TWI482974B - 接觸式探針及探針座 - Google Patents

Description

接觸式探針及探針座

本發明係關於用於檢查半導體積體電路等之接觸式探針以及設有該接觸式探針之探針座。

於待檢查對象物(譬如半導體積體電路)之檢查之情形中，一般係使用接觸式探針以便將該待檢查對象物電性連接至設置在測量儀器側之檢查用板。

茲參照第7A和7B圖說明相關技藝的接觸式探針。第7A圖顯示接觸式探針之整體結構。第7B圖係顯示於第7A圖中畫圓圈部分Q之表示接觸式探針之內部接觸點之放大圖。如第7A、7B圖中所示，此類型之接觸式探針具有一種結構，即，第一柱塞61係與第二柱塞62直接接觸，其中，第一柱塞61係為連接於譬如半導體積體電路等待檢查對象物的連接組件，該第二柱塞62則作為連接至檢查用板之連接組件，以減小電流之通過電阻(passing resistance)。待檢查對象物與檢查用板之間的接觸點係藉由將該第一和第二柱塞61、62利用由壓縮線圈彈簧63所產生之彈力分別抵接待檢查對象物與檢查用板而得以確保，該線圈彈簧63為接觸式探針之組件。對應於接合點(第一柱塞61之圓柱狀部和第二柱塞62之圓筒狀部係於此接合點彼此接合)之接觸式探針之內部接觸點具有餘隙(活動範圍)使其得以順暢滑動，如第7B圖中所示。因此，接觸狀態未能穩定，而且通過電阻也不穩定。JP-A-4-270967揭示了相似的結構。

而且，JP-B-6-28699U揭示一種使第一柱塞與第二柱塞接觸之技術。然而，此技術於柱塞之直徑較小的情況中不能付諸實施，因為需要具有高準確度之加工技術。

於第7A和7B圖中所示之相關技藝的接觸式探針之情況中，由於接觸式探針之內部接觸點之餘隙，會有通過電阻不穩定之問題。而且，揭示於JP-B-6-28699U之相關技藝的結構不能夠應用於電極以小間距配置於譬如半導體積體電路等待檢查對象物之情況，因為該結構需要具有高準確度之加工技術。

因此，本發明之目的為提供一種能夠將譬如半導體積體電路等待檢查對象物於電性穩定狀態下以低電阻連接至檢查用板的接觸式探針，以及設有該接觸式探針之探針座。

本發明之另一目的為提供一種即使在該接觸式探針之完成品之外徑極小之情況，也能夠用普通加工技術製造的接觸式探針，以及一種設有該接觸式探針之探針座。

為了達成上述目的，依照本發明，係提供一種接觸式探針，包括：第一柱塞，用以連接至待檢查對象物；第二柱塞，用以連接至檢查用板；以及彈簧，用以彈性推動該第一和第二柱塞，使該第一和第二柱塞朝彼此分開之方向移動，其中，該第一和第二柱塞中之一者之柱狀部(下文中有稱為圓柱狀部之情形)以可滑動方式與該第一和第二柱塞中之另一者之筒狀部(下文中有稱為圓筒狀部的情形)之內周接合，該柱狀部包含與該筒狀部之內周之一部分接觸之彈性變形部。

該彈性變形部可利用由彈性變形所產生之反推斥力而與該筒狀部之該內周之一部分接觸。

彈性變形部可以包含兩端部分和該等端部分間之中間部，而該中間部之直徑可以小於該等端部分。

中間部可以具有外徑連續改變之形狀。

於該第一和第二柱塞之相對移動之範圍內，該彈性變形部之整體長度可被包含在該筒狀部之內周內。

鄰接彈性變形部且具有固定外徑之柱狀部之一部分係於第一和第二柱塞之相對移動之範圍內被包含在筒狀部之內周中。

依照本發明，亦提供一種探針座，包括用以保持複數個接觸探針之絕緣支撐體。

為了達成上揭目的，依照本發明，亦提供一種用以連接到待檢查對象物和檢查用板的接觸式探針，該接觸式探針包括：第一柱塞，包含彎曲之第一端部；以及第二柱塞，包含第二端部，該第一端部係***於該第二端部中，該第二端部之內表面之至少一部分係與該彎曲之第一端部之至少一部分接觸。

