Einfachheit halber ein linearer Meßweg (1), der beispielsweise ein Maschinenbett sein 40 kann oder der von einem Lineal gebildet wird, angenommen. Auf diesem Meßweg sind abtastbare Marken (2) bis (7) angeordnet, die beim Ausführungsbeispiel untereinander gleiche Längen aber verschiedene Codeteilungen aufweisen, also durch das in ihnen dargestellte Codewort den ihnen zugeordneten Abschnitt des Meßweges (1) identifizieren. Eine Abtasteinheit (8), die in bekannter Weise entlang des Meßweges (1) verstellbar geführt ist, besitzt eine Vielzahl von eine Abtastspur für die Marken (2) bis (7) bildenden 45 Signalerzeugem (9), die in Form eines einen Inkrementalmaßstab bildenden Arrays angeordnet sind. Handelt es sich um lichtempfindliche Signalerzeuger, dann kann ein Glaslineal (1) verwendet werden, und das Array aus den Signalerzeugem (9) wird mit Hilfe einer gemeinsam mit der Abtasteinheit (8) verstellbaren Beleuchtungseinrichtung durch das Lineal (1) bzw. die Marken (2) bis (7) hindurch mit parallem Licht (10) beleuchtet. 50 Alle beleuchteten Signalerzeuger werden aktiviert, geben also ein Signal ab. Entsprechend den codierten Marken (2) bis (7) (in Fig. 2 entsprechend den codierten Marken (2) und (3)) und dem jeweiligen Codemuster bleiben einige Signalerzeuger inaktiv. Durch das aufgenommene Signalverteilungsmuster wird die momentane Relativstellung der Abtasteinheit (8) gegenüber dem Lineal (1) festgelegt, d. h. definiert. Die von den Signalerzeugem (9) aufgenommenen Signale werden einer Lageerkennungsstufe in einer Auswerteeinheit (11) 55 zugeführt. Die Auswerteeinheit erhält auch Informationen über die Absolutgröße der jeweiligen Signale, also die Signalhöhen. Wird die Abtasteinheit (8) verstellt, so wandern die Muster der jeweiligen codierten Marken über die Länge der Abtasteinheit. Es ist also auch die Verstellrichtung der Abtasteinheit (8) gegenüber dem Lineal (1) definiert. In Zwischenstellungen, wenn also einige Signalerzeuger (9) nur teilweise von den Dunkelfeldem der Codemarken (2) usw. abgedeckt sind, bleibt das Codemuster trotzdem erkennbar. Die sich 60 ändernde Signalhöhe ist aber ein Maß für die Relativverstellung und kann in einer auf die Signalhöhe empfindliche Meßstufe der Auswerteeinheit im Sinne einer elektronischen Unterteilung des durch das Array gegebenen Maßstabes z. B. über einen Interpolationsrechner ausgewertet werden. Für einen bestimmten Punkt, -3-In Fig. 1, for the sake of simplicity, a linear measuring path (1), which can be, for example, a machine bed 40 or which is formed by a ruler, was assumed. On this measuring path, scannable marks (2) to (7) are arranged, which in the exemplary embodiment have the same lengths but different code divisions, that is to say identify the section of the measuring path (1) assigned to them by the code word shown in them. A scanning unit (8), which is adjustably guided along the measuring path (1) in a known manner, has a multiplicity of 45 signal generators (9) which form a scanning track for the marks (2) to (7) and which form an incremental scale Arrays are arranged. If light-sensitive signal generators are involved, a glass ruler (1) can be used, and the array of signal generators (9) can be adjusted using the ruler (1) or the marks (1) using a lighting device that can be adjusted together with the scanning unit (8). 2) to (7) illuminated with parallel light (10). 50 All illuminated signal generators are activated, ie emit a signal. According to the coded marks (2) to (7) (in Fig. 2 corresponding to the coded marks (2) and (3)) and the respective code pattern, some signal generators remain inactive. The current relative position of the scanning unit (8) relative to the ruler (1) is determined by the recorded signal distribution pattern, i. H. Are defined. The signals picked up by the signal generators (9) are fed to a position detection stage in an evaluation unit (11) 55. The evaluation unit also receives information about the absolute size of the respective signals, ie the signal heights. If the scanning unit (8) is adjusted, the patterns of the respective coded marks move over the length of the scanning unit. The direction of adjustment of the scanning unit (8) relative to the ruler (1) is also defined. In intermediate positions, ie when some signal generators (9) are only partially covered by the dark fields of the code marks (2) etc., the code pattern still remains recognizable. The 60 changing signal level is, however, a measure of the relative adjustment and can be in a measuring stage of the evaluation unit which is sensitive to the signal level in the sense of an electronic subdivision of the scale given by the array, for. B. can be evaluated via an interpolation computer. For a certain point, -3-

Claims (2)

