TW201016330A - Method for discharging liquid body, method for manufacturing color filter, and method for manufacturing organic EL device - Google Patents

Description

4' · 201016330 六、發明說明： 【發明所屬之技術領域】 本發明係關於一種自喷嘴噴出液狀體之液狀體之喷出方 法、彩色濾光片之製造方法及有機EL(Electroluminescence， 電致發光）裝置之製造方法。 【先前技術】 例如，於液晶顯示裝置等之彩色濾光片、有機EL裝置之 成膜等之領域，一直是應用噴出含有功能性材料之液狀體 之液狀體之喷出方法。在該液狀體之喷出方法中係使用液 滴噴出裝置。液滴喷出裝置含有被稱作液滴噴出頭之液滴 喷出機構。於該液滴喷出頭上規則地形成有複數個喷嘴。 於彩色濾光片或有機EL裝置之製造中，係自該等噴嘴向基 板等噴出含有功能性材料之液狀體作為液滴，從而形成含 有功能性材料之薄膜。 近年來’顯示裝置之應用領域正在擴大，目前已提供有 各種大小之面板。又，亦存在顯示裝置之高畫質化之要 求，為了適應該要求，必需實現高精細、高密度之彩色濾 光片或有機EL裝置之成旗。因此，高精細、高密度地對各 種大小之基板喷出液狀體變得重要起來。又，顯示裝置之 面板之需求增加，為了提高面板之生產率，亦存在希望自 一塊大型基板製造出多塊面板之要求。於此情形時，為了 追求獲取數之效率，或者為了自一塊基板生產出不同大小 之面板，已研究出各種各樣的布局。根據布局，有時噴出 液狀雜之最小單位之區域即像素區域之配置會相差％度。 143139.doc 201016330 卞為自液滴嘴出頭向工件（基板）噴出液狀體作為液滴而 進仃圖案描緣之液滴噴出裝置及液滴噴出方法，已知有如 下的液滴噴出裝置及液滴喷出方法：使工件於第1方向及 、 方向大致正父之第2方向上移動，自沿著第2方向預 • 先定位之複數個托架上所配設之液滴噴出頭之喷嘴噴出液 狀體而進行圖案之描繪（例如，參照專利文獻1)。 [專利文獻1]日本專利特開2〇〇6 187758號公報 參 【發明内容】 [發明所欲解決之問題] 上述液滴噴出裝置係自預先定位之噴嘴將液狀體噴出至 基板之特定區域内。再者，喷嘴係以固定之間距構成為行 狀’噴出液狀體之最小單位之區域即像素區域係形成為大 致，形形狀。因此，為了使噴嘴之喷出不均分散，較好的 也疋將用以使儘可能多的喷嘴與像素區域對向之像素區域 之長邊與喷嘴行加以平行配置。然而，若基板中配置方向 • 不同之像素區域混合存在而構成，則會存在短邊與喷嘴行 平行而配置之像素區域。於此情形時，有可能使可向區域 时出液狀體之喷嘴受到限制，㈣狀體嘴出至區域内之 偏離位置，從而於區域内產生液狀體之喷出量之偏差。若 產生液狀體之噴出量之偏差，則有可能產生區域内所形成 之薄膜之厚度不均勻。於液晶顯示裝置等之彩色濾光片、 有機EL裝置之功能膜等之薄模中，存在若產生媒厚之不均 勻，則所製造之顯示裝置之圖像品質將降低之問題。 [解決問題之技術手段] 143139.doc 201016330 本發明係為了解決上述問題之至少一部分研製而成者， 其可作為以下之形態或者應用例而實現。 (應用例1)一種液狀體之喷出方法，其特徵在於：包含 噴出步驟（process)，其係一面使複數個液滴噴出頭與包含 複數個大致矩形形狀之被喷出區域之基板在與上述液滴噴 出頭之配置方向為大致正交之主掃描方向上相對移動，一 面自上述噴嘴向上述被喷出區域喷出上述液狀體，上述複 數個液滴喷出頭包含喷嘴行，該噴嘴行係將喷出液狀體作 為液滴之複數個喷嘴呈行狀配設而成者，上述被噴出區域 包含第1被喷出區域及第2被噴出區域，上述第1被喷出區 域係以長邊方向沿著固定方向之方式配設於上述基板上， 上述第2被噴出區域較上述第1被噴出區域面積更小，且以 上述第2被喷出區域之長邊方向與上述第1被噴出區域之長 邊方向大致正交之方式配設，並且於上述喷出步驟中，以 沿著上述主掃描方向之方式配置上述第1被喷出區域之長 邊方向。 根據該方法，可使含有噴嘴行之液滴喷出頭之配置方 向、與面積較大之第1被喷出區域之大致矩形形狀之短邊 方向及面積較小之第2被喷出區域之大致矩形形狀之長邊 方向為相同方向。即’面積較大之第1被喷出區域可於大 致矩形形狀之短邊方向上配置噴嘴，面積較小之第2被喷 出區域可於大致矩形形狀之長邊方向上配置噴嘴。因此， 即便面積不同之第1被噴出區域及第2被喷出區域混合存在 於同一基板内’亦可增多能夠將液狀體喷出至各被喷出區 143139.doc 201016330 域内之喷嘴數量。因此，可減少將液狀體喷出至被噴出區 域内之偏離位置而產生液狀體之噴出量之偏差之情況。其 結果為，可降低各被喷出區域内所形成之薄膜厚度之不均 勻。因此，可製造品質穩定之至少兩種薄膜，從而可有助 於提高生產率。 (應用例2)如上述之液狀體之噴出方法，其中於上述喷 出步驟中，於上述第丨被噴出區域之短邊方向之區域内， 至少兩個以上之上述喷嘴係相對向。 根據該方法，可使複數個噴嘴與第1被喷出區域相對向 而噴出液狀體。因此，即便存在喷嘴之噴出特性之不均， 亦可藉由使用複數個喷嘴來使噴出特性之不均分散。其結 果為，可降低被喷出區域内所形成之薄膜厚度之不均勻。 (應用例3)如上述之液狀體之喷出方法，其中自上述噴 嘴喷出而配置於上述第1被喷出區域内之上述液滴之上述 第1被噴出區域之短邊方向之配置間隔，可藉由以相對於 φ 上述短邊方向具有角度之方式配置上述噴嘴行來加以調 整。 根據該方法，以相對於第〗被噴出區域之短邊方向具有 角度之方式配置液滴喷出頭之噴嘴行，藉此配置於第^皮 喷出區域之短邊方向上之液滴之配置間隔可實質性地變 窄。即，可使更多的喷嘴與第丨被噴出區域相對向而噴出 液狀體。因此，可減少將液狀體喷出至被喷出區域内之偏 離位置而產生液狀體之喷出量之偏差之情況。其結果為， 可降低被噴出區域内所形成之薄膜厚度之不均勻。 143139.doc 201016330 (應用例4)如上述之液狀體之喷出方法，其中上述喷出 步驟係於上述液滴喷出頭與上述基板之上述主掃描方向之 複數次相對移動_，使上述液时出頭與上述基板於與 上述主掃▲方向大致正交之副掃描方向上相對移動。 根據該方法’於喷出步驟中，可—面使液滴喷出頭與基 板於與主掃描方向大致正交之副掃描方向上相對移動、即 進行改行動作，一面自喷嘴將液狀體喷出至被喷出區域 内因此’可實質性地增多例如能夠配置於第^被喷出區 域之短邊方向上之液滴。因此’可減少將液狀體喷出至被 噴出區域内之偏離位置而產生液狀體之喷出量之偏差之情 況。其結果為，可降低被喷出區域内所形成之薄膜厚度之 不均勻。 (應用例5)—種彩色濾光片之製造方法，其特徵在於： 該衫色濾光片係於基板上之複數個被噴出區域内形成複數 種顏色之著色層者，複數個上述被喷出區域包含配設方向 彼此正交之第1被喷出區域及第2被喷出區域，上述彩色遽 光片之製造方法包含：喷出步驟，其係使用上述液狀體之 喷出方法’將含有著色層形成材料之複數種顏色之液狀體 喷出至複數個上述被喷出區域内；以及成膜步驟，其係將 所喷出之上述液狀體加以固化而形成上述複數種顏色之著 色層。 根據該方法，可降低配設方向彼此正交之第1被喷出區 域及第2被噴出區域内所形成之著色層之厚度不均勻 並 且能夠以高生產率製造著色層之排列方向不同之至少兩種 143139.doc 201016330 彩色濾光片。 (應用例6)—種有機EL裝置之製造方法，其特徵在於： 該有機EL裝置係於基板上之複數個被噴出區域内含有包含 發光層之功能層之有機EL元件者，複數個上述被喷出區域 包含配設方向彼此正交之第1被喷出區域及第2被喷出區 域，上述有機EL裝置之製造方法包含：喷出步驟，其係使 用上述液狀體之喷出方法，將含有發光層形成材料之液狀 體喷出至複數個上述被喷出區域内；以及成膜步驟，其係 ® 將所噴出之上述液狀體加以固化而形成上述發光 根據該方法’可降低配設方向彼此正交之第1被噴出區 域及第2被喷出區域内所形成之發光層之厚度不均勻，並 且能夠以高生產率製造有機EL元件之排列方向不同之至少 兩種有機EL裝置。 【實施方式】 以在基板上劃分出之複數個像素區域内含有複數種顏色 φ 之著色層之彩色濾光片之製造為例，對本發明進行說明。 著色層係像素構成要素，其係自複數個喷嘴朝向像素區域 喷出含有著色層形成材料之液狀體作為液滴而形成。為了 喷出該液狀體作為液滴，使用以下說明之液狀體噴出裝 置。 (關於液狀體喷出裝置之構成） 首先，參照圖1，對包含喷出液狀體之液滴噴出頭之液 狀體噴出裝置進行說明。圖i係表示液狀體噴出裝置之構 成之概略立體圖。 143139.doc 201016330 如圖1所示，液狀體噴出裝 2〇 # . ,. . ^ 置10包含：基板移動機構 〇太其係使含有被喷出區域（膜形成區域）之基板B於主掃 =上移動；以及頭移動機構3〇,其係使含有複數個液 ^ 方向上移動。該液狀體噴出 裝置10係一面使基板B與頭單开〇 + 4必丨 兴碩皁兀9之相對位置發生變化，一 :自搭載於頭單元9上之複數個液滴噴出頭喷出液狀體作 為液滴，從而利用液狀體於基板B上形成特定之功能膜 者。再者’圖中之X方向表示基板B之移動方向即主掃描 方向，Y方向表示頭單元9夕孩命1 士上》 早兀y之移動方向即副掃描方向，2：方 向表示與X方向及Y方向正交之方向。 於使用如此之液狀體噴出裝置1G，製造例如含有紅、綠 及藍三色之濾、光元件之彩色遽光片之情形時，自液狀體喷 出裝置1G之各液滴噴出頭向基❹之膜形成區域喷出紅、 綠及藍三色之液狀體中之任—者作為液滴，從而形成紅、 綠及藍三色之濾光元件。 此處，對液狀體噴出裝置10之各構成進行說明。 基板移動機構20包含一對導執21、沿著_對導軌21移動 之移動平台22、以及於移動平台22上可吸附並固定地載置 基板B之載台5。移動平台22係藉由設置於導轨21之内部之 未圖示之氣體滑動器及線性馬達而於X方向（主掃描方向） 上移動。 頭移動機構30包含一對導軌31、以及沿著一對導轨31移 動之第1移動台32。於第i移動台32上設置有托架8，且於 托架8上經由頭單元旋轉機構70而安裝有搭載複數個液滴 143139.doc •10* 201016330 喷出頭50(參照圖2)之頭單元9。頭單元9可藉由頭單元旋轉 機構70而於χγ平面上以圖1所示之旋轉轴[為中心旋轉。 並且，第1移動台32可使托架8於Y方向（副掃描方向）上移 動’而將頭單元9相對於基板8於2方向上隔開特定間隔對 向配置。 液狀體喷出裝置10除了上述構成以外，亦包含維護機構 60，其係進行消除搭載於頭單元9上之複數個液滴噴出頭 ❹ 50之噴嘴堵塞等的維護。又，液狀體喷出裝置10設置有液 狀體供給機構、喷出量測量機構，上述液狀體供給機構係 用以向液滴噴出頭5〇供給液狀體，上述嘴出量測量機構含 有接收由母個液滴喷出頭5〇或喷嘴所喷出之液狀體並測量 其喷出重量之電子天平等的測量器。該等各機構係由控制 部4(參照圖4)來控制。在圖1中，省略圖示控制部4、液狀 體供給機構及噴出量測量機構。 (關於液滴喷出頭） ❹ μ ^處參照圖2及圖3對含有複數個喷嘴之液滴喷出頭進行

