4 60 63 5 經濟部中央標準扃貝工消費合作社印製 A7 B7 五、發明説明（1 ) 發明背景 本發明有關超導電磁裝置’用於半導體單晶之拉引裝 置，尤係超導電線圈之斥力支承機構’磁場產生之尖形磁 場具有控制之磁場分佈。 習知有種超導電磁裝置之要用於半導體單晶之拉引裝 置，設計上二電氣串聯之環形超導電線圈彼此相對置於一 軸上，並磁化線圈相反極性而產生所謂尖形（cusPed type )磁場，如圖1 2所示。 圖12 中超導電磁裝置中’二電氣串聯之環形超導 電線圈（之後僅稱線圈）1 〇 1 a及1 〇 1 b彼此相對於 一環形真空容器1 〇 2上開口 〇P之軸向Αχ上下位置， 由外部激發電源（未示）供電至線圈1 〇1 a及1〇 1 b 〇 此時，因同一電流流至二線圈1 0 1 a及1 ο 1 b， 磁體中產生一磁場，其相對二線圈1 〇 1 a及1 〇 l b間 中性線A 1爲對稱，即圖1 2以磁力線B 1 ......... B 1所 示尖形磁場，作用於相反方向之斥力F 1及F 1相關對稱 之磁場分佈施加至二線圈1 〇 1 3及1 0 1 b。隨磁體變 大，斥力F. 1增加，如數十至數百噸。‘ 此時就產生尖形磁場之裝置’真空容器中通常提供一 支承結構以支承作用於二線圏之斥力，如圖1 3所示。 就包含圖1 3真空容器1 0 2中二線圈1 〇 i a及 1 〇 1 b之超導電磁體裝置，類似上述，用於液體氦通過 之環形氦容器1 0 3 a及1 〇 3 b置於二線圈1〇 1 a及 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) -9 /Ik
460635 經濟部中夹揉準局貝工消费合作社印装 A7 B7 五、發明説明（2 )
1 〇 1 b周圍，支承體10 4 a及1 0 4 b置於氦容器 1 〇 3 a及1 0 3 b外部及內部，作用於二線圈1 0 1 a 及1 0 1 b之斥力則利用支承體1 0 4 a及1 0 4 b之JM 縮強度支承。 就包含支承結構之磁體裝置，真空容器1 0 2.外之熱 經由支承體1 04 a傳至氦容器1 〇 3 a及1 0 3b內部 。因此一般上就此類裝置，真空容器1〇 2外提供一冷凍 器1 1 0 ,而熱導式接至冷凍器1 1 0之雙輻射罩 1 0 5 a及1 0 5 b置於氦容器1 〇 3 a周圍’輻射罩 105 a及10 5b熱導式接至支承體1 0 4 a ’故經由 支承體由接觸部傳送之部分熱被輻射罩1 〇 5 a及 105b吸收。 上述尖形磁場之習知超導電磁裝置中，因利用支承體 壓縮強度支承線圈斥力，因裝置變大而支承更強斥力，支 承體截面受限而必須增加而不致彼壓縮力折曲。 因此，若增加支承體截面，由外傳至支承體之熱增加 ，液體氦蒸發量因而增加，液體氦充塡數及維修成本均增 加，乃必須增加冷凍器數目以冷卻輻射罩或增加裝置尺寸 以提高性能。結果問題爲整個磁裝置重量及尺寸增加，成 本亦增。 發明槪述 本發明目的可實質消除習知技術之缺點，所提供超導 電磁裝置之簡單及精巧之支承結構可支承由超導電線圈承 本紙張尺度適用中國國家揉率（CNS > A4规格（210X297公釐） — _L---„----C裝---^----1T----!.λ& (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部中央標準局貝工消費合作社印衆 4 6〇635 A7 ___ B7 . —__ 五、發明説明（3 ) 受之斥力，並極低成本製成。_ 欲達成本發明以上及其他目的提供之超導電裝置，包 含： —真空容器； 二環超導電線圈，彼此相對於真空容器之軸向；及 —支承結構，可支承二超導電線圈， 支承結構包含一線圈連接體供連接二超導電線圈於真 空容器軸向及一支承體一體支承由線圈連接體所連接之二 超導電線圈，二超導電線圈經由支承體設置於真空容器。 較佳例中，線圈連接件包含一環形件置於二超導電線 圈之圓周向周圍。環形件由一捲繞架以捲繞二超導電線圈 〇 線圈連接件包含多數拱形件彼此等距置於二超導電線 圈之圓周方向周圍。線圈連接體包含連接件供包夾及連接 超導電線圈於軸向，及一間隔保持件保持以連接件所連接 二超導電線圈間軸向間隔。