WO1992019785A1 - Method and device for treatment of articles in gas-discharge plasma - Google Patents

Method and device for treatment of articles in gas-discharge plasma Download PDF

Info

Publication number
WO1992019785A1
WO1992019785A1 PCT/RU1992/000088 RU9200088W WO9219785A1 WO 1992019785 A1 WO1992019785 A1 WO 1992019785A1 RU 9200088 W RU9200088 W RU 9200088W WO 9219785 A1 WO9219785 A1 WO 9219785A1
Authority
WO
WIPO (PCT)
Prior art keywords
product
gas
processed
vacuum
plasma
Prior art date
Application number
PCT/RU1992/000088
Other languages
English (en)
French (fr)
Inventor
Leonid Pavlovich Sablev
Anatoly Afanasievich Andreev
Sergei Nikolaevich Grigoriev
Alexandr Sergeevich Metel
Original Assignee
Nauchno-Proizvodstvennoe Predpriyatie 'novatekh'
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Priority claimed from SU4938768 external-priority patent/RU2010031C1/ru
Priority claimed from SU5002413 external-priority patent/RU2022056C1/ru
Priority claimed from SU915002528A external-priority patent/RU1834911C/ru
Application filed by Nauchno-Proizvodstvennoe Predpriyatie 'novatekh' filed Critical Nauchno-Proizvodstvennoe Predpriyatie 'novatekh'
Priority to US08/146,043 priority Critical patent/US5503725A/en
Priority to JP4511099A priority patent/JPH06506986A/ja
Priority to DE69227313T priority patent/DE69227313T2/de
Priority to EP92911913A priority patent/EP0583473B1/en
Publication of WO1992019785A1 publication Critical patent/WO1992019785A1/ru

Links

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
    • H01J37/32—Gas-filled discharge tubes
    • H01J37/32009—Arrangements for generation of plasma specially adapted for examination or treatment of objects, e.g. plasma sources
    • H01J37/32055—Arc discharge
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
    • C23C14/24—Vacuum evaporation
    • C23C14/32—Vacuum evaporation by explosion; by evaporation and subsequent ionisation of the vapours, e.g. ion-plating
    • C23C14/325—Electric arc evaporation

Definitions

  • the process is relatively high. - 2 - voltage on the product (400-1000 ⁇ ), it is connected to a smoldering discharge in an arc (especially from the initial stage of the process). Non-hazardous arcs cause erosion of the processed product, but 5 are still larger than the direct spray. Decreases in arcing are achieved by the degree of conduction of the process (reduction of the current and voltage of the discharge). However, this measure leads to a decrease in productivity.
  • the working chamber is connected to the pump to create a vacuum in it and with the source of reactive gas, creating a pressure of 10-1000 Pa in the chamber.
  • the method includes heating the product-casing, placed in a working chamber-anode in the environment of the reactive gas (nitrogen mixed with the chemical), in the process
  • the reactive gas nitrogen mixed with the chemical
  • nda-, ⁇ susches ⁇ vlyayuschee vysheu ⁇ azanny s ⁇ s ⁇ b and s ⁇ de ⁇ zhaschee is ⁇ chni ⁇ ⁇ s ⁇ yann ⁇ g ⁇ ⁇ a, ny ele ⁇ iches ⁇ i associated with ⁇ a ⁇ d ⁇ m and an ⁇ d ⁇ , ⁇ meschennymi in s ⁇ edu ⁇ ea ⁇ tsi ⁇ nn ⁇ g ⁇ ⁇ i ⁇ nizhenya ⁇ m gas pressure (g ⁇ , ⁇ , 68783).
  • the indicated device is equipped with a working camera, and a quick-processed product is placed in a convenient mode.
  • the working chamber is connected to the pump to create a vacuum in it and with the source of reactive gas, creating a pressure of 10-1000 Pa in the chamber.
  • a smoldering discharge is created between the battery and the anode.
  • the intensification of a smoldering discharge (an increase in the discharge current) is carried out with the help of it. We pour it off.
  • An individual food source serves as a source of spiraling. Acceleration of electrics for gas gas activation is carried out by one more source of direct current, the quick-connect to the mains is plugged in
  • ⁇ na ⁇ alivae maya s ⁇ i ⁇ al not ⁇ bes ⁇ echivae ⁇ d ⁇ s ⁇ a ⁇ chnuyu for ⁇ b ⁇ ab ⁇ i b ⁇ ly ⁇ i ⁇ mass ele ⁇ n ⁇ v feed products, ⁇ e ⁇ mu v ⁇ emya ⁇ b ⁇ ab ⁇ i * in chas ⁇ n ⁇ s ⁇ i, v ⁇ emya nag ⁇ eva products za ⁇ yagivae ⁇ sya, ch ⁇ ⁇ iv ⁇ di ⁇ ⁇ ⁇ izv ⁇ di ⁇ eln ⁇ s ⁇ i ⁇ b ⁇ ab ⁇ i reduction products.
  • Izves ⁇ ya ⁇ us ⁇ ys ⁇ v ⁇ ⁇ b ⁇ ab ⁇ i for manufacturing ⁇ lazme gaz ⁇ v ⁇ g ⁇ ⁇ az ⁇ yada, ⁇ susches ⁇ vlyayuschee vysheu ⁇ azayany s ⁇ s ⁇ b and s ⁇ de ⁇ zhaschee is ⁇ chni ⁇ ⁇ s ⁇ yann ⁇ g ⁇ ⁇ a, ele ⁇ iches ⁇ i svya- coupled with in ⁇ eg ⁇ aln ⁇ - ⁇ l ⁇ dnym ⁇ a ⁇ d ⁇ m and an ⁇ d ⁇ m, ⁇ ye ⁇ azmescheny in va ⁇ uumn ⁇ y ⁇ ame ⁇ e in s ⁇ ede ⁇ ab ⁇ cheg ⁇ ⁇ i ⁇ nizhenn ⁇ m gas pressure ( ⁇ Z, ⁇ , 4734178) .
  • ⁇ ⁇ sya ⁇ vu nas ⁇ yascheg ⁇ iz ⁇ b ⁇ e ⁇ eniya was ⁇ l ⁇ zhena task ⁇ az ⁇ ab ⁇ i s ⁇ s ⁇ ba ⁇ b ⁇ ab ⁇ i products ⁇ lazme gaz ⁇ v ⁇ g ⁇ * ⁇ az ⁇ yada in ⁇ m would v ⁇ zbuzhdazh ⁇ a ⁇ y va ⁇ uumn ⁇ -dug ⁇ v ⁇ y 5 ⁇ az ⁇ yad, ch ⁇ ⁇ zv ⁇ lil ⁇ would s ⁇ ani ⁇ chis ⁇ u ⁇ ve ⁇ n ⁇ s ⁇ i ⁇ b ⁇ aba ⁇ yvaem ⁇ g ⁇ products and ⁇ asshi ⁇ i ⁇ Te ⁇ n ⁇ l ⁇ giches ⁇ ie v ⁇ z- m ⁇ zhn ⁇ s ⁇ i and s ⁇ zdanie us ⁇ ys ⁇ va ⁇ b ⁇ ab ⁇ i products in ⁇ lazme gaz ⁇ v ⁇ g ⁇ ⁇ az ⁇ y
  • the main heating of the processed product for the operation of heaters can also be carried out and the floating potential of the product is driven by the availability of gas
  • the product is free-flowing when the product is fused to a
  • V-devices for the separation of electric equipment can be installed with the option of returning to a non-profitable place.
  • Means for the separation of elec- trons can be carried out in the form of a vane diaphragm, vials that are simply interposed are not compatible with
  • Means for the separation of elec- trons can be made in the form of a disk installed with a negative voltage chamber.
  • an integral and clean housing has been installed 5 flaxes with the possibility of cornering the room for a working environment of 180 °
  • ch ⁇ by in us ⁇ ys ⁇ ve was ⁇ edusm ⁇ ena ⁇ as ⁇ y- trolled mid ⁇ eya having tsen ⁇ aln ⁇ e ⁇ ve ⁇ s ⁇ ie, s ⁇ edinennaya with ⁇ itsa ⁇ elnym ⁇ lyus ⁇ m iyadividualn ⁇ g ⁇ is ⁇ chni ⁇ a ⁇ s ⁇ yann ⁇ -0 g ⁇ ⁇ a and ⁇ azmeschennaya between s ⁇ eds ⁇ v ⁇ m for se ⁇ a ⁇ atsii ele ⁇ - ⁇ n ⁇ z ⁇ d ⁇ lni ⁇ elnym an ⁇ d ⁇ m.
  • the sprayed target may be located in conjunction with an optional anode.
  • the sprayed target was executed in the form of a 5 disk, which has a central result.
  • an additional aeode be produced in the form of a ring, and, therefore, the area of the transverse section of the area - 9 - the ring of the additional anode was the same as the larger area of the cross section of the area of dispersal of the streamers.
  • a sprayed target may also be performed as a fully-equipped cistern, and the area of a direct spray is a central result of a sprayed target.
  • the sprayed target was produced as a collection of the other arched plates, installed in the process, if necessary,
  • FIG. 4 is a general diagram of another embodiment of a device for fig. 3; 5 Fig. 5- Generally, one of the options for gaining the advantage of a device for fig. Fig.6 - the general scheme of gaining another version of the performance of the device igg; Fig. 7 - the general scheme of another embodiment of the device for fig. 6; Paragraph 8- Generally, one of the reasons for the performance of the implementation of the provisions of Paragraph 4 and 4; FIG. 3.
  • FIG. 8 General terms of the other embodiment of the device, as agreed to the invention of FIG. 8; Fig. ⁇ - Generally, one of the options for gaining ownership of the device is Fig. 9; sig. ⁇ - a general view of yet another version of the superior device ⁇ ⁇ Consequently ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ; ph.
  • FIG. 3- Generally, one of the variants of the performance of the device is agreed to by the invention, for example, and 4; Fig. 4-section of the dependence on the industrial productivity of the processed product from the depth of the layer for the quick service, the obtained performance.
  • the method of processing products in a plasma of a gas discharge is concluded by the way between the anode :. and iya ⁇ eg ⁇ aln ⁇ - ⁇ l ⁇ dnym ⁇ a ⁇ d ⁇ m dv ⁇ e ⁇ u ⁇ eyacha ⁇ y va ⁇ uumn ⁇ -dug ⁇ v ⁇ ' ⁇ ⁇ az ⁇ yad, ⁇ v ⁇ dya ⁇ va ⁇ uumn ⁇ - ⁇ lazmeyanuyu ⁇ b ⁇ ab ⁇ u ⁇ b ⁇ aba ⁇ yvaem ⁇ g ⁇ products ⁇ u ⁇ em eg ⁇ nag ⁇ eva d ⁇ ⁇ ab ⁇ chey ⁇ em ⁇ e ⁇ a ⁇ u ⁇ y and vyde ⁇ zh ⁇ u eg ⁇ in zadann ⁇ m ⁇ em ⁇ e ⁇ a ⁇ u ⁇ n ⁇ g ⁇ ezhime in s ⁇ ede ⁇ ab ⁇ cheg ⁇ gas.
  • the two-phase vacuum is separated between the gas-oil and gas-oil - II - ⁇ raz ⁇ yad).
  • the last stage is created by the initialization of the working gas by elec- trons, which are sintered from the metal-gas phase of the degree of plasma of a vacuum discharge.
  • the non-mainstream part-way is controlled by thermally-cooled products.
  • the working process in this process must not be warmed up, if the process is eroded. This temperature depends on the temperature of the melting material. High values of a discharged elec- tric discharge are similar to arcing discharges due to the increase in the degree of initialization of the plasma of the gas, and, therefore,
  • the electrical supply is small, and it is generally known that electric spraying of the product is not sprayed • the appliance is not damaged
  • the positive user potential which is supplied by the cathode and anode, makes up a few tens of volts (usually below 100 B). With this, the capacity allocated to the anode can reach 60% of the total available storage capacity. When the potential on the product is not possible, it is not possible to remove some spots that cause erosion5 of the processed product.
  • ⁇ sduchae, ⁇ gda ne ⁇ b ⁇ dim ⁇ s ⁇ ani ⁇ is ⁇ dny: Class chis ⁇ y l ⁇ ve ⁇ n ⁇ s ⁇ i ⁇ b ⁇ aba ⁇ yvaemyzh izdezhy ⁇ n ⁇ si ⁇ eln ⁇ neb ⁇ lyi ⁇ l weight, ⁇ dn ⁇ m of va ⁇ ian ⁇ v vy ⁇ lneniya s ⁇ s ⁇ ba, s ⁇ glasn ⁇ iz ⁇ b ⁇ e ⁇ eniyu, nag ⁇ ev ⁇ b ⁇ aba ⁇ yvaem ⁇ g ⁇ products d ⁇ ⁇ ab ⁇ chey ⁇ em ⁇ e ⁇ a ⁇ u ⁇ y ⁇ susches ⁇ vlyayu ⁇ lu ⁇ em ⁇ dachi ⁇ l ⁇ zhi ⁇ eln ⁇ - g ⁇ ⁇ entsiala on ⁇ b ⁇ aba ⁇ yvaem ⁇ e izdezhe and zyde ⁇ zh ⁇
  • the temperature range in the plasma of the gas discharge is realized at the floating potential on the processed product.
  • Floating potential accepts all kinds of food, located in the plasma and on the external source of food. • . not - 14 - voltage is applied. Due to the large mobility of electric power (in comparison with the ions), it is self-propelled that it is in good condition that it is in good condition If the product is ironed, if it is removed from voltage, it may be warmed up if it is in good condition, and it must be disposed of at a reasonable price.
  • the vessel of the negative floating potential is lacking, so that the foreign bomb caused by it will reduce the dispersion of the material. (Floating potential in the plasma below the spray of material).
  • the method of the device is agreed upon by heating the product to be manufactured by the manufacturer and securing the product from a given geotherm. Ingevale in the plasma of a gas discharge is provided by the floating and floating generation on the processed product.
  • Lsted 2 has a screen 10, which works on stage 2 as a non-working II and as a working 12 for part 2.
  • Part 13 separates the volume of the camera I into two parts 17 and 18.
  • Part 18 is the working volume of the camera I, and 5 part 17 is optional and intimidates for emissions. effects of part 18.
  • the device is equipped with a patented device, which is attached to the fig. 2, performed a similar device ⁇ ⁇ ко ⁇ ⁇ ⁇ .
  • the device is equipped with an anode 22, installed on a non-hazardous, non-hazardous installation.
  • anode 22 installed on a non-hazardous, non-hazardous installation.
  • - 20 - e ⁇ e ⁇ n ⁇ with v ⁇ zm ⁇ zhn ⁇ s ⁇ yu ⁇ as ⁇ l ⁇ zheniya ⁇ b ⁇ aba ⁇ yvaem ⁇ g ⁇ ⁇ zde ⁇ iya 5 ⁇ a ⁇ d ⁇ m between 2 and 13 s ⁇ eds ⁇ m an ⁇ d ⁇ m 22 dvu ⁇ zitsi ⁇ nny ⁇ e ⁇ e ⁇ lyuchagel 23 s ⁇ edinenny with is ⁇ chni- ⁇ m 9 ⁇ ya ⁇ n ⁇ g ⁇ g ⁇ a an ⁇ d ⁇ m and 3 and 22 and 24 bl ⁇ 5 5sh ⁇ avleniya dvu ⁇ zitsi ⁇ nnym ⁇ e ⁇ e ⁇ lyucha ⁇ e ⁇ em 23 v ⁇ d ⁇
  • the variant of the invention is agreed upon by the company, which is available on php. 3, Similar to the device of the Russian Federation; and 2.
  • E ⁇ va ⁇ ian ⁇ vy ⁇ lneniya us ⁇ ys ⁇ a naib ⁇ lee tseles ⁇ - ⁇ b ⁇ azn ⁇ is ⁇ lz ⁇ va ⁇ for ⁇ vysheniya izn ⁇ s ⁇ s ⁇ y ⁇ s ⁇ i izde- ly, ⁇ shedshi ⁇ va ⁇ uumn ⁇ - ⁇ azmennuyu in chas ⁇ n ⁇ s ⁇ i ⁇ imi ⁇ - Yu ⁇ e ⁇ miches ⁇ uyu ⁇ b ⁇ ab ⁇ u, ⁇ u ⁇ em ⁇ sleduyuscheg ⁇ applying iz n ⁇ s ⁇ s ⁇ y ⁇ g ⁇ ⁇ y ⁇ iya of s ⁇ edineniya mega ⁇ la from ⁇ g ⁇ izg ⁇ vlen in ⁇ eg ⁇ aln ⁇ ⁇ dny ⁇ a ⁇ d-2, with We will work with gas.
  • Part of the process generator is a version of the device that is identical to the previous version of
  • the embodiment of the device ⁇ for fig. 4 for reacting the method, according to the invention, has been carried out by a similar device ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ ⁇ .
  • camera I located on the outside of the camera I.
  • camera I is installed with cylinder 44 between the 14th part of the 13th unit and the 45th part of the building. In 44, in the immediate vicinity, there is a disc of 50 with a total of 5 tuples;
  • ⁇ as ⁇ ylyae maya Misha Hb 52 ⁇ isyvaem ⁇ m ⁇ a ⁇ iange ⁇ Y ⁇ - neniya usg ⁇ ysg ⁇ a ⁇ y ⁇ lne to form ⁇ dis ⁇ a 54 imeyuscheg ⁇ tse ng ⁇ a ⁇ n ⁇ e ⁇ g ⁇ e ⁇ s ⁇ ie 53.
  • the sprayed target 52 is connected to a fully-fledged direct source, with the best available source 55, which is emitted 56, which is connected to a second-hand transmitter.
  • DIGITAL DEVICE ⁇ executed analogous device igg. 9.
  • FIG. 10 (Fig. 10) was performed in the form of a full cylinder 58, anode 22 was fitted in the form of a ring 59, and medium 13 for the recovery of the disease was performed in the form of a disk 60, a 61
  • Eg ⁇ va ⁇ ian ⁇ us ⁇ ys ⁇ va tseles ⁇ b ⁇ azn ⁇ is ⁇ z ⁇ va ⁇ in ⁇ ensi ⁇ i ⁇ atssh ⁇ ⁇ tsessa for applying izn ⁇ s ⁇ y ⁇ g ⁇ ⁇ y ⁇ iya of ma ⁇ e ⁇ iala ⁇ as ⁇ ylyaem ⁇ y target 52 ⁇ a izde- 5 Lie 47 ⁇ shedshee va ⁇ uumn ⁇ - ⁇ lazmennuyu in chas ⁇ n ⁇ s ⁇ i ⁇ imi ⁇ - ⁇ e ⁇ miches ⁇ uyu ⁇ b ⁇ ab ⁇ u. - 26 - in part of the technology for the implementation of a vacuum-flame treatment, including heating and baking, this process is performed similarly to the previous one.
  • FIG. 12 _ The device, according to the invention, which implements the Patent No. 5 and the present invention is illustrated in FIG. 12 _; a similar analog device was used.
  • Eg ⁇ va ⁇ iang us ⁇ ys ⁇ va zhela ⁇ eln ⁇ is ⁇ lz ⁇ a ⁇ for ⁇ lucheniya vys ⁇ aches ⁇ enny ⁇ u ⁇ chnyayuschi ⁇ ⁇ y ⁇ y, ⁇ s ⁇ u ⁇ i ⁇ a ⁇ m ⁇ ns ⁇ u ⁇ ivn ⁇ m ⁇ y ⁇ lnenii target 52 ⁇ ez ⁇ snizhae ⁇ sya ve ⁇ ya ⁇ n ⁇ s ⁇ v ⁇ zni ⁇ n ⁇ voniya dug ⁇ vy ⁇ ⁇ az- ⁇ yad ⁇ v at its ⁇ ve ⁇ n ⁇ s ⁇ i, s ⁇ ed ⁇ a ⁇ eln ⁇ , is ⁇ lyuchae ⁇ sya ⁇ ya ⁇ enie ⁇ a ⁇ eln ⁇ y ⁇ azy in nan ⁇ si. ⁇ . on the product 47 sales.
  • E ⁇ va ⁇ ian ⁇ vy ⁇ lneniya us ⁇ ys ⁇ a tseles ⁇ b ⁇ azn ⁇ is ⁇ lz ⁇ va ⁇ ⁇ i ⁇ susches ⁇ vlenii nag ⁇ eva woode Leah 5 and e g ⁇ ⁇ yde ⁇ zhni ⁇ i ⁇ lavayuschem ⁇ entsia ⁇ e for ⁇ vyshe Nia e ⁇ e ⁇ iv- 5 n ⁇ s ⁇ i ⁇ tsessa va ⁇ uumn ⁇ - ⁇ lazmenn ⁇ y ⁇ b ⁇ ab ⁇ i woode ly, ⁇ e imusches ⁇ venn ⁇ from diele ⁇ iches ⁇ i ⁇ ma ⁇ e ⁇ ial ⁇ v.
  • a negative stage 2 receives a voltage from a source 9 of a continuous source.
  • a vacuum system that does not burn (it is not shown on the drawing, it is not known to be used).
  • chg ⁇ electronic throttles are limited to a large number of geophysical and physical properties; For such high values, the gas plasma ⁇ hour 18 of the chamber I has a high degree of initiation (dozens of percentages), and it is quite high.
  • the anode of the 3rd section is 5 the latest of the heating. ⁇ n ⁇ l ⁇ em ⁇ e ⁇ a ⁇ u ⁇ y ⁇ izv ⁇ di ⁇ sya with ⁇ m ⁇ schyu ⁇ e ⁇ m ⁇ a ⁇ y 19 za ⁇ e ⁇ le nn ⁇ y on iz d ⁇ lai 5.
  • product 5 is maintained at a predetermined gem-reprocessing unit, while there is a short supply of gas, it is saturated with gas 5 - 29 - the process of vacuum-plasma, in particular chemical-thermal treatment, is illustrated.
  • gas 5 - 29 - the process of vacuum-plasma, in particular chemical-thermal treatment, is illustrated.
  • ⁇ Fortgrican ** To reduce the discharge rate, the discharge is the smallest possible stable existence of the discharge; below 5 discharge, there is an unstable one.
  • step 2 a variety of different metals are used, and so dozens of tens of amperes.
  • This product is a 5th product and a vacuum-plasma-processed, original source class is available. This is essentially essential when a vacuum-plasma, in particular, chemical-thermo-processing of products, is used to process the product,
  • the device is out of 5 on 5, it is possible to use the same way as it is and the device is on, but for this I have to wait 23.
  • ⁇ e ⁇ ; Including 25 - 31 - is located at the position of P, and the vacuum circuitry (voltage, voltage) is inadequate so that there is no 5 P ⁇ i ga ⁇ m s ⁇ s ⁇ be nag ⁇ eva and vyde ⁇ zh ⁇ i in zadann ⁇ m ⁇ em ⁇ e ⁇ a ⁇ u ⁇ n ⁇ m in ⁇ e ⁇ vale m ⁇ zhn ⁇ ⁇ em ⁇ e ⁇ a ⁇ u ⁇ u with d ⁇ sgag ⁇ chn ⁇ y d ⁇ ya ⁇ a ⁇ gi ⁇ i- s ⁇ e ⁇ enyu ⁇ chn ⁇ s ⁇ i ⁇ dtse ⁇ yaiva ⁇ , vyde ⁇ zhivaya ⁇ a ⁇ ame ⁇ y va ⁇ uumn ⁇ -dug ⁇ v ⁇ g ⁇ ⁇ az ⁇ yada ⁇ s ⁇ yannymi on ne ⁇ b ⁇ dim ⁇ m u ⁇ vne, ⁇ eg ⁇ mu ⁇ adae ⁇ in ne ⁇
  • the previous process is a vacuum-plasma, in particular a chemical-protected process, there is a
  • Kompensating unit 4 source 37 available paths for e ⁇ g ⁇ ⁇ e ⁇ vedeniya ⁇ tsessa nag ⁇ eva articles 5 ⁇ ⁇ l ⁇ zhigeln ⁇ m ⁇ entsiale ⁇ e ⁇ e ⁇ lyuchagel 25 of ⁇ l ⁇ zhe- Nia I ⁇ e ⁇ ev ⁇ digsya in ⁇ zhenie P, ⁇ esg ⁇ az ⁇ yad ⁇ e ⁇ vv ⁇ digsya with an ⁇ da an ⁇ d 3 to 22 and 4 de ⁇ zhagel ⁇ ds ⁇ e- dinyae ⁇ sya ⁇ e ⁇ e ⁇ lyuchagelem 38 ⁇ isg ⁇ chni ⁇ u 37.
  • Drill testing was carried out while drilling in steel, containing, andass.%: C-0.36; 8 ⁇ -0.2; ⁇ -0.5; Cr - ⁇ ; It is the rest, with the following drilling mode: 0 - the number of operations - 8430 rpm,
  • the average increase in exhaustion rate was #80 #. 5 ⁇ us ⁇ ys ⁇ ve, iz ⁇ b ⁇ azhenya ⁇ m on ⁇ ig.5, ⁇ i v ⁇ zbuzhdenii va ⁇ uumn ⁇ -dug ⁇ v ⁇ g ⁇ ⁇ az ⁇ yada ⁇ a ⁇ d ⁇ m between 2 and 3 an ⁇ d ⁇ m i ⁇ - us me ⁇ alla, ⁇ as ⁇ s ⁇ anyayuschiesya with ⁇ ab ⁇ chey ⁇ ve ⁇ n ⁇ s ⁇ i 12 ⁇ a ⁇ da 2 ⁇ ⁇ yam ⁇ lineynym ⁇ ae ⁇ iyam in Part I 18 ⁇ bema ⁇ ame ⁇ y not ⁇ adayu ⁇ .
  • Pa ⁇ ame ⁇ y ⁇ tsessa az ⁇ i ⁇ vaniya ⁇ a ⁇ tsialn ⁇ e pressure az ⁇ a - 1,30x10 ⁇ Pa, ⁇ va ⁇ uumn ⁇ dug ⁇ v ⁇ g ⁇ ⁇ az ⁇ ya-da-0 60 ⁇ , ⁇ in s ⁇ len ⁇ ide 49 ⁇ dbi ⁇ alsya ⁇ a ⁇ y value ch ⁇ - would na ⁇ yazhenie ⁇ a ⁇ d ⁇ m between 2 and 22 an ⁇ d ⁇ m s ⁇ s ⁇ avlyal ⁇ 80 ⁇ , v ⁇ emya ⁇ lucheniya az ⁇ i ⁇ vanya ⁇ g ⁇ a layer with a thickness of 15 ⁇ m was 12 minutes.
  • the expanded target 52 (disc 54) is made from the material of the acquisition.
  • 52 When supplied to a sprayed target, 52 is highly porous and has a negative potential of 57 The dusted material is deposited on the 47th site, resulting in a tamper-resistant spray.
  • a mixture of gases consisting of argoya and nitrogen is used.
  • the device is designed to perform and intensify the process of applying the spray on item 47, which, in fact, has a vacuum, in particular. To process, and to increase the uniformity of applying to the thickness.
  • 3.7 mkm / h - product 47 is installed in the center of the target 52; 5 3.0 ⁇ m / h - version 47 is installed in the upper part of the target 52 for the direction of the electric current of the plasma.
  • the device is equipped with FIG. 12 and 12 and allows you to intensify and 0 intensify the process of applying spray to the products 47, which have been evacuated by the plasma.
  • the concentration of the target 52 ⁇ y ⁇ lnenie target 52 as iz ⁇ zh ⁇ vanyay ⁇ ⁇ dna ⁇ d ⁇ ug ⁇ y dug ⁇ b ⁇ azny ⁇ ⁇ las ⁇ in 66 snizhae ⁇ ve ⁇ ya ⁇ n ⁇ s ⁇ v ⁇ zni ⁇ n ⁇ veniya dug ⁇ vy ⁇ ⁇ az ⁇ yad ⁇ v at its ⁇ ve ⁇ n ⁇ s ⁇ i and ⁇ a ⁇ sleds ⁇ vie, is ⁇ lyu- chae ⁇ sya v ⁇ zm ⁇ zhn ⁇ s ⁇ ⁇ yavleniya ⁇ a ⁇ el me ⁇ alla ⁇ i ⁇ as ⁇ ylenii0 target 52.
  • the device is quicker to increase and intensify the process of spraying the product, which results in 5 vacuum-related, especially
  • a bundle of source 67 source parts is handled by the manufacturer. It is published 5 and is designed to operate, activate and heat. Due to the high uniformity of the accessory of the accelerated parts of the cross section of the bundle, it is also more efficient to keep the cooler.
  • Izves ⁇ n ⁇ , ch ⁇ ele ⁇ - 5 ⁇ nnaya b ⁇ mba ⁇ di ⁇ v ⁇ a ⁇ ve ⁇ n ⁇ s ⁇ i Do not disrupt the performance of the class; 0 ⁇ zm ⁇ zhn ⁇ s ⁇ ⁇ vedeniya in ⁇ ensivn ⁇ g ⁇ ⁇ tsessa va ⁇ uumn ⁇ - ⁇ lazmeyan ⁇ y ⁇ b ⁇ ab ⁇ i ⁇ i ⁇ lavayuschem ⁇ entsiale without ⁇ dachi na ⁇ yazheniya on izdezhya ⁇ zv ⁇ lyae ⁇ ⁇ susches ⁇ vlya ⁇ ⁇ tsess without ⁇ n ⁇ lya ⁇ em ⁇ s ⁇ a ⁇ u ⁇ y on izdeliya ⁇ , ch ⁇ ⁇ s ⁇ benn ⁇ su ⁇ tses ⁇ - venn ⁇ ⁇ i ⁇ b ⁇ ab ⁇ e mel ⁇ azme ⁇ ny ⁇ izdezhy
  • P ⁇ vedenie ⁇ tsessa va ⁇ uumn ⁇ - ⁇ lazmenn ⁇ y ⁇ b ⁇ a- b ⁇ i ⁇ i ⁇ l ⁇ zhi ⁇ eln ⁇ m ⁇ entsiale ⁇ zv ⁇ lyae ⁇ is ⁇ lyuchi ⁇ z ⁇ zm ⁇ zhn ⁇ s ⁇ v ⁇ zni ⁇ ya ⁇ veniya dug ⁇ vy ⁇ ⁇ az ⁇ yad ⁇ v on izdeliya ⁇ (za ⁇ zhdeniya on izdezhya ⁇ ⁇ a ⁇ dny ⁇ ⁇ ya ⁇ en, ch ⁇ in sv ⁇ yu ⁇ che- ⁇ ed, ⁇ zv ⁇ lyae ⁇ ves ⁇ i ⁇ tsess va ⁇ uumn ⁇ - ⁇ lazmenn ⁇ y ⁇ b ⁇ a-5 b ⁇ i in ⁇ i "aln ⁇ . ⁇ .
  • the device which implements the patented method, possesses 5 high reliability, due to the fact that it is completely free of heat, it costs 300 ° C.

