WO2012036008A1 - レーザ加工装置、及び、レーザ加工装置の制御方法 - Google Patents

レーザ加工装置、及び、レーザ加工装置の制御方法 Download PDF

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laser oscillator
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明彦 杉山
佳尚 宮本
森　隆弘
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株式会社 アマダ
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    • H01S3/223—Gases the active gas being polyatomic, i.e. containing two or more atoms
    • H01S3/2232—Carbon dioxide (CO2) or monoxide [CO]

Definitions

  • the present invention relates to a laser processing machine that can reduce energy consumption in a standby state, and a control method thereof.
  • the seeding discharge [priming discharge] (base discharge) is continuously performed in the laser oscillator, and the pressure of the laser gas is changed by the gas blower [gas blower] Is maintained at the same high pressure condition.
  • the temperature regulator [temperature regulator] for cooling the laser oscillator [laser oscillator] is also operated in the same manner as during processing.
  • wasteful energy is consumed such that the base discharge is continued even during the standby time, and improvement is desired.
  • an object of the present invention is to provide a laser processing apparatus capable of suppressing wasteful energy consumption during a standby time and a control method thereof.
  • a first feature of the present invention is a laser processing apparatus, comprising: a laser oscillator; a cooler that cools the laser oscillator; and a control unit that controls the laser oscillator and the cooler;
  • the unit provides a laser processing apparatus having a control unit that stops the base discharge of the laser oscillator after a lapse of a specified time from the stop of laser beam emission by the laser oscillator.
  • a method for controlling a laser processing apparatus including a laser oscillator, wherein a base discharge of the laser oscillator is stopped after a first specified time has elapsed since the laser oscillator stopped emitting laser light.
  • the base discharge of the laser oscillator is stopped after the lapse of the specified time (first specified time) from the stop of the emission of the laser beam, wasted energy during standby of the laser processing apparatus. (Power) consumption can be suppressed.
  • FIG. 2A is a diagram corresponding to FIG. 2 in a standby state in a normal mode
  • FIG. 2B is a diagram corresponding to FIG. 2 in an energy saving mode.
  • A) is a graph which shows the output change of the laser oscillator in a normal mode
  • (b) is a graph which shows the temperature change of the cooling water in a normal mode.
  • (A) is a graph which shows the temperature setting area
  • (b) shows the temperature change of the cooling water in a normal standby state or energy saving mode B. It is a graph. It is a flowchart which shows energy saving mode start operation
  • the laser processing apparatus includes a processing machine body [machine main frame] 1, an assist gas supply machine [assist-gas supplier] 5, a temperature controller 9, and an NC (Numerical Control) device 11. And.
  • the assist gas supply unit 5 supplies assist gas (laser gas) such as nitrogen, oxygen, and air to the processing head 3 of the processing machine body 1.
  • the temperature controller 9 cools the laser oscillator 7 of the processing machine body 1.
  • the NC device 11 controls the laser oscillator 7 and the temperature controller 9.
  • the temperature controller 9 functions as a cooler, and the NC device 11 also functions as a control unit [control unit].
  • a carbon dioxide gas laser is used, but other types of lasers may be used.
  • the processing machine main body 1 includes an X-axis carriage 15 and a Y-axis carriage 17.
  • the X-axis carriage 15 moves along the X-axis guide 13 with respect to the processing table.
  • the Y-axis carriage 17 moves along the Y-axis direction on the X-axis carriage 15. Further, the processing head 3 described above is attached to the Y-axis carriage 17. The processing head 3 moves in the Z-axis direction on the Y-axis carriage 17.
  • the laser light emitted from the laser oscillator 7 is conveyed to the machining head 3 through the X-axis guide 13, the X-axis carriage 15, and the Y-axis carriage 17, for example, by an optical fiber 18.
  • the assist gas (laser gas) from the assist gas supply device 5 passes through the X axis guide 13, the X axis carriage 15, and the Y axis carriage 17 by a gas pipe [gas pipes] 19 and a switching valve [switching valve] 20. Carried to 3.
  • the assist gas any one of oxygen, nitrogen, and air is selectively supplied to the processing head 3 according to the processing content.
  • the temperature controller 9 circulates cooling water [coolant] as a temperature-controlling medium [thermo-regulating medium] (cooling medium) to the laser oscillator 7 through a cooling water pipe [coolant pipe] 21.
  • the temperature controller 9 has a compressor (not shown), and the temperature of the compressor is controlled during temperature adjustment control for lowering the cooling water temperature.
  • the NC device 11 outputs an activation / stop command [activation / stop command] or the like to the laser oscillator 7.
  • the NC device 11 outputs to the temperature controller 9 an operating state of the laser oscillator 7, that is, an ON / OFF signal indicating start / stop of the laser oscillator 7.
  • the laser oscillator 7 outputs a status signal [status signal] indicating that the laser oscillator 7 is being started / stopped to the NC apparatus 11.
  • the temperature controller 9 also outputs an information signal [information signal] indicating that it is being activated and water temperature information to the NC device 11.
  • the control unit [controller] of the NC device 11 outputs a signal for suppressing wasteful energy consumption during a time (standby time) when laser processing is not actually performed, such as during work breaks or during work preparation. Output to the temperature controller 9.
  • the operation mode when a signal for suppressing unnecessary energy consumption is output is referred to as an energy saving mode [energy-saving mode].
  • two stages of energy saving modes A and B can be set.
  • FIG. 3A shows a standby state in the normal mode that is not the energy saving mode, and the cooling water is constantly circulated between the laser oscillator 7 and the temperature controller 9 as in the processing.
  • the cooling water is used for cooling the laser power source, the internal mirror of the oscillator, and the laser gas.
  • the NC device 11 outputs a stop command for stopping the emission of the laser light to the laser oscillator 7 and receives a status signal indicating that the oscillation is waiting from the laser oscillator 7.
  • the NC device 11 outputs an ON signal indicating that the laser oscillator 7 is being activated to the temperature controller 9, and outputs an activation signal indicating that the temperature controller 9 is being activated. Receive from.
  • FIG. 4A shows the oscillator output of the laser oscillator 7 in the standby state in the normal mode
  • FIG. 4B shows the cooling water temperature of the temperature controller 9 in the standby state in the normal mode.
  • the temperature controller 9 sets the temperature of the cooling water regardless of the oscillation state (laser light emission state) of the laser oscillator 7 and the standby state (base discharge state at a low discharge voltage).
  • the temperature is controlled within a range of ⁇ 2 ° C. (for example, 25 ° C.). This indicates that the temperature of the cooling water is maintained substantially constant (set temperature ⁇ 2 ° C.) by the constant circulation of the cooling water.
  • FIG. 3B shows a state in the energy saving mode A in contrast to the standby state in the normal mode shown in FIG.
  • the NC device 11 outputs an energy saving mode A command / signal to the laser oscillator 7 and the temperature controller 9.
  • the laser oscillator 7 stops the base discharge and lowers the supply pressure of the laser gas, and transmits this state signal to the NC device 11.
  • the temperature controller 9 transmits an information signal related to the cooling water temperature to the NC device 11.
  • the temperature controller 9 is controlled by a wide-range control in which the control temperature range is expanded.
  • the upper limit temperature T is set in addition to the set temperature described above, and the control temperature range is wider than the control temperature range in the standby state in the normal mode (see FIG. 4B: set temperature ⁇ 2 ° C.).
  • “ON” and “OFF” in FIG. 5A indicate the temperature control state of the temperature controller 9 (the temperature control drive state of the compressor), and “ON” and “OFF” are alternately displayed. It has been repeated.