係表不頭單元中之液滴噴出 。圖2(a)係概 戸喷嘴部之構造之剖面圖。圖3 頭之配置之概略俯視圖。詳細 °圖3係自與基板B相對向之側進行觀察之圖。再者 圖3所示之X方向、 相同之方向。 γ方向表示與圖1所示之X方向 、Υ方向 如圖2(a)及（b)所示 合有如 下構件之構造： 液滴噴出頭50形成為依序積層並接 嘴嘴板51，其含有噴出液滴〇之複 143139.doc 201016330 數個喷嘴52 ;模穴板53，其含有劃分複數個喷嘴^分別連 通之模穴55之隔離壁54 ;以及振動板58，其含有作為與各 模穴55對應之驅動元件之振動元件59。 模穴板53含有劃分連通於噴嘴52之模穴55之隔離壁54、 以及用以向模穴55中填充液狀體之流路56、57。流路”中 被喷嘴板51及振動板58所夾持而形成之空間發揮存積液狀 體之儲液槽之作用。液狀體係自液狀體供給機構通過配管 而供給’並通過設置於振動板58上之供給孔58&而存積於 儲液槽之後，通過流路56填充至各模穴55中。 如圖2(b)所示，振動元件59係包含壓電元件59c、以及夹 持Μ電元件59c之一對電極59a、5 9b之壓電元件。藉由自 外部向一對電極59a、59b施加作為驅動信號之驅動波形， 而使所接合之振動板58變形。藉此’由隔離壁54所隔開之 模穴55之體積增加，液狀體自儲液槽被抽吸至模穴55中。 繼而，當驅動波形之施加結束時，振動板58恢復至原狀， 對所填充之液狀體加壓。藉此，形成為可自喷嘴52喷出液 狀體作為液滴D之構造。藉由對施加至壓電元件59c之驅動 波形進行控制，可對各喷嘴52進行液狀體之喷出控制。 如圖3所示，上述液滴喷出頭50係配置於頭單元9之頭板 9a上。頭板9a上搭載有包含3個液滴喷出頭50之頭群50A、 及同樣包含3個液滴喷出頭50之頭群50B共計6個液滴喷出 頭50。於此情形時，頭群5〇A之液滴噴出頭50(頭R1)及頭 群50B之液滴喷出頭50(頭R2)係喷出相同種類之液狀體。 其他頭G1及頭G2、頭B1及頭B2亦相同。即，形成為可嗔 143139.doc -12· 201016330 出3種不同之液狀體的構成。 各液滴噴出頭50含有喷嘴行52a，其包含以固定之喷嘴 間距p而配設之複數個（180個）喷嘴52。因此，每個液滴喷 出頭50具有長度L之喷出寬度。頭R1及頭R2係自主掃描方 向（X方向）觀察以相鄰之喷嘴行52a於與主掃描方向正交之 副掃描方向（Y方向）上隔開1個喷嘴間距p而連續之方式，

