SU1204805A1 - Process for manufacturing turbo-molecular pump - Google Patents
Process for manufacturing turbo-molecular pump Download PDFInfo
- Publication number
- SU1204805A1 SU1204805A1 SU843718924A SU3718924A SU1204805A1 SU 1204805 A1 SU1204805 A1 SU 1204805A1 SU 843718924 A SU843718924 A SU 843718924A SU 3718924 A SU3718924 A SU 3718924A SU 1204805 A1 SU1204805 A1 SU 1204805A1
- Authority
- SU
- USSR - Soviet Union
- Prior art keywords
- stator
- blades
- housing
- connecting rings
- rotor
- Prior art date
Links
Landscapes
- Non-Positive Displacement Air Blowers (AREA)
Description
1 one
Изобретение относитс к вакуумной технике, в частности к конструкци м турбомолекул рных насосовThe invention relates to vacuum technology, in particular to designs of turbomolecular pumps.
(ТМН;.(TMN ;.
Цель изобретени - повышение быстроты действи и эксплуатационной наде}хностио The purpose of the invention is to increase the speed of operation and operational reliability.
На фиг. 1 изображен ТМН, изготовленный предлагаемым способом, про- ,цох1ьный разрез на фиг. 2 - разрез на фиг, 1 .FIG. 1 shows the MTH produced by the proposed method; a pro- tse incision in FIG. 2 is a sectional view in FIG. 1.
ТМН 3 изготовленный предлагаемым способом, содержит корпус 1 с размещенным в нем валом 2, закрепленные в корпусе 1 статорные диски с лопатками 3 и на валу 2 роторные диски с лопатками 4. Статорные и роторные лопатки 3 и 4 снабжены соединительными кольцами 5 и 6,TMN 3 manufactured by the proposed method includes a housing 1 with a shaft 2 accommodated in it, stator disks with blades 3 and 2 rotor disks with vanes 4 mounted on the housing 1. The stator and rotor blades 3 and 4 are provided with connecting rings 5 and 6,
Способ изготовлени ТМН включает выпотшение на статорных и роторных дискоЕьзх заготовках прорезей с образованием лопаток 3 и 4 и соединительных колец 5 и 6 s последующую закрутку лопаток 3 и 4, установку изготовленных статорных и роторных дисков в корпус 1 и закрепление соедг шительных . 6 (последних из них) на валу 2 насоса, а статорных дисков в корпусе 1, причем прорези на роторных дисковых заголовках выполн ют от периферии к центру с образованием внутренних сое- .динительных колец 6. Прорези на статорных дисковых заготовках также выпол} : ют .от периферии к. центруThe method of manufacturing TMH involves vytoshchenie on the stator and rotor disk blanks of the slots with the formation of the blades 3 and 4 and the connecting rings 5 and 6 s, the subsequent twisting of the blades 3 and 4, the installation of the manufactured stator and rotor disks in the housing 1 and fixing the connecting. 6 (the last of them) on the shaft 2 of the pump, and the stator disks in the housing 1, and the slots on the rotor disk headers are made from the periphery to the center with the formation of internal connecting rings 6. The slots on the stator disk blanks are also performed}: from the periphery to the center
10ten
1515
048052048052
с образованием внутренних соединительных колец 5, размещают их при установке в корпусе 1 с зазорами S относительно вала 2, закрепле- 5 ние статорных дисков в корпусе 1 осуществл ют путем креплени в нем концов лопаток 3, а закрутку последних производ т в направлении, противоположном закрутке лопаток 4 роторных дисков. При вращении вала 2 плотность потока газа в межлопаточном канале в направлении от входа к выходу насоса дифференцирована по радиусу. В первом приближении плотность потока пропорциональна скорости относительного движени роторных и статорных лопаток . Перенесение зоны закрутки лопаток статорного диска с.периферии насоса на меньший диаметр увеличивает среднюю плотность потока газа и площадь межлопаточного канала, что обусловливает увеличение потока газа в направлении откачки5 т.е. повышение быстроты действи насоса.with the formation of inner connecting rings 5, they are placed when mounted in housing 1 with gaps S relative to shaft 2, 5 stator disks are fixed in housing 1 by fastening blades 3 ends in it, and the latter are twisted in the opposite direction to spin blades 4 rotary disks. When rotating shaft 2, the gas flow density in the interscapular channel in the direction from the inlet to the outlet of the pump is differentiated along the radius. In the first approximation, the flux density is proportional to the relative speed of the rotor and stator vanes. Transferring the twist zone of the stator blades of the pump's periphery to a smaller diameter increases the average density of the gas flow and the area of the interscapular channel, which causes an increase in gas flow in the direction of pumping5 increase the speed of the pump.
