WO2002078012A3 - Verfahren und vorrichtung zur dekontamination einer fläche - Google Patents

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Abstract

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Dekontamination einer Flache, bei dem durch ein Bearbeitungswerkzeug (4) die Flache (F) bearbeitet wird, wobei das Bearbeitungswerkzeug (4) von einem Roboter (2) Über die zu bearbeitende Flache (F) gefuhrt wird. Erfindungsgemaß ist vorgesehen, daß ein Meßgerät sukzessive über ein zur zu dekontaminierenden Flache (F) korreiiertes Meßfeld bewegt wird, derart, daß das Meßgerat in einer ersten Meßsequenz über einen ersten Meßbereich des Meßfelds positioniert wird, daß ein vom Meßgerät erfaßter, den Kontaminationswert dieses ersten Meßbereichs reprasentierender Meßwert zusammen mit den Koordinaten des ersten Meßbereichs in einer Speicherenrichtung abgespeichert wird, daß in einer anschließenden Abfolge von n-1 Meßsequenzen das Meßgerät jeweils über einen der n-1 Meßbereiche positioniert wird, daß der jeweilige Meßwert zusammen mit den Koordinaten des ihm zugeordneten Meßbereichs in der Speichereinrichtung abgespeichert wird, daß in einem darauffolgenden Schritt jeder der n derart gewonnenen Meßwerte von der Steuereinrichtung daraufnin uberpruft wird, ober unterhalb einem vorgegebenen Grenzwert liegt, und daß das Bearbeitungswerkzeug (4) durch den Roboter (2) zu der oder denjenigen flachenbereichen der zu bearbeitenden Flache (F) bewegt wird, welche zu dem oder den Meßbereichen korreliert ist oder sind, welche einen über dem Grenzwert liegenden Meßwert aufweisen.
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