AT 397 431B den Meßpunkt, der Abtasteinheit (8) kann aus der Richtungserkennung, der Lageeikennung und der Zwischenwertberechnung die exakte Absolutlage zum Meßweg (1) bestimmt werden. Diese Lageinformation enthaltenden Signale werden von der Auswerteeinheit (11) einer Anzeigeeinheit (12) zugeführt, können aber auch als Steuersignale bei einer Bahnsteuerung einer mit dem Meßsystem ausgestatteten Werkzeugmaschine oder bei einem Industrieroboter verwendet werden. Mit dem dargestellten Meßsystem ist ein absolutes Meßsystem vorhanden, obwohl nur eine Abtastspur benötigt wird.· Man kann auch zwei oder mehrere Arrays nebeneinander anordnen und ihnen verschiedene Abtastmarken zuordnen, um die Codierungsmöglichkeiten zu vergrößern. Eine andere Möglichkeit besteht darin, entlang des Meßweges einen normalen Inkrementalmaßstab anzuordnen, diesen mit einer üblichen Abtasteinheit abzutasten und das erfindungsgemäße Meßsystem dabei als gröber auflösendes Absolutsystem zu verwenden. PATENTANSPRÜCHE 1. Meßsystem mit entlang eines Meßweges mit Abständen voneinander angeordneten ablesbaren Marken und einer in jeder möglichen Stellung wenigstens zwei dieser Marken erfassenden Abtasteinheit mit einer Vielzahl von in Form eines wenigstens eine Abtastspur mit einer Meßteilung bestimmenden Arrays angeordneten Signalerzeugem oder mit Signalerzeugem verbundenen Abtastfühlem zur Erzeugung von die jeweilige Stellung und/oder eine Relativverstellung der Abtasteinheit gegenüber dem Meßweg charakterisierenden elektrischen Meßsignalen, die, gegebenenfalls über eine Umformungs- oder Verarbeitungsstufe, einer Auswerteeinheit bzw. einer Anzeige- oder Steuereinheit zuführbar sind, dadurch gekennzeichnet, daß die abtastbaren Marken (2 bis 7), wie an sich bekannt, eine Codeteilung bzw. ein Codemuster aufweisen; daß die Grundteilung der Codeteilung bzw. des Codemusters jener Teilung entspricht, in der die Signalerzeuger (9) in dem in jeder Stellung wenigstens zwei dieser Marken erfassenden Array angeordnet sind, wobei die Auswerteeinheit (11) zusätzlich zu einer das durch die jeweils abgetastete Marke bzw. die jeweils abgetasteten Marken gegebene codierte Signalmuster erfassenden und auswertenden Lageerkennungsstufe für das Absolutmaß eine auf die jeweiligen Signalhöhen an den Signalerzeugem empfindliche Meß- oder Interpolationsstufe zur Bestimmung von die durch die Anordnung der Signalerzeuger (9) gegebene Grundmeßteilung unterteilenden Zwischenmeßwerten aufweist.AT 397 431B the measuring point, the scanning unit (8), the exact absolute position of the measuring path (1) can be determined from the direction detection, the position detection and the intermediate value calculation. These signals containing position information are fed from the evaluation unit (11) to a display unit (12), but can also be used as control signals in a path control of a machine tool equipped with the measuring system or in an industrial robot. With the measuring system shown there is an absolute measuring system, although only one scanning track is required. You can also arrange two or more arrays next to each other and assign different scanning marks to them in order to increase the coding possibilities. Another possibility is to arrange a normal incremental scale along the measuring path, to scan it with a conventional scanning unit and to use the measuring system according to the invention as a coarser resolving absolute system. 1. A measuring system with readable marks along a measuring path with spacing from each other and a scanning unit that detects at least two of these marks in every possible position with a plurality of signal generators arranged in the form of an array that determines at least one scanning track with a measuring graduation or scanning sensors connected to signal generators for generation of the respective position and / or a relative adjustment of the scanning unit with respect to the measuring path characterizing electrical measuring signals, which can be fed to an evaluation unit or a display or control unit, possibly via a forming or processing stage, characterized in that the scannable marks (2 to 7), as is known per se, have a code division or a code pattern; that the basic division of the code division or the code pattern corresponds to the division in which the signal generators (9) are arranged in the array which detects at least two of these marks in each position, the evaluation unit (11) in addition to the one scanned by the respectively scanned mark or The position detection stage for the absolute dimension, which detects and evaluates the coded signal pattern in each case, has a measuring or interpolation stage which is sensitive to the respective signal levels at the signal generators for determining the intermediate measurement values which divide the basic measurement division given by the arrangement of the signal generators (9). 2. Meßsystem nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß, wie an sich bekannt, eine Codeteilung aufweisende, optisch abtastbare Marken (2 bis 7) vorgesehen sind und daß die Signalerzeuger (9) als Array lichtempfindlicher Elemente ausgebildet sind, die abhängig vom Abdeckungsgrad durch helle bzw. dunkle Bereiche der Codeteilung Signale unterschiedlicher Höhe erzeugen. Hiezu 1 Blatt Zeichnung -4-2. Measuring system according to claim 1, characterized in that, as is known per se, a code division, optically scannable marks (2 to 7) are provided and that the signal generator (9) are designed as an array of photosensitive elements which depend on the degree of coverage by light or dark areas of the code division generate signals of different heights. Add 1 sheet of drawing -4-