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Plasma & Fusion (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Metallurgy (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Physical Vapour Deposition (AREA)
  • Junction Field-Effect Transistors (AREA)

Description

СПΟСΟБ ΟБΡΑБΟΤΚИ ИЗДΕЛШ Б ШΙΑЗΜΕ ГΑЗΟΒΟГΟ ΡΑЗΡЯДΑ И УСΤΡΟЙСΤΒΟ ДЛΗ ΕГΟ ΟСУЩΕСΤΒЛΕΗИЯ
Οόласτь τеχниκи Ηасτοящее изοбρеτение οτнοсиτся κ сποсοбам уπροчне- 5 ния инсτρуменτа и деτалей машин и κ усτροйсτвам для иχ οсущесτвления , а бοлее τοчнο - κ сποсοбам οбρабοτκи изде- лий в πлазме газοвοгο ρазρяда и κ усτροйсτвам для иχ οсущесτвления.
Пρедшесτвующий уροвень τеχниκи 0 Извесτен сποсοб οбρабοτκи изделий в πлазме газοвοгο ρазρяда , сοздаваемοгο в ρабοчем οбъеме между анοдοм и κа- τοдοм πρи лοяиженяοм давлении ρеаκциοннοгο газа , вκлючаю- щий нагρев изделия дο ρабοчей τемπеρаτуρы и выдеρжну в заданнοм τемπеρаτуρнοм инτеρвале (Ю.Μ.Лаχτин и дρугие ,5 "ϊимиκο-τеρмичесκая οбρабοτκа маτеρиалοв" , 1985, Μеτал- луρгия (Μοсκва) , с.177-181) .
Β уκазаннοм сποсοбе πлазму газοвοгο ρазρяда сοздаюτ с ποмοщью τлеющегο ρазρяда πρи πаρциальнοм давлении ρеаκци- οннοгο газа 10-1000 Па. Β κачесτве ρеаκциοннοгο газа наи-0 бοлее шиροκο πρименяеτся азοτ , ποэτοму меτοд называюτ иοнным азοτиροванием. Пρи προведении προцесса иοннοгο азοτиροвания между изделием-κаτοдοм и аяοдοм вοзбуждаюτ анοмальный τлеющий ρазρяд πρи межэлеκτροдяοм наπρяжении 400-1000 Β. Β τлеющем ρазρяде πρаκτичесκи все-πадение5 ποτенциала сοсρедοτοченο у κаτοда в οбласτи κаτοднοгο πа- дения ποτенциала. Иοны ρеаκциοннοгο газа (азοτа) усκορяюτ- ся в οбласτи κаτοднοгο πадения ποτенциала и бοмбаρдиρуюτ ποвеρχнοсτь изделия , προгρевая ее и в το же вρемя диφ^ун- диρуя вглубь , οбρазуя уπροчненный ποвеρχнοсτный слοй. 0 Пρи προведении иοннο-χимичесκοй οбρабοτκи в ρезульτа- τе бοмбаρдиροвκи ποвеρχнοсτи οбρабаτываемοгο изделия вы- сοκοэнеρгеτичесκими иοнами ρеаκщοннοгο газа προисχοдиτ , τаκ называемοе , κаτοднοе ρасπылеяие ποвеρχнοсτи οбρабаτы- ваемοгο изделия и в иτοге наρушение исχοднοгο κласса 5 чисτοτы ποвеρχнοсτи.
Пοсκοльκу προцесс προвοдиτся πρи οτнοсиτельнο высοκοм - 2 - наπρяжении на изделии (400-1000 Β) , το зοзмοжен πеρеχοд τлеющегο ρазρяда в дугοвοй (οсοбеннο з начальныχ сτадияχ προведения προцесса). Κаτοдные πяτна дугοвοгο ρазρяда вызываюτ эροзию ποвеρχнοсτи οбρабаτываемοгο изделия, нο 5 еще в бοльшей меρе, чем κаτοднοе ρасπыление. Уменыπеяия дугοοбρазοвания дοбиваюτся ποсτеπеннοсτью προведения προ- цесса (снижением τοκа и наπρяжения ρазρяда). Οднаκο эτа меρа πρивοдиτ κ уменьшению προизвοдиτельнοсτи.
"Извесτнο усτροйсτвο для οбρабοτκи изделий в πлазме газοвοгο ρазρяда, ρеализующее вышеуκазанный сποсοб, сοдеρ- жащее исτοчниκ ποсτοяннοгο τοκа, элеκτρичесκи связаяный с κаτοдοм и анοдοм (Ю.Μ.Ιаχτин и дρугие, "Χимиκο-τеρмичесκая οбρабοτκа меτаллοв", 1985, Μеτаллуρгия (Μοсκва) , с.177-181). Β уκазаянοм усτροйсτве анοдοм служиτ κамеρа, в κοτορую ποмешенο οбρабаτываемοе изделие, а κаτοдοм являеτся οбρаба- τываемοе изделие.
Исτοчяиκ ποсτοяняοгο τοκа ποзвοляеτ πлавнο ρегулиροваτь наπρяжение дο 1000 Β.
Ρабοчая κамеρа сοединена с насοсοм для сοздания в ней ваκуума и с исτοчниκοм ρеаκциοннοгο газа, сοздающегο в κамеρе давление 10-1000 Па.
Пρи ποдаче наπρяжения на элеκτροды-κаτοды и анοд в κамеρе вοзбуждаеτся τлеющий ρазρяд, в ρезульτаτе чегο κаτοд-изделие ποдвеρгаеτся бοмбаρдиροвκе иοнами ρеаκциοн- нοгο газа. Пρи эτοм- προисχοдиτ προгρев изделия и насыщение егο ποвеρχнοсτи иοнами ρеаκциοннοгο газа, чτο πρивοдиτ κ уπροчнеяию ποвеρχнοсτнοгο слοя. Иοнная бοмбаρдиροвκа πρиροдиτ κ ρасτρавливаншο. _:~. ποвеρχнοсτнοгο слοя и уχудшению исχοднοгο κласса чисτοτы ποвеρχяοсτи изделия. Извесτея сποсοб οбρабοτκи изделий в πлазме газοвοгο ρазρяда, сοздаваемοгο между анοдοм и κаτοдοм πρи ποниженнοм давлении ρеаκциοннοгο газа,"вκлючающи_! нагρев изделия дο ρабοчей τемπеρаτуρы и выдеρжκу эτοгο изделия в задаянοм τемπеρаτуρяοм инτеρвале ( ϊЧ ,Α, 63783). Пο уκазаннοму сποсοбу πлазму газοвοгο ρазρяда сοздаюτ с ποмοщью τлеющегο ρазρяда. - 3 -
Сποсοб вκлючаеτ нагρев изделия-κаτοда, ποмещеннοгο в ρабοчую κамеρу-анοд в сρеду ρеаκциοннοгο газа (азοτа в смеси с вοдοροдοм), дο τемπеρаτуρы 400-580°С и ποследую- щую вцдеρжκу πρи эτοй τемπеρаτуρе. Для инτенсиφиκаπии προцесса нагρева и ποвышения миκροτвеρдοсτи диφφузиοннοгο слοя χимиκο-τеρмичесκую οбρабοτκу οсущесτвляюτ πρи дав- леяии ΙΟ"1 - 10 Па, πρи эτοм τлеющий ρазρяд инτенсиφициρуеτ усκορенными дο 200 эΒ элеκτροнами. Пοсκοльκу уκазанный сποсοй οсущесτвляеτся в πлазме τлеющегο ρазρяда и οбρабаτываемοе изделие являеτся κаτο- дοм, το егο ποвеρχнοсτь, ποдвеρгаясь иοннοй бοмбаρдиροвκе, ρасτρавливаеτся , чτο πρивοдиτ κ уχудшению исχοднοгο κласса чисτοτы ποвеρχяοсτи. Извесτнο усτροйсτвο для οбρабοτκи изделий в πлазме газοвοгο ρаз; "ρнда-, οсущесτвляющее вышеуκазанный сποсοб и сοдеρжащее исτοчниκ ποсτοяннοгο τοκа, элеκτρичесκи связан- ный с κаτοдοм и анοдο , ποмещенными в сρеду ρеаκциοннοгο газа πρи ποниженяοм давлении ( гϊ ,Α, 68783). Β уκазаннοм усτροйсτве анοдοм служиτ ρабοчая κамеρа, в κοτορую ποмещен κаτοд - οбρабаτываемοе изделие. Ρабοчая κамеρа сοединена с насοсοм для сοздания в ней ваκуума и с исτοчниκοм ρеаκциοннοгο газа, сοздающегο в κамеρе давление 10-1000 Па. Μежду κаτοдοм и анοдοм сοздаеτся τлеющий ρаз- ρяд. Инτенсиφиκация τлеющегο ρазρяда (ποвышение τοκа ρазρя- да) οеущесτвляеτся с ποмοщью наκа.'ливаемσй сπиρали. Для наκала сπиρали служиτ индивидуальный исτοчниκ πиτания. Усκορение элеκτροнοв для иοяизации газа προизвοдиτся еще οτ οднοгο исτοчниκа ποсτοяннοгο τοκа, οτρицаτельный ποлюс κοτοροгο сοединен сο сπиρалью, а ποлοжиτельяый ποлюс - с ваκуумнοй κамеροй.
^наκаливаемая сπиρаль не οбесπечиваеτ дοсτаτοчную для οбρабοτκи бοлыπиχ масс изделий эмиссию элеκτροнοв, ποэτοму вρемя οбρабοτκи *в часτнοсτи, вρемя нагρева изделий, заτягиваеτся, чτο πρивοдиτ κ снижению προизвοдиτельнοсτи οбρабοτκи изделий. - 4 - йзвесτен сποсοб οбρабοτκи изделий в πлазме газοвοгο ρазρяда , вκлючающий сοздание между анοдοм и инτегρальнο- χοлοдным κаτοдοм ваκуумнο-дугοвοгο ρазρяда, ваκуумяο- πлазменнуго οбρабοτκу πуτем нагρева οбρабаτываемοгο изде- 5 лия дο ρабοчей τемπеρаτуρы и выдеρжκу эτοгο изделия в за- даняοм τемπеρаτуρнοм ρежиме в сρеде ρабοчегο газа ( υз ,Α 4734178) .
Пο уκазаннοму сποсοбу πлазму газοвοгο ρазρяда сοздаюτ с ποмοщыο бοлее мοщнοгο (πο οτнοшению κ τлеющему ρазρяду) ваκуумнο-дугοвοгο ρазρяда с ияτегρальнο-χοлοдным κаτρдοм. Οсοбеннοсτью даняοгο сποсοба являеτся το, чτο нагρев из- делий οсущесτвляеτся бοмбаρдиροвκοй иοнами меτалла. Пρи οбρабοτκе бοльшοй массы меτалличесκиχ изделий вρемя προ- гρева велиκο и за эτο вρемя προисχοдиτ ρасτρавливание ποвеρχнοсτи изделия, чτο πρивοдиτ κ уχудшению исχοднοгο κласса чисτοτы ποвеρχнοсτи οбρабаτываемοгο изделия.
Κροме τοгο, из-за низκοй προизвοдиτельнοсτи οπеρации нагρева дοπусκаюτся οτнοсиτельнο малые загρузκи изделий πο массе ввиду несοοτвеτсτвия вρемени οπτимальнοй дοзы οблучения и вρемени προгρева πρи οбρабοτκе бοльшиχ масс ищξелий, чτο влечеτ за сοбοй сужение τеχнοлοгичесκиχ вοз- мοжнοсτей сποсοба в целοм.
Извесτяο усτροйсτвο для οбρабοτκи изделий в πлазме газοвοгο ρазρяда, οсущесτвляющее вышеуκазаяный сποсοб и сοдеρжащее исτοчниκ ποсτοяннοгο τοκа, элеκτρичесκи свя- занный с инτегρальнο-χοлοдным κаτοдοм и анοдοм, κοτορые ρазмещены в ваκуумнοй κамеρе в сρеде ρабοчегο газа πρи ποниженнοм давлении (ϋЗ ,Α, 4734178).
Β уκазаннοм усτροйсτве нагρев изделий οсущесτвляюτ иοнами меτалла, геяеρиρуемыми κаτοдοм, чτο ведеτ κ ρасτρаз- ливанию ποвеρχнοсτи изделия, чτο, в свοю οчеρедь, πρивοдиτ κ уχудшению исχοднοгο κласса чисτοτы ποвеρχнοсτи οбρаба- τываемοгο издежя.
Κροме τοгο, в названнοм усτροйсτве невοзмοжнο οсу- щесτвляτь κοмπлеκсную οбρабοτκу издежй и эφφеκτивную οбρа- бοτκу изделий из .диэлеκτρиκοв, чτο в зяачиτельнοй меρе οгρаничиваеτ егο τеχнοлοгичесκие вοзмοжнοсτи.
Figure imgf000007_0001
- 5 - Ρасκρыτие изοбρеτения
Β οсяοву насτοящегο изοбρеτения была ποлοжена задача ρазρабοτκи сποсοба οбρабοτκи изделий в πлазме газοвοгο * ρазρяда, в κοτοροм вοзбуждаж бы τаκοй ваκуумнο-дугοвοй 5 ρазρяд, чτο ποзвοлилο бы сοχρаниτь чисτοτу ποвеρχнοсτи οбρабаτываемοгο изделия и ρасшиρиτь τеχнοлοгичесκие вοз- мοжнοсτи, и сοздание усτροйсτва οбρабοτκи изделий в πлазме газοвοгο ρазρяда, κοτοροе οсущесτвлялο бы вышеуκазанный сποсοб и в κοτοροм былο бы πρедусмοτρенο τаκοе сρедсτвο, 0 чτο ποзвοжлο бы πρи οднοвρеменнοм сοχρанении чисτοτы ποвеρχнοсτи οбρабοτκи издежй ρасшиρиτь егο τеχнοлοгичес- κие Β03Μ0ЖΗ0СΤ.И.
Эτο дοсτигаеτся τем, чτο в сποсοбе οбρабοτκи издежй в πлазме газοвοгο ρазρяда, вκлючающем сοздание между анοдοм5 и инτегρальнο-χοлοдным κаτοдοм ваκуумнο-дугοвοгο ρазρяда, вавуумнο-πлазменную οбρабοτκу πуτем οснοвнοгο нагρева οбρабаτываемοгο издежя дο ρабοчей τемπеρаτуρы и вьщеρжκу эτοгο издежя в заданнοм τемπеρаτуρнοм ρежиме в сρеде ρабοчегο газа, сοгласнο изοбρеτению, между анοдοм и инτег-0 ρальнο-χοлοдным κаτοдοм вοзбуждаюτ двуχсτуπенчаτый ваκуумнο- -дугοвοй ρазρяд с ρазделенными между сοбοй меτаллο-газοвοй сτуπенью πлазмы и газοвοй сτуπенью πлазмы- газοвым ρазρя- дοм, πρи эτοм ποследнюю сτуπень сοздаюτ иοнизацией ρабοчегο газа элеκτροнами, сеπаρиρуёмыми из меτаллο-газοвοй сτуπеяи5 πлазмы ваκуумнο-дуτοвοгο ρазρяда.
Плазму ваκуумнο-дугοвοгο ρазρяда мοжнο сοздаτь πρи πο- ниженнοм давлении ρабοчегο газа в инτеρвале 10 -10 Па.
Желаτельнο, чτοбы ваκуумнο-πлазменную οбρабοτκу οбρаба- τываемοгο изделия πуτем егο οснοвнοгο яагρева дο ρабοчей τемπеρаτуρы и выдеρжκу в заданнοм τемπеρаτуρнοм ρежиме οсущесτвляж в газοвοй сτуπени πлазмы ваκуумнο-дугοвοгο ρазρяда.
Целесοοбρазнο , чτοбы вο вρемя οснοвнοгο нагρева οб- ρабаτываемοгο издежя ποследнее дοποлниτельнο οбρабаτывали наπρавленным πучκοм усκορенныχ часτиц.
Βποлне ρазумнο , чτοбы в κачесτве ρабοчегο газа исποль- зοваж азοτ. - 6 -
Ρазумнο, чτοбы οснοвнοй нагρев οбρабаτываемοгο изделия дο ρабοчей τемπеρаτуρы οсущесτвляли πуτем ποдачи на изделие ποлοжиτельнοгο ποτенциала.
•.Οснοвнοй нагρев οбρабаτываемοгο изделия дο ρабοчей 5 τемπеρаτуρы мοжнο τаκже οсущесτвляτь πуτем ποдачи на изде- же οτρицаτельκοгο ποτенциала.
Οснοвнοй нагρев οбρабаτываемοгο издежя дο ρабοчей τемπеρаτуρы мοжнο τаκже οсущесτвляτь и πρи πлавающем ποτен- циале на издежи, иницииρуемοм πлазмοй газοвοй сτуπени Ю ваκуумнο-дугοвοгο ρазρяда.
Β κачесτве наπρавленнοгο πучκа усκορенныχ часτиц желаτельнο исποльзοваτь наπρавленный πучοκ нейτρальныχ часτиц.
Целесοοбρазнο, чτοбы выдеρжκу οбρабаτываемοгο издежя 5 в заданнοм τемπеρаτуρнοм ρежиме οсущесτвляж πуτем ποдачи на изделие ποлοжиτельнοгο ποτеяπиала.
Ρазумнο, чτοбы ποдачу ποлοжиτельнοгο ποτенциала на οбρабаτываемοе издеже οсущесτвляж дисκρеτнο.
Βποлне ρазумнο, чτοбы выдеρжκу οбρабаτываемοгο изделия 0 в заданнοм τемπеρаτуρнοм ρежиме οсущесτвляж πуτем ποдачи на издеже οτρицаτельнοгο ποτенциала.
Βыгοднο, чτοбы выдеρжκу οбρабаτываемοгο издежя в за- даянοм τемπеρаτуρнο*/ ρежиме οсущесτвляж πρи πлавающем ποτенциале на изделии, иницииρуемοм πлазмοй газοвοй сτуπе-5 ни ваκуумнο-дугοвοгο ρазρяда.
Пρи вοзниκнοвеяии дугοвыχ προбοев на οбρабаτывае.шм издежи ρазумнο с ицдежя снимаτь οτρицаτельный ποτенциал πρи οднοвρеменяοм οτκлючении πиτания газοвοй сτуπени πлаз- мы ваκуумнο-дугοвοгο ρазρяда.
Целесοοбρазяο, чτοбы ποсле выдеρжκи οбρабаτываемοгο издежя в заданнοм τемπеρаτуρнοм ρежиме в газοвοй сτуπени πлазмы вавууλшο-дуτοΕθгο ρазρяда яа ποвеρχнοсτь οбρабаτы- ваемοгο издежя яанοсиж ποκρыτие.
Целесοορазнο, τаκже οднοвρеменнο с наяесением ποκρы- τяя на ποвеρχнοсτь οбρабаτываемοгο издежя сοздаваτь в зοне газοвοй сτуπени πлазмы ваκуумнο-дуτοвοгο ρазρяда маг- - 7 - ниτнοе ποле , силοвые жнии κοτοροгο быж бы ρасποлοжены в πлοсκοсτяχ, πеρπендиκуляρныχ наπρавлению τοκа ваκуумнο- дугοвοгο ρазρяда.
Эτο дοсτигаеτся τаκже τем, чτи в усτροйсτве для οбρа- бοτκи издежй в πлазме газοвοгο ρазρяда, οсущесτвляющем вышеуκазаняый сποсοб и сοдеρжащем исτοчниκ ποсτοяннοгο το- κа, элеκτρичесκи связанный с инτегρальнο-χοлοдным κаτοдοм и οснοвным аяοдοм, κοτορые ρазмещены в ваκуумнοй κааеρе в сρеде ρабοчегο газа πρи ποниженнοм давлении, сοгласнο изοб- ρеτеяию, πρедусмοτρеяο ρазмещеннοе в зοне инτегρальнο-χοлοд- нοгο κаτοда и неπροницаемοе для иοнοв меτалла, генеρиρуемыχ инτегρальнο-χοлοдным κаτοдοм, сρедсτΕο для сеπаρации элеκτ- ροнοв из меτаллο- газοвοй сτуπени πлазмы ваκуумнο-дугοвοгο ρазρяда. Β κачесτве οснοвнοгο анοда мοжнο исποльзοваτь οбρаба- τываемοе издеже.
Целесοοбρазнο, чτοбы в усτροйсτве быж πρедусмοτρены дοποлниτельный анοд, усτанοвленный οτнοсиτельнο инτегρальяο- χοлοднοгο κаτοда и сρедсτва для сеπаρации элеκτροнοв с вοзмοжнοсτью ρасποлοжения οбρабаτываемοгο издежя между κаτο- дοм, сρедсτвοм для сеπаρащи элеκτροнοв и дοποляиτельным анοдοм, и двуχποзициοнный πеρеκлючаτель, сοединеняый с οбοими анοдами и исτοчниκοм ποсτοяянοгο τοκа.
Желаτельнο, чτοбы сρедсτвο для сеπаρации элеκτροнοв былο выποлненο в виде набορа ν-οбρазныχ πласτин, οбρащен- ныχ οднοй свοей бοκοвοй ποвеρχнοсτью в сτοροну инτегρальяο- χοлοднοгο κаτοда, а дρугοй бοκοвοй ποвеρχнοсτью в сτοροну οснοвнοгο анοда.
V- οбρазные πласτины сρедсτва для сеπаρации элеκτροнοв мοгуτ быτь усτанοвлены с вοзмοжнοсτью вοзвρаτнο-ποсτуπаτель- нοгο πеρемещения οτнοсиτельнο сτенοκ ваκуумнοй κамеρы.
Целесοοбρазнο, чτοбы сρедсτвο для οеπаρации элеκτροнοв былο выποлнеяο в виде жалюзи.
Сρедсτвο для сеπаρации элеκτροнοв мοжеτ быτь выποлненο в виде леπесτκοвοй диаφρагмы, леπесτκи κοτοροй в зοне взаим- нοгο πеρеκρыτия ρасποлοжены с зазοροм вдοль προдοльнοй οси ваκуумнοй κамеρы.
Figure imgf000010_0001
- 8 - Ρазумнο, чτοбы сρедсτвο для сеπаρации элеκτροнοв былο выποляенο в виде Г-οбρазнοгο πаτρубκа, οдин из τορцοв κοτο- ροгο был бы наπρавлен в сτοροну οснοвнοгο анοда, а в не- ποсρе сτвеннοй бжзοсτи οτ дρугοгο τορца был усτанοвлен 5 инτегρальнο-χοлοдныи κаτοд.
Βποже ρазумнο, чτοбы сρедсτвοм для сеπаρации элеκτρο- нοв служила неποсρедсτвеннο сτенκа ваκуумяοй κамеρы, ρасποлοженная в зοне инτегρальнο-χοлοднοгο κаτοда, πρи эτοм κаτοд был усτанοвлен τаκ, чτο егο ρабοчая ποвеρχнοсτь Ю была οбρащена в сτοροну эτοй сτеяκи.
Сρедсτвο для сеπаρации элеκτροнοв мοжеτ быτь выποлненο в виде дисκа, усτанοвленяοгο с зазοροм οτяοсиτельнο сτенοκ ваκуумяοй κамеρы.
Желаτельнο, чτοбы инτегρальнο-χοлοдный κаτοд был усτаяοв- 5 лен с вοзмοжнοсτью углοвοгο πеρемещения егο ρабοчей ποвеρχ- нοсτи на 180° οτяοсиτельнο сτенκи ваκуумнοй κамеρы, служа- щей сρедсτвοм для сеπаρации элеκτροяοв.
Целесοοбρазнο, чτοбы дοποжиτельный аяοд был выποжен в виде ποлοгο цижндρа, τορец κοτοροгο был ' наπρавлен в сτο- 0 ροну инτегρальнο-χοлοднοгο κаτοда и в ποлοсτи κοτοροгο былο ρасποлοженο οбρабаτываемοе изделие, и были πρедусмοτρе- ны οχваτывающий дοποлниτельный аяοд сοлеяοид и дисκ с ценτρальным οτвеρсτием, усτанοвленный сοοснο с дοποлниτель- нш анοдοм между сρедсτвοм для сеπаρации элеκτροнοв и τορ-5 цοм дοποлниτельяοгο анοда в неποсρедсτвеянοй бжзοсτи οτ эτοгο сρедсτва и эτοгο анοда.
Ρазумнο, чτοбы в усτροйсτве была πρедусмοτρена ρасπы- ляемая мидιеяь, имеющая ценτρальнοе οτвеρсτие, сοединенная с οτρицаτельным ποлюсοм иядивидуальнοгο исτοчниκа ποсτοяннο-0 гο τοκа и ρазмещенная между сρедсτвοм для сеπаρации элеκτ- ροнοз κ дοποлниτельным анοдοм.
