WO2011132791A1 - 酸素分圧制御装置および酸素分圧測定器 - Google Patents
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Definitions
- the present invention relates to an oxygen partial pressure control device and an oxygen partial pressure measuring device that can be used for all processes that require a general reducing action.
- the present invention particularly relates to an oxygen partial pressure control device applied to a large-scale refining process such as aluminum and iron, or a joining process between metals that are easily oxidized, and an oxygen content using the oxygen partial pressure control device in a reverse process. It relates to a pressure measuring instrument.
- Patent Document 1 Japanese Patent No. 3749918
- Patent Document 2 an oxygen pump provided with a solid electrolyte made of an oxide ion conductor is used to control the oxygen partial pressure in an inert gas used in the sample preparation process to 10 ⁇ 30 atm. Showed that.
- the oxygen pump specifically includes a solid electrolyte having oxide ion conductivity disposed on the peripheral surface portion of a cylindrical airtight container, and a net-like electrode made of platinum is provided on both the inner and outer surfaces of the solid electrolyte. It is provided so that an inert gas is supplied into the sealed container.
- the oxygen pump is configured to move oxygen molecules present in the sealed container in the form of oxygen ions through the solid electrolyte by ion conduction by an electric field by flowing a current from a DC power source between the electrodes. It has a function of releasing it as a molecule to the outside of the sealed container.
- the solid electrolyte include, for example, the general formula (ZrO 2 ) 1-xy (In 2 O 3 ) x (Y 2 O 3 ) y (0 ⁇ x ⁇ 0.20; 0 ⁇ y ⁇ 0.20; A zirconia system represented by 0.08 ⁇ x + y ⁇ 0.20) can be used.
- the oxygen pump described above has a problem that the thickness of the oxygen ion conductor is at least in millimeters, and the electric resistance of the oxygen ion conductor is large due to this thickness.
- the current for moving oxygen ions is increased, and there is room for improvement in energy efficiency.
- the oxygen ion moving distance becomes longer depending on the thickness of the oxygen ion conductor, the electric field for drawing out the oxygen ions is reduced, and it is difficult to improve the oxygen exhaust speed.
- the oxygen ion conductor has a problem in that it is disadvantageous in terms of energy because, for example, in the zirconia system, the surrounding environment needs to be set to a high temperature of 600 ° C. to 700 ° C. in order to improve oxygen ion conductivity.
- Such a high-temperature environment controlled from the outside generates heat distribution in the oxygen ion conductor and causes distortion, which may cause a defect in a part of the oxygen ion conductor. And when a defect
- the conventional oxygen pump has a problem that it is difficult to improve the oxygen exhaust speed in addition to the room for improvement in energy efficiency because the resistance of the oxygen ion conductor is large.
- the present invention has been made in view of the above-described circumstances, and an object of the present invention is to provide an oxygen partial pressure control device including an oxygen pump with improved energy efficiency and oxygen exhaust speed, and oxygen ions constituting the oxygen pump.
- An object of the present invention is to provide an oxygen partial pressure control device that does not generate a large temperature distribution in a conductor.
- an object of the present invention is to provide an oxygen partial pressure measuring device capable of detecting a difference in oxygen partial pressure between two spaces.
- an oxygen pump comprising an oxygen ion conductor having a low resistance, a thickness that does not cause dielectric breakdown, a thin film shape with a short oxygen ion movement distance, and an electric field that draws out oxygen ions. It is characterized by using. (1) That is, in order to achieve the above object, an oxygen partial pressure control device according to the present invention includes a first electrode thin film, an oxygen ion conductor thin film having a thickness of 0.01 ⁇ m to 1 mm, and a second electrode.
- an oxygen pump configured by laminating a thin film in this order, and a DC power source for applying a predetermined DC voltage to the first electrode thin film and the second electrode thin film, the oxygen pump including the oxygen ion conduction
- the oxygen partial pressure of one of the two spaces partitioned by the body thin film is controlled in a range of 1 ⁇ 10 ⁇ 35 to 1 atm.
- the oxygen pump may be configured on a porous material substrate.
- the oxygen partial pressure measuring device is configured by laminating a first electrode thin film, an oxygen ion conductor thin film having a thickness of 0.01 ⁇ m to 1 mm, and a second electrode thin film in this order. And a voltmeter for detecting the electromotive force between the first electrode and the second electrode.
- a voltmeter for detecting the electromotive force between the first electrode and the second electrode.
- an alternating current parallel to the film surface of the oxygen ion conductor thin film can flow through the oxygen ion conductor thin film.
- the mechanism may be configured on a porous material substrate.
- the first electrode thin film, the oxygen ion conductor thin film having a thickness that does not cause dielectric breakdown of 0.01 ⁇ m to 1 mm, and the second electrode thin film are laminated in this order, and a predetermined DC voltage is applied to the first electrode.
- a predetermined DC voltage is applied to the first electrode.
- the oxygen ion conductor has a thin film shape that does not cause dielectric breakdown, the electrical resistance when current is applied in the thickness direction of the thin film is reduced, and energy efficiency can be improved. .
- the moving distance of oxygen ions is shortened, the electric field for extracting oxygen ions is increased, and the oxygen exhaust speed can be improved.
- the increase in the electric field for extracting oxygen ions is also a factor that gives a function of controlling one of the two spaces to an extremely low oxygen partial pressure state of 1 ⁇ 10 ⁇ 35 atm.
- the same effect can be acquired also when an oxygen pump is comprised on a porous material board
- the oxygen partial pressure control device when the oxygen partial pressure control device is operated, if an alternating current parallel to the film surface of the oxygen ion conductor thin film is caused to flow through the oxygen ion conductor thin film, the oxygen ion conductor thin film generates Joule heat.
- an externally high temperature environment of 600 ° C. to 700 ° C. which has been conventionally required to increase the oxygen ion conductivity of the oxygen ion conductor, is unnecessary, which is advantageous in terms of energy.
- it is difficult for a large temperature distribution to occur in the oxygen ion conductor it is possible to eliminate the possibility that a part of the oxygen ion conductor will be deficient.
- the first electrode thin film, the oxygen ion conductor thin film having a thickness of 0.01 ⁇ m to 1 mm, and the second electrode thin film are laminated in this order, and are separated by the oxygen ion conductor thin film.
- the oxygen ion conductor is advantageous in terms of energy because it does not require an external high temperature environment of 600 ° C. to 700 ° C., which is conventionally required for oxygen ion conductivity to be exhibited. Furthermore, since it is difficult for a large temperature distribution to occur in the oxygen ion conductor, it is possible to eliminate the possibility that a part of the oxygen ion conductor will be deficient. In addition, the same effect can be acquired also when the said mechanism is comprised on a porous material board
- FIG. 1 is a schematic configuration diagram showing an oxygen partial pressure control apparatus according to the present invention.
- FIG. 2 is a schematic configuration diagram showing an oxygen partial pressure measuring device according to the present invention.
- FIG. 3 is a schematic longitudinal sectional view illustrating the oxygen pump 1 according to the third embodiment of the present invention in comparison with the conventional example.
- FIG. 1 is a schematic configuration diagram showing a first embodiment in which an oxygen partial pressure control device according to the present invention is embodied.
- an oxygen partial pressure control apparatus according to a first embodiment of the present invention includes an oxygen pump 1, a DC power source 3 that supplies a DC current to the oxygen pump 1, and an AC current that is supplied to the oxygen pump.
- AC power supply 4 is provided.
- the oxygen pump 1 has a negative electrode side platinum electrode thin film 13 as a first electrode thin film and an oxygen ion conductor thin film on a porous alumina substrate 12 as a porous material substrate.
- the yttria-stabilized zirconia thin film 14 and the positive electrode-side platinum electrode thin film 15 as the second electrode thin film are laminated in this order.
- the oxygen pump 1 applies a predetermined DC voltage to the platinum electrode thin film 13 on the negative electrode side and the platinum electrode thin film 15 on the positive electrode side, whereby one oxygen in two spaces partitioned by the porous alumina substrate 12 is obtained. It functions to control the partial pressure in the range of 1 ⁇ 10 ⁇ 35 to 1 atm.
- the function of the oxygen pump 1 is exhibited by the following principle.
- a predetermined direct current voltage V DC (for example, a range of 0 volts ⁇ V DC ⁇ 3 volts) is applied from the direct current power source 3 between the electrodes of the platinum electrode thin films 13 and 15 to flow a direct current I DC .
- V DC direct current voltage
- the oxygen molecules O 2 in the inert gas control chamber 16 are in the state of oxygen ions through the yttria-stabilized zirconia thin film 14 and the negative electrode. It moves from the electrode 13 to the positive electrode platinum thin film 15 by an electric field.
- the oxygen ions are exhausted to the outside (space on the positive electrode 15 side) again as oxygen molecules O 2 in the platinum electrode thin film 15 of the positive electrode.
- the partial pressure of oxygen in the space 16 on the substrate 12 side which is one of the two spaces partitioned by the porous alumina substrate 12, can be controlled in the range of 1 ⁇ 10 ⁇ 35 to 1 atm.
- the oxygen partial pressure in the space 16 on the porous alumina substrate 12 side is more preferably controlled in the range of 10 ⁇ 35 to 10 ⁇ 20 atm. preferable.
- the AC power source 4 supplies the AC current I AC in a direction parallel to the upper surface of the yttria-stabilized zirconia thin film 14 when operating.
- the thin film 14 is supplied.
- the direction in which the alternating current I AC is energized is perpendicular to the direction of the DC current I DC is energized.
- an oxygen partial pressure setting unit 5 is provided on the path where the DC power supply 3 supplies a DC current to the oxygen pump 1, and the magnitude of the DC current supplied or between the electrodes 13 and 15 is provided. It can also be configured to control the DC voltage to be applied.
- the oxygen partial pressure setting unit 5 supplies a direct current for operating the oxygen pump 1 so that the oxygen partial pressure in the inert gas control chamber 16 becomes a desired magnitude, or a direct current between the electrodes 13 and 15.
- a control signal for applying a voltage is transmitted to the DC power supply 3.
- the oxygen partial pressure setting unit 5 can be integrated with the DC power source 3 in addition to being provided between the electrodes 13 and 15 as shown in FIG.
- the yttria-stabilized zirconia thin film 14 which is an oxygen ion conductor thin film constituting the oxygen pump 1 has a thickness of 0.01 ⁇ m to 1 mm, for example, 0.1 mm, which is a thickness that does not cause dielectric breakdown. It is formed as an oxygen ion conductor thin film. Since the thin film 14 has a small electric resistance of a direct current in the thickness direction, the oxygen pump 1 constituting the first embodiment has greatly improved energy efficiency. In addition, since the moving distance of oxygen ions is shortened, the electric field effective for extracting oxygen ions is increased, and the oxygen exhaust speed is improved.
- the effective electric field for extracting oxygen ions has increased is also a factor that allows one of the two spaces to be controlled to an extremely low oxygen partial pressure state of 10 ⁇ 35 atm.
- the AC current I AC is energized in the yttria-stabilized zirconia thin film 14 in parallel to the upper surface of the thin film 14, thereby causing the thin film 14 itself to generate Joule heat. Is unlikely to occur. Therefore, in the structure of the first embodiment, the thin film 14 is less likely to be distorted or broken, and one of the two spaces partitioned by the porous material substrate is in an extremely low oxygen partial pressure state of 10 ⁇ 35 atm. Ensure the function to control.
