TWI373445B - Vacuum adsorbing control structure system, film attaching device, film attaching method and display device - Google Patents

Description

1373445 九、發明說明： 【發明所屬之技術領域】 本發明，係有關於—種真空吸著控制機構裝置、及具 有真空：著控制機構裝置之薄膜貼附裝置、使用薄膜貼附 裝置來實施之薄膜貼附方法、及使用薄膜貼附方法來製成 的顯示裝置。 【先前技術】 使用液晶等的顯示裝置，係藉由使液晶等填充到且有 父用電極之-對玻璃等的基板間，使偏光薄 在 一邊之表面而形成。 ^ θ使薄膜貼附在基板上之貼附裳置，雖然有種_， 但疋，也有如專利文獻！所示地使用在表 貼附部（貼附頭）者。 穷及，孔的 具體說來’如日本特開2謝_42315號公報（專利 :)如段落編號〔陶所示，使薄膜支撐體心且有彎 狀的吸著面’以穿設有複數吸著孔的板體來構成，使 吸著閥連接在吸著孔。 使 =如段落編號〔_〕記載所示，移動到 膜支撐體22而供給薄膜之供給裝置“，切換 / 吸著孔來脫氣，藉此來吸著薄膜。 、巧而以 當吸著薄膜時，旋轉薄膜支稽體22而移動到 晶面板）上之後，使薄膜貼附到基板上。 土 （液 之後’藉由切換吸著間而供氣，來解除吸著而使薄膜

2I30-9954-PF 5 3445 支撐體22自基板分離。 又’如段落編號〔0046〕記鸯炻_ ^ „ + 所不’為了防止薄胺目上 附時之位置偏移，在貼附時，使办— 胰貼 k二與j吹到薄膜。 【發明内容】 但是’在這種利用直空吸菩 一 一二及者來貼附薄膜之機構中，係 错由吸者閥來控制吸著孔的吸著 4 _ 者所以，必須準備對庳吸 者孔數量之閥體，而有構造變複雜之問題。 f應及 啤又，在吸著或貼附時，因為吹出空氣之構造，裝置之 =造會變複雜，又，藉由线之吹出，雜質或空氣會混人 貼附面’而有降低貼附精度之虞。 祖本發明，係鏗於上述問題所研發出者，其目的在於提 供一種構造报單純，而 此精度良奸地使薄膜貼附在被貼 寸物上之具二吸著控制機構裝置。 構# ί : ί成上述：的，第1發明係—種真空吸著控制機 "/、具有·第1構件，表面上具備可連接在減壓泝 之複數吸著孔；以及第？ ^ 战&源 及弟2構件，被設置成可接觸複數前述 及者孔’而且可相對於前述第1構件移動；前述第2構件， =有使對應前述第1構件與前述第2構件之相對位置的 數：!：之吸著孔盘益、山航 I心〃則述減壓源相連接之機構。 弟2發明，係一種薄膜貼附裝置，其具有第1發明所 述之真空吸著控制機構裝置。 弟3發明，在—# ,、種溥膜貼附方法’其具有使用第2發明 所述之薄膜貼附裝w 衣置耒使溥膜貼附在被貼附物上之步驟。