❹ 於主掃描方向並列配設上。因此，頭R1及頭R2具有長度 2L之噴出寬度。 又’如上所述，頭單元9可藉由頭單元旋轉機構7〇而於 XY平面上以圖1所示之旋轉轴L為中心旋轉。即，如圖3所 示，頭板9a可於χγ平面上以旋轉轴[貫穿頭板93之點丨為中 心而旋轉。再者，點1係位於頭板9a之大致中心。 於本實施例中，對喷嘴行52a為1行之情形進行了說明， 但並不限定於此。液滴噴出頭5〇亦可將複數個噴嘴行Ua 於圖中X方向上隔開固定之間隔、於γ方向上偏移ι/2間距 (Ρ/2)而排列。#由如此，可使實質上的噴嘴間距ρ變窄， 從而高精細地喷出液滴D。 (關於液狀體喷出裝置之控制系統） 其次，參照圖4,對液狀體喷出裝置10之控制系統進4 說明。圖4係表示液狀體噴出裝置之控制系統之方塊圖。 如圖4所示，液狀體喷出装置1〇之控制系統包含 以及控制部4,上述驅動部46含有驅動液滴嘴出頭^ 基板移動機構2〇、頭移動機構3()等之各_ 制部4係包含驅動部46在内對液狀體 ： 143139.doc -13- 201016330 制。驅動部46包含：移動用驅動器47，其係對基板移動機 構20及頭移動機構30之各線性馬達分別進行驅動控制；頭 驅動器48，其係對液滴喷出頭50進行喷出控制；頭旋轉用 驅動器68，其係對使頭單元9旋轉之頭單元旋轉機構70進 行控制；維護用驅動器49，其係對維護機構60之各維護用 單元進行驅動控制；以及未圖示之喷出量測量用驅動器， 其係對喷出量測量機構進行控制。 控制部4包含CPU(central processing unit，中央處理單 元）41、ROM(read only memory，唯讀記憶體）42、RAM (random access memory，隨機存取記憶體）43、以及 P-CON44，該等彼此經由匯流排45而連接。於P-CON44上 連接有上位電腦11。ROM42含有記憶由CPU41處理之控制 程式等之控制程式區域、以及記憶用以進行描繪動作或功 能恢復處理等之控制資料等的控制資料區域。 RAM43含有記憶於基板B上繪製圖案之圖案資料之圖案 資料記憶部等的各種記憶部，且作為用以進行控制處理之 各種作業區域而使用。於P-CON44上連接有驅動部46之各 種驅動器等，構成並編入有用以補充CPU41之功能並且處 理與周邊電路之介面信號之邏輯電路。因此，P-CON44將 來自上位電腦11之各種指令等直接或者加工之後輸入至匯 流排45，並且與CPU41連動，將自CPU41等輸出至匯流排 45之資料或控制信號直接或者加工之後輸出至驅動部46。 並且，CPU41按照ROM42内之控制程式，經由P-CON44 而輸八各種檢測信號、各種指令、各種資料等，對RAM43 143139.doc 14 201016330 内^各種資料等進行處理之後，經由P-CON44而將各種控 制仏號輸出至驅動部46等，藉此對液狀體喷出裝置整體 進灯控制。例如，cpU41控制液滴嘴出頭5〇、基板移動機 構20及頭移動機構3〇,並使頭單元9與基板b對向配置。並 .〃、頭單元9及基板B之相對移動同步地，自搭載於頭單 元9上之各液滴噴出頭50之特定數量之喷嘴52向基板B喷出 液狀體作為液滴D而形成圖案。 Φ 於此情形時，將與基板B向X方向之移動同步地喷出液 狀體之動作稱作主掃描，將使頭單元9於丫方向上移動之動 作稱作副掃描。本實施例之液狀體噴出裝置1〇可藉由組合 主掃描與副掃描並重複進行複數次，而喷出液狀體。主掃 描並不限定於基板B相對於液滴喷出頭5〇向一方向移動， 亦可使基板B作往返移動。 上位電腦11不僅將控制程式或控制資料等之控制資訊送 出至液狀體噴出裝置1〇，亦可修正該等之控制資訊。又’ φ 具有作為配置資訊生成部之功能，即，根據噴嘴52之位置 資訊等’生成在基板B上之每個喷出區域將必要量之液狀 體作為液滴D加以配置之配置資訊。配置資訊係將噴出之 喷嘴52與待機之喷嘴52之分類及喷出區域内之液滴D之喷 出位置（換而言之，基板B與喷嘴52之相對位置）、液滴〇之 配置數（換而言之’每個喷嘴52之喷出數、噴出比例）、主 掃描時之複數個噴嘴52之ΟΝ/OFF(打開/關閉）、噴出時序 等之資訊作為例如位元映像而表現者。 (液狀體之喷出方法及彩色濾光片之製造方法） 143139.doc -15- 201016330 其次，參照圖5至圖9 ’對應用本實施形態之液狀體之喷 出方法的彩色濾光片之製造方法進行說明。圖5(a)係表示 彩色濾光片之概略俯視圖，圖5(b)係圖5(a)之c_c，剖面 圖。圖6係表示彩色濾光片之製造方法之流程圖，圖 7(a)〜(d)係表示彩色滤光月之製造方法之概略剖面圖。 如圖5(a)及圖5(b)所示，彩色濾光片ι00於透明玻璃等的 基板101上含有紅（R)、綠（G)、藍（B)三色之濾光元件即著 色層103。作為形成著色層1〇3之矩形形狀之被喷出區域之 膜形成區域103r、103g、l〇3b，係藉由隔離壁部1〇4而劃 〇 分為矩陣狀。本實施形態之彩色濾光片1〇〇係同色之著色 層103呈直線排列之所謂條紋方式的彩色濾光片。 如圖5(b)所示，隔離壁部1〇4形成為包含第1隔離壁部 l〇4a及第2隔離壁部10仆之雙層構造。第i隔離壁部1〇私包 含例如Cr或A1等之金屬薄膜而具有遮光性。第2隔離壁部 1 04b包含例如樹脂材料。再者，並不限定於雙層構造，亦 可為由含有具有遮光性之構件之樹脂材料來構成隔離壁部 104的單層構造。 ® 著色層103包含含有著色材料之透光性樹脂材料。於本 實施形態中’係使用上述液狀體噴出裝置1〇來製造如此之 - 彩色濾光片100。 - 如圖6所示’本實施形態之彩色濾光片ι〇〇之製造方法基 本上包含：隔離壁部形成步驟（步驟S1)，形成隔離壁部 104 ’表面處理步驟（步驟S2)，對形成有隔離壁部ι〇4之基 板101之表面進行表面處理；液狀體之喷出步驟（步驟 143139.doc -16- 201016330 S3)，喷出含有著色層形成材料之液狀體；以及乾燥步驟 (步驟S4) ’使所喷出之液狀體乾燥而形成著色層1〇3。 於圖6之步驟si中，首先，於基板101之表面上成膜Cr或 A1等之金屬薄膜。作為成膜方法’可列舉真空蒸鍍法、濺 鍍法等。膜厚例如設為O.i μιη左右，以獲得遮光性。藉由 光微影法來對其進行圖案化，從而形成已開口之圖7(叻所 示之第1隔離壁部104a。繼而，覆蓋第1隔離壁部104a而塗 φ 佈厚度為2 μιη左右之感光性樹脂，同樣藉由光微影法來進 仃圖案化，從而於第i隔離壁部1〇私上形成第2隔離壁部 l〇4b。藉此，如圖7(a)所示，於基板1〇1上形成已開口之矩 形形狀之膜形成區域103r、1〇3g、1〇3b。繼而，進入至步 驟S2。 於圖6之步驟S2中，對基板1〇1之表面進行親液處理，以 便於其後的液狀體之噴出步驟中，使所喷出之液狀體喷附 至膜形成區域103r、i〇3g、1〇3b中並潤濕擴散。又，對第 • 2隔離壁部1〇4b之至少上面部進行斥液處理，以便即便所 噴出之液狀體之一部分喷附至第2隔離壁部1〇朴亦會被收 谷於膜形成區域l〇3r、l〇3g、i〇3b内。 作為表面處理方法’係對形成有隔離壁部1〇4之基板 101，進行將〇2作為處理氣體之電漿處理及將氟系氣體作 為處理氣體之電漿處理。即，對膜形成區域1〇3r、1〇3g、 103b進行親液處理，其後對包含感光性樹脂之第2隔離壁 郤104b之上面進行斥液處理。再者，若形成第2隔離壁部 104b之材料自身具有斥液性，則亦可省略後者之處理。繼 143139.doc •17· 201016330 而，進入至步驟S3。 於圖6之步驟S3中’於圖1所示之液狀體喷出裝置1〇之載 台5上載置經表面處理之基板1〇1。繼而，自圖3所示之頭 單元9之液滴喷出頭50分別噴出含有不同著色層形成材料 之三色之液狀體。詳細而言，如圖7(b)及圖7(c)所示，與 基板101及液滴噴出頭50之朝向主掃描方向之相對移動同 步地，自液滴噴出頭50之喷嘴52向所需之膜形成區域 l〇3r、l〇3g、103b分別喷出三色之液狀體作為液滴噴 出至膜形成區域103r、l〇3g、i〇3b之液狀體之噴出量係根 據於每次主掃描預先設定好針對每個膜形成區域1〇3r、 l〇3g、103b所選擇之噴嘴52之選擇圖案及液滴〇之噴出數 等的喷出資料，自控制部4之CPU41向頭驅動器48發送適 當的控制信號來加以控制。藉此，對每個膜形成區域 l〇3r、103g、103b噴出特定量之液狀體。繼而，進入至步 驟S4 〇 於圖6之步驟S4中，如閽％ - 如圖7(d)所不，使溶劑成分自噴出