茲參照各圖式說明本發明之較佳實施形態。應注意的是，顯示於圖式中之相同或相等之構成元件、部件、方法等將標示以相同的元件符號，並將適當地省略其重複說明。而且，該等實施形態僅係以例示方式顯示本發明，並非用以限制本發明。說明於實施形態中之所有特點和該等特點之結合對於本發明而言並非均屬必要者。

茲參照第1A至1C圖和第2A、2B圖說明本發明之第一實施形態。於第2A、2B圖中，係以放大尺度顯示第1B圖中的劃圓圈部分P，其包含接觸式探針之內部接點。於這些圖式中，接觸式探針10具有第一柱塞1、第二柱塞2、和線圈彈簧3。該第一柱塞1為用以與待檢查對象物5接觸之連接組件，該第二柱塞2為用以與檢查用板6接觸之連接組件，而線圈彈簧3係用來彈性推動該第一和第二柱塞，使該第一和第二柱塞朝彼此分開之方向移動。該待檢查對象物5係例如為半導體積體電路，電極係以預定之間距配置在該半導體積體電路上。於圖示之實施形態中，電極凸塊5a以預定之間距配置。檢查用板6係設置有將以預定之間距連接至測量儀器側之電極墊(未圖示)。

第1A圖中所示之探針座30包含絕緣支撐體31，該絕緣支撐體31具有以預定之間距平行配置複數個接觸式探針10之中空部32。該接觸式探針10係***並配置在各中空部32中。

接觸式探針10(其為導電金屬體)之第一柱塞1係例如藉由使用鈹-銅合金作為基質，並且於其表面使用金電鍍而形成。此第一柱塞1於其中段部位具有凸緣部11，而在該凸緣部11之前的末端側係形成為末端側主體部12。於相對側，形成有彈簧安裝部13，和從該彈簧安裝部13延伸之滑動圓柱體部14。如第1C圖、和2A、2B圖所明示者，該滑動圓柱體部14具有基本直徑部15和彈性變形部16，而該基本直徑部15具有小於彈簧安裝部13之直徑的固定外徑之直線圓柱狀部。彈性變形部16為已經彎曲之彎曲部，而使得其可以具有彈性，且其中間部16c之直徑係形成小於二個端部16a、16b(具有與基本直徑部15相同的直徑)之直徑，用以調整由彈性變形所產生之反推力。於此實施形態中，中間部16c具有一種形狀，使得較小之錐形部連接於具有固定直徑之二個部分，而藉由將中間部16c作得較小，而使彈力變得相當弱。

接觸式探針10之第二柱塞2為由金合金等形成之導電金屬體，並且具有圓筒形，該圓筒形於末端側(下端側)封閉，並且於圓筒部24之中間部設有凸緣部21。超出該凸緣部21之末端部形成為末端側主體部22，而相對側形成為彈簧安裝部23。

用來彈性推動該第一和第二柱塞1、2使彼等朝彼此分開方向移動之線圈彈簧3可以由一般材料形成，譬如鋼琴線、不鏽鋼線、等等。

如第1C圖中所示，第一柱塞1之彈性變形部16之彎曲量係設定成大於滑動圓柱部14之基本直徑部15與第二柱塞2之圓筒部24之內周面25間之餘隙。因此，第一柱塞1之滑動圓柱部14至少會於二個接觸點與第二柱塞2之內周面25接觸。如第1B圖中所示，藉由該第一柱塞1之滑動圓柱部14***於該第二柱塞2之內周面25之內，而形成該第一和第二柱塞1、2之間之接觸點，藉此將整個彈性變形部16與一部分之基本直徑部15定位在內周面25內。因此，會在下述兩個接觸點上產生接觸，其中之一係位於滑動圓柱部14之延伸方向上接近末端側主體部12；另一接觸點則位於該末端側主體部12之相對側，且位於平行於滑動圓柱部14之延伸方向之方向的線上，包含相對於在內周面25之徑向上之前述一接觸點之部分。然後，如第2A圖所示，由於彈性變形部16之彈力，反推力F1會於一個接觸點上施加於內周面25，而反推力F2則施加於另一個接觸點。結果，滑動圓柱部14之一部分(於第2A圖中，接近彈性變形部16之二端部之部分)會與內周面25彈性接觸。彈簧3係設置於該第一柱塞1之凸緣部11與第二柱塞2之凸緣部21之間。詳言之，彈簧3之一端套合於彈簧安裝部13之外周，而另一端係套合於彈簧安裝部23之外周。