各連接件包含一基部沿二超導 電線圈徑向內外側至少之一延伸於軸向’及肩部由基部軸 向相對端延伸而彎向二超導電線圈之軸向外側。基部與肩 部一體形成。肩部包含二端板分別端靠二超導電線圈之軸 向外側，而基部包含一固結件供固結二端板於軸向。 連接件圓周地提供一溝隙以抑制渦電流，連接件構成 之材料具高導熱性，或爲高導熱性材料與高強度材料之化 合物。 間隔保持件包含一機構以自由調整超導電線圈軸向間 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（21〇χϋ公釐） ~ ： .Γ 裝 ^ I 訂rLw (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 4 60635 經濟部中央樣準局貝工消費合作杜印製 A7 B7五、發明説明（4 ) 隙長度，乃根據二超導電線圈與連接件間軸向熱膨脹。 二超導電線圏軸向之導體中央距離及徑向導體之中心 半徑彼此相等。 二超導電線圈至少之一具有一輔助環形超導電線圈於 超導電線圈之徑向或軸向而與其同軸。 另提供一構件供激發超導電線圈以產生彼此不同之磁 場。 二超導電線圈至少之一於其軸向外側具有一輔助環形 線圈供產生磁場於超導電韓圈間相反方向。 可另設置一環形氮容器包圍超導電線圈及一雙環形輻 射罩包圍環形氮容器。 冷凍器可相對真空容器心軸設置於對稱等角位置。 根據本發明特性，可分開由接觸真空容器之支承體作 用至二超導電線圈之斥力，並僅以線圈連接體支承此斥力 ，故可實質拋棄增加強度之設計限制，如增加支承體截面 以提高強度，作爲斥力之因應，並大幅抑制由真空容器外 至低溫部去之熱傳。 若使用捲繞架，可就其組合裝置，不須除去捲繞架之 線圈，有一優點爲減少製造目的，且提供極低成本之裝置 〇 當超導電線圏解磁時欲降低所生渦流，較佳連接件圓 周提供一溝隙以抑制渦流。 就間隔保持件一模式，其包含一機構根據二超導電線 圈與連接件間軸向熱膨脹，自由調整超導電線圈軸向之間 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（2丨0X297公楚:) ~~ ----.---„----裝--------訂-----,l-:,w:·——---ί I--1---- (.請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 4 6 0 6 3 5 經濟部中央標準局員工消費合作社印掣 A7 B7 五、發明説明（5 ) 隙長度。 就本發明其他模式，可用以下結構。 二超導電線圈軸向中導體中心距離與導體徑向之中心 半徑彼此相等。如此，優點爲最有效產生磁場分佈’最能 減少導體長度。 二超導電線圈至少之一同軸地提供一輔助環形超導電 線圈於超導電線圈徑向。如此，可控制磁場分佈，如使用 與超導電線圈分開之電源磁化輔助線圈。因此，藉磁化或 解磁輔助線圈，可相對線圈移動磁場對稱軸移動（於垂直 方向）至線圈軸向任一位置，不須大型機構移動整個磁體 (就單晶之拉引裝置爲包含甘堝）。 即使二超導電線圈至少之一同軸地提供一輔助環形超 導電線圈於超導電線圈軸向，亦具此優點。 另提供一構件可激發二超導電線圈，可由彼此變化線 圈所生磁場。就此構件一模式，二線圏間不同電源磁化， 且變化二電源之電流，故磁場最大或最小之位置設定於線 圏軸向任意位置。 二超導電線圈至少之一於具軸向外側提供一輔助環形 線圈以產生磁場於超導電線圈間相反方向。如此，可藉輔 助環形線圈減低磁場漏至外部，進而減少裝置重量。 參考附圖由以下說&可了解本發明本質及其特生。 圖式簡要說明 圖1爲本發明超導電磁裝置結構示意截面圖； 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS) A4規格（210X297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填离本頁) -fn· HH ^^^1 I I Hi •I 訂-------4:. w —LII_------------ --8 — ά6 Ο 6 35 Α7 Β7五、發明説明（6 ) 圖2爲磁裝置使用捲繞架之結構示意截面圖； 圖3爲連接件使用一端板及一連接桿之結構示意截面 圖； 圖4爲間隔保持件使用一彈簧之結構示意截面圖； 圖5爲第二例超導電磁裝置基本部分之槪念圖； 圖6爲第三例超導電磁裝置基本部分之槪念圖； 圖7爲第四例超導電磁裝置基本部分之槪念圖； 圖8示意方塊圖說明使用多數激發電源之例； 圖9示意方塊圖說明使用多數激發電源另例； 圖1 0爲爲第五例超導電磁裝置之槪念圖； 圖11爲第六例超導電磁裝置之平面圖； 圖1 2說明使用習知超導電磁裝置時尖形磁場分佈之 槪念；及_ 圖13爲習知超導電磁裝置之結構示意截面圖。 