TWI655381B - 密封環總成,用於密封一軸向流道之裝置及裝配密封環總成之方法 - Google Patents

密封環總成,用於密封一軸向流道之裝置及裝配密封環總成之方法 Download PDF

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Abstract

一種實例密封系統包括用於一墊圈之一固持器,其中該固持器藉由將密封墊圈懸置於該固持器內而不管定向來保護該墊圈之拋光密封表面在裝配之前免受刮痕。該固持器之圓周中之一間隙允許該固持器撓曲敞開以用於***該密封墊圈。該固持器之內徑上之一小斜面輔助將密封件***至該固持器中。該固持器之該圓周中之該間隙亦允許該固持器壓縮至一較小圓周以用於密封埋頭孔內之一緊密配合。該固持器之該內徑中之一凹槽包括該密封件用來嚙合之一突出部分。此凹槽之深度經建構以在該固持器之一完全壓縮期間在該固持器內提供一些空隙以用於該密封件之突出邊緣。

Description

密封環總成,用於密封一軸向流道之裝置及裝配密封環總成之方法
本申請案依據35 U.S.C.119(e)主張2010年12月6日申請之題為「密封環固持器總成及方法(Ring Seal Retainer Assembly and Methods)」之臨時美國申請案第61/420,268號之申請日期的權利,該案在此共同讓渡且以全文引用之方式明確地併入本文中。
本發明大體上係關於流體聯軸器,且更特定言之,係關於具有包括可撓性墊圈及用於彼等墊圈之可撓性固持器之密封總成的流體聯軸器。
密封環典型地為環形,其界定用於氣體或流體通過之一軸向對準之孔、兩個軸向相對之端表面、一徑向內表面,及一徑向外表面。簡化之密封環具有平坦之端表面及界定密封環之內徑(ID)及外徑(OD)之平滑的圓形徑向內表面及外表面。然而,在工業中一般慣例為利用具有不同徑向橫截面之密封件以獲得用於不同流體流動環境之變化密封能力。
常用密封環為圓形的且具有「C」形之徑向橫截面。構造此等「C形密封件」,其中C形構造之開放側面向環之中心,諸如在美國專利第5,354,072號(「'072專利」)中所描述,或其中C之開放側背對兩個配合表面之中心,以使C形密封件在中間之方式將該兩個配合表面集中在一起,其中壓縮C形密封件,其中使C形橫截面之開放側在壓縮期 間封閉。密封件之延展性准許在不損壞配合表面的情況下出現塑性變形。
已可得到之額外密封件包括「V形」密封件,其亦為圓形的,但具有「V形」橫截面而非具有「C形」橫截面,其中V之低點經構造以向內或向外地指向密封件之中心。此項技術中已知之其他密封件包括「Z形」密封件及簡單的O形環。此等其他類型之密封件論述於(例如)美國專利第6,708,985號(「'985專利」)中。'072與'985專利兩者以全文引用之方式明確地併入本文中。工業中已知之另一類型之密封環為「W形」密封件。此密封系統(例如)揭示於美國專利第7,140,647號(「'647專利」)中,該案亦以全文引用之方式明確地併入本文中。'647專利中之「W形」密封件使用位於固持環之內部上之扣環(在專利中識別為導件)以將W形密封件固持於固持器中且使W形密封件或墊圈上之密封表面免受刮痕。'647專利固持器或導件亦具有位於其外徑上之扣環以使固持器嚙合於「埋頭孔」中。
圖1至圖4說明典型之先前技術W形密封件2,其包含固持器套管2a及金屬密封件2b。如上所論述,總成2進一步包含內部扣環2c及外部扣環2d。為了容納此等扣環,在固持器套管2a之外表面上提供第一外徑(OD)凹槽2e,且在固持器套管2a之內表面上提供內徑(ID)凹槽2f。另外,將第二OD凹槽2g提供於金屬密封件2b之外表面上,該第二OD凹槽2g對應於ID凹槽2f,其中第二OD凹槽2g及ID凹槽2f一起容納內部扣環2c。應注意,圖2中所 展示之環及密封件中之切割僅為說明性的,以用於達成說明密封總成之特定構造特徵之目的。實際上,密封件與固持環兩者為在圓周上連續且未斷裂的。
因此,每一先前技術W形密封件需要四個單獨零件,包括兩個扣環及用於容納彼等扣環之三個成形凹槽,從而導致製造複雜性及相對高之成本。另外,已發現此等扣環實質上較難以在需要時自埋頭孔移除密封件,從而引起生產率問題及有時對密封總成之損壞。舉例而言,當密封件用以連接經設計以載送極高純度之氣體(諸如,在矽沈積環境中)之兩個通道時,藉由密封件引入至系統中之雜質可影響整個系統之效能。舉例而言,自曝露至系統中之真空環境內部之表面的雜質之除氣可能會不可接受地污染系統。因為已知W形密封件經製成以具有在密封件2b與固持器套管2a之間及在固持器套管2a與埋頭孔之間的緊密滑動配合,所以在維護期間之安裝及移除期間對埋頭孔材料及固持器套管之微小損壞可增加曝露至真空環境之材料之量,藉此增加由於自彼材料之除氣而引入過量雜質的可能。
在一操作環境中,氣體及蒸氣處置設備將反應物以及惰性氣體及蒸氣輸送至諸如磊晶反應器、電漿蝕刻器及其類似物之工具,反應物以及惰性氣體及蒸氣用於半導體之製造中。此設備包括氣棒,其使用半模設計且可經快速地構造且容易並迅速地維護。維護將包括沿氣體流道之主動式氣體輸送及計量組件之替換。此等主動式組件可包括閥門、壓力調節器、質量流量計及質量流量控制器。藉由使 用塊型或面型連接器經由基板或基板塊將主動式組件緊固於氣體流道中。
塊連接器藉由減小濕潤表面來最小化對氣體流道之污染。濕潤表面為接觸氣體之氣體流道之內表面。所呈現之濕潤表面愈小,則該表面在裝配期間、在初始建置期間或在拆下流道時之維護期間將被不需要的氣體物質污染之量或可能性愈小。
