TW201533449A - 具有彈簧套筒式探針之探針裝置 - Google Patents

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Abstract

一種探針裝置，包含一彈簧套筒式探針及一探針座，該探針有一針體及一彈簧套筒，彈簧套筒有至少一彈簧段及一固定於針體之結合部，結合部有一凸出於彈簧段之外筒面之凸出部，探針座有複數相疊之導板及至少一供彈簧套筒式探針穿設之導引孔，其中包含上、下導板及一設於上導板之上導引孔，上導引孔呈非圓形且能定義出一中心、一導引面及一支撐面，支撐面與中心的距離大於彈簧套筒之彈簧段的外筒面的半徑，導引面與中心的距離大於支撐面與中心的距離，且大於凸出部與針體之中心的最大距離；藉此，該探針受力時可避免過度偏擺或扭曲。

Description

具有彈簧套筒式探針之探針裝置
本發明係與探針裝置有關，特別是關於一種具有彈簧套筒式探針之探針裝置。
半導體晶片進行測試時，測試機係透過一探針卡而與待測物電性連接，並藉由訊號傳輸及訊號分析，以獲得待測物的測試結果。習用之探針卡通常係由一電路板及一探針裝置組成，或者更包含有一設於該電路板及該探針裝置之間的空間轉換器，該探針裝置設有多數對應待測物之電性接點而排列的探針，以藉由該等探針同時點觸該等電性接點。
第1圖為一種習用之彈簧套筒式探針11的平面分解圖，該探針11包含有一針體12，以及一套設於該針體12外之彈簧套筒13。第2圖為採用該彈簧套筒式探針11之探針卡14的剖視示意圖，為了方便說明，第2圖之比例並未對應第1圖之比例，該探針卡14包含有一電路板15及一探針裝置16，該探針裝置16包含有一探針座17及多數探針11，第2圖僅顯示出一小部分之電路板15及探針座17，以及一探針11，以便說明。
該探針11之針體12與彈簧套筒13之結合方式，係將該彈簧套筒13之一接近其下端的結合部132壓合於該針體12，並藉由銲接而相互固定，如此一來，該結合部132具有因前述之壓合程序而變形形成之二凸出部134，各該凸出部134係凸出於該彈簧套筒13未受壓合部位之一外筒面136。
該探針座17係由上、中、下導板171、172、173構成(亦可無中導板172而僅有上、下導板171、173)，該等導板共同形成多數用以安裝探針11之安裝孔174(第2圖僅顯示出一安裝孔174)。為了使該探針11能自組裝完成之探針座17的頂面175安裝入該安裝孔174，且讓該探針11在點觸待測物而發生轉動時能在該安裝孔174內自由轉動，該安裝孔174 被設計成圓孔且其半徑必需大於各該凸出部134與該探針11中心之最大距離。
該探針裝置16組裝完成後，該電路板15固定於該探針座17之頂面175，該彈簧套筒13之頂端與該電路板15之電性接點電性連接，該針體12之底端用以點觸待測物之電性接點。由於頂端抵觸於電路板15之彈簧套筒13具有可彈性壓縮之二彈簧段138，而針體12之下段係與彈簧套筒13下端之結合部132固接，且該針體12頂端與該電路板15(彈簧套筒13之頂端)存留有一間隙18，當該針體12之底端抵觸於待測物之電性接點並相對進給時，針體12將內縮，進而壓縮該彈簧套筒13，因此，該探針11不但能與待測物之電性接點確實接觸並電性導通，更可藉由該彈簧套筒13所提供的緩衝功能來避免接觸力過大而造成待測物之電性接點或針體損壞或過度磨損。