2130-9954-PF 1373445 第4發明，係一種顯示裝置，其藉由使用第3發明所 述之薄膜貼附方法來使薄膜貼附在被貼附物上而被製成。 (發明效果） 田使用本發明時’能提供一種構造很單純，而且能精 度良好地使薄膜貼附在被貼附物上之真空吸著控制機構裝 置。 ’ 【實施方式】 以下，參照圖面來詳細說明本發明之最佳實施形態。 i先，參照第1圖〜第3C圖，來說明本發明實施形態 之薄膜貼附裝置1的概略構成。 在此，薄膜貼附裝置i，係例示有用於使作為薄膜之 具有可撓性的偏光薄膜’貼附到作為被貼附物之液晶面板 的玻璃基板上的薄膜貼附裝置。 如第1圖〜第3A圖所示，作為真空吸著控制機構裝置 之薄膜貼附裝置卜係具有貼附頭3、基座體5、軸體了及 貼附平台1 5。 如第1圖〜第3A圖所示，薄膜貼糾_ φ，μ h 哥联貼附裝置1係具有作為 第1構件之吸著下述薄膜17的圓筒肤壯w J _间狀貼附碩3。貼附頭3 之直徑’係可對應薄膜17之尺寸來適當選擇。 構成貼附頭3之材料雖然並未特別 π⑴限疋，但是，最好 係至少接觸薄膜17之部位係具有彈性 啕坪性之材料，硬度最好係 SRIS 0101規格之20〜40度橡膠或樹脂。 藉由使貼附頭3以這種材料來構成，者 ^田使溥膜17貼附 2130-9954-PF 7 1373445 到玻璃基板19上時，會均勾地產生貼附壓力，所以，能防 止貼附【力集中在局部而造成玻璃龜$，能使玻璃基板19 薄板化。 又因為產生均勻的貼附壓力，所以在貼附時，能防 止氣泡混入貼附面，^:士 1。> ,,,, . 坡璃基板19之材料就可以使用平坦度 較低的低等級玻璃。 在貼附頭3端面3a (側面）設有作為第2構件之圓盤 狀基座體5。 而且，基座體5，係不僅可設於貼附頭3側面，也可 以設於其他面。 貼附頭3與基座體5之間，係在下述減麼時，成為防 止空氣、;矣漏之構造，當有必要時則設未圖示之密封塾，也 可以提高機械密封性來控制空氣洩漏。 薄膜貼附裝置卜係而且具有設於貼附頭3與基座體5 之軸中心的軸體7。 貼附頭3,係可以軸體7為中心而往第2圖。與a 方向旋轉。 另外，基座體5係不旋轉。 又’貼附頭3、基座體5及軸體7係成一體，而能以 未圖示的.致動器往第2圖之£卜£2、£3及£4方向移動。 又’設有與貼附頭3表面？ 板狀貼附平台15。 3b相向而保持被貼附物之平 貼附平台15’係被設成可往第2圖之Μ及d 動。而且，也可以^主笛9 isi 牙夕 也了以在弟2圖之上下移動0 (調整貼附平台

