WO1997037257A1 - Verfahren zum herstellen eines wellenleiter-strahlumsetzers - Google Patents

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WO1997037257A1
WO1997037257A1 PCT/DE1997/000579 DE9700579W WO9737257A1 WO 1997037257 A1 WO1997037257 A1 WO 1997037257A1 DE 9700579 W DE9700579 W DE 9700579W WO 9737257 A1 WO9737257 A1 WO 9737257A1
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waveguide
substrate
layer
cladding glass
waveguides
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PCT/DE1997/000579
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Hartmut Schneider
Werner Späth
Stefan GRÖTSCH
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Siemens Aktiengesellschaft
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    • G02B6/13—Integrated optical circuits characterised by the manufacturing method
    • G02B6/136—Integrated optical circuits characterised by the manufacturing method by etching

Definitions

  • the invention relates to a method for producing a waveguide beam converter according to the preamble of claim 1.
  • the method according to the invention is used in particular for producing a waveguide beam converter to increase the radiation density of a laser beam emitted by a laser diode bar.
  • individual semiconductor laser diodes represent radiation sources with a high radiation density.
  • semiconductor laser radiation sources with a high radiation power there are significant restrictions for semiconductor laser radiation sources with a high radiation power. This is because laser diodes emit strip-shaped individual laser beams, so that the strip-shaped individual laser beams must be arranged one above the other in order to produce a compact laser beam bundle with high radiation power. Due to the high power loss of semiconductor laser diodes, however, the packing density of individual laser diodes is limited. It is therefore necessary to bundle the individual laser beams emitted by a plurality of individual laser diodes, for example by means of a waveguide beam converter.
  • Such a waveguide beam converter is known for example from international patent application WO 94/152 34.
  • This describes an optical fiber arrangement consisting of a plurality of curved rectangular optical fibers, by means of which an input laser beam bundle emitted from a laser diode bar is converted from individual laser beams arranged next to one another into an output laser beam bundle from strip-shaped individual laser beams arranged one above the other.
  • the optical fibers are arranged in a row next to one another on the input side, so that each individual laser beam of the input laser beam is coupled into a separate optical fiber.
  • the optical fibers are arranged one above the other in the form of a stack. arranges so that an output laser beam with a rectangular cross section is emitted from the end faces of the optical fibers. This output laser beam is subsequently coupled through a spherical lens into a circular cross-section fiber laser.
  • optical fibers are fastened on the input side in precision grooves of an adjusting block, which are designed in such a way that the arrangement and the distance between the optical fibers and the arrangement and the distance of the coupled ones
  • the optical fibers consist of alkali or alkaline earth-containing silicate glasses (soft glass) such as BAK 5 for the fiber core and BAK 2 for the fiber cladding, which in turn is surrounded by a support cladding made, for example, of LAKN 12.
  • the optical fiber bundle is produced in the following steps:
  • the fiber core is made with the fiber jacket.
  • the fiber cladding is then coated with the material of the support cladding, which has a significantly higher etching rate than the material of the fiber cladding.
  • the support jacket material is subsequently etched down to a thin support jacket layer, the above-described composite of fiber core, fiber jacket and support jacket layer is drawn out in such a way that the cross section of the fiber core after removal is still somewhat larger than the intended final dimension.
  • a number of the optical fibers thus produced are then stacked on top of one another and connected to one another.
  • the stack is then again provided with a covering and then pulled out again until the stack has the desired geometry.
  • the optical fibers of the stack are subsequently separated again at one end of the stack by means of etching, fastened next to one another in the precision grooves of the adjusting block and designed in such a way that the laser o d bar of emitted individual laser beams can be coupled into the fiber ends.
  • the object of the invention is to develop a method for producing a waveguide beam converter which is simple to carry out and which allows a plurality of waveguide beam converters to be produced in a simple manner at the same time.
  • waveguides can advantageously be produced on a substrate from optically high-quality glasses.
  • the glass compositions can be adapted to the special purpose. Radiation losses in the waveguide beam converter can thus be kept low.
  • the method according to the invention it is possible in a simple manner by varying the glass compositions to adapt the glass properties to the boundary conditions specified by the overall system.
  • a particular advantage of this production method is that the laser diode array, for example a laser diode bar or a plurality of individual laser diode chips, can be applied to the same substrate as the waveguide beam converter.
  • Coupling optics for coupling the input laser beam into the waveguide beam converter and / or coupling optics for coupling the output laser beam into a single optical fiber, another laser or another device can also be arranged on this substrate. It is thereby achieved that both the laser diode array and any necessary coupling optics can be mounted in a simple manner exactly adjusted to the waveguide beam converter. For this purpose, position pits or edges can be produced in or on the substrate, for example.
  • the waveguide can be made from an Si0 2 glass that has more than 50 cation% Si0 2 .
  • Such glasses have a high optical quality.
  • the radiation losses in the waveguide-beam converter ie both in the light-guiding waveguide core and at the interface between the waveguide core and the waveguide jacket, can be kept low.
  • a major advantage of the above Si0 2 glasses is that they can be produced by gas phase deposition, which makes the production of glass layers on a substrate much easier. Individual layers of glass can be produced without any great difficulties, without any bubbles and streaks, exactly on top of one another, which creates interference-free and thus optically high-quality interfaces.
  • Another advantage is that these glasses can be removed again by gas phase etching.
  • the method according to the invention in a simple manner to produce a waveguide beam converter in which the waveguides are arranged in such a way that a plurality of output laser beam bundles can be coupled out of them.
  • the input laser beam emitted by a laser diode field can advantageously be transformed into a plurality of rectangular output laser beams, which can then be coupled very efficiently into waveguides with a round cross section.
  • FIG. 1 shows a schematic perspective illustration of a waveguide beam converter which is produced by the method according to the invention
  • FIG. 2 shows a schematic illustration of a side view of a waveguide beam converter, which is produced by the method according to the invention and which is optically coupled on the input side to a laser diode array and on the output side to an optical fiber,
  • FIG. 3 shows a schematic representation of a top view of a second embodiment of a waveguide beam converter which is produced by the method according to the invention
  • FIG. 4 shows a schematic representation of a sequence of the method according to the invention.
  • a waveguide beam converter 2 is arranged on a substrate 1, for example a silicon substrate.
  • B. consists of 5 waveguides 3 to 7.
  • the waveguides 3 to 7 are next to one another on the
  • Substrate 1 arranged on top.