  • the laser oscillator 7 is not performing base discharge. For this reason, power consumption is reduced. Further, the temperature rise of the cooling water becomes moderate as compared with the standby state in the normal mode. When the cooling water temperature reaches the upper limit temperature T (or exceeds the upper limit temperature T), the compressor that has been stopped until then is temperature-controlled (from “OFF” to “ON”). Since the operation / stop frequency of the temperature control drive of the compressor can be reduced by the above-described wide area control, the power consumption can be reduced.
  • the cooling water temperature rises due to the wide area control or the setting upper limit water temperature, but the heat generation of the laser oscillator 7 is reduced. For this reason, the laser oscillator 7 is maintained in a temperature range in which the laser oscillator 7 can be promptly shifted to the processing operation performed by emitting the laser light by the balance (cancellation).
  • the base discharge of the laser oscillator 7 is stopped as in the energy saving mode A, but the supply pressure of the laser gas is maintained high as in the standby state in the normal mode.
  • the cooling water temperature is controlled to a substantially constant temperature (set temperature ⁇ 2 ° C.) by the temperature controller 9 as in the standby state in the normal mode.
  • shaft and the horizontal axis are made into the same reduced scale for the comparison with the graph of the energy saving mode B of FIG.5 (b), and the graph of the energy saving mode A of FIG.5 (a) mentioned above.
  • the power consumption and consumption in [Table 1] are shown as relative values with the standby state in the normal mode as the reference value “100”.
  • the power consumption of the laser oscillator 7 in the energy saving mode B is “62”, which is 38% lower than the standby state in the normal mode.
  • the power consumption of the laser oscillator 7 in the energy saving mode A is reduced to “29” by 71% due to the lower power consumption of the blower due to the pressure reduction of the laser gas.
  • the power consumption of the temperature controller 9 is “55” in the energy saving mode A in which the cooling water temperature is controlled over a wide area, and is reduced by 45%.
  • the laser gas consumption is “88” in the energy saving mode A due to the reduction of the gas pressure, and is reduced by 12%.
  • the laser gas consumption increases when the laser oscillator 7 is started (power on) and stopped (power off), so the energy saving mode is effective in reducing the gas consumption.
  • the laser oscillator 7 is stopped, a fresh gas is re-supplied after the gas is once extracted from the gas pipe, so that a particularly large amount of gas is required.
  • energy saving mode B is the transition time from normal mode (standby state) to energy saving mode B, and the return time from energy saving mode B to normal mode (standby state).
  • 20/40 seconds of the energy saving mode A are a transition time from the normal mode (standby state) to the energy saving mode A and a return time from the energy saving mode A to the normal mode (standby state).
  • the cooling water heating is a function for heating the cooling water to keep the temperature constant in order to prevent the cooling water temperature from being excessively lowered. In the energy saving mode, cooling water heating is not performed.
  • Such an operation in the energy saving mode includes a case where the timer 11a built in the NC device 11 is used and a case where the switch 11b provided in the NC device 11 is used.
  • the switch 11b By using the switch 11b, the user can arbitrarily start the energy saving mode.
  • the energy saving mode can be started before the energy saving mode is started by the timer 11a.
  • the base discharge laser oscillator 7 is conducted (ON) state (standby state in the normal mode) (step 601), and the start time T B of the start time T A and the energy-saving mode B of the energy-saving mode A is compared (Step 603).
  • the start-up time can be arbitrarily set as the time from the standby state in the normal mode in which the emission of the laser light is stopped until the transition to the energy saving mode is started, and is shown in [Table 1].
  • the transition time time required for transition
  • the energy-saving mode A or B can be activated preferentially by using a timer 11a.
  • the mode shifts to the energy saving mode B, and further shifts to the energy saving mode A when the time (T A ⁇ T B ) elapses (T A > T and B), in the case where the another startup time T a in a standby state in the normal mode shifts to the energy-saving mode a after the lapse (T a ⁇ T B) and can be set.
  • a start time T B is the prescribed time [specified time] (first predetermined time).
  • step 609 whether starting time T A has passed is determined (step 609), if the start time T A has passed, the process proceeds to the energy-saving mode A (step 611). That is, the pressure of the laser gas is lowered to reduce the supply amount of the laser gas, and the temperature setting range of the cooling water is expanded to perform wide area control. In this case, the time (T A -T B ) is the second specified time.
  • step 603 determines whether or not start time T A has passed.
  • step 609 determines whether or not start time T A has passed.
  • the process proceeds to the energy-saving mode A (step 611).
  • a starting time T A is the specified time (first predetermined time).
  • step 701 it is determined whether or not a resume button (provided in the NC device 11: not shown) has been pressed (step 703).
  • the resume button is pressed, the laser gas pressure is set to the normal pressure, and the energy saving mode A is shifted to the energy saving mode B (step 705).
  • step 801 In the state where the base discharge of the laser oscillator 7 is being performed (ON) (standby state in the normal mode) (step 801), it is determined whether the position of the switch 11b is ON or OFF (step 803). When the switch 11b is ON, the mode shifts to the energy saving mode B (step 805), and further shifts to the energy saving mode A after a predetermined time [preset time] has elapsed (step 807).
  • step 901 it is determined whether the position of the switch 11b is ON or OFF (step 903).
  • the switch 11b is OFF (when it is turned OFF)
  • the laser gas pressure is set to the normal pressure
  • the energy saving mode A is shifted to the energy saving mode B (step 905).
  • the base discharge is started (ON) after the above-described return time (see [Table 1]: 5 seconds in this case) (step 907), and the normal mode standby state is restored.
  • the laser gas pressure is set to the normal pressure. Via mode B. Accordingly, the gas pressure necessary for base discharge in the standby state in the normal mode can be obtained with certainty, so that the return to the standby state in the normal mode can be performed smoothly.
  • the standby state in the normal mode may be restored directly from the energy saving mode A without going through the energy saving mode B.
  • the pressure of the laser gas supplied to the laser oscillator 7 is lowered after a lapse of a specified time from the stop of the laser beam emission, and the supply amount of the laser gas is reduced. Therefore, the overall power consumption can be further reduced by reducing the power consumption of the blower that supplies the laser gas, and the wasteful consumption of the laser gas can also be reduced.
  • the temperature setting range of the temperature controller 9 is expanded after a lapse of a specified time from the stop of laser beam emission. Therefore, the power consumption of the temperature controller 9 is reduced.
  • the cooling water temperature rises by expanding the temperature setting range, the heat generation of the laser oscillator 7 is reduced. For this reason, the laser oscillator 7 is maintained in a temperature range in which the laser oscillator 7 can be promptly shifted to the processing operation performed by emitting the laser light by the balance (cancellation).
  • the energy saving mode can also be activated by using the switch 11b provided in the NC device 11 after stopping the emission of the laser beam. Therefore, it is possible to shift to the energy saving mode at any time by operating the switch 11b, and convenience is improved.
  • the above-described energy saving mode A can suppress the laser gas consumption in the standby time within 12 hours from the viewpoint of the laser gas consumption. .
  • energy saving of the laser oscillator 7 is realized by stopping the base discharge of the laser oscillator 7 and lowering the laser gas pressure in the standby state. At this time, since the amount of generated heat is suppressed by energy saving of the laser oscillator 7, energy saving of the temperature controller 9 can also be achieved.
  • the internal temperature of the laser oscillator 7 can be maintained at a temperature at which it can be promptly restored while reducing power consumption.
  • the standby mode in the normal mode is shifted to the energy saving mode.
  • the “laser beam emission stop” state in this case includes not only the above-mentioned state at the time of work break or work preparation, but also the state after completion of the machining process or the machining interruption state that occurs during the machining of the workpiece. It is.