2130-9954-PF 8 1373445 1 5水平度之方向）。 構成貼附平纟15之材料雖然並未特別限定，但是，與 男附頭3相同地，最好係具有

nini ，坪性之材科，硬度最好係SR IS 規格之20〜4〇度橡膠或樹脂β 藉由使貼附平台15以上述材料來摄Λ k砰村术構成，能獲得使貼附 頭3以上述材料來構成之相同效果。 接著乂參照第3Α圖〜第5β圖來說明貼附頭3及基座 體5之構造詳細。 如第3Α圖及第4圖所示，在貼附頭3之表面3b處， 設有吸著孔 9a, 9b，9c，9d，9e, 9f，9g。 吸著孔9a，9b，9G，9d，9e，9f，9S，係被設成貫穿貼附頭 3端面3a (側面）及表面3b。而且，在第3a圖及第4圖 中’貫穿表面3b之部分雖然係成為 取馮吸者部9而具有擴大寬 度之形狀，但是，吸著部9之來灿-Γ 元狀可以配合薄膜而適當選 擇。 又’如第3B圖所示，在吸箬邱0占 甘次者。卩9處，也可以設置以金 屬、樹脂、海綿等多孔質片體製成的隔片23。 藉由設置以多孔質片體等來劁#认u 守成的隔片23,在吸著下 述的薄膜17時，能防止孔的痕跡轉印到薄膜17上。 而且，隔片2 3之孔密度，将仏丨.丄& 士 1糸例如使直徑1 mm之孔以 2mm節距設置。 另外’吸著孔 9a，9b，9c，9d 9户 cu η , L 0 ’ ye，9f，9g (的端面3a側 貫穿面），係被配列成對應下述凹栂如，n ^ i < u槽部11形狀的配列形狀 (圓弧狀）。 2130-9954-PF 9 1373445 而且，在貼附頭3之中心處，設有用於穿入軸體7的 頭軸孔3c。 如第3A圖、第5A圖及第5β圖所示，基座體5係具有 设於與貼附頭3相向面上的凹槽部1。 凹槽部11，係具有對應貼附頭3表面3b之形狀，亦 即圓弧形狀。 又，基座體5係具有孔部丨3，前述孔部13係自凹槽 部11貫穿至基座體5的與貼附頭3相向面的相反側表面。 而且，如第3C圖之孔部13a所示，也可以貫穿至基座 體5之側面。 在孔部13連接有未圖示的真空幫浦等的減壓源。 而且孔4 1 3之配置係可以依據與減壓源之位置關係 而適當選擇。 而且’在基座體5中心處’設有用於穿入軸體7之基 座轴孔5a。 在此，如第3A圖所示，在凹槽部u與吸著孔Μ相接 觸之狀態下，孔部13盘吸著孔q及 1 μ ”及者孔9a係透過凹槽部U來連 接，所以，吸著孔9a係與減壓源相連接。 在此狀態下，當使減壓源運轉時， 排氣，吸著部9就能吸著薄膜。 a #會破 另:卜’當自第3A圖之狀態使貼附頭3往第2圖之。C2 向奴轉，而移動到使凹槽部11不盥 ， 置時，孔邱1 q — /、吸者孔9a接觸之位 直寻孔4 13與吸著孔9a之間係 ^ 壓源係被切斷。 斷，吸著孔9a與減

2130-9954-PF 10 “445 在此狀滤下’吸者孔9 a内部係未被排氣，所以，吸著 部9無法吸著薄膜，當已經吸著薄膜時，薄膜會自吸著孔 0a脫離。 而且，吸著孔91)，9(：，9(1，96,9{，9£也與吸著孔93相同。 如此一來，薄膜貼附裝置1，係藉由凹槽部u與吸著 孔9a’ 9b，9c，9d，9e，9f，9g的相對位置，使吸著孔 a’ 9b’ 9c，9d，9e，9f，9g之中既定數量的吸著孔與減壓源連 接及切斷。 亦即，基座體5之凹槽部U，係使與貼附頭3吸著孔 9a’ 9b，9C，9d’ 9e，9f，9g相對位置相對應數量之吸著孔與減 壓源相連接。 接著，參照帛6圖〜第U圖來說明使用薄膜貼附裝置 1使薄膜1 7貼附在破璃基板丨9上之順序。 為了使用薄膜貼附裝置i使薄膜17貼附在玻璃基板 上，必須使薄膜17吸著在貼附頭3上之步驟、及使貼 、、上之賴17貼附在玻璃基板19上之步驟。 :先m 6圖〜第8圖來說明使薄膜17吸著貼附 頭3上之步驟。 ⑴ 1 5上而保持平板狀。 在與襯紙1 9a之接觸 最初，使薄膜17載置於貼附平台 薄膜1 7係被貼附在襯紙^仏上， 面處設有未圖示之黏著層。 以真===機構可用眾所周知的機構，例如 體5往第2圖之Cl, C2 接著，使貼附頭3相對於基座