至基板101上之液狀體中蒗發，P 發攸而形成含有著色層形成 材料之著色層103。於木管絲{能士 貫施$匕中，係將基板101設置於 ^夠將㈣丨之蒸氣壓加㈣定來進行乾敎減壓乾燥裝置 ^行減壓乾燥，從而形成R、G、B三色之著色層1〇3。 者’亦可將喷出一色之液大號而t h 夜狀體而加以乾燥之步驟重複三 二人。於步驟S3之液狀體之噴出 σ ^ ^ ^ 騍中，著色層103之膜厚 ，、要根據每種顏色來設定即可，= m 一色未必需要為相同膜 厚。，、要根據必需之膜厚之設定， ^ 將必要量之液狀體喷出 J43139.d〇( 201016330 至所對應之膜形成區域103r、103g、1〇3b即可。 形成有彩色濾光片100之基板101之大小，係根據使用其 之顯示裝置之大小來確^。x，即便為同—大小之顯示裝 置，當像素係高密度地配置時，所對應之彩色濾光片1〇〇 之著色層103之配置亦要求高密度之配置。 作為更有效率地生產彩色濾光片1〇〇之方法，通常係採 用於較基板101面積更大之母基板B上進行多倒角處理之方 法。然而，面積上有效之彩色濾光片1〇〇之大小係根據母 基板B之大小來決定。當對面積上無效之大小之彩色濾光 片100進行多倒角處理時，會產生空閒空間。由此，可考 慮於S亥空閒空間對不同大小之彩色濾光片1 〇〇進行裝邊， 從而不浪費地利用母基板B。 於母基板B上對不同大小之彩色濾光片100進行裝邊時， 有時膜形成區域1 〇3r、1 03g、1 〇3b之排列方向即條紋方向 會彼此正交。如上所述’膜形成區域103r、l〇3g、1〇31)内 之液滴之配置係藉由根據主掃描時之噴出時序喷出液狀體 而實現。如上所述，自主掃描方向觀察之複數個喷嘴52係 以固定之喷嘴間距P而配設。因此，當在母基板B上矩形形 狀之膜形成區域l〇3r、103g、l〇3b之排列方向不同時，有 時根據排列方向，與膜形成區域l〇3r、103g' l〇3b相對向 之噴嘴52之數量會受到限制。 使用本實施形態之液狀體之喷出方法之彩色濾光片1〇〇 之製造方法，係根據母基板B上之膜形成區域i〇3r、 l〇3g、l〇3b之配置來提供較佳之液狀艎之喷出方法者。詳 143139.doc -19- 201016330 細内容將參照實施例來進行說明。 (第1實施例） 此處，參照圖8及圖9來說明第1實施例之彩色濾光片之 製造方法。圖8係表示液狀體之喷出步驟中之頭單元與母 基板之相對配置之概略俯視圖，圖9(a)及圖9(b)係表示液 狀體之噴出步驟中之液滴之配置之概略俯視圖。再者，圖 8及圖9所示之X方向、γ方向表示與圖1所示之X方向、γ方 向相同之方向。 如圖8所示’第1實施例之母基板b含有沿著母基板b之 長邊而裝邊複數個（7個）之第2面板E2、以及沿著長邊與短 邊呈矩陣狀裝邊複數個（4個）之第1面板E1。第2面板£2之 面積小於第1面板E1之面積。 於第2面板E2上，呈矩陣狀排列有複數個作為第2被喷出 區域之矩形形狀之膜形成區域1031、l〇3g、1〇儿。同樣 地，於第1面板El上，呈矩陣狀排列有複數個作為第χ被噴 出區域之矩形形狀之膜形成區域103r，、l〇3g，、1〇3b，。此 處膜形成區域103r、l〇3g、l〇3b之面積小於膜形成區域 1031·，、103g，、l〇3b，之面積。膜形成區域 1〇3r、1〇3g、 103b與膜形成區域i〇3r’、i〇3gi、103bi之噴出同種（同色） 之液狀體之條紋方向正交。又’分別喷出特定量之所需之 液狀體而形成著色層103。 於液狀體之噴出步驟中，使用圖丨所示之液狀體噴出裝 置10，以使母基板B之長邊與在副掃描方向（γ方向）上配置 於頭移動機構30上之複數個頭單元9大致平行之方式，將 143139.doc •20· 201016330 母基板B疋位於載台5上。繼而，在使載台5於主掃描方向 (X方向）上移動期間，自搭載於頭單 元9上之液滴噴出頭5〇 朝向母基板B噴出液狀體。 ;匕清$時’膜形成區域l〇3r、103g、103b之長邊方向 與剎掃描方向（Y方向）相一致。膜形成區域103r，、i〇3g，、 103b之長邊方向與主掃描方向（χ方向）相一致。又，液滴 喷出頭5〇上所排列之噴嘴行52a係藉由頭單元旋轉機構7〇 φ 以與曰彳掃描方向（γ方向）相一致之方式而配置。其結果 為，如圖9(a)所示，包含複數個喷嘴52之喷嘴行52a係沿著 矩形形狀之膜形成區域1〇3r、1〇3g、1〇3b之長邊方向而配 置。 例如，於主掃描（χ方向）中，在喷出紅色液狀體之膜形 成區域103r中，安裝有4個喷嘴，自各噴嘴52分別噴出液 滴D1。藉此’於膜形成區域丨〇3^分別塗佈4滴液滴d 1 ^所 喷附之液滴D1於膜形成區域1〇3r内潤濕擴散。又，於主掃 φ 描方向上，藉由控制喷出時序，可使液滴D1喷附於膜形成 區域103r中任一個之任意位置。關於副掃描方向（γ方向） 上之噴附位置，根據膜形成區域丨〇3r之副掃描方向上之配 置間距與噴嘴間距P之關係，未必於每個膜形成區域l〇3r 均相同。再者，在第2面板E2中之其他膜形成區域i〇3g、 103b ’亦同樣地噴出所需之液狀體作為液滴〇1各4滴。 如圖9(b)所示，在上述主掃描中，例如在較膜形成區域 l〇3r面積更大且排列方向正交之膜形成區域1〇3r·安裝兩個 喷嘴52。並且，自各喷嘴52於主掃描方向上噴出複數個液 143139.doc -21 - 201016330 滴D1。藉此，對每個膜形成區域i〇3r’塗佈液滴D1。於主 掃描方向上，藉由控制噴出時序，可使液滴Di喷附於膜形 成區域1 03r'中任一個之任意位置。另一方面，關於副掃描 方向（Y方向）上之噴附位置’根據膜形成區域1〇3ri之副掃 描方向上之配置間距與喷嘴間距P之關係，雖然於每個膜 形成區域1031·’上安裝有兩個噴嘴52，但未必於每個膜形成 區域103 r'均相同。再者’在第1面板E1中之其他膜形成區 域103g|、103b’，亦同樣地喷出所需之液狀體作為液滴 D1 〇 如上所述’於第1實施例之噴出步驟中，能夠以在較膜 形成區域103r’、103g’、l〇3b’面積更小之膜形成區域 l〇3r、103g、103b安裝更多的噴嘴52之方式，對頭單元9 及母基板B進行定位’並於各膜形成區域1〇3r、i〇3g、 103b及膜形成區域1〇3r’、103g’、103b’嘴出液滴D1。 以下，揭示第1實施例之效果。 (1)根據本實施例之液狀體之喷出方法，可使喷嘴行52a 之配置方向’與作為面積較大之第1被喷出區域之膜形成 區域103r'、103g’、l〇3b’之短邊方向及作為面積較小之第2 被喷出區域之膜形成區域l〇3r、l〇3g、l〇3b之長邊方向為 相同方向。即’面積較大之膜形成區域1〇3r，、l〇3g，、 l〇3b’可於短邊方向上配置喷嘴52，面積較小之膜形成區域 l〇3r、103g、103b可於長邊方向上配置喷嘴52。因此，即 便面積不同之第1被喷出區域及第2被噴出區域混合存在於 同一基板内’亦可增加配置能夠將液狀體喷出至各被嘴出 143139.doc -22- 201016330 區域内之喷嘴之數量。因此，可減少將液狀體喷出至被噴 出區域内之偏離位置而產生液狀體之噴出量之偏差之情 況。其結果為，可降低被喷出區域内所形成之薄膜厚度之 不均勻。 (2)根據本實施例之液狀體之喷出方法，可降低排列方 向彼此正交且面積不同之膜形成區域1〇3rl、1〇3gl、l〇3b, 及膜形成區域103r、103g、l〇3b内所形成之著色層W3之 厚度的不均勻。即，能夠以高生產率製造著色層1〇3之排 列方向不同、大小不同之至少兩種彩色濾光片丨〇〇。 (第2實施例） 此處’參照圖10及圖11，對第2實施例之彩色濾光片之 製造方法進行說明。圖1 〇係表示第2實施例之液狀體之噴 出步驟中之頭單元與母基板之相對配置之概略俯視圖，圖 11係表示第2實施例之液狀體之喷出步驟中之液滴之配置 的概略俯視圖。再者’圖10及圖11所示之X方向、Y方向 表示與圖1所示之X方向、γ方向相同之方向。又，關於與 第1實施例相同之構成及内容，使用同等的符號並且省略 說明。 第2實施例之母基板與第丨實施例之母基板b同樣，含有7 個第2面板E2以及4個第1面板E1。因此，於第2面板E2上 呈矩陣狀排列有複數個作為第2被喷出區域之矩形形狀之 膜形成區域103r、l〇3g、103b，於第1面板E1上呈矩陣狀 排列有複數個作為第1被喷出區域之矩形形狀之膜形成區 域 103r’、l〇3g·、103b'。 143139.doc -23- 201016330 於液狀體之喷出步驟中’使用圖1所示之液狀體噴出裝 置10，以使母基板B之長邊與在副掃描方向（Y方向）上配置 於頭移動機構30上之複數個頭單元9大致平行之方式，將 母基板B定位於載台5上。然而，於第2實施例中，如圖1〇 所示，使用頭單元旋轉機構70使頭單元9以點丨為中心朝向 Y方向旋轉α度。其結果為，排列於液滴喷出頭5〇上之噴嘴 行52a亦僅旋轉α度而加以配置。 即，如圖11(a)所示，含有複數個噴嘴52之喷嘴行52a係 自矩形形狀之膜形成區域l〇3r、i〇3g、l〇3b之長邊方向具 有α度之角度而配置。並且，在使載台5於主掃描方向（乂方 向）上移動期間，自搭載於頭單元9上之液滴喷出頭5〇朝向 母基板Β喷出液狀體。於此情形時，噴嘴行52a相對於γ方 向具有α度之角度，因此對於膜形成區域1〇;3r之實質上之 液滴之配置間隔Pl(pxCosa)會變得較喷嘴行523之噴嘴間 距P更窄。 因此，於主掃描（X方向）中，於噴出紅色液狀體之膜形 成區域103r内，安裝有5個喷嘴S2，自各喷嘴52分別喷出 液滴D1。藉此，於膜形成區域1〇&内分別塗佈$滴液滴 D1。於主掃描方向上，藉由控制噴出時序，可使液滴 喷附於膜形成區域l〇3r中任一個之任意位置。即，可於膜 形成區域103r之X方向之任意位置上配置一行液滴。再 者’於第2面板Ε2上之其他膜形成區域1〇均、i〇3b，亦同 樣地喷出所需之液狀體作為液滴〇1各5滴。 如圖ii(b)所示，同樣地，喷嘴行52a相對於丫方向具有α 143139.doc -24 - 201016330 度之角度，因此對於較膜形成區域1〇3r面積更大且排列方 向正交之膜形成區域103r’之實質上之液滴之配置間隔 Pl(PxCosa)會變得較噴嘴行52a之噴嘴間距p更窄。因此， 於膜形成區域103Γ|内安裝3個噴嘴52。並且，自各噴嘴52 喷出液滴D1。藉此，於各膜形成區域丨03r·之副掃描方向 . 上塗佈3滴液滴D1。於主掃描方向上，藉由控制吐出時 序，可使液滴D1噴附於膜形成區域1〇3r,中任一個之任意 φ 位置。再者，於第1面板E1上之其他膜形成區域103g'、 103b’，亦同樣地噴出所需之液狀體作為液滴di。 以下’揭示第2實施例之效果。 (1)根據本實施例之液狀體之喷出方法，藉由以相對於 作為第1被噴出區域之膜形成區域103r,、1〇3g，、1〇3b，之短 邊方向具有角度α之方式配置噴嘴行52a，可使配置於膜形 成區域103Γ，、l〇3g|、103b，之短邊方向上之液滴之配置間 隔P1實質上窄於噴嘴間距P。即，可自更多之噴嘴52對膜 φ 形成區域103r'、l〇3g’、103b'噴出液狀體。因此，可減少 將液狀體喷出至被喷出區域内之偏離位置而產生液狀體之 喷出畺之偏差之情況。其結果為，可降低被噴出區域内所 形成之薄膜厚度之不均勻。 (2)根據本實施例之液狀體之喷出方法，可使更多的噴 嘴52與被喷出區域對向而喷出液狀體。因此，即便存在噴 嘴52之喷出特性之不均，亦可藉由使用更多的噴嘴來使 喷出特性之不均分散。其結果為，可降低被嘴出區域内所 形成之薄膜厚度之不均勻。 143139.doc -25· 201016330 (3) 根據本實施例之液狀體之喷出方法，藉由調整頭單 元9之旋轉角度α，可與喷嘴間距p無關而任意地設定喷附 至被喷出區域之液滴之配置間隔ρ丨。因此，可與被喷出區 域之副掃描方向之大小無關而自較多的喷嘴52喷出液狀體 作為液滴。故而，可減少將液狀體噴出至被噴出區域内之 偏離位置而產生液狀體之喷出量之偏差之情況。又，即便 存在噴嘴52之噴出特性之不均，亦可藉由使用複數個喷嘴 52來使噴出特性之不均分散。其結果為，可降低被喷出區 域内所形成之薄膜厚度之不均勻。 (4) 又’可任意地設定噴附至被噴出區域之液滴之配置 間隔P1，故而可對被噴出區域高密度、高精細地喷出液狀 體。因此，可形成高密度、高精細之薄膜，從而能夠有助 於顯示裝置之高畫質化。 (5) 根據本實施例之液狀體之噴出方法，可降低排列方 向彼此正交且面積不同之膜形成區域103r，、103g，、l〇3b， 及膜形成區域l〇3r、i〇3g、i〇3b内所形成之著色層ι〇3之 厚度之不均勻。即，能夠以高生產率製造著色層1〇3之排 列方向不同、大小不同之至少兩種彩色濾光片1〇〇。 (第3實施例） 此處’參照圖12 ’對第3實施例之彩色濾光片之製造方 法進行說明。圖12係表示第3實施例之液狀體之噴出步驟 中之液滴之配置的概略俯視圖。再者，圖12所示之又方 向、γ方向表示與圖1所示之X方向、γ方向相同之方向。 又，關於與第1及第2實施例相同之構成及内容，使用同等 143139.doc -26 - 201016330 的符號並且省略說明。 第3實施例之母基板與第丨及第2實施例之母基板B同樣， 含有7個第2面板E2及4個第1面板E1。因此，於第2面板E2 上呈矩陣狀排列有複數個作為第2被噴出區域之矩形形狀 之膜形成區域103r、103g、l〇3b，於第1面板^上呈矩陣 狀排列有複數個作為第1被噴出區域之矩形形狀之膜形成 區域 103r'、l〇3g' ' l〇3b·。