用於面塊式系統之一些先前密封件及固持器可經由密封表面上之磨損以及物理吸附及化學吸附引入不需要的污染物。現存面式密封系統使用小面積之密封區以藉由減小連接器接合處之濕潤面積來減少污染。此係藉由確保密封區本質上平坦來進行,其中一連接器之部分不延伸至另一連接器中,如在較不嚴格之應用中所常見的。將固持連接器殼體(halve)之螺紋構件定位成遠離流道一實質距離以避免其被在將連接器螺栓之拉緊或鬆開期間所產生之微粒污染。同樣地,可見於園藝軟管中之類型之連接器斷裂處沿流道之外部不存在螺紋。此「螺紋管」構造可在拉緊期間緊鄰流道而產生微粒。儘管如此,一些問題仍繼續存在。W形密封件為實例。
上述密封件使用不可特性化為「輕力」之固持器。外表面或其固持器上之扣環在裝配期間與埋頭孔之壁滑動接觸。因為需要相對較大之力來設定密封件及固持器,所以對準問題可出現且扣環磨損埋頭孔壁,從而產生污染微粒。
對於某些密封系統應用,需要一種密封系統,其提供 某些功能優點而無需必要地使用扣環及使用扣環中所涉及之費用且其較佳經構造以准許自埋頭孔容易移除。
依據此等各種方法,描述一種適合於諸如半導體製造模組化氣體輸送系統之應用的密封環系統。
更具體言之,實例密封系統包括用於密封件(亦稱作墊圈)之固持器,該密封件用以將模組化氣體輸送系統中之模組化管道連接至氣流控制組件。固持器設計藉由將密封件懸置於固持器內(其中在密封件周圍具有一些空隙而不管定向)來保護密封件之拋光密封表面在裝配之前免受刮痕。另外,固持器圓周中之狹縫或間隙允許固持器撓曲敞開以用於***密封墊圈。在某些態樣中,固持器之ID上之小斜面輔助密封件至固持器中之更容易***。密封件之邊緣上之類似斜面進一步輔助此***程序。
固持器圓周中之間隙亦允許固持器壓縮至較小圓周,以用於密封埋頭孔內之緊密配合。固持器ID中之凹槽包括密封件用來嚙合之突出部分。此凹槽之深度經建構以使得在圓周間隙完全封閉之固持器之完全壓縮的情況下,密封件之突出邊緣在該固持器內仍具有一些空隙。充當擋止件以防止固持器過度壓縮之此空隙確保密封件及固持器總成在將總成***至埋頭孔中期間將不會卡住。
固持器圓周中之狹縫或間隙允許具有在固持器之OD上具有較大加工容差。在當前設計情況下,稍大之OD將防止固持器及密封總成***至埋頭孔中,此係因為不存在用 於壓縮之空間。在本文中所描述之固持器的一實例中,固持器能夠自由地封閉至.010英吋。可使圓周中之間隙更大,且達成相同結果。
固持器之OD周圍可存在微小斜面以用於固持器在埋頭孔上之更容易定位。固持器之上半部具有稍微較小之OD以用於表面黏著組件之容易對準。舉例而言,安裝者可抓住此較小OD且使用較大OD以嚙合同一塊上之多個密封點中之特定密封點。
在一實例應用中,提供一種密封環總成,其包含具有內徑(ID)及外徑(OD)且具有由ID界定以用於流體通過之軸向孔的環形密封構件,其中密封構件之OD包含較小OD部分及較大OD部分。亦提供環形固持構件,其具有ID及OD,其中固持構件之ID大於密封構件之OD。有利地,固持構件之ID包含軸向圓柱形之第一部分及第二部分,該第二部分包含自第一部分向外徑向延伸以用於收納及容納密封件之較大OD部分之凹槽,該較大OD部分向外徑向延伸至該凹槽中。
某些實例中之額外特徵為在環形固持構件之至少一外轉角上使用斜面以用於將固持構件容易安裝至埋頭孔中。斜面亦可安置於環形固持構件之至少一內轉角上以用於將密封構件容易***至固持構件中。某些實例中之又一特徵為包括安置於密封構件上之負載調整凹槽以用於改良密封件之彈性回應。
在又一態樣中,提供一種密封環總成,其包含具有內 徑(ID)及外徑(OD)且具有由ID界定以用於流體通過之軸向孔的環形密封構件。環形固持構件具有ID及OD,其中固持構件之ID大於密封構件之OD。斜面安置於環形固持構件之至少一內轉角上以用於將密封構件容易***至固持構件中。另一斜面安置於環形固持構件之至少一外轉角上以用於將固持構件容易***至埋頭孔中。
在又一態樣中,一種用於裝配密封環總成之方法包括在將密封件***至固持器中以由固持器之內表面中之凹槽支撐期間徑向地擴張固持器。固持器在固持器之圓周中之一或多個狹槽處擴張。在某些實例中,固持器包括在固持器之內轉角上之斜面,且密封件可包括在密封件外轉角上之斜面以促進密封件***。在密封件周圍存在空間以允許在將固持器***至埋頭孔中期間固持器在密封件周圍壓縮。舉例而言,固持器之外轉角上之斜面藉由嚙合埋頭孔表面來導引***,該嚙合在狹槽處稍微壓縮固持器,其中狹槽限制壓縮以使得壓縮不會導致密封件之機械壓縮。在***至埋頭孔中之後,固持器擴張至埋頭孔中,同時支撐密封件以用於在界定流道之元件之間的壓縮。
在經如此建構之情況下,根據此等教示之固持器在用於半導體製造環境中時可充當屏蔽件以減少密封件在與固持器之裝配期間的磨損及污染,且當在與塊之埋頭孔的裝配之前及期間儲存及處置時,充當處置件以避免密封件在固持器及密封件組合與塊之裝配期間的污染,且充當輕力***以避免在鄰近埋頭孔之流道處產生污染物及遍及剩 餘流道之下游部分將彼等污染物散佈至工具中且散佈至正經處理之半導體上。輕力固持器沿較大表面在埋頭孔壁處散佈接觸力,從而減小壓力及磨損之可能性。
在某些態樣中,固持器提供外部處置封套以避免密封件接觸可黏著至表面乃至磨損該表面之任何固體。密封件之配合表面上之甚至小的刮痕亦會增加濕潤面積,且在氣棒中之裝配之前提供用於污染氣體及水蒸氣之額外吸附位點。
面型連接器在適當裝配時應不使密封件觸碰除流道界定元件之配合珠粒以外之任何事物。此情形避免在裝配期間藉由沿緊密埋頭孔刮擦密封件而污染流道。此方法中之密封件在連接器封閉期間應與珠粒對齊。在一些態樣中,此等教示之實例固持器藉由允許密封件稍微「浮動」來解決此等問題。該密封件僅具有藉由固持器施加至其之非常輕的力。輕力避免藉由固持器之內部磨損密封件且藉由密封件磨損固持器。此情形避免將微粒引入至流道中。