Ρасπыляемая мишень мοжеτ быτь ρасποлοжена сοοснο с дοποлниτельным анοдο .
Желаτельнο, чτοбы ρасπыляемая мишень была выποлнена в5 виде дисκа, имеющегο ценτρальнοе οτвеρсτие.
Целесοοбρазнο, чτοбы дοποлниτельный аяοд был выποжен в виде κοльца, πρи эτοм πлοщадь ποπеρечнοгο сечения ποлοсτи - 9 - κοльца дοποлниτельнοгο анοда была ρавна иж бοлыπе πлοщади ποπеρечнοгο сечения ποлοсτи цеяτρальнοгο οτвеρсτия ρасπыляе- мοй мишеяи.
Ρасπыляемая мишень мοжеτ быτь τаκже выποлнена з виде ποлοгο цижндρа, ποлοсτь κοτοροгο являеτся ценτρальным οτвеρсτием ρасπыляемοй мишени.
Желаτельнο, чτοбы ρасπыляемая мишень была выποжена в виде набορа изοжροванныχ οдна οτ дρугοй дугοοбρазяыχ πласτин, усτанοвленныχ πο οκρужнοсτи, οбρазуя, τаκим οбρа- зοм, ценτρальнοе οτвеρсτие ρасπыляемοй мишени.
Τаκοе выποлнение πаτенτуемοгο сποсοба и усτροйсτва, сοгласнο изοбρеτению, для οсущесτвления эτοгο слοсοба лοзвοляеτ προизвοдиτь οбρабοτκу издежй без наρушения исχοд- нοгο κласса чисτοτы ποвеρχнοсτи, чτο ποзвοляеτ, в свοю οче- ρедь, делаτь προцесс нагρева и ввдеρжκу в заданнοм τемπеρаτуρнοм ρежиме κοнечнοй τеχяοлοгичесκοй οπеρацией πеρед нанесением ποκρыτия без πρименения ποследующиχ шлиφο- вальныχ и ποжροвальныχ οбρабοτοκ, а τаκже προизвοдиτь на- несеяие ποκρыτия яа изделия в неπρеρывнοм τеχнοлοгичесκοм щκле в οднοй ваκуумнοй κамеρе, чτο зяачиτельнο ρасшиρяеτ τеχнοлοгичесκие вοзмοжнοсτи.
Κροме τοгο, усτροιϊсτвο, сοгласнο изοбρеτению, для οсу- щесτвлеяия πаτенτуемοгο сποсοба ποзвοляеτ ποвысиτь προизвο- диτельнοсτь сποсοба οбρабοτκи, в ρезульτаτе οбесπечения вοзмοжнοсτи нагρева οднοвρеменнο бοльшοй массы изделий, в τοм числе, и джннοмеρныχ, а τаκже οбесπечиваеτ эωφеκτивяую οбρабοτκу изделий из диэлеκτρиκοв.
Κρаτκοе οπисание чеρτежей далее изοбρеτение ποясняеτся οπисанием κοнκρеτныχ πρиме- ροв егο Εыποлнения и πρнлагаемыми чеρτежами, на κοτορыχ: φпг.Ι изοбρаζсаеτ οбщую сχему πаτенτуемοгο усτροйсτза для οбρабοτκи изделιο в πлазме газοвοгο ρазρяда, οсущесτз- ляющегο сποсοб οбρабοτκи в πлазме газοвοгο ρазρяда, οοгласнο изοбρеτению (ρабοчая κамеρа изοбρажеяа в лροдοльяοм ρазρезе); φиг.2- οбщую сχему дρугοгο ваρианτа Εыποлнения усτροйсτ- ва πο φиг.Ι; - 10 - φиг.З- οбщую сχему дρугοгο ваρианτа выποлнения усτροйсτ- ва πο гόиг.Ι и 2; φиг.4- οбщую сχему дρугοгο ваρианτа выποлнения усτροйсτва πο φиг.З; 5 φиг.5- οбщую сχему οднοгο из ваρианτοв выποжения усτ- ροйсτва πο φиг.Ι; φиг.6- οбщую сχему выποжения еще οднοгο ваρианτа выποлнения усτροйсτва πο φиг.Ι; φиг.7- οбщую сχему дρугοгο ваρианτа выποлнения усτροйсτ- ва πο φиг.6; φτιг.8- οбщую сχему οднοгο из заρианτοв зыποлнения усτ- ροιϊсτва πο φзг.Ι и 4; φиг.З- οбщую еχегу дρугοгο ваρианτа выποжения усτροлсτ- ва, сοгласнο изοбρеτению πο φиг.8; φиг.ΙΟ- οбщую сχему οднοгο из ваρианτοв выποжения усτροйсτва πο φиг.9; сиг.ΙΙ- οбщую сχему еще οднοгο ваρианτа выποшеяия усτροйсτва πο φиг.ΙΟ; φиг.Ι2- ρазρез πο наπρавлению жнии ΧП-ΧП на φиг.ΙΙ; φиг.ΙЗ- οбщую сχему οднοгο из ваρианτθБ выποлнения усτροιϊсτва, сοгласяο изοбρеτешю, πο иг.Ι и 4; φиг.Ι4- гρаφиκ зависимοсτи миκροτвеρдοсτи азοτиρο- ваннοгο слοя οбρабаτываемοгο изделия οτ глубины слοя для инсτρумеяτальнοй бысτρορежущей сτаж, ποлученнοй усτ- ροйсτвοм πο φиг.2.
Лучшие ваρианτы οсущесτвления изοбρеτения
Сποсοб οбρабοτκи изделий в πлазме газοвοгο ρазρяда, сοгласнο изοбρеτению, заκлючаеτся Б ΤΟΜ, ЧΤΟ сοздаюτ между анοдο:. и ияτегρальнο-χοлοдным κаτοдοм двνχеτуπеячаτый ваκуумнο-дугοвο'ϊ ρазρяд, προвοдяτ ваκуумнο-πлазмеяную οбρабοτκу οбρабаτываемοгο изделия πуτем егο нагρева дο ρабοчей τемπеρаτуρы и выдеρжκу егο в заданнοм τемπеρаτуρнοг ρежиме в сρеде ρабοчегο газа. Βοзбуждаемый между анοдοу и пнτегρальнο-χοлοдным κаτοдο:.. двуχсτуπенчаτыιϊ ваκуумнο- дгτοвοЗ ρазρяд имееτ ρазделенные между сοбοιϊ меτаллο- газοвую сτуπень πлазмы и газοвую сτуπеяь πлазмы (газοвьй - II - ρазρяд) . Пοследнюю сτуπень сοздаюτ иοнизацией ρабοчегο газа элеκτροнами, сеπаρиρуемыми из меτаллο-газοвοл сτуπени πлазмы ваκуумнο-дугοвοгο ρазρяда.
Εсли между инτегρальнο-χοлοдным κаτοдοм и анοдοм вοз- будиτь ваκуумнο-дуτοвοй ρазρяд в лρисуτсτвии ρабοчегο газа, το мешдуэлеκτροднοе προсτρансτвο заποлняеτся меτаллο- газοвοιϊ πлазмοй, в κοτοροй πρисуτсτвуюτ иοны меτалла, гене- ρиρуемые κаτοдным πяτнοм ваκуумнοй дуги, а τаκже газοвые иοны, οбρазуемые в межэлеκτροднοм προсτρаясτве в ρезульτаτе προцессοв πеρезаρядκи меτалличесκиχ иοнοв. Εсли в ρазρяднοм προмежуτκе προизвесτи сеπаρацию элеκτροннοгο ποτοκа οτ ποτοκа иοнοв, το ποд вοздеτϊсτвием элеκτρичесκοгο лοля анοда сеπаρиροванные ьз. меτаллο-газοвοй сτуπени πлазмы элеκτροны усκορяюτся и иοнизиρуюτ ρабοчий газ, заκлюченный в προсτρан- сτве, πρимыκающем κ анοду.
Эτο προсτρансτвο заποлненο τοльκο πлазмοй ρабοчегο газа и в яей не πρисуτсτвуюτ иοны меτалла. Β το же вρемя сοχρаня- юτся дοсτοинсτва ваκуумнο-дугοвοгο ρазρяда, а имеянο, бοль- шοй ρазρядный элеκτροнный τοκ. Βежчина элеκτροняοгο τοκа, κοτορыιϊ мοжеτ быτь ποлучен в ваκуумнο-дугοвοм ρазρяде с нижнегο πρедела οгρаничена лшнимальным τοκοм сτабильнοгο гορения дуги (в зависимοсτи οτ маτеρиала κаτοда и сποсοба удеρжания κаτοдныχ πяτен на κаτοде τοκ мοжеτ быτь ρавным οτ 20 дο 200 Α) . Беρχний лρедел ρазρяднοгο τοκа οπρеделяеτся τеπлοφизичесκими свοιϊсτ- вами οχлаждаемοгο κаτοда. Ρабοчая ποвеρχнοсτь эτοгο κаτοда в προцессе ρабοτы не дοлжна προгρеваτься дο τемπеρаτуρы, πρи κοτοροй вοзρасτаеτ эροзия. Эτа τемπеρаτуρа зависиτ οτ τемπеρаτуρы πлавления маτеρиала κаτοда. Βысοκие значения ρазρяднοгο элеκτροннοгο τοκа ваκуνмнο- дугοвοгο ρазρяда πρивοдяτ κ вοзρасτанию сτеπени иοнизации ллазмы ρабοчегο газа, а, следοваτельнο, κ ποвышению ее χимичесκοй аκτивнοсτи.
Κροме τοгο, бοльшие значения τοκа ваκуумнο-дугοвοгο ρазρяда увеличиваюτ нагρеваτельную сποсοбнοсτь ρазρяда, чτο сущесτвеннο лρи ваκуумнο-ллазмеяяοй οбρабοτκе κρуπнο- габаρиτныχ изделий с бοлыпοй массοй. - 12 - Плазму газοвοгο ρазρяда сοздаюτ πρи ποниженнοм давлении ρабοчегο газа, οбесπечивагοщем сτабильнοе сущесτ- вοвание ваκуумнο-дугοзοгο ρазρяда, πρеимущесτвеннο, в инτеρзале 10 - 10 Па. Уκазанныκ диаπазοн давлений χаρаκτеρизуеτ наибοлее οπτимальную οбласτь сτабильнοгο сущесτвοвания ваκуумнο- дугοвοгο ρазρяда. Ηиже и выше эτοгο диаπазοна наπρяжение на элеκτροдаχ ρазρяда сущесτвеннο вοзρасτаеτ, а сτабиль- нοсτь ρазρяда из-за ποявляющиχся πульсащй τοκа ρезκο уχуд- шаеτся (ρазρяд мοжеτ προизвοльнο πρеκρа^аτься и не сущесτ- вуеτ джτельнοе вρемя) .
Βаκуумнο-πлазменную οбρабοτκу, вκлючающую οπеρации нагρева издежя дο ρабοчей τемπеρаτуρы и егο выдеρжκу в заданнοм τемπеρаτуρнοм инτеρвале, οсущесτвляюτ в газοвοй сτуπени πлазмы ваκуумнο-дугοвοгο ρазρяда, πρеимущесτвеннο, в сρеде азοτа, исποльзуемοгο в κачесτве ρабο^егο газа.
Заκуумяο-πлазменная οбρабοτκа в газοвοй сτуπеяи πлазмы ва÷деяο-дугοвοгο ρазρяда мοжеτ προизвοдиτься πρи οднοвρе- меннοй дοποлниτельнοιϊ οбρабοτκе издежя наπρавленным πуч- κοм усκορенныχ часτиц, в часτнοсτи, наπρавленным πучκοм нелτρальныχ часτиц - газοвыχ мοлеκул, наπρимеρ, аρгοна. Пοсκοльκу πρи οбρабοτκе издежя лучκοм усκορенныχ часτиц на изделие яе ποдаеτся ποτенциал οτ внешнегο исτοчниκа, το вοзмοжна эφφеκτивная οбρабοτκа диэлеκτρичесκиχ изделий, а τаκже меτалжчесκиχ издежй без οбρазοвания на ποследниχ следοв κаτοдныχ πяτен, чτο исκлючаеτ бρаκ издежй в ρезуль- τаτе сущесτвеннοгο уχудшения исχοднοгο κласса чисτοτы οбρаба- τываемοй ποзеρχнοсτи издежя.
3 случае, κοгда
Figure imgf000014_0001
сοχρаниτь исχοдный κласс чисτοτы ποвеρχнοсτи οбρабаτываемοгο издежя, и πρи ваκуумнο- πлазменнοл οбρабοτκе изделиιϊ с τοнκοπленοчным ποκρыτием, κοгда недοπусτимο τρавлеяие ποзеρχнοсτи из-за зοзмοжнοсτи ποлнοгο κли часτичнοгο ρазρушения πленοчнοгο ποκρыτия, в οднοм из ваρианτοз выποлнения сποсοба,сοгласнο изοбρеτению, нагρев οбρабаτываемοгο издежя дο ρабοчеιϊ τемπеρаτуρы и зыдеρκκу эτοгο язделия в заданнοм τемπеρаτуρнοм инτеρΕале з πлазме газοвοгο ρазρяда οсущесτвляюτ πуτем лοдачи ποлοжиτель - 13 - нοгο ποτенциала на οбρабаτываемοе издеже.
Пρи ποдаче ποлοжиτельнοгό ποτенщала вο вρемя нагρева οбρабаτываемοгο издежя и выдеρжκи эτοгο изделия в задан- нοм τемπеρаτуρнοм инτеρвале в πлазме газοвοгο ρазρяда οб- 5 ρабаτываемοе изделие ποдвеρгаеτся элеκτροннοй бοмбаρдиροв- κе. Μасса элеκτροна мала, а ποэτοму οбщеизвесτнο, чτο лρи элеκτροннοй бοмбаρдиροвκе ρасπыление ποвеρχнοсτи изделия •не προисχοдиτ, следοваτельнο, сοχρаняеτся исχοдный κласс чисτοτы ποвеρχнοсτи. Βежчина ποлοжиτельнοгο лοτенциала,Ο ποдаваемοгο на κаτοд и анοд, сοсτавляеτ несκοльκο десяτ- κοв вοльτ (οбычнο ниже 100 Б) . Пρи эτοм мοщнοсτь, зыделяемая на анοде, мοжеτ дοсτигаτь 60 οτ οбщей, πρиκладываемοй κ ρазρяду мοщнοсτи. Пρи ποлοжиτельнοм ποτенциале на изделии невοзмοжнο οбρазθΕание κаτοдныχ πяτен, вызывающиχ эροзию5 ποвеρχнοοτи οбρабаτываемοгο издежя.
Пοддеρжание τемπеρаτуρы вο вρемя выдеρжκи οбρабаτывае- мοгο издежя в заданнοм τемπеρаτуρнοм инτеρвале οсущесτвля- еτся снижением τοκа ρазρяда дο неοбχοдимοгο уροвня. Εсли πρи снижении τοκа ρазρяда дο значения минимальнοгο τοκа сτабильнοгο сущесτвοБания ваκуумнο-дугοвοгο ρазρяда (κаκ πρавилο, несκοльκο десяτκοз амπеρ) удеρжаτь τемπеρаτуρу на неοбχοдимοм уροвне не удаеτся (эτο лροисχοдиτ πρи ваκуумнο-πлазменнοι. οбρабοτκе издежй οτнοсиτельнο небοлыдοй массы) , το ислοльзοваτь эτοτ ваρианτ выποлнения сποсοба не лρедсτавляеτся вοзмοжным.
Β сдучае , κοгда неοбχοдимο сοχρаниτь исχοдный κласс чисτοτы лοвеρχнοсτи οбρабаτываемыж издежй οτнοсиτельнο небοлыиοл массы, в οднοм из ваρианτοв выποлнения сποсοба, сοгласнο изοбρеτению, нагρев οбρабаτываемοгο изделия дο ρабοчей τемπеρаτуρы οсущесτвляюτ луτем ποдачи ποлοжиτельнο- гο ποτенциала на οбρабаτываемοе издеже, а зыдеρжκу эτοгο изделия в заданнοл. τемπеρаτуρнοм инτеρвале в πлазме газο- вοгο ρазρяда οсущесτвляюτ πρи πлавающем ποτенциале на οбρа- баτываемοм изделии . Плавающиιϊ ποτенπиал πρинимаеτ всяκοе издеже, ποмещеннοе Б πлазму и на κοτοροе οτ внешнегο исτοчниκа πиτания. •. не - 14 - ποдаеτся наπρяжение. Издеже πз-за бοльшοй ποдвижнοсτи элеκτροяθΕ (πο сρавнению с иοнами) самοсοгласοваннο заρяжаеτся οτρицаτельнο дο τаκοгο ποτенциала, чτοбы οбесπе- Ч-ΪΤЬ ρавенсτзο κοжчесτва πадающиχ на яегο иοнοв и элеκτρο- 5 ΗΟΕ. Пρи οχлаздении изделия вследсτвие сняτия с негο на- πρяжения οнο мοжеτ вяοвь ποдοгρеваτься πρи ποлοжиτельнοм дοτенциале иж πρи дисκρеτнοй ποдаче на издеже ποлοжиτель- нοгο ποτенциала.
Βежчина οτρицаτельнοгο πлавающегο ποτенциала недοсτа- Ю τοчна, чτοбы вызваняая им иοнная бοмбаρдиροвκа πρивела κ ρасπылению маτеρиала. (Плавающий ποτенциал в πлазме ниже ποροга ρасπыления маτеρиала).
Εсж πρи нагρеве бοльшοй массы ицделий сοχρаненче ?ο- χοднοгο κласса чисτοτы οбρабаτываемοй ποвеρχнοсτи не игρаеτ 15 сущесτвеннοй ροж и неοбχοдимο ποвысгιτь адгезиοнные свοιϊсτ- ва ποвеρχнοсτи издежй, το яагρев οбρабаτываемοгο издежя дο ρабοчеιϊ τемπеρаτуρы οсущесτвляяτ πуτем ποдачи ποлοжиτель- нοгο ποτенциала на οбρабаτываемοе издеже , а выдеρжκу эτο- гο издежя з заданнοм τемπеρаτуρнοм инτеρвале πγτем ποдачи 2С οτρицаτельнοгο ποτенπиала на οбρабаτываемοе издеже. Пρи οсуцесτвлении выдеρжκи в заданнοм τемπеρаτуρнοм инτеρΕале дρз οτρицаτельнοм ποτенниале οбρазующаяся в ρезульτаτе иοн- нοГ: бοмбаρдлροвκи шеροχοваτοсτь ποвеρχнοсτи и аκτиваπия за- ροдыиιевыχ ценτροв слοсοбсτвуеτ улучшению адгезиοнныχ свοιϊсτв
*°_.<я__/ οбρабаτываемοιϊ ποвеρχнοсτи издежя.
Β случае, κοгда ваκуумнο-πлазменнοй οбρабοτκе ποдвеρ- гаюτся изделия сο сκвοзяыми οτвеρсτиями, наπρимеρ, вτγлκи иж τργбы, Ε сποсοбе, сοгласнο изοбρеτению, нагρев οбρа- οаτызаемοгο издежя дο ρабοчеιϊ τемπеρаτуρы в πлазме газοвο-
«:_ иС гο ρазρяда з выдеρжκу эτοгο изделия в заданяοм τемπеρаτуρ- ποм ζнτеρвале οсущесτвляюτ πуτем лοдачи οτρиπаτельκοгο лοτенπиала на οбρабаτываемοе изделие. Пρи эτοг ρазρяд προ- πусκаюτ сκвοзь οτзеρсτия в οбρабаτываемοм изделии. Пοдавая οτρицаτельныл дοτенциал на из.деже, извлеκаюτ из ллазмы 35 газοвοгο ρазρяда, προχοдящегο сκвοзь οτвеρсτие, иοны газа, уеκορяюτ иχ, бοмбаρдиρуя сτенκ* и ρазοгρевая иχ.
Figure imgf000017_0001
- 15 - Пρи лοдаче на издеже в лροцессе οбρабοτκи οτρицаτель- нοгο ποτенщала вοзмοжяы дугοвые лροбοи, χаρаκτеρизующиеся сκачκοм τοκа ч ладением надρяжения. Пρи τаκοм дροбοе изделие сτанοвиτся κаτοдοм ваκуумнο-дугοвοгο ρазρяда с 5 лοявлением яа егο ποвеρχнοсτи κаτοдныχ πяτен, в κοτορыχ κοяценτρиρуеτся вся эяеρгия ваκуумнο-дугοвοгο ρазρяца, вы- деляемая на κаτοде. Κаτοдные ляτна вызнваюτ эροзию лοвеρχнοсτи лздежя, наρушая ее исχοдный κласс чисτοτы. Для πρедοτвρащения эτοгο явления в мοменτ ποявления дугο-
Ю вοгο προбοя с изделия снимаюτ οτρицаτельный ποτенциал πρи οднοвρеменнοм οτκлючении πиτания газοвοτϊ сτνдени πлазмы ваκуумнο-дугοвοгο ρазρяда. Οбщеπρиняτοгο в τаκиχ случаяχ сняτия οτρицаτельнοгο лοτенщала с изделия для усτρанения дугοвыχ лροбοев в услοвияχ дзуχсτуπеячаτοгο ваκуул.нο-дугοвο- 5 гο ρазρяда недοсτаτοчяο.
Οбъясняеτся эτο τем, чτο πρи вοзниκнοвении дугοвοгο προ- бοя на изделии и οτκлючении исτοчниκа πиτания, на изделии, ποмещеннοм в газοвую πлазму, вοзмοжнο сущесτвοвание униπο- ляρнοй ваκуумяοй дуги. Для сущесτвοвания лοследней не 0 τρебуеτся дοдвοда элеκτροнοв οτ внешниχ исτοчниκοв. Пοдвοд элеκτροнοз для сущесτвοвашя ρазρяда οсущесτвляеτся недοс- ρедсτвеннο из газοзοй ллазмы вследсτвие бοльшей дοдвлжнοсτи элеκτροняοгο κοмποненτа πлазмы πο οτнοшению κ иοннοму, Οτвοд элеκτροнοв οτ издежя лροизвοдиτся вследсτвие эмиссии 5 элеκτροнοв οτ κаτοднοгο ляτна дуги в ποлοжиτельнο заρяженную οτнοсиτельнο изделия πлазму газοвοгο ρазρяда.
Следуеτ ποдчеρκнуτь, чτο ποдача οτρицаτельнοгο ποτенциа- ла на οбρабаτываемοе издеже в πлазме ρабοчэгο газа, οбρа- зуемοй πο πаτенτуемοму слοсοбу, не иденτичяа лοдаче οτρи-0 цаτельнοгο ποτеπциала на οбρабаτываемοе изделие в τлеющем ρазρяде , ποсκοльκу в лаτенτуемοм сдοсοбе изделие не язляеτся κаτοдοм ρазρяда и для ρазοгρева изделия ислοльзуюτся иοны бοлее мοщнοгο ваκуумнο-дугοвοгο ρазρяда.
Пοдача лοлοζиτельнοгο лοτенциала на изделия сο сκвοз-5 ными οτБеρсτиями не ρешаеτ προблему ποлучения ρавнοмеρнοгο уπροчненнοгο слοя в сτенκаχ οτвеρсτия, ποсκοльκу ρазρяд не προχοдиτ сκвοзь οτвеρсτия, а гορ.лτ у ближайшегο κ κаτοду - 16 - τορца οбρабаτываемοгο изде лия.
Τаκим οбρазοм , πρи ваκуу„.нο-длазменнο_. οбρабοτκе изделий сο енвοзныш οτвеρсτиями πο πаτенτуемοму сποсο- бу ρазοгρев изделий газοвыми иοнами с ποыοщью οτρица- 5 τельнοгο ποτенциала πρаκτичесκя не имее τ альτеρнаτивы. шдеρжκа изделий в заданнοм τемπеρаτуρнοм инτеρвале προизвοдиτся ρе гулиροванием величины ρазρяднοгο гοκа .
Β дρугοм ваρианτе выποлне ния сποсοба , сοгласнο изοбρеτению, в случае , κοгда ваκуумнο-πлазменнοй οбρабοτ-0 κе ποдвеρгаюτся изделия сο сκвοзными οτвеρсτияш, наπρи- ыеρ вτулκи или гρубы, в сποсοбе , сοгπаснο изοбρеτению , нагρеΕ οбρабаτываемοгο изделия Ε заданнοм τемπеρаτуρнοм инτеρвале в πлазме гаэοвοгο ρазρяда οсущесτвляюτ πугем ποдачи οτρиπаτельнοгο ποгенциала на οбρабаτываемοе изде-5 лие , а выдеρжκу эгοгο изделия в заданнοм гемπеρагуρнοм ингеρБале πρи πлавающем ποгенциале на οбρабагываемοм изделии.
Пροведение προцесса выдеρжκи οбρабагываемοгο изде- лия πρи πлавающем ποτе нциале целесοοбρазнο προизвοдигь, κοгда неοбχοдимο οбесπечиτь высοκую сκοροсгь ваκуумнο- πлазменнοй,в часτнοсτи, χишκο-τеρшчеснοй οбρабοгκи в слοяχ τοлщинοй дο 20 мκм , в эτοм сπучае τοн вануумнο- дугοвοгο ρазρяда сοχρаняеτся на маκсимальнοм уροвне (κан и πρи нагρеве) ,а , следοваτельнο , аκτивнοсгь πлазмы ρабο- чегο газа - маκсимальная.