符號說明 --------„..1.__^¼-------ITI-^-----r:l:.w (請先聞讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 1 0 2 真 空 容器 1 0 1 a 線 caa 圈 1 0 2 b 線 圈 A 1 中性 線 B 1 磁力 線 F 1 斥力 1 0 3 a 氦 容器 1 0 3 b 氦 容器 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210Χ297公釐） d60635 經濟部中央標準局贫工消費合作社印製 Α7· ___B7五、發明説明（7 ) 104a 支承件 104b 支承件 110 冷凍器 105a 輻射罩 105b 輻射罩 2 a 線圈 2 b 線圈 1 真空容器 3 氦容器 4 a 輻射罩 4 b 輻射罩 20 間隔保持件 3 0 支承件 10 連接件 11 基部 12 肩部 2 1 擠出桿 2 2 螺帽 2 3 硬板 10a 捲繞架 1 2 a 端板 12b 端板 10b 黏構件 2 1a 間隔桿 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（2IOX297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) '裝. *11 h/L·. -10- 460635 A7 B7 五、發明説明（8 ) 2 4 彈 簧 2 2 a 調 整 螺 帽 L 1 中 心 距 離 R 1 半 徑 A X 軸 向 A 1 對 稱 軸 4 1 a 輔 助 線 圈 4 1 b 輔 助 線 圈 5 0 電 流 引 線 經濟部中央標準局貝工消費合作社印聚 5 1 電源 5 2 輔助電源 較佳實施例詳細說明 參考附圖於下說明本發明超導電磁裝置較佳例。 (第一例） 圖1爲超導電磁裝置，包含二環形超導電線圈（之後 稱線圈）2 a及2 b分別置於上下位置，如圖1所見，分 開於環形真空容器1之開口軸向。二線圈2 a及2 b由環 形氦容器3 —體包圍，容器覆以雙環形輻射罩4 a及 4b。各輻射罩4 a及4b導熱地接至真空容器1外之冷 凍器（未示）。 此磁裝置中，多數連接件1與多數間隔保持件2 0置 氦容器3中線圈之圓周而彼此隔一距離，連接件爲本發明 .，卜 \裝 訂 _/,lk (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格_( 210X297公釐） -11 - 460635 A7 --------B7 五、發明説明（9 ) 線圈連接件，非磁性材料構成（如不銹鋼），以包夾線圈 2 a及2 b於軸向’間隔保持件各保持線圈2 a及2 b間 軸向間隔。真空容器1中置一氦容器支承體以作爲本發明 支承氦容器3之支承件。 - 連接件1 0 —體具U.形截面，其基部（環部）1 1 延；伸於線圏2 a及2 b外周側或內周側至少之處軸向 (圖中外周側）’其肩部（端板部）1 2及1 2延伸由基 部1 1相對端依軸向彎向線圈2 a及2 b外側。連接件 1 0支承源自各線圈2 a及2 b尖形磁場之斥力。 間隔保持件2 0包含^延伸機構如轉扣（turnbuc.kle ) ’其結構中以一螺帽2 2連接二擠出桿2 1及2 1於彼此 ’及硬板2 3及2 3機械地式冶金地置於連接擠出桿2 1 及2 1之相對端，硬板2 3及2 3分別端靠線圈2 a及 2 b之相對面。藉轉動螺帽2 2，擠出桿2 1及2 1可伸 縮，以相對硬板2 3及2 3保持線圈2 a及2 b間適當軸 向間隔。 