此等及其他益處在澈底審閱且研究了圖式及以下【實施方式】後可變得更清晰。在此等隨附圖式中,相同參考數字貫穿諸圖指定相同零件。
現更特定地參看圖5至圖30,其中術語「下部」及「上部」僅關於諸圖且未必關於實際安裝中之密封總成之定向,圖22及圖23中展示實例密封環總成10,該密封環總成10包括以圓周方式環繞環形墊圈或密封件14之固持器 或固持環12。如圖22中所說明,密封件14包含中心孔16及環形主體元件18。固持器12之構造亦為環形且包含界定中心孔22之環形主體元件20,密封件14***至該中心孔22中。固持器材料應具有足夠彈性以允許如本文中所描述之擴張及壓縮且恢復其原始形狀,且經加工或以其他方式形成為所描述之形狀;此等材料可包括金屬、聚合物或任何其他合適材料。密封材料應具有彈性以在界定流道之元件之間壓縮時允許壓縮及回彈以達成沿軸向流道之良好密封。在用於需要高純度氣體通過流道之晶圓製造環境中的密封件中,諸如316複熔(double melt)不鏽鋼鎳HASTELLOY(可購自Central States Industrial Equipment & Service,Inc)及AL-6XN(可購自Central States Industrial Equipment & Service,Inc)之材料為例示性合適材料。
在圖22及圖23之所說明實例中,固持環12之外徑(OD)係成階梯式,其具有較小OD部分24及較大OD部分26。固持器ID凹槽28安置於環12上較大OD部分26內。外斜面30安置於固持器12之OD上之每一轉角上。內斜面32安置於固持器12之ID之下部轉角上。
密封件14包含環繞且界定中心孔16之實質上圓柱形ID 34。密封件14之OD包含較小OD部分36及較大OD部分38。在某些方法中,在此等兩個部分36、38之間安置負載調整凹槽41(例如,參見圖18至圖21),或在另一方法中,安置鏜孔40(例如,參見圖13至圖16及圖25)。負載調整凹槽41或鏜孔40將彈性提供至密封件14,該彈性 促進與界定元件之流道之密封嚙合。舉例而言,負載調整凹槽41或鏜孔40增加密封件14之彈性。此情形改良彈性在密封程序期間更好地分佈由界定元件之流道之珠粒所施加的力。珠粒可能未軸向對準,且在此種情形下,具有不足彈性之密封件可以將過量橫向力施加至珠粒之方式變形,該情況可導致不良密封效應及/或損壞珠粒以使得其在經重設之後不可形成新的密封件。由負載調整凹槽41或鏜孔40所提供之密封件彈性至少部分更好地管理此等力以在密封程序期間減輕此等潛在之不利結果。鏜孔40可具有不同於彼等所說明之深度或形狀的多種深度或形狀且可按照給定應用來加以定製。
圖23說明在安裝建構中之密封環總成10。如所說明,密封總成10安置於氣體或流體流道42內,其中流體流在箭頭44之方向上移動。組件46及基塊48界定流體流道42。在組件46中加工組件埋頭孔50,而在基塊48中加工互補之基塊埋頭孔52。應注意,外斜面30經有利地設計以准許固持環12容易***至埋頭孔50、52中。內斜面32促進密封件14至固持器12之中心孔22中之預備***。
在將密封總成10安裝至流道42中時,組件46及基塊48關於密封總成10軸向壓縮,從而引起密封珠粒54嚙合密封件14,如圖23中所說明。應注意,即使在完全壓縮時,固持器12仍保持與界定埋頭孔50、52之壁隔開(如圖23中所展示),從而允許在固持器12與埋頭孔50、52之間的連續間隙。
固持器12實質上在密封件14上方及下方軸向地延伸。在如此建構之情況下,即使在壓縮時,仍保護經高度拋光之密封件14之上表面及下表面不受諸如刮痕之損壞以保持最佳密封完全性。
現參看圖5至圖21及圖25,說明固持器12及密封件14中之每一者之各種具體實例。應注意,在此等教示之範疇內,可使用固持器實例及密封件實例中之任一者,如圖22及圖23中所展示,其中注意應協調每一元件之特定互補特徵及尺寸以適當地配合。諸圖中所展示之特定尺寸僅為例示性的。
參看圖5至圖8,展示一實例固持環12。如所說明,狹槽或間隙56經建構以促進固持器12及密封件14在埋頭孔內之固定。徑向狹槽56針對其整個軸向長度完全地穿過固持器12之壁,藉此使得臨時彈性地擴展狹槽(間隙)56為切實可行的。間隙56之此擴展擴大中心孔22之有效直徑,其足以接受密封件14之較大外徑部分38,且將固持器內徑凹槽28容易定位於密封件14之較大外徑部分38上。此配置因此允許密封件14在固持器12之界限內有效地浮動且在密封件14於固持器12中之定位期間減少密封件14及固持器12之刮擦。可根據給定應用界定各種斜面之角度,其中實例角度為約四十五度。
圖9至圖12說明稍微修改之實例固持環12。此實例與圖5至圖8之實例之間的主要差別為利用具有階梯式OD之固持環。固持器12包括固持器外表面,其具有第一外徑24 及第二外徑26,其中第一外徑24小於第二外徑26。固持器12進一步包括中心孔22之固持器內徑,該內徑係成階梯式以在固持器12之內表面中界定在固持器外表面之第二外徑26內部且與固持器外表面之第二外徑26相對的凹槽28。凹槽之直徑大於固持器中心孔22之ID且小於第二外徑26。
圖22說明另一實例固持器12,在此種狀況下,其具有卡鉤狀邊緣特徵以促進識別固持器之定向及固持器自埋頭孔之移除。在此實例中,固持器12之第一外徑24界定自第一外徑24徑向向內至小於第一外徑24之第三外徑27的階部25。階部25經建構以促進與構件之嚙合以自埋頭孔提取第二外徑26。