- the porous material substrate in the present invention is a porous material having a porosity that allows oxygen molecules to freely contact the platinum electrode thin film 13 on the negative electrode side in addition to the porous alumina substrate 12, it is appropriately adopted. Is possible. Further, if an electrode having an equivalent function can be substituted, a porous material substrate becomes unnecessary.
- the oxygen ion conductor thin film is, for example, a complex oxide containing Ba and In, in which a part of Ba of the complex oxide is replaced by solid solution with La.
- the oxides shown can be used.
- the above oxides are materials that exhibit high oxygen ion conductivity.
- the oxygen ion conductor thin film and the oxygen pump described above are formed. 1 can be created.
- the feasible film thickness range of the oxygen ion conductor thin film for example, the yttria stabilized zirconia thin film 14, is 0.01 ⁇ m or more.
- the preferable range of the film thickness is 0.1 ⁇ m to 1 mm, and the optimal film thickness range is 0.1 ⁇ m to 0.1 mm. If the thickness is less than 0.01 ⁇ m, dielectric breakdown may occur, which is not preferable.
- the 1st electrode thin film 13 and the 2nd electrode thin film 15 can be formed from various materials which show physical properties useful as an electrode other than platinum, for example, such as nickel and lanthanum / strontium manganese oxide. At least one of these electrode materials is selected, and the selected material is formed into a thin film having a thickness of 1 ⁇ m, for example, and the formed thin film body is used as the first electrode thin film and the second electrode thin film. Available.
- the platinum electrode thin films 13 and 15 are respectively connected to the negative electrode side and the positive electrode side of the DC power supply 3 so as not to be short-circuited.
- a method for manufacturing the oxygen pump 1 will be briefly described.
- the first manufacturing method is a method of thinning a layer in which a first electrode thin film is stacked and an oxygen ion conductor is further disposed using a cutting technique.
- the film thickness of the oxygen ion conductor may be changed from 0.01 ⁇ m to 1 mm.
- components necessary for this are arranged, and the second electrode thin film is laminated to constitute an oxygen pump.
- the porous material substrate is unnecessary.
- either the first electrode thin film or the second electrode thin film may be a negative electrode.
- the second manufacturing method is a method of manufacturing using an electrode support cell, and is a method of changing the film thickness of the oxygen ion conductor from 0.01 ⁇ m to 1 mm by coating. Specifically, first, a mixture of nickel oxide and an oxygen ion conductor is sintered to produce a porous material as a base material. Then, a first electrode thin film is laminated on the porous material, and an oxygen ion conductor is coated on the first electrode thin film and fired. Next, after coating the electrode material for the second electrode thin film on the fired oxygen ion conductor, the whole is fired to produce an oxygen pump.
- FIG. 2 is a schematic configuration diagram showing a second embodiment in which the oxygen partial pressure measuring device according to the present invention is embodied.
- the oxygen partial pressure measuring device according to the present invention as the second embodiment includes an oxygen partial pressure sensor 2 having the same configuration as the oxygen pump 1 in the oxygen partial pressure control apparatus, as shown in FIG.
- a voltmeter 6 for detecting an electromotive force E f generated in the oxygen ion conductor thin film is provided.
- the electromotive force E f is proportional to the logarithm of the oxygen partial pressure ratio of the two spaces partitioned by the porous alumina substrate 22 according to the Nernst equation, and between the platinum electrode thin films 23 and 25 on both sides of the yttria stabilized zirconia thin film 24.
- the oxygen partial pressure of the gas to be measured existing in the first space 26 can be measured. it can.
- the oxygen partial pressure sensor 2 can be configured without considering dielectric breakdown because no voltage is applied unlike the oxygen pump 1 in the oxygen partial pressure control device.
- the oxygen partial pressure measuring device of the second embodiment also operates in a direction parallel to the upper surface of the yttria-stabilized zirconia thin film 24 during its operation. having a structure for supplying an alternating current I AC to thin film 24.
- the thin film 24 can generate Joule heat, it is possible to omit a structure that creates a high temperature of 600 ° C. to 700 ° C. in which the oxygen ion conductivity functions well in the surrounding environment of the yttria-stabilized zirconia thin film 4.
- the oxygen partial pressure control apparatus transmits an inert gas control chamber 16 provided with an oxygen pump 1 at the boundary with the outside, and transmits a control signal when a desired oxygen partial pressure is set. And an oxygen partial pressure setting unit 5 for operating.
- an alternating current I AC which has a predetermined current value turns on the switch to flow parallel to the film surface of the yttria-stabilized zirconia film 14 to Joule heat to yttria-stabilized zirconia film 14.
- an inert gas is supplied into an inert gas control chamber 16 including the oxygen pump 1.
- the oxygen partial pressure setting unit 5 is set to a desired oxygen partial pressure, for example, an oxygen partial pressure of 10 ⁇ 35 atm, and a predetermined control signal based on the set value is inactivated from the oxygen partial pressure setting unit 5. It is sent to the oxygen pump 1 in the gas control chamber 16. Between the electrodes of the platinum electrode film 13 and 15 by a control signal, current flows I DC from the DC power source 3 which is applied at the maximum DC voltage 3 volts. The current I DC, molecular oxygen O 2 in the inert gas in the inert gas control chamber 16 is yttria-stabilized electrically positive platinum electrode film 15 side, which is the second electrode thin film is ionized by zirconia thin film 14 Move to.
- the oxygen partial pressure control apparatus includes a platinum electrode thin film 13 having a thickness of 1 ⁇ m and a yttria-stabilized zirconia thin film 14 having a thickness of 0.1 ⁇ m on a porous alumina substrate 12.
- the thin-film oxygen pump 1 is formed by stacking a platinum electrode thin film 15 which is a positive electrode and has a thickness of 1 ⁇ m in that order.
- a maximum DC voltage of 3 volts between the electrodes of the platinum thin films 13 and 15 of the oxygen pump 1 the oxygen partial pressure of one of the two spaces partitioned by the porous alumina substrate 12 is reduced to 10 ⁇ 35. It becomes possible to control the range up to ⁇ 1 atm.
- the yttria-stabilized zirconia thin film 14 is formed to a thickness that does not cause dielectric breakdown, the electric resistance of the direct current in the thickness direction is reduced, and as a result, energy efficiency can be improved.
- the yttria-stabilized zirconia thin film 14 has a thin film shape, the moving distance of oxygen ions is shortened, the effective electric field for extracting oxygen ions is increased, and the oxygen exhaust speed is also improved. Further, the oxygen partial During operation of the pressure control apparatus according to the first embodiment, parallel to the upper surface of the yttria-stabilized zirconia film 14 in the oxygen pump 1, by flowing an alternating current I AC the thin film 14, the thin film 14 is Joule-heated to ensure that it functions as an oxygen ion conductor. With this configuration, it is not necessary to install a high temperature environment of 600 ° C. to 700 ° C. from the outside separately from the oxygen pump 1, which can be advantageous in terms of energy.
- the oxygen partial pressure measuring instrument of Example 2 is an inert gas (oxygen partial pressure measured gas) controlled to have an oxygen partial pressure of 10 ⁇ 35 atm by the oxygen partial pressure control apparatus of Example 1. It is a specific embodiment when the oxygen partial pressure measuring device is supplied to the process chamber.
- the process chamber in the oxygen partial pressure measuring instrument of Example 2 is provided with an oxygen partial pressure sensor 2 having the same configuration as the oxygen pump 1 in the oxygen partial pressure control device, and this oxygen partial pressure sensor 2 provides a porous alumina substrate.
- Two spaces (first space 26 and second space 27) partitioned by 22 are provided.
- a standard gas having a known oxygen partial pressure is arranged in one of the spaces, that is, the second space 27, a standard gas having a known oxygen partial pressure is arranged.
- the oxygen partial pressure measurement gas as the inert gas is supplied to the other space (first space 26) of the two spaces of the process chamber partitioned by the porous alumina substrate 22.
- the two spaces in the process chamber are partitioned by the porous alumina substrate 22 so that the second electrode thin film 25 is disposed on the second space 27 side and the first electrode thin film 23 is positioned on the first space 26 side. It has been. Platinum electrode thin films 23 and 25 are provided on one surface and the other surface of the yttria-stabilized zirconia thin film 24, respectively.
- the oxygen partial pressure measuring device according to the second embodiment can be further configured as follows so as to cooperate with the oxygen partial pressure control device according to the first embodiment. First, an oxygen partial pressure measurement gas controlled to an oxygen partial pressure of 10 ⁇ 35 atm by the oxygen pump 1 according to the first embodiment is supplied into the first space 26 of the process chamber.
- the oxygen partial pressure measuring device of the second embodiment uses the “oxygen partial pressure” as the second control signal. Is not as set "is sent to the oxygen partial pressure control apparatus of the first embodiment. Then, the oxygen partial pressure control apparatus according to the first embodiment outputs a control signal from the oxygen partial pressure setting unit 5 to the oxygen pump 1 in the inert gas control chamber 16 to adjust the voltage between the electrodes of the platinum electrode thin films 13 and 15. To do. That is, in the oxygen partial pressure control apparatus of the first embodiment, the inert gas sent from the inert gas control chamber 16 to the process chamber of the oxygen partial pressure measuring device according to the second embodiment has a set oxygen partial pressure.
- the inert gas whose oxygen partial pressure is controlled to 10 ⁇ 35 atm is supplied to the process chamber of the oxygen partial pressure measuring device according to the second embodiment.
- the target process is performed under the atmosphere of the inert gas.
- the Nernst equation Accordingly, an electromotive force E f proportional to the logarithm of the oxygen partial pressure ratio is generated between the platinum electrode thin films 23 and 25 on both sides of the yttria stabilized zirconia thin film 24.
- Example 3 By measuring the electromotive force E f with the voltmeter 6, it can be applied as an oxygen partial pressure measuring device.
- Example 3 a procedure for manufacturing a cylindrical oxygen pump using the second method for manufacturing the oxygen pump 1 will be described.
- the produced cylindrical oxygen pump is used as the oxygen pump 1 constituting the oxygen partial pressure control device according to the first embodiment or as the oxygen partial pressure sensor 2 constituting the oxygen partial pressure measuring device according to the second embodiment.
- Vinisole DD72 was added at an outer weight ratio of 0.3%, and water was added at an outer weight ratio of 30%.
- the 1st electrode thin film 33 is laminated
- membrane 34 is slurry-coated in a thin film form, and also it bakes at 1350 degreeC.
- the positive electrode material for example, lanthanum / strontium manganese oxide is coated in a thin film and then baked to form the second electrode thin film 35, thereby producing the oxygen pump 1.
- the film thickness of the yttria-stabilized zirconia film 34 is in the range of about 0.01 ⁇ m to 0.1 mm (20 ⁇ m in FIG. 3).
- the oxygen pump 41 is laminated thinner than the yttria-stabilized zirconia film 44 of the conventional oxygen pump 41.
- the film thickness of the yttria-stabilized zirconia film 34 constituting the oxygen pump 1 according to the third embodiment is markedly higher than that of the electrode thin film 33 or 35 as in the case of the yttria-stabilized zirconia thin film 14 of the oxygen pump 1 according to the first embodiment. It can be formed thin.
- an oxygen pump or an oxygen partial pressure sensor having an appropriate shape as long as it has a space capable of sealing an inert gas. can be configured.
- the oxygen pump or oxygen partial pressure sensor used in the present invention can be configured by omitting the porous material substrate.
