WO1999046848A1

WO1999046848A1 - Procede de fabrication de moteur lineaire, moteur lineaire, etage pourvu de ce moteur lineaire et systeme d'exposition

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Publication number: WO1999046848A1
Application number: PCT/JP1999/001115
Authority: WO
Inventors: Yutaka Hayashi; Keiichi Tanaka
Original assignee: Nikon Corporation
Priority date: 1998-03-13
Filing date: 1999-03-09
Publication date: 1999-09-16
Also published as: US6495934B1; EP1063756A1; AU3275699A; JP4399984B2; EP1063756A4

Description

明細書リニアモータ製造方法、リニアモータ、該リニアモータを備えたステージ装置、および露光装置技術分野

本発明は、例えば半導体製造工程で用いられる投影露光装置において、基板を保持するステージの駆動源等として用いるのに好適なリニアモータ製造方法、リニァモータ、該リニアモータを備えたステージ装置、および露光装置に関するものである。背景技術

半導体素子や液晶表示素子等のデバイスの製造工程において重要な位置を占めるフォトリソグラフイエ程では、フォトマスクまたはレチクル（以降、単に「レチクル」と称する）の回路パターンを、投影光学系を介し、感光剤を塗布したゥェハまたはガラスプレー卜等の基板上に投影露光し転写する投影露光装置が用いられている。近年、半導体集積回路の集積度が高まるにつれ、このような投影露光装置としては、基板を順次移動させつつ基板上の複数の露光領域にパターンを順次投影転写していくステップ ·アンド · リピート方式の縮小投影型露光装置、いわゆるステッパーが主流となっている。

このようなステッパーにおいては、基板を順次移動させつつ投影転写を行う度に、基板を精密に位置決めする必要があるため、基板を保持 ·移動 ·位置決めするステージが備えられている。ステージには、保持した基板を少なくとも 2方向に移動可能とする可動ステージが備えられ、この可動ステージの駆動源としては直動駆動機構が多用されている。

直動駆動機構には、回転型モータを用い回転運動を直動運動に変換するものや、あるいは直動型のリニアモータを用いるものがある。特に、リニアモータは構造が簡易で部品点数が少く、摩擦抵抗も少ないため、特に精密に位置決めを行う必要のある機構の駆動源として主流になりつつある。リニアモータは、永久磁石ユニットと、電機子コイルユニットとからなり、これら永久磁石ュニッ卜と電機子コイルュニッ卜とが相対移動することによって推力を発生するものである。

従来より、図 1 3に示すように、リニアモータ 1の電機子コイルユニット 2には、コイル体 3を複数個並べた構成のものがある。

各コイル体 3は、電線が断面視略長方形に巻回されたもので、その中央部に開口部 3 aを有している。そして、これら複数のコイル体 3は、取付プレート 4に、開口部 3 aに対応して形成された突起 4 aに開口部 3 aをはめ込むことによって位置決めされるようになっている。

また、近年では、永久磁石ユニットの磁気ギャップに対する電機子コイルの占積率（密度）を向上させることによってリニアモータの高性能化を図る技術も提案されている。例えば特開平 8—〗 6 8 2 2 9号公報に開示される技術では、扁平コイルを用いるリニアモータが提案されている。

図 1 4 ( a ) に示すように、前記公報で提案されたリニアモータ 5は、所定の間隔を隔てて対向するよう磁石フレーム 6に保持された永久磁石 7 , 7と、これら永久磁石 7 , 7間に配置された電機子コイルユニット 8とから概略構成されている。電機子コイルユニット 8は、扁平形状のコイル 9を、取付プレート 8 aの両面に接着した構成となっている。図 1 4 ( b ) に示すように、各コイル 9は、 1辺方向に長い長方形または平行四辺形に巻回した帯状のコイルを螺旋状に折り曲げることによって扁平形状に形成されたものである。そして、各コイル 9は取付プレー卜 8 aに設けられたピン 8 bによって位置決めされている。

しかしながら、上述したような従来のリニアモータには、以下のような問題が存在する。

まず、図 1 3に示したリニアモータ 1では、複数のコイル体 3を並べた方向における各コイル体 3の位置精度が重要となっている。すなわち、図 1 5に示すように、例えば一つ一つのコイル体 3の外形寸法誤差がある場合、この誤差が積み重なると、複数並べられたコイル体 3の配列間隔が、永久磁石 7の配列間隔に対して相対的にズレてしまう。永久磁石 7の配列間隔とコイル体 3の配列間隔とに誤差があると、リニアモータ 1で発生推力にムラが生じリニアモータ 1の性能に影響を及ぼす。これの対策としてはコイル体 3—つ一つの外径寸法精度を高めるしかないが、精度向上はコイル製造コス卜を上昇させる結果となる。

しかも、図 1 3に示したリニアモータ 1では、各コイル体 3には開口部 3 aが形成されているため、この開口部 3 aの部分では永久磁石ュニッ卜の磁気ギヤップに対するコイル体 3の占積率（密度）が低下し、その結果、リニアモータ 1の効率が低下することになるという問題がある。

一方、図 1 4に示したリニアモータ 5では、 1相分のコイル 9がー体に巻かれているため、図 1 3に示したリニアモータ 1のような配列間隔ズレによる問題は回避することができる。しかしながら、図 1 4に示したリニアモータ 5では、永久磁石 7 , 7間にコイル 9の他に取付プレート 8 aが介在することになり、この取付プレート 8 aによって永久磁石 7， 7の磁気ギャップに対するコイル 9の占積率が低下するため、依然としてリニアモータ 1の効率に影響を及ぼしている。加えて、このようなコイル 9は、製造のために大掛かりな巻線装置が必要となるという問題もある。

本発明は、以上のような点を考慮してなされたもので、高性能でかつ安定した性能を発揮することのできるリニアモータ製造方法、リニアモータ、該リニアモ一夕を備えたステージ装置、および露光装置を提供することを課題とする。発明の開示

請求項 1 に係る発明は、電機子コイル（2 3 ) を備えて、電磁力により可動体を移動させるリニアモータ（R 1 ) であって、前記電機子コイル（2 3 ) が、複数個のコイル体（2 5 ) と、これらのコイル体（2 5 ) を一方向に並べて保持するフレーム（2 4 ) とを備え、前記フレーム（2 4 ) には、前記一方向に沿って定められた間隔ごとに前記各コイル体（2 5 ) の端部を保持する位置決め部（2 8 ) が形成されていることを特徴としている。

これにより、コイル体（2 5 ) の端部をフレーム（2 4 ) に形成された溝（2 8 ) に保持させることによって、複数個のコイル体（2 5 ) が定められた間隔ごとに位置決めされる。