  • the waveguides 3 - 7 are detached from the substrate over a partial length 27, and on the side of the beam output ends 9 the waveguides 3 - 7 are brought together and fixed to a stack 10 consisting of superimposed waveguide ends.
  • the individual laser beams of a laser diode array 11, for. B. ei ⁇ nes laser diode bar which each have, for example, a strip-shaped cross section.
  • the individual laser beams can consist of a single laser beam or a plurality of individual laser beams with a smaller cross section.
  • An individual laser beam with a strip-shaped cross section can have a beam width of approximately 200 ⁇ m and a beam height of approximately 2 ⁇ m.
  • a beam paralleling optics 12 such as, for example, a cylindrical lens or a diffractive optics can be arranged, which at least reduces vertical divergence of the individual laser beams.
  • the dimensions of the waveguides 3 to 7 are adapted to the dimensions of the single laser beams to be coupled in.
  • waveguide beam converter 2 can use the invention Ver ⁇ drive as was ⁇ prepared the with which an input laser beam bundle of a plurality of individual laser beams to a plurality of Aus ⁇ crossing laser beams, each consisting of a An ⁇ Number of individual laser beams that can be reshaped.
  • the ends of the waveguide bundles are threaded, for example, into sleeves 25, which is of course also possible in all other embodiments.
  • the waveguide beam converter 2 can of course be designed for any number of individual laser beams both in the embodiment shown in FIG. 1 and in the embodiment shown in FIG. It is then only necessary to adapt the number of waveguides to the number of individual laser beams.
  • a number of waveguides 3 - 7 (z. B. consisting of Si0 2 glass with> 50 cation% Si0 2 ) in the form of a field of straight strips with methods of planar technology .
  • the cross section, the acceptance angle and the spacing of the waveguides 3 - 7 are exactly adapted to the characteristics of the input laser beam.
  • the waveguides 3 to 7 are then detached from the substrate 1 over a partial length 27 by means of a suitable etching technique, possibly while maintaining their cross-sectional shape.
  • This stack 10 can be a rectangular, parallelo- have a gram-like or other cross-sectional shape suitable for the corresponding purpose.
  • a separating layer 16 is first applied to a (100) silicon wafer 15.
  • B. consists of pure Si0 2 , Si0 2 -Ge0 2 glass or Si0 2 -P 2 0 5 glass and has a thickness of about 0.75 - 3 microns.
  • a first cladding glass layer 17 is applied to the separating layer 16 and a core layer 18 is applied to this.
  • the first cladding glass layer 17 consists, for example, of SiO 2 glass with> 50 cation% SiO 2 , the remaining cations preferably being selected from the group B, Ge, P, Ti.
  • a glass with the following composition is particularly suitable: 20-35 cation% BO- ,. 5 / 0.7 - 1.2 cation% Ge0 2 / 64-78% Si0 cation. 2
  • the first cladding glass layer 17 has, for. B. a thickness of about 5 to 10 microns.
  • the core layer 18 also consists, for example, of SiO 2 glass with> 50 cation% SiO 2 , the remaining cations preferably being selected from the group B, Ge, P, Ti, but the Ge and / or the Ti content being significantly higher is in the cladding glass layer 17.
  • a glass with the following composition is particularly suitable: 15-20 cation% BOi. s / 8-18 cation% Ge0 2 / 60-75% Si0 cation.
  • the core layer 18 is then structured by means of photolithography in connection with dry and / or wet etching. The width, the length and the spacing of the waveguide cores 19 from one another are thereby determined.
  • These dimensions are adapted to the dimensions of the laser diode array II and the characteristics of the input laser beam.
  • a second cladding glass layer 21 which consists of SiO 2 glass with> 50 cation% SiO 2 , the remaining cations preferably being selected from the group B, Ge, P, Ti. Particularly suitable is a glass with the following composition: 20 - 35% Kätion B0 15/0, '7 to 1.2 cation% Ge0 2 / 64-78% Si0 cation. 2
  • the second Mantel ⁇ glass layer 21 z. B. a thickness of 5 to 10 microns.
  • Flame hydrolysis for example, a method known in optical fiber technology, which is particularly suitable for the production of thick glass layers (thickness 5 5 ⁇ m), is suitable as the production method for the individual glass layers.
  • a method known in optical fiber technology which is particularly suitable for the production of thick glass layers (thickness 5 5 ⁇ m)
  • another method known to the person skilled in the art as being suitable can also be used.
  • a part of the cladding glass layers 17, 21 and the separating layer 16 lying between the waveguide cores 19 is first removed such that a number of waveguide cores 19 completely surrounded by a cladding glass layer 17, 21 remain and that between these the silicon wafer 15 is exposed.
  • separating layer 16 lying between the first cladding glass layer 17 and the (100) silicon wafer 15 is first removed from both sides of the waveguide 22, for example by means of etching with an NH 4 F / HF etching mixture.
  • This has proven to be advantageous for initiating the etching of the (100) silicon wafer 15.
  • It has also proven to be advantageous to choose the composition of the separating layer 16 such that it can be etched faster than the neighboring materials, but at least faster than the first cladding glass layer 17 lying above the separating layer 16.
  • the layers of glass the waveguide consists of B 2 0 3 -Si0 2 glass, which dissolves more slowly in an NH 4 F / HF etching mixture than B 2 0 3 -free Si0 2 glass.
  • This partial etching away of the separating layer 16 partially exposes the upper side of the silicon wafer below the waveguide 22.
  • This separation etching step can be repeated several times during the etching away of the (100) silicon below the waveguide 22, alternately with the latter.
  • areas with a lower etching rate, such as (111) surfaces which can appear as peaks from above under the glass front, cause the etching front to remain underneath the waveguide.
  • the (100) silicon is then removed using a suitable etchant (for example KOH solution, approx. 50% by weight, 50 ° C.) below the waveguide 22 in such a way that the waveguide 22 are detached from the silicon wafer 15 over part of their length (selective etching with an etching rate ratio v ((100) - Si): v (B-doped SiO 2 glass 80: 1).
  • a suitable etchant for example KOH solution, approx. 50% by weight, 50 ° C.
  • the waveguides 22 are parallel to the (100) direction is arranged on the surface of the silicon wafer 15 so that a U-shaped trench 26 can form between the waveguides and the silicon wafer 15. Ideally, this trench 26 has exactly vertical boundary surfaces.
  • a (100) silicon wafer 15 for example a (110) silicon wafer or another semiconductor wafer can also be used.
