SU1126812A1 - Устройство дл измерени деформаций диффузно отражающих объектов - Google Patents

Устройство дл измерени деформаций диффузно отражающих объектов Download PDF

Info

Publication number
SU1126812A1
SU1126812A1 SU833539995A SU3539995A SU1126812A1 SU 1126812 A1 SU1126812 A1 SU 1126812A1 SU 833539995 A SU833539995 A SU 833539995A SU 3539995 A SU3539995 A SU 3539995A SU 1126812 A1 SU1126812 A1 SU 1126812A1
Authority
SU
USSR - Soviet Union
Prior art keywords
transparency
interferometer
shear
shift
speckle
Prior art date
Application number
SU833539995A
Other languages
English (en)
Inventor
Владимир Викторович Хопов
Original Assignee
Ленинградский Институт Точной Механики И Оптики
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Ленинградский Институт Точной Механики И Оптики filed Critical Ленинградский Институт Точной Механики И Оптики
Priority to SU833539995A priority Critical patent/SU1126812A1/ru
Application granted granted Critical
Publication of SU1126812A1 publication Critical patent/SU1126812A1/ru

Links

Landscapes

  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)

Abstract

УСТРОЙСТВО ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ ДЕФОРМАЦИЙ ДИФФУЗНООТРАЖАНЙЦИХ ОНЬЕКТОВ, содержащее последовательно установленные источник когерентного излучени , Транспарант с при интерферометр сдвига, состо щий из двух параллельных дифракционных решёток с параллельно ориентированными штриха -ш, два фотоприемника к фазометр, подключенньй к вьгходам фотоприемников, о т л и чающеес  тем, что, с целью повышени  точности измерений, оно снабжено установленным между источником когерентного излучени  и транспарантом гетеродиннь интерферометsrcair ..iJs:r-u,:;iiE::;::3S3i - vром сдвига с апертурной диафрагмой, величина сдвига которого равна диаметру его апертурной диафрагмы, транспарант вьшолнен в виде спекл-фотографии с разнесенной спекл-структурой , промодулированной интерференционными полосами, ориентированны-, ми перпендикул рно вектору смещени  разнесенной спекл-структуры, и установлен под углом Брэгга к оптической оси так, что направление сдвига гетеродинного интерферометра лежит в одной плоскости с вектором смещени  разнесенной спекл-структуры , проекци  вектора смещени  на Р направление, перпендикул рное оптической оси устройства в плоскости сдвига гетеродинного интерферометра №-в сдвига, равна величине этого сдвига, решетки интерферометра сдвига установлены параллельно плоскости транспаранта так, что штрихи решеток ориен ViSK;, тированы перпендикул рно вектору смещени  разнесенной спекл-с1рукту ры, один из фотоприемников установлен в ходе излучени , прошедшего через ;0. транспарант без отклонени  а друl ssA гой фотоприемник уста.човлен в ходе liKf- «Ч |i.s. излучени  рассе нного на транспаранте ,