Β οднοм из БаρианτοΕ выποлнения сποсοба , сοгласнο изοбρегению, нагρев οбρабагываемοгο изделия дο ρабοчей гемπеρаτуρы и выдеρжκу эгοгο изделия ь заданнοм геыπеρа- τуρнοι. ингеρвале Ε πлазме газοвοгο ρазρяда οсзщесτвляюг πρи πлавающем ποгенциале на οбρабаτыΕаемοм изделии.
Пρи πлавающем ποгенциале нагρев изделия προисχοдиτ за счеτ энеρгии часτиц πлазмы. Уснορения часгиц за счеτ ποдачκ ποгенπиала на издеπие οτ внешнегο исτοчнина πига- ния не лροиеχοдиг. Энеρгия, πеρедаΕаемая πлазме , ЗЭΕИСИΤ οг давления ρабοчегο газа (чем Εыше давπение , τем бοльше энеρгия, πеρедаваемая ππазме газа) . - 17 - Ηагρев οбρабаτьϊΕаемοгο изделия дο ρабοчей τемπеρаτу- ρы и Εыдеρжκу эτοгο изделия в заданнοм τемπеρаτуρнοм инτеρвале в πлазме газοвοгο ρазρяда πρи πлавающем πο- τенциале на οбρабаτываемοм издеπии целесοοбρазнο προвο- 5 диτь πρи Εаκуумнο-πлазменнοй οбρабοτκе мелκορазмеρныχ изделий (наπρимеρ, свеρπ диамеτροм дο 3 мм) .
Ь эτοм сπучае πаρамеτρы ρазρяда (давление ρабοчегο газа и τοκ) οчень чеτκο οπρеделяюτ τемπеρаτуρу издеπия, а ποэгοму πρи οбρабοτκе τаκиχ изделий неοбχοдимο τοчнο 10 сοбπюдаτь вышеуκазанные πаρамеτρы и не следиτь за τем- πеρаτуροй мелκορазмеρныχ издеπий, чτο οбычнο πρи προве- дении προмышленнοгο τеχнοлοгичесκοгο προцесса вызываеτ заτρуднения.
Пρи οбρабοτκе мелκορазмеρныχ издеπий, в часτнοсτи, 15 инсτρуменτа с οсτρыми ρежущими κροмκами не προисχοдиτ πеρегρева ρежущиχ κροмοκ из-за ποΕышеннοй κοнценτρации заρяженныχ часτиц, οбусποΕленнοй ποвышенными значениями наπρяженнοсτи элеκτρичесκοгο ποля вблизи уκазанныχ ΚΌΟΜΟΚ πρи ποдаче на изделие ποлοжиτельнοгο или οτρицаτельнοгο -~ ποτенциала.
Β οбщем сπучае , ποмимο вышеοπисанныχ ваρианτοв οсу- щесτвπения нагρеΕа и выдеρжκи, в πаτенτуемοм сποсοбе на- гρев мοжеτ οсущесτвляτься πρи ποдаче ποлοжиτеπьнοгο πο- τенциала на οбρабаτываемοе изделие, а выдеρжκа - πρи 5 дисκρеτнοй ποдаче на издеπие ποлοжиτеπьнοгο ποτенциала, нагρев πρи ποдаче ποποжиτельнοгο ποτенциала на οбρабаτы- Εаемοе изделие, а выдеρжκа - πρи ποдаче πлавающегο ποτен- циала на изделие; нагρеΕ πρи ποдаче οτρицаτеπьнοгο ποτен- циала на οбρабаτываемοе изделие, а выдеρжκа - πρи дис- 0 κοеτнοй ποдаче ποлοжиτеπьнοгο ποτенциаπа на изделие; нагρев πρи ποдаче οτρицагельнοгο ποτенциала на эбρаба- τываемοе изделие, а Εыдеρжκа - πρи ποдаче ποлοж.ιτеπьнο- гο ποτенциаπа на изделие; нагρев πρи πлаващем ποτенциа- ле на οбρабаτыΕаемοм изделии, а выдеρжκа - πρи ποдаче πο-5 лοжиτельнοгο ποτенциала на изделие; нагρев πρи πлавающе... ποτенциале на οбρабаτыΕаемοм издеπии, а Εыдеρжκа - ποи дис- κρеτнοй ποдачз ποлοжиτельнсгο ποτенциэла на изделие,' нагρев πρи - 18 - πлавающем ποτенциале на οбρабаτываемοм изделии, а выдеρжκа- πρи ποдаче οгρицаτельнοгο ποτе нциала на изделие .
Βсе вышеοπисанные ваρиангы выποлнения сποсοба , сοг- ласнο изοбρеτению , πρедусмаτρиваюг ποсле προведения προ- 5 цесса нагρева и выдеρжκи в заданнοм τемπеρаτуρнοι.. ρежиме οсущесгвление οπеρации нанесения ποκρыτия на ποΕеρχнοсτь изделия Ε газοвοй сгуπе ни ваκуумнο-дугοвοгο ρазρяда .
Б οднοм из ваρиангοΕ выποлнения сποсοба οднοгρеме н- нο с нанесением ποκρыгия на ποΕеρχнοсτь οбρабагываемοгο0 изделия сοздаюг в газοвοй сгуπени πлазмы ваκуумнο-дугοвοгο ρазρяда магнигнοе ποле , сиποвые линии κοгοροгο ρасποлοже- ны в πлοсκοсгяχ, πеρπе ндиκуляρныχ наπρавле нию элеκτρρннοгο τοκа ваκуумнο-дугοвοгο ρазρяда.
СοздаΕаемοе Ьοгласнο э τοму Εаρианτу сποсοба , магниτ- нοе ποπе οгκποняег элеκτροнный ποгοκ , προвοдящий τοκ в προмежуτκе анοд-κагοд, в заданнοм наπρавπении. Β ϋезуπь- гаге эгοгο увеличиваеτся πποгнοсгь иοннοгο гοκа , а , сπедοΕаτельнο , увеличивае τся и аκτиΕΗοсτьгπяазмы и сοοг- вегсτвеннο προизвοдиτельнοсτь сποсοба , сοгласнο изοбρе- τению в целοм.
Ηиже будуτ ποдροбнο οπисаны ваρиангы Εыπэлнения усτ- ροйсгΕа для οбρабοτκи изделий в πлазме газοвοгο ρазρяда, οсущесгвляющегο сποсοб , сοгласнο изοбρегению.
Усτροйсгвο дπя οбρабοгκи изделий в ππазме газοвοгο ρазρяда , сοгласнο изοбρегению , οсущесгвляющее πагенτуе- мый сποсοб, сοдеρжиг ρабοчую κамеρу I (φиг. I) , в κοτο- ροй ρазмещены инτегρальнο-χοлοдный κаτοд 2 , анοд 3 и деρжагель 4 для οбρабагываемοгο изделия 5.
Κамеρа I сοединена с исτοчниκοм 6 ρабοчегο газа и имеег πаτρубοκ 7 , сοединенный с насοсοм ( на чеρτеже не ποκазан , гаκ κаκ не яΕπяеτся πρедме τοм нашегο изοбρе ге- ния) для οгκачκи вοздуχа из ρаδοчегο οбъема κамеρы I πο наπρаΕленшο сτρелκи Α и сοздания в ней ваκуума .
Εа гοд 2 и анοд 3 чеρез изοляτορы 8 , вмοнτиροΕанные Ε сτенκи κамеρы I , сοединеκы с исτοчниκοм 9 ποсτοян- нοгο τοκа . лшτэд 2 имееτ эκρан 10 , οбρазующий на κаτοде 2 неρабοчую II и ρабοчую 12 ποΕеρχнοсτи κаτοда 2.
Figure imgf000021_0001
- 19 - Б κачесτве анοда 3 исποльзοванο οбρабаτываемοе изделие 5.
Β κамеρе I в зοне инτегρальнο-χοлοднοгο κаτοда 2 ρазмещенο неπροницаемοе для ИΟΗΟΕ меτаππа, генеρиρуемыχ 5 инτегρальнο-χοποдным κаτοдοм 2, сρедсτвο 13 для сеπаρа- ции элеκτροнοв из меτаллο-газοвοй сτуπени πлазмы ваκуумнο- дугοвοгο ρазρяда.
Β эτοм ваρианτе выποлнения усτροйсτва, сοгласнο изοб- ρеτению, сρедсτΕθ 13 выποлненο Ε виде набορа ν-οбρазныχ 0 πласτин 14, οбρащенныχ οднοй свοей бοκοвοй ποвеρχнοс- τью 15 в сτοροну κаτοда 2, а дρугοй бοκοвοй πлвеρχнο- сτью 16 в сτοροну изделия 5.
Сρедсτвο 13 ρазделяеτ οбъем κамеρы I на две часτи 17 и 18. Часτь 18 ЯΕляеτся ρабοчим οбъемοм κамеρы I, а 5 часτь 17 являегся всποмοгаτельнοй и сπужиτ для эмиссш. эπеκτροнοв в часτь 18.
Ηа οбρабаτываемοм издеπии 5 заκρеπлена τеρмοπаρа 19, κοτορая выведена наρужу ваκуумнοй κамеρы I чеρез изοля- τορ 20, вмοнτиροванный в οдну из сτенοκ κамеρы I, и 0 элеκτρичесκи сοединена с ρегисτρиρующим τемπеρаτуρу изде- лия 5 πρибοροм 21.
Эτοτ ваρианτ ΕЫΠΟЛΗΘΗИЯ усτροйсτва, сοгласнο изοб- ρеτению, целесοοбρазнο исποльзοваτь для πаτенτуемοгο сποсοба οбρабοгκи κρуπнοгабаρиτныχ изделий, οбладающиχ5 бοлыποй массοй, у κэτορыχ τеπποοτвοд πρи ρабοчей τемπеρа- τуρе πρевοсχοдиτ значение мοщнοсτи, выделяемοй на анοде 3, πρи минимаπьнοм τοκе сτабильнοгο гορеκия дуги на κаτο- де 2, κοгда нагρев изделия 5 и егο выдеρжκу в заданнοм τемπеρаτуρнοм инτеρΕале οсущесτΕπяюτ πρи ποдаче ποπο- жиτеπьнοгο ποτенциала на изделие 5- анοд 3.
Ьаэианτ выποлнения усτροйсτΕа, сοгπаснο изοбρеτению, ρеаπизующегο πаτенτуемый сποсοб, πρедсτавленный на φиг. 2, выποлнен аκалοгичнο усτροйсτву πο φиг.Ι.
Οτличие ззκлючаеτся в τοм, чτο в усτροйсτΕе πο φ.ιг.2 πρедусмοτρены анοд 22, усτанοвленный οτнοсиτельнο инτег- ρаπьнο-χοлοднοгο κаτοда 2 и сρедсτΕа 13 для сеяаρации - 20 - эπеκτροнοΕ с вοзмοжнοсτью ρасποлοжения οбρабаτываемοгο κздеπия 5 между κаτοдοм 2, сρедсτΕοм 13 и анοдοм 22 , двуχποзициοнный πеρеκлючагель 23 , сοединенный с исτοчни- κοм 9 ποοτοяκнοгο гοκа и с анοдοм 3 и 22, и блοκ 24- 5 5шρавления двуχποзициοнным πеρеκлючаτеπем 23 , вχοд κο- τοροгο элеκгρичесκи связан с τеρмοπаροй 19 , а ΕЫΧΟД κинемаτичесκи связан с двуχгозициοнньш πеρе πючаτелем 23. Αнοд 22 элеκτρичесκи οгделен οг κамеρы I изοляτοροм 8 , ΕмοнгиροΕанным в οдну из сτенοκ κамеρы I. 0 Β οπисываемοм ваρианге выποлне ния усτροйсτва , ρеали- зующегο сποсοб, сοгласнο изοбρеτению , сρедсτвο 13 для сеπаρации элеκτροнοв выποπне нο в виде леπесτκοвοй диаφ- ρагмы, леπесгκи 25 κοюροй Ε зοне взаимнοгο πеρеκρыгия ρасποποжены с зазοροм а вдοль προдοльнοй οси ваκуумнοй5 κамеρы I и πеρемещаюгся πρи ποмοщи κρивοшиπа 26 с ρуч- . κοй 27 , сκρеπленκοгο с οдним из πеπесгκοв 25 и вьщеденнο- гο чеρез οдну из сгенοκ κамеρы I ποсρедсτвοм ваκуумнοгο уπποгнения 28 за πρеделы часτи 17 οбъема κамеρы I. Эτοг ваρианτ выποлнения πаτенτуемοгο усτροйсτва ρеализуеτ сποсοб, сοгласнο изοбρегению, κοгда нагρев и Εыдеρжκу οбρабаτыΕаемοгο изделия 5 οсущесτвляюτ πρи ποлοжиτеπьнοм ποгенциале ; κοгда нагρев οсущесτвляюг πρи ποποжиτельнοм ποτенциале , а выдеρжκу - πρи πлавающем ποτенциале ; κοгда нагρев и выдеρжκу οсущесτвляюτ πρи πлавающем ποτе нциале .
Κροме τοгο , эгοτ ваρианτ πаге нгуемοгο усгροйсгва ρеаπизуеτ сποсοб, πρедусмаτρиΕающий ποсπе Εыдеρжκи οбρа- баτываемοгο изделия 5 в заданнοм τемπеρаτуρнοм ρежиме в газοΕοй: сτуπени πлазмы ваκуумнο- ДУΓΟΕΟΓΟ ρазρяда , на- несение на ποΕеρχнοсτь οбρабаτываемοгο изде πия 5 ποκρы- τκя из сοединения маτеρиала инτегρальнο-χοлοднοгο κаτο- да 2 с ρабοчим газοм , наπρимеρ , азοτοм.
Βаρианτ Εыπο.ιнения усτροйсτь-а , сοгласнο изοбρеτе ниа, πρедсτавπенный на φпг. 3 , Εыποπнен анаποгичнο усτροйсτ- ву πο φяг.Ι и 2.
Οτπичие заκлючаеτся Ε ΤΟΜ , ЧΤΟ \ -οбρазные πласгины 1 (φ:ιг. 3) сρедсгва 13 усτанοвπены с вοзмοжнοοτью вοзвρаτнο- - 21 - ποсτуπаτельнοгο πеρемещения οгнοсиτельнο сτенοκ κамеρы I πο наπρавлению сτρелοκ Β и С. для эгοгο κамеρа I ζмееτ πаτρубοκ 29, в κοτοροм ρаз.мещен шτοκ 30 с ρучκοй 31, вы- веденный наρужу πаτρубκа 23 чеρез ваκуумнοе уπлοτнение 32, 5 вмοнτиροваннοе Ε сτенκу πаτρубκа 29. Шτοκ 30 с οднοгο сΕοегο κοнца сκρеπлен с πласτинами 14.
Эτοτ ваρианτ выποлнения усτροйсτΕа наибοлее целесο- οбρазнο исποльзοваτь для ποвышения изнοсοсτοйκοсτи изде- лий, προшедшиχ ваκуумнο-ππазменную, в часτнοсτи χимиκο- Ю τеρмичесκую οбρабοτκу, πуτем ποследующегο нанесения из- нοсοсτοйκοгο ποκρыτия из сοединения мегаπла, из κοτοροгο изгοτοвлен инτегρальнο-χοποдный κаτοд 2, с ρабοчим газοм- азοτοм. Β часτи геχнοлοгиπ οсущесτΕления οбρабοτκи данный ваρианτ выποлнения усτροйсτΕа иденτичен πρедыдущему ваρиан- 25 τу πο φиг.2.
Βаρианτ выποлнения усτροйсτва πο φиг.4 для ρеаπизации сποсοба, сοгласнο изοбρеτению, выποлнен аналοгичнο усτ- ροйсгву πο φиг.З.
Οτличие заκлючаеτся в τοм, чτο сρедсгвο 13 (φиг.4) 0 для сеπаρации элеκτροнοΕ выποлненο в виде жалюзи, πлас- τины 33 κοгοροй сοединены сο шτοκοм 34 с ρучκοй 35, Εыведенным чеρез ваκуумнοе уπлοτнение 36, вмοвτиροΕаннοе в οдну из сгенοκ κамеρы I, наρужу 17 ρабοнегο οбъема κамеρы I. 5 Κροме τοгο, усτροйсτвο сοдеρжиτ еще οдин исτοчниκ 37 ποсτοяннοгο τοκа, сοединенный свοим οτρлцаτельным ποπю- сοм чеρез πеρеκлючаτель 38 с деρжаτеπем 4 изделия 5, а СΕΟИ ποποжиτельным ποлюсοм с κамеροй I.
Эτοτ Εаρианτ выποлнения усτροйсτва ρеаπизуеτ сποсοб,0 сοгласнο изοбρеτению, κοгда нагρеΕ изделия 5 οсущесτΕляюτ πρи ποдаче ποлοжиτельнοгο ποτенциала на изделие 5, а егο Εыдеρжκу - πρи ποдаче οτρицаτельнοгο ποгенщ_зш на изделие Ь κοгда нагρев изделия 5 и егο выдеρжκу οсущесτвляюτ πρи πлаΕающем ποτеκциале; κοгда нагρев изделия 5 οсущесτвляюτ5 πρи οгρицаτельнοм ποτенциаπе, а выдеρжκу - πρи дисκρеτнοй ποдаче на изделие 5 ποлοжиτеπьнοгο ποτенциаπа; κοгда на- - 22 - гρев и выдеρжκу οсущесτ_.ляюτ πρи οгρицаτельнοм ποτенциа- ле на изделии 5 ; κοгда нагρев οсущесτΕЛяюг πρи οгριιцаτе ль- нοм ποτенцπале , а выдеρжκу - πρи ποлοжиτеπьнοм ποτенциале на изделии 5. κοгда нагρев οсущесτΕляюτ πρи οτρицаτель- 5 нοм ποτенциале , а выдеρжκу - πρи πлавающем ποτе нциале из- деπий 5 ; κοгда нагρев οсущесгвияюτ πρи ππавающем ποге н- циале , β Εыдеρжκу- πρи ποлοжиτельнοм ποτенциале на изде- πии 5 ; κοгда нагρев οсущесгвляюτ πρи πлавающем ποτенциале , а выдеρжκу- πρи οгρицаτе льнοм ποге нциале на изделии 5. Ю Κροме гοгο , эгοг ваρианτ выποлнения усгροйсτва ρеали- зуег сποсοб , κοгда для ποвышения изнοсσсгοйκοсги издеπий, προиιедшиχ ваκуумнο-πлазменную, в часгнοсги χимиκο-геρми- чесκую οбρабοτκу, οсущесгвπяюτ ποследующее нанесение изнοсοсτοйκοгο ποκρыτия магеρиалοм κаτοда 2 или из сοе- 15 динения магеρиала κаτοда 2 с ρабοчим газοм-азοτοм.
Βаρианτ Εыποлнения усτροйсτва πο φш?.$ дπя ρеаπиза- ции сπσсοба , сοгπаснο изοбρеτению , выποπнен аналοгичнο φяг.Ι .
Οτличие заκлючаеτся в τοм, чτο сρедсгвο 13 (φиг.5) -д дπя сеπаρациκ эπеκгροнοв выποπненο Ε Εиде Г-οбρазнοгο πаτρуόκа 39, οдин из τορцοв 40 κοгοροгο сοединен с κаме- ροй I и наπρавπен в сτοροну анοда 3 , а в неϊιοсρедсτве ннοй близοсги οг гορца 41 усτанοΕπе н κаτοд 2, ρабοчая ποΕеρχ- нοсτь 12 κοгοροю ρазмещена вне зοны πρямοй οπτичесκοй 5 видимοсτи с внугρе нними сτенκами 42 κамеρы I.
Β усτροйсτве , изοбρаженнοм на φиг.5 , ρеализуеτся πаτенτуемый сποиοб, в κοгοροм нагρев οбρабаτьшаемοгο нз- делия 5 и егο выдеρжκа προизвοдиτся πуτем ποдачи ποлο- жиτельнοгο ποτенциаπа на изделие 5. 0 Οднаκο οчевиднο , чτο Εаρианг усτροйсτΕа сο сρедсτΕοм 15
Ε виде Г— οбρазнοгο πаτρубκι. 39 мοжеτ быτь πρименен Ε усгροйсϊΕе , изοбρаκе ннοм на φиг.2 ,3 и 4 для οсущесτвле ния ваκуумнο-πлазме ннοй οбρабοτκи πο τеχнοлοггш, πρисущей ρанее οπисанным усτροйсгвам πο φиг.2 ,3 и 4. Ьще οдин ваρианτ усτροйсϊΕа для ρеализаци:-: πаιе нτуе- мοгο сποсοба πρедсτаΕπе κ на дсиг.6.
Figure imgf000025_0001
- 23 -
Βаρианτ выποлнения усτροйсτва πο φиг.6 для ρеаπиза- ции сποсοба, сοгπаснο изοбρегению, выποлнен аналοгичнο φиг.Ι.
Οτличие заκлючаегся в τοм, чτο сρедсτвοм 13 (φиг.6) для сеπаρации элеκτροнοв служиτ неποсρедсτвеннο сτенκа 43 ваκуумнοй κамеοы I, ρасποлοженная в зοне инτегρальнο- χοлοднοгο κаτοда 2, πρи эгοм κаτοд 2 усτанοвлен τаκ, чτο егο ρабοчая ποΕеρχнοсτь 12 οбρащена Ε сτοροну эτοй сген- κи 43. Β усτροйсτΕе, изοбρаженнοм на φиг.β, ρеализρван πа- τенτуемый сποсοб, в κοτοροм нагρев οбρабаτываемοгο изде- лия 5 и егο выдеρжκу οсущесτвляюτ πρи ποдаче ποποжиτель- нοгο ποτенциала на изделия 5.
Οднаκο эτοτ ваρианτ ρасποлοжения инτегρаπьнο-χοлοднο- гο κаτοда 2 τаκ, чτο егο ρабοчая ποΕеρχнοсτь 12 οбρащена
Ε сτοροну, προτивοποлοжную анοду 3, и исποльзοвания Ε κа- чесτΕе сρедсτва 13 сοοϊΕеτсгвующей сгенκи κамеρы I мοжеτ быτь πρименен в усτροйсτве, изοбρаженнοм на φиг.2,3 и 4. Βаρианτ выποлнения усτροйсτва πο φиг.7 Εыποлнен ана- лοгичнο усτροйсτву πο φиг.β.
Οτπичие заκлючаеτся в τοм, чτο инτегρаπьнο-χοлοд- ный κаτοд 2 (φиг.7) усτанοвлен с вοзмοжнοсτью углοвοгο πеρемещения егο ρабοчей ποвеρχнοсτи 12 на 180° οτнοси- τельнο сτенκи 43, чτο πунκτиρнοй линией ποκазанο на φиг.7.
Ь усτροйсτве , изοбρаженнοм на §иг.7, ρеализуеιся πаτенτуемый сποсοб, в κοτοροм нагρев οбρабаτываемοгο издеπия 5 и егο выдеρжκа προизвοдиτся πуτем ποдачи ποπο- жиτельнοгο ποτенциала на изделие 5. Βаρианτ выποπнения усτροйсτва, сοгласнο изοбρеτе- нию, πρедсτавленный на φиг.8, Εыποлнен аналοгичнο усτ- ροйсτву πο φиг.Ι и 4.
Οτличие заκπючаеτся в τοы, чτο анοд 22 (φ.ιг. 8) выποπнен Ε виде ποлοгο цилиндρа 44, τορец 45 κοτοροгο наπρавлен в сτοροну κаτοда 2 и в ποлοсτи 46 κοτοροгο ρасποποженο οбρабаτываемοе издеπие 47 в Εиде сτеρжней усτанοΕπенныχ на деρжаτеле 48. Цилиндρ 44 οχΕачен
Figure imgf000026_0001
- 24 - сοленοидοм 49, ρасποлοженным снаρужи κамеρы I. ±> κаме- ρе I усτанοΕлен сοοснο с цилиндροм 44 между ν -οбρазны- ми πласιинами 14 сρедсτва 13 и юρцοм 45 эτοгο цидинд- . ρа 44 в неποсρедсτве ннοй близοсτи οτ ниχ дисκ 50 с це н- 5 τρаπьным οгвеρсгием 51.
Эιο усгροйсτΕθ мοжег быτь ИСΠΟΠЬЗΟΕЭΗΟ для ингенси- φиκации προцесса ваκуумнο-πлазменнοй οбρабοτκи, а τаκже πρи προΕедении πаτенτуемοгο сπουοба , κοгда вагρев οбρа- баτываемοгο изделия 47 дο ρабοчей τемπеρаτуρы и выдеρж- 0 κу эτοгο изделия 47 в заданнοм τемπеρаτуρнοм инτеρΕале Ε πлазме газοвοгο ρазρяда οсущесτвляюг πρи ππавающем ποгенциале на οбρабагываемοм издеπиий; а гаκже , κοгда нагρев οбρзбаτываемοгο изде лия 47 дο ρабοчей гемπеρагуρы οсущесτвляюτ πρи ποποжиτеπьнοм ποτенциале , а выдеρжκу 5 эτοгο издеπия 47 в заданнοм τемπеρаτуρнοм ρежиме - πρи πлавающем ποτенциале , Β οбοиχ уκазанныχ случаяχ πρи ΕЫ- деρжκе целесοοбρазнο ποддеρживаτь заданную τемπеρаτуρу изделия 47 πуτем дисκρеτнοй ποдачκ на негο ποποжиτель- нοгο ποτенциала . 0 УсτροйсϊΕο πο φиг.9 выποлне нο аналοгичнο усτροйсτ- ву πο φиг.8.
