WO2005054802A1 - 静電結合を用いる圧力検出装置 - Google Patents

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pressure
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detecting device
detection device
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PCT/JP2004/016391
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Yasuji Ogawa
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Xiroku, Inc.
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    • G01L1/14—Measuring force or stress, in general by measuring variations in capacitance or inductance of electrical elements, e.g. by measuring variations of frequency of electrical oscillators
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Definitions

  • the present invention relates to a pressure detection device, and more particularly, to a pressure detection device that uses electrostatic coupling differentially.
  • Japanese Patent Application Laid-Open No. Sho 62-226030 is one that uses electrostatic coupling. This is to detect a change in capacitance between two electrodes.
  • Patent Document 1 Japanese Patent Application Laid-Open No. 62-226600
  • the present invention has been made in view of the above circumstances, and has as its object to provide a pressure detection device that can measure pressure with high accuracy, is resistant to noise, and uses differentially electrostatic coupling that can be used anywhere. It is.
  • a pressure detecting device using electrostatic coupling comprises: a first electrode; a second electrode provided so as to overlap the first electrode; A third electrode provided to overlap the second electrode, a first dielectric layer provided between the first electrode and the second electrode, and a third dielectric layer provided between the second electrode and the third electrode.
  • the driving unit applies a voltage to the first electrode and the third electrode, and a waveform of the voltage applied to the first electrode and a waveform of the voltage applied to the third electrode are inverted from each other.
  • a waveform, and the detection unit may detect a signal from the second electrode due to electrostatic coupling.
  • the detection unit may include a current amplifier whose input impedance is close to zero.
  • the drive unit may apply a voltage to the second electrode, and the detection unit may detect a difference between signals from the first electrode and the third electrode due to electrostatic coupling.
  • the detection unit has a differential amplifier, and the difference between the signals is detected by inputting signals from the first electrode and the third electrode to an input terminal of the differential amplifier. Just do it.
  • the first electrode may have flexibility, for example, may have a zigzag pattern.
  • each first electrode is connected in series in the X-axis direction
  • each second electrode is connected in series in the Y-axis direction.
  • the third electrodes may be connected in series in the X-axis direction so that the pressure distribution can be measured.
  • the pressure detection device using the electrostatic coupling of the present invention has an advantage that pressure and pressure distribution can be measured with high accuracy. Since it is also resistant to noise, the detection circuit is simple, so it can be manufactured at low cost.
  • FIG. 1 is a side sectional view for explaining the structure of a sensor portion of the pressure detecting device of the present invention. is there.
  • the sensor section has a laminated structure of a first electrode 1, a first dielectric layer 4, a second electrode 2, a second dielectric layer 5, and a third electrode 3 in this order.
  • the first electrode 1, the second electrode 2, and the third electrode 3 are provided so as to overlap each other.
  • the first dielectric layer 4 and the second dielectric layer 5 have different elastic moduli.
  • the second dielectric layer does not have a cushioning property like the first dielectric layer, but may be a hard spacer or the like.
  • the first dielectric layer is made of a dielectric material and is made of a flexible elastic material having excellent linearity and restorability.
  • a dielectric material for example, natural rubber or silicone rubber can be used for this.
  • the second electrode 2, the second dielectric layer 5, and the third electrode 3 are formed of a double-sided printed circuit board, the epoxy substrate is used as the dielectric layer, and the conductive foil layers on both sides are used as the second and third electrodes. It is possible. Therefore, in the sensor section, a silicon rubber sheet may be stuck on a double-sided printed circuit board, and a conductive foil layer serving as a first electrode may be stuck on the silicon rubber sheet.
  • FIG. 2 is a schematic diagram for explaining a connection configuration of a sensor unit capable of measuring a pressure distribution of the pressure detection device of the present invention, a drive unit, and a detection unit.
  • each layer is expanded so that the connection form of the electrode rows of each layer can be understood.
  • the sensor units are arranged in a matrix. That is, the first electrodes 1 are connected in series in the X-axis direction to form a first electrode row, and a plurality of these are arranged in parallel to the X-axis.
  • the second electrodes 2 are connected in series in a Y-axis direction orthogonal to the X-axis to form a second electrode row, and a plurality of these are arranged in parallel to the Y-axis.
  • the third electrodes 3 are connected in series in the X-axis direction to form a third electrode row, and a plurality of the third electrodes are arranged in parallel to the X-axis.