Наличие в предлагаемом насосе, у статорных дисков соединительного кольца,; св зывающего между собой корни лопаток, резко увеличивает жесткость статорного диска, что в свою очередь позвол ет повысить эксплуатационную надежность насоса , особенно при прорывах атмосферы или аэродинаг ическом торможении вала насоса.The presence of the proposed pump, the stator disc connecting ring; interconnecting the roots of the blades, dramatically increases the stiffness of the stator disk, which in turn improves the operational reliability of the pump, especially when the atmosphere breaks or aerodynamic deceleration of the pump shaft.
Л L
2020
30thirty
3535
(pyff.S. ВНШШИ Заказ 8506/34 Тираж 585 Подписное(pyff.S. VNShShI Order 8506/34 Circulation 585 Subscription
Филиал ИЛИ Патент % г..Ужгород, ул..Проектна , 4Branch OR Patent% Uzhgorod, ul..Proektna, 4
Claims (1)
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU843718924A SU1204805A1 (en) | 1984-04-02 | 1984-04-02 | Process for manufacturing turbo-molecular pump |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU843718924A SU1204805A1 (en) | 1984-04-02 | 1984-04-02 | Process for manufacturing turbo-molecular pump |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
SU1204805A1 true SU1204805A1 (en) | 1986-01-15 |
Family
ID=21110605
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
SU843718924A SU1204805A1 (en) | 1984-04-02 | 1984-04-02 | Process for manufacturing turbo-molecular pump |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
SU (1) | SU1204805A1 (en) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6334754B1 (en) * | 1998-06-23 | 2002-01-01 | Seiko Instruments Inc. | Turbomolecular pump |
-
1984
- 1984-04-02 SU SU843718924A patent/SU1204805A1/en active
Non-Patent Citations (1)
Title |
---|
Каталог HV 200 фирмы LeyboldHeraeus, 1979, разд. 5. * |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6334754B1 (en) * | 1998-06-23 | 2002-01-01 | Seiko Instruments Inc. | Turbomolecular pump |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US5695316A (en) | Friction vacuum pump with pump sections of different designs | |
US6135709A (en) | Vacuum pump | |
JP4395210B2 (en) | Improvement of vacuum pump | |
EP0805275A2 (en) | Vacuum pumps | |
US5020969A (en) | Turbo vacuum pump | |
US5611660A (en) | Compound vacuum pumps | |
JPH04219495A (en) | Stator for turbo-molecular pump | |
EP1170508B1 (en) | Molecular drag vacuum pumps | |
JPH04224295A (en) | Turbo-molecular pump | |
EP0902190B1 (en) | Vacuum pumps | |
JPS649475B2 (en) | ||
SU1204805A1 (en) | Process for manufacturing turbo-molecular pump | |
JPH0261387A (en) | Turbomolecular pump | |
JPS63227990A (en) | Rotary vacuum pump | |
US6890146B2 (en) | Compound friction vacuum pump | |
US6626639B2 (en) | Vacuum pump | |
SU1073495A1 (en) | Outward-flow turbo-machine wheel | |
CN85101627A (en) | Turbomolecular pump | |
JP2585420B2 (en) | Turbo vacuum pump | |
SU1152308A1 (en) | Method of manufacturing blade disc of turbomolecular pump | |
US4305698A (en) | Radial-flow turbine wheel | |
SU1557365A1 (en) | Impeller of centrifugal fan | |
SU715820A1 (en) | Axial-flow turbo-molecular pump | |
SU1199977A1 (en) | Method of reinforcing disk of centrifugal turbomachine rotor | |
US4086027A (en) | Shrouded rotor blade annulus for a centripetal turbine stage |