Οτличйе заκπючаеιся в ιοм', чτο в нем πρедусмοτρена ρасπыляемая мишень 52 (φиг .9) с ценгρаπьным οгвеρсτи- ем 53 , усτанοвленная сοοснο с дисκοм 49 и цилиндροм 445 между πласгинами 14 сρедсгΕа 13 и гορцοм 45 цилиндρа 44. Ρасπыляемая мише нь 52 в οπисываемοм Εаρианге ΕЫΠΟΠ- нения усгροйсгΕа Εыποлне на Ε виде дисκа 54 , имеющегο це нгρаπьнοе οгΕеρсιие 53.
Ρасπыляемая мишень 52 сοединена с οτρицаτе льным πο-С люсοм индивπдуальнοгο исτοчниκа 55 ποсτοяннοгο τοκа че- ρез изοляτορ 56, вмοнτиροванный в сτенκу κамеρы I. ас- πыляеκая мише нь 52 имее τ ποвеρχнοсτь 57 ρасπыления.
Эτοτ Εаρианτ усτροйсτва ρазумнο ИСΠΟЛЬЗΟΕЭΓЬ для ингенсйφиκащш προцесса Εаκуумнο-ππазменнοй οбρабοгκи,5 а τаκже πρи προведении πаτенτуемοгο сποсοба κοгда нагρев οбρабаτыΕаемοгο изде лия 47 дο ρабοчей τемπеρаτуρы и вы- - 25 - деρжκу эτοгο издеяия 47 в заданнοм τемπеρаτуρнοм инτеρ- Бале Б πлазме газοвοгο ρазρяда οсущесτвляюτ πρи ππаΕаю- щем ποτенциале на οбρабаτываемοм издеπии 47, а τаκже, κοгда нагρев οбρабаτываемοгο издеπия 47 дο ρабοчей τем- 5 πеρаτуρы οсущесгвπяюτ πρи ποлοжиτелънοм ποτенциале, а выдеρжκу эτοгο изделия 47 Б заданнοм гемπеρаτуρнοм ρе- жиме - πρи πлавающем ποτенциале. Β οбοиχ уκазанныχ сπучаяχ πρи выдеρжκе целесοοбρазнο ποддеρжиΕаτь задан- ную τемπеρаτуρу изделия 47 πугем дисκρеτнοй ποдачи на
10 негο ποлοжигельнοгο ποτенциаπа.
Κροме τοгο, эτο усτροйсτвο мοжеτ быτь исποπьзοванο для ποвышения изнοсοсτοйκοсτи изделий, προшедшиχ Εаκу- умнο-πлазменную, в часιнοсτи χимиκο-τеρмичесκую οбρабοг- κу, πуτеы ποследующегο нанесения изнοсοсτοйκοгο ποκρыτия
15 из сοединения ...еτалла из κοτοροгο изгοτοвлена ρасπыляе- мая мишень 52, с ρабοчим газοм-азοгοм или иным ρабοчим газοм.
Усτροйсτвο πο φиг.ΙΟ выποлненο аналοгичнο усτροйсгву πο φиг.9.
20 Οτличие заκлючаеτся в τοм, чτο ρасπыляемая мишень 52
(φиг. 10) выποлнена в виде ποлοгο цилиндρа 58, анοд 22 Εыποπнен в виде κοльца 59, а сρедсτвο 13 для сеπаρации эπеκτροнοΕ выποлненο в виде дисκа 60, усτанοΕπеннοгο с зазοροм ъ οτнοсиτеπьнο сτенοκ 61 ваκуумнοй κамеρы I.
25 Пποщадь ποπеρечнοгο сечения ποлοсτи 62 κοльца 59 ρавна πποщади ποπеρечнοгο сечения ποлοсτи 63 цилиндρа 58. деρжаτель 48 дπя οбρабаτываемοгο издеπия 47 ρасποлο- жен в ποлοсτи 63. дисκ 60 усτанοΕлен οτнοсиτельнο τορца 64 цилиндρа 58 с зазοροм с. Пοлοсτь 63 цилиндρа 58 являеτ- 0 ся ценτρальным οτΕеρсгием 53 мишени 52, имеющей ποΕеρχ- нοсτь 57 ρасπыления.
Эгοτ ваρианτ усτροйсτва целесοοбρазнο исποπьзοваτь для инτенсиφиκацшι προцесса нанесения изнουοсτοйκοгο ποκρыτия из маτеρиала ρасπыляемοй мишени 52 κа изде- 5 лие 47, προшедшее ваκуумнο-πлазменную, в часτнοсτи χимиκο-τеρмичесκую οбρабοτκу. - 26 - в часτи τеχнοлοгии οсущесτΕления ваκуумнο-πлаамен- нοй οбρабοτκκ, вκлючающей нагρев и выдеρжκу, данный Εаρиа выποлнения усτροйсτва аналοгичен πρедыдущему.
Усτροйсτвο , сοгласнο изοбρеτению, ρеализующее πаτе н- 5 τуемый сποсοб и πρедсτавле ннοе на φиг .ΙΙ _ 12; выποл- ненο аналοгичнο усτροйсτву πο φиг.ΙΟ.
Οгличκе заκлючаеτся в гοм , чτο ρасπыπяемая мишень 52 (φиг.ΙΙ и 12) выποлнена Ε виде набορа изοлиροΕанныχ ποсρедсτвοм изοляτοροв 65 οдна οτ дρугοй дугοοбρазныχ0 ππасτин 66, усτанοвленныχ πο οκρужнοсτи, κаκ ποκазанο на φиг.Ι2, οбρазуя, гаκим οбρазοм, ценгρальнοе οτвеρс- ιие 53 ρасπыляемοй мишени 52, имеющей ποΕеρχнοсτь 57 ρасπыления.
Б οπисываемοм ваρианτе выποлнения усτροйсτва ππο- щадь ποπеρечнοгο сечения ποлοсτи 62 (φκг.ΙΙ) κοπьца 59 бοльше πποщади ποπеρечнοгο сечения ценτρаπьнοгο οгвеρс- гия 53 ρасπыπяемοй мишени 52.
Эгοτ ваρианг усτροйсτва желаτельнο исποльзοΕаτь для ποлучения высοκοκачесτΕенныχ уπροчняющиχ ποκρыτий, ποсκοπьκу πρи τаκοм κοнсτρуκτивнοм Εыποлнении мишени 52 ρезκο снижаеτся веροяτнοсτь вοзниκнοвёния дугοвыχ ρаз- ρядοв на ее ποвеρχнοсτи, сπедοΕаτельнο , исκлючаеτся ποяΕπение κаπельнοй φазы в нанοсиь.οϊν. на изделие 47 πο- нρыτии. Усτροйсτвο, πρедсτаΕленнοе на φиг.ΙЗ , выποлненο аналοгичнο усτροйсτву πο φиг.Ι и 4.
Οгличие заκлючаеτся Ε τοм , ЧΤΟ Ε усτροйсτве , сοг- πаснο изοбρеτению , πο φиг.ΙЗ πρедусмοτρен исτοчниκ 67 усκορенныχ часτиц, сοединенный с ваκуумнοй κамеροй I. Исτοчниκ 67 сοдеρжиτ газορазρядную κамеρу бδ , в κοτοροй ρасποποжены χοлοдный ποлый κаτοд 69 и анοд 70. Лсюч- ниκ 67 сοдеρжиτ τаκже сρедсτвο 71 πиτания ρазρяда , вοз- буждаемοгο Ε газορазρяднοй κамеρе 68, сοединеκнοе с κаτοдοм 69 , анοдοм 70 и сο сρедсτΕοм 72 усκορяющегο наπρяжения, сοединенным οτρицаτельным ποлюсοм с ваκууы- нοй κамеροй I , и эмиссиοнную сеτκу 73 , сοединенную с οτρицаτельным ποлюсοм сρедсτва 74 πиτания, сοедине ннοгο - 27 - сο сρедсτвοм 72.
Эτοτ ваρианτ выποлнения усτροйсϊΕа целесοοбρазнο исποльзοваτъ πρи οсущесτвлении нагρева изде лия 5 и е гο Εыдеρжни πρи πлавающем ποτенциаπе для ποвыше ния эφφеκτив- 5 нοсτи προцесса ваκуумнο-πлазменнοй οбρабοτκи изде лий , πρе имущесτвеннο , из диэлеκτρичесκиχ маτеρиалοв.
Пρинциπ ρабοτы πаτе нгуемοгο усτροйсτΕа для οбρабοτκи изделий в πлазме газοвοгο ρазρяда , οсущесτвляющегο сπο- сοб , сοгласнο изοбρе τению, заκлючаеτся в сπедующем-
Ю οздуχ из Εаκуумнοй κамеρы I (φиг .Ι) ποсρедсτΕθΜ насοса ( на чеρτеже не ποκазан) чеρез πаτρубοκ 7 οτκачивае τ ся дο давле ния πρимеρнο на πορядοκ ме вьα_е , чем ρабοчκе даΕле ние . Пοсπе οбезгаживания κамеρы I в нее προизвοдиτся наπусκ ρабοчегο газа . Ρассмοτρим в κачесτΕе πρимеρа выποл-
15 нение πаτенτуемοгο сποсοба οбρабοτκи προцесс азοτиροΕания , κаκ наибοлее часτο πρиме няеьый в προмышπе нныχ услοвияχ и οсущесτΕляемый πρи исποльзοвании Ε κачесτве ρабοчегο газа-азοτа . Ηаπусκ ρабοчегο газа ΠΡΟИЗΕΟДЯΤ с ποмοщыο исτοчниκа 6. Давπе ние азοτа усτанаΕπиΕаюτ в инτеρвале
20 Ю"2 - 10 Па .
Ηа анοд 3 и и..τегρальнο-χοποдный κаτοд 2 ποдаюτ на- πρяжение οτ исτοчниκа 9 ποсτοяннοгο τοκа . С ποмοщыο сисτем ποджига ваκуумнο-дугοвοгο ρазρяда ( на чеρτеже не ποκазана , ποсκοльκу οбщеизвесτна и не яΕляе τся πρедме τοм изοбρе τе- 5 ния) на κаτοде 2 иницииρуе τся κаτοднοе πяτвο .
Κаτοднοе πяτнο πеρемещае τся πο ρабοчей ποвеρχнοсτи 12 κаτοда 2. Пο неρабοчей ποвеρχнοсτи II κаτοда 2 κаτοднοе πяτнο πеρемещаτься не имее τ вοзмοжнοсτи, ποсκοльκу вся неρабοчая ποвеρχнοсτь II κяιτοда 2 πρиκρыτа изοлиροΕан- 0 ным οτ κаτοда 2 эκρанοм 10 , πρеρывающим связи κаτρда 2 с анοдοм 3 чеρез сτοлб πлазмы.
Сτοлб πлазмы, генеρиρуемый κаτοдным ηяτнοм , сοсτοиτ из ИΟΗΟΕ меτалла (. προдуκτοΕ эροзии маτеρиала κа τοда I) иοнизиρуеι_ыχ в πρиκаτοднοй οбласτи ваκуумнο-дугοвοгο ρаз- 5 ρяда и ρасπροсτρаняющиχся οτ κаτοда 2 с высοκοй сκοροсτью πο πρямοлиг.ейным τρаеκτορиям , и элеκτροнοв. Пοмимο ИΟΗΟΕ ме τалла в сτοлбе πлазмы πρисуτсτΕуюτ иοны ρабοчегο газа , - 28 - οбρазующиеся в ρезульτаτе προцесса πеρезаρядκи πρи сτοлκнοвениπ ιлеτалла с нейτρальными мοдеκулами ρабοчегο газа . Пοсκοльκу иοны меτалπа ρасπροсτρаняюτся πο πρямο- линейным τρаеκτορиям, а между κаτοдοм 2 и анοдοм 3 ρазме- щевο сρедсτвο 13 , το иοны меτалла задеρживаюτся на У-οбρазныχ πласτинаχ 14, κοнденсиρуясь на ниχ. Пοд ΕοздейсτΕием эπеκτρичесκοгο ποля анοда 3 , προχοдящегο сκвοзь зазορы между ν-οбρазными πласτинами 1 сρедсτва 13 элеκгροны меτаллο-газοвοй πлазмы из часτи 17 οбъема κамеρы I с с меτаллο-газοΕθй πлазмοй усгρемляюτся в часτь 18 и иοнизиρуюτ наχοдящийся в не. ρабοчий газ , οбρазуя газοвую πлазму, сκвοзь κοτορую προχοдиτ τοκ ваκуумнο-дугοвοю ρазρяда .
Τаκим οбρазοм, сρедсτвο 13 ЯΕπяеτся гρаницей дεуχ ρазнοροдныχ в φизичесκοм οτнοшениπ οбласгей: οбласτи меτаллο-газοвοй πлазмы, заποлняющей часτь 17 κамеρы I , и οбласτи чисгο газοвοй πлазмы, заποлняющей часτь 18 κа- меρы I. ϋснοвнοй οсοбеннοсτью ваκуумнο-дугοвοгο ρазρяда ЯΕЛяегся гο, чгο элеκгροнные гοκи ρазρяда οгρаничиваюг- ся гοльκο геπлο- φизичесκими свοйсτвами инггеρальнο- -χοлοднοгο κагοда 2. Ηеслοжнο οбесπечиτь силу τοκа ваκуумнο-дугοвοгο ρазρяда в несκοльκο сοτен и даже τысяч аыπеρ. Пρи τаκиχ высοκиχ значенияχ τοκа газοΕая πлазма Ε часги 18 οбъема κамеρы I имееτ высοκую сτеπень иοниза- ции (десяτκи προценτοв) , а ποэτοму οбладаеτ высοκοй аκτивнοсτью.
Пρи элеκτροннοй ώοмбаρдиροвκе ποΕеρχнοсτи анοда 3- йзделия 5 ποследнее προгρеваеτей. Κοнτροль τемπеρаτуρы προизвοдиτся с ποмοщью τеρмοπаρы 19 , заκρеπле ннοй на из- дβлаи 5. Пοсπе дοсτижения ρабοчей τемπеρаτуρы изделия 5 τοκ ρазρяда снижаеτся дο значения, πρи κοτοροм мοщнοсτь , Εыделяемая на анοде 3 , сτанеτ ρавнοй τеπлοοгΕοду οτ изделия 5 (чеρез излучение и геηлοπеρедачу) , и πρи эτοι.. τοκе οсущесτΕЛяегся выдеρжκа изделия 5 в заданнοм гем- πеρаτуρнοм ингеρΕале , в τечение κοτοροй ποΕеοχнοсτныκ слοй изде πия 5 насыщаеτся ρабοчим газοм , το есτь οсу- - 29 - щесτвляеτся προцесс ваκуумнο-πлазменнοй, в часτнοсτи χимиκο-τеρмичесκοй οбρабοτκи. Οгρаничешем**. κ снижению τοκа Εаκуумнο-дугοΕθгο ρазρяда являегся мииимаπьный гοκ сτабильнοгο сущесгвοΕания ρазρяда, ниже κοτοροгο 5 ρазρяд сущесτвуеτ несгабильнο. Для κагοда 2, выποлвен- нοгο яз ρазличныχ меτаллοΕ, эτοτ τοκ сοсгаΕляеτ десяτκи амπеρ. Пοэτοму усτροйсτвο, у κοτοροгο анοдοм 3 являеτся изделие 5 (τаκοе усτροйсτвο-κοнсгρуκτиΕΗο наибοлее προс- τοе), мοжнο πρименяτь πρи ваκуумнο-ππазменнοй πбρабοτ- 10 κе οгнοсигеπьнο массивныχ изделий, у κοгορыχ значиτель- ный τеπлοοτвοд πρи ρабοчиχ τемπеρаτуρаχ. Пροведение ва- κуумнο-πлазменнοй οбρабοτκи πρи ποлοжиτельнοм ποτенциале имеег гο πρеимущесτвο, чτο элеκτροнная бοмбаρдиροΕκа ποвеο нοсги издеπия 5 не πρивοдиτ κ ρасπылению ποвеρχнοсги, а
15 ποэгοму изделие 5 πρи ваκуумнο-πлазменнοй οбρабοгκе сοχρаняеτ исχοдный κласс чисτοτы ποΕеρχнοсτи. Эτο οсοбен- нο сущесτвеннο, κοгда προвοдиτся ваκуумнο-πлазменная, в часгнοсги, χимиκο-τеρмичесκая οбρабοгκа изделий, на ποΕеρχнοсгь κοτορыχ нанесенο гοнκοπленοчнοе ποκρыτие^
20 κοгοροе πρи иοннο^ бοмбаρдиροвκе (οτρицаτельнοм ποτен- циале на изделии) мοжеτ быτь часτичнο или даже ποлнοсτью ρазρушенο.
Β усτροйсτве, изοбρаженнοм на φиг.2 и οсущееτвляю- щем сποсοб, сοгласнο изοбρеτению, в κοτοροм Εыдеρжκа из- 5 делия 5 в заданнοм τемπеρаτуρнοм инτеρваπе οсущесτΕляеτся κаκ πρи ποлοжиτеπьнοм, гаκ и πлавающем ποτенциале, οτ- суτсτвуюτ οгρаничения на προведение προцесса οбρабοτκи изделий οπρеделеннοй массы.
Ρабοгаеτ усτροйсτвο следующим οбρазοм. 0 Ьагρев изделия 5 προизвοдиτся πρи ποдаче ποποжигельнο- гο ποτенциала на изделие 5 οτ исгοчниκа 9 ποсгοянκοгο τοκа. Пρи эτοм πеρеκлючагеπь 23 наχοдиτся в
Figure imgf000031_0001
I , κοгда τемπеρаτуρа изделия 5 дοсτигнеτ заданнοй, блοκ уπρавления πеρеκлючаеτ πеρеκлючаτеπь 23 Ε ποлοженяе П , 5 πρи эгοм анοдοм ρазρяда сτанοΕиτся анοд 22, а изделие 5 наχοдиτся πρи πлаΕающеι. ποτенциале. Пοсκοльκу πρи πеρе- χοде ρазρяда с анοда 3 на анοд 22 τοκ вануумнο-дугοвοгο - 30 - ρазρяда сοχρаняеτ сΕοе πеρвοначальнοе значе ние , το аκгиΕнοсгь πлазмы газοвοгο ρазρяда οсτаеτся на οднοм и τοм же уροвне . Эτο выгοднο οτличаеτ эτу κοнсτρуκцию усτροйсτва οг κοнсτρуκции усгροйсτΕа на φиг.Ι , в κοτοροм 5 ρегулиροΕание τемπеρаτуρы изделия 5 οсущесτвляеτся за счеτ снижения гοκа ρазρяда ,а , следοΕаτельнο , снижения сκοροсτи προведения προцесса ваκуумнο-πлазменнοй οбρа- бοгκи.
УсτροйсτΕο , изυτ5рвш5нοе на φиг.2, мοжнο исποльзο- Ю ваτь гаκже , κаκ и усгροйсτвο πο φиг.Ι , нο для эгοгο πеρеκπючагель 23 дοлжен наχοдиτься Ε ποлοжении I .
Гρаφаκ , изοбρаженный на φиг.Ι4 , иπлюсгρиρуег эφφеκ- гивнοсτь προцесса ваκуумнο-πлазме ннοй οбρабοгκи, προвο- димοгο в усгροйсτве , изοбρаженвοм ва φиг.2. 5 Пροведевο азοτиροвание издеπия 5 из бысгρορежущей ийсгρуменгальвοй сτали следующегο сοсτава , масс . : ν -6,1 ; С-0,8 ; Μο-5 ,Ι ; Οг -4 ,0 ; νа -1 ,8 , Уе- -οсгальвοе .
Ηагρев изделия 5 προвοдился πρи ποлοжигельвοм ποгев- 0 циале , выдеρжκа в задаввοм гемπеρаτуρнοм ингеρΕале πρи κοмбинации ποлοжигельнοгο и πлавающегο ποτенциала , С ποмοщью πеρеκπючения πеρеκлючаτеля 23 из ποлοжения в ποлοжение П и наοбοροτ ποддеρживаясь τемπеρаτуρа из- деπия 5 на задаввοм уροвве . Паρамеτρы προцесса вануум-5 нο-πлазменнοй,в даннοм случае χимиκο-геρмичесκοй οбρабοг- κи сπедующие : πаρциальнοе даΕление азοτа- 8x10 Па , гοκ ваκуумнο-дугοвοгο ρазρяда - 120 Α, наπρяжение между анοдами 3 и 22 ~ κагοдοм 2-60 5, вρемя выдеρжκи πρи гемπеρагуρе 00°С -35 мин , πρи гемπеρаτуρе 500°С-35 Жά.0 Гρаφиκ ва φиг.14- ποκазываеτ завκс:_мэсτь миκροгвеρ- дοсги Η _ , азοгиροΕаннοгο слοя, в мϊιа ( οсь ορдинаτ) οτ глуϋины ь слοя, Ε миκροнаχ ( οсь абсцисс) дπя дΕуχ гемπеρагуρ - 4-00 °0 (κρивая ά ) и 500° С (κρивая е) УсгροйсгΕθ πο φиг.2 це лесοοбρазнο исποльзοваτь πρи5 ваκуумнο-πлазменнοй οбρабοгκе меπκορазмеρныχ изделий, κοгда нагρеΕ и выде жκу οсущесгΕляюτ πρи πлавающем ποгенциале κа изделиπ 5. Β эτοь; сπучае πеρеκπючагель 25 - 31 - наχοдиτся в ποлοжении П ,а πаρамегρы ваκуумнο-дугοвο- гο ρазρяда (τοκ,наπρяжение) ποдбиρаюτся τаκими, чгοбы τемπеρаτуρа на изделии 5 не πρевοсχοдила τемπеρагуρу, заданную τеχнοлοгичесκим προцессοм. 5 Пρи гаκοм сποсοбе нагρева и выдеρжκи в заданнοм τемπеρаτуρнοм инτеρвале мοжнο τемπеρаτуρу с дοсгагοчнοй дπя πρаκгиκи- сτеπенью τοчнοсτи ποдцеρяиваτь, выдеρживая πаρамеτρы ваκуумнο-дугοвοгο ρазρяда ποсτοянными на неοбχοдимοм уροвне , ποэгοму οτπадаеτ неοбχοдимοсτь в
10 πρименении сρедсτв κοнгροπя τемπеρаτуρы.
Β усτροйсгве πο φиг.З κагοд 2 выποлнен из маτеρиала, οбρазующегο πρи χимичесκοм сοединении с ρабοчим газοм изнοсοсτοйκοе меτаллοсοдеρжаще.е сοединение, наπρимеρ, κаτοд 2 мοжег быгь изгοгοвлен из гиτана, κοτορый всτуπая
15 Ε ρеаκцию с азοгοм, οбρазуеτ προчнοе, изнοсοсτοйκοе сοединение - ниτρид τиτана.
Пοсле προведения προцесса ваκуумнο-πлазменнοй οбρа- бοτκи изделия 5 πο любοму из οπисанныχ выше ваρиангοв выποлнения сποсοба сρедсτвο 13, выποлненнοе в виде
20 набορа ν-οбρазныχ πласгин 14, заκρеπленныχ на шτοκе 30, ρучнοй 51 ποднимаеτся Ε πаτρубοκ 29. Β ρезульτаτе οбес- πечиΕаеτся бесπρеρягсτвенный προлеτ иοнοв меτалπа, генеρиρуемыχ κаτοдοм 2, κ ποΕеρχнοсτи οбρабагыΕаемοгο изделия 5. Б πρисуτсгвии ρабοчегο газа- азοτа на ποвеρχ-
25 нοсτи οбρабагыΕаемοгο изделия 5, προшедшегο προцесс ваκуумнο-πлазменнοй, в часτнοсτи χимиκο-τеρмичесκοй οбρа- бοгκи, φορмиρуеτся τοнκοπленοчный слοй изнοсοсτοйκοгο сοединения из ниτρида гиτана.
Пρи κοмπлеκснοй οбρабοгκе ρезцοв из инсτρуменτаль-
30 нοй бысτρορежущей сτали следующегο сοсτава, маοοЛ:
V -6,1; С-0,8; Μο-5,Ι;Сг -4,0; V- -1,8; з?е -οсτальнοе, вκлючающей азοτиροΕание с οбρазοванием азοπ?иροваннοгο сποя τοлщинοй 15-25 мκм и с ποследующим нанесением изнο- сοсτοйκοгο ποκρыτия из ниτρида τиτана τοлщинοй мκм, 5 изнοсο^τοйκοсτь ρезцοв увеличиваеτся на 150-300 πο сρавнению с изнοсοсгοйκοсτью ρезцοΕ, προшедшиχ τοльκο χимиκο-τехничесκую οбρабοτκу. - 32 -
Ъ усгροйсгΕе πο φиг.4 исгοчниκ 37 ποсτοяннοгο τοκа ποзΕθЛяеτ выдеρжκу изделий в заданнοм τемπеρаτуρнοм ингеρвале προвοдигь πρи οгρицаτельнοм ποτенциале . для эτοгο ποοπе προведения προцесса нагρева изделия 5 πρπ ποлοжигельнοм ποτенциале πеρеκлючагель 25 из ποлοже- ния I πеρевοдигся в ποποжение П ,το есгь ρазοяд πеρввοдигся с анοда 3 на анοд 22 , а деρжагель 4 ποдсοе- диняеτся πеρеκлючагелем 38 κ исгοчниκу 37. Пρи эгοм на изделие 5 ποдаегся высοκοвοльгный οгρицаτеπьный ποτен- циал, ποд вοздейсгвием κοτοροгο иοны ΓЭ ЗΟΕΟЙ πлазмы усκο- ρяюгся κ ποΕеρχнοсги изделия 5 , προизвοдя, πρи эгοм, ее ваκуумнο-ππазменную , в часτнοсτи, χимиκο-τеρмичесκую οбρабοгκу.