Description

Изобретение относитс  к измерительной технике и может быть использовано дл  контрол  деформаций диффузно отражающих объектов.
Наиболее близким к изобретению по технической сущности и достигаеi-biM результатам  вл етс  устройство дл  измерени  деформаций дифсдузноотражаю1ци:х объектов, содержащее последовательно установленкые источник когерентного излучени « транспарант с приводом,интерферомет сдвигаS состо щий из двух параллаль ньгх дифракционных решеток с пара,плельно ориентированными штрихами, два фотоприемника и фазометр, подключенный к выходам фoтoпpиe никoв „ Взаимное перемещение решеток в нап равлениИ; перпендикул рном штрихзМ;, приводит к смещению частоты одного из лучей, что позвол ет производить подсчет интерференционных полосГ1 J.
Недостаток известного устройства - невысока  точность измерений,, обусловленна  разъюстировкой параплельности штрихов решеток в процесс их относительного перемещени ,
Цель нзобретени  - повышение
точности измерений, I
Поставленна  цел)з достигаетс  тем что устройство ,гу1  измерени  деформаций диффузноотражшощих объектов , содержащее последоваге.пько установленные источник когерентного излучени , транспарант с приводом,. интерферометр сдвига, сосч-о ший кз Двух параллельных дд- фракционньп ; рететок с параллельно ори ;нтироваь -ньс- и штрихамиэ два фотогфкетгнка фазометр5 подключенный к вькодам фотопрнемников5 снабжено установленнызч между источником когерентног излучени  и транспарантом гетеродинным интерферометром сдвига с апертурной диафрагмой величина сдвига которого равна диам:етру его апертурной .диафрагмыj, транспарант выполнен в виде спекл-фотографин с разнесенной с пекл-струн турой,, промодулированной интер(|)еренпиониыми полосами, ориентировакнымм перпендикул рно вектору смещет-1  разнесенной спекл-структуЕИ;.   устаконлен под ухлом Врэгга к оптической оси так, что направление сдвига гетродинного 5 итерферометра лежт: з одной плоскости е вектором.смещени  разнесенной епекл-структуры „щюекци  вектора смещени  на направление перпендикул рное оптической оси уст ройства в плоскости сдвига гетеродиного чнтерферометра сдвига, равна величине этого сдвига, решетки интерферометра сдвига установлены параллельно плоскости транспаранта так, что лтрихи решеток ориентированы перпендикул рно вектору смещени  разнесенной спекл-структуры, од из фотоприемников установлен в ходе из.пучени  прошедшего через транспарант без отклонени , а другой фотоариемник установлен в ходе излучени рассе нного на транспаранте,
Iia чертеже изображена оптическа  схема устройства дл  измерени  де охзрмаций ;;;и4хЬу:зноотражаю1дих объекто
Устройст 1О содержггг источник 1 огерентнс го излучени , гетеродинньш интерферометр 2 сдвига, транспарант выполненный в виде спекл-фотографии контролируемого объекта, интерферометр 4 сдвига, фотоприемник.и 5 и 6, ;Ьйэсп-;етр 7,
Устройство работает следующим ..збразом,
Гетеро,аинньш интерферометр 2 сдва ,. состо щий, на.пример, из вращаюздей :  радиальной рещетки и двух объективов,, формирует два пучка излчени  с различными частотами, сдвиг между пучками равен их диаметру.
Пучки освещгист установленную под углом Брзг.га к оптической оси спекп-фотсграфию 3; на которой деформаци  объекта зарегистрирована по схеме с маскированной апертурой, приче между зкспози1.и{ 1-1и фотографи  смеп1алась в направлении,, парал .гельном линии, соедин ющей центры .диафрагм объектива. Проекци  век ора смещ,ени  спекл-структуры на направление5 перпендикул рное оптической оси устройства, в плоскости сдвига гетеродинного интер хгрометра сдЕ.ига., р,авна величине сдвига ме ду пучкал-Ж излучени ,, поэгоьг г элементы спек.л-структурыэ 5 арегистрированнт е на с пекл-фот с график 3, освещаютс  с различной частотой, Интерферо.метр 4 сдвигаj состо щий -fs двух па:раллап.ькых дифраки юнньзс ;оешеток,, устанокленных Еа,ралх(ельно с пек,п™фото графин 3s совмещает разнасенные в пространстве ггучкк, которые интерферируют между собой. ФчэтОГгриешжк 5 регистрирует сигнал, 3 который определ етс  интерференцией излучени , не рассе нного на спеклфотографии 3, Этот- сигнал  вл етс  опорным, его фаза не зависит от величины смещени  элементов спеклструктуры . Фотоприемник 6 регистрирует сигнал, образующийс  в результате интерференции лучей, исход дах от идентичных элементов спекл-структуры, В фазе этого сигна ла заложена информаци  о деформации 2Л объекта. Изменение фазы относительно фазы опорного сигнала регистрируетс  фазометром 7. Привод не показан J перем1ещает спекл-фотографию 3 дл  исследовани  деформаций различных точек объекта. Точность измерени  деформаций данным устройством выше, чем в протЪтипе , поскольку в нем требуетс  про изводить сканирование решетками интерферометра.