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Abstract

　レーザ加工装置は、レーザ発振器と、前記レーザ発振器を冷却する冷却器と、前記レーザ発振器及び前記冷却器を制御する制御ユニットとを備えている。前記制御ユニットは、前記レーザ発振器によるレーザ光の出射停止から規定時間の経過後に前記レーザ発振器のベース放電を停止する制御部を有している。上記レーザ加工装置によれば、レーザ光の出射停止から規定時間経過後にレーザ発振器のベース放電が停止されるので、レーザ加工装置の待機中の無駄なエネルギ（電力）消費を抑制できる。

Description

レーザ加工装置、及び、レーザ加工装置の制御方法
　本発明は、待機状態でのエネルギ消費を低減できるレーザ加工装置[laser machine]と、その制御方法とに関する。
　従来のレーザ加工装置では、そのレーザ発振器の起動及び停止に比較的長い時間を要する。このため、作業休憩時や作業準備時など実際に加工作業を行っていない時間（待機時間）であっても、レーザ加工装置は、ほとんどの場合、レーザ発振が即時可能な状態で待機している（例えば、下記特許文献１及び２）。
日本国特開平４－２５９２７７号公報 日本国特開２０００－２７１７６７号公報
　従って、待機時間であっても、レーザ発振器での種火放電[priming discharge]（ベース放電[base discharge]）が継続して行われ、かつ、ガス送風機[gas blower]によってレーザガスの圧力が加工時と同等の高圧状態に維持されている。また、待機時間であっても、レーザ発振器[laser oscillator]を冷却するための温調器[temperature regulator]も、加工時と同様に作動されている。
　上述したように、従来のレーザ加工装置では、待機時間中でもベース放電が継続されるなど、無駄なエネルギが消費されており、改善が望まれている。
　そこで、本発明の目的は、待機時間中の無駄なエネルギ消費を抑えることのできるレーザ加工装置と、その制御方法とを提供することにある。
　本発明の第１の特徴は、レーザ加工装置であって、レーザ発振器と、前記レーザ発振器を冷却する冷却器と、前記レーザ発振器及び前記冷却器を制御する制御ユニットとを備えており、前記制御ユニットは、前記レーザ発振器によるレーザ光の出射停止から規定時間の経過後に前記レーザ発振器のベース放電を停止する制御部を有している、レーザ加工装置を提供する。
　本発明の第２の特徴は、レーザ発振器を備えたレーザ加工装置の制御方法であって、前記レーザ発振器によるレーザ光の出射停止から第１規定時間経過後に、前記レーザ発振器のベース放電を停止する、レーザ加工装置の制御方法を提供する。
　上記第１及び第２の特徴によれば、レーザ光の出射停止から規定時間（第１規定時間）経過後に、レーザ発振器のベース放電が停止されるので、レーザ加工装置の待機中の無駄なエネルギ（電力）消費を抑制できる。
レーザ加工装置の一実施形態の全体構成図である。 上記レーザ加工装置におけるレーザ発振器と温調器とＮＣ装置[NC machine]との相互関係を示す構成図である。 （ａ）は通常モードでの待機状態での図２対応図であり、（ｂ）は省エネモードでの図２対応図である。 （ａ）は通常モードでのレーザ発振器の出力変化を示すグラフであり、（ｂ）は通常モードでの冷却水の温度変化を示すグラフである。 （ａ）は省エネモードＡでの温調器の温度設定領域と冷却水の温度変化とを示すグラフであり、（ｂ）は通常の待機状態又は省エネモードＢでの冷却水の温度変化を示すグラフである。 タイマ使用時の省エネモード開始動作を示すフローチャートである。 タイマ使用時の省エネモード終了動作を示すフローチャートである。 スイッチ使用時の省エネモード開始動作を示すフローチャートである。 スイッチ使用時の省エネモード終了動作を示すフローチャートである。
　以下、レーザ加工装置（及びその制御方法）の一実施形態を図面を参照しつつ説明する。
　図１に示されるように、レーザ加工装置は、加工機本体[machine main frame]１と、アシストガス供給機[assist-gas supplier]５と、温調器９と、ＮＣ(Numerical Control)装置１１と、を備えている。アシストガス供給機５は、加工機本体１の加工ヘッド[work head]３に窒素や酸素、空気などのアシストガス（レーザガス）を供給する。温調器９は、加工機本体１のレーザ発振器７を冷却する。ＮＣ装置１１は、レーザ発振器７及び温調器９を制御する。なお、温調器９は冷却器[cooler]として機能し、ＮＣ装置１１は制御ユニット[control unit]としても機能する。また、本実施形態のレーザ加工機では、炭酸ガスレーザが用いられるが、他の種類のレーザが用いられても良い。
　加工機本体１は、Ｘ軸キャリッジ１５、及び、Ｙ軸キャリッジ１７を備えている。Ｘ軸キャリッジ１５は、加工テーブルに対して、Ｘ軸ガイド１３に沿って移動する。Ｙ軸キャリッジ１７は、Ｘ軸キャリッジ１５上で、Ｙ軸方向に沿って移動する。また、Ｙ軸キャリッジ１７には、上述した加工ヘッド３が取り付けられている。加工ヘッド３は、Ｙ軸キャリッジ１７上で、Ｚ軸方向に移動する。