請求項 2に係る発明は、請求項 1記載のリニアモータ（R 1 ) において、前記フレーム（24) には前記コイル体（25) の配線（C) を通す切欠き（3 1 ) が形成され、前記フレーム（24) の外側において前記コイル体（25) が接続されることを特徴としている。

このようにコイル体（25) の配線（C) を切欠き（3 1 ) からフレーム（2

4) の外側に出すことによって、同位相のコイル体（25) どうしをフレーム (24) の外側で接続することができる。

請求項 3に係る発明は、請求項 2記載のリニアモータ（R 1 ) において、前記切欠き（3 1 ) は、前記フレーム（24) に形成された前記位置決め部（28) に対応して形成され、前記位置決め部（28) に保持された前記コイル体（2

5) の端部からの配線（C) を通すことを特徴としている。

これにより、一つ一つのコイル体（25) に対し切欠き（3 1 ) が形成されることになる。

請求項 4に係る発明は、請求項 1ないし 3のいずれかに記載のリニアモータ (R 2) において、前記位置決め部（28， 28' ) には、前記コイル体（25， 25 ' ) を複数重ねて保持する段部（38) が形成されていることを特徴としている。

これにより、複数層のコイル体（25， 25 ' ) を一つのフレーム（34) で保持することができる。

請求項 5に係る発明は、請求項 1ないし 4のいずれかに記載のリニアモータ (R 3) において、前記電機子コイル（43) が、複数個の前記フレーム（2 4) を互いに張り合わせて形成されることを特徴としている。

これにより、電機子コイル（43) は、各フレーム（24) に保持されるコィル体（25) によって、複数のコイル体（25) が重ねられた構成となる。

請求項 6に係る発明は、請求項 1ないし 5のいずれかに記載のリニァモータ (R 1 ) において、前記コイル体（25) が、扁平多角形状であることを特徴としている。

このようにしてコイル体（25) を扁平形状とすることにより、永久磁石（2 2) のギャップにおける電機子コイル（23) の占積率を向上させることができる。請求項 7に係る発明は、請求項 1ないし 6のいずれかに記載のリニアモータ (R 4) において、前記コイル体（55) が、略筒状に巻線された形状のものであることを特徴としている。

このようにして、略筒状に巻線された形状のコイル体（55) をフレーム（5 4) に形成された溝（58) で保持することにより、略筒状に巻線された形状のコイル体（55) 、すなわち従来タイプのコイル体（55) においても上記と同様の作用が得られる。

請求項 8に係る発明は、請求項 1ないし 7のいずれかに記載のリニアモータ (R 1 ) において、前記フレーム（24) は、所定間隔だけ離れて前記一方向に沿って延在する二本一対の保持部（26) と、これらの保持部（26) をその両端部において互いに連結する連結部（27) とを有し、前記各保持部（26) には、前記永久磁石（22) の配列間隔に応じた間隔で前記溝（28) が複数形成されていることを特徴としている。

これにより、コイル体（25) は二本一対の保持部（26) 間に保持されることとなる。また、保持部（26) を永久磁石（22) の磁力線に干渉しない位置に配置することによって、永久磁石（22) 間にはコイル体（25) 以外のみが存在することになる。

請求項 9に係る発明は、請求項 1ないし 8のいずれかに記載のリニアモータにおいて、前記電機子コイル（23) を保持するコイル固定フレーム（70) と、前記コイル体（25) を冷却するための冷媒通路を形成するキャン（7 1 ) と、前記電機子コイル（23) を構成する構成部品のうち前記コイル体（25) を除くその他全ての構成部品とが、セラミックスまたはエンジニアリングプラスチックまたはオーステナィト系ステンレスで形成されていることを特徴としている。請求項 1 0に係る発明は、電磁力により可動体を移動させるリニアモータ（R 1 ) であって、複数のコイル体（25) とこれらのコイル体（25) を並べて保持する枠状の保持部材（24) とを有する電機子コイルユニット（23) を備えたことを特徴とする。

これにより、保持部材（24) に複数のコイル体（25) が高精度で位置決めされる。請求項 1 1 に係る発明は、請求項 1 0のリニアモータ（R 1 ) において、前記保持部材（24) は、前記複数のコイル体（25) を所定方向に沿って保持することを特徴とする。

これにより、保持部材（24) に複数のコイル体（25) が所定方向に沿って高精度で位置決めされる。

請求項 1 2に係る発明は、請求項 1 0のリニアモータ（R 1 ) において、前記保持部材（24) は、前記複数のコイル体（25) を位置決めするために所定間隔で形成された位置決め部（28) を有することを特徴とする。

これにより、保持部材（24) に複数のコイル体（25) が所定間隔ごとに高精度で位置決めされる。

請求項 1 3に係る発明は、請求項 1 2のリニアモータ（R 1 ) において、前記保持部材（24) の位置決め部（28) は、前記コイル体（25) の端部形状に合わせて形成されていることを特徴とする。

これにより、コイル体（25) の端部を保持部材（24) に形成された位置決め部（28) に保持させるだけで、保持部材（24) に複数のコイル体（25) が所定間隔ごとに高精度で位置決めされる。

請求項 1 4に係る発明は、請求項 1 2のリニアモータ（R 1 ) において、前記保持部材の位置決め部（28) は、所定間隔で凸部（29) を設けることによつて形成することを特徴とする。

これにより、コイル体（25) の端部を凸部（29) 間に形成された位置決め部（28) に保持させるだけで、保持部材（24) に複数のコイル体（25) が所定間隔ごとに高精度で位置決めされる。

請求項 1 5に係る発明は、請求項 1 0のリニアモータにおいて、前記保持部材 (24) は、前記複数のコイル体（25) から電気線を通すための切欠き部（3 1 ) が形成されていることを特徴とする。

このようにコイル体（25) の配線を切欠き（3 1 ) から保持部材（24) の外側に出すことによって、同位相のコイル体（25) を保持部材（24) の外側で接続することができ、配線を整然と行うことができる。

請求項〗 6に係る発明は、請求項 1 0のリニアモータにおいて、前記電機子コィルユニット（2 3) を構成する部品の一部は非磁性体かつ非導電体で形成されることを特徴とする。

これらの材料は、高強度を有しており、また線膨張係数が小さいので温度変化に伴う変形等を防止することができ、その結果、リニアモータ（R 1 ) の性能の安定化に貢献することができる。

請求項 1 7に係る発明は、請求項 1 6のリニアモータにおいて、前記電機子コィルユニット（2 3) を冷却するための冷却機構を構成する部品の一部は非磁性体かつ非導電体で形成されることを特徴とする。