- either the first electrode thin film or the second electrode thin film may be a negative electrode.
- the second electrode thin film can be used as the negative electrode.
- FIG. 3 shows a conventional oxygen pump 41 having a structure in which the porous material substrate is omitted from the oxygen pump 1 of Example 3 and a structure in which the porous material substrate is omitted.
- the conventional oxygen pump 41 is configured such that the yttria-stabilized zirconia film 44 is thicker than the first electrode thin film 43 and the second electrode thin film 45.
- the yttria-stabilized zirconia film 34 constituting the oxygen pump 1 of Example 3 is formed much thinner than the electrode thin film 33 or 35.
- the oxygen partial pressure control device controls oxygen ion conduction while controlling the oxygen partial pressure of one of two spaces partitioned by a porous material substrate within a range of 10 ⁇ 35 to 1 atm by an oxygen pump. Body resistance can be made sufficiently small, energy efficiency can be improved, and oxygen exhaust rate can also be improved. Further, the oxygen partial pressure measuring device according to the present invention generates an electromotive force in proportion to the logarithm of the oxygen partial pressure ratio of the two spaces partitioned by the porous material substrate by the oxygen partial pressure sensor. Can be detected.
- the present invention includes three devices, specifically, one oxygen pump of the oxygen partial pressure control device according to the present invention, and an inlet for introducing an inert gas into the device and an outlet for discharging the device.
- the oxygen partial pressure sensors of the oxygen partial pressure measuring device according to the above are arranged one by one.
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Abstract
本発明は、エネルギー効率を改善し、酸素排気速度を改善することができる酸素分圧制御装置、および、2つの空間の酸素分圧差を検知することが可能な酸素分圧測定器を提供する。本発明の酸素分圧制御装置は、多孔質アルミナ基板(12),(22)上に、負極の白金電極薄膜(13),(23)と、絶縁破壊が生じない厚さを有するイットリア安定化ジルコニア薄膜(14),(24)と、正極の白金電極薄膜(15),(25)とを、この順に積層して構成した酸素ポンプ(1)を備え、本発明の酸素分圧測定器は、該酸素ポンプ(1)と同一構造の酸素分圧センサー(2)を備える。
Description
本発明は、一般的な還元作用が必要なプロセス全般に利用することができる酸素分圧制御装置及び酸素分圧測定器に関する。本発明は、特に、アルミニウム、鉄等の規模の大きな精錬プロセスまたは酸化されやすい金属同士の接合プロセス等に適用される酸素分圧制御装置、及びこの酸素分圧制御装置を逆プロセスで用いる酸素分圧測定器に関する。
本発明者らは、極低酸素分圧状態に制御して所望の機能性酸化物等の試料を作成するプロセスに適用可能な、試料作成方法および試料作成装置に係る発明を、特許3921520号公報(特許文献1)及び特許3749918号公報(特許文献2)にて提案している。
特許文献1、2では、酸化物イオン伝導体からなる固体電解質を備えた酸素ポンプを利用し、試料作製のプロセスに使用する不活性ガス中の酸素分圧を10−30atmまで制御可能になることを示した。
また、特許文献1、2において、プロセスに使用した不活性ガスを上記酸素ポンプへリターンして再利用することによって、不活性ガス中の酸素分圧を制御する際の上記酸素ポンプに掛かる負荷を低減できることも示した。
ここで、上記酸素ポンプは、具体的には、円柱状の密閉容器の周面部に酸化物イオン伝導性を有する固体電解質を配置し、この固体電解質の内外両面に白金よりなるネット状の電極を設けて、密閉容器内に不活性ガスを供給するように構成したものである。
上記酸素ポンプは、上記電極間に直流電源から電流を流すことにより、密閉容器内に存在する酸素分子を酸素イオンの形で、電場によるイオン伝導にて固体電解質内を移動させ、最終的に酸素分子として密閉容器の外部に放出する機能を有する。このようにして、上記密閉容器内の不活性ガス中の酸素分子が除去され、不活性ガス中の酸素分圧が、所望の分圧に制御される。上記の固体電解質として、例えば、一般式(ZrO2)1−x−y(In2O3)x(Y2O3)y(0<x<0.20;0<y<0.20;0.08<x+y<0.20)で表されるジルコニア系を利用することができる。
しかし、上記の酸素ポンプでは、酸素イオン伝導体の厚みが少なくともミリメートル単位であって、この厚みのために、酸素イオン伝導体の電気抵抗が大きいという問題があることが分かってきた。この問題に起因して、酸素イオンを移動させるための電流が大きくなり、エネルギー効率に改善の余地があった。また、酸素イオン伝導体の厚みにより、酸素イオンの移動距離が長くなるので、酸素イオンを引き出す電界が小さくなり、酸素の排気速度の改善が難しいという問題も生じていた。
さらに、上記の酸素イオン伝導体は、酸素イオン伝導性を高めるべく、例えばジルコニア系では、周辺環境を600℃~700℃という高温にする必要があり、エネルギー的に不利であるという問題がある。このような外部から制御された高温環境は、酸素イオン伝導体に熱分布を発生させ、歪みを生じさせるので、酸素イオン伝導体の一部に欠損が生じる恐れがあるという問題もあった。そして、酸素イオン伝導体の一部に欠損が生じると、密閉性が担保できず、所望の酸素分圧制御が困難になる。
特許文献1、2では、酸化物イオン伝導体からなる固体電解質を備えた酸素ポンプを利用し、試料作製のプロセスに使用する不活性ガス中の酸素分圧を10−30atmまで制御可能になることを示した。
また、特許文献1、2において、プロセスに使用した不活性ガスを上記酸素ポンプへリターンして再利用することによって、不活性ガス中の酸素分圧を制御する際の上記酸素ポンプに掛かる負荷を低減できることも示した。
ここで、上記酸素ポンプは、具体的には、円柱状の密閉容器の周面部に酸化物イオン伝導性を有する固体電解質を配置し、この固体電解質の内外両面に白金よりなるネット状の電極を設けて、密閉容器内に不活性ガスを供給するように構成したものである。
上記酸素ポンプは、上記電極間に直流電源から電流を流すことにより、密閉容器内に存在する酸素分子を酸素イオンの形で、電場によるイオン伝導にて固体電解質内を移動させ、最終的に酸素分子として密閉容器の外部に放出する機能を有する。このようにして、上記密閉容器内の不活性ガス中の酸素分子が除去され、不活性ガス中の酸素分圧が、所望の分圧に制御される。上記の固体電解質として、例えば、一般式(ZrO2)1−x−y(In2O3)x(Y2O3)y(0<x<0.20;0<y<0.20;0.08<x+y<0.20)で表されるジルコニア系を利用することができる。
しかし、上記の酸素ポンプでは、酸素イオン伝導体の厚みが少なくともミリメートル単位であって、この厚みのために、酸素イオン伝導体の電気抵抗が大きいという問題があることが分かってきた。この問題に起因して、酸素イオンを移動させるための電流が大きくなり、エネルギー効率に改善の余地があった。また、酸素イオン伝導体の厚みにより、酸素イオンの移動距離が長くなるので、酸素イオンを引き出す電界が小さくなり、酸素の排気速度の改善が難しいという問題も生じていた。
さらに、上記の酸素イオン伝導体は、酸素イオン伝導性を高めるべく、例えばジルコニア系では、周辺環境を600℃~700℃という高温にする必要があり、エネルギー的に不利であるという問題がある。このような外部から制御された高温環境は、酸素イオン伝導体に熱分布を発生させ、歪みを生じさせるので、酸素イオン伝導体の一部に欠損が生じる恐れがあるという問題もあった。そして、酸素イオン伝導体の一部に欠損が生じると、密閉性が担保できず、所望の酸素分圧制御が困難になる。
上記の通り、従来の酸素ポンプでは、酸素イオン伝導体の抵抗が大きいためにエネルギー効率に改善の余地があるほか、酸素排気速度を改善することが難しいという問題があった。また、酸素イオン伝導性を高めるために高温環境にする必要があり、エネルギー的に不利で、酸素イオン伝導体に熱分布が発生して歪みが生ずると、その一部に欠損が生じる恐れがあるという問題もあった。
本発明は前述した事情に鑑みてなされたものであり、本発明の目的は、エネルギー効率及び酸素排気速度を改善した酸素ポンプを備えた酸素分圧制御装置と、該酸素ポンプを構成する酸素イオン伝導体に大きな温度分布を発生させない酸素分圧制御装置を提供することを目的とする。更に、本発明は、2つの空間の酸素分圧差を検知することが可能な酸素分圧測定器を提供することを目的とする。
本発明は前述した事情に鑑みてなされたものであり、本発明の目的は、エネルギー効率及び酸素排気速度を改善した酸素ポンプを備えた酸素分圧制御装置と、該酸素ポンプを構成する酸素イオン伝導体に大きな温度分布を発生させない酸素分圧制御装置を提供することを目的とする。更に、本発明は、2つの空間の酸素分圧差を検知することが可能な酸素分圧測定器を提供することを目的とする。