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 設定氦容器支承體3 0之尺寸可於軸向嵌入相對氦容 器3與輻射罩4 a之間。氦容器支承體3 0延伸於氦容器 3外周面與真空容器1內周面間軸向，並包含一垂下件， 如一桿可由氨容器3垂下。支承體3 0導熱地接至各輻射 罩4a及4b，以防止真空容器1之熱傳至氨容器3。 第一例磁裝置操作如下。 當啓動磁裝置，以氦容器3中液體氮保持連接件1 0 ，保持件2 0及二線圈2 a及2 b於同等極低溫，由一激 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS > A4規格（210X297公釐） “0635 經濟部中央標準局貝工消费合作社印裝 A7 __ B7五、發明説明（10 ) 發電源（未示）供應電流，磁裝置中產生尖形磁場，以氮 容器3中連接件10強固支承因所生尖形磁場作用於線圈 2 a及2 b之斥力。 然後，根據此磁裝置，因作用於二線圈2 a及2 b之 斥力支承於氦容器3，不須如習知斥力支承體安裝一結構 以支承來自線圈1正常溫度側之強斥力。換言之，因真空 容器1與氦容器3空間內不須提供支承線圈2 a及2 b斥 力之結構，可提高支承體30設計之彈性。 亦即支承體3 0所需強度足以支承整個氦容器之死重 即可（即數百公斤至數噸）不在乎線圈2 a及2 b之斥力 大小。因可可縮小支承體之直徑截面，因此設計之支承體 3 0可嵌入氦容器3與輻射罩4 a間隙，可確保支承體足 夠長度。 若如此使用細長支承體3 0，因而六幅減少熱由真空 容器1外正常溫度側傳至真空容器內低溫側（氦容器）， 可抑制液體氦蒸發量而減少消耗。不須增加冷凍器數目， 因而減少磁裝置結構之尺寸及重量，低維修成本及低價格 〇 就連接件可用以下變化式及應用。 例如，爲抑制磁體磁化或解磁時連接件所生渦電流， 至少一溝隙可形成於連接件1 0環部之圓周向。如此，經 溝隙更有效抑制磁體磁化或解磁時所生渦電流，進而減少 渦電流所生熱，並減少液體氦蒸發量。‘ 此外，就連接件之構成材料，可用極佳導熱性材料， (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) ---'，裝------訂------^--^—.—------------- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（2!OX297公釐） 13- 4 60635 A7 137 五、發明説明 (11 ) 如鋁 或 銅 〇 如此，優點爲即使氨容器 中液體氦高度降低 9 而超 導 電 線 圈自液體露出，可由連接 件冷卻此線圈露出部 分。 此使 若使用高導熱性材料與不 銹鋼等較強材料之 化 合材料 > 提 供之連接件具極佳強度及極佳導熱性。 就 連 接 件，可用捲繞架1 0 a捲 繞二線圈2 a及2 b ，如 圖 2 所 示。若使用捲繞架10 a ，可作爲間隔保持 件 。因 此 若 繞有線圈2 a及2 b之捲 繞架1 0 a結合於 氦 容器 3 中 則不需連接件及間隔保持件，可簡化製程， 爲 另一 優 點 〇 此 外 就連接件，可用圖3所示 構件1 0 b，其中 端 板1 2 b 及 1 2 b作爲二肩，作爲基 部之連接桿11b 及 11 b 一 體 置於端板12b及12b 相對側。如此，多 數 組二 端 板 1 2 b及1 2 b可置於線圈 圓周向而彼此隔一 距 離， 或 其可 一體形成一甜甜圈狀碟中 > 雖 本例所用延伸機構以擠出桿及 螺帽爲間隔保持件 但本 發 明 不 限於此。 例如 就 間隔保持件，可使用圖4所示不銹鋼構件 2 0 a > 其 中二間隔桿21 a及2 1 a經一彈簧2 4彼 此 連接 — 調 整螺帽2 2 a位於連接部位以調整線圈間隔。 如 此 > 可由彈簧2 4吸收不銹鋼 間隔保持件2 0 a 與 鋁連 接 件 1 0間熱收縮之差異。因此 ，更有效抑制構件 2 0 a 及 1 0間及構件2 0 a，1 0 與線圈2 a，2 a 間 所生 熱 收 縮 引起之應力。 