請求項 1 8に係る発明は、請求項 1 0のリニアモータ（R 1 ) を備えたステージ機構（1 0) である。

これにより、ステージ機構（1 0) において、保持部材（24) に複数のコィル体（2 5) が高精度で位置決めされたリニアモータ（R 1 ) を提供することができる。

請求項 1 9に係る発明は、請求項 1 0のリニアモータ（R 1 ) を備えた露光装置である。

これにより、露光装置において、保持部材（24) に複数のコイル体（2 5) が高精度で位置決めされたリニアモータ（R 1 ) を提供することができる。請求項 2 0に係る発明は、リニアモータ製造方法であって、複数のコイル体 (2 5) を枠状の保持部材（24) で保持して電機子コイルユニット（2 6) を作成することを特徴とする。

これにより、保持部材（24) に複数のコイル体（2 5) が高精度で位置決めされたリニアモータ（R 1 ) を製造することができる。

図面の簡単な説明

図 1は、本発明に係るリニアモータを備えた投影露光装置のステージ機構を示す平面図である。

図 2は、前記リニアモータを示す図であり、図 2 (a) はその立断面図および図 2 (b) はその平断面図である。

図 3は、前記リニアモータの第一の実施の形態であって、前記リニアモータを構成する電機子コイルを示す斜視図である。

図 4は、図 3に示した前記電機子コイルの平面図である。

図 5は、前記リニアモータの第二の実施の形態であって、前記リニアモータを構成する電機子コイルを示す斜視図である。

図 6は、図 5に示した電機子コイルにおける配線を示す斜視図である。

図 7は、前記リニアモータの第三の実施の形態であって、前記リニアモータを構成する電機子コイルを示す立断面図である。

図 8は、前記第三の実施の形態で示した電機子コイルの他の一例を示す立断面図である。

図 9 (a) および図 9 (b) は、前記リニアモータの第四の実施の形態であつて、前記リニアモータを構成する電機子コイルを示す斜視図である。

図 1 0は、本発明に係るリニアモータに用いるコイル体の他の一例を示す図であって、図 1 0 (a) は前記コイル体の正面図であり、図 1 0 (b) はその側面図である。

図 1 1は、本発明に係るリニアモータに用いるコイル体のさらに他の一例を示す図であって、図 1 1 (a) は前記コイル体の正面図であり、図 1 1 (b) はその側面図である。

図 1 2は、本発明に係るリニアモータに用いるコイル体のさらに他の一例を示す図であり、図 1 2 (a) は前記コイル体の正面図であり、図 1 2 (b) はその側面図である。

図 1 3は、従来のリニアモータの一例を示す図であって、前記リニアモータの電機子コイルを示す斜視図である。

図 1 4は、従来のリニアモータの他の一例を示す図であって、図 1 4 (a) は前記リニアモータの立断面図であり、図 1 4 (b) は前記リニアモータを構成する電機子コイルの正面図である。図 1 5は、図 1 3に示したリニアモータにおける永久磁石とコイル体との配列間隔のズレを示す図であり、図 1 5 ( a ) はその正面図であり、図 1 5 ( b ) はその平面図である。実施例

以下、本発明に係るリニアモータの第一ないし第四の実施の形態について、図 1ないし図 1 2を参照して説明する。

[第一の実施の形態]

ここでは、まず、リニアモータ自体の説明に先立ち、リニアモータを備えた投影露光装置についての説明を行う。

図 1に示すものは、例えば半導体素子のフォトリソグラフイエ程において用いられる投影露光装置のステージ機構 1 0である。投影露光装置は、フォトマスクまたはレチクルの回路パターンを、投影光学系を介し、感光剤を塗布したウェハまたはガラスプレー卜等の基板上に投影露光し転写するものである。

なお、投影露光装置の構成は、例えば特開平 8— 2 5 0 3 8 8号公報及びこれに対応する米国特許 5， 7 7 7 , 7 2〗号に開示されている。本国際出願で指定した指定国または選択した選択国の国内法令の許す限りにおいて、上記の公報及び米国特許における開示を援用して本明細書の記載の一部とする。

この図 1に示すように、ステージ機構 1 0は、ウェハ等の基板（以下、単に「ウェハ」と略称する） Wを保持 '移動 '位置決めするもので、図示しない台座上に除振機構を介して据え付けられた基盤 1 〗上に、 Xステージ 1 2と Yステージ 1 3とが備えられた構成となっている。

Xステージ 1 2は、基盤 1 1の上面に設けられて、投影露光装置の投影光学系の光軸に対して直交する面内において一方向（図中矢印 X方向）に沿って延在する二本一対の固定ロッド 1 4， 1 4と、各固定口ッド 1 4にそれぞれ移動自在に設けられた可動部材 1 5と、これら二つの可動部材 1 5， 1 5に一体に設けられた平面視略矩形のフレーム 1 6とから構成されている。これにより、フレーム 1 6は、可動部材 1 5， 1 5が固定ロッド 1 4 , 1 4に沿って移動することにより、固定ロッド 1 4， 1 4の軸線方向、すなわち図中矢印 X方向に移動自在とされている。

Yステージ 1 3は、投影露光装置の投影光学系の光軸に対して直交する面内において固定ロッド 1 4と直交する方向に延在し、かつフレーム 1 6に一体に設けられた固定ロッド 1 7と、固定ロッド 1 7に沿って移動自在に設けられた可動部材 1 8と、可動部材 1 8の上面に一体に設けられた保持テーブル 1 9と、固定口ッド 1 7を挟んでその両側に位置するフレーム 1 6の二辺に設けられたガイド部材 2 0 , 2 0とから構成されている。この Yステージ 1 3の保持テーブル 1 9は、可動部材 1 8が固定ロッド 1 7に沿って移動することにより、固定ロッド 1 7の軸線方向、すなわち図中矢印 y方向に移動自在とされている。このとき、保持テ —ブル 1 9は、その両端部がフレーム 1 6に形成されたガイド部材 2 0， 2 0によってガイドされるようになっている。

さらに保持ステージ 1 9には、ウェハ Wを微少回転可能に吸着保持するウェハホルダ（図示なし）と、保持したウェハ Wを上下動させるレべリング機構（図示なし）とが備えられている。

これにより、ステージ機構 1 0においては、保持ステージ 1 9が、 Xステージ 1 2および Yステージ 1 3によって、投影露光装置の投影光学系の光軸に対して直交する面内で互いに直交する 2方向に移動自在となっている。