本発明は、抵抗が低く且つ絶縁破壊が生じない程度の厚さを有し、酸素イオンの移動距離の短い薄膜形状を有し、酸素イオンを引き出す電界を発生する酸素イオン伝導体からなる酸素ポンプを利用したことを特徴としている。
(1)すなわち、上記目的を達成するために、本発明に係る酸素分圧制御装置は、第1電極薄膜と、0.01μmから1mmの厚さを有する酸素イオン伝導体薄膜と、第2電極薄膜とが、この順に積層されて構成された酸素ポンプと、所定の直流電圧を前記第1電極薄膜と前記第2電極薄膜に印加する直流電源とを備え、前記酸素ポンプは、前記酸素イオン伝導体薄膜にて仕切られた二つの空間の一方の酸素分圧を1×10−35~1atmまでの範囲に制御することを特徴とする。
(2)特に、上記酸素イオン伝導体薄膜の膜面と平行となる交流電流を、酸素イオン伝導体薄膜に流すことができるようにすることが好ましい。また、酸素ポンプは、多孔質材料基板上に構成されてもよい。
(3)本発明に係る酸素分圧測定器は、第1電極薄膜と、0.01μmから1mmの厚さを有する酸素イオン伝導体薄膜と、第2電極薄膜とが、この順に積層されて構成された酸素ポンプと、前記第1電極及び第2電極間の前記起電力を検知する電圧計を備えた、ことを特徴とする。
(4)また、上記酸素イオン伝導体薄膜の膜面と平行となる交流電流を、酸素イオン伝導体薄膜に流すことができるようにすることが好ましい。さらに、上記機構は、多孔質材料基板上に構成されてもよい。
(1)すなわち、上記目的を達成するために、本発明に係る酸素分圧制御装置は、第1電極薄膜と、0.01μmから1mmの厚さを有する酸素イオン伝導体薄膜と、第2電極薄膜とが、この順に積層されて構成された酸素ポンプと、所定の直流電圧を前記第1電極薄膜と前記第2電極薄膜に印加する直流電源とを備え、前記酸素ポンプは、前記酸素イオン伝導体薄膜にて仕切られた二つの空間の一方の酸素分圧を1×10−35~1atmまでの範囲に制御することを特徴とする。
(2)特に、上記酸素イオン伝導体薄膜の膜面と平行となる交流電流を、酸素イオン伝導体薄膜に流すことができるようにすることが好ましい。また、酸素ポンプは、多孔質材料基板上に構成されてもよい。
(3)本発明に係る酸素分圧測定器は、第1電極薄膜と、0.01μmから1mmの厚さを有する酸素イオン伝導体薄膜と、第2電極薄膜とが、この順に積層されて構成された酸素ポンプと、前記第1電極及び第2電極間の前記起電力を検知する電圧計を備えた、ことを特徴とする。
(4)また、上記酸素イオン伝導体薄膜の膜面と平行となる交流電流を、酸素イオン伝導体薄膜に流すことができるようにすることが好ましい。さらに、上記機構は、多孔質材料基板上に構成されてもよい。
本発明では、第1電極薄膜、0.01μmから1mmの絶縁破壊が生じない厚さを有する酸素イオン伝導体薄膜、第2電極薄膜を、その順に積層するとともに、所定の直流電圧を第1電極薄膜と第2極薄膜に印加することにより、酸素イオン伝導体薄膜にて仕切られた2つの空間の一方の酸素分圧を1×10−35~1atmまでの範囲に制御する酸素ポンプを用いて酸素分圧制御装置を構成した。
上記構成により、まず、酸素イオン伝導体薄膜にて仕切られた2つの空間の一方の酸素分圧を1×10−35~1atmまでの範囲に制御することができる。さらに、酸素イオン伝導体が、絶縁破壊が生じない程度の厚さの薄膜形状であるので、薄膜の厚さ方向に電流を通電したときの電気抵抗が小さくなり、エネルギー効率を改善することができる。また、酸素イオンの移動距離が短くなるので、酸素イオンを引き出す電界が大きくなって、酸素排気速度を改善することもできる。なお、酸素イオンを引き出す電界が大きくなったことは、2つの空間の一方を1×10−35atmという極低酸素分圧状態に制御できる機能を与える要因でもある。なお、酸素ポンプが多孔質材料基板上に構成された場合にも、同様な効果を得ることができる。
特に、上記酸素分圧制御装置の作動時に、酸素イオン伝導体薄膜の膜面と平行となる交流電流を、酸素イオン伝導体薄膜に流すように構成すると、酸素イオン伝導体薄膜がジュール発熱する。この構成によれば、酸素イオン伝導体の酸素イオン伝導性を高めるために従来必要だった600℃~700℃という外部からの高温環境が不要となってエネルギー的に有利となる。さらに、酸素イオン伝導体に大きな温度分布が発生しにくくなるので、その一部に欠損が生じるような恐れをなくすことができる。また、酸素イオン伝導体に欠損を生じにくくさせたことは、酸素イオン伝導体薄膜にて仕切られた2つの空間の一方を、1×10−35atmという極低酸素分圧状態に制御することができる要因でもある。
また、本発明では、第1電極薄膜、0.01μmから1mmの厚さを有する酸素イオン伝導体薄膜、第2電極薄膜を、この順に積層するとともに、酸素イオン伝導体薄膜にて仕切られた二つの空間の酸素分圧比の対数に比例して、酸素イオン伝導体薄膜両面の電極間に起電力が生じる機構を備え、さらに、起電力を検知する電圧計を備えて酸素分圧測定器を構成した。このため、酸素分圧の異なるガスが酸素イオン伝導体薄膜にて仕切られた2つの空間に存在した場合に、ネルンストの式に基づいて、酸素分圧比の対数に比例する起電力が酸素イオン伝導体薄膜両面の電極間に生じるので、この起電力を電圧計にて検知する酸素分圧測定器として適用することができる。
そして、上記酸素分圧測定器の作動時に、酸素イオン伝導体の薄膜の膜面と平行となる交流電流を、酸素イオン伝導体薄膜に流す構成にすれば、酸素イオン伝導体薄膜がジュール発熱する。この構成によって、酸素イオン伝導体が酸素イオン導電性を発揮するための600℃~700℃という従来必要だった外部からの高温環境が不要となってエネルギー的に有利となる。さらに、酸素イオン伝導体に大きな温度分布が発生しにくくなるので、その一部に欠損が生じるような恐れをなくすことができる。なお、上記機構が多孔質材料基板上に構成された場合にも、同様な効果を得ることができる。
上記構成により、まず、酸素イオン伝導体薄膜にて仕切られた2つの空間の一方の酸素分圧を1×10−35~1atmまでの範囲に制御することができる。さらに、酸素イオン伝導体が、絶縁破壊が生じない程度の厚さの薄膜形状であるので、薄膜の厚さ方向に電流を通電したときの電気抵抗が小さくなり、エネルギー効率を改善することができる。また、酸素イオンの移動距離が短くなるので、酸素イオンを引き出す電界が大きくなって、酸素排気速度を改善することもできる。なお、酸素イオンを引き出す電界が大きくなったことは、2つの空間の一方を1×10−35atmという極低酸素分圧状態に制御できる機能を与える要因でもある。なお、酸素ポンプが多孔質材料基板上に構成された場合にも、同様な効果を得ることができる。
特に、上記酸素分圧制御装置の作動時に、酸素イオン伝導体薄膜の膜面と平行となる交流電流を、酸素イオン伝導体薄膜に流すように構成すると、酸素イオン伝導体薄膜がジュール発熱する。この構成によれば、酸素イオン伝導体の酸素イオン伝導性を高めるために従来必要だった600℃~700℃という外部からの高温環境が不要となってエネルギー的に有利となる。さらに、酸素イオン伝導体に大きな温度分布が発生しにくくなるので、その一部に欠損が生じるような恐れをなくすことができる。また、酸素イオン伝導体に欠損を生じにくくさせたことは、酸素イオン伝導体薄膜にて仕切られた2つの空間の一方を、1×10−35atmという極低酸素分圧状態に制御することができる要因でもある。
また、本発明では、第1電極薄膜、0.01μmから1mmの厚さを有する酸素イオン伝導体薄膜、第2電極薄膜を、この順に積層するとともに、酸素イオン伝導体薄膜にて仕切られた二つの空間の酸素分圧比の対数に比例して、酸素イオン伝導体薄膜両面の電極間に起電力が生じる機構を備え、さらに、起電力を検知する電圧計を備えて酸素分圧測定器を構成した。このため、酸素分圧の異なるガスが酸素イオン伝導体薄膜にて仕切られた2つの空間に存在した場合に、ネルンストの式に基づいて、酸素分圧比の対数に比例する起電力が酸素イオン伝導体薄膜両面の電極間に生じるので、この起電力を電圧計にて検知する酸素分圧測定器として適用することができる。
そして、上記酸素分圧測定器の作動時に、酸素イオン伝導体の薄膜の膜面と平行となる交流電流を、酸素イオン伝導体薄膜に流す構成にすれば、酸素イオン伝導体薄膜がジュール発熱する。この構成によって、酸素イオン伝導体が酸素イオン導電性を発揮するための600℃~700℃という従来必要だった外部からの高温環境が不要となってエネルギー的に有利となる。さらに、酸素イオン伝導体に大きな温度分布が発生しにくくなるので、その一部に欠損が生じるような恐れをなくすことができる。なお、上記機構が多孔質材料基板上に構成された場合にも、同様な効果を得ることができる。
図1は、本発明に係る酸素分圧制御装置を示す概略構成図である。
図2は、本発明に係る酸素分圧測定器を示す概略構成図である。
図3は、本発明に係る実施例3の酸素ポンプ1を従来例と対比させて説明した概略縦断面図である。
図2は、本発明に係る酸素分圧測定器を示す概略構成図である。
図3は、本発明に係る実施例3の酸素ポンプ1を従来例と対比させて説明した概略縦断面図である。
1・・・・酸素ポンプ
2・・・・酸素分圧センサー
3・・・・直流電源
4・・・・交流電源
5・・・・酸素分圧設定部
6・・・・電圧計
12,22・多孔質アルミナ基板(多孔質材料基板)
13,23・負極の白金電極薄膜(第1電極薄膜)
14,24・イットリア安定化ジルコニア膜(酸素イオン伝導体薄膜)
15,25・正極の白金電極薄膜(第2電極薄膜)
16・・・不活性ガス制御室
26・・・第1の空間
27・・・第2の空間
33・・・第1電極薄膜
34・・・イットリア安定化ジルコニア膜
35・・・第2電極薄膜
41・・・酸素ポンプ
43・・・第1電極薄膜
44・・・イットリア安定化ジルコニア膜
45・・・第2電極薄膜
2・・・・酸素分圧センサー
3・・・・直流電源
4・・・・交流電源
5・・・・酸素分圧設定部
6・・・・電圧計
12,22・多孔質アルミナ基板(多孔質材料基板)
13,23・負極の白金電極薄膜(第1電極薄膜)
14,24・イットリア安定化ジルコニア膜(酸素イオン伝導体薄膜)
15,25・正極の白金電極薄膜(第2電極薄膜)
16・・・不活性ガス制御室
26・・・第1の空間
27・・・第2の空間
33・・・第1電極薄膜
34・・・イットリア安定化ジルコニア膜
35・・・第2電極薄膜
41・・・酸素ポンプ
43・・・第1電極薄膜
44・・・イットリア安定化ジルコニア膜
45・・・第2電極薄膜
以下、本発明の実施形態について、図面を参照しながら説明する。
(実施の形態1)
図1は、本発明に係る酸素分圧制御装置を具体化した第1の実施の形態を示す概略構成図である。
図1において、本発明の第1の実施形態としての酸素分圧制御装置は、酸素ポンプ1と、直流電流を該酸素ポンプ1に供給する直流電源3と、交流電流を該酸素ポンプに供給する交流電源4とを備えている。
上記の酸素ポンプ1は、図1に示すように、多孔質材料基板としての多孔質アルミナ基板12上に、第1電極薄膜としての負極側の白金電極薄膜13と、酸素イオン伝導体薄膜としてのイットリア安定化ジルコニア薄膜14と、第2電極薄膜としての正極側の白金電極薄膜15とが、この順に積層されて構成されている。
上記の酸素ポンプ1は、所定の直流電圧を負極側の白金電極薄膜13と正極側の白金電極薄膜15に印加することにより、多孔質アルミナ基板12にて仕切られた2つの空間の一方の酸素分圧を1×10−35~1atmまでの範囲に制御するのに機能する。