2130-9954-PF 方向旋轉，如第6圖所示，凹槽部"係在僅與吸 接觸之位置處設定貼附頭3之位置。 接著，在此狀態下，使貼附頭^盥Ac ^ ⑴碩《U與基座體5、軸體7) 往第2圖之E2、E3、E4方向移動，^老也〇 杪動而使吸著孔9g接觸到 潯膜1 7左端部表面，使未圖示之減壓源運轉。 在移動時，藉由未圖示之僧知 〜谓知益或攝影機等來知悉薄 膜17端部之位置，依據該位置 便未圖不之致動器驅動而 移動貼附頭3(與基座體5、轴體7) ^ 而且，也可以不移動貼附自吾。 衫勒贴附頭3 ,而移動貼附平台丨5， 使吸著孔9g接觸到薄膜17左端部表面。 如此一來，凹槽部11係僅垃 你僵接觸到吸著孔9g，所以， 僅吸考孔9g會被排氣，薄膜丨7 %。卩之表面係被貼附頭q 表面3b吸著。 而吸著力雖然係與薄膜17表面粗度或可撓性相 關’但疋，當使用本實施形態之液晶面板用偏光薄媒時， 最好係 2_0X104pa〜4.9Xl〇4pa 左右。 接著自第6圖之狀態使貼附頭3往第6圖^ $ 轉，又，使貼附平台1 5盥μ ;+、护& 疋 b /、上述处轉同步地往第6圖 向移動。 Z方 如此一來，依照吸著？丨q f ^ f ’ 9e’9d，9c，9b，9a 之順序鱼 薄膜1 7接觸，自與薄膜丨7接 '、 j〈及考孔開始，依序鱼m 槽部11接觸而與減壓源連桩， ” w 你逑接依序被排氣而吸著薄膜丨7。 亦即，僅使貼附頭3 頌3接觸核17而旋轉，薄膜貼附梦 置1會吸著薄膜1 7。 ^

2130-9954-PF 12 1373445 例如，第7圖係吸著途，之圖面，但是，吸著孔 ，9心係與凹槽部11相接觸，與減星源連接而被吸 氣，而吸著有薄膜1 7。 這些吸著孔係與薄膜17接觸之％鍫了丨 ^ _ 之及者孔，依照與薄膜 17接觸之順序與凹槽部u接觸，吸著薄膜”。 而且，如第8圖所示’當全部吸著孔與凹槽部π接觸 時，使貼附頭3(與基座體5、軸體7)往第2圖之^方 向移動，自貼附平台15離開。

如此一來，當使用薄膜貼附裝置】來吸著薄膜】7時， 只要自與薄膜17接觸之吸著孔開始，依序與凹槽部η接 觸而與㈣源相連接，設定吸著孔與凹槽冑u之相對位 置，以吸著薄膜17即可。 藉此田吸著時，薄膜！ 7不會偏移，能使薄膜^ 7高 精度地被吸著在貼附頭3上。 而且，在上述步驟中，雖然在吸著薄膜丨7之同時，使 清膜Π自襯紙1 9a剝離，但是，也可以—張張地吸著襯紙 1 9a ’之後再剝離襯紙1 9a。 又，在上述步驟中，雖然使吸著前的薄膜17以貼附平 台1 5來保持，但是，也可以用貼附平台15之外的平台來 保持。 接著，參照第9圖〜第丨丨圖來說明使吸著後之薄膜 17貼附在玻璃基板19上之步驟。 最初，如第9圖所示，使玻璃基板19保持在貼附平台 15上。保持機構係與保持薄膜17之情形相同。