上記ステージ機構 1 0を構成する Xステージ 1 2および Yステージ 1 3の駆動源としてはリニアモータが用いられている。

図 2に示すように、リニアモータ R 1は、所定の間隔を隔てて対向するよう磁石フレーム 2 1に保持された永久磁石 2 2， 2 2と、これら永久磁石 2 2， 2 2 間に配置された電機子コイルユニット（電機子コイル） 2 3とから概略構成されている。

電機子コイルユニット 2 3は、コイル固定フレーム 7 0に固定されており、このコイル固定フレーム 7 0には、電機子コイルュニッ卜 2 3を内部に収めた略箱状のキャン 7 1がー体に設けられている。このキャン 7 1は、電機子コイルュニッ卜 2 3を冷却する冷媒通路を形成するものであり、キャン 7 1 には、図示しない流入口および流出口が形成されている。そして、流入口を通して図示しない冷却循環系から供給される冷媒をキャン 7 1の内部に流入させることによって、電機子コイルュニッ卜 2 3を冷却し、図示しない流出口から冷却循環系に戻して循環させるようになっているのである。

ここで、コイル固定フレーム 7 0と、キャン 7 1とは、セラミックスまたはェンジニァリングプラスチックまたはオーステナィ卜系ステンレスで形成されている。

図 3および図 4に示すように、電機子コイルユニット 2 3は、枠状のコイルフレーム（フレーム） 2 4に複数の扁平コイル（コイル体） 2 5， 2 5， …が並べられて保持された構成となっている。

ここで、各扁平コイル 2 5は、帯状に巻回したコイルを折り曲げて形成したもので、例えば平面視略 6角形をなした扁平形状、つまり扁平多角形状をなしている。各扁平コイル 2 5は、電機子コイルユニット 2 3と永久磁石 2 2 (図 2参照）の相対移動方向（図中矢印（ィ）方向）に沿った面内に位置するものであり、前記相対移動方向に対してその両側に位置する端部 2 5 a , 2 5 aで折り曲げられている。そして、各端部 2 5 aは、その外径が略コ字状をなし、かつその寸法が予め定められた精度内に収まるように形成されている。

一方、コイルフレーム 2 4は、非磁性かつ非導電（高電気抵抗）材、セラミツクゃステンレス、あるいはエンジニアプラスチック等の材料からなり、電機子コィルユニット 2 3と永久磁石 2 2 (図 2参照）の相対移動方向に沿って延在する二本一対の保持部 2 6 , 2 6と、これら保持部 2 6， 2 6を両端部において一体に連結する連結部 2 7 , 2 7とから形成されている。ここで、図 2 ( a ) に示したように、保持部 2 6， 2 6は、永久磁石 2 2， 2 2の磁力線に干渉しない位置に配置されている。

図 3および図 4に示したように、各保持部 2 6の一面側 2 6 aには、各扁平コィル 2 5の位置決め部として複数の溝 2 8が永久磁石 2 2 (図 2参照）の配列間隔に対応した所定間隔ごとに形成されている。この溝 2 8は、保持部 2 6に、コィルフレーム 2 4の内側に向けて延出する複数の凸部 2 9が所定間隔で形成されることによって、互いに隣り合う凸部 2 9， 2 9間に形成された形態となっている。各溝 2 8は、扁平コイル 2 5の端部 2 5 aに対応した形状で形成されている。また、各保持部 2 6の他面側 2 6 bには、凸部 2 9よりもさらに内周側に延出する延出部 3 0が形成されている。

さらに、二本のうちの一方の保持部 2 6には、その一面側 2 6 aの各溝 2 8に対応した位置に、その内周側と外周側とを連通するスリット（切欠き） 3 1が形成されている。

そして、各扁平コイル 2 5は、二力所の端部 2 5 a， 2 5 aが溝 2 8内にはめ込まれ、さらにこの溝 2 8および延出部 3 0に接着剤や樹脂等によって固定されている。この状態で、各扁平コイル 2 5は、溝 2 8によって電機子コイルュニッ卜 2 3の相対移動方向に対する位置決めがなされ、また延出部 3 0によって電機子コイルユニット 2 3の厚さ方向に対する位置決めがなされている。さらに、各扁平コイル 2 5は、凸部 2 9によって他の扁平コイル 2 5に接触しないよう固定されている。このようにして、これら複数の扁平コイル 2 5は、電機子コイルュニット 2 3の相対移動方向に沿って所定寸法ずつずらして順次配置され、二力所の端部 2 5 a , 2 5 aに対して一方の側 2 5 cが保持部 2 6の一面側 2 6 aに臨み、他方の側 2 5 dが保持部 2 6の他面側 2 6 bに臨むよう、コイルフレーム 2 4に取り付けられている。

また、各扁平コイル 2 5の一方の端部 2 5 aから延び出る配線 Cは、スリット 3 1からコイルフレーム 2 4の外側に導かれ、同位相の他の扁平コイル 2 5に、この扁平コイル 2 5に対応したスリッ卜 3 1を通して接続されている。

なお、上記電機子コイルユニット 2 3を構成する構成部品のうち、扁平コイル 2 5を除き、コイルフレーム 2 4をはじめとするその他全ての構成部品が、セラミックスまたはエンジニアリングプラスチックまたはオーステナイ卜系ステンレスで形成されている。

以上のような各部品を機能的（機械的、電気的）に接続することによりリニアモータが製造される。

このような構成の電機子コイルユニット 2 3を有するリニアモータ R 1は、図 2に示した磁石フレーム 2 1側あるいはコイルフレーム 2 4側のいずれか一方が、図 1に示した Xステージ 1 2の固定ロッド 1 4， Yステージ 1 3の固定ロッド 1 7に固定され、いずれか他方が Xステージ 1 2の可動部材 1 5 , Yステージ 1 3 の可動部材 1 8に固定されるようになっている。そして、永久磁石 2 2， 2 2と電機子コイルユニット 2 3との相対移動によって発生するリニアモータ R 1の推進力によって、ステージ機構 1 0が駆動されるようになっている。

すなわち、リニアモータと、 Xステージ 1 2、 Yステージ 1 3などを機能的 (機械的、電気的）に接続して組み立てることによりステージ機構 1 0が製造される。

上述したリニアモータ R 1では、電機子コイルユニット 2 3が、複数個の扁平コイル 2 5とこれらを保持するコイルフレーム 2 4とを備えて、コイルフレーム 2 4が、二本一対の保持部 2 6， 2 6とこれらの保持部 2 6， 2 6を互いに連結する連結部 2 7とからなる構成となっている。そして、各保持部 2 6には、永久磁石 2 2の配列間隔に応じた間隔で各扁平コイル 2 5の端部 2 5 aを保持する溝 2 8が形成された構成となっている。