  • the orientation of the waveguides 22, the compositions of the individual glass layers and the etching agents must of course then be adapted to the particular circumstances. "
  • the state of stress of the separating layer 16 represents a critical point of the manufacturing process. If the separating layer 16 is under tension relative to the glass of the waveguide 22 (separating layer has a greater thermal expansion coefficient than the overlying cladding glass layer 17), then if the substrate is under compressive stress (eg separating layer made of pure SiO 2 ), then this risk is lower.
  • Such separating layer 16 must have a sufficient thickness so that separation cracks do not enter it under tension penetrate standing glass layers of the waveguide 22, which can also lead to damage to the waveguide 22.
  • a layer of 0.75 ⁇ m - 3 ⁇ m thick made of Si0 2 -Ge0 2 glass or Si0 2 - P 2 0 5 glass fulfills the abovementioned It can either be applied directly to the substrate by flame hydrolysis or thermally by a two-layer system made of 200 nm em Si0 2 followed by 1 - 3 ⁇ m Si0 2 -Ge0 2 glass.
  • a gradient layer can also be formed as the separating layer 16.
  • a thin (e.g. 750nm thick) Si oxide layer is allowed to grow.
  • the first cladding glass layer 17, to which Ge0 2 is added is applied to the oxide layer.
  • a temperature treatment in the further course of the process for example
  • the separation layer 16 is used up during this procedure or removed in an NH 4 F / HF cleaning etching step after the KOH etching. The separating layer 16 is retained over the not etched free length of the waveguide 22.
  • the composition in the three-phase system Si0 2 -B 2 0 3 -Ge0 2 can be controlled in such a way that the core glass layer 18 and the cladding glass layers 17 are maintained while maintaining the desired refractive indices , 21 the Thermal expansion coefficient increases from the first cladding glass layer 17 via the core glass layer 18 to the second cladding glass layer 21.
  • the above three-phase system Ti0 2 or P 2 0 5 can be added. The coefficient of expansion of the second cladding glass layer 21 is then closest to that of the silicon wafer 15.
  • Waveguides 22 produced in this way have a defined upward curvature when etched free. During the final phase of the detachment process of the waveguides 22, breaks can therefore lead less easily to a breakdown catastrophe.
  • the beam outlet send the waveguide 22, d. H.
  • the fiber stack or fibers 24, as well as for assembling the beam exit ends an L-shaped or U-shaped or a closed sleeve 25 can be used, into which the etched-out, upwardly curved waveguides 22, for. B. introduced by threading.
  • the beam exit ends of the waveguide 22 can be sawn off and polished or provided with an anti-reflective layer and anti-reflective. The same applies to the beam entry ends of the waveguides 22.
  • a protective layer can be applied to the waveguide 22, the z. B. from a glass with a high Si content or Silicon nitride (this can be produced using the plasma process) and can have a thickness of approximately 2 ⁇ m.
  • the separating layer 16 has the task of protecting the Si crystal against diffusion of impurities which could cause a change in the etching rate of silicon. Boron diffusion from the superordinate glass layers (cladding glass layers 17, 21 and core layer 18) leads, for example, to a drastic reduction in the Si etching rate in KOH, so that detachment of the waveguides 22 is practically prevented.
  • the separating layer 16 must therefore be free of dopants at least at the boundary to the silicon wafer, which reduce the silicon etching rate.
  • the method described above it is advantageously possible, by varying the glass compositions, to adapt the glass properties to the boundary conditions specified by the overall system.
  • the layer thicknesses and the numerical aperture of the waveguide can be quickly adapted to the input laser beam during the manufacturing process.
  • Another advantage of the method according to the invention is that the distances between the waveguides on the substrate can be easily adapted to the grid dimension of the laser diode field by means of photolithographic methods.

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Abstract

Verfahren zum Herstellen eines Wellenleiter-Strahlumsetzers zum Umformen eines Laserstrahlenbündels. Eine Mehrzahl von Wellenleitern (3-7) wird derart hergestellt und angeordnet, dass in jeden Wellenleiter mindestens ein Einzellaserstrahl einkoppelbar ist. Es werden zunächst mittels Planartechnik die Wellenleiter (3-7) auf einem Substrat (1) hergestellt und nachfolgend ausgehend von ihren Strahlaustrittsenden über einen Teil ihrer Länge von dem Substrat abgelöst. Die freien Enden werden dann entsprechend einer vorgesehenen Ausgangs-Strahlenanordnung des Ausgangslaserstrahlenbündels (10) angeordnet und fixiert.

Description

Verfahren zum Herstellen eines Wellenleiter-Strahlumsetzers
Die Erfindung bezieht sich auf ein Verfahren zum Herstellen eines Wellenleiter-Strahlumsetzers gemäß dem Oberbegriff des Anspruches l. Das erfindungsgemäße Verfahren dient insbeson¬ dere zum Herstellen eines Wellenleiter-Strahlumsetzers zur Erhöhung der Strahlungsdichte eines von einem Laserdioden- Barren abgestrahlten LaserStrahlenbündels.
Einzelne Halbleiterlaserdioden stellen bekanntlich Strah¬ lungsquellen mit hoher Strahlungsdichte dar. Physikalisch be¬ dingt ergeben sich jedoch für Halbleiterlaser-Strahlungsquel- len mit hoher Strahlungsleistung wesentliche Beschränkungen. Laserdioden geben nämlich streifenförmige Einzellaserstrahlen ab, so daß zur Erzeugung eines kompakten LaserStrahlenbündels mit hoher Strahlungsleistung die streifenformigen Einzella¬ serstrahlen übereinander angeordnet werden müssen. Aufgrund der hohen Verlustleistung von Halbleiterlaserdioden ist je¬ doch die Packungsdichte von Einzellaserdioden begrenzt. Es ist daher erforderlich, die von einer Mehrzahl von Einzella¬ serdioden abgestrahlten Einzellaserstrahlen beispielsweise mittels eines Wellenleiter-Strahlumsetzers zu bündeln.