　レーザ発振器７から出射されるレーザ光は、例えば、光ファイバ１８によって、Ｘ軸ガイド１３、Ｘ軸キャリッジ１５及びＹ軸キャリッジ１７を通って加工ヘッド３まで運ばれる。アシストガス供給機５からのアシストガス（レーザガス）は、ガス配管[gas pipes]１９や切替弁[switching valve]２０によって、Ｘ軸ガイド１３、Ｘ軸キャリッジ１５及びＹ軸キャリッジ１７を通って加工ヘッド３まで運ばれる。アシストガス（レーザガス）として、酸素、窒素、空気のいずれかが加工内容に応じて選択的に加工ヘッド３に供給される。
　温調器９は、温調媒体[thermo-regulating medium]（冷却媒体[cooling medium]）としての冷却水[coolant]を、冷却水配管[coolant pipe]２１によってレーザ発振器７に循環させる。温調器９は、コンプレッサ（図示せず）を有しており、冷却水温度を下げる温調制御時にはコンプレッサが温調駆動される。
　ＮＣ装置１１は、起動／停止指令[activation/stop command]等をレーザ発振器７に出力する。また、ＮＣ装置１１は、レーザ発振器７の作動状態、すなわち、レーザ発振器７の起動／停止を示すＯＮ／ＯＦＦ信号等を温調器９に出力する。また、レーザ発振器７は、それ自身が起動／停止中であること等を示す状態信号[status signal]をＮＣ装置１１に出力する。さらに、温調器９も、それ自身が起動中であることや水温情報等を示す情報信号[information signal]をＮＣ装置１１に出力する。
　ＮＣ装置１１の制御部[controller]は、作業休憩時や作業準備時など実際にレーザ加工が行われていない時間（待機時間）に、無駄なエネルギ消費を抑えるための信号を、レーザ発振器７及び温調器９に出力する。以降、この無駄なエネルギ消費を抑えるための信号が出力されたときの運転モードを、省エネモード[energy-saving mode]と呼ぶ。本実施形態では、２段階の省エネモードＡ及びＢが設定され得る。
　図３（ａ）は省エネモードではない通常モードでの待機状態を示しており、加工時と同様に、冷却水がレーザ発振器７と温調器９との間で常時循環されている。なお、ここでは、冷却水は、レーザ電源や、発振器の内部ミラー、レーザガスの冷却に使用される。ＮＣ装置１１は、レーザ光の出射を停止させる停止指令をレーザ発振器７に出力すると共に、発振待機中を示す状態信号をレーザ発振器７から受ける。
　通常モードでの待機状態では、レーザ光を出射する加工可能状態よりも放電電圧の低い、レーザ光を出射させないベース放電が行われる。また、送風機（図示せず）は、加工可能状態と同様に、高圧でレーザガスを常時送風している。
　このとき、ＮＣ装置１１は、レーザ発振器７が起動中であることを示すＯＮ信号を温調器９に出力すると共に、温調器９が起動中であることを示す起動信号を温調器９から受ける。
　図４（ａ）は、通常モードでの待機状態でのレーザ発振器７の発振器出力を示しており、図４（ｂ）は、通常モードでの待機状態での温調器９の冷却水温を示している。これらのグラフによれば、温調器９は、レーザ発振器７の発振状態（レーザ光出射状態）と待機状態（低放電電圧でのベース放電状態）とに拘わらず、冷却水の温度は、設定温度（例えば、２５℃）の±２℃の範囲内に制御されている。これは、冷却水の常時循環によって冷却水の温度がほぼ一定（設定温度±２℃）に維持されていることを示している。
　上述した図３（ａ）に示された通常モードでの待機状態に対して、図３（ｂ）は省エネモードＡでの状態を示している。ＮＣ装置１１は、省エネモードＡの指令／信号をレーザ発振器７及び温調器９に出力する。このとき、レーザ発振器７は、ベース放電を停止すると共にレーザガスの供給圧力を低下させており、この状態信号をＮＣ装置１１に送信する。また、温調器９は、冷却水温に関する情報信号をＮＣ装置１１に送信する。
　このとき、図５（ａ）に示されるように、省エネモードＡでは、温調器９は、制御温度範囲が拡大された広域制御[wide-range control]によって制御されている。広域制御では、上述した設定温度に加えて上限温度Ｔが設定されており、通常モードでの待機状態の制御温度範囲（図４（ｂ）参照：設定温度±２℃）よりも広い制御温度範囲（設定温度－２℃～上限温度Ｔ：例えば、Ｔ＝＋５℃）で温度制御が行われる。なお、図５（ａ）中の「ＯＮ」及び「ＯＦＦ」は、温調器９の温調制御状態（コンプレッサの温調駆動状態）を示しており、「ＯＮ」及び「ＯＦＦ」が交互に繰り返されている。
　このとき、レーザ発振器７はベース放電を行っていない。このため、電力消費量が低減される。また、冷却水の温度上昇は、通常モードでの待機状態に比較して緩やかとなる。そして、冷却水温が上限温度Ｔに達した（あるいは、上限温度Ｔを超えた）ときに、それまで停止されていたコンプレッサが温調駆動される（「ＯＦＦ」から「ＯＮ」）。上述した広域制御によってコンプレッサの温調駆動の作動／停止頻度を減少させることができるので、電力消費量が低減され得る。
　省エネモードＡでは、広域制御や設定上限水温の設定によって冷却水温が上昇するが、レーザ発振器７の発熱は減少している。このため、これらのバランス（相殺）によって、レーザ発振器７は、レーザ光を出射させて行う加工作業への速やかな移行が可能な温度域に維持される。