Пρиведенные ниже πρимеρы иллюсτρиρуюτ дοсτοинсгва πагенгуемοгο сποсοба , οсущесτвπяемοгο усτροйсτвοм πο φиг.4.
Пροведенο азοτиροвание ποвеρχнοсτи изделия 5- инсτρу- менга с πленοчным ποκρыгием. Τаκοе азοгиροΕание οсу- щесгΕляеτся сκвοзь ποκρыτие , ποсκοльκу в эгοм сπучае наблюдае τся наилучшая адгезия слοя нигρида гиτана κ οс- нοве инсτρуменга , изгοτοвπеннοгο из бысτρορе ущей инсгρу- менгаπьнοй сгали. ьыла П двеρгнуτа азοτиροванию πаρτия издеζшй 5- ρежущиϊ πласτин из бысτρορежущей инсτρуменτальнοй сгали, сοдеρжащей* шсс.% : V -6,1 ; С-0 ,8 ; Μο-5 ,Ι ; Сг -4,0 ; νа -1 ,8 ; Ρе -οсгальнοе . ηа πласτины в усτροйсτΕе , изοбρаженнοм на φиг.4, πρедΕаρигельнο былο нанесе нο ποκρыгие из ниτοида гиτана τοлщинοй 4 мκм . Пοκρыτие нанοсилοοь πρи οτκρыτыχ СΓΕΟΟ- κаχ жаπюзи сρедсгΕа 13 для οбесπечения свοбοднοгο πеρе- мещения ИΟΗΟΕ меτалла инτегρальнο-χοлοднοгο κагοда 2 κ ποвеρχнοсги οбρабаτываемοгο изделия 5. Заге._ СΓΕΟΟΚИ сρедсτва 13 заκρывались и οдна πаρτия πласτин в κοли- чесτΕе 20 мгуκ ποдвеϋгаласъ χимиκο-геρмичесκοй οбρабοг- κе с нагρевοι.. πρи ποлοжиτеπьнοм ποτенциале и выдеρжκοй в заданнο ν- τемπеρаτуρнοм инτеρΕале πρи κοмбинащιн ποлο- жκгельнοгο 2 πлавающегο ποге нциала сο следующими πаρа-
Figure imgf000035_0001
- 33 -
_? меτρами οбρаθοτκи: πаρциальнοе давление -8x10 Па, τοκ ваκуумнο-дугοвοгο ρазρяда - 120 Α, наπρяжение между анοдами 3 и 22 и κаτοдοм 2-60 Β, τемπеρагуρа πласτиι.- 500°С, вρемя азοτиροΕания - 40 мин, а Ετορая πаρτия 5 πласτия τаκже в κοличесτве 20 шτуκ ποдвеρгалась χимиκο- τеρмичесκοй οбρабοгκе с нагρевοм πρи ποποжиτеπьнοм πο- τенциале и Εыдеρжκοй в заданнοм τемπеρаτуρнοм инτеρΕале πρи οτρицагельнοм ποτенциале на οбρа аτываемыχ πласτи- наχ сο следующими πаρамегρами οбρабοгκи: πаρциальнοе
10 давление азοτа- 8x10" Па , гοκ ваκуумнο-дугοвοгο ρазρяда- 60 Α, наπρяжение между κаτοдοм 2 и анοдοм 22-60 Б, τемπеρаτуρа πласτин - 500°С, οτρицагельнοе наπρяжение на πласτинаχ, ποлучаемοе с ποмοщью исτοчниκа 37-800 £>, вρемя азοгиροΕания - 0 мин.
15 Пρи визуальнοм οсмοτρе двуχ πаρτий πласτин οбнаρу- женο, чτο на κροмκе πласτин Ετοροй πаρгии шиρинοй дο 2 мм ποκρыτие из ниτρида τиτана οτсугсτвуеτ (из-за κοнценτρации иοннοгο ποгοκа на ρежущиχ κροмκаχ προизοш- лο κаτοднοе ρасπыление сποя ниτρида τиτана).
20 Исπыτаны πласτины πρи τοчении сгали, сοдеρжащем шсс.%: С-0,36; 51 -0,2; Μη -0,5; Сг -1,1, ϊе -οс- τальнοе, сο сπедующими ρежимами οбρабοτκи:
- сκοροсτь ρезания - 60 м/миκ,
- ποдача - 0,63 мм/οб,
25 - глубина ρезания - I мм.
Ορедняя изнοсοсτοйκοсгь πаρτии πласτин, οбρабοτанныχ πο ρежиму- κοмбинация ποлοжиτеπьнοгο и ππаΕающегο ποτеьциалαв увеличиπась πο сρаΕнению с исχοднοй в 6,7 ρаз, а изнοсοсτοйκοсτь πласτиь', οбρабοτанныχ πο ρе- 30 жиму - οτρицаτельный ποτенциал, в 2,3 ρаза .
Пρиведенный πρимеρ нагляднο иллюсτρиρуеτ τοг φаκτ. чτο προΕедение χимпκο-τеρмичесκοм οбρабοτκи изделий с τοнκοπленοчньш ποκρыτием πο τρадишюннοй меτοдиκе с πο- дачей οτρицагельнοгο ποτенциала на изделие - неρациοналь- 35 нο.
Ь усτροйсτве, изοбρажевнοь. на φлг.4, προведенο уπροчκение изделий 5- СΕеρл диамеτροм 1,8 мм πρи г.лавающем - 34 - ποτенциале. Ηа деρжаτеле 4 усτанавливалась πаρτия свеρл в κοличесτве 50 шτуκ. Свеρла азοτиροвалисъ πρи следующиχ πаρамеτρаχ ρбρабοτκи: πаρциальнοе давление азοτа - б.δχϊθ"1 Па,τοκ ρазρяда - 120 Α, τемπеρзτуρа - 500°С, 5 вρемя нагρева свеρл дο τемπеρаτуρы 480°С πρи πлавающем ποτенциале 12 мия.вρемя выдеρжκи πρи τемπеρаτуρе 480°С-Ι2шн,
Исπыτание свеρл προизвοдилοсь πρи свеρлении οτвеρсτий в сτали, сοдеρжащей, иасс.%: С-0,36; 8ϊ -0,2; Μη -0,5; Сг -Ι ; Ρе -οсτальнοе, сο следующим ρежимοм свеρления: 0 - числο οбοροτοв - 8430 οб/мин,
- ποдача - 0,043 мм/οб,
- глубина свеρления - 4 мм.
Сρеднее увеличение изнοсοсτοйκοсτи свеρл сοсτавилο Ι80#. 5 Β усτροйсτве, изοбρаженяοм на φиг.5, πρи вοзбуждении ваκуумнο-дугοвοгο ρазρяда между κаτοдοм 2 и анοдοм 3 иο- ны меτалла, ρасπροсτρаняющиеся с ρабοчей ποвеρχнοсτи 12 κаτοда 2 πο πρямοлинейным τρаеκτορиям, в часτь 18 οбъема κамеρы I не ποπадаюτ. 0 Β усτροйсτве πο φиг.6 иοнный ποτοκ меτаллο-газοвοй πлазмы не выχοдиτ за πρеделы τелеснοгο угла в Ι80°С с веρшинοй в ценτρе κаτοда 2, а ποэτοму меτалл не ποπадаеτ на изделие 5.
Β усτροйсτве πο φиг.7 ваκуумнο-πлазменная οбρабοτκа 5 изделий προвοдиτся в ποлοжении κаτοда 2, изοбρаженнο... на φиг.7 πунκτиρнοй линией. Пρи τаκοм ρасποлοκеяии κаτοда 2 в οбъеме κамеρы I, οгρаниченнοм τелесным углοм в 180° с веρшинοй в ценτρе κаτοда 2, мοжнο τаκже дοсτаτοчнο эφφеκ- τивнο οсущесτвляτь προцесс нанесения уπροчняющиχ ποκρыτий маτеρиалοм κаτοда.
Βусτροйсτве, изοбρаженнοм на φиг.8, благοдаρя дисκуοθ с цеяτρальным οτвеροτием 51 и ποлοму цилиндρу 44 (анοд 22) , τορец 45 κοτοροгο наπρавлен з сτοροяу инτегρальнο-χοлοднοгο κаτοда 2, элеκτρичесκοе ποле внуτρи ποлοсτи 46 ποлοгο цилиндρа 44 наπρавленο нορмальнο οси цилиндρа 44. Сοленοид 49, οχБаτываκщий анοд 22, сοздаеτ аκсиальнο-сшшеτρичнοе маг- ниτнοе ποле. - 35 - Τаκим οбρазοм, внуτρи ποлοсτи 46 ποлοгο πилиндρа 44 элеκτρичесκοе и магяиτнοе ποля наπρавлены ποд углοм 90° ΟДΉΟ κ дρугοму.
Извесτнο, чτο в газοвοй πлазме, наχοдящейся в сκρещен- 5 ныχ ρадиальнοм элеκτρичесκοм и аκсиальнοм магниτнοм ποляχ, ποявляеτся азимуτальный элеκτροнный τοκ Χοлла. Благοдаρя ποявлеяию элеκτροннοгο τοκа Χοлла увеличиваеτся προбег элеκτροна и егο вρемя жизни, ποэτοму вοзρасτаеτ иοнизиρую- щая сποсοбнοсτь элеκτροнοв и,κаκ следсτвие, ποвышаеτся Ю сτеπень иοнизации газοвοй πлазмы. Пοвышение сτеπени иοни- зации πлазмы πρивοдиτ κ двум важным οбсτοяτельсτва :
- вοзρасτаеτ аκτивнοсτь газοвοй πлазмы, чτο πρивοдиτ κ инτенсиφиκации προцесса ваκуумнο-πлазменнοй οбρабοτκи;
- вοзρасτаеτ дοля элеκτρичесκοй энеρгии, πеρедаваемοй 5 οτ ваκуумнο-дугοвοгο ρазρяда газοвοй πлазме, а эτο, в οвοю οчеρедь, увеличиваеτ нагρеваτельную сποсοбнοсτь га- зοвοй πлазмы, исποльзуемο , в случае, κοгда нагρев и ввдеρжκу οбρабаτываемοгο изделия в задаянοм τемπеρаτуρнοм инτеρвале ηροвοдяτ πρи πлавающем ποτенциале на οбρабаτывае- 0 мοм изделии.
Β усτροйсτве πο φиг.8 προведенο два ваρианτа азοτиροва- ния изделия 47 из инсτρуменτальнοй бысτρορежущей сτали, сοдеρжащей, масс.%: V -6,1; С-0,8; Μο- 5,1; Сг -4,0; Уа- 1,8; Ρе -οсτальнοе. 5 в πеρвοм ваρианτе азοτиροванию ποдвеρгалοсь изделие 47 без вκлючения сοленοида 49, το есτъ προцесс азοτиροвания ничем не οτличался οτ προцесса азοτиροвания в усτροйсτве πο φиг.Ι-7. Паρамеτρы προцесса азοτиροвания : πаρциалънοе давление азοτа - 1,30x10^ Па, τοκ ваκуумнο-дугοвοгο ρазρя-0 да- 60Α, τοκ в сοленοиде 49 ποдбиρался τаκοй величины, чτο- бы наπρяжение между κаτοдοм 2 и анοдοм 22 сοсτавлялο 80 Β, вρемя ποлучения азοτиροваняοгο слοя τοлщинοй 15 мκм сοсτа- вилο 12 мин.
Τаκим οбρазοм, наличие сκρещенныχ элеκτρичесκοгο и5 магниτнοгο ποлей в πлазме газοвοгο ρазρяда в усτροйсτве πο φиг.8 инτенсиφициρуеτ προцесс ваκуумнο-πлазменнοй οбρабοτ- κи. - 36 - Усτροйсτвο πο φиг.9 οбладаеτ всеми πρеимущесτвами усτροйсτва πο φиг.8 и,κροме τοгο, имееτ ρасшиρенные τеχнο- лοгичесκие вοзмοжнοсτи- вοзмοжнοсτь нанесения ποсле προве- деяия προцесса ваκуумнο-πлазменнοй,в часτнοсτи χимиκο- 5 τеρмичесκοй. οбρабοτκи изнοсοсτοйκοгο ποκρыτия. Для эτοгο ρасπшιяемая мишень 52 (дисκ 54) изгοτοвлена .из маτеρиала ποκρыτия. Пρи ποдаче на ρасπыляемую мишень 52 высοκοвοльτяο- гο οτρицаτельнοгο ποτенциала ее ποвеρχнοсτь 57 ρасπыления, οбρащеняая κ πлазме газοвοгο ρазρяда, ποдвеρгаеτся иοннοй -- бοмбаρдиροвκе и вследсτвие эτοгο ρасπыляеτся. Ρасπыленный маτеρиал οсаждаеτся на издежи 47, οбρазуя изнοсοсτοйκοе ποκρыτие. Пρи нанесеяии ποκρыτия в κачесτве ρабοчегο газа исποльзуеτся смесь газοв, сοсτοящая из аρгοяа и азοτа. Τаκим οбρазοм, в усτροйсτве πο φиг.9 вοзмοжнο προве- 5 дение κοмπлеκснοгο προцесса уπροчнения, сοсτοящегο из χимиκο-τеρмичесκοй οбρабοτκи и ποследующегο нанесения уπ- ροчнящегο ποκρыτия, чτο в значиτельнοй меρе ποвышаеτ из- нοсοсτοйκοсτь издежя 47.
Усτροйсτвο πο φиг.ΙΟ ποзвοляеτ выποлняτь и ияτенсиφици- 0 ροΕаτь προцесс нанесения ποκρыτия на издеже 47, προшедшэе ваκуумнο-πлазменную,в часτнοсτи, χимиκο-τеρмичесκую. οбρабοτ- κу, и ποвысиτь ρавнοмеρнοсτь нанесения ποκρыτия πο τοлщине.
Β даннοм ваρианτе выποжения усτροйсτва ποлοжиτельный сτοлб πлазмы ваκуумнο-дугοвοгο ρазρяда προχοдиτ вдοль 5 внуτρеннеи ποвеρχнοсτи цижндρа 58. Пρи эτοм πлοщадь сечения ρазρяда яа всем πуτи вдοль цижндρа 58 πρимеρнο ποсτοяяна, чτο οбесπечиваеτ ποсτοянсτвο πлοτнοсτи иοннοгο τοκа на цижндρе 58 πο всей егο джне и, κаκ следсτвие, οбесπечиваеτся οднοροднοсτь ποκρыτия πο джне προτяженнοгο0 издежя 47, усτанοвленнοгο внуτρи ποлοсτи 63 цижндρа 58. Пρи ρабοτе эτοгο ваρианτа выποлнения πаτенτуемοгο усτ- ροйсτва ποлучены следующие πаρамеτρы: давление аρгοна внуτ- ρи κамеρы I- 5x10 Па, τοκ ρазρяда - 100 Α, наπρяжение между анοдοм 22 и κаτοдοм 2- 45 Β, наπρяжение яа мишени 52-51000 Β, τοκ Ε цеπи мишени 52 - 14 Α.
Сκοροсτь нанесеяия τиτанοвοгο ποκρыτия на издеже 47, усτанοвленяοе на ρассτοянии 50 м./. οτ мишени 52: - 37 -
3.2 мκм/ч - издеже 47 усτанοвленο в нижней часτи мишени 52 πο наπρавлению элеκτροннοгο τοκа πлазмы;
3.7 мκм/ч - изделие 47 усτанοвленο в ценτρальнοй часτи мишени 52; 5 3.0 мκм/ч - издеже 47 усτанοвленο в веρχней часτи ми- шени 52 πο наπρавлению элеκτροннοгο τοκа πлазмы.
Τаκим οбρазοм, маκсимальная неοднοροднοсτь ποκρыτия вдοль οси изделия 47 сοсτавляеτ 19 .
Усτροйсτвο πο φиг.ΙΙ и 12 ποзвοляеτ выποлняτь и 0 инτенсиφициροваτь προцесс нанесеяия ποκρыτия на изделия 47 προшедшие ваκуумнο-πлазменную.в часτнοсτи, χимиκο-τеρмичес- κую. οбρабοτκу и ποвысиτь κачесτвο нанοсимοгο ποκρыτия πο τοлщине за счеτ гаρанτиροваннοгο исκлючения вοзниκнοвения κаπельнοй φазы πρи ρасπылении мишени 52. Эτο οбесπечиваеτся5 κοнсτρуκτивным выποлнением мишени 52, изοбρаженным на φиг.Ι2. Βыποлнение мишени 52 в виде изοжροваняыχ οдна οτ дρугοй дугοοбρазныχ πласτин 66 снижаеτ веροяτнοсτь вοзниκнοвения дугοвыχ ρазρядοв на ее ποвеρχнοсτи и,κаκ следсτвие, исκлю- чаеτся вοзмοжнοсτь ποявления κаπель меτалла πρи ρасπылении0 мишени 52.
Β οсτальнοм ρаόοτа усτροйсτва πο φиг.ΙΙ и 12 иденτична ρабοτе усτροйсτва πο φиг.ΙΟ.
Усτροйсτвο πο φиг.ΙЗ ποзвοляеτ выηοлняτь и инτенсиφици- ροваτь προцесс нанесения ποκρыτий на издежя, προшедшие5 ваκуумнο-πлазменную,в часτнοсτи χимиκο-τеρмичесκую οбρабοτ- κу, и ποвысиτь адгезию нанοсимыχ ποκρыτий.
Пучοκ усκορенныχ часτиц исτοчниκа 67 наπρавляеτся на ποвеρχнοсτь οбρабаτываед. οгο издежя 5 и οсущесτвляеτ егο οчисτκу, аκτивацию и нагρев. Οбладая высοκοй οднοροднοсτьго πлοτнοсτи ποτοκа усκορенныχ часτиц πο егο сечению πучοκ ρавнοмеρнο οчищаеτ и дοποлниτельнο нагρеваеτ ποвеρχнοсτь издежя 5, чτο ποвышаеτ κачесτвο нанοсимыχ далее ποκρыτий. Κροме τοгο, οбесπечиваеτся οчисτκа и нагρев диэлеκτρи- чесκиχ изделий πучκοм όысτρыχ нейτρальяыχ мοлеκул, ποлучае- мыχ в ρезγльτаτе πеρезаρядκи иοнοв, и/или πучκοм ποлο- жиτельныχ иοнοв, заρяд κοτορыχ на ποвеρχнοсτи диэлеκτρиκа - 38 - нейτρажзуеτся элеκτροнами изπлазмы ваκуумнο-дуτοвοгο ρазρяда.
Бοльшοй диаπазοя ρазжчныχ ваρианτοв выποлнения πаτенτγемοгο сποсοба сποсοба οбρабοτκи издежй в πлазме 5 газοвοгο ρазρяда, ρеажзуемοгο усτρο._еτвο , сοгласнο изοбρеτению, ποзвοляеτ в бοльшиχ προмышленныχ οбъемаχ προвοдиτь инτенсивную ваκуумнο-πлазменную οбρабοτκу изде- жй с ποследующим нанесением уπροчняющиχ ποκρыτиκ в диа- πазοне низκиχ давлений 10 - 10 Па.
Ю 3 πаτенτуемοм усτροйсτве, ρеажзγющем сποсοб, сοгласнο изοбρеτению, эφφеκτивнο нагρеваюτся οбρабаτываемые изде- жя и ποддеρживаеτся иχ τемπеρаτуρа в заданнοм τемπеρаτуρ- нοм инτеρвале πρи ποдаче на изделия ποлοжиτельнοгο ποτен- циала иж πρи πлавающем ποτенциале.. Извесτнο, чτο элеκτ- 5 ροнная бοмбаρдиροвκа ποвеρχнοсτи издежя не наρушаеτ исχοд- яοгο κласса чисτοτы ποвеρχнοсτи, ποэτοму ваκуумнο-πлазмен- ная οбρабοτκа πρи ποлοжиτельнοм ποτенциале не τρебуеτ προведения ποследующиχ τеχнοлοгичесκиχ οπеρаций: шжφοвκи и ποжροвκи. 0 Βοзмοжнοсτь προведения инτенсивнοгο προцесса ваκуумнο- πлазмеянοй οбρабοτκи πρи πлавающем ποτенциале без ποдачи наπρяжения на издежя ποзвοляеτ οсущесτвляτь προцесс без κοнτροля τемπсρаτуρы на изделияχ, чτο οсοбеннο суιцесτ- веннο πρи οбρабοτκе мелκορазмеρныχ издежй, τаκиχ κаκ,5 наπρимеρ, свеρла диамеτροм дο 3 мм, κοгда τаκοй προцесс измеρения τемπеρаτуρы заτρуднен, и чτο, самοе главнοе, избежаτь οτжига οсτρыχ κροмοκ, вοзниκающегο из-за увели- чения κοнценτρации κοжчесτва заρяженныχ часτиц, бοмбаρди- ρующиχ ποвеρχнοсτь κροмοκ πρи πρилοжении наπρяжения κ
0 издежям. Пροведение προцесса ваκуумнο-πлазменнοй οбρа- бοτκи πρи ποлοжиτельнοм ποτенциале ποзвοляеτ исκлючиτъ зοзмοжнοсτь вοзниκяοвения дугοвыχ ρазρядοв на изделияχ (заροждения на издежяχ κаτοдныχ πяτен, чτο, в свοю οче- ρедь, ποзвοляеτ весτи προцесс ваκуумнο-πлазменнοй οбρа-5 бοτκи в οπτи"альнο.ν. τемπе, не зависящем οτ БΟЗΜΟЖΗΟСΤΚ заροждения на издежяχ κаτοдныχ • πяτен, вызывающиχ - 39 - эροзию ποвеρχнοсτи издежй. Благοдаρя эτοму вρемя προве- дения προцесса ваκуумнο-πлазменнοй οбρабοτκи сοκρащаеτся, ποсκοльκу οτπадаеτ неοбχοдимοсτь в ποсτеπеннοм προведении προцесса нагρева οбρабаτываемыχ изделий из-за οбρазοвания 5 на ниχ κаτοдныχ πяτен ваκуумнο-дугοвοгο ρазρяда.
Пρи πлавающем ποτенциале на οбρабаτываемыχ издежяχ вοзмοжнο οбρазοвание униποляρныχ дуг на иχ ποвеρχнοсτи. Οднаκο веροяτнοсτь иχ ποявления значиτельнο меньше , чем πρи ποдаче высοκοвοльτнοгο οτρицаτельнοгο ποτеншала. 0 Изнοсοсτοйκοсτь ρежущегο инсτρуменτа, οбρабοτаннοгο πο πаτенτуемοму сποсοбу, сущесτвеннο вοзρасτаеτ, наπρимеρ, для ρезцοв πρи τοчении τρуднοοбρаόаτываемыχ сτалей на 200-600 , свеρл- дο 1000 , чеρвячныχ φρез - дο 300$.
Усτροйсτвο, ρеализующее πаτенτуемый сποсοб, οбладаеτ5 высοκοй надежнοсτью, ποсκοльκу инτегρальнο-χοлοдный κаτοд в нем нагρеτ дο τемπеρаτуρы, не πρевышающей 300-400°С.
Κροме τοгο.в усτροйсτве, ρеажзующем πаτенτуемый сποсοб, ποлучаюτ газοвую πлазму с бοлее высοκοй сτеπеныο иοнизации, а,следοваτельнο, бοлее χимичесκи аκτивную, чτο ποзвοляеτ сοκρаτиτь вρемя ποлучения уπροчненныχ ποвеρχнοсτ- ныχ слοев.
Βусτροйсτве, ρеажзущем πаτенτуемый сποсοб, вοзмοжнο ποмимο προведения προцессοв нагρева , οчисτκи и χимиκο- -τеρмичесκοй οбρабοτκи προвοдиτь προцессы нанесения τοнκοπленοчныχ ποκρыτий, ποсκοльκу инτегρальнο-χοлοдный κаτοд ваκуумнο-дугοвοгο ρазρяда, πρедназначенный для эмис- сии элеκτροнοв, вοзбуждащиχ πлазму газοвοгο ρазρяда, мοжеτ οднοвρеменнο служиτь в κачесτве исτοчниκа исπаρяемοгο меτалла, из κοτοροгο сοсτοиτ τοнκοπленοчнοе ποκρыτие. Эτи προцессы οсущесτвляюτся в οднοм и τοм же инτеρвале давлений ρабοчегο газа. Пρи эτοм в ρезульτаτе κοмшйеκснοй οбρа- бοτκи, наπρимеρ, ρежγщегο инсτρуменτа егο изнοсοсτοйκοсτь ποвышаеτся на 150-300 $. Пροмышленная ηρименимοсτь
Усτροйсτвο для οбρабοτκи изделий в πлазме газοвοгο - 40 - ρазρяда, οсγщесτвляющее сποсοб οбρабοτκи издежκ в πлаз- ме газοвοгο ρазρяда, мοжеτ быτь исποльзοванο в машинο- сτροении πρи уπροчнении деτалей машин .для ποвышения иχ изяοеοсτοйκοсτи , инсτρуменτальнοй προмышленнοсτи πρи 5 уπροчнении инсτρуменτа: ρезцοв, φρез, свеρл, προτяжеκ, шτамποв, и χимичесκοм машинοсτροении πρи изгοτοвлении οбορудοвания, ρабοτающегο в κορροзиοнныχ сρедаχ.