  • these electrode rows are formed by patterning the conductive foil layer on the substrate by etching or the like.
  • the first electrode is preferably flexible since the distance between the first electrode and the second electrode is desired to easily change with respect to pressure. For example, it may be made easy to bend by forming a thin film layer, or as shown in FIG. 3, an electrode row may be formed in a zigzag pattern.
  • the driving section includes an oscillator 10 and an inverting amplifier 11.
  • the output of the oscillator 10 is applied to the first electrode row. At this time, a voltage is applied to each row using the switch means 12.
  • the output of the oscillator 10 is also applied to the third electrode train via the inverting amplifier 11.
  • the output waveform of the oscillator 10 is inverted by the inverting amplifier 11.
  • the voltage is applied to the third electrode row for each row using the switch means 13.
  • the switch means 12 and the switch means 13 are linked, and simultaneously connect the oscillator to the electrode rows at the same position in the vertical direction. It is preferable that the electrode rows other than the electrode row to which the oscillator is connected are grounded so as not to affect other electrode rows.
  • the detection unit includes a current amplifier 14 and a synchronous detection unit 15.
  • the signal due to the electrostatic coupling from each second electrode row is directly input to the current amplifier 14 via the switch means 16, amplified, and then input to the synchronous detector 15.
  • a signal from the second electrode array may be amplified using a plurality of current amplifiers and then input to the synchronous detection unit via the switch unit 16.
  • a signal is directly input to one of the input terminals of the current amplifier 14, and the other is grounded.
  • the current amplifier 14 has an input impedance approaching zero, and a feedback resistor is provided at a terminal to which a signal is input from the output terminal of the current amplifier 14.
  • the signal from the oscillator 10 is also input to the synchronous detector 15.
  • the first electrode and the third electrode are driven by the oscillator 10.
  • One row of the electrode rows is selectively connected by the switch means 12 and the switch means 13.
  • the second electrode rows are sequentially connected one by one from the end using the switch means 16. All the rows of the second electrode row are connected sequentially
  • the switch means 12 and the switch means 13 are operated to connect the electrode rows next to the first electrode row and the third electrode row, and the second electrode row is sequentially turned on again using the switch means 16. Connect. By repeating this, signals from all the electrodes arranged in a matrix can be detected. While one of the second electrode rows is selected using the switch means 16, the first electrode row and the third electrode row are simultaneously used using the switch means 12 and 13, respectively.
  • the driving unit or the detecting unit may be sequentially connected to all the electrode rows.
  • the signal is amplified by 14 and detected by the synchronous detector 15 while synchronizing with the oscillator 10.
  • the object is placed on the first electrode, and the first electrode is bent to change the distance between the first electrode and the second electrode. Since the change in distance at this time can be detected by a signal from the second electrode row, it is possible to measure the pressure by arithmetically processing this signal.
  • they are arranged in a matrix, it is possible to know where the signal is changing, so that it is possible to measure the pressure distribution.
  • FIG. 4 is a schematic diagram for explaining a connection configuration of a sensor unit capable of measuring a pressure distribution of a pressure detection device according to a second embodiment of the present invention, a drive unit, and a detection unit. Note that, in FIG. 4, as in FIG. 2, each layer is expanded so that the connection form of the electrode rows in each layer can be understood. The difference from the first embodiment is that the drive unit is connected to the second electrode, and the detection unit is connected to the first and third electrodes.
  • the oscillator 10 of the driving section is connected to the second electrode row via the switch means 12.
  • the switch means 12 sequentially connects the second electrode row to the oscillator for each row. It is preferable that the electrode rows other than the electrode row to which the oscillator is connected be grounded so as not to affect other electrode rows.
  • the detection section includes a differential amplifier 20 and a synchronous detection section 15.
  • the signal output from the electrodes corresponding to the upper and lower electrodes in the first and third electrode rows is Input to the two input terminals of the loop 20 respectively.
  • From the differential amplifier 20 a signal corresponding to the difference between the signal due to the electrostatic coupling between the first and second electrode rows and the signal due to the electrostatic coupling between the second and third electrode rows is obtained. Is output. That is, since the change in the distance between the two electrodes at this time can be detected by taking the difference between the signals, the pressure can be measured by calculating the difference. Since the electrodes are arranged in a matrix, it is possible to determine where the signal is changing, so it is possible to measure the pressure distribution.