　一方、省エネモードＢは、省エネモードＡと同様にレーザ発振器７のベース放電は停止されるが、レーザガスの供給圧力は通常モードでの待機状態と同様に高く維持される。また、冷却水温度は、図５（ｂ）に示されるように、通常モードでの待機状態と同様に温調器９によってほぼ一定の温度（設定温度±２℃）に制御される。なお、図５（ｂ）の省エネモードＢのグラフと、上述した図５（ａ）の省エネモードＡのグラフとは、比較のために縦軸及び横軸は同一縮尺とされている。（ただし、同様の一定温度（設定温度±２℃）制御であっても、図４（ｂ）の通常モードでの待機状態のグラフと、図５（ｂ）の省エネモードＢのグラフとは、縦軸及び横軸の縮尺は同一ではない。）図５（ａ）と図５（ｂ）との比較から、省エネモードＡの方がコンプレッサの温調駆動の作動／停止頻度が少ないことが分かる。
　上述した通常モード（待機状態）、省エネモードＡ及びＢの比較を下記［表１］に示す。
Figure JPOXMLDOC01-appb-T000001
　［表１］中の消費電力及び消費量については、通常モードでの待機状態を基準値「１００」として、相対値で示されている。省エネモードＢでのレーザ発振器７の消費電力は、「６２」であり、通常モードでの待機状態に比べて３８％低減される。省エネモードＡでのレーザ発振器７の消費電力は、レーザガスの圧力低減による送風機の電力消費低減によって、さらに低い「２９」となり、７１％低減される。
　一方、温調器９の消費電力は、冷却水温の広域制御が行われる省エネモードＡでは「５５」であり、４５％低減される。また、レーザガス消費量は、省エネモードＡではガス圧の低減によって「８８」であり、１２％低減される。［表１］に示されるように、レーザガス消費量は、レーザ発振器７の起動時（電源オン）と停止時（電源オフ）に多くなるので、省エネモードはガス消費量低減に有効である。なお、レーザ発振器７の停止時には、ガス配管から一旦ガスを抜いた後、新鮮なガスを再供給するので、特に多量のガスが必要となる。
　移行／復帰時間について説明する。起動時の１１分３０秒は、レーザ発振器７の起動（電源オン）から加工可能な状態となるまでの時間である。停止時の４分は、レーザ発振器７の停止（電源オフ）開始から上述したガス入れ替えなどの後、レーザ発振器７が完全に停止する（再起動可能状態）までの時間である。
　また、省エネモードＢの０．５／５秒は、通常モード（待機状態）から省エネモードＢへの移行時間と、省エネモードＢから通常モード（待機状態）への復帰時間である。同様に、省エネモードＡの２０／４０秒は、通常モード（待機状態）から省エネモードＡへの移行時間と、省エネモードＡから通常モード（待機状態）への復帰時間である。
　なお、冷却水加熱とは、冷却水温の下がり過ぎを防ぐために、冷却水を加熱して温度を一定に保つ機能である。省エネモードでは、冷却水加熱は行われない。
　このような省エネモードの運転は、ＮＣ装置１１に内蔵されたタイマ１１ａが使用される場合と、ＮＣ装置１１に設けられたスイッチ１１ｂが使用される場合とがある。スイッチ１１ｂを用いることで、ユーザは、任意に省エネモードを開始でき、例えば、タイマ１１ａによって省エネモードが開始される前に省エネモードを開始できる。
　まず、タイマ１１ａが使用される場合の省エネモードへの移行について、図６のフローチャートを参照しつつ説明する。
　レーザ発振器７のベース放電が行われている（ＯＮ）状態（通常モードでの待機状態）で（ステップ６０１）、省エネモードＡの起動時間ＴＡと省エネモードＢの起動時間ＴＢとが比較される（ステップ６０３）。ここで、起動時間は、レーザ光の出射が停止されている通常モードでの待機状態から省エネモードへの移行が開始されるまでの時間として任意に設定可能であり、［表１］に示された移行時間（移行に必要な時間）とは異なる。ここで、起動時間ＴＡと起動時間ＴＢとを異ならせることで、タイマ１１ａを用いて省エネモードＡ又はＢを優先的に起動できる。本実施形態では、通常モードでの待機状態で起動時間ＴＢが経過したら省エネモードＢに移行し、さらに時間（ＴＡ－ＴＢ）が経過したら省エネモードＡに移行する場合（ＴＡ＞ＴＢ）と、通常モードでの待機状態で起動時間ＴＡが経過したら省エネモードＡに移行するもう一つの場合（ＴＡ≦ＴＢ）とが設定できる。
　ＴＡ＞ＴＢと判定された場合、起動時間ＴＢが経過したか否かが判定され（ステップ６０５）、起動時間ＴＢが経過した場合には、省エネモードＢに移行する（ステップ６０７）。すなわち、レーザガス圧は通常モードでの待機状態のまま維持され、レーザ発振器７のベース放電は停止（ＯＦＦ）される。また、冷却水の温度設定範囲も通常モードでの待機状態と同様に設定温度±２℃とされる。なお、この場合、起動時間ＴＢが規定時間[specified time]（第１規定時間）である。
　その後、起動時間ＴＡが経過したか否かが判定され（ステップ６０９）、起動時間ＴＡが経過した場合には、省エネモードＡに移行する（ステップ６１１）。すなわち、レーザガスの圧力が低くされてレーザガスの供給量が低減されると共に、冷却水の温度設定範囲が拡大されて広域制御が行われる。なお、この場合、時間（ＴＡ－ＴＢ）が第２規定時間である。
　一方、ステップ６０３で、ＴＡ≦ＴＢと判定された場合、省エネモードＢには移行しない。この場合、起動時間ＴＡが経過したか否かが判定され（ステップ６０９）、起動時間ＴＡが経過した場合には、省エネモードＡに移行する（ステップ６１１）。なお、この場合、起動時間ＴＡが規定時間（第１規定時間）である。