これにより、枠状のコイルフレーム 2 4に複数の扁平コイル 2 5の各々を配列しているので、リニアモータとしての効率が向上する。また、各扁平コイル 2 5 の端部 2 5 aをコイルフレーム 2 4の保持部 2 6に形成された溝 2 8にはめ込んで固定するのみで、各扁平コイル 2 5を精度良く位置決めすることができ、永久磁石 2 2の配列間隔と扁平コイル 2 5の配列間隔がずれることなくセッ卜される。したがって、リニアモータ R 1で発生する推力のムラを小さくすることができ、性能の安定化を図ることができる。しかも、保持部 2 6は永久磁石 2 2 , 2 2の磁力線と干渉しない位置に配置したので、永久磁石 2 2 , 2 2間には扁平コイル 2 5以外のものは介在しないことになリ、その結果、リニアモータ R 1の性能を向上させることができる。

しかも、図 1 4に示したような従来の複雑な形状のコイル 9を用いたりすることもないので、大掛かりな巻線装置等も不要であり、前記効果を低コストで得ることができる。さらに、扁平コイル 2 5の端部 2 5 a， 2 5 aをコイルフレーム 2 4に固定して保持するので、扁平形状で剛性の低い扁平コイル 2 5であっても高剛性が得られ、耐久性に優れるという効果を奏することができる。加えて、扁平コイル 2 5には、溝 2 8に保持される端部 2 5 aにのみ精度が要求されるので、扁平コイル 2 5のコイル製作に多大な手間が掛かることもなく、この点においても低コスト化に貢献できる。

また、コイルフレーム 2 4には、溝 2 8に対応してスリット 3 1が形成され、溝 2 8に保持された扁平コイル 2 5の端部 2 5 aからの配線 Cがこのスリツ卜 3 1に通され、コイルフレーム 2 4の外側で扁平コイル 2 5が接続される構成となつている。

これにより、同位相の扁平コイル 2 5どうしをコイルフレーム 2 4の外側で接続することができ、配線を整然と行うことができる。また、溝 2 8とスリット 3 1とが一体に形成されているので、扁平コイル 2 5のセッ卜と同時に配線作業を行うことができ、電機子コイルユニット 2 3の組立工程の容易化が図られる。さらに、上記リニアモータ R 1では、扁平コイル 2 5が扁平多角形状である構成となっている。このようにして扁平コイル 2 5を用いることにより、永久磁石 2 2 , 2 2のギャップにおける扁平コイル 2 5の占積率を向上させることができ、リニアモ一夕 R 1の性能向上を図ることができる。

加えて、コイル固定フレーム 7 0と、キャン 7 1 と、電機子コイルュニッ卜 2 3を構成する構成部品のうちの扁平コイル 2 5を除くその他全ての構成部品とが、セラミックスまたはエンジニアリングプラスチックまたは才一ステナイ卜系ステンレスで形成された構成となっている。これらの材料は、高強度を有しており、また線膨張係数が小さいので温度変化に伴う変形等を防止することができ、その結果、リニアモータ R 1の性能の安定化に貢献することができる。

[第二の実施の形態]

次に、本発明に係るリニアモータの第二の実施の形態について説明する。ここでは、例えば、電機子コイルを二層備える場合の例を用いて説明する。以下に説明する第二の実施の形態におけるリニアモータと前記第一の実施の形態で示したリニアモータ R 1 との相違点は電機子コイルユニットの構成のみであり、その他の構成、およびリニアモータの用途等は前記第一の実施の形態と同様であるので、前記第一の実施の形態と共通する構成については同符号を付し、その説明を省略する。

図 5に示すように、リニアモータ R 2の電機子コイルユニット（電機子コィル） 33は、コイルフレーム（フレーム） 34に複数の扁平コイル（コイル体） 25， 25 ' が保持された構成となっている。

コイルフレーム 34は、非磁性かつ非導電（高電気抵抗）材、セラミックゃステンレス、あるいはエンジニアプラスチック等の材料からなり、電機子コイルュニット 33と永久磁石 22 (図 2参照）の相対移動方向に沿って延在する二本一対の保持部 36， 36と、これら保持部 36, 36を両端部において一体に連結する連結部 37, 37とから形成されている。

各保持部 36には、その一面側 36 aに、扁平コイル 25の端部 25 aを保持する溝 28が、永久磁石 22 (図 2参照）の配列間隔に対応した所定間隔ごとに形成されている。

また、各保持部 36の厚さ方向中間部には、扁平コイル 25 ' の端部 25 a' を保持する溝 28 ' が、永久磁石 22 (図 2参照）の配列間隔に対応した所定間隔ごとに形成されている。ここで、各扁平コイル 25 ' は、端部 25 a' ， 25 a' の間隔が、前記扁平コイル 25の端部 25 a, 25 aの間隔よりも小さく設定されている。したがって、互いに対向する溝 28' , 28 ' の間隔も、溝 28， 28の間隔よりも小さく設定されている。これにより、各保持部 36を厚さ方向に断面視すると、溝 28と溝 28 ' との間に段部 38が形成された構成となっている。

そして、各保持部 36の他面側 36 bには、溝 28 ' を形成するための凸部 2 9 ' よりもさらに内周側に延出する延出部 39が形成されている。

さらに、一方の保持部 36には、各溝 28および 28' に対応した位置に、その内周側と外周側とを連通するスリット（切欠き） 3 1 ' が形成されている。これにより、コイルフレーム 34には、複数の扁平コイル 25 ' が、それぞれ溝 28' ， 28 ' に接着剤や樹脂等によって固定され、さらに、これら扁平コィル 25 ' に重ねて、扁平コイル 25が溝 28， 28に接着剤や樹脂等によって固定された構成となっている。そして、各扁平コイル 25， 25 ' の一方の端部 2 5 a， 25 a' から延び出る配線 Cは、図 5および図 6に示すように、スリット 3 1 ' からコイルフレーム 34の外側に導かれ、同位相の他の扁平コイル 25， 25 ' に接続されている。このようにして、コイルフレーム 3 4には扁平コイル 2 5と 2 5 ' が二層に取リ付けられ、リニアモータ R 2は、いわゆる 2レイヤーとなっている。

なお、上記電機子コイルユニット 3 3を構成する構成部品のうち、扁平コイル 2 5 , 2 5 ' を除き、コイルフレーム 3 4をはじめとするその他全ての構成部品が、セラミツグスまたはエンジニアリングプラスチックまたはオーステナィ卜系ステンレスで形成されている。

上述したリニアモータ R 2では、上記第一の実施の形態におけるリニアモ一夕 R 1 と同様の効果を奏することができる。

加えて、上述したリニアモータ R 2では、コイルフレーム 3 4に段部 3 8が形成され、扁平コイル 2 5と 2 5 ' とを重ねて保持する溝 2 8， 2 8 ' が形成された構成となっている。これにより、リニアモータ R 2を 2レイヤ一とすることができ、性能の向上を図ることができる。