雖 然 多 數連接件及間隔保持件置 於線圈之圓周向’ 本 本紙張尺度適用中國國家標隼（CNS ) A4規格（210X 297公釐〉 Λ -14 - 460635 經濟部中央標準局貝工消費合作社印製 A7 Γ37 五、發明説明（12 ) 發明不限於此，如其可一體形成線圈圓周向之環形構件。 (第二例） 圖5所示超導電磁裝置中.，除上述結構，各線圈2 a 及2 b可捲繞具預定中心半徑R 1之導體’而線圈2 3及 2 b置於具預定導體中心距離L 1之上下部。半徑R 1與 距離L 1定爲等長》 根據此磁裝置，除第一例功效外’因線圈軸向六乂位 置之磁適量密度與尖形磁場對稱軸A 1平行位置之磁通量 密度（二線圈間空間磁場之中心點）實質彼此相等’可產 生最有效率磁場分佈之尖形磁場，更適當確保超導電線圈 之驅動穩定性，爲其優點。即使使用習知支承體可得相同 優點。 _ (第三例） 圖6所示超導電磁裝置中，除上述結構之外’下線圈 2 b於其外周界具一輔助線圈4 0接至與上下主線圏2 a 及2 b分開之激發電源（未示）。僅以輔助線圈4 0不需 主線圈2a及2b可生任意激發力。 如此，除前例功效外，可使用上下主線圈產生尖形磁 場及利用輔助線圈產生另一磁場於前磁場朿峒或相反向， 而相對線圈於垂直方向空間自由地移動尖形磁場對稱軸。 當超導電磁裝置應用於半導體單晶之拉引裝置時，此 優點可達極致。 表紙張尺度適用中國國家標準（CNS > A4規格（210X297公釐} —K---„---丨，，，'、裝-----------訂----^—— (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) •15 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 460635 A7 B7__. _ 五、發明説明（13 ) 就習知拉引裝置，二線圏內僅可產生相同磁力，而空 間磁場對稱軸位置經常固定於線圏間中心點，而坩堝中熔 化之晶材液面因拉引而漸減。因此，熔液液面之位置經常 相對固定磁場而變，結果，單晶品質不穩定。 根據本例，因可根據熔化單晶之液面變化相對線圈於 垂直方向空間地自由移動尖形磁場之對稱軸，故可經常根 據熔化液面產牛最佳磁場，即使未使用機構相對垂直移動 坩堝或整個磁體。因此，可提高所得單晶品質穩定性。即 使使用習知支承體亦有此優點。 雖然本例輔助線圈置於下線圈上，本發明不限於此， 即使輔助線圈置於上線圈側亦得相同功效。若輔助線圈置 於各上下側，可於寬廣範圍正確控制磁場分佈。若設置多 數輔助線圈，可更正確控制磁場變化。 雖本例輔助支承體置於主線圈外周界（下或上線圈） ，本發明不限於此，即使輔助線圈置於主線圈內周界可得 同效。 _ (第四例） 圖7所示超導電磁裝置，除上述結構外，輔助線圈 4 1 a及4 1 b位於線圈2 a及2 b軸向外側，並控制激 發狀態之變化，使上主線圈2 a與輔助線圈4 1 a之總激 發磁力等於下主線圈2 b與輔助線圈4 1 b之總激發磁力 ，故可相對二線圈2 a及2 b空間地垂直移動尖形磁場對 稱軸A X之位置。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐) ΓΓ ----------裝--------訂—----1.V -ί.、 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部中央標準局負工消费合作社印聚 460635 A7 _____B7_____ 五、發明説明（14 ) 例如，正常操作時，輔助線圈4 1 a及4 1 b未磁化 ，僅主線圈2 a及2 b磁化1 0 0%，乃保持尖形磁場對 稱軸A X位置於上下線圈2 a及2 b間中性點。 如此，當對稱軸A X由中性點上移，上線圏2 a解磁 而上輔助線圈4 1 a磁化1 〇 〇%，當對稱軸Αχ由中性 點下移，則下線圈2 b解磁而下輔助線圈4 l b磁化 1 0 0 % 〇 因此，根據本例，當尖形磁場對稱軸空間上垂直移動 ，其位置可連續變化，而包夾對稱軸之上下磁場間對稱性 可經常確保，獨立於尖形磁場對稱軸之位置變化。即使使 用習知支承體亦有此優點。 雖然本例上下主線圈各具一輔助線圈，本發明應不限 於此。