　次に、タイマ１１ａが使用される場合の省エネモードＡから通常モードの待機状態への復帰について、図７のフローチャートを参照しつつ説明する。
　省エネモードＡの状態（ステップ７０１）で、リジュームボタン（ＮＣ装置１１に設けられている：図示せず）が押されたか否かが判定される（ステップ７０３）。リジュームボタンが押された場合には、レーザガス圧が通常圧力に設定されて省エネモードＡから省エネモードＢに移行する（ステップ７０５）。その後、上述した復帰時間（［表１］参照：この場合は５秒）後にベース放電が開始（ＯＮ）されて（ステップ７０７）、通常モードの待機状態に復帰する。すなわち、［表１］に示されるように、省エネモードＡから通常モードの待機状態への復帰時間が４０秒であるので、ステップ７０５での省エネモードＡから省エネモードＢへの移行は（４０－５）＝３５秒である。
　次に、スイッチ１１ｂが使用される場合の省エネモードへの移行について、図８のフローチャートを参照しつつ説明する。
　レーザ発振器７のベース放電が行われている（ＯＮ）状態（通常モードでの待機状態）で（ステップ８０１）、スイッチ１１ｂの位置がＯＮかＯＦＦかが判定される（ステップ８０３）。スイッチ１１ｂがＯＮの場合には、省エネモードＢに移行し（ステップ８０５）、さらに所定時間[preset time]の経過後に省エネモードＡに移行する（ステップ８０７）。
　次に、スイッチ１１ｂが使用される場合の省エネモードＡから通常モードの待機状態への復帰について、図９のフローチャートを参照しつつ説明する。
　省エネモードＡの状態（ステップ９０１）で、スイッチ１１ｂの位置がＯＮかＯＦＦかが判定される（ステップ９０３）。スイッチ１１ｂがＯＦＦの場合（ＯＦＦに操作された場合）には、レーザガス圧が通常圧力に設定されて省エネモードＡから省エネモードＢに移行する（ステップ９０５）。その後、上述した復帰時間（［表１］参照：この場合は５秒）後にベース放電が開始（ＯＮ）されて（ステップ９０７）、通常モードの待機状態に復帰する。
　上述したように、タイマ１１ａが使用される場合もスイッチ１１ｂが使用される場合のいずれにおいても、省エネモードＡから通常モードでの待機状態に戻るには、レーザガス圧が通常圧力に設定される省エネモードＢを経由する。従って、通常モードでの待機状態でのベース放電に必要なガス圧が確実に得られるので、通常モードでの待機状態への復帰が円滑に行われ得る。なお、もちろん、省エネモードＢを経由せずに省エネモードＡから直接通常モードでの待機状態に復帰してもよい。
　上述したように、本実施形態では、レーザ光の出射停止から規定時間経過後にレーザ発振器７のベース放電が停止されるので、レーザ加工装置の待機中の無駄な電力消費を抑制できる。
　また、本実施形態では、レーザ光の出射停止から規定時間経過後にレーザ発振器７に供給されるレーザガスの圧力が低くされてレーザガスの供給量が低減される。従って、レーザガスを供給する送風機の消費電力が低減されることで全体の消費電力をより一層低減できると共に、レーザガスの無駄な消費も低減できる。
　また、本実施形態では、レーザ光の出射停止から規定時間経過後に、温調器９の温度設定範囲が拡大される。従って、温調器９の消費電力が低減される。なお、温度設定範囲が拡大されることで冷却水温は上昇するが、レーザ発振器７の発熱は減少している。このため、これらのバランス（相殺）によって、レーザ発振器７は、レーザ光を出射させて行う加工作業への速やかな移行が可能な温度域に維持される。
　本実施形態では、レーザ光の出射停止後に、ＮＣ装置１１に設けられたスイッチ１１ｂを使用して省エネモードを起動することもできる。従って、スイッチ１１ｂを操作することで随時省エネモードに移行でき、利便性が向上する。
　なお、待機状態での電力消費を抑制する方法として、一般に、レーザ加工装置の電源を落とす方法がある。しかし、レーザ発振器７は電源のオン／オフ時に大量のレーザガスを消費するため、レーザガスの消費量の観点からは１２時間以内の待機時間では上述した省エネモードＡの方がレーザガスの消費量を抑制できる。
　また、待機状態の電力消費の９割以上は、レーザ発振器７及び温調器９の電力消費によって占められている。このため、上述した省エネモードによって電力消費を充分に低減できる。
　本実施形態では、特に省エネモードＡでは、待機状態にてレーザ発振器７のベース放電停止とレーザガス圧低下によってレーザ発振器７の省エネルギ化を実現している。この際、レーザ発振器７の省エネルギ化によって発生熱量が抑えられるため、温調器９の省エネルギ化も達成され得る。
　レーザ発振器７及び温調器９の省エネルギ化が同時に行われ得るので、電力消費を減少させながらも、レーザ発振器７の内部温度は速やかな復帰が可能な温度に維持され得る。
　また、二つの省エネモードをＡ及びＢが用意され、それらが段階的に切り替えられることで、より効率よく省エネルギを行える。
　なお、上記実施形態では、レーザ光の出射停止から規定時間が経過した後に、通常モードでの待機状態から省エネモードに移行する。この場合の「レーザ光の出射停止」状態には、上述した作業休憩時や作業準備時の状態のほか、加工工程終了後の状態や、ワークの加工途中に発生する加工中断状態、などが含まれる。