圖27說明又一實例固持器12,在此種狀況下,其具有界定於第二外徑26中之三個部分狹槽57。此等狹槽57如完全***固持器12之狹槽56般操作之處在於:狹槽57在密封件***期間允許固持器12之彈性擴張且在將總成***至埋頭孔中期間允許固持器12之彈性壓縮。儘管說明三個狹槽57,但可按照給定應用來定製狹槽57之數目。
圖13至圖17說明一實例密封件,其具有較小OD部分36及較大OD部分38且具有在較小OD部分36及較大OD部分38中之每一者中隔開及安置之複數個鏜孔40。環形密封件14包括經建構以在密封建構中時壓縮之頂表面35及底表面37。階梯式外徑界定於頂表面35與底表面37之間,其中第一外徑36小於第二直徑38。複數個鏜孔40以至少 兩列而界定於第一外徑36及第二外徑38中之一或兩者中。複數個鏜孔40足以回應於頂表面35及底表面37上對密封件14之壓縮而實現密封件14中之彈性。圖12及圖13之實例中之鏜孔40在圓周上交替以使得圖12中展示僅一者。
圖18至圖21說明墊圈或階梯式密封件14之稍微修改之實例。除關於某些尺寸之不同之外,兩個實例之間的主要差別在於:在圖18之實例中,使用單一圓周負載移位凹槽41而非圖13至圖17之鏜孔40。凹槽41界定於第一外徑36與第二外徑38之間,該凹槽41足以回應於頂表面35及底表面37上對密封件14之壓縮而實現密封件14中之彈性。
圖25說明一實例密封件14,其具有在較小OD部分36與較大OD部分38之間的階部,但不具有凹槽或鏜孔。圖26說明另一實例密封件,其具有由較小OD部分36及較大OD部分38組成之階梯式OD。在此實例中,較小OD部分36之鄰近較大OD部分38之部分43包括圍繞部分43之周長分佈之鏜孔40。儘管圖26之實例展示如具有比較小OD部分36之OD小的OD之部分43,但部分43可具有與較小OD部分36之OD具有同樣範圍的OD。圖26之密封件14進一步包括斜面39,其安置於密封件14之外徑部分之邊緣上。斜面39經建構以藉由減小將密封件14滑動至固持器中所需的負載來促進密封件14於固持器中之置放。斜面39可置放於可在將密封件14***至固持器中期間嚙合固持器 之任何外邊緣上。
再次參看圖23,應注意,即使在裝配時,密封件與固持器之間仍存在間隙。如此之原因為確保當固持器壓縮時其不會碰撞密封件,此係因為否則其將不能夠壓縮至小於埋頭孔之尺寸,該情況將影響密封完全性。間隙或狹槽56促進此特徵,此係因為間隙或狹槽56用作擋止件以控制固持環12之壓縮量。在壓縮時,環12壓縮直至界定狹槽之兩個表面彼此嚙合。又在圖23中所說明,階梯式密封件之較大OD部分38在頂部及底部藉由固持器14處於其鬆弛或預壓縮位置而俘獲。在固持器與密封件之彈性回應修改部分(穿孔或負載調整凹槽40)之間不存在干擾。
在又一方法中,圖24說明界定具有內徑134之孔洞116之環形密封件114。密封件114不界定穿孔或凹槽且在頂表面160與底表面之間具有單一OD 118。在一實例中,此密封件114(或具有界定凹槽或鏜孔之單一OD 118之類似密封件)可如本文中所描述***至固持器12中以向密封總成提供類似於以上關於圖22及圖23所論述之彼等益處的益處。
圖28至圖32說明典型密封環境中之實例密封環總成110,其中特密封之流體流道142係藉由組件146及基塊148界定,組件146及基塊148係藉由螺栓182或其他合適部件來附著。密封件110經調適以配合於由組件埋頭孔及對應之基塊埋頭孔所形成之空間內且經由密封珠粒152在其中形成氣密流體連接。
圖31及圖32說明將金屬密封總成卡扣至密封埠埋頭孔中以安裝密封件之程序。裝配具有至少一狹槽之環形固持器與密封環之方法包括與固持器之內邊緣上之斜面相抵而嚙合密封環以擴展固持器及將密封件滑動至接近於固持器之內部部分上之固持器凹槽。當密封環在凹槽中時固持器至少部分地鬆弛以使得處於鬆弛狀態中之固持器環繞密封環而不夾持密封環。為了將密封總成110定位於埋頭孔中,在密封件固持於凹槽中之情況下擠壓固持器,且相對於埋頭孔而定位經擠壓之固持器。釋放固持器以實現固持器在埋頭孔中之置放。固持器內徑凹槽28支撐密封件14且使密封件位於流道142之中心處。
雖然已關於各種特定實例描述了本發明,但應理解,可在不脫離本發明範疇之情況下進行各種修改。因此,以上描述不應解釋為限制本發明,而僅作為對本發明之較佳具體實例之例示且可在以下申請專利範圍之範疇內以各種方式實踐本發明。
熟習此項技術者將瞭解,諸圖中之元件出於簡單性及清晰性之目的而說明且未必按比例繪製。舉例而言,可相對於其他元件誇示諸圖中之一些元件之尺寸及/或相對定位以幫助改良對本發明之各種具體實例之理解。又,常常不描繪在商業上可行之具體實例中有用或必要的共同但充分理解之元件以便促進對此等各種具體實例之較不模糊的查看。將進一步瞭解,可以特定出現次序描述或描繪某些動作及/或步驟,同時熟習此項技術者將理解,實際上不需要 關於序列之此特定性。亦將理解,本文中所使用之術語及表達具有如符合由熟習如上所陳述之技術領域者理解之此等術語及表達的一般技術意義,本文中已另外陳述不同的特定意義之處除外。
2‧‧‧先前技術W形密封件
2a‧‧‧固持器套管
2b‧‧‧金屬密封件
2c‧‧‧內部扣環
2d‧‧‧外部扣環
2e‧‧‧第一外徑(OD)凹槽
2f‧‧‧內徑(ID)凹槽
2g‧‧‧第二OD凹槽
10‧‧‧密封環總成
12‧‧‧固持器或固持環
14‧‧‧環形墊圈或密封件
16‧‧‧中心孔
18‧‧‧環形主體元件
20‧‧‧環形主體元件
22‧‧‧中心孔
24‧‧‧較小OD部分