Ein solcher Wellenleiter-Strahlumsetzer ist beispielsweise aus der internationalen Patentanmeldung WO 94/152 34 bekannt. Hierin ist eine Lichtleitfaseranordnung aus einer Mehrzahl von gekrümmten rechteckigen Lichtleitfasern beschrieben, mit¬ tels derer ein von einem Laserdiodenbarren abgestrahltes Ein¬ gangs-LaserStrahlenbündel aus nebeneinander angeordneten Ein- zellaserstrahlen in ein Ausgangs-Laserstrahlenbündel aus übereinander angeordneten streifenformigen Einzellaserstrah¬ len umgeformt wird. Die Lichtleitfasern sind eingangsseitig in einer Reihe nebeneinander angeordnet, so daß jeder Einzel- laserstrahl des Eingangs-LaserStrahlenbündels in eine sepa- rate Lichtleitfaser eingekoppelt wird. Ausgangsseitig sind die Lichtleitfasern in Form eines Stapels übereinander ange- ordnet, so daß von den Endflächen der Lichtleitfasern ein im Querschnitt rechteckiges Ausgangs-Laserstrahlenbündel abge¬ strahlt wird. Dieses Ausgangs-Laserstrahlenbündel wird nach¬ folgend durch eine Kugellinse hindurch in einem im Quer- schnitt kreisförmigen Faserlaser eingekoppelt.
Die Lichtleitfasern sind eingangsseitig in Präzisionsnuten eines Justierblockes befestigt, die derart ausgebildet sind, daß die Anordnung und der Abstand der Lichtleitfasern unter- einander der Anordnung und dem Abstand der eingekoppelten
Einzellaserstrahlen entspricht. Die Lichtleitfasern bestehen aus alkali- oder erdalkalihaltigen Silikatgläsern (Weichglas) wie beispielsweise BAK 5 für den Faserkern und BAK 2 für den Fasermantel, der wiederum von einem beispielsweise aus LAKN 12 gefertigten Stützmantel umgeben ist. Die Herstellung des Lichtleitfaserbündels erfolgt in folgenden Schritten:
Zunächst wird der Faserkern mit dem Fasermantel hergestellt. Nachfolgend wird der Fasermantel mit dem Material des Stütz- mantels umhüllt, das eine bedeutend höhere Ätzrate als das Material des Fasermantels aufweist. Bevor das Stützmantelma¬ terial anschließend bis auf eine dünne Stützmantelschicht ab¬ geätzt wird, wird der oben beschriebene Verbund aus Faser¬ kern, Fasermantel und Stützmantelschicht derart ausgezogen, daß der Querschnitt des Faserkerns nach dem Ausziehen noch etwas größer ist als das vorgesehene Endmaß.
Eine Anzahl der so hergestellten Lichtleitfasern werden dann übereinandergestapelt und miteinander verbunden. Der Stapel wird dann nochmals mit einer Umhüllung versehen und anschlie¬ ßend erneut ausgezogen, bis der Stapel die gewünschte Geome¬ trie aufweist. Die Lichtleitfasern des Stapels werden nach¬ folgend an einem Ende des Stapels mittels Ätzen wieder ver¬ einzelt, nebeneinander in den Präzisionsnuten des Justier- blocks befestigt und derart ausgebildet, daß die vom Laserdi- odenbarren abgestrahlten Einzellaserstrahlen in die Faseren¬ den eingekoppelt werden können.
Wie aus der obigen Beschreibung ersichtlich ist, ist bislang die Herstellung eines Wellenleiter-Strahlumsetzers der ein¬ gangs genannten Art sehr aufwendig und kompliziert und folg¬ lich sehr kostenintensiv.
Die Aufgabe der Erfindung besteht darin, ein Verfahren zum Herstellen eines Wellenleiter-Strahlumsetzers zu entwickeln, das einfach durchführbar ist und das es erlaubt, auf einfache Weise gleichzeitig eine Mehrzahl von Wellenleiter-Strahlum¬ setzern herzustellen.
Diese Aufgabe wird durch ein Verfahren der eingangs genannten Art mit den Kennzeichen des Anspruches 1 gelöst.
Der Vorteil dieses erfindungsgemäßen Verfahrens besteht ins¬ besondere darin, daß zur Herstellung des Wellenleiter-Strah- lumsetzers nur wenige aus der Planartechnik bekannte Verfah¬ rensschritte nötig sind, die auf einfache Weise ausführbar sind.
Außerdem können bei dem erfindungsgemäßen Verfahren vorteil- hafterweise Wellenleiter aus optisch hochwertigen Gläser auf einem Substrat bedarfsgerecht hergestellt werden. Die Glaszu¬ sammensetzungen können dem speziellen Zeck angepaßt werden. Strahlungsverluste im Wellenleiter-Strahlumsetzer können so¬ mit gering gehalten werden.
Des weiteren ist es mit dem erfindungsgemäßen Verfahren auf einfache Weise durch Variation der Glaszusammensetzungen mög¬ lich, die Glaseigenschaften den vom Gesamtsystem vorgegebenen Randbedingungen anzupassen. Ein besonderer Vorteil dieses Herstellungsverfahrens besteht darin, daß das Laserdiodenfeld, beispielsweise ein Laserdi¬ odenbarren oder eine Mehrzahl von Einzellaserdiodenchips, auf demselben Substrat aufgebracht werden kann wie der Wellenlei- ter-Strahlumsetzer. Ebenso können auf diesem Substrat auch Koppeloptiken zum Einkoppeln des Eingangs-Laserstrahlenbün- dels in den Wellenleiter-Strahlumsetzer und/oder Koppelopti¬ ken zum Einkoppeln des Ausgangs-Laserstrahlenbündels in eine einzelne Lichtleitfaser, einen weiteren Laser oder in eine andere Vorrichtung angeordnet sein. Dadurch ist erreicht, daß sowohl das Laserdiodenfeld als auch ggf. notwendige Koppelop¬ tiken auf einfache Weise exakt zum Wellenleiter-Strahlumset¬ zer justiert montiert werden kann bzw. können. Dazu können beispielsweise Positionsgruben oder -kanten in oder auf dem Substrat hergestellt sein.
Von Vorteil ist weiterhin, daß die Wellenleiter aus einem Si02-Glas hergestellt werden können, das mehr als 50 Kation% Si02 aufweist. Derartige Gläser haben eine hohe optische Qua- lität. Dadurch können die Strahlungsverluste im Wellenleiter- Strahlumsetzer, d. h. sowohl im lichtführenden Wellenleiter¬ kern als auch an der Grenzfläche zwischen dem Wellenleiter¬ kern und dem Wellenleitermantel niedrig gehalten werden. Ein wesentlicher Vorteil der o. g. Si02-Gläser ist, daß sie durch Gasphasenabscheidung hergestellt werden können, wodurch die Herstellung von Glasschichten auf einem Substrat wesentlich erleichtert ist. Einzelne Glasschichten können ohne große Schwierigkeiten blasenfrei und schlierenfrei exakt übereinan- dergelegt hergestellt werden, wodurch störungsfreie und damit optisch hochwertige Grenzflächen entstehen. Von weiterem Vor¬ teil ist auch, daß diese Gläser durch Gasphasenätzverfahren wieder entfernt werden können.