上記の酸素ポンプ1の機能は、以下の原理によって発揮される。まず、白金電極薄膜13及び15の電極間に、直流電源3から所定の直流電圧VDC(例えば、0ボルト<VDC≦3ボルトの範囲)を印加して直流電流IDCを流す。直流電流IDCがイットリア安定化ジルコニア薄膜14を垂直方向に通電している状態において、不活性ガス制御室16内の酸素分子O2は、酸素イオンの状態でイットリア安定化ジルコニア薄膜14を通して負極の電極13から正極の白金電極薄膜15へ電場によって移動する。この酸素イオンは、正極の白金電極薄膜15にて再び酸素分子O2として外部(正極15側の空間)に排気される。このようにして、多孔質アルミナ基板12にて仕切られた2つの空間の一方である該基板12側の空間16内の酸素分圧を、1×10−35~1atmまでの範囲に制御できる。なお、本発明に係る酸素分圧制御装置の適用用途を鑑みれば、多孔質アルミナ基板12側の空間16の酸素分圧は、10−35~10−20atmの範囲に制御することが、より好ましい。
第1の実施の形態としての本発明に係る酸素分圧制御装置は、その作動時に、交流電源4が、イットリア安定化ジルコニア薄膜14の上表面に対して平行な方向に、交流電流IACを該薄膜14に供給する構成になっている。尚、交流電流IACが通電する方向は、直流電流IDCが通電する方向に対して垂直である。この構成によって、イットリア安定化ジルコニア薄膜14が、その作動時にジュール発熱するため、酸素イオン伝導性が良好に機能する600℃~700℃という高温を、該薄膜14の外側の周辺に作り出す構成を省略できる。
尚、図1に示すように、直流電源3が酸素ポンプ1に直流電流を供給する経路上に、酸素分圧設定部5を設けて、供給する直流電流の大きさ或いは電極13及び15間に印加する直流電圧を制御する構成にすることもできる。酸素分圧設定部5は、不活性ガス制御室16内の酸素分圧が所望の大きさになるように、酸素ポンプ1を作動させるための直流電流を供給、或いは電極13及び15間に直流電圧を印加する制御信号を直流電源3へ発信する。酸素分圧設定部5は、図1に示すように電極13及び15間に設けられる以外に、直流電源3と一体化された構造にすることができる。
上記の酸素ポンプ1を構成する酸素イオン伝導体薄膜であるイットリア安定化ジルコニア薄膜14は、絶縁破壊が生じない程度の厚さである0.01μmから1mm、例えば、0.1mmの厚さを有する酸素イオン伝導体薄膜として形成されている。上記薄膜14は、その厚さ方向の直流電流の電気抵抗が小さいので、第1の実施の形態を構成する酸素ポンプ1は、エネルギー効率が大幅に改善している。
また、酸素イオンの移動距離が短くなるので、酸素イオンを引き出すために有効な電界が大きくなり、酸素排気速度も改善する。酸素イオンを引き出す実効的な電界が大きくなったということは、2つの空間の一方を10−35atmの極低酸素分圧状態に制御できる要因でもある。さらに、交流電流IACを、イットリア安定化ジルコニア薄膜14内を該薄膜14の上表面に対して平行に通電することによって、該薄膜14自体をジュール発熱させているので、薄膜14内部に熱分布が生じにくい。従って、第1の実施の形態の構造は、薄膜14は歪みや欠損が生じにくくなり、多孔質材料基板にて仕切られた2つの空間の一方を、10−35atmの極低酸素分圧状態に制御する機能を確実にする。
なお、本発明における多孔質材料基板として、多孔質アルミナ基板12のほか、酸素分子が自由に負極側の白金電極薄膜13に接触可能な気孔率をもつ多孔質材料である限り、適宜採用することが可能である。また、同等の機能をもつ電極で代用することができれば、多孔質材料基板は不要となる。
また、酸素イオン伝導体薄膜は、イットリア安定化ジルコニア薄膜14のほか、例えば、BaおよびInを含む複合酸化物であって、この複合酸化物のBaの一部をLaで固溶置換したものをはじめ、Inの一部をGaで置換したもの、一般式{Ln1−xSrxGa1−(y+z)MgyCozO3、ただし、Ln=La,Ndの1種または2種、x=0.05~0.3、y=0~0.29、z=0.01~0.3、y+z=0.025~0.3}で示される酸化物を使用することができる。
或いは、上記酸化物以外に、上記の酸化イオン伝導体薄膜として、一般式{Ln(1−x)AxGa1−(y+z)B1yB2zO3−d、ただし、Ln=La,Ce,Pr,Nd,Smの1種または2種以上、A=Sr,Ca,Baの1種または2種以上、B1=Mg,Al,Inの1種または2種以上、B2=Co,Fe,Ni,Cuの1種または2種以上}で示される酸化物を使用することができる。
また、或いは、上記酸化物以外に、上記の酸化イオン伝導体薄膜として、一般式{Ln2−xMxGe1−yLyO5、ただし、Ln=La,Ce,Pr,Sm,Nd,Gd,Yd,Y,Sc、M=Li,Na,K,Rb,Ca,Sr,Baの1種もしくは2種以上、L=Mg,Al,Ga,In,Mn,Cr,Cu,Znの1種もしくは2種以上}で示される酸化物を使用することができる。
また、或いは、上記酸化物以外に、上記の酸化イオン伝導体薄膜として、一般式{La(1−x)SrxGa1−(y+z)MgyAl2O3、ただし、0<x≦0.2、0<y≦0.2、0<z<0.4}で示される酸化物を使用することができる。
また、或いは、上記酸化物以外に、上記の酸化イオン伝導体薄膜として、一般式{La(1−x)AxGa1−(y+z)B1yB2zO3、ただし、Ln=La,Ce,Pr,Sm,Ndの1種もしくは2種以上、A=Sr,Ca,Baの1種もしくは2種以上、B1=Mg,Al,Inの1種もしくは2種以上、B2=Co,Fe,Ni,Cuの1種もしくは2種以上、x=0.05~0.3、y=0~0.29、z=0.01~0.3、y+z=0.025~0.3}で示される酸化物を使用することができる。
上記した酸化物は、いずれも高い酸素イオン伝導率を示す材料である。従って、上記した酸化物の1種または2種以上を選択し、該選択された酸化物を絶縁破壊が生じない厚さに薄膜状に成形することによって、上記の酸素イオン伝導体薄膜及び酸素ポンプ1を作成することができる。
酸素イオン伝導体薄膜、例えば、イットリア安定化ジルコニア薄膜14における実施可能な膜厚の範囲は、0.01μm以上である。また、その膜厚の好ましい範囲は、0.1μmから1mmであり、最適なその膜厚の範囲は、0.1μmから0.1mmである。0.01μmよりも薄膜化すると、絶縁破壊が生じる恐れがあるため好ましくなく、1mmよりも厚くすると、イットリア安定化ジルコニア薄膜14の酸素イオン伝導性がジュール発熱によって低減され、エネルギー的な優位性が低減するため好ましくない。
第1電極薄膜13及び第2電極薄膜15は、白金のほか、例えば、ニッケル、ランタン・ストロンチウムマンガン酸化物等、電極として有用な物性を示す各種材料から形成することができる。これらの電極材料から少なくとも1種選択して、該選択された材料を、例えば、厚さ1μmの薄膜状に形成し、該形成された薄膜体を上記の第1電極薄膜及び第2電極薄膜として利用できる。なお、上記の白金電極薄膜13及び15は、短絡しないように直流電源3の負極側及び正極側にそれぞれ接続される。
ここで、上記酸素ポンプ1の作製方法を簡単に説明する。なお、この説明は例示であって、その他の製造方法により酸素ポンプ1を作製して本発明を構成してもよい。
第1の作製方法は、第1電極薄膜を積層し、さらに酸素イオン伝導体を配置したものを、切削技術を用いて薄くする方法である。このとき、酸素イオン伝導体の膜厚を、0.01μmから1mmにすればよい。そして、これに必要な部品を配置し、第2電極薄膜を積層して酸素ポンプを構成する。第1の方法の場合、多孔質材料基板は不要である。また、第1電極薄膜、第2電極薄膜のどちらを負極にしても構わない構成にすることができる。
第2の作製方法は、電極サポートセルを利用して作製する方法であり、コーティングによって酸素イオン伝導体の膜厚を0.01μmから1mmにする方法である。具体的には、まず、酸化ニッケルと酸素イオン伝導体との混合物を焼結し、母材となる多孔質材を作製する。そして、この多孔質材上に第1電極薄膜を積層し、該第1電極薄膜上に酸素イオン伝導体をコーティングして焼成する。次いで、焼成された酸素イオン伝導体上に、第2電極薄膜用の電極材料をコーティングした後に全体を焼成することによって、酸素ポンプを作製する。
(実施の形態2)
図2は、本発明に係る酸素分圧測定器を具体化した第2の実施の形態を示す概略構成図である。
第2の実施の形態としての本発明に係る酸素分圧測定器は、図2に示すように、上記酸素分圧制御装置における酸素ポンプ1と同じ構成の酸素分圧センサー2を備え、さらに、酸素イオン伝導体薄膜で生じる起電力Efを検知する電圧計6を備えて構成されている。
起電力Efは、ネルンストの式に従って、多孔質アルミナ基板22にて仕切られた二つの空間の酸素分圧比の対数に比例して、イットリア安定化ジルコニア薄膜24両面の白金電極薄膜23,25間に生じる。この起電力Efを電圧計6にて検知し、検知した起電力Efを酸素分圧に換算することによって、第1の空間26に存在する被測定ガスの酸素分圧を測定することができる。なお、酸素分圧センサー2においては、酸素分圧制御装置における酸素ポンプ1と異なり、電圧をかけることがないので、絶縁破壊を考慮せずに構成することが可能であることに留意する。
第2の実施の形態の酸素分圧測定器も、第1の実施の形態の酸素分圧制御装置と同様に、その作動時に、イットリア安定化ジルコニア薄膜24の上表面に対して平行な方向へ交流電流IACを該薄膜24へ供給する構造を有する。この構造によって、該薄膜24をジュール発熱させることができるので、酸素イオン伝導性が良好に機能する600℃~700℃という高温をイットリア安定化ジルコニア薄膜4の周辺環境に作り出す構造を省略できる。
(実施の形態1)
図1は、本発明に係る酸素分圧制御装置を具体化した第1の実施の形態を示す概略構成図である。
図1において、本発明の第1の実施形態としての酸素分圧制御装置は、酸素ポンプ1と、直流電流を該酸素ポンプ1に供給する直流電源3と、交流電流を該酸素ポンプに供給する交流電源4とを備えている。
上記の酸素ポンプ1は、図1に示すように、多孔質材料基板としての多孔質アルミナ基板12上に、第1電極薄膜としての負極側の白金電極薄膜13と、酸素イオン伝導体薄膜としてのイットリア安定化ジルコニア薄膜14と、第2電極薄膜としての正極側の白金電極薄膜15とが、この順に積層されて構成されている。
上記の酸素ポンプ1は、所定の直流電圧を負極側の白金電極薄膜13と正極側の白金電極薄膜15に印加することにより、多孔質アルミナ基板12にて仕切られた2つの空間の一方の酸素分圧を1×10−35~1atmまでの範囲に制御するのに機能する。
上記の酸素ポンプ1の機能は、以下の原理によって発揮される。まず、白金電極薄膜13及び15の電極間に、直流電源3から所定の直流電圧VDC(例えば、0ボルト<VDC≦3ボルトの範囲)を印加して直流電流IDCを流す。直流電流IDCがイットリア安定化ジルコニア薄膜14を垂直方向に通電している状態において、不活性ガス制御室16内の酸素分子O2は、酸素イオンの状態でイットリア安定化ジルコニア薄膜14を通して負極の電極13から正極の白金電極薄膜15へ電場によって移動する。この酸素イオンは、正極の白金電極薄膜15にて再び酸素分子O2として外部(正極15側の空間)に排気される。このようにして、多孔質アルミナ基板12にて仕切られた2つの空間の一方である該基板12側の空間16内の酸素分圧を、1×10−35~1atmまでの範囲に制御できる。なお、本発明に係る酸素分圧制御装置の適用用途を鑑みれば、多孔質アルミナ基板12側の空間16の酸素分圧は、10−35~10−20atmの範囲に制御することが、より好ましい。