由於上述彈簧套筒式探針11的針徑相當小(通常為幾十微米至1百多微米之間)，而高寬比相當大(通常在10：1至100：1之間)，而且，該彈簧套筒13除了各該凸出部134較為接近該安裝孔174之內壁面之外，其他部分皆與該安裝孔174之內壁面有相當距離，因此，該探針11在其針體12底端受力時容易造成針身偏擺及扭曲，如第3圖所示，如此不但會造成對位不準及針壓不穩等問題，更容易造成探針斷裂，而且，探針一旦斷裂又更產生維修及更換不易等問題。
有鑑於上述缺失，本發明之主要目的在於提供一種具有彈簧套筒式探針之探針裝置，可避免探針過度偏擺或扭曲。
為達成上述目的，本發明所提供之具有彈簧套筒式探針之探針裝置包含有一彈簧套筒式探針，以及一探針座。該彈簧套筒式探針具有一針體，以及一套設於該針體外之彈簧套筒，該彈簧套筒具有至少一彈簧段，以及一固定於該針體之結合部，該結合部具有一凸出於該至少一彈簧段之外筒面之凸出部。該探針座具有複數相疊之導板，以及至少一導引孔，該彈簧套筒式探針穿設於該至少一導引孔。其中，該探針座之導板中包含有一下導板及一上導板，該探針座之導引孔中包含有一設於該上導板之上導引孔，該上導引孔呈非圓形且能定義出一中心、一導引面及一支撐 面，該支撐面與該中心的距離大於該彈簧套筒之彈簧段的外筒面的半徑，該導引面與該中心的距離大於該支撐面與該中心的距離，且大於該凸出部與該針體之中心的最大距離。
藉此，該上導引孔不但能供該彈簧套筒之結合部以朝向該導引面之方式通過，且該支撐面能相當接近該彈簧套筒之外筒面而對該彈簧套筒產生限位作用，因此可避免該彈簧套筒式探針過度偏擺或扭曲。
較佳地，該上導引孔可實質上與該彈簧套筒之結合部形狀對應。或者，該上導引孔可呈橢圓形。
較佳地，該探針座之導引孔中可更包含有一設於該下導板且呈圓形之下導引孔，該彈簧套筒之結合部位於該下導引孔內，且該下導引孔之半徑大於該凸出部與該針體中心的最大距離。藉此，該彈簧套筒式探針若因受力而轉動，該彈簧套筒之凸出部不易卡抵於該下導引孔之內壁面。
在前述之下導引孔呈圓形的狀況下，或者在該下導引板不具有下導引孔而係以半開放式空間容置該彈簧套筒之結合部的狀況下，該彈簧套筒可僅具有一該彈簧段，亦可具有呈螺旋鏤空狀且螺旋方向相同之複數該彈簧段。藉此，該彈簧套筒式探針雖可能在受力時轉動，但不會因轉動而卡住。
或者，該探針座之導引孔中可更包含有一設於該下導板且呈非圓形之下導引孔，該彈簧套筒之結合部位於該下導引孔內。較佳地，該下導引孔能定義出一中心、一第一支撐面及一第二支撐面，該第一支撐面與該中心的距離大於該第二支撐面與該中心的距離，且大於該凸出部與該針體中心的最大距離，且該第一支撐面面對該凸出部。藉此，該下導引孔亦可對該彈簧套筒產生限位作用，使得該彈簧套筒式探針更不易偏擺或扭曲。
不論該下導引孔呈圓形或非圓形，或者該下導引板不具有下導引孔而係以半開放式空間容置該彈簧套筒之結合部，該彈簧套筒可具有呈螺旋鏤空狀且螺旋方向相反之二該彈簧段。藉此，該二彈簧段變形時產生之扭力可相互抵銷，因此該彈簧套筒式探針不易因受力而轉動。
較佳地，該探針座之導板中可更包含有一設於該上導板與 該下導板之間的中導板，該探針座之導引孔中更包含有一設於該中導板之中導引孔，該中導引孔呈非圓形且能定義出一中心、一導引面及一支撐面，該支撐面與該中心的距離大於該彈簧套筒之彈簧段的外筒面的半徑，該導引面與該中心的距離大於該支撐面與該中心的距離，且大於該凸出部與該針體之中心的最大距離。藉此，該中導引孔亦可對該彈簧套筒產生限位作用，使得該彈簧套筒式探針更不易偏擺或扭曲。