Claims (7)

  1. 　レーザ加工装置であって、
    　レーザ発振器と、
    　前記レーザ発振器を冷却する冷却器と、
    　前記レーザ発振器及び前記冷却器を制御する制御ユニットとを備えており、
    　前記制御ユニットは、前記レーザ発振器によるレーザ光の出射停止から規定時間の経過時に前記レーザ発振器のベース放電を停止する制御部を有している。
  2. 　前記制御部は、前記規定時間の経過時又は経過後に、前記レーザ発振器に供給されるレーザガスの供給量を低減する、請求項１に記載のレーザ加工装置。
  3. 　前記制御部は、前記規定時間の経過時又は経過後に、前記冷却器の冷却媒体の温度設定範囲を拡大する、請求項１又は２に記載のレーザ加工装置。
  4. 　前記レーザ発振器によるレーザ光の出射停止状態で前記制御部を動作させるスイッチをさらに備えている、請求項１～３のいずれか一項に記載のレーザ加工装置。
  5. 　レーザ発振器を備えたレーザ加工装置の制御方法であって、
    　前記レーザ発振器によるレーザ光の出射停止から第１規定時間経過時に、前記レーザ発振器のベース放電を停止する、レーザ加工装置の制御方法。
  6. 　前記ベース放電の停止から第２規定時間経過時に、前記レーザ発振器に供給されるレーザガスの供給量を低減する、請求項５に記載のレーザ加工装置の制御方法。
  7. 　前記レーザ加工装置が、前記レーザ発振器を冷却する冷却器をさらに備えており、
    　前記ベース放電の停止から第２規定時間経過時に、前記冷却器の冷却媒体の温度設定範囲を拡大する、請求項５又は６に記載のレーザ加工装置の制御方法。
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KR1020137003765A KR101414542B1 (ko) 2010-09-14 2011-09-05 레이저 가공 장치, 및 레이저 가공 장치의 제어 방법
EP11825014.1A EP2618433B2 (en) 2010-09-14 2011-09-05 Laser processing device, and method for controlling laser processing device
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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2013187519A (ja) * 2012-03-12 2013-09-19 Panasonic Corp レーザ発振装置およびレーザ加工機
WO2014038241A1 (ja) * 2012-09-05 2014-03-13 三菱電機株式会社 レーザ加工装置
US20150165561A1 (en) * 2012-06-01 2015-06-18 Snecma Method and device for drilling a workpiece with laser pulses