Eine vorteilhaftes Verfahren zum Herstellen eines Wellenlei- ters auf einem Substrat, der zumindest über einen ersten Teil seiner Länge von dem Substrat abgelöst ist und über einen zweiten Teil seiner Länge mit dem Substrat verbunden ist, und eine vorteilhafte Ausführungsform des erfindungsgemäßen Ver¬ fahrens sind in Anspruch 4 bzw. 5 angegeben. Von Vorteil ist hierbei, daß ausschließlich aus der Planartechnik bekannte Verfahrensschritte verwendet werden, die in herkömmlichen Fertigungslinien der Halbleitertechnik durchführbar sind.
Ebenso ist es vorteilhafterweise mit dem erfindungsgemäßen Verfahren auf einfache Weise möglich, einen Wellenleiter- Strahlumsetzer herzustellen, bei dem die Wellenleiter derart angeordnet sind, daß aus ihnen eine Mehrzahl von Ausgangs-La¬ serstrahlenbündeln auskoppelbar sind. Dadurch kann vorteil¬ hafterweise das von einem Laserdiodenfeld abgestrahlte Ein- gangs-Laserstrahlenbündel in eine Mehrzahl von rechteckigen Ausgangs-Laserstrahlenbündeln umgeformt werden, die dann wie¬ derum sehr effizient in Wellenleiter mit rundem Querschnitt eingekoppelt werden können.
Die Erfindung wird im folgenden anhand eines Ausführungsbei- spieles in Verbindung mit den Figuren 1 bis 4 näher erläu¬ tert. Es zeigen:
Figur l eine schematische perspektivische Darstellung eines Wellenleiter-Strahlumsetzers, der nach dem erfin- dungsgemäßen Verfahren hergestellt ist,
Figur 2 eine schematische Darstellung einer Seitenansicht ei¬ nes Wellenleiter-Strahlumsetzerε, der nach dem erfin¬ dungsgemäßen Verfahren herstellt ist und der ein¬ gangsseitig an ein Laserdiodenfeld und ausgangsseitig an eine eine Lichtleitfaser optisch angekoppelt ist,
Figur 3 eine schematische Darstellung einer Draufsicht einer zweiten Ausführungsform eines Wellenleiter-Strahlum¬ setzers, der nach dem erfindungsgemäßen Verfahren hergestellt ist, Figur 4 eine schematische Darstellung eines Ablaufes des er¬ findungsgemäßen Verfahrens. Bei der in Figur 1 dargestellten Anordnung iεt auf einem Substrat 1, beispielsweise ein Silizium-Substrat, ein Wellen¬ leiter-Strahlumsetzer 2 angeordnet, der z. B. aus 5 Wellen¬ leitern 3 bis 7 besteht. Auf der Seite der Strahleingangsen- den 8 sind die Wellenleiter 3 bis 7 nebeneinander auf dem
Substrat 1 aufliegend angeordnet. Die Wellenleiter 3 - 7 sind über eine Teillänge 27 von dem Substrat abgelöst und auf der Seite der Strahlausgangsenden 9 sind die Wellenleiter 3 - 7 zu einem aus übereinander angeordneten Wellenleiterenden be- stehender Stapel 10 zusammengeführt und fixiert.
In die Strahleintrittsenden 8 der Wellenleiter 3 bis 7 sind die Einzellaserstrahlen eines Laserdiodenfeldes 11, z. B. ei¬ nes Laserdiodenbarrens, einkoppelbar, die jeweils beispielsweise einen streifenformigen Querschnitt aufweisen. Die Einzellaserstrahlen können aus einem einzelnen Laserstrahl oder aus einer Mehrzahl von einzelnen im Querschnitt kleineren Laserstrahlen bestehen. Ein im Querschnitt streifenförmiger Einzellaserstrahl kann eine Strahlbreite von etwa 200μm und einer Strahlhöhe von etwa 2μm aufweisen.
Zwischen dem Laserdiodenfeld 11 und den Lichteintrittsenden 8 kann eine Strahlenparallelisierungsoptik 12 (Figur 2) wie beispielsweise eine Zylinderlinse oder eine Beugungsoptik an¬ geordnet sein, die eine vertikale Divergenz der Einzellaser¬ strahlen zumindest verringert. Die Abmessungen der Wellenlei¬ ter 3 bis 7 sind an die Abmessungen der einzukoppelnden Ein¬ zellaserstrahlen angepaßt.
Aus den als Stapel 10 angeordneten Strahlaustrittsenden 9 ist ein rechteckiges Ausgangs-LaserStrahlenbündel auskoppelbar, das beispielsweise durch eine Kugellinse hindurch oder direkt in einen im Querschnitt z. B. kreisförmigen Wellenleiter 14, in einen Faserlaser oder in einen anderen Laser einkoppelbar ist. Wie in Figur 3 gezeigt, können mit dem erfindungsgemäßen Ver¬ fahren ebenso Wellenleiter-Strahlumsetzer 2 hergestellt wer¬ den, mit denen ein Eingangs-Laserstrahlenbündel aus einer Mehrzahl von Einzellaserstrahlen zu einer Mehrzahl von Aus¬ gangs-Laserstrahlenbündeln, jeweils bestehend aus einer An¬ zahl von Einzellaserstrahlen, umgeformt werden kann. Die Enden der Wellenleiterbündel sind bei dieser Ausführungsform beispielsweise in Hülsen 25 eingefädelt, was natürlich auch bei sämtlichen anderen Ausführungsformen möglich ist.
Der Wellenleiter-Strahlumsetzer 2 kann natürlich sowohl bei der in Figur 1 als auch bei der in Figur 3 dargestellten Aus- führungsform für eine beliebige Anzahl von Einzellaserstrah- len ausgelegt sein. Es muß dann lediglich die Anzahl der Wel¬ lenleiter an die Anzahl der Einzellaserstrahlen angepaßt wer¬ den.