25‧‧‧階部
26‧‧‧較大OD部分
27‧‧‧第三外徑
28‧‧‧固持器ID凹槽
30‧‧‧外斜面
32‧‧‧內斜面
34‧‧‧實質上圓柱形ID
35‧‧‧環形密封件的頂表面
36‧‧‧較小OD部分
37‧‧‧環形密封件的底表面
38‧‧‧較大OD部分
39‧‧‧密封件的斜面
40‧‧‧負載調整鏜孔
41‧‧‧負載調整凹槽
42‧‧‧氣體或流體流道
44‧‧‧箭頭
46‧‧‧組件
48‧‧‧基塊
50‧‧‧組件埋頭孔
52‧‧‧基塊埋頭孔
54‧‧‧密封珠粒
56‧‧‧狹槽或間隙
57‧‧‧部分狹槽
110‧‧‧密封環總成
114‧‧‧環形密封件
116‧‧‧孔洞
118‧‧‧密封件的單一OD
134‧‧‧孔洞內徑
142‧‧‧流體流道
146‧‧‧組件
148‧‧‧基塊
152‧‧‧密封珠粒
160‧‧‧密封件的頂表面
182‧‧‧螺栓
圖1為先前技術W形密封件之等角視圖;圖2為圖1中所展示之W形密封件之等角視圖,其中圓周部分已經移除以說明密封件之橫截面;圖3為圖1及圖2中所展示之先前技術W形密封件之橫截面圖;圖4為圖1至圖3中所展示之先前技術W形密封件之分解圖;圖5為根據本發明之各種原理構造之一實例固持環的俯視圖;圖6為圖5中所展示之固持環之橫截面圖;圖7為圖6之由字母A所指示之部分的詳細橫截面圖;圖8為圖5至圖7之固持環之等角視圖;圖9為根據本發明之各種原理構造的經修改之實例固持環之俯視圖;圖10為圖9中所展示之固持環之橫截面圖;圖11為圖10之由字母B所指示之部分的詳細橫截面圖;圖12為圖9至圖11之固持環之等角視圖;圖13為根據本發明之各種原理構造之實例密封墊圈的 俯視圖;圖14為圖13中所展示之墊圈之正視圖;圖15為圖13及圖14中所展示之墊圈之橫截面圖;圖16為圖15之由字母C所指示之部分的詳細橫截面圖;圖17為圖13至圖16中所展示之墊圈之等角視圖;圖18為根據本發明之各種原理構造的經修改之實例密封墊圈之俯視圖;圖19為圖18中所展示之墊圈之等角視圖;圖20為圖18及圖19中所展示之墊圈之正視圖;圖21為圖18至圖20中所說明之墊圈之橫截面圖;圖22為說明根據本發明之各種原理構造的在裝配狀態中之實例固持環及墊圈之橫截面圖;圖23為類似於圖22之橫截面圖,其說明在密封件已完全安裝且壓縮至其操作狀態之後的經裝配之密封件;圖24為根據本發明之各種原理構造之另一實例密封件的等角視圖;圖25為根據本發明之各種原理構造之另一實例密封件的側視圖;圖26為根據本發明之各種原理構造之另一實例密封件的側視圖;圖27為根據本發明之各種原理構造之實例固持器的透視圖;圖28為根據本發明之各種原理構造之實例流體流動系 統的俯視圖;圖29為經由圖28之線29-29所截取之橫截面圖;圖30為經由圖29之線30-30所截取之橫截面圖;圖31為圖28至圖30中所展示之流體密封系統之分解等角視圖;圖32為圖31中所說明之系統之由字母E所指示的部分之放大分解等角視圖;

Claims (44)

  1. 一種密封環總成,其包含:一環形密封構件,其具有一內徑(ID)及一外徑(OD),且具有由該ID界定以用於流體通過之一軸向孔;一環形固持構件,其具有一ID及一OD,該固持構件之該ID大於該密封構件之該OD;及一包含一角平坦表面之斜面,其在該環形固持構件之一軸向最終端的至少一內轉角上,該斜面經建構成在將該密封構件***至該固持構件中時與該密封構件耦合,該斜面具有一小於該環形密封構件OD的ID,其中當該環形密封構件放置於該環形固持構件內時,該環形密封構件在該環形固持構件內浮動。
  2. 如申請專利範圍第1項之密封環總成,其進一步包含一斜面,該斜面在該環形固持構件之至少一外轉角上,以用於將該密封環總成容易地***至一埋頭孔中。
  3. 如申請專利範圍第1項之密封環總成,其中該環形密封構件之該OD包含一較小OD部分及一較大OD部分,且該固持構件之該ID包含一軸向圓柱形第一部分及一第二部分,該第二部分包含自該第一部分向外徑向延伸以用於收納及容納該環形密封構件之該較大OD部分之一凹槽,該較大OD部分向外徑向延伸至該凹槽中,並且其中該固持構件之該較小OD部分軸向延伸超過該固持構件之該凹槽。
  4. 如申請專利範圍第1項之密封環總成,其中該環形密封構件包含具有一ID、一OD、一上部密封表面及一下部密 封表面之一環形金屬密封件;且其中該環形固持構件界定一狹縫,該狹縫包含在該環形固持構件之周向連續性之一斷裂處,該狹縫建構以允許該環形固持構件在將該環形密封構件通過該斜面***至該環形固持構件中時打開。
  5. 如申請專利範圍第4項之密封環總成,其中在該環形密封構件安置於該環形固持構件之該ID內的密封環總成之裝配狀態中,圍繞該總成之圓周之一部分而在該環形固持構件與該環形密封構件之間存在一間隙,以藉此准許在該環形固持構件與該環形密封構件無實質接觸的情況下壓縮該環形固持構件。
  6. 如申請專利範圍第4項之密封環總成,其進一步包含在該環形固持構件之一環形邊緣與該環形密封構件之該上部密封表面及該下部密封表面中之一者之間的一凹處,當該密封環總成在一裝配狀態中時,該間隙起作用以保護該上部密封表面及該下部密封表面中之一者免受無意接觸之損壞。
  7. 如申請專利範圍第6項之密封環總成,其進一步包含在該環形固持構件之一相對環形邊緣與該環形密封構件之該上部密封表面及該下部密封表面中之另一者之間的一第二凹處間隙,當該密封環總成在該裝配狀態中時,該間隙用以藉此保護該上部密封表面及該下部密封表面中之另一者免受無意之接觸損壞。
  8. 如申請專利範圍第4項之密封環總成,其中該總成不 具有任何扣環。