更佳地，該彈簧套筒可具有三該彈簧段，該等彈簧段分別完全位於該上導引孔內、該中導引孔內及該下導引孔內。藉此，該彈簧套筒不但具有相當良好之彈性，而且，各該彈簧段因完全位於導引孔內而可避免與導板之接合處或導引孔之上、下緣接觸，因此不易卡住。
較佳地，該彈簧套筒具有至少一非彈簧段，該等導板之接合處可位置對應於該彈簧套筒之非彈簧段，以避免該彈簧段接觸不平整之導板接合處而卡住。
較佳地，該彈簧套筒具有至少一非彈簧段，該探針座之導引孔位置可完全對應於該彈簧套筒之非彈簧段，以避免該彈簧段與導引孔之上、下緣接觸而卡住。
較佳地，該彈簧套筒之彈簧段位置可完全對應於該探針座之導引孔，以避免該彈簧段接觸不平整之導板接合處或導引孔之上、下緣而卡住。
有關本發明所提供之具有彈簧套筒式探針之探針裝置的詳細構造、特點、組裝或使用方式，將於後續的實施方式詳細說明中予以描述。然而，在本發明領域中具有通常知識者應能瞭解，該等詳細說明以及實施本發明所列舉的特定實施例，僅係用於說明本發明，並非用以限制本發明之專利申請範圍。
[先前技術]
11‧‧‧彈簧套筒式探針
12‧‧‧針體
13‧‧‧彈簧套筒
132‧‧‧結合部
134‧‧‧凸出部
136‧‧‧外筒面
138‧‧‧彈簧段
14‧‧‧探針卡
15‧‧‧電路板
16‧‧‧探針裝置
17‧‧‧探針座
171‧‧‧上導板
172‧‧‧中導板
173‧‧‧下導板
174‧‧‧安裝孔
175‧‧‧頂面
18‧‧‧間隙
[實施例]
20~29‧‧‧探針裝置
30‧‧‧彈簧套筒式探針
32‧‧‧針體
322‧‧‧點觸段
324‧‧‧末端
34‧‧‧彈簧套筒
341‧‧‧外筒面
342‧‧‧彈簧段
344‧‧‧非彈簧段
346‧‧‧結合部
347‧‧‧環狀體
348‧‧‧凸出部
349‧‧‧固定部
40‧‧‧探針座
41‧‧‧(上)導板
412‧‧‧(上)導引孔
414‧‧‧導引面
416‧‧‧支撐面
42‧‧‧(下)導板
422‧‧‧(下)導引孔
423‧‧‧貫穿孔
424‧‧‧第一支撐面
426‧‧‧第二支撐面
428‧‧‧空間
43‧‧‧(中)導板
432‧‧‧(中)導引孔
434‧‧‧導引面
436‧‧‧支撐面
50‧‧‧接合處
C1~C3‧‧‧中心
L‧‧‧假想軸線
R‧‧‧半徑
第1圖為習用之彈簧套筒式探針的平面分解圖；第2圖為習用之採用彈簧套筒式探針之探針卡的剖視示意圖；第3圖係類同於第2圖，惟顯示該彈簧套筒式探針因受力而偏擺及扭曲； 第4圖為本發明一第一較佳實施例所提供之具有彈簧套筒式探針之探針裝置的剖視示意圖；第5圖至第7圖分別為第4圖沿剖線5-5、剖線6-6及剖線7-7的剖視圖；第8圖為本發明一第二較佳實施例所提供之具有彈簧套筒式探針之探針裝置的一類同於第7圖之剖視示意圖；第9圖為本發明一第三較佳實施例所提供之具有彈簧套筒式探針之探針裝置的剖視示意圖；第10圖為本發明一第四較佳實施例所提供之具有彈簧套筒式探針之探針裝置的一類同於第5圖之剖視示意圖；第11圖為本發明一第五較佳實施例所提供之具有彈簧套筒式探針之探針裝置的一類同於第5圖之剖視示意圖；第12圖為本發明一第六較佳實施例所提供之具有彈簧套筒式探針之探針裝置的一類同於第5圖之剖視示意圖；第13圖為本發明一第七較佳實施例所提供之具有彈簧套筒式探針之探針裝置的剖視示意圖；第14圖為本發明一第八較佳實施例所提供之具有彈簧套筒式探針之探針裝置的剖視示意圖；第15圖為本發明一第九較佳實施例所提供之具有彈簧套筒式探針之探針裝置的剖視示意圖；以及第16圖為本發明一第十較佳實施例所提供之具有彈簧套筒式探針之探針裝置的剖視示意圖。