第1の実施の形態としての本発明に係る酸素分圧制御装置は、その作動時に、交流電源4が、イットリア安定化ジルコニア薄膜14の上表面に対して平行な方向に、交流電流IACを該薄膜14に供給する構成になっている。尚、交流電流IACが通電する方向は、直流電流IDCが通電する方向に対して垂直である。この構成によって、イットリア安定化ジルコニア薄膜14が、その作動時にジュール発熱するため、酸素イオン伝導性が良好に機能する600℃~700℃という高温を、該薄膜14の外側の周辺に作り出す構成を省略できる。
尚、図1に示すように、直流電源3が酸素ポンプ1に直流電流を供給する経路上に、酸素分圧設定部5を設けて、供給する直流電流の大きさ或いは電極13及び15間に印加する直流電圧を制御する構成にすることもできる。酸素分圧設定部5は、不活性ガス制御室16内の酸素分圧が所望の大きさになるように、酸素ポンプ1を作動させるための直流電流を供給、或いは電極13及び15間に直流電圧を印加する制御信号を直流電源3へ発信する。酸素分圧設定部5は、図1に示すように電極13及び15間に設けられる以外に、直流電源3と一体化された構造にすることができる。
上記の酸素ポンプ1を構成する酸素イオン伝導体薄膜であるイットリア安定化ジルコニア薄膜14は、絶縁破壊が生じない程度の厚さである0.01μmから1mm、例えば、0.1mmの厚さを有する酸素イオン伝導体薄膜として形成されている。上記薄膜14は、その厚さ方向の直流電流の電気抵抗が小さいので、第1の実施の形態を構成する酸素ポンプ1は、エネルギー効率が大幅に改善している。
また、酸素イオンの移動距離が短くなるので、酸素イオンを引き出すために有効な電界が大きくなり、酸素排気速度も改善する。酸素イオンを引き出す実効的な電界が大きくなったということは、2つの空間の一方を10−35atmの極低酸素分圧状態に制御できる要因でもある。さらに、交流電流IACを、イットリア安定化ジルコニア薄膜14内を該薄膜14の上表面に対して平行に通電することによって、該薄膜14自体をジュール発熱させているので、薄膜14内部に熱分布が生じにくい。従って、第1の実施の形態の構造は、薄膜14は歪みや欠損が生じにくくなり、多孔質材料基板にて仕切られた2つの空間の一方を、10−35atmの極低酸素分圧状態に制御する機能を確実にする。
なお、本発明における多孔質材料基板として、多孔質アルミナ基板12のほか、酸素分子が自由に負極側の白金電極薄膜13に接触可能な気孔率をもつ多孔質材料である限り、適宜採用することが可能である。また、同等の機能をもつ電極で代用することができれば、多孔質材料基板は不要となる。
また、酸素イオン伝導体薄膜は、イットリア安定化ジルコニア薄膜14のほか、例えば、BaおよびInを含む複合酸化物であって、この複合酸化物のBaの一部をLaで固溶置換したものをはじめ、Inの一部をGaで置換したもの、一般式{Ln1−xSrxGa1−(y+z)MgyCozO3、ただし、Ln=La,Ndの1種または2種、x=0.05~0.3、y=0~0.29、z=0.01~0.3、y+z=0.025~0.3}で示される酸化物を使用することができる。
或いは、上記酸化物以外に、上記の酸化イオン伝導体薄膜として、一般式{Ln(1−x)AxGa1−(y+z)B1yB2zO3−d、ただし、Ln=La,Ce,Pr,Nd,Smの1種または2種以上、A=Sr,Ca,Baの1種または2種以上、B1=Mg,Al,Inの1種または2種以上、B2=Co,Fe,Ni,Cuの1種または2種以上}で示される酸化物を使用することができる。
また、或いは、上記酸化物以外に、上記の酸化イオン伝導体薄膜として、一般式{Ln2−xMxGe1−yLyO5、ただし、Ln=La,Ce,Pr,Sm,Nd,Gd,Yd,Y,Sc、M=Li,Na,K,Rb,Ca,Sr,Baの1種もしくは2種以上、L=Mg,Al,Ga,In,Mn,Cr,Cu,Znの1種もしくは2種以上}で示される酸化物を使用することができる。
また、或いは、上記酸化物以外に、上記の酸化イオン伝導体薄膜として、一般式{La(1−x)SrxGa1−(y+z)MgyAl2O3、ただし、0<x≦0.2、0<y≦0.2、0<z<0.4}で示される酸化物を使用することができる。
また、或いは、上記酸化物以外に、上記の酸化イオン伝導体薄膜として、一般式{La(1−x)AxGa1−(y+z)B1yB2zO3、ただし、Ln=La,Ce,Pr,Sm,Ndの1種もしくは2種以上、A=Sr,Ca,Baの1種もしくは2種以上、B1=Mg,Al,Inの1種もしくは2種以上、B2=Co,Fe,Ni,Cuの1種もしくは2種以上、x=0.05~0.3、y=0~0.29、z=0.01~0.3、y+z=0.025~0.3}で示される酸化物を使用することができる。
上記した酸化物は、いずれも高い酸素イオン伝導率を示す材料である。従って、上記した酸化物の1種または2種以上を選択し、該選択された酸化物を絶縁破壊が生じない厚さに薄膜状に成形することによって、上記の酸素イオン伝導体薄膜及び酸素ポンプ1を作成することができる。
酸素イオン伝導体薄膜、例えば、イットリア安定化ジルコニア薄膜14における実施可能な膜厚の範囲は、0.01μm以上である。また、その膜厚の好ましい範囲は、0.1μmから1mmであり、最適なその膜厚の範囲は、0.1μmから0.1mmである。0.01μmよりも薄膜化すると、絶縁破壊が生じる恐れがあるため好ましくなく、1mmよりも厚くすると、イットリア安定化ジルコニア薄膜14の酸素イオン伝導性がジュール発熱によって低減され、エネルギー的な優位性が低減するため好ましくない。
第1電極薄膜13及び第2電極薄膜15は、白金のほか、例えば、ニッケル、ランタン・ストロンチウムマンガン酸化物等、電極として有用な物性を示す各種材料から形成することができる。これらの電極材料から少なくとも1種選択して、該選択された材料を、例えば、厚さ1μmの薄膜状に形成し、該形成された薄膜体を上記の第1電極薄膜及び第2電極薄膜として利用できる。なお、上記の白金電極薄膜13及び15は、短絡しないように直流電源3の負極側及び正極側にそれぞれ接続される。
ここで、上記酸素ポンプ1の作製方法を簡単に説明する。なお、この説明は例示であって、その他の製造方法により酸素ポンプ1を作製して本発明を構成してもよい。
第1の作製方法は、第1電極薄膜を積層し、さらに酸素イオン伝導体を配置したものを、切削技術を用いて薄くする方法である。このとき、酸素イオン伝導体の膜厚を、0.01μmから1mmにすればよい。そして、これに必要な部品を配置し、第2電極薄膜を積層して酸素ポンプを構成する。第1の方法の場合、多孔質材料基板は不要である。また、第1電極薄膜、第2電極薄膜のどちらを負極にしても構わない構成にすることができる。
第2の作製方法は、電極サポートセルを利用して作製する方法であり、コーティングによって酸素イオン伝導体の膜厚を0.01μmから1mmにする方法である。具体的には、まず、酸化ニッケルと酸素イオン伝導体との混合物を焼結し、母材となる多孔質材を作製する。そして、この多孔質材上に第1電極薄膜を積層し、該第1電極薄膜上に酸素イオン伝導体をコーティングして焼成する。次いで、焼成された酸素イオン伝導体上に、第2電極薄膜用の電極材料をコーティングした後に全体を焼成することによって、酸素ポンプを作製する。
(実施の形態2)
図2は、本発明に係る酸素分圧測定器を具体化した第2の実施の形態を示す概略構成図である。
第2の実施の形態としての本発明に係る酸素分圧測定器は、図2に示すように、上記酸素分圧制御装置における酸素ポンプ1と同じ構成の酸素分圧センサー2を備え、さらに、酸素イオン伝導体薄膜で生じる起電力Efを検知する電圧計6を備えて構成されている。
起電力Efは、ネルンストの式に従って、多孔質アルミナ基板22にて仕切られた二つの空間の酸素分圧比の対数に比例して、イットリア安定化ジルコニア薄膜24両面の白金電極薄膜23,25間に生じる。この起電力Efを電圧計6にて検知し、検知した起電力Efを酸素分圧に換算することによって、第1の空間26に存在する被測定ガスの酸素分圧を測定することができる。なお、酸素分圧センサー2においては、酸素分圧制御装置における酸素ポンプ1と異なり、電圧をかけることがないので、絶縁破壊を考慮せずに構成することが可能であることに留意する。
第2の実施の形態の酸素分圧測定器も、第1の実施の形態の酸素分圧制御装置と同様に、その作動時に、イットリア安定化ジルコニア薄膜24の上表面に対して平行な方向へ交流電流IACを該薄膜24へ供給する構造を有する。この構造によって、該薄膜24をジュール発熱させることができるので、酸素イオン伝導性が良好に機能する600℃~700℃という高温をイットリア安定化ジルコニア薄膜4の周辺環境に作り出す構造を省略できる。
[実施例1]
以下、図面を参照しつつ、本発明に係る酸素分圧制御装置の実施形態を更に詳細に説明する。実施例1の酸素分圧制御装置は、外部との境界に酸素ポンプ1を備えさせた不活性ガス制御室16と、所望の酸素分圧が設定されると制御信号を発信し、酸素ポンプ1を作動させる酸素分圧設定部5と、を備えている。
まず、所定の電流値とした交流電流IACをイットリア安定化ジルコニア薄膜14の膜面と平行に流すスイッチをオンし、イットリア安定化ジルコニア薄膜14にジュール発熱させる。これと併行して、不活性ガスを、酸素ポンプ1を備える不活性ガス制御室16内に供給する。酸素分圧設定部5は、所望の酸素分圧、例えば、10−35atmの酸素分圧が設定されており、該設定値に基づく所定の制御信号を、酸素分圧設定部5から不活性ガス制御室16の酸素ポンプ1に送る。
制御信号によって白金電極薄膜13、15の電極間に、最大直流電圧3ボルトで印加された直流電源3からの電流IDCが流れる。電流IDCによって、不活性ガス制御室16内の不活性ガス中の酸素分子O2は、イットリア安定化ジルコニア薄膜14によって電気的にイオン化して第2電極薄膜である正極の白金電極薄膜15側に移動する。そして、酸素イオンは、再び酸素分子O2の状態として、外部(酸素ポンプ1における正極の白金電極薄膜15側の空間)に排気される。
そして最終的に、不活性ガス制御室16内の不活性ガスの酸素分圧が、酸素分圧設定部5に設定された10−35atmになるまで、酸素ポンプ1を作動させる。
実施例1に係る酸素分圧制御装置は、多孔質アルミナ基板12上に、負極であり、厚さ1μmである白金電極薄膜13と、0.1μmの厚さを有するイットリア安定化ジルコニア薄膜14と、正極であり、厚さ1μmである白金電極薄膜15とが、その順に積層されて構成された薄膜型の酸素ポンプ1を備えている。この酸素ポンプ1の白金薄膜13,15の電極間に、最大直流電圧3ボルトが印加されることにより、多孔質アルミナ基板12にて仕切られた2つの空間の一方の酸素分圧を10−35~1atmまでの範囲に制御することが可能になる。
特に、イットリア安定化ジルコニア薄膜14は、絶縁破壊されない程度の厚さに成形されているので、その厚さ方向の直流電流の電気抵抗は低減され、結果的にエネルギー効率を改善できる。さらに、イットリア安定化ジルコニア薄膜14が薄膜形状であるので、酸素イオンの移動距離が短くなり、酸素イオンを引き出す実効的な電界が大きくなって、酸素排気速度も改善する。