Das erfindungsgemäße Verfahren läuft allgemein wie folgt ab:
Zunächst wird auf einem Substrat 1, z. B. auf einem Silizium- Substrat, eine Anzahl von Wellenleitern 3 - 7 (z. B. beste¬ hend aus Si02-Glas mit > 50 Kation% Si02) in Form eines Fel¬ des aus geradlinigen Streifen mit Methoden der Planartechnik hergestellt. Der Querschnitt, der Akzeptanzwinkel und der Ab¬ stand der Wellenleiter 3 - 7 werden dabei exakt an die Cha¬ rakteristik des Eingangs-Laserstrahlenbündels angepaßt. Die Wellenleiter 3 bis 7 werden dann ausgehend von ihren Strahlaustrittsenden 9 über eine Teillänge 27 mittels einer geeigneten Ätztechnik gegebenenfalls unter Erhalt ihrer Quer¬ schnittsform vom Substrat l abgelöst. Die freien Teillängen 27 der Wellenleiter 3 bis 7 werden nun unter Vermeidung von zu geringen Biegeradien aus einer Strahlebene des Eingangs- Laserstrahlenbündels heraus versetzt und zu einem Stapel 10 gebündelt. Dieser Stapel 10 kann eine rechteckige, parallelo- grammförmige oder eine andere für den entsprechenden Zweck geeignete Querschnittsform aufweisen.
Bei dem in Figur 4 schematisch dargestellten detaillierten Ablauf eines erfindungsgemäßen Verfahrens wird zunächst auf einer (100) -Siliziumscheibe 15 eine Trennschicht 16 aufge¬ bracht, die z. B. aus reinem Si02, aus Si02-Ge02-Glas oder aus Si02-P205-Glas besteht und eine Dicke von etwa 0,75 - 3 μm aufweist. Nachfolgend wird auf die Trennschicht 16 eine erste Mantelglasschicht 17 und auf diese eine Kernschicht 18 aufge¬ bracht. Die erste Mantelglasschicht 17 besteht beispielsweise aus Si02-Glas mit > 50 Kation% Si02, wobei die restlichen Ka¬ tionen vorzugsweise aus der Gruppe B, Ge, P, Ti ausgewählt werden. Geeignet ist insbesondere ein Glas mit folgender Zu- sammensetzung: 20 - 35 Kation% BO-,.5/0,7 - 1,2 Kation% Ge02/64 - 78 Kation% Si02. Die erste Mantelglasschicht 17 hat z. B. eine Dicke von etwa 5 bis 10 μm. Die Kernschicht 18 besteht beispielsweise ebenfalls aus Si02-Glas mit > 50 Kation% Si02, wobei die restlichen Kationen vorzugsweise aus der Gruppe B, Ge, P, Ti ausgewählt werden, der Ge- und/oder der Ti-Gehalt jedoch deutlich höher ist als in der Mantelglasschicht 17. Geeignet ist insbesondere ein Glas mit folgender Zusammenset¬ zung: 15 - 20 Kation% BOi.s/ 8 - 18 Kation% Ge02/ 60 - 75 Ka- tion% Si02. Durch die Erhöhung des Ge- und/oder des Ti-Ge- halts erzielt man eine gegenüber der ersten Mantelglasschicht 17 erhöhte Brechzahl, entsprechend der erwünschten numeri¬ schen Apertur. Die Kernschicht 18 wird dann mittels Fotoli¬ thographie in Verbindung mit Trocken- und/oder Naßätzung strukturiert. Dadurch wird die Breite, die Länge und der Ab- stand der Wellenleiterkerne 19 untereinander festgelegt.
Diese Maße sind den Abmessungen des Laserdiodenfeldes ll und der Charakteristik des Eingangs-Laserstrahlenbündels ange¬ paßt.
Auf die auf der ersten Mantelglasschicht 17 verbliebenen Wel¬ lenleiterkerne 19 und die freien Oberflächen 20 der Mantel- glasschicht 17 wird nun eine zweite Mantelglasschicht 21 auf¬ gebracht, die aus Si02-Glas mit > 50 Kation% Si02 besteht, wobei die restlichen Kationen vorzugsweise aus der Gruppe B, Ge, P, Ti ausgewählt werden. Geeignet ist insbesondere ein Glas mit folgender Zusammensetzung: 20 - 35 Kätion% B015/0,'7 - 1,2 Kation% Ge02/64 - 78 Kation% Si02. Die zweite Mantel¬ glasschicht 21 weist z. B. eine Dicke von 5 bis 10 μm auf.
Als Herstellungsverfahren für die einzelnen Glasschichten eignet sich beispielsweise die Flammenhydrolyse, ein in der Lichtwellenleitertechnik bekanntes Verfahren, das besonders für die Herstellung dicker Glasschichten (Dicke ≥ 5μm) geeig¬ net ist. Ebenso kann aber auch ein anderes dem Fachmann als geeignet bekanntes Verfahren eingesetzt werden.
Vor dem Freiätzen der Wellenleiter wird zunächst ein Teil der zwischen den Wellenleiterkernen 19 liegenden Mantelglas- schichten 17, 21 und die Trennschicht 16 entfernt, derart, daß auf dem Siliziumscheibe 15 eine Anzahl von vollständig mit einer Mantelglasschicht 17, 21 umgebene Wellenleiterkerne 19 zurückbleiben und daß zwischen diesen die Siliziumscheibe 15 freiliegt.
Das Ablösen der Wellenleiter über einen Teil ihrer Länge läuft folgendermaßen ab:
Optional wird zunächst von beiden Seiten der Wellenleiter 22 ein Teil der zwischen der ersten Mantelglasschicht 17 und der (100) -Siliziumscheibe 15 liegenden Trennschicht 16 entfernt, beispielsweise mittels Ätzen mit einer NH4F/HF-Ätzmischung. Dies hat sich zur Initiierung der Ätzung der (100) -Silizium¬ scheibe 15 als günstig erwiesen. Ebenfalls als günstig erwie¬ sen hat sich, die Zusammensetzung der Trennschicht 16 so zu wählen, daß sie sich schneller ätzen läßt als die benachbar¬ ten Materialien, mindestens jedoch schneller als die über der Trennschicht 16 liegende erste Mantelglasschicht 17. Dies wird beispielsweise dadurch erreicht, daß die Glasschichten der Wellenleiter aus B203-Si02-Glas bestehen, das sich in ei¬ ner NH4F/HF-Ätzmischung langsamer löst als B203-freies Si02- Glas. Es gilt: Je höher der B-Gehalt, desto geringer die Ätz- rate.