申請人首先在此說明，在以下將要介紹之實施例以及圖式中，相同之參考號碼，表示相同或類似之元件或其結構特徵。其次，當述及一元件設置於另一元件上時，代表前述元件係直接設置在該另一元件 上，或者前述元件係間接地設置在該另一元件上，亦即，二元件之間還設置有一個或多個其他元件。此外，以下實施例之各圖式之目的僅在便於說明本案的技術特徵，故並非依據實際比例繪製。
請參閱第4圖至第7圖，本發明一第一較佳實施例所提供之具有彈簧套筒式探針之探針裝置20包含有一彈簧套筒式探針30(數量不限)，以及一探針座40。該探針裝置20實際上可設有相當多探針30，本實施例以及以下各實施例之各圖式僅顯示一小部分之探針座40及一探針30，以便說明。
該彈簧套筒式探針30具有一呈直桿狀且可導電之實心針體32，以及一套設於該針體32外且亦可導電之彈簧套筒34。該彈簧套筒34係由直徑均一的金屬圓管經由光微影技術(photolithography)加工而成，因此，該彈簧套筒34尚未與該針體32相互固定時，整體係呈直徑均一之直圓管狀，惟具有於其一外筒面341呈螺旋鏤空狀之二彈簧段342，以及非呈鏤空狀之三個非彈簧段344，各該彈簧段342位於二非彈簧段344之間，其中接近該彈簧套筒34下端之非彈簧段344具有一結合部346，該結合部346在該彈簧套筒34套設於該針體32後，係受壓合並銲接固定於該針體32之下段。
由於前述之壓合程序，該結合部346將由原本剖面呈正圓形之環狀體而被略微壓扁，變形成為概呈橢圓狀的環狀體(如第7圖所示)，詳而言之，該結合部346具有二個相對且凸出於該彈簧段342之外筒面341(或者其他未被壓合之部位的外筒面)的凸出部348，以及二個相對且貼接於該針體32外周面的固定部349。此外，該針體32具有一凸伸出該彈簧套筒34之點觸段322，其末端324係用以點觸待測物，在本實施例中，該末端324呈平面狀，但亦可呈尖錐狀，如第2圖所示者。
本發明所提供之探針裝置不但可利用該等探針30之末端324點觸待測物，更可作為連接二元件並使該二元件之電性接點相互導通之中間元件(interposer)，該二元件例如為一電路板及一空間轉換器。
該探針座40包含有一上導板41、一下導板42，以及一固設於上、下導板41、42之間的中導板43。該上導板41及該中導板43分別設有呈非圓形之一上導引孔412及一中導引孔432，該下導板42設有一呈圓 形之下導引孔422，以及與該下導引孔422連通但直徑較小之貫穿孔423。該上導引孔412及該中導引孔432分別貫穿該上導板41與該中導板43，且上導引孔412、中導引孔432、下導引孔422以及貫穿孔423相互連通。
該上導引孔412及該中導引孔432實質上與該彈簧套筒34之結合部346形狀對應，更明確地說，係概與該結合部346形狀互補但尺寸略大於該結合部346。該上導引孔412能定義出一中心C1(實質上等同於該針體32之中心)、概與該結合部346之凸出部348形狀對應之二導引面414，以及概與該結合部346之固定部349形狀對應之二支撐面416，各該支撐面416與該中心C1的距離略大於該彈簧套筒34之外筒面341的半徑R，各該導引面414與該中心C1的距離大於各該支撐面416與該中心C1的距離，而且略大於各凸出部348至該針體32之中心的最大距離。