[第三の実施の形態]

次に、本発明に係るリニアモータの第三の実施の形態について説明する。ここでは、前記第二の実施の形態と同様に、リニアモータに例えば二層の電機子コィルを備える場合の例を用いて説明する。以下に説明する第三の実施の形態におけるリニアモータと前記第一の実施の形態で示したリニアモータ R 1 との相違点は電機子コイルユニットの構成のみであり、その他の構成、およびリニアモータの用途等は前記第一の実施の形態と同様であるので、前記第一の実施の形態と共通する構成については同符号を付し、その説明を省略する。

図 7に示すように、リニアモータ R 3の電機子コイルユニット（電機子コィル） 4 3は、前記第一の実施の形態で示したコイルフレーム 2 4 (図 4参照）を二枚組み合わせたものである。すなわち、各コイルフレーム 2 4の保持部 2 6の一面側 2 6 aどうしを互いに対向させた状態で、これら二枚のコイルフレーム 2 4を接着剤等の接合手段によって一体に接合したものである。各コイルフレーム 2 4の保持部 2 6には、溝 2 8が所定間隔ごとに形成され、各溝 2 8に扁平コィル 2 5が固定された構成となっている。また、各扁平コイル 2 5の端部 2 5 aに接続された配線 Cは、各溝 2 8に対応して形成されたスリッ卜 3 1からコイルフレーム 2 4の外側に導かれ、他の同位相の扁平コイル 2 5に接続されている。上述したようなリニァモータ R 3では、前記第一の実施の形態で示したリニァモータ R 1 と同様の効果を得ることができる。

また、リニアモータ R 3は、二枚のコイルフレーム 2 4を互いに張り合わせた構成となっている。これにより、リニアモータ R 3を、扁平コイル 2 5が 2層に重ねられて備えられた 2レイヤーとすることができ、これによつても前記第二の実施の形態と同様、性能の向上を図ることができる。

なお、上記第三の実施の形態において、リニアモータ R 3の電機子コイルュニッ卜 4 3を、前記第一の実施の形態で示したコイルフレーム 2 4を二枚組み合わせる構成としたが、複数枚のフレームを互いに張り合わせるのであれば、他の構成であっても良い。例えば、図 8に示すように、リニアモータ R 3 ' の電機子コィルユニット（電機子コイル） 4 3 ' を、前記第二の実施の形態で示したコイルフレーム 3 4 (図 5参照）を互いに張り合わせることによって構成し、扁平コィル 2 5， 2 5 ' が計四層に重ねられた 4レイヤーとすることもできる。もちろん、三枚以上のフレームを互いに張り合わせる構成としても良い。

[第四の実施の形態]

次に、本発明に係るリニアモータの第四の実施の形態について説明する。ここでは、リニアモータの電機子コイルのコイル体に、例えば、従来型の扁平でないコイル体を採用する場合の例を用いて説明する。以下に説明する第四の実施の形態において、前記第一ないし第三の実施の形態と共通する構成については同符号を付し、その説明を省略する。

図 9に示すように、リニアモータ R 4の電機子コイルユニット（電機子コィル） 5 3は、コイルフレーム（フレーム） 5 4に複数のコイル体 5 5 , 5 5 , · · · が並べられて保持された構成となっている。

ここで、コイル体 5 5は、従来の技術で示した前記コイル体 3 (図 1 3参照）と同様、電線が断面視略長方形に巻回されたもので、その中央部に開口部 5 5 a を有している。

一方、コイルフレーム 5 4は、非磁性かつ非導電（高電気抵抗）材、セラミツクゃステンレス、あるいはエンジニアプラスチック等の材料からなり、電機子コィルユニット 5 3の永久磁石 2 2 (図 2参照）に対する相対移動方向に沿って延在する二本一対の保持部 5 6 , 5 6と、これら保持部 5 6， 5 6を両端部において一体に連結する連結部 5 7， 5 7とから形成されている。

各保持部 5 6の一面側 5 6 aには、複数の溝 5 8が永久磁石 2 2 (図 2参照）の配列間隔に対応した所定間隔ごとに形成されている。この溝 5 8は、保持部 5 6に、コイルフレーム 5 4の内側に向けて延出する複数の凸部 5 9が形成されることによって形成されている。各溝 5 8は、コイル体 5 5の端部 5 5 bに対応した形状で形成されている。また、各保持部 5 6の他面側 5 6 bには、凸部 5 9よりもさらに内周側に延出する延出部 6 0が形成されている。

さらに、二本のうちの一方の保持部 5 6には、その一面側 5 6 aの各溝 5 8に対応した位置に、その内周側と外周側とを連通するスリット（切欠き） 3 Γ' が形成されている。

これにより、各コイル体 5 5は、端部 5 5 a , 5 5 aが溝 5 8内にはめ込まれて接着剤や樹脂等によって固定されている。これにより、コイルフレーム 5 4には、複数のコイル体 5 5が電機子コイルュニッ卜 2 3の相対移動方向に沿って所定間隔で配設されている。そして、各コイル体 5 5の一方の端部 5 5 aから延び出る配線 Cは、スリット 3 1 " からコイルフレーム 5 4の外側に導かれ、同位相の他のコイル体 5 5に接続されている。

なお、上記電機子コイルユニット 5 3を構成する構成部品のうち、コイル体 5 5を除き、コイルフレーム 5 4をはじめとするその他全ての構成部品が、セラミックスまたはエンジニアリングプラスチックまたはオーステナィ卜系ステンレスで形成されている。

上述したリニアモータ R 4では、電機子コイルュニッ卜 5 3のコイルフレーム 5 4の保持部 5 6， 5 6に、コイル体 5 5を保持する溝 5 8が、永久磁石 2 2の配列間隔に応じた間隔で形成された構成となっている。

これにより、従来型のコイル体 5 5であっても、各コイル体 5 5を精度良く位置決めすることができ、リニアモータ R 4で発生する推力のムラを小さくすることができ、性能の安定化を図ることができる。なお、上記第一ないし第四の実施の形態で挙げた構成は、本発明の主旨を逸脱しない範囲内であれば適宜他の構成を採用することができる。