  • the pressure detecting device using the electrostatic coupling of the present invention is not limited to the above illustrated example, and various changes can be made without departing from the scope of the present invention. It is.
  • FIG. 1 is a side sectional view for explaining a structure of a sensor part of a pressure detecting device according to a first embodiment of the present invention.
  • FIG. 2 is a schematic diagram for explaining a connection configuration of a sensor unit capable of measuring a pressure distribution of a pressure detection device of the present invention, a driving unit, and a detection unit.
  • FIG. 3 is a view for explaining a pattern of an electrode row of a sensor section of the pressure detecting device of the present invention.
  • FIG. 4 is a schematic diagram for explaining a connection configuration of a sensor unit capable of measuring a pressure distribution, a drive unit, and a detection unit of a pressure detection device according to a second embodiment of the present invention. . Explanation of symbols
  • Switch Current amplifier
  • Synchronous detector Switch Differential amplifier

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Abstract

　高精度に圧力を測定でき、ノイズにも強くあらゆる場所で使用可能な静電結合を用いる圧力検出装置を提供する。 　圧力検出装置に用いられるセンサ部は、第１電極と、第１電極と重なるように設けられる第２電極と、第２電極と重なるように設けられる第３電極と、第１電極と第２電極との間に設けられる第１誘電体層と、第２電極と第３電極との間に設けられる、第１誘電体層とは弾性率の異なる第２誘電体層とからなる。駆動部により第１電極及び第３電極が駆動される。そして、検出部が、第２電極からの静電結合による信号から、第１電極と第３電極との間にかかる圧力を差動的に検出する。

Description

明 細 書
静電結合を用いる圧力検出装置
技術分野
[0001] 本発明は、 圧力検出装置に関し、 特に、 静電結合を差動的に用いる圧力検 出装置に関する。
背景技術
[0002] センサ部にかかる物体の圧力や変位量を測定するための装置は種々開発さ れている。 このうち、 静電結合を用いるものとしては、 特開昭 6 2- 2 2 6 0 3 0号公報が挙げられる。 これは、 2つの電極間の静電容量の変化を検出す るものである。
[0003] 特許文献 1 ：特開昭 6 2- 2 2 6 0 3 0号公報
発明の開示
発明が解決しょうとする課題
[0004] しかしながら、 このような 2つの電極間の静電容量の変化を検出して圧力 を測定するものは、 電極間の微小な静電容量を高精度に検出することは難し かった。 また、 ノイズにも弱く、 あらゆる場所で高精度に圧力を測定するの には限界があった。
[0005] 本発明は、 斯かる実情に鑑み、 高精度に圧力を測定でき、 ノイズにも強く あらゆる場所で使用可能な静電結合を差動的に用いる圧力検出装置を提供し ようとするものである。
課題を解決するための手段