該中導引孔432係與該上導引孔412形狀相同，能定義出一中心C2、二導引面434及二支撐面436，各該支撐面436與該中心C2的距離略大於該彈簧套筒34之外筒面341的半徑R，各該導引面434與該中心C2的距離大於各該支撐面436與該中心C2的距離，而且略大於各凸出部348至該針體32之中心的最大距離。而該下導引孔422，如第7圖所示，係為一具有一中心C3之圓孔，且該圓孔的半徑係略大於各凸出部348至該針體32之中心(實質上等於圓孔的中心C3)的最大距離。該上導引孔412之中心C1及該中導引孔432之中心C2實質上與該下導引孔422之中心C3位於同一假想軸線L上(此假想軸線L即為針體32之中心軸線)，但亦可能因該等導板41、42、43之組裝誤差而略微偏離該假想軸線L。
藉由前述之各該導引孔412、422、432的形狀設計，該彈簧套筒34之結合部346係先以該二凸出部348分別朝向該二導引面414而通過該上導引孔412，再以該二凸出部348分別朝向該二導引面434而通過該中導引孔432，進而設於該下導板42之下導引孔422內，並使針體32之下段穿過貫穿孔423而使點觸段322凸露出該下導板42之外，此時，該探針30之結合部346的底面是支撐在下導引孔422之底面上，藉此，該探針30可以保持在上、中及下導板41、43及42中，而不會脫落。如此一來，該彈簧套筒34同時穿設於該等導引孔412、422、432，且該上導引孔412及該中導引孔432之支撐面416、436相當接近該外筒面341而可對該彈簧套筒34 產生限位作用，因此可避免該彈簧套筒式探針30受力時過度偏擺或扭曲。
此外，該探針座40可設計成上、中導板41、43之接合處(如同第13圖所示之接合處50)及中、下導板43、42之接合處分別位置對應於一非彈簧段344，如此一來，在彈簧套筒式探針30進行點測時，各該非彈簧段344雖略微移動但仍會涵蓋到各該接合處，亦即，各該接合處之位置仍會對應於非彈簧段344，如此可避免彈簧段342伸縮時與各該接合處相互干涉，此部分將詳述於下述之第七較佳實施例中。
值得一提的是，該彈簧套筒34之彈簧段342的數量並無限制，亦可僅有單一彈簧段342或者超過兩個彈簧段342，在單一彈簧段342的情況下，該探針座40通常僅包含有上、下導板41、42，而不具有中導板43。在前述之實施例中，該彈簧套筒34之彈簧段342的螺旋方向相同，在此狀況下，或者在該彈簧套筒34僅有單一彈簧段342的狀況下，當該針體32之末端324受力而使各該彈簧段342彈性壓縮時，該等彈簧段342會產生朝同一旋轉方向之扭力，進而帶動該探針30整體轉動。由於前述之實施例的下導引孔422呈圓形，即使該探針30轉動，該彈簧套筒34之凸出部348也不會卡抵於該下導引孔422之內壁面。
然而，為了獲得更佳的限位效果，該下導引孔422亦可設計成非圓形，例如第8圖所示之本發明一第二較佳實施例所提供之探針裝置21中的下導引孔422，係與前述之導引孔412、432形狀相同，該下導引孔422能定義出一中心C3、二第一支撐面424(分別對應凸出部348)及二第二支撐面426(分別對應固定部349)。其中，各該第二支撐面426與該中心C3的距離略大於該彈簧套筒34之外筒面341的半徑R，而各該第一支撐面424與該中心C3的距離略大於各該第二支撐面426與該中心C3的距離，且略大於各凸出部348至該針體32中心(實質上等同於中心C3)的最大距離。藉此，該下導引孔422可藉由各第一、二支撐面424、426對該彈簧套筒34產生限位作用，使得該探針30更不易偏擺或扭曲。