藉由組合三個構件(亦即，如第1B圖中所示，第一柱塞1、第二柱塞2、和彈簧3)而製成之接觸式探針10係***配置於第1A圖中之絕緣支撐體31之中空部32中。於中空部32之開口側之滑動支撐部33、34係以可滑動方式支撐(接合)該第一和第二柱塞1、2之各末端側主體部12、22。除了於開口側之可滑動支持部33、34之外，中間部35具有可使凸緣部11、21和彈簧3自由移動於中間部35之內側之直徑。而且，絕緣支撐體31能夠分割成複數個層，使得接觸式探針10能夠組入中空部32(未圖示)。

舉例而言，接觸式探針10之完成品之外徑ψ1為0.3mm，圓筒部24之外徑ψ2為0.2mm，而圓筒部24之內徑ψ3為0.12mm。而且，基本直徑部15之外徑ψ4為0.1mm。再者，第一柱塞1之彈性變形部16之彎曲量係設定為大於滑動圓柱部14之基本直徑部15與第二柱塞2之圓筒部24之內周面25之間之餘隙，該彎曲量為0.02mm(ψ3至ψ4)。

於第一實施形態中，一個接觸點係形成在基本直徑部15及/或彈性變形部16之一個端部16b之間的接觸位置，該彈性變形部16係位在接近該末端側主體部12和內周面25，同時另一個接觸點係形成在彈性變形部16之另一個端部16a與內周面25之間的接觸位置。

於使用已經如第1A圖所示地組裝之探針座30施行檢查之情況中，探針座30係定位並放置於檢查用板6上。結果，第二柱塞2之末端側主體部22會與檢查用板6之電極墊彈性接觸。

於未設置譬如半導體積體電路等待檢查對象物5之狀態中，第一柱塞1係朝突出方向移動，直到凸緣部11在開口側被滑動支撐部33限制為止，而末端側主體部12之突出量為最大。因為待檢查對象物5係配置成以預定的距離相對於該探針座30之絕緣支撐體31，所以該末端側主體部12會往後移而壓縮該彈簧3，結果，使末端側主體部12與待檢查對象物5之電極凸塊5a彈性接觸。

如已參照第1C和2A圖說明者，第一柱塞1之彈性變形部16之彎曲量係設定為大於滑動圓柱部14之基本直徑部15與第二柱塞2之內周面25間之餘隙。因此，由於彈性變形部16之彈性所產生之反推力F1、F2係施加於內周面25，故於該第一和第二柱塞1、2之接觸點，且滑動圓柱部14之一部分會與內周面25彈性接觸。從而，該第一和第二柱塞1、2之接觸點總是保持於低度和穩定的電阻值。

第2B圖顯示接觸式探針10內側之內部電性通路。流自第一柱塞1之電流E1係通過第二柱塞2作為電流E2流經一個接觸點，和作為電流E3流經另一個接觸點。反之，流自第二柱塞2之電流E2、E3則通過第一柱塞1作為電流E1。

第8圖顯示如第7A和7B圖所示之相關技藝的接觸式探針之電阻值特性，其為針對作為樣本的10個接觸式探針所進行的測量結果。作為測量之方法，接觸式探針夾持於如第10圖中所示地連接至定電壓電源供應器之電極之間，且改變所使用之接觸式探針之長度，以測量接觸式探針之通過電阻，該所測得之通過電阻係從流經接觸式探針之電流獲得。從第8圖所示的測量結果，發現到在取樣之間有大的散亂度(dispersion)，並且電阻值高。而且亦發現到當所使用之接觸式探針之長度改變時，電阻值之變動大。

第9圖顯示本發明第一實施形態之接觸式探針之電阻值特性，其為針對作為樣本的10個接觸式探針進行的測量結果。測量之方法相同於第8圖之情況。從第9圖所示之測量結果，發現到樣品之間之散亂度小，並且電阻值亦低。而且，亦發現到當所使用之接觸式探針之長度改變時，電阻值之變動很小。