於液狀體之喷出步驟中，使用圖丨所示之液狀體喷出裝 置10，以使母基板B之長邊與於副掃描方向（丫方向）上配置 於頭移動機構30上之複數個頭單元9大致平行之方式，將 母基板B定位於載台5上。繼而，使載台5於主掃描方向 方向）上移動，自搭載於頭單元9上之液滴喷出頭朝向母 基板B喷出液狀體。 此時，搭載於頭單元9上之液滴喷出頭5〇之喷嘴行52a既 可相對於㈣描方向具有角度„，亦可配置於與副掃描方 向相同之方向h於本實施例中，以將噴嘴行仏配置於 與副掃描方向相同之方向上之情形為例進行說明。又於 本實施例中，4 了便於說明，以向作為^㈣出區域之 膜形成區域咖，、1()3g’、聊噴出液狀體之情形為例進 行說明。 於此情形時’如圖l2(a)所示 至1之自然數）之喷嘴行52a， ’包含複數個噴嘴52i(i為1 係沿著膜形成區域103r'、 l〇3g’、l〇3b’之短邊方 形成區域103rf、l〇3g， 向而配置。於本實施例中，由於膜 、l〇3b’之短邊方向之寬度形成得較 143139.doc -27- 201016330 小，因此若自例如兩個噴嘴52ι、522向膜形成區域i〇3r，同 時噴出紅色液㈣’則紅色液狀财可能混人至相鄰之膜 形成區域1〇3g，。因此，於喷出紅色液狀體之膜形成區域 103Γ|中，必需僅使用丨個噴嘴52广再者同樣地在呈鑲 嵌狀配》又之其他膜开> 成區域l〇3r，内使用1個喷嘴526。 若進行第一次喷出動作，即一面藉由圖1所示之載台5使 母基板B於圖12中X(+)方向上移動，-面自喷嘴52,、526 噴出液滴D1 ’則如圖12⑷所示，液滴於膜形成區域 1 〇3r之圖中左侧配置為行狀。再者，X方向之配置間隔可 藉由控制噴出時序而調整為任意間隔。 繼而，藉由圖1所示之頭移動機構3〇，使頭單元9向圖12 中γ(-)方向微量移動。藉由調整移動距離，而如圖12⑻所 不，噴嘴522及喷嘴527與喷出紅色液狀體之膜形成區域 1 〇3r相對向。並且，若進行第二次喷出動作，即一面使母 基板B向圖12中外）方向移動，一面自喷嘴〜叫噴出液 滴D2 ’則液滴D2於膜形成區域1〇3『，之圖中右側配置為行 狀。 如此，在母基板B於X方向（主掃描方向）上移動及自噴嘴 52(喷出液狀體期間’進行頭單元9之丫方向（副掃描方向）之 微量移動，藉此可自不同噴嘴52i將液狀體作為液滴d配置 於膜形成區域l〇3r，之Y方向之不同位置。 再者，於期望調整液狀體之噴出量或者配置更高密度之 液滴之情形時，如圖12(c)所示，於第二次喷出動作之後， 藉由圖1所示之頭移動機構3〇使頭單元9進而向圖12中丫(_) 143139.doc -28· 201016330 方向微量移動，使噴嘴522及噴嘴η?與包含液滴m及液滴 D2之液滴行之間相對向，而進行一面使母基板b向圖a中 X(+)方向移動一面自噴嘴522、Μ?噴出液滴〇3的第三次喷 出動作。藉由如此方式’而於膜形成區域1〇3r，中形成包含 液滴D1〜D3之三行液滴行。 以下’揭示第3實施例之效果。 ⑴根據本實施例之液狀體之喷出方法，藉由在母基板B ❹於X方向（主掃描方向）上移動及自嘴嘴52】喷出液狀體期 間，進行頭單W之γ方向（副掃描方向）之微量移動，可自 不同噴嘴52i將液狀體作為液滴D配置於膜形成區域⑻之丫 方向之不同位置。因此，可實質上增多能夠配置於膜形成 區域103内之液滴D。故而’可減少將液狀體噴出至膜形成 區域1〇3内之偏離位置而產生液狀體之喷出量之偏差之情 況。其結果為’可降低被噴出區域内所形成之薄膜厚度之 • )根據本實施例之液狀體之噴出方法，可使更多的喷 嘴％與膜形成區域103相對向而噴出液狀體。因此，即便 5存2 = ::之喷出特性之不均，亦可藉由使用更多的噴嘴 戏、特&之不均分散。其結果為’可降低膜形成區 域103内所形成之薄膜厚度之不均勻。 二艮據本實施例之液狀體之喷出方法，藉由調整頭移 :機構:對頭單元9之移動量，可與喷嘴間距p無關 =喷附於被喷出區域之液滴之配置間隔。因此，可與 被喷出區域之副掃描方向之大小無關，而自較多的喷嘴Μ 143139.doc -29- 201016330 噴出液狀體作為液滴。故而，可減少將液狀體噴出至被喷 出區域内之偏離位置而產生液狀體之喷出量之偏差之情 況。又，即便存在喷嘴52之喷出特性之不均，亦可藉由^ 用複數個噴嘴52來使噴出特性之不均分散。其結果為，可 降低被喷出區域内所形成之薄膜厚度之不均勻。 (4) 又，由於可任意地設定噴附於被喷出區域之液滴之 配置間隔，因此可對被喷出區域高密度、高精細地噴出液 狀體。因此，可形成高密度、高精細之薄膜，從而可有助 於顯示裝置之高畫質化。 (5) 根據本實施例之液狀體之噴出方法，可降低排列方 向彼此正交且面積不同之膜形成區域1〇3r，、l〇3g, ' i〇3b, 及膜形成區域103r、103g、l〇3b内所形成之著色層1〇3之 厚度之不均勻。即，能夠以高生產率製造著色層1〇3之排 列方向不同、大小不同之至少兩種彩色濾光片1〇〇。 (第4實施例） 其次’對使用上述液狀體之配置方法之有機EL裝置之製 造方法進行說明。 (有機EL裝置） 圖13係表示有機EL裝置之主要部分構造之概略剖面圖。 如圖13所示’本實施形態之作為電光裝置之有機el裝置 6〇〇包含：元件基板601 ’其含有作為有機El元件之發光元 件部603 ;以及密封基板620 ’其將元件基板6〇1與空間622 加以隔開而密封。又，關於元件基板601，於元件基板601 上包含電路元件部602 ’發光元件部603係於電路元件部 143139.doc -30- 201016330 602上重疊而形成’並藉由電路元件部6〇2加以驅動β於發 光元件部603上，三色之發光層617R、617G、617Β形成於 作為各顏色要素區域之被喷出區域Q，並形成為條紋狀。 元件基板601將與三色之發光層61 7R、61 7G、61 7Β對應之 一個被喷出£域Q作為1組圖素，將該圖素呈矩陣狀配置於 元件基板601之電路元件部602上。本實施形態之有機£[裝 置600係使來自發光元件部6〇3之發光向元件基板6〇1側射 出者。 φ 一 密封基板620由於包含玻璃或者金屬，因此經由密封樹 脂接合於元件基板601上，並於所密封之内側表面上黏貼 集氣劑621。集氣劑621會吸收滲入至元件基板6〇1與密封 基板620之間之空間622的水或者氧氣，從而防止發光元件 部603因所滲入之水或者氧氣而劣化。再者，該集氣劑62ι 亦可省略。 本實施形態之元件基板6〇 1係於電路元件部602上含有複 φ 數個被喷出區域Q者，且包含：觸排618，其係作為劃分複 數個被喷出區域Q之隔離壁部；電極613，其係形成於複數 個被喷出區域Q中；以及電洞佈植/傳輸層617a，其係積層 於電極613上。又’含有作為顏色要素之發光元件部603’ 其含有向複數個被喷出區域q内賦予含有發光層形成材料 之二種液狀體而形成之發光層617R、617G、617B。觸排 618包含下層觸排618a、以及實質上劃分被噴出區域Q之上 層觸排618b，下層觸排618a係以向被喷出區域〇之内侧突 出之方式而設置，且為了防止電極613與各發光層617r、 143139.doc • 31- 201016330 617G、617B直接接觸而發生電性短路，其係由81〇2等之無 機絕緣材料而形成。 元件基板601係包含例如玻璃等之透明基板，於元件基 板601上形成有包含氧化石夕膜之基底保護膜6〇6，且於該基 底保護膜606上形成有含有多晶石夕之島狀之半導體膜6〇7。 再者，於半導體膜607上，藉由打入高濃度p離子而形成有 源極區域607a及〉及極區域607b。再者，未導入p之部分成 為通道區域607c。進而，形成覆蓋基底保護膜6〇6及半導 體膜607之透明的閘極絕緣膜608，於閘極絕緣膜608上形 成有含有A卜Mo、Ta、Ti、W等之閘極電極609，且於閘 極電極609及閘極絕緣膜608上形成有透明的第1層間絕緣 膜61 la以及第2層間絕緣膜61 lb。