Claims (1)

  1. УСТРОЙСТВО ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ ДЕФОРМАЦИЙ ДИФФУЗНООТРАЖАЮЩИХ ОБЪЕКТОВ, содержащее последовательно установленные источник когерентного излучения, Транспарант с приводом, интерферометр сдвига, состоящий из двух параллельных дифракционных решёток с параллельно ориентированными штрихами, два фотоприемника и фазометр, подключенный к выходам фотоприемников, о т л и чающееся тем, что, с целью повышения точности измерений, оно снабжено установленным между источником когерентного излучения и транспарантом гетеродинным интерферометром сдвига с апертурной диафрагмой, величина сдвига которого равна даамет ру его апертурной диафрагмы, транспарант выполнен в виде спекл-фотографии с разнесенной спекл-структурой, промодулировэнной интерференционными полосами, ориентированны-, ми перпендикулярно вектору смещения разнесенной спекл-структуры, и установлен под углом Брэгга к оптической оси так, что направление сдвига гетеродинного интерферометра лежит в одной плоскости с вектором смещения разнесенной спекл-структуры, проекция вектора смещения на направление, перпендикулярное оптической оси устройства в плоскости сдвига гетеродинного интерферометра сдвига, равна величине этого сдвига, решетки интерферометра сдвига установлены параллельно плоскости транспаранта так, что штрихи решеток ориенет тированы перпендикулярно вектору смещения разнесенной спекл-структуры, один из фотоприемников установлен в ходе излучения, прошедшего через транспарант без отклонения, а другой фотоприемник установлен в ходе излучения рассеянного на тракспаран те.
    1 12 6812
SU833539995A 1983-01-18 1983-01-18 Устройство дл измерени деформаций диффузно отражающих объектов SU1126812A1 (ru)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU833539995A SU1126812A1 (ru) 1983-01-18 1983-01-18 Устройство дл измерени деформаций диффузно отражающих объектов

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU833539995A SU1126812A1 (ru) 1983-01-18 1983-01-18 Устройство дл измерени деформаций диффузно отражающих объектов

Publications (1)

Publication Number Publication Date
SU1126812A1 true SU1126812A1 (ru) 1984-11-30

Family

ID=21045418

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
SU833539995A SU1126812A1 (ru) 1983-01-18 1983-01-18 Устройство дл измерени деформаций диффузно отражающих объектов

Country Status (1)

Country Link
SU (1) SU1126812A1 (ru)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE4129168A1 (de) * 1991-09-03 1993-04-29 Michel Honlet Messkopf fuer ein speckle-scherinterferometer

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
1.Хохлов В.В, Голографическа гетеродинна интерферометри с одним опорным пучком. Труды И конференции молодых ученых НИИФ ЛГУ, т.2, с о 6,8-70, дел, ВИНИТИ, W 4816, 982 (прототип ), *

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE4129168A1 (de) * 1991-09-03 1993-04-29 Michel Honlet Messkopf fuer ein speckle-scherinterferometer

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US4079252A (en) Photoelectric grating displacement measuring apparatus
US3829219A (en) Shearing interferometer
JP2586120B2 (ja) エンコーダー
US4091281A (en) Light modulation system
US3904295A (en) Method and apparatus for the no-contact measurement of velocities, changes in relative position, or displacement paths
GB1592705A (en) Optical travel measuring device
JPH073344B2 (ja) エンコ−ダ−
GB2185314A (en) Encoder
US3858981A (en) Method of measuring irregularities in the evenness of surfaces
JPS6333604A (ja) 相対変位測定装置
JPS5845687B2 (ja) 移動距離及び速度の測定装置
US4222633A (en) Optical arrangement for geometrically separating the light fluxes in imaging systems
US4049965A (en) Measurement apparatus
JPS58191907A (ja) 移動量測定方法
US4395123A (en) Interferometric angle monitor
SU1126812A1 (ru) Устройство дл измерени деформаций диффузно отражающих объектов
US4115008A (en) Displacement measuring apparatus
US4061425A (en) High resolution alignment interferometer
GB1510836A (en) Apparatus for testing the degree of correlation between two individual images
CN110345860B (zh) 一种干涉仪
SU1364866A1 (ru) Интерференционное устройство дл измерени угловых перемещений
SU387207A1 (ru) УСТРОЙСТВО дл ИЗМЕРЕНИЯ ПЕРЕМЕЩЕНИЙ В ДВУХ КООРДИНАТАХ
JPS62204126A (ja) エンコ−ダ−
JPH0418252B2 (ru)
SU1343242A1 (ru) Интерферометр дл контрол формы сферических поверхностей