Durch dieses teilweise Wegätzen der Trennschicht 16 wird die Oberseite der Siliziumscheibe unterhalb der Wellenleiter 22 teilweise freigelegt. Dieser Trennätzschritt kann mehrfach während der Wegätzung des (100) -Siliziums unterhalb der Wel- lenleiter 22, abwechselnd mit dieser wiederholt werden. Durch das Wegätzen der Trennschicht 16 kann verhindert werden, daß Bereiche mit geringerer Ätzrate, wie beispielsweise (111)- Flächen, die von oben als Spitzen unter der Glasfront auftre¬ ten können, ein störendes Zurückbleiben der Ätzfront unter- halb der Wellenleiter bewirken.
Im Anschluß an das Wegätzen der Trennschicht 16 wird dann mittels eines geeigneten Ätzmittels (z. B. KOH-Lösung, ca. 50 Gew.%, 50°C) unterhalb der Wellenleiter 22 das (100) -Silizum derart entfernt, daß die Wellenleiter 22 über einen Teil ih¬ rer Länge von der Siliziumscheibe 15 abgelöst sind (selektives Ätzen mit einem Ätzratenverhältnis v((100)- Si) :v(B-dotiertes Si02-Glas « 80:1). Die Wellenleiter 22 sind parallel zur (100) -Richtung auf der Oberfläche der Silizium- scheibe 15 angeordnet, damit sich zwischen den Wellenleitern und der Siliziumscheibe 15 ein U-förmiger Graben 26 ausbilden kann. Idealerweise besitzt dieser Graben 26 exakt vertikale Begrenzungsflächen.
Anstelle einer (100) -Silizumscheibe 15 kann beispielsweise auch eine (110) -Siliziumscheibe oder eine andere Halbleiter¬ scheibe verwendet werden. Die Orientierung der Wellenleiter 22, die Zusammensetzungen der einzelnen Glasschichten sowie die Ätzmittel müssen dann natürlich den jeweiligen Gegeben- heiten angepaßt werden. "Einen kritischen Punkt des Herstellungsverfahrens stellt der Spannungszustand der Trennschicht 16 dar. Steht die Trenn¬ schicht 16 relativ zum Glas der Wellenleiter 22 unter Zugs¬ pannung (Trennschicht besitzt einen größeren thermischen Aus- dehnungskoeffizienten als die darüberliegende Mantelglas¬ schicht 17) , so kann dies zum Bruch beim Ablösen vom Substrat führen. Steht sie unter Druckspannung (z. B. Trennschicht aus reinem Si02) , so ist diese Gefahr geringer. Eine derartige Trennschicht 16 muß eine ausreichende Dicke besitzen, damit Ablösungsrisse in ihr nicht in die unter Zug stehenden Glas¬ schichten der Wellenleiter 22 eindringen, was ebenfalls zu einer Schädigung der Wellenleiter 22 führen kann. Eine Schicht von 0,75μm - 3μm Dicke aus Si02-Ge02-Glas oder Si02- P205-Glas erfüllt die genannten Anforderungen. Sie kann ent- weder direkt auf das Substrat durch Flammenhydrolyse aufge¬ bracht werden oder durch ein 2-Schichtsystem aus 200nm ther¬ mischem Si02 gefolgt von 1 - 3μm Si02-Ge02-Glas angenähert werden.
Als weitere Möglichkeit kann als Trennschicht 16 auch eine Gradientenschicht ausgebildet sein. Dabei läßt man zunächst eine dünne (z. B. 750nm dicke) Si-Oxidschicht aufwachsen. Da¬ nach wird die erste Mantelglasschicht 17, der Ge02 beigefügt ist, auf die Oxidschicht aufgebracht. Durch eine Temperatur- behandlung im weiteren Prozeßverlauf bei beispielsweise
1200°C diffundiert Ge in die Si02 Schicht. Die Trennschicht 16 wird während dieser Prozedur aufgebraucht oder nach der KOH-Ätzung in einem NH4F/HF-Reinigungsätzschritt entfernt. Über die nicht freigeätzte Länge der Wellenleiter 22 bleibt die Trennschicht 16 erhalten.
Zur weiteren Optimierung des Spannungsaufbaus in den Wellen¬ leitern 22 und zur Verringerung der Bruchgefahr kann die Zu¬ sammensetzung im Dreiphasensystem Si02-B203-Ge02 so gesteuert werden, daß unter Einhaltung der gewünschten Brechzahlen der Kernglasschicht 18 und der Mantelglasschichten 17, 21 der thermische Ausdehnungskoeffizient von der ersten Mantelglas¬ schicht 17 über die Kernglaεschicht 18 bis zur zweiten Man¬ telglasschicht 21 hin ansteigt. Optional kann dem o. g. Drei¬ phasensystem Ti02 oder P205 zugegeben werden. Der Ausdehnungs- koeffizient der zweiten Mantelglasschicht 21 ist dann dem der Siliziumscheibe 15 am nächsten. Dies kann bei Brechzahlkom¬ pensation durch Ge02 über eine Erhöhung des B203-Gehalts oder des P205-Gehalts erfolgen. Derart hergestellte Wellenleiter 22 weisen im freigeätzten Zustand eine definierte Krümmung nach oben auf. Während der Endphase des Ablösevorgangs der Wellenleiter 22 können dadurch Abrisse weniger leicht zu ei¬ ner Bruchkatastrophe führen.
Da bei hinreichender Nachätzzeit in KOH und/oder NH4/HF Ablö- sungsrisse verrunden und verschwinden, ist eine ausreichende Endfestigkeit der Wellenleiter 22 ohne weiteres erreichbar. Zur weiteren Kantenverrundung kann jedoch auch ein Nachtem¬ pern bei Temperaturen von ungefähr 800°C erfolgen.
Zur Arretierung und Verklebung/Verlötung der Strahlaustritt¬ senden der Wellenleiter 22, d. h. zum Beispiel des oder der Faserstapel 24, sowie zur Konfektionierung der Strahlauε- trittsenden kann eine L-oder U-förmige oder eine geschlossene Hülse 25 verwendet werden, in die die freigeätzten, nach oben gekrümmten Wellenleiter 22 z. B. durch Einfädeln eingeführt werden.
