AT222385B - Verfahren zum Schichtabbau fester Stoffe - Google Patents

Verfahren zum Schichtabbau fester Stoffe

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Fritz Dr Grasenick
Erich Ing Jakopic
Otto Dr Reiter
Rudolf Ing Ziegelbecker
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Fritz Dr Grasenick
Erich Ing Jakopic
Otto Dr Reiter
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    • H01J37/32009—Arrangements for generation of plasma specially adapted for examination or treatment of objects, e.g. plasma sources
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