2130-9954-PF 13 係貼附頭3在吸著薄膜17時保 保持破璃基板]9者可以共用， 而且’貼附平台15， 持薄膜I 7者，與在此說明 也可以使用分别不同者。 接著，使吸著有薄膜 Μ. Ί) n -g <? m 、 之貼附頭3 (與基座體5、軸 瓶^ 任弟2圖之E2, E3 P4 士人 到玻璃其拓’方向移動，使吸著孔9a接觸 到玻离基板19期望貼附位置之表面。 當移動時，藉由去阁_ 璃基板19端匈 未圖不之谓知器或攝影機等來知悉玻 板1 9鳊。P之位置，依據 叙而梦紅al_ 置使未圖不之致動器驅 動而和動貼附頭3(與基座體5、轴體7)。 使吸：二也可以不移動貼附頭3，而移動貼附平台15， 者孔9a接觸到玻璃基板19期望之貼附位置。 而且’使貼附頭3往C2方向旋轉，又，使貼附平台 15與上述旋轉同步地往第9圖Di方向移動。 *如此—來’依照吸著孔9b，9c，9d，9e9f9g之順序透 過溥版17接_玻璃基板19，依照此順序，與凹槽部u 之接觸會被解除。 亦即’自與玻璃基板19接觸之吸著孔開始，與凹槽部 11之接觸會被依序解除而與減壓源之連接會被切斷，喪失 吸著力而自薄膜17脫離。 因此，4膜17，係吸著被解除而自離開吸著孔之部分 依序貼附到玻璃基板1 9上。 例如’第10圖係貼附途中之圖面，但是，吸著孔 9g，9f，9e，9d係與凹槽部11相接觸，與減壓源連接而被吸 氣，而吸著有薄膜17。 2130-9954-PF 14 係具有開設有複數吸著孔 ^ ^ - a 、έ附頭3'及開設有凹槽部2! 心巷屋體5，措由凹槽泣β】 m ^ ，、各吸著孔的相對位置，各個 吸者孔與減壓源會被連接或切斷。 因此’薄膜貼附裝罟 ^pnsA 裒置1係無須為了控制吸著而設置複 數閥體’構造會變單純。 又因為無須吹出空氣，所以在貼附時薄膜17不會偏 I空氣或㈣不會混人，能高精度地貼附薄膜17。 而且肖由使用薄膜貼附裝置i來使薄膜^ 7貼附到玻 土板19上而製成顯示裝置，能提高被製成的顯示裝置的 品質。 (實施例） 以下，依據實施例來具體說明本發明。 本發明之實施例，有準借坌〗固私- > 兮- 男平侑第1圖所不之薄腠貼附裝置 1 ’使偏光薄膜貼附到對角2芷卩+ ^ ^ ^ + τ月z央吋〜60央吋之玻璃基板19 上。 而且，使用於貼附之偏光薄膜的表面粗度，係〇· 3 // m 0.1-0.5inm〇 又’貼附時之各吸著孔的吸著力，係 2. 0X104Pa~4. 9X104Pa 左右。 結果，可以確認到在貼附時，偏光薄膜不會自貼附頭 3落下，而且在貼附中，偏光薄膜之滑動也很順暢。 在上述實施形態中，雖然說明過使本發明適用於使偏 光薄膜貼附在液晶顯示基板上之裝置，但是，本發明係不 侷限於此，其可以適甩於使薄膜貼附在被貼附.物之全部裝

2130-9954-PF 16 置。 又’在上述實施形態中，係成為 貼附頭3旋轉之構造，但是體5不知轉，且 轉的構造。 疋反之’也可以係基座體5能旋 而且’當使用本實施形態時 形狀H m。 …、貼附頭3具有圓筒 仁疋貼附頭3之形狀並不揭限於 開設有吸著孔的表面具有彎曲形狀即可。、。只要 當使用切明真空吸著控制機構裝置之另 开〜時，也可以前述第！構件係前述 貫知 前述第2構件係具有：凹槽部，嗲 ：曲形狀， 述第1構件相向之面上，1有對廡、别述第2構件之與前 以及孔邻，自一 t 有對應前述-曲形狀的形狀，· 到前=厂槽部貫穿至前述第2構件外部，連接 則述減壓源；複數前述 連接 部之形狀相對；i 者孔，係被配列成與前述凹槽 係可述第1構件或前述第2構件， J，口者别述彎曲形狀之彎曲面 或前述第2構件# n ^述第1構件 傅1干移動，刖述第2構件义 於前述第1構件移動，i +之別述凹槽部係相對 ^m 興則述槽 與前述減壓源相連接。 W接觸之則述吸著孔係 當使用本發明真空吸著 時，也可以前述第"冓件Π::裝置之另-實施形態 具有圓孤狀之形狀，複數之^圓心狀，前述凹槽部係 前述第1.構件或前述第^ 孔係成圓弧狀並列， 心來& # -1 構件係可將前述圓筒之軸當作中 方疋轉，猎由前述第！構 Τ 之軸告你由η, 次則迷弟2構件將前述圓筒 轴田作中心來旋轉，前述第2構件之前述凹槽部係相對