依照本發明之實施形態，能夠獲得下列之優點：

(1)第一柱塞1之滑動圓柱部14與第二柱塞2之筒狀部24之內周係以可滑動方式接合，而該滑動圓柱部14具有彈性變形部16。該彈性變形部16係利用由彈性變形所產生之反推力F1、F2(參看第2A圖)而與該圓筒部24之內周面25接觸，因此，柱塞之間之接觸(換言之，於接觸式探針內側接觸點之接觸)總是被可靠地維持。結果，能夠降低和穩定通過電阻。

(2)雖然完成品之外徑極端的小，但能夠藉由普通加工技術生產接觸式探針10。因此，能夠實現一種可應用於電極係以小間距(例如，於大約0.4 mm間距)配置於待檢查對象物5(譬如半導體積體電路)上之情況的探針座30。

(3)第一柱塞1之彈性變形部16具有中間部16c，該中間部16c小於二個端部16a、16b，因此，不管滑動圓柱部14之外徑如何，都能夠獲得適當的彈簧性能。換言之，能夠容易將彈性變形部16之彈力(也就是說，反推力F1、F2)設定在適當的值。這是因為藉由較小的中間部16c而使得彈力減弱，並且，即使彎曲變形量極大也能夠確保可滑動性。藉由設定彈力於適當的值，能夠維持彈性變形部16相對於內周面25之平穩滑動。而且，彈性變形部16之端部16a(其為第一柱塞1之最末端)於與另一個接觸點接合之區域具有與基本直徑部15相同的直徑，因此，相較於彈性變形部16之端部16a具有與中間部16c相同直徑之情況，小量之彎曲變形就已足夠。

(4)第一和第二柱塞1、2之相對移動之範圍係視在絕緣支撐體31中的中空部32之中間部35之長度而定。於第一柱塞1相對於第二柱塞2之相對移動範圍內，彈性變形部16之整個長度和延續至彈性變形部16並且具有固定外徑的基本直徑部15之一部分，也就是說，一個和另一個接觸點，總是包含在圓筒部24之內周。因此，當接觸式探針10和探針座30組合時，可防止彈性變形部16之變形量可能由於錯誤而改變之問題發生。而且，藉由以一個和另一個接觸點包含在圓筒部24之內周的方式建構接觸式探針，在彈簧3已經被簡單地裝配於彈簧安裝部13、23且在被組合至探針座30之前尚未被壓縮(於暫時組合狀態)之狀態下，當接觸式探針於暫時組合狀態輸送時，能防止該可變形部16之變形量由於錯誤而改變之問題發生。

第3圖顯示本發明之第二實施形態中於該第一柱塞1和該第二柱塞2之間包含有接觸點之結構，其中彈性變形部41係形成為具有與基本直徑部15相同的直徑。於基本直徑部15之一部分和於彈性變形部41之端部41a，也就是說，第一柱塞1之滑動圓柱部14之最末端處，第一柱塞1係與第二柱塞2之圓筒部24之內周面25彈性接觸。其他的結構實質上相同於第一實施形態者，其已於上述說明。

於此情況中，有利點在於能夠僅藉由彎曲該第一柱塞1之滑動圓柱部14而形成彈性變形部41。然而，為了設定彈力於適當值，彈性變形部41之彎曲變形量必須不能太大。

第4圖顯示於本發明第三實施形態中於該第一柱塞1和該第二柱塞2之間包含接觸點之結構，其中彈性變形部42形成具有與基本直徑部15相同的直徑。於基本直徑部15之一部分、於彈性變形部42之中間點42a處，也就是說，接近第一柱塞1之滑動圓柱部14之最末端，以及於滑動圓柱部14之最末端(彈性變形部42之末端)之位置，第一柱塞1會與第二柱塞2之圓筒部24之內周面25彈性接觸。其他的結構實質上相同於第一實施形態者，其已於上述說明。

於此情況中，有利點在於能夠僅藉由彎曲該第一柱塞1之滑動圓柱部14而形成彈性變形部42。然而，為了設定彈力於適當的值，彈性變形部41之彎曲變形量必須不能太大。

第5圖顯示於第四實施形態中於該第一柱塞1和第二柱塞2之間包含接觸點之結構，其中彈性變形部51形成具有較基本直徑部15為小的直徑。於基本直徑部15之一部分，在彈性變形部51之中間點51a處，也就是說，接近第一柱塞1之滑動圓柱部14之最末端，以及於滑動圓柱部14之最末端(彈性變形部51之末端)之位置，第一柱塞1會與第二柱塞2之圓筒部24之內周面25彈性接觸。其他的結構實質上相同於第一實施形態者，其已於上述說明。