[0006] 上述した本発明の目的を達成するために、 本発明による静電結合を用いる 圧力検出装置は、 第 1電極と、 前記第 1電極と重なるように設けられる第 2 電極と、 前記第 2電極と重なるように設けられる第 3電極と、 前記第 1電極 と第 2電極との間に設けられる第 1誘電体層と、 前記第 2電極と第 3電極と の間に設けられる、 前記第 1誘電体層とは弾性率の異なる第 2誘電体層と、 を有するセンサ部と、 前記第 1電極及び第 3電極に、 又は第 2電極に電圧を 印加する駆動部と、 前記駆動部によリ駆動された電極以外の電極からの静電 結合による信号から、 前記第 1電極と第 3電極との間にかかる圧力を検出す る検出部と、 を具備するものである。
[0007] ここで、 駆動部は、 前記第 1電極及び第 3電極に電圧を印加し、 前記第 1 電極に印加する電圧の波形と前記第 3電極に印加する電圧の波形とは互いに 反転した波形であり、 前記検出部は前記第 2電極からの静電結合による信号 を検出するものでも良い。
[0008] また、 検出部は、 入力インピーダンスを 0に近づけた電流アンプを有する ことも可能である。
[0009] さらに、 駆動部は前記第 2電極に電圧を印加し、 前記検出部は前記第 1電 極及び第 3電極からの静電結合による信号の差分を検出するものであっても 良い。
[0010] このとき、 検出部は差動アンプを有し、 前記信号の差分は、 前記差動アン プの入力端に前記第 1電極及び第 3電極からの信号をそれぞれ入力すること で検出されれば良い。
[0011 ] また、 第 1電極は、 可撓性を有し、 例えばジグザグ状のパターンを有する ようにしても良い。
[0012] さらに、 複数の前記センサ部をマトリックス状に配置し、 各第 1電極はそ れぞれ X軸方向に直列に接続され、 各第 2電極はそれぞれ Y軸方向に直列に 接続され、 各第 3電極はそれぞれ X軸方向に直列に接続されることで、 圧力 分布を測定可能に構成しても良い。
発明の効果
[0013] 本発明の静電結合を用いる圧力検出装置は、 圧力や圧力分布を高精度に測 定可能であるという利点がある。 ノイズにも強いため、 検出回路が簡単にな るので安価に製造可能でもある。
発明を実施するための最良の形態
[0014] 以下、 本発明を実施するための最良の形態を図示例と共に説明する。 図 1 は、 本発明の圧力検出装置のセンサ部分の構造を説明するための側断面図で ある。 なお、 図示例では圧力分布を測定するために複数のセンサ部をマトリ ックス状に配置した例を示すが、 本発明はこれに限定されず、 1つのセンサ 部で単に圧力を検出するだけの装置であっても構わない。 図示のとおり、 セ ンサ部は、 第 1電極 1と第 1誘電体層 4、 第 2電極 2、 第 2誘電体層 5、 第 3電極 3が順番に積層構造になっている。 第 1電極 1、 第 2電極 2、 第 3電 極 3は、 それぞれ重なるように設けられる。
[0015] 第 1誘電体層 4と第 2誘電体層 5は、 それぞれ弾性率の異なるものを用い る。 第 2誘電体層は、 第 1誘電体層のようにクッション性があるものではな く、 硬いスぺーサ等でも良い。 弾性率を異ならせることにより、 圧力が加わ つた際に第 1電極-第 2電極間と第 2電極-第 3電極間とで、 それぞれ間隔が 異なるようになるので、 差分をより検出しやすくなる。
[0016] 例えば第 1誘電体層は、 誘電体からなり線形性や復元性に優れる可撓性の ある弾性素材で構成される。 これには、 例えば天然ゴムやシリコンゴムを用 いることが可能である。 また、 第 2電極 2、 第 2誘電体層 5、 第 3電極 3は 、 両面プリント基板で構成し、 エポキシ基板を誘電体層とし、 両面の導体箔 層を第 2電極、 第 3電極として用いることが可能である。 したがって、 セン サ部は、 両面プリント基板の上に、 シリコンゴムシートを貼り付け、 そして さらにシリコンゴムシ一卜の上に第 1電極となる導体箔層を貼り付ければ良 い。
[0017] このようなセンサ部を用いた第 1実施例の圧力検出装置を図 2を用いて説 明する。 図 2は、 本発明の圧力検出装置の圧力分布を測定可能なセンサ部と 、 駆動部、 検出部の接続形態を説明するための模式的な図である。 なお、 図 2では、 各層の電極列の接続形態が分かるように、 各層を展開して示してい る。 まず、 センサ部をマトリックス状に配置する。 即ち、 第 1電極 1を、 X 軸方向に直列に接続して第 1電極列を構成し、 これを X軸に平行に複数並べ る。 第 2電極 2は、 X軸と直交する Y軸方向に直列に接続して第 2電極列を 構成し、 これを Y軸に平行に複数並べる。 さらに、 第 3電極 3は、 X軸方向 に直列に接続して第 3電極列を構成し、 これを X軸に平行に複数並べる。 具 体的には基板上の導体箔層をエッチング等によりパターンニングしてこれら の電極列を形成する。 なお、 第 1電極は、 第 2電極との間の距離が圧力に対 して変化しやすいことが望まれるため、 可撓性を有することが好ましい。 例 えば薄膜層で構成することで撓みやすくしても良いし、 図 3に示すように、 電極列をジグザク状のパターンで形成するようにしても良い。