2130-9954-PF 17 1373445 當使用本發明顯示装置之另一實施形態時，也可以前 述薄膜係具有可撓性。 當使用本發明顯示裝置之另一實施形態時’也可以前 34薄膜係光學薄膜，前述被貼附物係透過可見光之基板。 當使用本發明顯示裝置之另-實施形態時，也可以前 地光學薄膜係偏光薄臈或相位差薄膜。 一當使用本發明顯示裝置之另—實施形態時，也可以前 述薄膜係保護薄膜。 當使用本發明顯示裝置之另—實施形態時，也可以前 述被貼附物係玻璃。 在本發明實施形態之真空吸著控制機構裝置' 薄膜貼 队裒置及溥膜貼附方法中，λ空吸著控制機構裝置，係具 備具3吸者孔的第i構件、及連接減壓源與吸著孔的第2 構件’第2構件，係使對應第i構件與第2構件之相對位 置數量的吸著孔連接到減壓源。 因此，在貼附薄膜時，能使結束貼附之部分的吸著逐 2解除’構造很單純’而且不會導致薄膜偏移或雜質與空 氣之混入，能高精度地使薄膜貼附到被貼附物上。 又，本發明實施形態之顯示裝置，係使用本發明實施 形態之薄膜貼附方法來製造，所以，能提高顯示裝置之口 質。 口口 而且，本申請案，係以來自2〇〇7年9月4日提出之日 本專利申請第2007-228892號的優先權為基礎，而主張其 利益者，該開示在此係全部當作參考文獻.而被編入。

2130-9954-PF 19 1J / 1J /

【圖式簡單說明】 第1圖係薄膜貼附裝置1之立體圖 弟2圖係第1圖之2方向箭視圖。 弟3A圖係第2圖之3A，剖面圖 弟3B圖係表示第3A圖變形例之廣 第此圖係表示第3A圖^彡 第/圖係表示貼附頭3之側視圖。 =5A圖係表示基座體5之側視圖 第5B圖係第5A圖之内面圖。 第6圖係表示使用薄膜貼附裝置丄 貼附頭3上之順序的示意圖。、呈 第7圖係表示使用薄膜貼附裝置i 貼附頭3上之順序的示意圖。、 第8圖係表示使用薄膜貼附裝置丄 貼附頭3上之順序的示意圖。、且 第9圖係表示使用薄膜貼附裝置】 玻璃基板19上之順序的示意圖。 第1〇圖係表示使用薄膜貼附裝置 在玻璃基板19上之順序的示意圖。 第11 ®得、表示使用薄膜貼附& i 在玻璃基板19上之順序的示意圖。 第12 1M系表示使用薄膜貼附裝置 附在液晶面板26上而製造顯示裝置27

2130-9954-PF 面0 面0 〇 來使薄膜1 7吸著在 來使薄膜1 7吸著在 來使薄膜1 7吸著在 來使薄膜1 7貼附在 1來使薄膜1 7貼附 1來使薄膜1 7貼附 1來使偏光板2 5貼 的示意圖。 20 1373445

件符號說明】 薄膜貼附裝置 貼附頭 端面 表面

頭轴孑L 基座體 基座軸孔 轴體 吸著部

吸著子L 凹槽部 孔部 貼附平台 薄膜 玻璃基板 襯紙 隔片 偏光片 液晶面板 顯示裝置

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Claims (1)