Families Citing this family (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP5789527B2 (ja) 2012-01-18 2015-10-07 株式会社アマダホールディングス レーザ加工装置及びレーザ発振制御方法
JP5689495B2 (ja) * 2013-04-15 2015-03-25 ファナック株式会社 消費電力の削減制御を行うレーザ加工装置
JP6227586B2 (ja) * 2015-03-31 2017-11-08 ファナック株式会社 複数の運転モードで動作するレーザ加工システム
US10794667B2 (en) * 2017-01-04 2020-10-06 Rolls-Royce Corporation Optical thermal profile
JP6871995B2 (ja) * 2019-11-18 2021-05-19 ギガフォトン株式会社 レーザ装置及び非一過性のコンピュータ読み取り可能な記録媒体

Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH04259277A (ja) 1991-02-14 1992-09-14 Amada Co Ltd 炭酸ガスレーザのシマー放電電力の制御方法
JPH05220591A (ja) * 1992-02-14 1993-08-31 Amada Co Ltd レーザ加工機の電気シャツタ方法
JPH1094887A (ja) * 1996-09-24 1998-04-14 Amada Eng Center:Kk レーザ加工システムの定温化方法
JP2000271767A (ja) 1999-03-29 2000-10-03 Nippon Steel Corp レーザ加工装置の運転方法
JP2002299730A (ja) * 2001-04-02 2002-10-11 Amada Eng Center Co Ltd レーザ発振器
JP2005251855A (ja) * 2004-03-02 2005-09-15 Fanuc Ltd レーザ装置

Family Cites Families (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS4980990A (ja) * 1972-12-04 1974-08-05
US4430739A (en) * 1981-09-21 1984-02-07 Mcmahan William H Laser system with standby mode
JPH02235588A (ja) 1989-03-09 1990-09-18 Fanuc Ltd レーザ出力制御方式
JPH0428275A (ja) 1990-05-24 1992-01-30 Toshiba Corp ガスレーザ装置
JP2712937B2 (ja) * 1991-10-07 1998-02-16 松下電器産業株式会社 ガスレーザ発振装置
JP3824092B2 (ja) 1993-12-24 2006-09-20 株式会社小松製作所 エキシマレ−ザ装置のガス補給方法
US6034978A (en) * 1999-05-12 2000-03-07 Cymer, Inc. Gas discharge laser with gas temperature control
WO2005032758A1 (de) † 2003-09-30 2005-04-14 Hitachi Via Mechanics, Ltd. Verfahren zum betrieb eines gaslasersystems
JP2005268558A (ja) * 2004-03-19 2005-09-29 Fanuc Ltd レーザ装置
DE102004040582A1 (de) * 2004-08-21 2006-02-23 Carl Baasel Lasertechnik Gmbh & Co. Kg Laserbearbeitungsgerät, insbesondere Handschweißlaser
JP5091413B2 (ja) * 2006-03-08 2012-12-05 東京エレクトロン株式会社 基板処理装置および基板処理装置の制御方法
JP4855374B2 (ja) 2007-11-08 2012-01-18 ファナック株式会社 ガス流路に流量調整弁を備えたガスレーザ装置
DE112011103513B9 (de) * 2010-10-19 2014-04-24 Mitsubishi Electric Corp. Steuervorrichtung und Steuerverfahren für eine Laserbearbeitungsmaschine

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH04259277A (ja) 1991-02-14 1992-09-14 Amada Co Ltd 炭酸ガスレーザのシマー放電電力の制御方法
JPH05220591A (ja) * 1992-02-14 1993-08-31 Amada Co Ltd レーザ加工機の電気シャツタ方法
JPH1094887A (ja) * 1996-09-24 1998-04-14 Amada Eng Center:Kk レーザ加工システムの定温化方法
JP2000271767A (ja) 1999-03-29 2000-10-03 Nippon Steel Corp レーザ加工装置の運転方法
JP2002299730A (ja) * 2001-04-02 2002-10-11 Amada Eng Center Co Ltd レーザ発振器
JP2005251855A (ja) * 2004-03-02 2005-09-15 Fanuc Ltd レーザ装置

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
See also references of EP2618433A4

Cited By (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2013187519A (ja) * 2012-03-12 2013-09-19 Panasonic Corp レーザ発振装置およびレーザ加工機
US20150165561A1 (en) * 2012-06-01 2015-06-18 Snecma Method and device for drilling a workpiece with laser pulses
US9713855B2 (en) * 2012-06-01 2017-07-25 Snecma Method and device for drilling a workpiece with laser pulses
WO2014038241A1 (ja) * 2012-09-05 2014-03-13 三菱電機株式会社 レーザ加工装置
JP5452784B1 (ja) * 2012-09-05 2014-03-26 三菱電機株式会社 レーザ加工装置
CN104602859A (zh) * 2012-09-05 2015-05-06 三菱电机株式会社 激光加工装置
CN104602859B (zh) * 2012-09-05 2016-05-18 三菱电机株式会社 激光加工装置
US9446481B2 (en) 2012-09-05 2016-09-20 Mitsubishi Electric Corporation Laser machining device

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