在前述之下導引孔422呈非圓形的狀況下，係以安裝不會因受力而轉動之彈簧套筒式探針為較佳之設計，以避免該彈簧套筒34之凸出部348卡抵於該下導引孔422之內壁面而造成該探針30之彈性失效。例如第9圖所示之本發明一第三較佳實施例所提供之探針裝置22，其中該探 針30之彈簧套筒34具有二彈簧段342，且該二彈簧段342之螺旋方向相反；藉此，該二彈簧段342彈性變形時所產生之扭力係朝相反的旋轉方向而可相互抵銷，因此該探針30不易因受力而轉動。如同第一較佳實施例中所述，本實施例之探針座40亦可設計成上、中導板41、43之接合處及中、下導板43、42之接合處分別位置對應於一非彈簧段344，以避免彈簧段342伸縮時與各該接合處相互干涉。
前述呈非圓形之導引孔412、422、432不限制為橢圓形或對應該結合部346之形狀，只要具有如前述定義之導引面及支撐面即可。例如第10圖所示之本發明一第四較佳實施例所提供之具有彈簧套筒式探針之探針裝置23，其中該上導引孔412(亦可為中導引孔或下導引孔)呈橢圓形，其內壁面中曲率半徑較小的部分可視為如前述定義之導引面414，曲率半徑較大的部分則可視為如前述定義之支撐面416；藉此，呈橢圓形之上導引孔412(亦可為中導引孔或下導引孔)亦可對該彈簧套筒34產生限位作用而避免該彈簧套筒式探針30過度偏擺或扭曲，且該上導板41(亦可為中導板或下導板)更容易製造並更容易安裝探針30。
值得一提的是，藉由使用不同方式將該彈簧套筒34之結合部346壓合於該針體34，可能會使該結合部346形成不同的形狀，因此其凸出部348之數量不限制為二個。例如第11圖所示之本發明一第五較佳實施例所提供之具有彈簧套筒式探針之探針裝置24，其彈簧套筒34僅具有一凸出部348。或者，該結合部346的凸出部348數量可能超過二個，且可能為偶數或奇數。例如第12圖所示之本發明一第六較佳實施例所提供之具有彈簧套筒式探針之探針裝置25，其彈簧套筒34具有四凸出部348。如第11圖及第12圖所示，只要該上導引孔412(亦可為中導引孔或下導引孔)依據該結合部346之凸出部348數量而具有對應數量之導引面414及支撐面416，即可達到供該結合部346通過並對該探針30限位之功效。
如第13圖所示之本發明一第七較佳實施例所提供之具有彈簧套筒式探針之探針裝置26，該探針座40亦可僅具有上導板41及下導板42，而不具有如前述之中導板43。此外，該上導板41與該下導板42之接合處50位置對應於該彈簧套筒34之其中之一非彈簧段344，藉由此特徵，即使該上、下導板41、42因組裝誤差而造成其導引孔412、422之內壁面非 相互齊平，各該彈簧段342也不易因接觸不平整之該接合處50而卡住。在該探針座40具有上、中、下導板41、43、42的情況下，亦可使上導板41與中導板43之接合處以及中導板43與下導板42之接合處位置分別對應於其中之一非彈簧段344，以達成前述之功效。