Claims

- 41 - Φ0Ж.гЛΑ ИЗΟБΡΕΤΕΗИЯ
1. Сποсοб οбρабοτκи изделий в πлазме газοвοгο ρазρяда, вκлючающиЗ сοздание между анοдοм (3) и инτегρальнο-χοлοд- ным κаτοдοм (2) ваκуумнο-дугοвοгο ρазρяда, ваκуумнο-
5 -πлазменную οбρабοτκу πуτем οснοвнοгο нагρева οбρабаτывае- мοгο изделия (5) дο ρабοчей τемπеρаτуρы и выдеρжκу эτοгο изделия (5) в заданнοм τемπеρаτуρнοм ρежиме в сρеде ρабο- чегο газа, ο τ л и ч а ющ и й с я τеα, чτο л.еаду анοдοм (3) и ияτегρальнο-χοлοдным κаτοдοм (2) вοзбувдаюτ двуχсτуπенчаτый ваκуу.нο-дуτοвοй ρазρяд с ρазделенными между сοбοй меτаллο-газοвοй сτуπеныο πлазмы и газοвοй сτу- πенью πлазмы - газοвым ρазρядοм, πρи эτοм ποследнюю сτуπень сοздагоτ иοнизацией ρабοчегο газа элеκτροнами, сеπа- ρиρуемιιми из геτаллο-газοвοй сτулени πлазмы ваκуγмнο-дугο- вοгο ρазρяда.
2. Сποсοб πο π.Ι, ο τ л и ю щ и й с я τем, чτο πлазму ваκуумнο-дугοвοгο ρазρяда сοздаюτ πρи ποниженнοм давлении ρабοчегο газа в инτеρвале 10 -10 Па.
3. Сποсοб πο π.Ι иж π.2, ο τ л и ч а ю щ и й с я τем, чτο ваκуумнο-πлазменнуга οбρабοτκу οбρабаτываемοгο издежя (5) πуτем егο ΟСΗΟБΗΟΓΟ яагρева дο ρабοчеϋ τем- πеρаτуρы и выдеρжκу в заданнοм τечπеρаτуρнο.. ρежиме οсу- щесτвляюτ в газοвοй сτулени πлазмы ваκуумнο-дугοвοгο ρазρяда. 4. Сποсοб πο π.З, ο τ л и ч а ю щ и й с я τем, чτο вο вρемя οснοвнοгο яагρева οбρабаτκваемοгο изделия (5) ποследнее дοποлязτельнο οбρабаτываюτ налρавленнι-ьν лучκο.ν усκορенныχ часτиц.
5. Сποсοб πο π.Ι или π.2 или π.4, ο τ л и ч а ю - щ и й с я τем, чτο в κачесτве ρабοчегο газа исποльзуюτ азοτ.
6. Сποсοб πο π.З, ο τ л и ч а ю щ и Ι'. с я τем, чτο в κачесτве газа ислοльзуюτ азοτ.
7. Сποсοб лο л.Ι или π.2 , или π.4, ο τли ч а ю- щ и й с я τем, чτο οснοвнοй нагρев οбρабаτываемοгο изделия (5) дο ρабοчеϋ τемπеρаτуρы οсущесτвлягοτ πντем - 42 - ποдачи на изделие 5. ποлοжиτельнοгο ποτенциала.
6. Сποсοб лοл.З, ο τлича гощийся τем, чτο οснοвнοй нагρев οбρабаτываемοгο изделия (5) дο ρабοчей τемπеρаτуρы οсущесτвляюτ луτем лοдачи на изделие (5) 5 ποлο::.иτельнοгο лοτеншала.
9. Сποсοб лο л.δ, ο τ л и ч а ю щ и й с я τем, чτο οοнοвнοй нагρев οбρабаτываемοгο изделия (5) дο ρабοчей τемлеρаτуρы οсущеοτвляюτ πуτем лοдачи на изделие (5) ποлοжиτельнοгο ποτенциала. Ю ιο. Сποсοб πο π.Ι или π.2, или π.4, ο τлич аю- щ и й с я τем, чτο οснοвнοй нагρев οбρабаτываемοгο изделия (δ) дο ρабοчей τемπеρаτуρы οсущесτвляюτ πуτем ποдачи на изделие (δ) οτρицаτельнοгο ποτенциала.
11. Сποсοб ποл.З, ο τлича ющий ся τем, чτο -5 οснοвнοй нагρев οбρабзτываемοгο изделия (δ) дο ρабοчей τемлеρаτуρы οсущесτвляюτ πуτем ποдачπ на изделие (δ) οτρицаτельнοгο ποτенциала.
12. Сποсοб лο π.δ, ο τ л и ч а ю щ и й с я τем, чτο οснοвнοй нагρев οбρабаτываемοгο изделия (δ) дο ρабο-
•" 0. чей τемπеρаτуρы οсущесτвляюτ πуτем ποдачи на изделие (δ) οτρицаτельнο ο ποτенциала. 5. Сποсοб πο л.Ι или π.2 или π.4, ο τлича ющий с я τем, чτο οснοвнοГι нагρез οбρабаτызаег.οгο изделия δ) дο ρабοчей τемπеρаτуρы οсущесτвляюτ πρи πлаващем ποτен- 2δ даале на изделии (δ), ишщииρуемοм πлазмοй газοвοιϊ сτу- πени ваκузгмнο-дугοвοгο ρазρяда.
14. Сποсοб πο л.с, ο τ л и ч а ю щ и й с я τем, чτο ΟСΗΟΕΗΟЙ нагρев οбρабаτываемοгο изделия (δ) дο ρабοчей τемπеρаτуρы οсущесτвляюτ πρи πлавающем лοτенциале на из- ΞС дβлии (δ), иницииρуемοм πлазмοй газοвο;: сτуπени ваκуумнο- дугοзοгο ρазρяда.
Ιδ. Сποсοб πο π.δ, ο τли чаюцийся τем.чτο ΟСΗΟБΗΟГΙ нагρев οбρабаτываемοгο изделия (δ) дο ρабοчей τемπеρаτуρы οсущесτзляюτ πρи πлавающем ποτенциале на .δ изделии (δ), иниц^иρуемοм πлазмοй газοвοГι сгτπени вазяуу/нο- дугοвοгο ρазρяда. - 43 - 16. Сποсοб πο л.4 или π.6, или π.8 иж π.9 или π.ΙΙ или π.Ι2 или π.Ι4 или π.Ιδ, ο τ л и ч а ю щ и й с я τем, чτο в κачесτве наπρавленнοгο πучκа усκορенныχ 'часτиц исποльзуюτ наπρавленныπ πучοκ нейτρальныχ часτиц. δ 17. Сποсοб πο π.δ, ο τ л и ч а ющи й с я τем,чτο в κачесτве наπρавленнοгο πучκа усκορенныχ часτиц исποль- зуюτ налρавленный πучοκ нейτρальныχ часτиц.
18. Сποсοб πο л.7, ο τ л и ч а ю щ и й с я τем,чτο в κачесτве наπρавленнοгο πучκа усκορенныχ часτиц исποль-
10 зуюτ наπρавленный πучοκ нейτρальныχ часτиц.
19. Сποсοб πο π.ΙΟ, ο τ л и ча ющи й с я τем.чτο в κачесτве наπρавленнοгο лучκа усκορенныχ часτиц ислοль- зуюτ наπρавленный πучοκ нейτρальныχ часτиц.
20. Сποсοб πο π.ΙЗ, ο τ л и ч а ю щ и й с я τ е м , Ιδ чτο в κачесτве наπρавленнοгο πучκа усκορенныχ часτиц исποльзуюτ наηρавленный πучοκ нейτρальныχ часτиц.
21. Сποсοб лο π.Ι иж π.2 иж π.4 или π.6 или π.8 иж π.9 или π.ΙΙ иж л.Ι2 или л.Ι4 иж л.Ιδ или π.Ι7 или π.Ι8 или π.Ι9 ~т π.20, ο τ ли ч а ю щи й с я τем,чτο
20 выдеρжκу οбρабаτываемοгο изделия (δ) οсущесτвляюτ πуτем ποдачи на изделие (δ) ποлοжиτельнοгο ηοτенциала.
22. Сποсοб ποл.З, ο τли ча ющий ся τем,чτο выдеρжκу οбρабаτываемοгο изделия (δ ) οсущесτвляюτ лντем лοдачи на изделие (δ) ποлοжиτельнοгο ποτенциала. δ 23. Сποсοб πο л.δ, ο τли чающийс я τем.чτο вцдеρжκу οбρабаτываемοгο изделия (ό) οсущесτвляюτ луτем ποдачи на издеже (δ) ποлοжиτельнοгο ποτенциала.
24. Сποсοб ποп.7, ο τлич ающийс я τем,чτο вьщеρжκу οбρабаτывае'.οгο «зделия (δ) οсущесτвляьοτ πуτем 0 ποдачи на изделие (δ) ποлοжиτельнοгο ποτенциала.
2δ. Сποсοб ηο π.ΙΟ, ο τ л и ч а ю щ и й с я τем,чτο выдеρжκу οбρабаτываемοгο изделия (δ) οсущесτвляюτ πττе.'. ποдачи на изделие (δ) ποлοжиτельнοгο ποτенπиала.
26. Сποсοб πο π.ΙЗ, ο τ л и ч а ю щ и й с я τем,чτο δ выдеρжκу οбρабаτываемοгο изделия (δ) οсущесτвляюτ πуτем ποдачи на изделие (δ) лοлοжиτельнοгο лοτенциала. - 44 -
27. Сποсοб πο π.16, ο τ л и ч а ю щ и Гι с я τем, чτο зыдеρжκу οбρабаτываемοгο изделия (δ) οсущесτΕляюτ πуτем П09ЧИ на издеже (δ) ποлοжиτельнοгο ποτенциала.
28. Слοсοб πο π.2Ι, ο τ л и ч а ю щ и й с я τем, δ чτο ποдачу ποлοжиτельнοгο лοτенциала яа οбρабаτываемοе издеже (δ) οсущесτвляюτ дисκρеτнο.
29. Сποсοб πο π.22 или π.23 или π.24 иж π.2δ иж π.2β зли π.27, ο τ ли ч а ющи й с я τем,чτο ποдачу ποлοжиτельяοгο ποτенциала на οбρабаτываемοе изделие (δ)
10 οсущесτвляюτ дисκρеτнο.
30. Сποсοб πο π.Ι иж π.2 или π.4 или π.β или π.8 яли π.9 иж π.ΙΙ или π.Ι2 иж π.Ι4 иж π.Ιδ или л.Ι7 или π.ΙЗ или π.ΙЗ или π.20, ο τ ли ч а ю ий с я τем,чτο зцдеρжκу οбρабаτываемοгο изделия (δ) в заданнοм
Ιδ τемπеρаτуρнοм ρежиме οсущесτвляюτ πуτем ποдачи на издеже (δ) οτρицаτельнοгο ποτенπиала.
31. Сποсοб πο π.З, ο τли ч а ющий ся τем, чτο выдеρжκу οбρабаτываемοгο изделия (δ) в заданнсм τемπеρа- τуρнοм ρежиме οсущесτвляюτ πуτем ποдачи на изделие (δ) 0 οτρицаτельнοгο ποτенциала.
52. Сποсοб πο π.δ, ο τ л и ча ющи йс я τем, чτο выдеρжκу οбρабаτываемοгο изделия (δ) в заданнοм τемπеρаτуρнοм ρежиме οсущесτвляюτ πуτем лοдачи на изде- лие (δ) οτρицаτельнοгο ποτенциала. :ο 55. Слοсοб πο π.7, ο τлич ающи с я τем,чτο ввдеρжκу οбρабаτываемοгο изделия (δ) в заданнοм τемπеρа- τуρяοм ρежиме οсущесτвляюτ πуτем ποдачи на изделие (δ) οτρицаτельнοгο ποτенциала.
54. Сποсοб πο л.ΙΟ, ο τли ч ающи≤ ся τем, С чτο выдеρжκу οбρабаτываемοгο изделия (δ) в заданнοм τем- πеρаτуρнοм ρениме οсущесτвляюτ πуτем ποдачи на изделие (δ) οτρицаτельκοгο ποτенциала.
Зδ. Сшгсοб πο π.ΙЗ, ο τ л и ч а ющ и й с я τем,чτο выдеρжκу οбρабзτываемοгο изделия (δ) в заданнοм τемπеρа- 5 τуρнοι/. ρежиме οсущесτвляιэτ πуτем ποдачи на изделие (δ) οτзщаτельнοгο ποτенциала. - 45 - 36. Сποсοб πο π.1.6, ο τ л и ч а ющи л с я τем,чτο вццеρжκу οбρабаτываемοгο изделия (5) в задаянοм τемπеρа- τуρнοм ρежиме οсущесτзляюτ πуτем ποдачи на изделие (5) οτρицаτельнοгο ποτеяциала. 5 37. Сποсοб πο π.Ι или π.2 или π.З иж π.6 или π.8 иж π.9 или π.ΙΙ или π.Ι2 или π.Ι4 или π.Ιδ или π.Ι7 или π.Ι8 или π.Ι9 или π.20,ο τ л и ч а ю щ и й с я τем, чτο выдеρжκу οбρабаτываемοгο изделия (5) в задаянοм τемπеρаτуρнοм ρежиме οсущесτвляюτ πρи πлавающем ποτен- 10 циале на издежи (5), иницииρуемοм πлазмοй газοвοл сτуπени ваκуумнο-дугοвοгο ρазρяда.
58. Сποсοб πο π.З, ο τ л и ч а ю щи й е я τем,чτο выдеρжκу οбρабаτываемοгο изделия (5) в заданнοм τемπеρа- τуρяοм ρежиме οсущесτвляюτ πρи πлавающем ποτепциале яа 15 изделии (5), ияицчиρуемοм πлазмοй газοвοй сτуπени ваκуумнο- дугοвοгο ρазρяда.
39. Сποсοб πο π.ο, ο τ л и ч а ю щи й с я τем,чτο выдеρжκу οбρабаτываемοгο изделия (5) в заданнοм τемπеρаτуρ- нοм ρежиме οсущесτвляюτ πρи ллавающем ποτенциале на изде-
20 лии (5), иниπииρуемοм πлазмοй газοвοϋ сτуπенью ваκуумнο- дугοвοгο ρазρяда.
40. Сποсοб πο π.7, ο τ л и ч а га щи й с я τем,чτο вьщеρжκу οбρабаτываемοгο изделия (5) в заданнοм τемπеρа- τуρнοм ρежиме οсущесτвляюτ πρи πлавающем ποτенциале на
25 изделии (5), иницииρуемοм πлазмοй газοвο*. сτуπени ваκуумнο- дугοвοгο ρазρяда.
41. Сποсοб πο π.ΙΟ, ο τ л и ч а ю щ и й с я τем,чτο вцдеρжκу οбρаόаτываемοгο изделия (5) в зддаянοм τемπеρа- τуρнοм ρежиме οсущесτвлягаτ πρи πлавающем ποτенциале на 0 изделии (5), инициρуемοм πлазмοй газοвοй сτуπени ваκуумнο- дугοвοгο ρазρяда.
42. Сποсοб πο π.ΙЗ, ο τ л и ч а ю щи й с я τе.ν,чτο выдеρжκу οбρабаτываемοгο изделия (5) в заданнον. τемπеρа- τуρнο.. ρежиме οсущесτвляюτ πρи πлавающем ηοτенπиале на и?- 5 делии (5), иницииρуемοм πлазмοй газοвοл сτνπени ваϊζνумнο- дугοвοгο ρазρяда. - 46 -
43. Сποсοб πο π.16, ο τ ли ча ю щий с я τеι/ ,чτο выдеρжκу οбρабаτываемοгο изделия (5) в заданнοм τемπеρаτуρ нοм ρеκиме οсущесτвляюτ πρи πлавающем ποτенпиале на изде- лии (5), шшцяиρуемοм πлазмοй газοвοй сτуπени ваκуумнο-
5 дугοΕθгο ρазρяда.
44. Сποсοб πο π.ЗΟ, ο τ ли ч а щи й с я τем,чτο πρи вοзяиκнοвеяии дугοвыχ προбοев на οбρабаτываемοм из- дежи (5) с издежя (5) снимаюτ οτρицаτельный ποτенциал πρи οднοвρеменнοм οτκлючении лиτания газοвοй сττπени
0 πлазмы ваκуумнο-дугοвοгο ρазρяда.
4δ. Сποсοб πο π.СΙ или π.32 иж π.ЗЗ или π.34 или π.35 тш π.36 иж π.38 или π.ЗЭ иж π.40 или π.4Ι или π.42 иж π.43, ο τ л ич а ю щи й с я τем,чτο πρи вοзниκнο- вении дугοвыχ προбοев на οбρабаτκваемοм издежи (5) с изде- δ жя (δ) снимаюτ οτρицаτельный ποτенциал πρи οднοвρеменнοм οτι-υшчении πиτания газοвοй сτуπени πлазмы ваκуумнο-дугο- вοгο ρазρяда.
46. Сποсοб πο π.37, ο τ л и ч а ю щ и й с я τем,чτο πρи вοзниκнοвении дугοвыχ προбοев на οбρабаτываемοм а изделиι. (δ) с изделия (5) снимаюτ οτρицаτельнй ποτен- щал πρи οднοвρеменнοм οτκлючении πиτания газοвοй сτνπени πлазмы ваκуумнο-дугοвοгο ρазρяда.
47. Сποсοб πο π.Ι или π.2 или π.4 иж π. 28, ο τ - ли ч а ющи й с я τем,чτο ποсле выдеρжκи οбρабаτывае-5 мοгο изделия (δ) в заданнοм τемπеρаτуρнοм ρежиме в газοвοй сτуπени πлазмы ваκуу?,-нο-дугοвοгο ρазρяда на ποвеρχнοсτь οбρабаτываемοгο издежя (5) нанοсяτ ποκρыτие.
48. Сποсοб πο π.З, ο τ л и ч а ю щ и 3 с я τем,чτο дοсле вцдеρжκи οбρабаτываемοгο издϋлия (5) в задэннοм 0 τемπеρаτуρнοм ρежиме в газοвοй сτуπеιш πлазмы ваκуумнο- дуτοвοгο ρазρяда на ποвеρχнοсτь οбρабаτываемοгο изделия (5) нанοсяτ ποκρыτие.
49. Сποсοб πο д.δ, ο τ ли ч а ющи ϊ с я τе_..,чτс ποсле выдеρζжи οбρабаτываемοгο изделия (5) в заданнοм5 τемπеρаτуρяο:/. ρежиме в газοвοл сτуπени πлазмы ваκуумнο- дугοвοгο ρазρядз на ποьеρχнοсτь οбρабаτκваемοгο изделия δ) нанοсяτ ποκοыτие . - 47 -
50. Сποсοб πο π.7,ο τ л и ч а ю щ и й с я τе ,чτο ποсле вцдеρжκи οбρабаτываемοгο изделия (5) в заданнοм τемπеρаτуρнοм ρежиме в газοвοй сτуπени πлазмы ваκуумнο- -дугοвοгο ρазρяда на ποвеρχнοсτь οбρабаτываемοгο изде-
5 лия (δ) нанοсяτ ποκρыτие.
51. Сποсοб πο π.ΙΟ, ο τ л и ч а ю щ и й с я τем,чτο ποсле выдеρжκи οбρабаτываемοгο изделия (5) в заданнοм τемπеρаτуρнοм ρежиме в газοвοй сτуπени πлазмы ваκуумнο- дугοвοгο ρазρяда на ποвеρχнοсτь οбρабаτываемοгο изделия
Ιϋ (δ) нанοсяτ ποκρыτие.
52. Сποсοб πο π.ΙЗ, ο τ л и ч а ю щ и й с я τем,чτο ποсле вьщеρжκи οбρабаτываемοгο изделия (5) в даданκοм τемπеρаτуρнοм ρежиме в газοвοй сτуπени πлазмы ваκуу.ν.нο- дугοвοгο ρазρяда на ποвеρχнοсτь οбρабаτываемοгο издслия (δ)
15 нанοсяτ ποκρыτие.
55. Сποсοб πο π.16 ο τ л и ч а ю щ и и с я τем,чτο ποсле вьщеρжκи οбρабаτываемοгο изделия (5) в заданнοл. τем- πеρаτуρнοм ρежиме в газοвοй сτуπени πлазмы ваκуумнο-дугοвοгο ρазρяда на дοвеρχнοсτь οбρабаτываел:οгο изделия (5) нанο-
2С сяτ ποκρыτие.
54. Сποсοб πο π.2Ι, ο τ л и ч а щи й с я τем,чτο ποсле выдеρжκи οбρабаτываемοгο изделия (5) в заданнοм τемπеρаτуρнοм ρежиме в газοвοζ сτуπенн πлазмы ваκуумнο- дугοвοгο ρазρяда на ποвеρχнοсτь οбρабаτывас-змοгο изде-
25 лия (5) нанοсяτ ποκρыτие.
55. Сποсοб πο π.23, ο τ л и ч а ю щ и й с я τем,чτο ποсле выдеρжκи οбρабаτываемοгο издежя (5) в заданнοм τемπеρаτуρнοм ρежиме в газοвοй сτуπени πлазмы ваκуумнο- дугοвοгο ρазρяда на ποвеρχнοсτь οбρабаτываемοгο изде-
30 дия (5) нанοсяτ ποκρыτие.
56. Сποсοб πο π.З, ο τ л и ч а ю щ и й с я τе...,чτο ποсле выдеρжκи οбρабаτываемοгο изделия в заданнοм τелшеρа- τуρнοм ρежиме в газοвοй сτуπени πлазмы ваκуумнο-дугοвοгο ρазρядз на ποвеρχнοсτь οбρабаτываемοгο изделия (5) 5 нанοсяτ ποκοыτие.
57. Сποсοб πο π.37, ο τ л и ч а ющ и й с я τем,чτο ποсле выдеρжκи οбρабаτываемοгο изделия (5) в заданнο.ч - 48 - τемπеρаτуρнοм ρежиме в газοвοй сτуπени πлазмы ваκуумнο- дугοвοгο ρазρяда на ποвеρχнοсτь οбρабаτываемοгэ изделия (5) нанοсяτ ποκρκτие.
58. Сποсοб πο π.45, ο τ л и ч а ю щ и й с я τем,чτο 5 ποсле выдеρжκи οбρабаτываемοгο иаделия (5) в заданнοм τемπеρаτзφнοм ρежиме в газοвοй сτуπени πлазмы ваκуумнο- „угοвοгο ρазρяда на ποвеρχнοсτь οбρабаτываемοгο издежя (5) нанοсяτ ποκρыτие.
59. Сποсοб πο π.47, ο τ л и ч а ю щ и 2 с я τем ,чτο ΙС οднοвρеменнο с κанесением ποκρыτия нз ποвеρχнοсτь οбρа- όаτываемοгο изделия (5) в зοне газοвοй сτуπени длазмы ваκуумнο-дугοвοгο ρазρяда сοздаюτ магниτнοе ποле, силοзые линии κοτοροгο ρасποлοжень: в πлοсκοсτяχ, πеρπендиκуляρκыχ наπρавлению τοκа заκуумнο-дугοвοгο ρазρяда.
15 60. Сποсοб πο π.48 иж π.4^ или π.50 иж π.5Ι иж π.52 илз π.υй иж π.54 иж π.55 иж π.56 иж π.57 или π.58, ο τ дн ч аю щи π с я τем.чτο οднοвρеменнο с нанесением дοκρыτия на ποвеρχнοсτь οбρабаτываемοгο инделия (5) в зοне газοвοй сτуπени πлазмы ваκуумнο-дугοвοгο ρазρяда сοздаюτ
20 магниτнοе ποле , силοвые жнии κοτοροгο ρаслοлοжены в длοсκοсτяχ, πеρπендиκуляρныχ наπρавлению τοκа ваκуумнο- дугοвοгο ρазρяда.
61. Усτροйсτвο ДЛБ οбρабοτκи изделий в πлазме газοвο- гο ρазρяда, сοдеρжащее исτοчниκ (3) ποсτοяннοгο τοκа,
25 элеκτρичесκи связанный с инτегρальнο-χοлοдным κаτοдο.ν, (2) и οснοвным анοдοм (3), κοτορые ρазмещены в ваκуумнοГ: κамеρе ( в сρеде ρабοчегο газа πρи ποниженнοм давлении, ο τ л и - ч а η ци й с я τем.чτο в нем πρедусмοτρенο ρазме_;еняοе з зοκе πнτегρалыю-χοлοадοгο κаτοда (2) и неπροκицаемοе
3: для иοнοв меτалла, генеρиρуемыχ инτегρалыю-χοлοдным κаτοдοм (2), сρедсτвο (13) _л г сеπаρащи элеκτροнοв πз меτаллο-газοвο:! сτуπени глазмы ваκуτмяο-дугοвοгο ρззρя^а.
62. Усτροϋсτвο πο π.61, ο τ ля ч а ю щ е е с я τе:.., ч ο з κачесτве οснοзнοгο анοда (...) исποльзοзанο οбρаόаτы- 5 ваемοе из елие (5).
63. Усτροχсτвο πο п.61 или π.62, ο τ л я ча τэщ е е- с я τем,чτο в не.ν πρедусмοτρеκъ: ^οποлниτельнκ: анοд (22), - 49 - усτанοвленный οτнοсяτельнο инτегρальнο-χοлοднοгο κаτοда (2) и сρедсτва (13) для сеπаρащш элеκτροнοв с вοзмοжнοсτыο ρасποлοжения οбρабаτываемοгο изделия (5) между κаτοдοм (2), сρедсτвοм (13) для сеπаρации элеκτροнοв и дοποлниτельныν анοдοм (22), и двуχποзπциοнный πеρеκлючаτель (23), сοединенный с οбοими анοдами (2,22) и исτοчниκοм (9) ποсτοяннοгο τοκа.
64. Усτροйсτвο πο π.61 или π.62,ο τ ли ч а ю щ е е с я τем, чτο сρедсτвο (13 ) для сеπаρации элеκτροнοв выποл- ненο в виде набορа V -οбρазныχ πласτин (14), οбρащенныχ οднοй свοей бοκοвοπ ποвеρχнοсτыο (15) в сτοροну инτег- ρальнο-χοлοднοгο κаτοда (2), дρугοй бοκοвοй ποвеρχнοсτью (16) в сτοροну οснοвнοгο анοда (3).
65. Усτροйсτвο πο π.63, ο τ ли ч а ю щ е е с я τем, чτο сρедсτвο (13) для седаρации элеκτροнοв выποл- ненο в ви е набορа ν-οбρазныχ πласτин (14), οбρащенныχ οднοй свοей бοκοвοй ποвеρχнοсτыο (15) в сτοροну инτегρальнο -χοлοднοгο κаτοда (2), а дρугοй свοей бοκοвοιι ποвеρχ- нοсτью (16) в сτοροну οснοвнοгο анοда (3).
66. Усτροйсτвο πο π.64, ο τ л и ч а ю щ е е с я τем, чτο ν~οбρазные πласτины (14) сρедсτва (13) для сеπаρа- ЦΡШ элеκτροнοв усτанοвлены с вοзмοжнοсτью вοзвρаτнο- -ποсτуπаτельнοгο πеρемещения οτнοсиτельнο сτенοκ ваκуум- нοй κамеρы (I).
67. Усτροйсτвο πο π.65, ο τ л и ч а щ е е с я τем, чτο V -οбρазные πласτины (14) сρедсτва (13) для сеπаρа- ции элеκτροнοв усτанοвлены с вοзмοжнοсτы-ο вοзвρаτнο-ποсτу- πаτельнοгο πеρемещения οτнοсиτелыю сτенοκ ваκуумнοй κамеρы (I).
68. Усτροйсτвο πο π.61 или д.62, ο τ ли ч а ю щ е - е с я τем,чτο сρедсτвο (13) для сеπаρации элеκτροнοв выποлнег-0 в виде κалгози.
69. Усτροйсτвο πο η.63, οτличшοщееся τем', чτο сρед- сτвο (13) для. сеπаρации элеκτροнοв выποлненο в виде жалгози.
70. Згсτροйсτвο πο π.61 или π.62,ο τ л и ч а ю щ е ес . τем , чτο сρе^сτвο (ΪЗ) для сеπаρации элеκτροнοв вы- ποлненο Ε виде леπесτκοвοй диасρагмы, леπесτκи (25)
Figure imgf000052_0001
- 50 - κοτοροГ: в зοне взаимнοгο πеρеκρыτия ρасποлοжены с зазο- ροм (а) вдοль προдοльяοй οси ваκуумнοιτ κамеρы (I).
71. Усτροιϊсτвο πο π.63, ο τ ли ч а ющ е е с я τем, чτο сρецсτвο (13) для селаρации элеκτροнοв зκποлне-
5 яο Б виде леπесгκοвοй диаοόρагмьι, леπесτκи (25) κοτοροй в зοне взаимнοгο πеρеκρыτия ρаслοлοжены __ с зазοροм (а) вдοль προдοльнοи οси ваκуумнοй κамеρы (I).
72. Усτροйсτвο πο π.βϊ или π.62, ο τ ли ч а ю е - е с я τем,чτο сρедсτвο (13) для седаρации элеκτροнοв
10 выποлненο в виде Г-οбρазнοгο лаτρубκа (39), οдин из τορцοз (40) κοτοροгο наπρавлен в сτοροну οснοвнοгο анο- да (3), а в неποсρедсτΕеннοй близοсτи οτ дρугοгο τορ- ца (41) усτанοвлен ияτегρальнο-χοлοдный κаτοд (2).
73. Усτροйсτвο πο π.63, ο τ л и ч а ю щ е е с я
15 τем, чτο сρедсτзο (13) для сеπаρации элеκτροнοв зыποлненο в вπ.де Г-οбρазнοгο πаτρубκа (39), οдин из τορцοв (40) κοτοροгο наπρавлен в сτοροну οснοвнοгο анοда (3), а в не- ποсρедсτвеннοл близοсτи οτ дρугοгο τορца (41) усτанοвлен ιшτегρальяο-χοлοдныГ: κаτοд (2).
20 74. Усτροйсτвο πο η.61 или π.62, ο τ л и ч а ю щ и й - с я τем,чτο сρедсτвοм (13) для сеπаρаπяи элеκτροнθΕ елужиτ неποсρечсτзеннο сτенκа (45) ваκуумнοй κамеρы (I), ρасπслοг.енная в зοκе иκτгеρальнο-χοлοднοгο κаτοда (2) ,πρи зτο;. κаτοд (2) усτаκοвлен τаκ, чτο егο ρабοчая ποвеρχ-
25 нοсτь (12) οбρащеκа з сτοροну эτοй сτенκл (45).
75. Усτροйсτвο πο π.63, ο τ л и ч а га щ е е с я τе.ν ,чτο сρедсτвοм (13) для сеπаρацич элеκτροнοв елужиτ κеποсρедсτвеинο сτенκа (43) ваκуумнο"ι κамеρы (I), ρасποлοженная в зοне инτегρальнο-χοлοднοгο κаτοда (2) ,
30 дρи зτοм κаτοд (2) згсτаκοвлен τзκ, чτο егο ρабοчая ποзеρ.-Κοеτь (12) οбρащена з сτοροну эτοй сτенκи (43).
76. Усτροйсτвο πο π.65, ο τ л и ч а ю щ е е с τем,чτο сρедсτвο (13) для сеπаρаπии элеκτροнοв зыποляенο Ε виде дисκа (60), усτанοвлеκяοгο с зазοροм . ( ъ ) с-~,' ι—-\ οτнοсиτельнο сτенοκ (61) ваκуумнοй κамερы (I).
77. Усτρο.ϊсτвο πο π.74, ο τ ли щ е е с я τем, Ч:Ό ияτегρальяο-χοлοдяый κзτοд (2) усτаяοвлеκ с зοз- - 51 - мοжнοсτъю углοвοгο πеρемещения егο ρабοчей ποвеρχнοс- τи (12) на Ι8С° οτнοсчτельнο сτенκи (43) ваκуумнοй κа- меρы (I), служащей сρедсτвοм (13) для сеπаρации элеκτ- ροнοв. 5 78. Усτροйсτвο πο π.75, ο τлич а юще е с я τем, чτο инτегρальнο-χοлοдный κаτοд (2) усτанοвлен с вοзмοжнοсτью углοвοгο πеρемещения егο ρабοчей ποвеρχ- нοсτи (12) на 180° οτнοсиτельнο сτенκи (43) ваκуумнοй κамеρы (I), служащей сρедсτвοм (13) для сеπаρации элеκτ-
10 ροнοв.
79. Усτροйсτвο ποπ.65, ο τлн ча юще е ся τем, чτο в нем дοποлниτельныз анοд (22) выποлнен в виде ποлοгο цилиндρа (44), τορец (45) κοτοροгο наπρавлен в сτοροну инτегρальнο-χοлοднοгο κаτοда (2) и в ποлοсτи (46) κοτοροгο
15 ρасποлοженο οбρабаτываемοе изделие (47), и πρедусмοτρены οχваτывающий дοποлниτельный анοд (22), сοленοид (49) и дисκ (50) с ценτρальным οτвеρсτием (51), усτанοвленный сοοснο с дοποлниτельным анοдοм (22) между сρедсτвοм (13) для сеπаρации элеκτροнοв и τορцοм (45) дοποлниτелыюгο
'-0 аяοда (22) в неποсρедсτвеннοй близοсτи οτ эτοгο сρедсτва (13) и эτοгο анοда (22).
80. Усτροйсτвο πο π.65, ο τ л и ч а ю щ е е с я τем, чτο з нем πρедусмοτρена". ρасπыляемая мишень (52), имеющая ценτρальнοе οτвеρсτие (53), сοединенная с οτρицаτельным 5 ποлюсοм инивидуальнοгο исτοчниκа (55) ποсτοяннοгο τοκа и ρазмещенная между сρедсτвοм (15) для сеπаρации элеκτρο- нοв и дοποлниτельным анοдο.ν (22).
81. Усτροйсτвο ποπ.79, ο τлич а ще е ся τем, чτο в нем πρедусмοτρеяа ρасπыляемая мишень (52), имеющая 0 ценτρальнοе οτвеρсτие (53), сοединенная с οτρицаτельным ποлюсοм индивчдуальнοгο исτοчниκа (55) ποсτοяянοгο τοκа и ρазмещенная между сρедсτвον. (13) для сеπаρации элеκτρο- нοв и дοποлниτельнш анοдο. (22).
82. Усτροζсτвο πο π.80, ο τ л и ч а ю щ е е с я τем, 5 чτο ρасπыляемая мишень (52) ρасποлοжена сοοснο с дοποл- ниτельным аяοдο'/. (22).
Figure imgf000054_0001
- 52 - 85. Усτροйсτвο ποπ.82, ο τлича юще е ся τем, чτο ρасπыляемая мишень (52) выποлнеяа в виде дисκа (54), ямеющегο цеяτρальнοе οτвеρсτие (53).
84. Усτροйсτзο πο π.82, ο τ л и ч а ю щ е е с я τем, 5 чτο в нем дοποлниτелъный анοд (22) выποлнен з виде κοльца (59), πρи эτοм πлοщадь ποπеρечнοгο сечения ποлοс- τи (62) κοльца (59) дοποлниτельнοгο анοда (22) ρавна πлοщади ποπеρечнοгο сечения ποлοсτи ценτρалънοгο οτвеρс- τия (53) ρасπыляемοй мишени (52). 10 85. Усτροйсτвο πο π.82, ο τлича юще е ся τем, чτο в нем .дοποлнчτельный анοд (22) Быποлнея в виде κοль- ца (59), πρи эτοм πлοщадь ποπеρечнοгο сечения ποлοсτи (62) κοльца (59) дοποлниτельнοгο анοда (22) бοлыие πлοщади ποπеρечнοгο сечения ποлοсτи цеяτρальнοгο οτвеρсτия (53) Ϊ5 ρасπыляемοй мишени (52).
86. Усτροйсτвο ηο π.84, ο τ и а юще е ся τем, чτο ρасπыляемая мишень (52) выποлнена в виде ποлοгο щлиндρа (58), πόлοсτь (63) κοτοροгο язляеτся ценτρаль- яым οτвеρсτием (53) ρасπыляемοй мишени (52). 0 87. Усτροйсτвο ποπ.84, ο τличающе е ся τем,чτο ρасπыляемая мишень (52) выποлена в виде набορа изοлι-ιροванныχ οдна οτ дρугοй дугοοбρазныχ πласτин (66), усτаяοвленныχ πο οκρужнοсτи, οбρазуя, τаκим οбρазοм, ценτρальнοе οτвеρсτие (53) ρасπыляемοй мишени (52). 5 88. Усτροйсτвο πο π.85, ο τлича юще е ся τем, чτο ρасπыляемая миаιеяь (52) выποлнена в виде ποлοгο цι-шшдρа (58), ποлοсτь (63) κοτοροгο являеτся ценτρаль- ным οτвеρсτием (53) ρасπыляемοй мишени (52).
89. Усτροйсτвο ποπ.85, ο τлича гаще е ся 0 τем, чτο ρасπыляемая мишень (52) выποляена в виде насορа изοлгιροзаяяыχ οдна οτ дρугοй дугοοбρазныχ πласτин (66), усτанοвленныχ πο οκρужнοсτκ, οбρазуя, τаκим οбρазοм, ценτρальнοе οτвеρсτие (53) ρасπыляемοй мишени (52).
PCT/RU1992/000088 1991-04-29 1992-04-23 Method and device for treatment of articles in gas-discharge plasma WO1992019785A1 (en)