1373445 101年3月13日修正替換頁 第 097132895 號 十、申請專利範圍： 1. 一種真空吸著控制機構裝置，具有： 第1構件，具有一側面，以及具備可連接在減壓源之 複數吸著孔的一表面； "^ ^ ^ -το η 側面二而且可相對於前述第1構件移動； 前述第2構件係具有傕料 ^ 吏對應則述第1構件與前述第2 構件之相對位置的數量之 ^ 者孔與則述減壓源相連接之機 刚述第1構件係在前述表面具有彎曲形狀； 前述第2構件係具有： -面 凹槽部’設於與前述第‘ ^ a . dJ;l 1構件之别述側面相向之矣 具有對應前述f曲形狀之形狀；以及 之表 部 孔部，被設成自前述凹槽部貫穿至 與前述減壓源相連接； ， 構件外 、2數前述吸著孔係被設置為貫穿前述^ 以及表面，且前述側面的貫穿 的側面 槽部之形狀相對應的形狀；°刀’、被配列成與前述凹 前述第i構件或前述第2 之f曲面移動；以& 冓牛係可沿著前述彎曲形狀 月1J述第2構件移動 則述第1構件移動 前述減壓源相連接 1項所述之真空吸 ，前述第2構 ，與前述凹槽 〇 著控制機構裝 藉由前述第1構件或 件之前述凹槽部係相對於 部接觸之前述吸著孔係與 2.如申請專利範圍第 2130-9954-PF2 22 U/3445 第 097132895 號 101年3月13日修正替換頁 八中別述第1構件係，藉由在前述表面設置有隔 可防止在吸荖蓮+ 一 、，時候别述吸著孔的痕跡被轉印到前述 薄膜上。 置 申°月專利範圍第2項所述之真空吸著控制機構裝 其中月述第1構件係具有圓筒形狀， 月）述凹槽σρ係具有圓弧狀之形狀， f數之前述吸著孔係成圓弧狀並列， ⑴述第1構件或前述第2構件係可將前述圓筒之 作中心來旋轉， 神田 4由藉^ 7述第1構件或前述第2構件將前述181筒之轴杂 *二前述凹槽部係相對於前： 〃引述凹槽部接觸之前述吸著孔係鱼前、f 減壓源相連接。 于/、則述 置 it申：專利範圍第2項所述之真空吸著控制機構裝 二’則述第1構件係保持前述薄膜之貼附頭，、 削述第2構件係設於前述貼附頭側面之基座體。 5·如申請專利範㈣丨項所述 置 置 其中，前述減屋源係真空幫浦。&者控制機構寰 =申：：利範圍第3項所述之真空吸著控制機 持被貼附物之貼附2構件之前述表面相向且保 置1.Γ請專利範圍第6項所述之真空吸著控制機❹ 置：中，前述第"冓件及/或前述貼附平台係具有機彈:裝 .種賴貼附裝置，具有巾請專利範圍第I至7 項 2130-9954-PF2 23 1373445 101年3月13曰修正替換頁 第 097132895 號 中任-項所述之真空吸著控制機構裝置。 如申請專利範圍第8項所述之_附裝置其 中月|J述真工吸著控制機構裝置係吸著及貼附光學薄膜之 裝置， 、 前述貼附平台係具有使前述被貼附物保持成平板狀之 保持機構。 m薄膜㈣方法’具有使用申請專利範圍第8項 所述之薄膜貼附裝置來使薄膜貼附在被貼附物上之步驟。、 11.-種顯示裝置，藉由使用申請專利範圍第ι〇項所 述之薄膜貼附方法來使薄膜貼附在被貼附物上而被製成。 12·如申請專利範圍第u項所述之顯示裝置，其中， 前述薄膜係具有可撓性。 • 13·如申請專利範圍第u項所述之顯示裝置其中， -前述薄膜係光學薄膜， 前述被貼附物係透過可見光之基板。 14. 如申請專利範圍第13項所述之顯示裝置，其中’ 前述光學薄膜係偏光薄膜或相位差薄臈。 15. 如申請專利範圍第丨丨項所述之顯示裝置，其中， 前述薄膜係保護薄膜。 义16.如申請專利範圍第13項所述之顯示裝置，其中， 刚述被貼附物係玻璃。 2130-9954-PF2 24