  9. 一種用於密封一界定軸向方向的軸向流道之裝置,該裝置包含:一環形固持器,其具有一固持器外徑(OD)及一固持器內徑(ID),該內徑係成階梯式以在該固持器之一內表面中界定一凹槽,凹槽直徑大於該固持器ID且小於該固持器OD;一環形密封件,其包含:頂表面及底表面,其經建構以在處於一密封建構中時被壓縮,一階梯式外徑,其在該頂表面與該底表面之間,其中一第一外徑小於一第二直徑,其中該第二直徑大於該固持器ID並小於該凹槽直徑,一凹槽,其在該第一外徑與該第二外徑之間,該凹槽足以回應於該頂表面及該底表面上對該密封件之壓縮而實現該密封件中之彈性;其中該在該環形固持器內表面之凹槽界定該軸向相對的頂表面及底表面,該頂表面及該底表面在該固持器內徑以及該凹槽直徑之間延伸,該軸向相對的頂表面及底表面經配置以使得當該環形密封件放置於該環形固持器內時,該環形密封件具有該第二直徑的一部份配置在該軸向相對的頂表面及底表面之間,其中軸向相對的頂表面及底表面限制了該環形密封件在兩個軸向方向上的軸向運動:其中當該環形密封件放置於該環形固持器內時,該環 形密封件在該環形固持器內浮動。
  10. 如申請專利範圍第9項之裝置,其中該固持器包含具有一第一外徑及一第二外徑之一固持器外表面,其中該第一外徑小於該第二外徑。
  11. 如申請專利範圍第9項之裝置,其中該固持器包含在該固持器之一內邊緣上之一斜面,該斜面經建構以促進將該密封件置放於該固持器之凹槽中。
  12. 如申請專利範圍第9項之裝置,其中該固持器包含在該固持器之一外邊緣上之一斜面,該斜面經建構以促進將該固持器置放於一埋頭孔中。
  13. 一種用於密封一界定軸向方向的軸向流道之裝置,該裝置包含:一環形固持器,其具有一固持器外徑(OD)及一固持器內徑(ID),該內徑係成階梯式以在該固持器之一內表面中界定一凹槽,凹槽直徑大於該固持器ID且小於該固持器OD;一環形密封件,其包含:頂表面及底表面,其經建構以在處於一密封建構中時經壓縮,一階梯式外徑,其在該頂表面與該底表面之間,其中一第一外徑小於第二直徑,其中該第二直徑大於該固持器ID並小於該凹槽直徑,複數個鏜孔,其界定於該第一外徑中,該複數個鏜孔足以回應於該頂表面及該底表面上對該密封件之壓縮而實 現該密封件中之彈性;其中在該環形固持器內表面之該凹槽界定該軸向相對的頂表面及底表面,該頂表面及該底表面在該固持器內徑以及該凹槽直徑之間延伸,該軸向相對的頂表面及底表面經配置以使得當該環形密封件放置於該環形固持器內時,該環形密封件具有該第二直徑的一部份配置在該軸向相對的頂表面及底表面之間,其中軸向相對的頂表面及底表面限制了該環形密封件在兩個軸向方向上的軸向運動;其中該第一外徑小於該固持器ID,並且界定當該環形密封件放置於該環形固持器內時,該環形密封件之一軸向延伸部份軸向地延伸通過該凹槽的該軸向相對的頂表面及底表面的其中之一而到達環形固持器內表面。
  14. 如申請專利範圍第13項之裝置,其中該固持器包含具有一第一外徑及一第二外徑之一固持器外表面,其中該第一外徑小於該第二外徑。
  15. 如申請專利範圍第13項之裝置,其中該固持器包含在該固持器之一內邊緣上之一斜面,該斜面經建構以促進將該密封件置放於該固持器之凹槽中。
  16. 如申請專利範圍第13項之裝置,其中該固持器包含在該固持器之一外邊緣上之一斜面,該斜面經建構以促進將該固持器置放於一埋頭孔中。
  17. 一種用於密封一界定軸向方向的軸向流道之裝置,該裝置包含:一環形固持器,其具有一固持器外徑(OD)及一固持 器內徑(ID),該內徑係成階梯式以在該固持器之一內表面中界定一凹槽,凹槽直徑大於該固持器ID且小於該固持器OD;一環形密封件,其包含:頂表面及底表面,其經建構以在處於一密封建構中時經壓縮,一階梯式外徑,其在該頂表面與該底表面之間,其中一第一外徑小於第二直徑,其中該第二直徑大於該固持器ID並小於該凹槽直徑,複數個鏜孔,其以至少兩列而界定於該第一外徑及該第二外徑中之一或兩者中,該複數個鏜孔足以回應於該頂表面及該底表面上對該密封件之壓縮而實現該密封件中之彈性;其中該在該環形固持器內表面之凹槽界定該軸向相對的頂表面及底表面,該頂表面及該底表面在該固持器內徑以及該凹槽直徑之間延伸,該軸向相對的頂表面及底表面經配置以使得當該環形密封件放置於該環形固持器內時,該環形密封件具有該第二直徑的一部份配置在該軸向相對的頂表面及底表面之間,其中軸向相對的頂表面及底表面限制了該環形密封件在兩個軸向方向上的軸向運動;其中該第一外徑小於該固持器ID,並且界定當該環形密封件放置於該環形固持器內時,該環形密封件之一軸向延伸部份軸向地延伸通過該凹槽的該軸向相對的頂表面及底表面之的其中之一而到達環形固持器內表面。
  18. 如申請專利範圍第17項之裝置,其中該固持器包含具有一第一外徑及一第二外徑之一固持器外表面,其中該第一外徑小於該第二外徑。
  19. 如申請專利範圍第17項之裝置,其中該固持器包含在該固持器之一內邊緣上之一斜面,該斜面經建構以促進將該密封件置放於該固持器之凹槽中。
  20. 如申請專利範圍第17項之裝置,其中該固持器包含在該固持器之一外邊緣上之一斜面,該斜面經建構以促進將該固持器置放於一埋頭孔中。