閘極電極609係設置於與 半導體膜607之通道區域607c相對應之位置上。又，形成 有接觸孔612a、612b’其等貫穿第丄層間絕緣膜6Ua及第2 層間絕緣膜611b ’而分別連接於半導體膜607之源極區域 607a、汲極區域607b。並且，於第2層間絕緣膜6Ub上， 將含有ITO(Indium Tin Oxide，氧化銦錫）等之透明的電極 613圖案化為特定形狀而配置（電極形成步驟），且將一方之 接觸孔612a連接於該電極613。又，將另一方之接觸孔 612b連接於電源線614。如此，於電路元件部6〇2上形成有 連接於各電極613之驅動用之薄膜電晶體615。再者，於電 路元件部602上亦形成有保持電容及開關用之薄膜電晶 體，但圖13中省略了該等之圖示。 發光元件部603包含.作為陽極之電極613 ;依序積層於 143139.doc -32- 201016330 積層電極613上之電洞佈植/傳輸層617 a、各發光層617R、 6 17G、61 7B(統稱為發光層61 7b);以及以覆蓋上層觸排 618b及發光層617b之方式而積層之陰極6〇4。再者，若利 用透明材料來構成陰極604與密封基板620及集氣劑621， 則可自密封基板620側射出所發出之光。 有機EL裝置600含有連接於閘極電極609之掃描線（省略 圖示）以及連接於源極區域607a之信號線（省略圖示），若藉 由傳輸至掃描線之掃描信號而使開關用之薄膜電晶體（省 略圖示）接通，則將此時之信號線之電位保持在保持電 容’並根據該保持電容之狀態，來決定驅動用之薄膜電晶 體615之接通與斷開狀態β並且，經由驅動用之薄膜電晶 體615之通道區域607c’電流自電源線614向電極613流 動，進而經由電洞佈植/傳輸層617a及發光層617b，電流 向陰極604流動。發光層617b根據流經其之電流量而進行 發光。有機EL裝置600根據如此之發光元件部6〇3之發光機 制’可顯示所需之文字及圖像等。 (有機EL裝置之製造方法） 其次，根據圖14及圖15，對本實施形態之有機el裝置之 製造方法進行說明。圖14係表示有機EL裝置之製造方法之 流程圖，圖15係表示有機EL裝置之製造方法之概略剖面 圖°再者’於圖15(a)〜(f)中，形成於元件基板6〇1上之電 路元件部602省略了圖示。 如圖14所示’有機EL裝置之製造方法包含如下步驟：於 元件基板601之對應於複數個被喷出區域q之位置上形成電 143139.doc •33- 201016330 之步驟，以及觸排（隔離壁部）形成步驟，其係以一部 刀接觸電極613之方式形成下層觸排618a，進而於下層觸 排618a上以實質上劃分被喷出區域〇之方式而形成上層觸 排61肋。又，包含如下步驟：對藉由上層觸排618b而劃分 之被噴出區域Q進行表面處理之步驟；向經表面處理之被 喷出區域Q賦予含有電洞佈植/傳輸層形成材料之液狀體並 對電’同佈植/傳輸層617a進行喷出描_之步驟；以及將所 噴出之液狀體加以乾燥而成膜電洞佈植/傳輸層617a之步 驟又，包含如下步驟：對形成有電洞佈植/傳輸層617a 之被噴出區域Q進行表面處理之步驟；作為顏色要素描繪 步驟之發光層描繪步驟，其係向經表面處理之被噴出區域 Q賦予含有作為顏色要素形成材料之發光層形成材料之三 種液狀體’對發光層617b進行喷出⑽；以及將所嘴出之 二種液狀體加以乾燥而成膜發光層617b之步驟。進而，包 3以覆蓋上層觸排618b及發光層61715之方式而形成陰極 604之步驟。各液狀體之向被喷出區域Q之賦予係使用液狀 體噴出裝置10來進行。 圖14之步驟S11係電極（陽極）形成步驟。於步驟中， 如圖15(a)所示，於已形成有電路元件部602之元件基板6〇1 之對應於被噴it{區域q之位置上形成電極⑴。作為形成方 法，可列舉如下方法：例如於真空中藉由濺鍍法或者蒸鍍 法，使用ITO等之透明電極材料而於元件基板6〇〗之表面上 形成透明電極膜，其後，藉由光微影法，❹必需部分而 進行蝕刻，從而形成電極613。又，亦可為如下方法··先 I43I39.doc •34- 201016330 利用光阻劑覆蓋元件基板601，以使形成電極613之區域開 口之方式進行曝光、顯影，、繼而，於開口部形成ιτ〇等之 透明電極膜，並去除殘留的光阻劑。繼而，進入至步驟 S12。 圖Μ之步驟S12係觸排（隔離壁部）形成步驟。於步驟μ] 中，如圖15(b)所示，以覆蓋元件基板6〇1之複數個電極6i3 之一部分之方式形成下層觸排618a。作為下層觸排“心之 Φ 材料，使用作為無機材料之絕緣性之Si〇2(氧化矽）。作為 下層觸排618a之形成方法，例如可列舉如下方法：對應於 後來所形成之發光層617b，使用光阻劑等對各電極613之 表面進行掩蔽，繼而，將掩蔽後之元件基板601投入至真 空裝置中，將Si〇2作為靶材或者原料，藉由濺鍍或真空蒸 鍍而形成下層觸排618a。光阻劑等之掩蔽係後來加以剝 離。再者，下層觸排618a由於含有Si〇2，因此若其膜厚為 2〇〇 nm以下則具有充分的透明性，即便後來積層電洞佈植/ 參 傳輸層617a及發光層617b亦不會阻礙發光。 繼而以實貝上劃分各被噴出區域Q之方式，於下層觸 排61 8a之上形成上層觸排618b。作為上層觸排η此之材 料，較理想的是對於下述含有發光層形成材料之三種液狀 體84R、84G、84B之溶劑具有耐久性者，進而好的是能夠 藉由將氟系氣體作為處理氣體之電漿處理而四氟乙烯化 之例如丙浠酸系樹脂、環氧樹脂、感光性聚醯亞胺等之 有機材料。作為上層觸排6i8b之形成方法，例如可列舉如 下方法：於形成有下層觸排618a之元件基板6〇1之表面上 143139.doc -35- 201016330 藉由滾塗法或旋塗法而塗佈感光性之上述有機材料，使其 乾燥後形成厚度約為2 μιη之感光性樹脂層，繼而，使以與 被喷出區域Q相對應之大小設置有開口部之遮罩於特定之 位置與元件基板601相對向而進行曝光、顯影，藉此形成 上層觸排618b。藉此，形成作為含有下層觸排618a及上層 觸排618b之隔離壁部之觸排618。繼而，進入至步驟su。 圖14之步驟S13係對被喷出區域q進行表面處理之步 驟。於步驟S13中，首先將&氣體作為處理氣體，對形成 有觸排618之元件基板601之表面進行電漿處理。藉此，使❹ 電極613之表面、下層觸排618a之突出部及上層觸排61扑 之表面（包含壁面）進行活化而進行親液處理。其次，將 CF4等之氟系氣體作為處理氣體進行電漿處理。藉此，氟 系氣體僅與包含作為有機材料之感光性樹脂之上層觸排 618b之表面發生反應而受到斥液處理。繼而，進入至步驟 S14 ° 圖14之步驟Sl4係電洞佈植/傳輸層形成步驟。於步驟 S14中如圖15(c)所不，將含有電洞佈植/傳輸層形成材料φ 、液狀體82賦予至被噴出區域Q。作為賦予液狀體82之方 法，係使用上述液狀體喷出裝置心自液滴喷出頭㈣丨 之液狀體82作為液滴而切至元件基板_之電極⑴並潤 濕擴散。液狀體82根據被喷出區域Q之面積喷出必要量作 哈Ί且以表面張力而形成為***之狀態。藉由液狀體 t裳置10而喷出一種液狀體82並進行描緣，因此可藉由 、 掃描而進行噴出描緣。繼而，進入至步驟 143139.doc •36- 201016330 S15。 圖14之步驟S15係乾燥與成膜步驟。於步驟si5中，利用 例如燈退火等之方法加熱元件基板6〇1，藉此使液狀體82 之溶劑成分乾燥並將其去除’從而於由電極613之下層觸 排61 8a所劃分之區域内形成電洞佈植/傳輸層617a。於本實 施形態中，係使用 PEDOT(P〇lyethylene Dioxy Thiophene ; 聚乙烯二氧噻吩）作為電洞佈植/傳輸層形成材料。再者， 於此情形時，雖於各被喷出區域Ω形成有含有相同材料之 電洞佈植/傳輸層617a,亦可對應於後來的發光層之形成 材料，在每個被噴出區域(^來更改電洞佈植/傳輸層61乃之 材料。繼而，進入至步驟S16。