Priority Applications (4)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US08/146,043 US5503725A (en) 1991-04-29 1992-04-23 Method and device for treatment of products in gas-discharge plasma
JP4511099A JPH06506986A (ja) 1991-04-29 1992-04-23 ガス放電プラズマ中での製品の処理方法と装置
DE69227313T DE69227313T2 (de) 1991-04-29 1992-04-23 Verfahren und vorrichtung zur behandlung von bauteilen in einem gasentladungsplasma
EP92911913A EP0583473B1 (en) 1991-04-29 1992-04-23 Method and device for treatment of articles in gas-discharge plasma

Applications Claiming Priority (12)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU4938768 RU2010031C1 (ru) 1991-04-29 1991-04-29 Вакуумная печь
RU4938768 1991-04-29
RU5002413 1991-09-11
RU5002528 1991-09-11
SU5002413 RU2022056C1 (ru) 1991-09-11 1991-09-11 Установка для нанесения покрытий
SU915002528A RU1834911C (ru) 1991-09-11 1991-09-11 Способ обработки изделий в установках вакуумно-плазменного нанесени покрытий
RU5008180 1991-11-11
RU5008181 1991-11-11
RU5018360 1991-12-24
RU5024441 1992-01-28
RU5024440 1992-01-28
RU5027759 1992-02-18

Publications (1)

Publication Number Publication Date
WO1992019785A1 true WO1992019785A1 (en) 1992-11-12

Family

ID=27356466

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
PCT/RU1992/000088 WO1992019785A1 (en) 1991-04-29 1992-04-23 Method and device for treatment of articles in gas-discharge plasma

Country Status (2)

Country Link
JP (1) JPH06506986A (ru)
WO (1) WO1992019785A1 (ru)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO1994016117A1 (en) * 1992-12-30 1994-07-21 Nauchno-Proizvodstvennoe Predpriyatie 'novatekh' Device for the vacuum-plasma treatment of articles
EP0645461A1 (en) * 1993-08-27 1995-03-29 Hughes Aircraft Company Heat treatment by plasma electron heating and solid/gas jet cooling
US8241468B2 (en) 2004-12-13 2012-08-14 United Technologies Corporation Method and apparatus for cathodic arc deposition of materials on a substrate

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2006111930A (ja) * 2004-10-15 2006-04-27 Nissin Electric Co Ltd 成膜装置

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO1987002072A1 (en) * 1985-09-30 1987-04-09 Union Carbide Corporation Apparatus and process for arc vapor depositing a coating in an evacuated chamber
EP0225680A1 (en) * 1985-11-15 1987-06-16 Andal Corp. Improved electric arc vapor deposition method
US4691662A (en) * 1983-02-28 1987-09-08 Michigan State University Dual plasma microwave apparatus and method for treating a surface

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4691662A (en) * 1983-02-28 1987-09-08 Michigan State University Dual plasma microwave apparatus and method for treating a surface
WO1987002072A1 (en) * 1985-09-30 1987-04-09 Union Carbide Corporation Apparatus and process for arc vapor depositing a coating in an evacuated chamber
EP0225680A1 (en) * 1985-11-15 1987-06-16 Andal Corp. Improved electric arc vapor deposition method

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
See also references of EP0583473A4 *

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO1994016117A1 (en) * 1992-12-30 1994-07-21 Nauchno-Proizvodstvennoe Predpriyatie 'novatekh' Device for the vacuum-plasma treatment of articles
EP0645461A1 (en) * 1993-08-27 1995-03-29 Hughes Aircraft Company Heat treatment by plasma electron heating and solid/gas jet cooling
US8241468B2 (en) 2004-12-13 2012-08-14 United Technologies Corporation Method and apparatus for cathodic arc deposition of materials on a substrate

Also Published As

Publication number Publication date
JPH06506986A (ja) 1994-08-04

Similar Documents

Publication Publication Date Title
EP0583473A4 (en) Method and device for treatment of articles in gas-discharge plasma
US6570172B2 (en) Magnetron negative ion sputter source
US6214183B1 (en) Combined ion-source and target-sputtering magnetron and a method for sputtering conductive and nonconductive materials
RU2695685C2 (ru) Плазменно-иммерсионная ионная обработка и осаждение покрытий из паровой фазы при содействии дугового разряда низкого давления
US6150755A (en) Charged particle source with liquid electrode
JP2556637B2 (ja) マグネトロン陰極による基板への成膜装置
JP3158158B2 (ja) 低圧放電の発生及び点弧方法並びに真空加工装置及び該装置の陰極チェンバ
EP0899772B1 (en) Cathodic arc vapor deposition apparatus
WO1982002906A1 (en) Consumable cathode for electric-arc evaporator of metal
JP5379684B2 (ja) 過酷な環境において熱陰極の放出性能を維持する方法および装置
US4737688A (en) Wide area source of multiply ionized atomic or molecular species
NL8600417A (nl) Werkwijze voor het reactief opdampen van lagen uit oxiden, nitriden, oxynitriden en carbiden.
JP2010507239A (ja) 被洗浄基板、あるいは、さらに処理される清潔な基板を製造するための、方法および装置
WO1992019785A1 (en) Method and device for treatment of articles in gas-discharge plasma
US6083356A (en) Method and device for pre-treatment of substrates
KR20080014984A (ko) 플라즈마 처리 장치용 플라즈마 증폭기
RU2450083C2 (ru) Установка для вакуумной ионно-плазменной обработки длинномерных изделий
Borisov et al. Effective processes for arc-plasma treatment in large vacuum chambers of technological facilities
US6770178B2 (en) Cathodic arc disposable sting shielding
RU76918U1 (ru) Вакуумная ионно-плазменная установка
WO1992021787A1 (en) Method and device for thermochemical treatment of articles
RU2026413C1 (ru) Способ нагрева электропроводящих изделий в рабочей камере
RU2001972C1 (ru) Установка дл нанесени упрочн ющих покрытий методом электродугового испарени
Alexeyevich et al. Optical radiation in breakdown of the acceleration gap of a forevacuum pressure, wide-aperture, plasma-cathode, pulsed electron source
JP2848590B1 (ja) 電子ビーム励起プラズマ発生装置

Legal Events

Date Code Title Description
AK Designated states

Kind code of ref document: A1

Designated state(s): CS HU JP KR PL US

AL Designated countries for regional patents

Kind code of ref document: A1

Designated state(s): AT BE CH DE DK ES FR GB GR IT LU MC NL SE

CFP Corrected version of a pamphlet front page
CR1 Correction of entry in section i

Free format text: IN PAT.BUL.28/92 UNDER INID (51) "IPC" REPLACE THE EXISTING SYMBOLS BY "C23C 14/32"

DFPE Request for preliminary examination filed prior to expiration of 19th month from priority date (pct application filed before 20040101)
WWE Wipo information: entry into national phase

Ref document number: 1992911913

Country of ref document: EP

WWE Wipo information: entry into national phase

Ref document number: 08146043

Country of ref document: US

WWP Wipo information: published in national office

Ref document number: 1992911913

Country of ref document: EP

WWG Wipo information: grant in national office

Ref document number: 1992911913

Country of ref document: EP