[0018] 駆動部は、 発振器 1 0と反転アンプ 1 1とからなる。 発振器 1 0の出力を 第 1電極列に印加する。 このとき、 スィッチ手段 1 2を用いて 1列ごとに電 圧を印加する。 また、 発振器 1 0の出力は、 反転アンプ 1 1を介して第 3電 極列にも印加される。 反転アンプ 1 1により、 発振器 1 0の出力波形は位相 が反転する。 そして、 第 3電極列への電圧の印加も、 スィッチ手段 1 3を用 いて 1列ごとに印加する。 スィッチ手段 1 2とスィッチ手段 1 3は連動して おり、 上下方向で同じ位置にある電極列に同時に発振器を接続する。 なお、 発振器が接続された電極列以外の電極列は、 他の電極列に影響を及ぼさない ように、 接地されるように構成することが好ましい。
[0019] 検出部は、 電流アンプ 1 4と同期検波部 1 5からなる。 各第 2電極列から の静電結合による信号は、 スィッチ手段 1 6を介して直接電流アンプ 1 4に 入力され、 増幅された後同期検波部 1 5に入力される。 なお、 複数の電流ァ ンプを用いて第 2電極列からの信号をそれぞれ増幅してからスィッチ手段 1 6を介して同期検波部に入力しても良い。 電流アンプ 1 4の入力端子の一方 には信号が直接入力され、 他方は接地される。 また、 電流アンプ 1 4は、 入 力インピーダンスを 0に近づけたものであり、 電流アンプ 1 4の出力端から 信号が入力される端子に帰還抵抗が設けられる。 同期検波部 1 5には、 発振 器 1 0からの信号も入力される。
[0020] このように構成された圧力検出装置で圧力を測定する手順を以下に説明す る。 まず、 発振器 1 0により第 1電極及び第 3電極を駆動させる。 スィッチ 手段 1 2、 スィッチ手段 1 3により、 電極列の 1列を選択的に接続する。 こ のとき、 1列を選択した状態で、 スィッチ手段 1 6を用いて第 2電極列を端 から 1列ずつ順次接続していく。 第 2電極列のすべての列が順次接続し終わ ると、 スィッチ手段 1 2、 スィッチ手段 1 3を動作させ、 第 1電極列及び第 3電極列の次の電極列を接続するようにし、 再度スィッチ手段 1 6を用いて 第 2電極列を順次接続していく。 これを繰り返していくことで、 マトリック ス状に配置したすべての電極からの信号を検出することが可能となる。 なお 、 スィッチ手段 1 6を用いて第 2電極列のうちの 1列を選択した状態で、 ス ィツチ手段 1 2， 1 3を用いて第 1電極列及び第 3電極列をそれぞれ同時に
1列ずつ順次接続していくようにしても良い。 即ち、 すべての電極列に、 駆 動部又は検出部が順次接続されれば良い。
[0021 ] そして、 第 2電極列からの静電結合による信号が、 接続された電流アンプ
1 4で増幅され、 同期検波部 1 5で発振器 1 0との同期を取りながら、 信号 を検出する。 ここで、 物体が第 1電極上に置かれ、 第 1電極が撓んで第 2電 極との間の距離が変化したとする。 このときの距離の変化を第 2電極列から の信号により検出することが可能であるため、 この信号を演算処理すること で圧力を測定することが可能である。 また、 マトリックス状に配置してある ため、 どの位置で信号が変化しているかが分かるので、 圧力分布を測定する ことも可能となる。
[0022] 次に、 本発明の圧力検出装置の第 2実施例を説明する。 図 4は、 本発明の 第 2実施例の圧力検出装置の圧力分布を測定可能なセンサ部と、 駆動部、 検 出部の接続形態を説明するための模式的な図である。 なお、 図 4では、 図 2 と同様に、 各層の電極列の接続形態が分かるように各層を展開して示してい る。 第 1実施例と異なる点は、 駆動部が第 2電極に接続され、 検出部が第 1 電極と第 3電極に接続されている点である。
[0023] 駆動部の発振器 1 0は、 スィッチ手段 1 2を介して第 2電極列に接続され る。 スィッチ手段 1 2は、 第 2電極列を、 1列ごとに順次発振器に接続する 。 なお、 発振器が接続された電極列以外の電極列は、 他の電極列に影響を及 ぼさないように、 接地されるように構成することが好ましい。