例えば、電機子コイルユニット 2 3， 3 3， 4 3， 4 3 ' ， 5 3を構成する扁平コイル 2 5 , 2 5 ' あるいはコイル体 5 5の数は何ら限定するものではない。また、扁平コイル 2 5， 2 5 ' あるいはコイル体 5 5の形状についても、上記に挙げたものに限らず、他の形状のものでも良い。例えば、扁平コイル 2 5， 2 5 ' に代えて、図 1 0に示すような湾曲形状の端部 6 5 aを有した略菱形の扁平コイル（コイル体） 6 5や、図 1 1に示すような略台形状の端部 6 6 aを有した略菱形の扁平コイル（コイル体） 6 6、あるいは図 1 2に示すような平面視略 6 角形で、端部 6 7 aが、前記扁平コイル 2 5の端部 2 5 a (図 4参照）のように外形略コ字状に整形されておらず、略台形状をなすよう折り曲げられて形成された扁平コイル（コイル体） 6 7等でも良い。このような場合、溝の形状を、用いるコイル体の端部の形状に対応させたものとするのは言うまでもない。

また、リニアモータ R 1 , R 2 , R 3 , R 3 ' , R 4の電機子コイルユニット 2 3， 3 3， 4 3， 4 3 ' , 5 3以外の他の部分の構成については、何ら限定する意図はなく、適宜他の構成を採用しても良い。そして、電機子コイルユニット 2 3， 3 3 , 4 3， 4 3 ' ， 5 3と、永久磁石 2 2とは、いずれを可動子，固定子としても良い。

さらに、上記リニアモータ R 1， R 2 , R 3 , R 3 ' , R 4を備えた露光装置の他の部分の構成については何ら限定するものではない。また、露光装置としてステップ 'アンド ' リピート式のものを例に挙げたが、レチクルとウェハとを同期移動させてレチクルのパターンを露光する走査型の投影露光装置にも本発明の技術を同様に適用することができる。なお、走査型露光装置の構成は、例えば特開平 8— 1 3 0 1 7 9号公報及びこれに対応する米国特許 5， 8 5 0， 2 8 0号に開示されている。本国際出願で指定した指定国または選択した選択国の国内法令の許す限りにおいて、上記の公報及び米国特許における開示を援用して本明細書の記載の一部とする。また露光装置の種類としては半導体製造用のものに限定されることなく、例えば、角形のガラスプレー卜に液晶表示素子パターンを露光する液晶用の露光装置や、薄膜磁気へッドを製造するための露光装置等にも本発明の技術を広く適用することが可能である。

もちろん、リニアモータ R 1， R 2 , R 3， R 3 ' ， R 4は、露光装置のステージ機構の駆動源以外にも、種々の用途に適用可能である。

これ以外にも、本発明の主旨を逸脱しない範囲内であれば、いかなる構成を採用しても良く、また上記したような構成を適宜選択的に組み合わせたものとしても良いのは言うまでもない。産業上の利用可能性

以上説明したように、請求項 1に係るリニアモータによれば、電機子コイルが、複数個のコイル体とこれらを保持するフレームとを備え、フレームには定められた間隔ごとに各コイル体の端部を保持する溝が形成された構成となっている。これにより、コイル体の端部をフレームに形成された溝に保持させることによつて、フレームには複数個のコイル体が所定間隔ごとに高精度で位置決めされる。したがって、リニアモータで発生する推力のムラを小さくすることができ、性能の安定化を図ることができる。しかも、複雑な形状のコイル体を用いたりすることもないので、前記効果を低コストで得ることができる。さらに、コイル体の端部をフレームで保持するので、例えば扁平形状のコイル体等、コイル体自体が剛性の低いものであっても高剛性が得られ、耐久性に優れるという効果を奏することができる。加えて、コイル体には、溝に保持される部分にのみ精度が要求されるので、コイル製作に多大な手間が掛かることもなく、この点においても低コス卜化に貢献できる。

請求項 2に係るフレームには切欠きが形成され、フレームの外側でコイル体が接続される構成となっている。

このようにコイル体の配線を切欠きからフレームの外側に出すことによって、同位相のコイル体どうしをフレームの外側で接続することができ、配線を整然と行うことができる。

請求項 3に係るリニアモータによれば、切欠きは、フレームに形成された溝に対応して形成され、溝に保持されたコイル体の端部からの配線を通す構成となつている。これにより、一つ一つのコイル体に対して切欠きが形成されるので、コイル体のセッ卜と配線作業とを同時に行うことができ、電機子コイルの組立の容易化が図られる。

請求項 4に係るリニアモータによれば、溝には、コイル体を複数重ねて保持する段部が形成された構成となっている。これにより、複数のコイル体を一つのフレームで重ねて保持することができ、リニアモータの性能の向上を図ることがでさる。

請求項 5に係るリニアモータによれば、電機子コイルが、複数個のフレームを互いに張り合わせて形成された構成となっている。これによつても複数のコイル体が重ねられることになり、リニアモータの性能の向上を図ることができる。請求項 6に係るリニアモータによれば、コイル体が扁平多角形状である構成となっている。このようにしてコイル体を扁平形状とすることにより、永久磁石のギヤップにおける電機子コィルの占積率を向上させることができ、リニアモータの性能向上を図ることができる。

請求項 7に係るリニアモータによれば、コイル体が略筒状に巻線された形状のものである構成となっている。これにより、略筒状に巻線された形状のコイル体、すなわち従来タイプのコイル体においても、上記と同様、コイル体の位置決め精度を高めてリニアモータの性能の安定化を図ることができる。

請求項 8に係るリニアモータによれば、フレー厶は、二本一対の保持部と、これらの保持部を互いに連結する連結部とを有し、各保持部には、永久磁石の配列間隔に応じた間隔で溝が複数形成された構成となっている。

これにより、コイル体は二本一対の保持部間に保持されることとなり、永久磁石の配列間隔と、コイル体の配列間隔とがずれることなくセットされ、したがつてリニアモータの性能の安定化を図ることができる。しかも、保持部を永久磁石の磁力線と干渉しない位置に配置することにより、永久磁石間にはコイル体以外のものは介在しないことになり、その結果、リニアモータの性能を向上させることができる。

請求項 9に係るリニアモータによれば、コイル固定フレームと、キャンと、電機子コイルを構成する構成部品のうちコイル体を除くその他全ての構成部品とが、セラミックスまたはエンジニアリングプラスチックまたは才一ステナイ卜系ステンレスで形成された構成となっている。これらの材料は高強度を有しており、また線膨張係数が小さいので温度変化に伴う変形等を防止することができ、その結果、リニアモータの性能の安定化に貢献することができる。

請求項 1 0に係るリニアモータは、複数のコイル体とこれらのコイル体を並べて保持する枠状の保持部材とを有する電機子コイルュニッ卜を備えた構成となつている。これにより、保持部材に複数のコイル体が高精度で位置決めされる。請求項 1 1 に係るリニアモータは、保持部材が複数のコイル体を所定方向に沿つて保持することを特徴としている。このように、保持部材に複数のコイル体が所定方向に沿って高精度で位置決めされる。