  21. 一種用於密封一界定軸向方向的軸向流道之裝置,該裝置包含:一環形固持器,其包含:一固持器外表面,其具有一第一外徑及一第二外徑,其中該第一外徑小於該第二外徑,一固持器內徑(ID),該內徑係成階梯式以在該固持器之一內表面中界定在該固持器外表面之第二外徑內部且與該固持器外表面之第二外徑相對之一凹槽,凹槽直徑大於該固持器ID且小於該第二外徑;一環形密封件,其包含:頂表面及底表面,其經建構以在處於一密封建構中時經壓縮,一階梯式外徑,其在該頂表面與該底表面之間,其中一第一外徑小於第二直徑,其中該第二直徑大於該固持器ID並小於該凹槽直徑, 一凹槽,其在該第一外徑與該第二外徑之間,該凹槽足以回應於該頂表面及該底表面上對該密封件之壓縮而實現該密封件中之彈性:其中該在該環形固持器內表面之凹槽界定該軸向相對的頂表面及底表面,該頂表面及該底表面在該固持器內徑以及該凹槽直徑之間延伸,該軸向相對的頂表面及底表面經配置以使得當該環形密封件放置於該環形固持器內時,該環形密封件具有該第二直徑的一部份配置在該軸向相對的頂表面及底表面之間,其中軸向相對的頂表面及底表面限制了該環形密封件在兩個軸向方向上的軸向運動;其中當該環形密封件放置於該環形固持器內時,該環形密封件在該環形固持器內浮動。
  22. 如申請專利範圍第21項之裝置,其中該固持器包含在該固持器之一內邊緣上之一斜面,該斜面經建構以促進將該密封件置放於該固持器之凹槽中。
  23. 如申請專利範圍第21項之裝置,其中該固持器包含在該固持器之一外邊緣上之一斜面,該斜面經建構以促進將該固持器置放於一埋頭孔中。
  24. 一種用於密封一界定軸向方向的軸向流道之裝置,該裝置包含:一環形固持器,其包含:一固持器外表面,其具有一第一外徑及一第二外徑,其中該第一外徑小於該第二外徑,一固持器內徑(ID),該內徑係成階梯式以在該固持器 之一內表面中界定在該固持器外表面之第二外徑內部且與該固持器外表面之第二外徑相對之一凹槽,凹槽直徑大於該固持器ID且小於該第二外徑;一環形密封件,其包含:頂表面及底表面,其經建構以在處於一密封建構中時經壓縮,一階梯式外徑,其在該頂表面與該底表面之間,其中一第一外徑小於第二直徑,其中該第二直徑大於該固持器ID並小於該凹槽直徑,複數個鏜孔,其以至少兩列而界定於該第一外徑及該第二外徑中之一或兩者中,該複數個鏜孔足以回應於該頂表面及該底表面上對該密封件之壓縮而實現該密封件中之彈性;其中該在該環形固持器內表面之凹槽界定該軸向相對的頂表面及底表面,該頂表面及該底表面在該固持器內徑以及該凹槽直徑之間延伸,該軸向相對的頂表面及底表面經配置以使得當該環形密封件放置於該環形固持器內時,該環形密封件具有該第二直徑的一部份配置在該軸向相對的頂表面及底表面之間,其中軸向相對的頂表面及底表面限制了該環形密封件在兩個軸向方向上的軸向運動;其中當該環形密封件放置於該環形固持器內時,該環形密封件在該環形固持器內浮動。
  25. 如申請專利範圍第24項之裝置,其中該固持器包含在該固持器之一內邊緣上之一斜面,該斜面經建構以促進 將該密封件置放於該固持器之凹槽中。
  26. 如申請專利範圍第24項之裝置,其中該固持器包含在該固持器之一外邊緣上之一斜面,該斜面經建構以促進將該固持器置放於一埋頭孔中。
  27. 一種用於密封一界定軸向方向的軸向流道之裝置,該裝置包含:一環形固持器,其具有一固持器外徑(OD)及一固持器內徑(ID),該內徑係成階梯式以在該固持器之一內表面中界定一凹槽,凹槽直徑大於該固持器ID且小於該固持器OD;一環形密封件,其包含:頂表面及底表面,其經建構以在處於一密封建構中時經壓縮,一階梯式外徑,其在該頂表面與該底表面之間,其中一第一外徑小於第二直徑;其中該第二直徑大於該固持器ID並小於該凹槽直徑,其中該在該環形固持器內表面之凹槽界定該軸向相對的頂表面及底表面,該頂表面及該底表面在該固持器內徑以及該凹槽直徑之間延伸,該軸向相對的頂表面及底表面經配置以使得當該環形密封件放置於該環形固持器內時,該環形密封件具有該第二直徑的一部份配置在該軸向相對的頂表面及底表面之間,其中軸向相對的頂表面及底表面限制了該環形密封件在兩個軸向方向上的軸向運動;其中當該環形密封件放置於該環形固持器內時,該環 形密封件在該環形固持器內浮動。
  28. 如申請專利範圍第27項之裝置,其中該固持器包含具有一第一外徑及一第二外徑之一固持器外表面,其中該第一外徑小於該第二外徑。
  29. 如申請專利範圍第27項之裝置,其中該固持器包含在該固持器之一內邊緣上之一斜面,該斜面經建構以促進將該密封件置放於該固持器之凹槽中。
  30. 如申請專利範圍第27項之裝置,其中該固持器包含在該固持器之一外邊緣上之一斜面,該斜面經建構以促進將該固持器置放於一埋頭孔中。
  31. 一種用於密封一界定軸向方向的軸向流道之裝置,該裝置包含:一環形固持器,其包含:一固持器外表面,其具有一第一外徑及一第二外徑,其中該第一外徑小於該第二外徑,一固持器內徑(ID),該內徑係成階梯式以在該固持器之一內表面中界定在該固持器外表面之第二外徑內部且與該固持器外表面之第二外徑相對之一凹槽,凹槽直徑大於該固持器ID且小於該第二外徑;一環形密封件,其包含:頂表面及底表面,其經建構以在處於一密封建構中時經壓縮,一階梯式外徑,其在該頂表面與該底表面之間,其中一第一外徑小於第二直徑,其中該第二直徑大於該固持器 ID並小於該凹槽直徑,其中該在該環形固持器內表面之凹槽界定該軸向相對的頂表面及底表面,該頂表面及該底表面在該固持器內徑以及該凹槽直徑之間延伸,該軸向相對的頂表面及底表面經配置以使得當該環形密封件放置於該環形固持器內時,該環形密封件具有該第二直徑的一部份配置在該軸向相對的頂表面及底表面之間,其中軸向相對的頂表面及底表面限制了該環形密封件在兩個軸向方向上的軸向運動;其中該第一外徑小於該固持器ID,並且界定當該環形密封件放置於該環形固持器內時,該環形密封件之一軸向延伸部份軸向地延伸通過該凹槽的該軸向相對的頂表面及底表面的其中之一而到達環形固持器內表面。