如第14圖所示之本發明一第八較佳實施例所提供之具有彈簧套筒式探針之探針裝置27，以及如第15圖所示之本發明一第九較佳實施例所提供之具有彈簧套筒式探針之探針裝置28，該探針座40之下導板42亦可不具有導引孔，而係以一半開放式之空間428容設該探針30之結合部346，亦即，其他未顯示於圖式中之探針30的結合部346亦位於該空間428，而非分別設於一下導引孔內。此外，該上導引孔412與該中導引孔432亦可不相連接；在第14圖中，該上導板41具有一位於該上導引孔412與該中導引孔432之間的空間418，該中導板43亦具有一空間438，該空間438係與該下導板42之空間428相連通；在第15圖中，該中導板43具有一位於該上導引孔412與該中導引孔432之間的空間438，而且該中導引孔432係位於該中導板43之空間438與該下導板42之空間428之間。如第16圖所示之本發明一第十較佳實施例所提供之具有彈簧套筒式探針之探針裝置29，該中導引孔432與該下導引孔422亦可不相連接。
在第14圖所示之探針裝置27中，該探針座40之導引孔412、432位置分別完全對應於該彈簧套筒34之一個非彈簧段344，此特徵可避免各該彈簧段342因接觸導引孔412、432之上、下緣而卡住。在第15圖所示之探針裝置28中，該彈簧套筒34之彈簧段342位置完全對應於該探針座40之導引孔412、432，此特徵亦可避免各該彈簧段342因接觸導引孔412、432之上、下緣而卡住。在第16圖所示之探針裝置29中，該彈簧套筒34具有三彈簧段342，該等彈簧段342分別完全位於該上導引孔412內、該中導引孔432內及該下導引孔422內，如此之設計不但可避免各該彈簧段342因接觸導引孔412、422、432之上、下緣而卡住，且該彈簧套筒34具有相當良好之彈性。如同第一較佳實施例中所述，第八、九、十較佳實施例中的探針座40可設計成上、中導板41、43之接合處及中、下導板43、42之接合處分別位置對應於一非彈簧段344，以避免彈簧段342伸縮時與各該接合處相互干涉。
值得一提的是，第14圖及第15圖的下導板42為類同之設計，第14圖及第15圖的上導板41雖為不同設計但可相互替換使用，第14圖及第15圖的中導板43雖為不同設計但亦可替換使用，亦即，可由第14圖的上導板41搭配第15圖的中導板43並與第14或15圖的下導板42組成探針座40，或者，亦可由第15圖的上導板41搭配第14圖的中導板43並與第14或15圖的下導板42組成探針座40，如此亦可達成前述之功效。不論探針座40採用何種導板組合，皆不影響各導板需採用之導引孔形狀。
最後，必須再次說明，本發明於前揭實施例中所揭露的構成元件，僅為舉例說明，並非用來限制本案之範圍，其他等效元件的替代或變化，亦應為本案之申請專利範圍所涵蓋。
20‧‧‧探針裝置
30‧‧‧彈簧套筒式探針
32‧‧‧針體
322‧‧‧點觸段
324‧‧‧末端
34‧‧‧彈簧套筒
341‧‧‧外筒面
342‧‧‧彈簧段
344‧‧‧非彈簧段
346‧‧‧結合部
348‧‧‧凸出部
40‧‧‧探針座
41‧‧‧(上)導板
412‧‧‧(上)導引孔
42‧‧‧(下)導板
422‧‧‧(下)導引孔
423‧‧‧貫穿孔
43‧‧‧(中)導板
432‧‧‧(中)導引孔
L‧‧‧假想軸線
R‧‧‧半徑

Claims (13)