また、実施例1に係る酸素分圧制御装置の作動時には、酸素ポンプ1におけるイットリア安定化ジルコニア薄膜14の上表面に対して平行に、交流電流IACを該薄膜14に流すことで、該薄膜14をジュール発熱させて、酸素イオン伝導体として機能することを担保している。この構成によって、600℃~700℃という高温環境を、酸素ポンプ1と別個に外部から設置する必要がなくなり、エネルギー的に有利にすることができる。また、イットリア安定化ジルコニア薄膜14に熱分布を発生させないので、該薄膜14の一部に欠損が生じる恐れも解消することができる。
[実施例2]
次に、図面を参照しつつ、本発明に係る酸素分圧測定器の実施形態を更に詳細に説明する。実施例2の酸素分圧測定器は、実施例1の酸素分圧制御装置にて10−35atmの酸素分圧に制御された不活性ガス(酸素分圧被測定ガス)が、本発明に係る酸素分圧測定器のプロセス室に供給された場合の具体的な実施形態である。
実施例2の酸素分圧測定器におけるプロセス室には、上記酸素分圧制御装置における酸素ポンプ1と同じ構成である酸素分圧センサー2が備えられ、この酸素分圧センサー2によって多孔質アルミナ基板22にて仕切られた二つの空間(第1の空間26及び第2の空間27)が設けられている。その一方の空間、すなわち、第2の空間27には、酸素分圧が既知の標準ガスが配置される。上記不活性ガスとしての酸素分圧被測定ガスが供給されるのは、多孔質アルミナ基板22によって仕切られたプロセス室の二つの空間のうちの他方の空間(第1の空間26)である。なお、プロセス室の二つの空間は、第2の空間27側に第2電極薄膜25が配置され、第1の空間26側に第1電極薄膜23が位置するように多孔質アルミナ基板22によって仕切られている。イットリア安定化ジルコニア薄膜24の一方の面及び他方の面に、白金電極薄膜23及び25がそれぞれ設けられている。
実施例2の酸素分圧測定器は、実施例1の酸素分圧制御装置と協働するように、更に、次のように構成することができる。
まず、実施例1に係る酸素ポンプ1によって10−35atmの酸素分圧に制御された酸素分圧被測定ガスを、プロセス室の第1の空間26内に供給する。第1の空間26内に供給された不活性ガスが10−35atmの酸素分圧に制御されていなかった場合、第2の空間27内に酸素分圧が既知の標準ガスが配置されているので、ネルンストの式に従った起電力Efが、白金電極薄膜23、25間に発生する。この起電力Efは、ネルンストの式に従って、多孔質アルミナ基板22にて仕切られた第1の空間26及び第2の空間27の酸素分圧比の対数に比例して電極薄膜23、25間に発生しており、電圧計6にてモニタされる。この構成によって、不活性ガスとしての酸素分圧被測定ガスが、実施例1における酸素分圧設定部5で設定したとおりの酸素分圧に制御されていたか否かを確認することができる。
不活性ガスが実施例1における酸素分圧設定部5で設定した酸素分圧に制御されていなかった場合、実施例2の酸素分圧測定器では、第2の制御信号として、「酸素分圧が設定通りになっていない」旨の信号が、実施例1の酸素分圧制御装置へ送られる。そうすると、実施例1の酸素分圧制御装置は、酸素分圧設定部5から不活性ガス制御室16の酸素ポンプ1に制御信号を出力し、白金電極薄膜13、15の電極間の電圧を調整する。すなわち、実施例1の酸素分圧制御装置は、不活性ガス制御室16から、実施例2に係る酸素分圧測定器のプロセス室へ送られる不活性ガスが、設定された酸素分圧になるようにフィードバック制御される。このようにして、実施例2に係る酸素分圧測定器のプロセス室に、酸素分圧が10−35atmに制御された不活性ガスが供給されるようになり、プロセス室の特に第1の空間にて、この不活性ガスの雰囲気下で目的とするプロセスが行われる。
このように、実施例2に係る酸素分圧測定器は、酸素分圧センサー2において、酸素分圧の異なるガスが多孔質アルミナ基板22にて仕切られた2つの空間に存在すると、ネルンストの式に従って、酸素分圧比の対数に比例する起電力Efがイットリア安定化ジルコニア薄膜24両面の白金電極薄膜23,25間に生じる。この起電力Efを電圧計6にて測定することによって、酸素分圧測定器として適用することができる。
[実施例3]
実施例3では、上記酸素ポンプ1の第2の作製方法を利用して、円筒形状の酸素ポンプを作製する手順を説明する。作製された円筒形状の酸素ポンプは、実施例1に係る酸素分圧制御装置を構成する酸素ポンプ1として、或いは実施例2の酸素分圧測定器を構成する酸素分圧センサー2として、利用することができる。
まず、イットリア安定化ジルコニアと酸化ニッケルとを重量比6:4で乾式混合した後、分散剤としてビニゾールDD72を外割重量比0.3%、水を外割重量比30%加え、ボールミル(樹脂ポット、YTZ(登録商標):直径10mm)で3時間混合する。さらに、石膏型を用いたドレインキャスティング法にて円筒形状に成形してから、シリコンカーバイド発熱体の電気炉で仮焼して、母材となる多孔質材を作製する。なお、焼結の雰囲気は大気である。仮焼温度は、600~1200℃であり、800~1000℃とすれば母材の取り扱いやすさの観点で好ましい温度になる。また、仮焼時間は、30分前後である。このほか、母材への添加物として、酸化鉛、酸化銀等を適宜添加してもよい。母材の気孔率増加が見込めるからである。
次に、この多孔質材に第1電極薄膜33を積層し、イットリア安定化ジルコニア膜34を薄膜状にスラリーコーティングし、さらに1350℃にて焼成する。その後、正極側の電極材料として、例えば、ランタン・ストロンチウムマンガン酸化物を薄膜状にコーティングした後に焼成して、第2電極薄膜35を形成することによって、酸素ポンプ1を作製する。
上述のようにして酸素ポンプ1を構成すれば、図3に示すように、イットリア安定化ジルコニア膜34の膜厚は、およそ0.01μm~0.1mmの範囲(図3では、20μm)であって、従来例の酸素ポンプ41のイットリア安定化ジルコニア膜44に比べて薄く積層される。実施例3に係る酸素ポンプ1を構成するイットリア安定化ジルコニア膜34の膜厚は、実施例1に係る酸素ポンプ1のイットリア安定化ジルコニア薄膜14と同様に、電極薄膜33或いは35よりも格段に薄く形成することができる。
以上、本発明の実施形態及び実施例を詳述したが、本発明は上記実施形態或いは実施例に限定されるものではない。そして本発明は、特許請求の範囲に記載された事項を逸脱することがなければ、種々の設計変更を行うことが可能である。例えば、実施例3にて,円筒形状の酸素ポンプを成形する例を説明したが、不活性ガスを密閉することができる空間を有する形状であれば、適宜の形状の酸素ポンプ或いは酸素分圧センサーを構成することができる。
このほか、本発明に用いられる酸素ポンプ或いは酸素分圧センサーは、多孔質材料基板を省略して構成することも可能である。多孔質材料基板を省略した場合、第1電極薄膜、第2電極薄膜のどちらを負極にしても構わない。尚、この場合、上記実施形態と異なり、第2電極薄膜を負極として利用できる構成となる。
図3は、実施例3の酸素ポンプ1から多孔質材料基板が省略された構造と、多孔質材料基板が省略された構造の従来例の酸素ポンプ41を示す。従来例の酸素ポンプ41は、イットリア安定化ジルコニア膜44が第1電極薄膜43及び第2電極薄膜45に比べて厚くなるように構成されている。これに対して、実施例3の酸素ポンプ1を構成するイットリア安定化ジルコニア膜34は、電極薄膜33或いは35よりも格段に薄く形成される。
以下、図面を参照しつつ、本発明に係る酸素分圧制御装置の実施形態を更に詳細に説明する。実施例1の酸素分圧制御装置は、外部との境界に酸素ポンプ1を備えさせた不活性ガス制御室16と、所望の酸素分圧が設定されると制御信号を発信し、酸素ポンプ1を作動させる酸素分圧設定部5と、を備えている。
まず、所定の電流値とした交流電流IACをイットリア安定化ジルコニア薄膜14の膜面と平行に流すスイッチをオンし、イットリア安定化ジルコニア薄膜14にジュール発熱させる。これと併行して、不活性ガスを、酸素ポンプ1を備える不活性ガス制御室16内に供給する。酸素分圧設定部5は、所望の酸素分圧、例えば、10−35atmの酸素分圧が設定されており、該設定値に基づく所定の制御信号を、酸素分圧設定部5から不活性ガス制御室16の酸素ポンプ1に送る。
制御信号によって白金電極薄膜13、15の電極間に、最大直流電圧3ボルトで印加された直流電源3からの電流IDCが流れる。電流IDCによって、不活性ガス制御室16内の不活性ガス中の酸素分子O2は、イットリア安定化ジルコニア薄膜14によって電気的にイオン化して第2電極薄膜である正極の白金電極薄膜15側に移動する。そして、酸素イオンは、再び酸素分子O2の状態として、外部(酸素ポンプ1における正極の白金電極薄膜15側の空間)に排気される。
そして最終的に、不活性ガス制御室16内の不活性ガスの酸素分圧が、酸素分圧設定部5に設定された10−35atmになるまで、酸素ポンプ1を作動させる。
実施例1に係る酸素分圧制御装置は、多孔質アルミナ基板12上に、負極であり、厚さ1μmである白金電極薄膜13と、0.1μmの厚さを有するイットリア安定化ジルコニア薄膜14と、正極であり、厚さ1μmである白金電極薄膜15とが、その順に積層されて構成された薄膜型の酸素ポンプ1を備えている。この酸素ポンプ1の白金薄膜13,15の電極間に、最大直流電圧3ボルトが印加されることにより、多孔質アルミナ基板12にて仕切られた2つの空間の一方の酸素分圧を10−35~1atmまでの範囲に制御することが可能になる。
特に、イットリア安定化ジルコニア薄膜14は、絶縁破壊されない程度の厚さに成形されているので、その厚さ方向の直流電流の電気抵抗は低減され、結果的にエネルギー効率を改善できる。さらに、イットリア安定化ジルコニア薄膜14が薄膜形状であるので、酸素イオンの移動距離が短くなり、酸素イオンを引き出す実効的な電界が大きくなって、酸素排気速度も改善する。
また、実施例1に係る酸素分圧制御装置の作動時には、酸素ポンプ1におけるイットリア安定化ジルコニア薄膜14の上表面に対して平行に、交流電流IACを該薄膜14に流すことで、該薄膜14をジュール発熱させて、酸素イオン伝導体として機能することを担保している。この構成によって、600℃~700℃という高温環境を、酸素ポンプ1と別個に外部から設置する必要がなくなり、エネルギー的に有利にすることができる。また、イットリア安定化ジルコニア薄膜14に熱分布を発生させないので、該薄膜14の一部に欠損が生じる恐れも解消することができる。
[実施例2]
次に、図面を参照しつつ、本発明に係る酸素分圧測定器の実施形態を更に詳細に説明する。実施例2の酸素分圧測定器は、実施例1の酸素分圧制御装置にて10−35atmの酸素分圧に制御された不活性ガス(酸素分圧被測定ガス)が、本発明に係る酸素分圧測定器のプロセス室に供給された場合の具体的な実施形態である。
実施例2の酸素分圧測定器におけるプロセス室には、上記酸素分圧制御装置における酸素ポンプ1と同じ構成である酸素分圧センサー2が備えられ、この酸素分圧センサー2によって多孔質アルミナ基板22にて仕切られた二つの空間(第1の空間26及び第2の空間27)が設けられている。その一方の空間、すなわち、第2の空間27には、酸素分圧が既知の標準ガスが配置される。上記不活性ガスとしての酸素分圧被測定ガスが供給されるのは、多孔質アルミナ基板22によって仕切られたプロセス室の二つの空間のうちの他方の空間(第1の空間26)である。なお、プロセス室の二つの空間は、第2の空間27側に第2電極薄膜25が配置され、第1の空間26側に第1電極薄膜23が位置するように多孔質アルミナ基板22によって仕切られている。イットリア安定化ジルコニア薄膜24の一方の面及び他方の面に、白金電極薄膜23及び25がそれぞれ設けられている。