Die Strahlaustrittsenden der Wellenleiter 22 können abgesägt und poliert oder mit einer Antireflexschicht versehen und entspiegelt werden. Gleiches gilt für die Strahleintrittsen¬ den der Wellenleiter22.
Zur Vermeidung von Alterungsseffekten (Spannungsrißkorrosion) kann auf die Wellenleiter 22 eine Schutzschicht aufgebracht werden, die z. B. aus einem Glas mit hohem Si-Anteil oder aus Siliziumnitrid (diese ist mit Plasmaverfahren herstellbar) bestehen und eine Dicke von ca. 2 μm aufweisen kann.
Die Trennschicht 16 hat neben der oben genannten Funktion die Aufgabe, den Si-Kristall gegen Eindiffusion von Verunreini¬ gungen zu schützen, die eine Änderung der Ätzrate von Sili¬ zium bewirken könnten. Bor-Diffusion aus den übergeordneten Glasschichten (Mantelglasschichten 17, 21 und Kernschicht 18) führt beispielsweise zu einer drastischen Verringerung der Si-Ätzrate in KOH, so daß ein Ablösen der Wellenleiter 22 praktisch verhindert wird. Die Trennschicht 16 muß daher zu¬ mindest an der Grenze zur Siliziumscheibe frei von Dotier¬ stoffen sein, die die Silizium-Ätzrate verringern.
Mit dem oben beschriebenen Verfahren ist es vorteilhafter¬ weise durch Variation der Glaszuεammenεetzungen möglich, die Glaseigenschaften den vom Gesamtεystem vorgegebenen Randbe¬ dingungen anzupassen. Die Schichtdicken und die numerische Apertur der Wellenleiter kann im Herstellungsprozeß rasch dem Eingangs-Laserstrahlenbündel angepaßt werden.
Ein weiterer Vorteil des erfindungsgemäßen Verfahrens besteht darin, daß die Abstände zwischen den Wellenleiter auf dem Substrat durch photolithographische Methoden einfach an das Rastermaß des Laserdiodenfeldes angepaßt werden können.

Claims

Patentansprüche
1. Verfahren zum Herstellen eines Wellenleiter-Strahlumset¬ zers zum geometrischen Umformen eines von einem Laserdioden- feld abgestrahlten, eine Anzahl von Einzellaserstrahlen aufweisenden Eingangslaserstrahlenbündels mit einem Eingangs- Strahlenmuster, bei dem eine Anzahl von Wellenleitern derart hergestellt und angeordnet wird, daß in jeden Wellenleiter mindestenε ein Einzellaserstrahl einkoppelbar ist und bei dem die Wellenleiter derart geformt und angeordnet werden, daß aus ihnen ein Ausgangslaserstrahlenbündel mit einem Ausgangs- Strahlenmuster auskoppelbar ist, dadurch ge ¬ kennzeichnet , daß die Wellenleiter zunächst mittels Planartechnik auf einem Substrat hergestellt werden und daß nachfolgend mindestens einer der Wellenleiter ausgehend von seinem Strahlaustrittsende über einen Teil seiner Länge von dem Substrat abgelöst, und entsprechend dem Ausgangs- Strahlenmuster des Ausgangslaserstrahlenbündels gekrümmt und fixiert wird.
2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekenn¬ zeichnet , daß das Laserdiodenfeld und/oder eine Anzahl von Koppeloptiken zum Formen der Einzellaserstrahlen des Eingangslaεerstrahlenbündels oder zum Formen des Ausgangslaserstrahlenbündels auf demselben Substrat wie die Wellenleiter angebracht wird.
3. Verfahren nach Ansüpruch 1 oder 2, dadurch ge ¬ kennzeichnet , daß die Wellenleiter aus einem Glas hergestellt werden, das mehr als 50 Kation% Si02 aufweist.
4. Verfahren zum Herstellen mindestens eines Wellenleiters auf einem Substrat, der zumindest über einen ersten Teil seiner Länge von dem Substrat abgelöst ist und über einen zweiten Teil seiner Länge mit dem Substrat verbunden ist, wobei der gegenüber dem zweiten Teil seiner Länge bewegliche erste Teil des Wellenleiters mit den folgenden Verfahrensεchritten erzeugt wird: a) Herstellen des Substrats, b) Aufbringen einer Trennschicht auf das Substrat, c) Aufbringen einer ersten Mantelglasεchicht auf die Trenn¬ schicht, d) Aufbringen eines Wellenleiterkerns, bestehend aus einer Kernschicht, auf die erste Mantelglasschicht, e) Aufbringen einer zweiten Mantelglasεchicht auf den Wellen- leiterkern und auf freie Teilbereiche der ersten
Mantelglasschicht neben dem Wellenleiterkern, derart, daß der Wellenleiterkern vollständig von der ersten und der zweiten Mantelglasschicht umgeben ist, und e) Ablösen des Wellenleiters vom Substrat über den ersten Teil seiner Länge.
5. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet , daß eine Anzahl von Wellenleitern zumindest über einen ersten Teil ihrer Länge von dem Substrat abgelöst werden und über einen zweiten Teil ihrer Länge mit dem Substrat verbunden bleiben, wobei die jeweils gegen den zweiten Teil beweglichen ersten Teile der jeweiligen Wellenleiter mit den folgenden Verfahrensschritten erzeugt werden: a) Herstellen des Substratε, b) Aufbringen einer Trennschicht auf das Substrat, c) Aufbringen einer ersten Mantelglasεchicht auf die Trenn¬ schicht, d) Aufbringen einer Kernschicht auf die erste Mantelglas- Schicht, e) Strukturieren der Kernschicht, so daß eine Anzahl von von¬ einander getrennten Wellenleiterkernen auf der ersten Man¬ telglasεchicht verbleiben, f) Aufbringen einer zweiten Mantelglaεεchicht auf die Wellen- leiterkerne und auf die freien Teilbereiche der erεten Man¬ telglasschicht zwischen den Wellenleiterkernen, derart, daß die Wellenleiterkerne vollständig von den Mantelglasschichten umgeben sind, d) Entfernen eines Teiles der zwischen den Wellenleiterkernen liegenden ersten und zweiten Mantelglasschichten, derart, daß eine Anzahl von voneinander getrennten Wellenleitern auf dem Substrat verbleibt und daß jeder Wellenleiter einen vollstän¬ dig von den Mantelglasεchichten umgebenen Wellenleiterkern aufweist, und e) Ablöεen der Wellenleiter vom Substrat über den ersten Teil ihrer Länge.
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