  32. 如申請專利範圍第31項之裝置,其中該固持器包含在該固持器之一內邊緣上之一斜面,該斜面經建構以促進將該密封件置放於該固持器之凹槽中。
  33. 如申請專利範圍第31項之裝置,其中該固持器包含在該固持器之一外邊緣上之一斜面,該斜面經建構以促進將該固持器置放於一埋頭孔中。
  34. 一種用於密封一軸向流道之裝置,該裝置包含:一環形密封件,其包含:頂表面及底表面,其經建構以在處於一密封建構中時經壓縮,一階梯式外徑,其在該頂表面與該底表面之間,其中一第一外徑小於第二直徑; 一環形固持器,其界定一內部凹槽,該內部凹槽經建構以固持該環形密封件之至少一部分,該環形固持器界定:一環形延伸部分,其軸向延伸超過該內部凹槽,及一斜面,其在與該環形延伸部分軸向地相對之一該環形固持器的一軸向最終端之外邊緣上,該斜面經建構以嚙合一埋頭孔之一邊緣以促進***至該埋頭孔中;其中當該環形密封件放置於該環形固持器件內時,該環形密封件在該環形固持器內浮動。
  35. 一種用於密封一界定軸向方向的軸向流道之裝置,該裝置包含:一環形固持器,其包含:一固持器外表面,其具有一第一外徑及一第二外徑,其中該第一外徑小於該第二外徑,一固持器內徑(ID),該內徑係成階梯式以在該固持器之一內表面中界定在該固持器外表面之第二外徑內部且與該固持器外表面之第二外徑相對之一凹槽,凹槽直徑大於該固持器ID且小於該第二外徑;一環形密封件,其包含:頂表面及底表面,其經建構以在處於一密封建構中時經壓縮,一階梯式外徑,其在該頂表面與該底表面之間,其中一第一外徑小於第二直徑,其中該第二直徑大於該固持器ID並小於該凹槽直徑;一凹槽,其在該第一外徑與該第二外徑之間,該凹槽 足以回應於該頂表面及該底表面上對該密封件之壓縮而實現該密封件中之彈性,其中該在該環形固持器內表面之凹槽界定該軸向相對的頂表面及底表面,該頂表面及該底表面在該固持器內徑以及該凹槽直徑之間延伸,該軸向相對的頂表面及底表面經配置以使得當該環形密封件放置於該環形固持器內時,該環形密封件具有該第二直徑的一部份配置在該軸向相對的頂表面及底表面之間,其中軸向相對的頂表面及底表面限制了該環形密封件在兩個軸向方向上的軸向運動;其中該第一外徑小於該固持器ID,並且界定當該環形密封件放置於該環形固持器內時,該環形密封件之一軸向延伸部份軸向地延伸通過該凹槽的該軸向相對的頂表面及底表面的其中之一而到達環形固持器內表面。
  36. 如申請專利範圍第35項之裝置,其中該固持器包含在該固持器之一內邊緣上之一斜面,該斜面經建構以促進將該密封件置放於該固持器之凹槽中。
  37. 如申請專利範圍第35項之裝置,其中該固持器包含在該固持器之一外邊緣上之一斜面,該斜面經建構以促進將該固持器置放於一埋頭孔中。
  38. 如申請專利範圍第35項之裝置,其中該密封件包含在該密封件之一外邊緣上之一斜面,該斜面經建構以促進將該密封件置放於該固持器中。
  39. 如申請專利範圍第35項之裝置,其中該固持器之該第一外徑界定自該第一外徑徑向向內至小於該第一外徑之 一第三外徑的一階部,其中該階部經建構以促進與一構件之嚙合以自一埋頭孔提取該第二外徑。
  40. 如申請專利範圍第35項之裝置,其中該固持器界定至少一狹槽。
  41. 如申請專利範圍第40項之裝置,其中該至少一狹槽僅界定於該固持器之該第二外徑中。
  42. 一種用於密封一界定軸向方向的軸向流道之裝置,該裝置包含:一實質上環形之固持器,其包含:一固持器外表面,其具有一第一外徑及一第二外徑,其中該第一外徑小於該第二外徑,其中該第二外徑建構為與一之埋頭孔內表面耦合;一固持器內徑(ID),該內徑係成階梯式以在該固持器之一內表面中界定在該固持器外表面之第二外徑內部且與該固持器外表面之第二外徑相對之一凹槽,凹槽直徑大於該固持器ID且小於該第二外徑,其中該凹槽界定在該固持器ID以及凹槽直徑之間延伸的該軸向相對的頂表面及底表面,其中該固持器外表面包含:一建構於該第一外徑以及第二外徑之間的第三外徑,並且該第三外徑小於該第一外徑及第二外徑,一自該第一外徑徑向向內至該第三外徑的一階部,其中該階部經建構以促進與一構件之嚙合以自一埋頭孔提取該第二外徑; 一環形密封件,其包含:頂表面及底表面,其經建構以在處於一密封建構中時經壓縮,一外徑,其經設定大小以支撐於該固持器之該凹槽中,其中該軸向相對的頂表面及底表面經配置以使得當該環形密封件放置於該環形固持器內時,該環形密封件具有該第二直徑的一部份配置在該軸向相對的頂表面及底表面之間,其中軸向相對的頂表面及底表面限制了該環形密封件在兩個軸向方向上的軸向運動:其中當該環形密封件放置於該環形固持器內時,該環形密封件在該環形固持器內浮動。
  43. 一種裝配具有至少一狹槽之一環形固持器與一密封環的方法,該方法包含:沿著一狹槽與該固持器之一內邊緣上之一斜面相抵而嚙合該密封環以擴展該固持器,該狹槽建構以允許該固持器在將該密封環通過該斜面***時打開,該狹槽包含在該固持器之周向連續性之一斷裂處,該狹縫界定相對的端面,該端面在將該環形密封構件通過該斜面***時彼此擴展分開;將密封件滑動至接近於該固持器之一內部部分上之一固持器凹槽;當該密封環在該凹槽中時至少部分地鬆弛該固持器以使得在一鬆弛狀態中之該固持器環繞該密封環而不夾持該密封環,以使得該密封環在該固持器內浮動。
  44. 如申請專利範圍第43項之方法,其進一步包含:在該密封件固持於該凹槽中之情況下擠壓該固持器;相對於一埋頭孔而定位該經擠壓之固持器;釋放該固持器以實現該固持器在該埋頭孔中之置放。
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