  1. 一種具有彈簧套筒式探針之探針裝置，包含有：一彈簧套筒式探針，具有一針體，以及一套設於該針體外之彈簧套筒，該彈簧套筒具有至少一彈簧段，以及一固定於該針體之結合部，該結合部具有一凸出於該至少一彈簧段之外筒面之凸出部；以及一探針座，具有複數相疊之導板，以及至少一導引孔，該彈簧套筒式探針穿設於該至少一導引孔；其中，該探針座之導板中包含有一下導板及一上導板，該探針座之導引孔中包含有一設於該上導板之上導引孔，該上導引孔呈非圓形且能定義出一中心、一導引面及一支撐面，該支撐面與該中心的距離大於該彈簧套筒之彈簧段的外筒面的半徑，該導引面與該中心的距離大於該支撐面與該中心的距離，且大於該凸出部與該針體之中心的最大距離。
  2. 如申請專利範圍第1項所述之具有彈簧套筒式探針之探針裝置，其中該上導引孔實質上與該彈簧套筒之結合部形狀對應。
  3. 如申請專利範圍第1項所述之具有彈簧套筒式探針之探針裝置，其中該上導引孔呈橢圓形。
  4. 如申請專利範圍第1項所述之具有彈簧套筒式探針之探針裝置，其中該探針座之導引孔中更包含有一設於該下導板且呈圓形之下導引孔，該彈簧套筒之結合部位於該下導引孔內，且該下導引孔之半徑大於該凸出部與該針體中心的最大距離。
  5. 如申請專利範圍第1或4項所述之具有彈簧套筒式探針之探針裝置，其中該彈簧套筒具有複數該彈簧段，該等彈簧段呈螺旋鏤空狀且其螺旋方向相同。
  6. 如申請專利範圍第1項所述之具有彈簧套筒式探針之探針裝置，其中該探針座之導引孔中包含有一設於該下導板且呈非圓形之下導引孔，該彈簧套筒之結合部位於該下導引孔內。
  7. 如申請專利範圍第6項所述之具有彈簧套筒式探針之探針裝置，其中該下導引孔能定義出一中心、一第一支撐面及一第二支撐面，該第一支撐面與該中心的距離大於該第二支撐面與該中心的距離，且大於該凸出部與該針體中心的最大距離，且該第一支撐面面對該凸出部。
  8. 如申請專利範圍第1、4及6項中任一項所述之具有彈簧套筒式探針之探針裝置，其中該彈簧套筒具有二該彈簧段，該二彈簧段呈螺旋鏤空狀且其螺旋方向相反。
  9. 如申請專利範圍第1、4及6項中任一項所述之具有彈簧套筒式探針之探針裝置，其中該探針座之導板中更包含有一設於該上導板與該下導板之間的中導板，該探針座之導引孔中更包含有一設於該中導板之中導引孔，該中導引孔呈非圓形且能定義出一中心、一導引面及一支撐面，該支撐面與該中心的距離大於該彈簧套筒之彈簧段的外筒面的半徑，該導引面與該中心的距離大於該支撐面與該中心的距離，且大於該凸出部與該針體之中心的最大距離。
  10. 如申請專利範圍第4或6項所述之具有彈簧套筒式探針之探針裝置，其中該探針座之導板中更包含有一設於該上導板與該下導板之間的中導板，該探針座之導引孔中更包含有一設於該中導板之中導引孔，該中導引孔呈非圓形且能定義出一中心、一導引面及一支撐面，該支撐面與該中心的距離大於該彈簧套筒之彈簧段的外筒面的半徑，該導引面與該中心的距離大於該支撐面與該中心的距離，且大於該凸出部與該針體之中心的最大距離；該彈簧套筒具有三該彈簧段，該等彈簧段分別完全位於該上導引孔內、該中導引孔內及該下導引孔內。
  11. 如申請專利範圍第1項所述之具有彈簧套筒式探針之探針裝置，其中該彈簧套筒具有至少一非彈簧段，該等導板之接合處位置對應於該彈簧套筒之非彈簧段。
  12. 如申請專利範圍第1項所述之具有彈簧套筒式探針之探針裝置，其中該彈簧套筒具有至少一非彈簧段，該探針座之導引孔位置完全對應於該彈簧套筒之非彈簧段。
  13. 如申請專利範圍第1項所述之具有彈簧套筒式探針之探針裝置，其中該彈簧套筒之彈簧段位置完全對應於該探針座之導引孔。
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