圖14之步驟S16係對形成有電洞佈植/傳輸層617a之元件 基板601進行表面處理之步驟。於步驟S16中，於使用上述 電洞佈植/傳輸層形成材料來形成電洞佈植/傳輸層617&之 情形時，由於其表面對於下一步驟S17中所使用之三種液 ❿狀體84R、84〇、⑽具有斥液性，因此以使至少被噴出區 域Q之區域内再次具有親液性之方式進行表面處理。作為 表面處理之方法，係塗佈用於三種液狀體84R、84G、84B 中之溶劑並使其乾燥。作為溶劑之塗佈方法，可列舉喷霧 法、方疋塗法等之方法。繼而，進入至步驟^ 1 7。 圖14之步驟S17係RGB發光層描繪步驟。於步驟si7中， 如圖15⑷所示’應用上述液狀體之配置方法，自液狀體喷 出裝置10之不同的液滴噴出頭5〇向複數個被喷出區域q内 賦予含有發光層形成材料之三種液狀體84R、84(}、84B。 143139.doc -37. 201016330 液狀體84R含有形成發光層617尺（紅色）之材料，液狀體84G 含有形成發光層617G(綠色）之材料，液狀體84B含有形成 發光層617B(藍色）之材料。所喷附之各液狀體84R、84(5、 84B於被噴出區域q潤濕擴散，其剖面形狀呈圓弧狀隆 起。繼而，進入至步驟S18。 圖14之步驟si8係乾燥與成膜步驟。於步驟gig中，如圖 15(e)所示，使所噴出描繪之各液狀體84R、84Θ、84B之溶 劑成分乾燥並加以去除，並以在各被噴出區域〇之電洞佈 植/傳輸層617a上積層各發光層617尺、617G、617Β之方式 進行成膜化。作為噴出描繪各液狀體84R、84G、84β之元 件基板601之乾燥方法，較好的是能夠使溶劑之蒸發速度 大致為固定之減壓乾燥。繼而，進入至步驟S19。 圖14之步驟S19係陰極形成步驟。於步驟S19中，如圖 15(f)所示，以覆蓋元件基板6〇1之各發光層617R、6i7G、 617B及上層觸排618b之表面之方式形成陰極⑽斗^作為陰 極604之材料，較好的是組合使用Ca、Ba、A1等之金屬或 LiF等之氟化物。特別好的是於靠近發光層之侧形成功函 數較小之Ca、Ba、LiF之膜，於遠離發光層之側形成功函 數較大之A1等之膜。又，亦可於陰極6〇4上積層Si〇2、siN 等之保護層。如此一來，可防止陰極6〇4之氧化。作為陰 極604之形成方法，可列舉蒸鍍法、濺鍍法、 CVD(Chemical Vapor Deposition，化學氣相沈積）法等。特 別疋就能夠防止因發光層之熱而產生之損傷之方面而古， 較好的是蒸鍍法。使用以如此方式形成之元件基板6〇1來 143139.doc -38 - 201016330 製造有機EL裝置600。 以下，揭示第4實施形態之效果。 (1)根據該有機EL裝置600之製造方法，於發光層描繪步 驟中，可使用上述液狀體之喷出方法，向面積不同並且排 列方向彼此正交之元件基板601之兩種被噴出區域q内噴出 三種液狀體84R、84G、84B，從而形成作為三種顏色要素 之發光層617R、617G、617B。並且’可降低形成於兩種 被喷出區域Q内之發光層617R、617G、617B之厚度之不均 勻，並且能夠以高生產率製造作為有機£]^元件之發光元件 部603之排列方向不同之至少兩種有機EL裝置6〇〇。 以上，對本發明之實施形態進行了說明，但對於上述實 施形態，可於不脫離本發明之主旨之範圍内施加各種變 形。例如上述實施形態以外之變形例如下所示。 ❿ (變形例！）上述實施形,態中所說明之母基板B上之第W ⑽及第2面板Ε2之布局係一實施例，但並不限定於此。 第1面板E1及第2面板Ε2只要於母基板Β上具有某種規則性 而配置即可。X，就本實施形態中所說明之第通喷出區 域及第2被噴出區域之布届禆 ’局_5胃條紋方式之情形進行了 說明，但並不限定於此。亦可兔& 形方式之布局。 為所’之鑲嵌方式或者三角 (變形例2)於上述實施形態 祐喰屮F坫ecu 第破噴出區域及第2 被噴出&域之面積不同之情 定於此。例如，即便於第i被嘴為 面積相同但排列方向不同 ^域及第2被喷出區域之 障也時’亦可對短邊方向沿著 143139.doc -39- 201016330 喷嘴行52a之被噴出區域應用上述所說明之液狀體之噴出 方法，將被喷出區域之短邊方向上之噴嘴52之數量設定得 較多。因此，可減少將液狀體噴出至被喷出區域内之偏離 位置而產生液狀體之噴出量之偏差之情況。 【圖式簡單說明】 圖1係表示液狀體喷出裝置之構成之概略立體圖。 圖2(a)、圖2(b)係表示液滴喷出頭之構造之概略圖。 圖3係表示頭單元中之液滴喷出頭之配置之概略俯視 圖。 圖4係表不液狀體噴出裝置之控制系統之方塊圖。 圖5(a)、圖5(b)係表示彩色濾光片之概略圖。 圖6係表示彩色濾光片之製造方法之流程圖。 圖7(a)-(d)係表示彩色濾光片之製造方法之概略剖面 圖。 圖8係表示頭單元與母基板之相對配置之概略俯視圖。 圖9(a)、圖9(b)係表示液狀體之噴出步驟中之液滴之配 置之概略俯視圖。 圖10係表示第2實施例之頭單元與母基板之相對配置之 概略俯視圖。 圖11 (a)、圖11 (b)係表示第2實施例之液滴之配置之概略 俯視圖。 圖12(a)-(c)係表示第3實施例之液滴之配置之概略俯視 圖。 圖13係表示有機£1裝置之主要部分構造之概略剖面圖。 143139.doc 201016330 圖14係表示有機EL裝置之製造方法之流程圖。 圖15(a)-(f)係表示有機EL裝置之製造方法之概略剖面 圖。 【主要元件符號說明】