若各上下主線圈具多數輔助線圈，更提升尖形磁場 對稱軸之移動量。 上述第三及第四例中，雖然形磁場對稱軸位置於垂直 方向空間上移動，本發明不限於此，圖8及9例示此狀態 〇 圖8所示超導電磁裝置中，上下線圏2 a反2 b分別 接至電流引線5 0 ......... 5 0以供應電流及激發電源5 1 及5 1。藉個別由電源5 1及5 1供應電流至線圈2 a及 2b，線圈2 a及2b分開地磁化以產生激發力。 本例中，若進行控制以使上下主線圈之一所生磁場固 定，並變化另一主線圈所生磁場，可垂直地移動尖形磁場 對稱軸A。因此即使未使甩上述輔助線圈，可用極簡單結 本紙張尺度適用中國國家揉準（CNS ) Α4規格（ 210X297公釐〉 1 - _ 裝 I . 訂 ； \/ί)^ (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁.) -17- 4 60 6 35 A7 _ . _B7_________ 五、發明説明.（15 ) 構控制對稱軸之垂直移動。 圖9所示超導電磁裝置中，主電源5 1經電流引線 5 0及5 0串聯至各上下線圈2 a及2 b，另一輔助電源 52經另一電流引線50連至下線圈2b。 如此，來自主電源5 1電流供至二線圏2 a及2 b， 來自輔助電源5 2之電流供至下線圈2 b，故下線圈2 b 產生之激發磁力高於上線圈2 a者，乃垂直地變化尖形磁 場對稱軸A X之位置。 如此，比較上例，因三電流引線即足夠，可抑制由電 流引線至低溫都位之熱傳，減少液體氦消耗量。輔助電源 可僅接至上線圈。 (第五例） 圖1 0所示超導電磁裝置中，除上述結構外，輔助線 圈4 2 a及4 2 b位於上下主線圈2 a及2 b軸向A X外 側，並控制磁化狀態使輔助線圏4 2 a及4 2 b之磁場產 生於主線圈2 a及2 b所產生磁場之相反方向。 經濟部中央標準局貝工消費合作社印製 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 根據本例，因輔助線圈所生磁場與上線圈所生磁場爲 相反方向，故可有效減少磁場漏失於磁件上及外方向。因 下線圈及輔助線圈可得相同效果，乃大幅減少磁場整個漏 失。 此處就降低磁場漏失之方法，可用鐵磁性材料等。如 此此非良法，因缺點爲整個裝置增加。相較此法，若使用 上述輔助線圏，可提供結構更簡單之超導電磁裝置，並減 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -18- 4 6〇6 35 經濟部中央標準局員工消費合作杜印製 Α7 137 五、發明説明（16 ) 少裝置之尺寸及重量，可大幅降低磁場對磁性材料及電子 設備之影響，故爲優點。即使使用習知支承體亦有此優點 〇 (第六例） 圖1 1所示超導電磁裝置中，除上述結構外，二冷凍 器60及60相對真空容器1心軸置於180°對稱位置 (等角位置）。藉驅動各冷凍器6 0及6 0,可同等冷卻 輻射罩（未示）於真空容器1中。 根據本例，因可實質防止非冷卻部位局部存在於真空 容器內低溫側，就冷卻式磁體以冷凍器直接冷卻線圈，由 等角位置處冷凍器直接冷卻線圈，當多數冷凍器導熱地連 接，通常取代個別地方式至多數線圈，優點爲改變冷凍器 之一之性能時，其他冷凍器可冷卻線圈，進而提高裝置可 靠性。即使使用習知支承體可得同一優點。 冷凍器數目不限於二，可用三以上冷凍器。如此，較 佳置於等角位置。 注意本發明不限於上述例，不脫申請專利範圍可有其 他改變。 如上述，根據本發明，因使用線圈連接件彼此連接超 導電線圈，可提供簡軍支承體結構以支承作用於超導電線 圈之斥力。即使就置於真空容器之支承結構之截面，可大 幅減低由真空容器外部經支承結構進入之熱量，因此可用 極低成本提供適當之裝置結構，重量及尺寸減少。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210Χ297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) /Γ - 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