請求項 1 2に係るリニアモータは、保持部材は、複数のコイル体を位置決めするために所定間隔で形成された位置決め部を有することを特徴としている。したがって、保持部材に複数のコイル体が所定間隔ごとに高精度で位置決めされる。請求項〗 3に係るリニアモータによれば、コイル体の端部を保持部材に形成された位置決め部に保持することによって、保持部材に複数のコィル体を所定間隔ごとに高精度で位置決めすることができる。

請求項〗 4に係るリニアモータでは、位置決め部を所定間隔で凸部を設けることによって形成する構成となっており、コイル体の端部を凸部間に形成された保持部材に形成された位置決め部に保持することによって、保持部材に複数のコィル体を所定間隔ごとに高精度で位置決めすることができる。

請求項 1 5に係るリニアモータでは、電気線を通すための切欠き部が形成されており、コイル体の配線を切欠きから保持部材の外側に出すことによって、同位相のコイル体を保持部材の外側で接続することがで、配線を整然と行うことがでさる。

請求項 1 6に係るリニアモータでは、電機子コイルユニットの部品の一部は非磁性体かつ非導電体で形成されており、これらの材料は、高強度を有しており、また線膨張係数が小さいので温度変化に伴う変形等を防止することができ、その結果、リニアモータの性能の安定化に貢献することができる。

請求項 1 7に係るリニアモータでは、電機子コイルユニットを冷却するための冷却機構の部品の一部は非磁性体かつ非導電体で形成されており、これらの材料は、高強度を有しており、また線膨張係数が小さいので温度変化に伴う変形等を防止することができ、その結果、リニアモータの性能の安定化に貢献することができる。

請求項 1 8に係る発明は、請求項〗 0のリニアモータを備えたステージ機構であり、複数のコイル体が高精度で位置決めされたリニアモータを備えたステージ機構を提供することができる。

請求項 1 9に係る発明は、請求項 1 0のリニアモータを備えた露光装置であり、複数のコイル体が高精度で位置決めされたリニアモータを備えた露光装置を提供することができる。

請求項 2 0に係るリニアモータ製造方法によれば、複数のコイル体が高精度で位置決めされたリニアモータを製造することができる。

Claims

請求の範囲

1 . 電機子コイルを備えて、電磁力により可動体を移動させるリニアモータであつて、

前記電機子コイルが、複数個のコイル体と、これらのコイル体を一方向に並べて保持するフレームとを備え、

前記フレームには、前記一方向に沿って定められた間隔ごとに前記各コイル体の端部を保持する位置決め部が形成されていることを特徴とするリニアモータ。

2 . 請求項 1記載のリニアモータにおいて、前記フレームには前記コイル体の配線を通す切欠きが形成され、前記フレームの外側において前記コイル体が接続されることを特徴とするリニアモータ。

3 . 請求項 2記載のリニアモータにおいて、前記切欠きは、前記フレームに形成された前記位置決め部に対応して形成され、前記位置決め部に保持された前記コィル体の端部からの配線を通すことを特徴とするリニアモータ。

4 . 請求項 1ないし 3のいずれかに記載のリニアモータにおいて、前記位置決め部には、前記コイル体を複数重ねて保持する段部が形成されていることを特徴とするリニアモータ。

5 . 請求項 1ないし 4のいずれかに記載のリニアモータにおいて、前記電機子コィルが、複数個の前記フレームを互いに張り合わせて形成されることを特徴とするリニアモータ。

6 . 請求項 1ないし 5のいずれかに記載のリニアモータにおいて、前記コイル体が、扁平多角形状であることを特徴とするリニアモータ。

7 . 請求項 1ないし 6のいずれかに記載のリニアモータにおいて、前記コイル体が、略筒状に巻線された形状のものであることを特徴とするリニアモータ。

8 . 請求項 1ないし 7のいずれかに記載のリニアモータにおいて、前記フレームは、所定間隔だけ離れて前記一方向に沿って延在する二本一対の保持部と、これらの保持部をその両端部において互いに連結する連結部とを有し、

前記各保持部には、前記永久磁石の配列間隔に応じた間隔で前記溝が複数形成されていることを特徴とするリニアモータ。

9 . 請求項 1ないし 8のいずれかに記載のリニアモータにおいて、前記電機子コィルを保持するコイル固定フレームと、前記コイル体を冷却するための冷媒通路を形成するキヤンと、前記電機子コィルを構成する構成部品のうち前記コィル体を除くその他全ての構成部品とが、セラミックスまたはエンジニアリングプラスチックまたはオーステナイ卜系ステンレスで形成されていることを特徴とするリニァモータ。

1 0 . 電磁力により可動体を移動させるリニアモータであって、

複数のコイル体とこれらのコイル体を並べて保持する枠状の保持部材とを有する電機子コイルュニッ卜を備えたことを特徴とするリニアモータ。

1 1 . 請求項 1 0のリニアモータにおいて、

前記保持部材は、前記複数のコィル体を所定方向に沿つて保持することを特徴とするリニアモータ。

1 2 . 請求項 1 0のリニアモータにおいて、

前記保持部材は、前記複数のコイル体を位置決めするために所定間隔で形成された位置決め部を有することを特徴とするリニアモータ。

1 3 . 請求項 1 2のリニアモータにおいて、

前記保持部材の位置決め部は、前記コイル体の端部形状に合わせて形成されていることを特徴とするリニアモータ。

1 . 請求項 1 2のリニアモータにおいて、

前記保持部材の位置決め部は、所定間隔で凸部を設けることによつて形成することを特徴とするリニアモータ。

1 5 . 請求項 1 0のリニアモータにおいて、

前記保持部材は、前記複数のコイル体から電気線を通すための切欠き部が形成されていることを特徴とするリニアモータ。

1 6 . 請求項 1 0のリニアモータにおいて、

前記電機子コイルュニッ卜を構成する部品の一部は非磁性体かつ非導電体で形成されることを特徴とするリニアモータ。

1 7 . 請求項〗 6のリニアモータにおいて、

前記電機子コイルュニッ卜を冷却するための冷却機構を構成する部品の一部は非磁性体かつ非導電体で形成されることを特徴とするリニアモータ。

1 8 . 請求項 1 0のリニアモータを備えたステージ機構。

1 9 . 請求項 1 0のリニアモータを備えた露光装置。

2 0 . リニアモータ製造方法であって、

複数のコィル体を枠状の保持部材で保持して電機子コィルュニッ卜を作成することを特徴とするリニアモータ製造方法。