実施例2の酸素分圧測定器は、実施例1の酸素分圧制御装置と協働するように、更に、次のように構成することができる。
まず、実施例1に係る酸素ポンプ1によって10−35atmの酸素分圧に制御された酸素分圧被測定ガスを、プロセス室の第1の空間26内に供給する。第1の空間26内に供給された不活性ガスが10−35atmの酸素分圧に制御されていなかった場合、第2の空間27内に酸素分圧が既知の標準ガスが配置されているので、ネルンストの式に従った起電力Efが、白金電極薄膜23、25間に発生する。この起電力Efは、ネルンストの式に従って、多孔質アルミナ基板22にて仕切られた第1の空間26及び第2の空間27の酸素分圧比の対数に比例して電極薄膜23、25間に発生しており、電圧計6にてモニタされる。この構成によって、不活性ガスとしての酸素分圧被測定ガスが、実施例1における酸素分圧設定部5で設定したとおりの酸素分圧に制御されていたか否かを確認することができる。
不活性ガスが実施例1における酸素分圧設定部5で設定した酸素分圧に制御されていなかった場合、実施例2の酸素分圧測定器では、第2の制御信号として、「酸素分圧が設定通りになっていない」旨の信号が、実施例1の酸素分圧制御装置へ送られる。そうすると、実施例1の酸素分圧制御装置は、酸素分圧設定部5から不活性ガス制御室16の酸素ポンプ1に制御信号を出力し、白金電極薄膜13、15の電極間の電圧を調整する。すなわち、実施例1の酸素分圧制御装置は、不活性ガス制御室16から、実施例2に係る酸素分圧測定器のプロセス室へ送られる不活性ガスが、設定された酸素分圧になるようにフィードバック制御される。このようにして、実施例2に係る酸素分圧測定器のプロセス室に、酸素分圧が10−35atmに制御された不活性ガスが供給されるようになり、プロセス室の特に第1の空間にて、この不活性ガスの雰囲気下で目的とするプロセスが行われる。
このように、実施例2に係る酸素分圧測定器は、酸素分圧センサー2において、酸素分圧の異なるガスが多孔質アルミナ基板22にて仕切られた2つの空間に存在すると、ネルンストの式に従って、酸素分圧比の対数に比例する起電力Efがイットリア安定化ジルコニア薄膜24両面の白金電極薄膜23,25間に生じる。この起電力Efを電圧計6にて測定することによって、酸素分圧測定器として適用することができる。
[実施例3]
実施例3では、上記酸素ポンプ1の第2の作製方法を利用して、円筒形状の酸素ポンプを作製する手順を説明する。作製された円筒形状の酸素ポンプは、実施例1に係る酸素分圧制御装置を構成する酸素ポンプ1として、或いは実施例2の酸素分圧測定器を構成する酸素分圧センサー2として、利用することができる。
まず、イットリア安定化ジルコニアと酸化ニッケルとを重量比6:4で乾式混合した後、分散剤としてビニゾールDD72を外割重量比0.3%、水を外割重量比30%加え、ボールミル(樹脂ポット、YTZ(登録商標):直径10mm)で3時間混合する。さらに、石膏型を用いたドレインキャスティング法にて円筒形状に成形してから、シリコンカーバイド発熱体の電気炉で仮焼して、母材となる多孔質材を作製する。なお、焼結の雰囲気は大気である。仮焼温度は、600~1200℃であり、800~1000℃とすれば母材の取り扱いやすさの観点で好ましい温度になる。また、仮焼時間は、30分前後である。このほか、母材への添加物として、酸化鉛、酸化銀等を適宜添加してもよい。母材の気孔率増加が見込めるからである。
次に、この多孔質材に第1電極薄膜33を積層し、イットリア安定化ジルコニア膜34を薄膜状にスラリーコーティングし、さらに1350℃にて焼成する。その後、正極側の電極材料として、例えば、ランタン・ストロンチウムマンガン酸化物を薄膜状にコーティングした後に焼成して、第2電極薄膜35を形成することによって、酸素ポンプ1を作製する。
上述のようにして酸素ポンプ1を構成すれば、図3に示すように、イットリア安定化ジルコニア膜34の膜厚は、およそ0.01μm~0.1mmの範囲(図3では、20μm)であって、従来例の酸素ポンプ41のイットリア安定化ジルコニア膜44に比べて薄く積層される。実施例3に係る酸素ポンプ1を構成するイットリア安定化ジルコニア膜34の膜厚は、実施例1に係る酸素ポンプ1のイットリア安定化ジルコニア薄膜14と同様に、電極薄膜33或いは35よりも格段に薄く形成することができる。
以上、本発明の実施形態及び実施例を詳述したが、本発明は上記実施形態或いは実施例に限定されるものではない。そして本発明は、特許請求の範囲に記載された事項を逸脱することがなければ、種々の設計変更を行うことが可能である。例えば、実施例3にて,円筒形状の酸素ポンプを成形する例を説明したが、不活性ガスを密閉することができる空間を有する形状であれば、適宜の形状の酸素ポンプ或いは酸素分圧センサーを構成することができる。
このほか、本発明に用いられる酸素ポンプ或いは酸素分圧センサーは、多孔質材料基板を省略して構成することも可能である。多孔質材料基板を省略した場合、第1電極薄膜、第2電極薄膜のどちらを負極にしても構わない。尚、この場合、上記実施形態と異なり、第2電極薄膜を負極として利用できる構成となる。
図3は、実施例3の酸素ポンプ1から多孔質材料基板が省略された構造と、多孔質材料基板が省略された構造の従来例の酸素ポンプ41を示す。従来例の酸素ポンプ41は、イットリア安定化ジルコニア膜44が第1電極薄膜43及び第2電極薄膜45に比べて厚くなるように構成されている。これに対して、実施例3の酸素ポンプ1を構成するイットリア安定化ジルコニア膜34は、電極薄膜33或いは35よりも格段に薄く形成される。
本発明に係る酸素分圧制御装置は、酸素ポンプにより、多孔質材料基板にて仕切られた2つの空間の一方の酸素分圧を10−35~1atmまでの範囲に制御しつつ、酸素イオン伝導体の抵抗を十分に小さくすることができ、エネルギー効率を改善することができて、酸素排気速度も改善することができる。
また、本発明に係る酸素分圧測定器は、酸素分圧センサーにより、多孔質材料基板にて仕切られた2つの空間の酸素分圧比の対数に比例して起電力を生じ、これを電圧計にて検知することができる。このため、一般的な還元作用を利用することが必要なプロセス全般、特に、アルミニウム、鉄等の規模の大きな精錬プロセスまたは酸化されやすい金属同士の接合プロセス等に適用することができる。さらに、新物質の開発等に適用することも可能である。
例えば、当該装置を3つ、具体的には、本発明に係る酸素分圧制御装置の酸素ポンプを1つと、この装置へ不活性ガスを導入する導入口および排出する排出口にそれぞれ、本発明に係る酸素分圧測定器の酸素分圧センサーを1つずつ配置する。この構成によって、エネルギー効率の改善、酸素排気速度の改善及び酸素分圧センサーを外部から加温する装置の省略という各種の効果を得ながら不活性ガスの常時測定をしつつ、アルミニウム、鉄等の規模の大きな精錬プロセスまたは酸化されやすい金属同士の接合プロセス等を実行することができる。
また、本発明に係る酸素分圧測定器は、酸素分圧センサーにより、多孔質材料基板にて仕切られた2つの空間の酸素分圧比の対数に比例して起電力を生じ、これを電圧計にて検知することができる。このため、一般的な還元作用を利用することが必要なプロセス全般、特に、アルミニウム、鉄等の規模の大きな精錬プロセスまたは酸化されやすい金属同士の接合プロセス等に適用することができる。さらに、新物質の開発等に適用することも可能である。
例えば、当該装置を3つ、具体的には、本発明に係る酸素分圧制御装置の酸素ポンプを1つと、この装置へ不活性ガスを導入する導入口および排出する排出口にそれぞれ、本発明に係る酸素分圧測定器の酸素分圧センサーを1つずつ配置する。この構成によって、エネルギー効率の改善、酸素排気速度の改善及び酸素分圧センサーを外部から加温する装置の省略という各種の効果を得ながら不活性ガスの常時測定をしつつ、アルミニウム、鉄等の規模の大きな精錬プロセスまたは酸化されやすい金属同士の接合プロセス等を実行することができる。
Claims (6)
- 第1電極薄膜と、0.01μmから1mmの厚さを有する酸素イオン伝導体薄膜と、第2電極薄膜とが、この順に積層されて構成された酸素ポンプと、所定の直流電圧を前記第1電極薄膜と前記第2電極薄膜に印加する直流電源とを備え、
前記酸素ポンプは、前記酸素イオン伝導体薄膜にて仕切られた二つの空間の一方の酸素分圧を1×10−35~1atmまでの範囲に制御することを特徴とする、
酸素分圧制御装置。 - 前記酸素イオン伝導体薄膜の膜面と平行となる交流電流を、前記酸素イオン伝導体薄膜に流す交流電源を備えたことを特徴とする、
請求項1に記載の酸素分圧制御装置。 - 前記酸素ポンプは、多孔質材料基板上に構成されたことを特徴とする、
請求項1または請求項2に記載の酸素分圧制御装置。 - 第1電極薄膜と、0.01μmから1mmの厚さを有する酸素イオン伝導体薄膜と、第2電極薄膜とが、この順に積層されて構成された酸素ポンプと、前記第1電極及び第2電極間の前記起電力を検知する電圧計を備えたことを特徴とする、
酸素分圧測定器。 - 前記酸素イオン伝導体薄膜の膜面と平行となる交流電流を、前記酸素イオン伝導体薄膜に流す交流電源を備えたことを特徴とする、
ことを特徴とする請求項4に記載の酸素分圧測定器。 - 前記機構は、多孔質材料基板上に構成されたことを特徴とする、
請求項4または請求項5に記載の酸素分圧測定器。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
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Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2010-096324 | 2010-04-19 | ||
JP2010096324 | 2010-04-19 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
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WO2011132791A1 true WO2011132791A1 (ja) | 2011-10-27 |
Family
ID=44834305
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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PCT/JP2011/060001 WO2011132791A1 (ja) | 2010-04-19 | 2011-04-19 | 酸素分圧制御装置および酸素分圧測定器 |
Country Status (2)
Country | Link |
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JP (1) | JP5424286B2 (ja) |
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-
2011
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JP5424286B2 (ja) | 2014-02-26 |
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