於此情況中，因為使彈性變形部51比基本直徑部15小，因此能夠容易將彈力設定於適當值。詳言之，因為彈性變形部51製得較小，彈力減弱，而因此能夠達成相對於內周面25之平穩滑動，即使彈性變形部51之彎曲變形量極大亦是如此。

第6圖顯示於第五實施形態中於該第一柱塞1和該第二柱塞2之間包含接觸點之結構，其中彈性變形部52具有藉由連續改變其外徑而作得漸漸較二個端部52a、52b(具有與基本直徑部15相同的直徑)為小的中間部52c。於基本直徑部15之一部分及/或位在靠近於末端側主體部12之彈性變形部52之一個端部52b、於彈性變形部52之另一個端部52a(也就是說，第一柱塞1之滑動圓柱部14之最末端)處，第一柱塞1為與第二柱塞2之圓筒部24之內周面25彈性接觸。其他的結構實質上相同於第一實施形態者，其已於上述說明。

於此情況中，因為彈性變形部52之中間部52c作得較滑動圓柱部14之基本直徑部15小，因此能夠容易將彈力設定於適當值。詳言之，因為彈性變形部52之中間部52c作得較小，彈力減弱，因此能夠達成相對於內周面25之平穩滑動，即使彈性變形部52之彎曲變形量極大亦是如此。而且，因為彈性變形部52之端部52a(其為滑動圓柱部14之最末端)具有與基本直徑部15相同的直徑，因此彈性變形部52之彎曲變形量可以小於第四實施形態中之彈性變形部51者(其沿著其整個長度較小)。因此，於此方面亦能確保平穩滑動效能。

雖然本發明已經參照作為例子之實施形態作了說明，但是熟悉此項技術者應該了解到，於申請專利範圍所述之範疇內各種修改能夠附加至各種構成元件和方法中。該等修改將說明如下。

於實施形態中，第一柱塞1(為連接待檢查對象物5之連接組件)具有滑動圓柱部14，而第二柱塞2(用以連接檢查用板6之連接組件)具有圓筒部24。然而，反之，其可能於第一柱塞1中形成圓筒部，以形成以可滑動方式與圓筒部接合之滑動圓柱部，於第二柱塞2中，於該滑動圓柱部形成彈性變形部16。

依照本發明之態樣，於接觸式探針中，具有用以連接至待檢查對象物之第一柱塞、和用以連接至檢查用板之第二柱塞，其中一個柱塞之柱狀部與另一個柱塞之筒狀部之內周以可滑動方式接合，該柱狀部具有彈性變形部，而該彈性變形部利用由彈性變形所導致之反推力而與該筒狀部之內周面接觸。其後，各柱塞之間之接觸，於接觸式探針之內部接觸點之接觸能夠可靠地維持。結果，能夠降低和穩定電流之通過電阻。

而且，即使在完成品的外徑為極小之情況，也能藉由普通加工技術製造接觸式探針。結果，可實現應用於電極係以小間距配置於譬如半導體積體電路等待檢查對象物上之情況之探針座。

1、61．．．第一柱塞

2、62．．．第二柱塞

3、63．．．線圈彈簧

5．．．待檢查對象物

5a．．．電極凸塊

6．．．檢查用板

10．．．接觸式探針

11、21．．．凸緣部

12、22．．．末端側主體部

13、23．．．彈簧安裝部

14．．．滑動圓柱部

15．．．基本直徑部

16、41、42、51、52．．．彈性變形部

16a、16b、41a、52a、52b．．．端部

16c、42a、51a、52c．．．中間部

24．．．圓筒部

25．．．內周

30．．．探針座

31．．．絕緣支撐體

32．．．中空部

33、34．．．滑動支撐部

35．．．中間部

ψ1、ψ2、ψ4．．．外徑

ψ3．．．內徑

E1、E2．．．電流

F1、F2．．．反推力

P、Q．．．劃圓圈部分

第1A圖至第1C圖顯示本發明第一實施形態，其中第1A圖為探針座之前視剖面圖，第1B圖為接觸式探針之前視剖面圖，而第1C圖為顯示接觸式探針之一柱塞(第一柱塞)之前視圖。