4 控制部 9 頭單元 9a 頭板 10 液狀體噴出裝置 20 基板移動機構 30 頭移動機構 50 液滴噴出頭 52 > 52j 喷嘴 52a 喷嘴行 70 頭單元旋轉機構 100 彩色濾光片 103 著色層 103r、103g、103b 作為第2被喷出區域之膜形成 區域 103r’、103g’、103b1 作為第1被1出區域之膜形成 區域 600 有機EL裝置 603 作為有機EL元件之發光元件部 617R、617G、617B 發光層 617a 電洞佈植/傳輸層 143139.doc •41- 201016330 母基板（基板） 液滴 第1面板 第2面板 喷嘴間距 液滴配置間隔

B D、D1、D2、D3

El E2

P

PI -42- 143139.doc

Claims (1)

1. 201016330 七、申請專利範圍： 1. 一種液狀體之喷出方法，其特徵在於：包含嘴出步驟， 其係-面使複數個液滴喷出頭與包含複數個大致矩形形 狀之被喷出區域之基板在與上述液滴噴出頭之配置方向 為大致正交之主掃描方向上相對移動，—面自上述噴嘴 向上述被嗔出區域喷出上述液狀體，上述複數個液滴噴 出頭包含噴嘴行’該喷嘴行係將噴出液狀體作為液滴之 複數個喷嘴呈行狀配設而成者， 上述被喷出區域包含第丨被噴出區域及第2被喷出區 域， 沿著固定方向之方 上述第1被喷出區域係以長邊方向 式配設於上述基板上，上述第2被噴出區域較上述第丨被 喷出區域面積更小，且以上述第2被噴出區域之長邊方 向與上述第1被喷出區域之長邊方向大致正交之方式配 設，並且 在上述喷出步驟中，以沿著上述主掃描方向之方式配 置上述第1被喷出區域之長邊方向。 2.如請求項1之液狀體之喷出方法，其中在上述喷出步驟 中，於上述第1被噴出區域之短邊方向之區域内至少兩 個以上之上述喷嘴係相對向。 3. 如請求項〗或2之液狀體之喷出方法，其中自上述噴嘴噴 出而配置於上述第丨被喷出區域内之上述液滴之上述第i 被喷出區域之短邊方向的配置間隔，可藉由以相對於上 述短邊方向具有角度之方式配置上述喷嘴行來調整。 143l39.doc 201016330 4.如請求項1至3中任-項之液狀體之喷出方法，其中上述 喷出步驟係於上述液滴噴出頭與上述基板之上述主掃描 方向之複數次相對移動期間，使上述 基板在與上述㈣財向大致正交之_財== 移動。 5. 一種彩色濾光片之製造方法，其特徵在於： 該才> 色濾光片係於基板上之複數個被嘴出區域内形成 複數種顏色之著色層者， 複數個上述被喷出區域包含配設方向彼此正交之第玉 被喷出區域及第2被喷出區域， 上述彩色濾光片之製造方法包含： 噴出步驟，其係使用如請求項丨至4中任一項之液狀 體之喷出方法，將含有著色層形成材料之複數種顏色 之液狀體噴出至複數個上述被噴出區域；以及 成膜步驟，其係將所噴出之上述液狀體加以固化而 形成上述複數種顏色之著色層。 6· —種有機EL裝置之製造方法，其特徵在於： 該有機EL裝置係於基板上之複數個被噴出區域内包含 複數個含有包含發光層之功能層的有機El元件者， 複數個上述被噴出區域包含配設方向彼此正交之第1 被喷出區域及第2被噴出區域， 上述有機EL裝置之製造方法包含： 噴出步驟，其係使用如請求項1至4中任一項之液狀 體之噴出方法，將含有發光層形成材料之液狀體噴出 143139.doc 201016330 至複數個上述被噴出區域；以及 成膜步驟，其係將所喷出之上述液狀體加以固化而 形成上述發光層。 ❹

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