[0024] 検出部は、 差動アンプ 2 0と同期検波部 1 5からなる。 第 1電極列と第 3 電極列において上下で対応する位置にある電極からの信号出力が、 差動アン プ 2 0の 2つの入力端子にそれぞれ入力される。 差動アンプ 2 0からは、 第 1電極列と第 2電極列間の静電結合による信号と、 第 2電極列と第 3電極列 間の静電結合による信号との差分に対応する信号が出力される。 即ち、 この ときの両電極間の距離の変化はこの信号の差分を取ることで検出可能なため 、 この差分を演算処理することで圧力を測定することが可能となる。 電極は マトリックス状に配置してあるため、 どの位置で信号が変化しているかが分 かるので、 圧力分布を測定することも可能となる。
[0025] なお、 本発明の静電結合を用いる圧力検出装置は、 上述の図示例にのみ限 定されるものではなく、 本発明の要旨を逸脱しない範囲内において種々変更 を加え得ることは勿論である。
図面の簡単な説明
[0026] [図 1]図 1は、 本発明の第 1実施例の圧力検出装置のセンサ部分の構造を説明 するための側断面図である。
[図 2]図 2は、 本発明の圧力検出装置の圧力分布が測定可能なセンサ部と、 駆 動部、 検出部の接続形態を説明するための模式的な図である。
[図 3]図 3は、 本発明の圧力検出装置のセンサ部の電極列のパターンを説明す るため図である。
[図 4]図 4は、 本発明の第 2実施例の圧力検出装置の圧力分布が測定可能なセ ンサ部と、 駆動部、 検出部の接続形態を説明するための模式的な図である。 符号の説明
[0027] 1 第 1電極
2 第 2電極
3 第 3電極
4 第 1誘電体層
5 第 2誘電体層
1 0 発振器
1 1 反転アンプ
1 2 1 3 スィッチ手段 電流アンプ 同期検波部 スィッチ手段 差動アンプ

Claims

請求の範囲
[1] 静電結合を用いる圧力検出装置であって、 該圧力検出装置は、
第 1電極と、
前記第 1電極と重なるように設けられる第 2電極と、
前記第 2電極と重なるように設けられる第 3電極と、
前記第 1電極と第 2電極との間に設けられる第 1誘電体層と、 前記第 2電極と第 3電極との間に設けられる、 前記第 1誘電体層とは弾性 率の異なる第 2誘電体層と、
を有するセンサ部と、
前記第 1電極及び第 3電極に、 又は第 2電極に電圧を印加する駆動部と、 前記駆動部により駆動された電極以外の電極からの静電結合による信号か ら、 前記第 1電極と第 3電極との間にかかる圧力を検出する検出部と、 を具備することを特徴とする圧力検出装置。
[2] 請求項 1に記載の圧力検出装置において、 前記駆動部は、 前記第 1電極及 び第 3電極に電圧を印加し、 前記第 1電極に印加する電圧の波形と前記第 3 電極に印加する電圧の波形とは互いに反転した波形であり、 前記検出部は前 記第 2電極からの静電結合による信号を検出することを特徴とする圧力検出 装置。
[3] 請求項 2に記載の圧力検出装置において、 前記検出部は、 入力インピーダ ンスを 0に近づけた電流アンプを有することを特徴とする圧力検出装置。
[4] 請求項 1に記載の圧力検出装置において、 前記駆動部は前記第 2電極に電 圧を印加し、 前記検出部は前記第 1電極及び第 3電極からの静電結合による 信号の差分を検出することを特徴とする圧力検出装置。
[5] 請求項 4に記載の圧力検出装置において、 前記検出部は差動アンプを有し 、 前記信号の差分は、 前記差動アンプの入力端に前記第 1電極及び第 3電極 からの信号をそれぞれ入力することで検出されることを特徴とする圧力検出 装置。
[6] 請求項 1乃至請求項 5の何れかに記載の圧力検出装置において、 前記第 1 電極は、 可撓性を有することを特徴とする圧力検出装置。
[7] 請求項 1乃至請求項 6の何れかに記載の圧力検出装置において、 前記第 1 電極は、 ジグザグ状のパターンを有することを特徴とする圧力検出装置。
[8] 請求項 1乃至請求項 7の何れかに記載の圧力検出装置において、 複数の前 記センサ部をマ卜リックス状に配置し、 各第 1電極はそれぞれ X軸方向に直 列に接続され、 各第 2電極はそれぞれ X軸と直交する Y軸方向に直列に接続 され、 各第 3電極はそれぞれ X軸方向に直列に接続されることで、 圧力分布 を測定可能に構成されることを特徴とする圧力検出装置。
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