第2A圖及第2B圖顯示於該第一實施形態中該第一柱塞和該第二柱塞之間之接觸點，其中第2A圖為用來解釋由彈性變形部所產生之反推力之剖面放大圖，而第2B圖為顯示電流流經該第一柱塞和該第二柱塞之間之剖面放大圖。

第3圖為顯示於本發明第二實施形態中於該第一柱塞和該第二柱塞之間之接觸點之剖面放大圖。

第4圖為顯示於本發明第三實施形態中於該第一柱塞和該第二柱塞之間之接觸點之剖面放大圖。

第5圖為顯示於本發明第四實施形態中於該第一柱塞和該第二柱塞之間之接觸點之剖面放大圖。

第6圖為顯示於本發明第五實施形態中於該第一柱塞和該第二柱塞之間之接觸點之剖面放大圖。

第7A圖及第7B圖顯示相關技藝之接觸式探針，其中第7A圖為前視剖面圖，而第7B圖為該第一柱塞和該第二柱塞之間之接觸點之剖面放大圖。

第8圖為第7圖中所示相關技藝之接觸式探針之電阻值之特性曲線圖。

第9圖為依照本發明之第一實施形態中接觸式探針之電阻值之特性曲線圖。

第10圖顯示測量接觸式探針之電阻值特性之方法的說明圖。

1．．．第一柱塞

2．．．第二柱塞

3．．．線圈彈簧

5．．．待檢查對象物

5a．．．電極凸塊

6．．．檢查用板

10．．．接觸式探針

11、21．．．凸緣部

12、22．．．末端側主體部

13、23．．．彈簧安裝部

14．．．滑動圓柱部

15．．．基本直徑部

16．．．彈性變形部

16a、16b．．．端部

16c．．．中間部

24．．．圓筒部

25．．．內周

30．．．探針座

31．．．絕緣支撐體

32．．．中空部

33、34．．．滑動支撐部

35．．．中間部

ψ1．．．外徑

P．．．劃圓圈部分

Claims (8)

1. 一種接觸式探針，包括：第一柱塞，用以連接至待檢查對象物；第二柱塞，用以連接至檢查用板；以及彈簧，可彈性推動該第一和第二柱塞，使該第一和第二柱塞朝彼此分開之方向移動，其中該第一和第二柱塞中之一者之柱狀部以可滑動方式與該第一和第二柱塞中之另一者之筒狀部之內周接合，該柱狀部包含彈性變形部，該彈性變形部係彎曲成在至少兩個接觸點與該筒狀部之內周之一部分接觸，其中該兩個接觸點係沿著該柱狀部之延伸方向彼此分離，且在該筒狀部之徑向方向彼此相對向。
2. 如申請專利範圍第1項之接觸式探針，其中，該彈性變形部係利用由彈性變形所產生之反推力而與該筒狀部之該內周之部分接觸。
3. 如申請專利範圍第1項之接觸式探針，其中，該彈性變形部包含兩端部和該等端部間之中間部，且該中間部之直徑係小於該等端部之直徑。
4. 如申請專利範圍第3項之接觸式探針，其中，該中間部具有使外徑連續改變之形狀。
5. 如申請專利範圍第1項之接觸式探針，其中，在該第一和第二柱塞之相對移動之範圍內，該彈性變形部之整體長度被包含在該筒狀部之內周內。
6. 如申請專利範圍第1項之接觸式探針，其中，於該第一和第二柱塞之相對移動之範圍內，鄰接該彈性變形部和具有固定外徑之該柱狀部之一部分被包含在該筒狀部之該內周內。
7. 一種探針座，包括絕緣支撐體，該絕緣支撐體係用以保持複數個如申請專利範圍第1項之接觸式探針。
8. 一種接觸式探針，係用以連接待檢查對象物和檢查用板，該接觸式探針包括：第一柱塞，包含彎曲之第一端部；以及第二柱塞，包含第二端部，該第一端部***於該第二端部中，該第二端部之內表面之至少一部分與該彎曲之第一端部之至少一部分接觸；其中，該彎曲之第一端部係在至少兩個接觸點與該第二端部之內表面接觸，且該兩個接觸點係沿著該第一端部之延伸方向彼此分離，且在該第二端部之徑向方向彼此相對向。