SE431322B - CERAMIC PIEZOELECTRIC MATERIAL AND USE OF THE MATERIAL - Google Patents

Description

780-9677- 3 2. material användes bl.a. även för keramiska filter. eDet visade sig, att för ko ositioner av denna typ är värdena för den mekaniska kvalitetsfaktorn/i många fall icke tillräckligt höga för att de skall kunna användas i resonatorer och att ändringen i resonansfrekvens i förhållande till temperaturen är alltför stor. 780-9677- 3 2. materials were used i.a. also for ceramic filters. It turned out that for co osions of this type the values of the mechanical quality factor / in many cases are not high enough to be used in resonators and that the change in resonant frequency in relation to the temperature is too great.

Den tyska offentliggörandeskriften 2 206 45 beskriver kera- miska piezoelektriska material med kompositioner inom det kvaternära systemet rb(zn1/5Nb2/5)o5+Pb(Mn,/5Nb2/5)o5+PbTio5+Pbzro5 Visserligen kan dessa keramiska material bl.a. användas för keramiska filter, men för denna tillämpning måste hänsyn tagas i _ första hand, förutom till de mekaniska egenskaperna, till material- parametrar, vilka är delvis mindre viktiga för filtertillämpningar, nämligen den piezoelektriska aktiviteten uttryckt med hjälp av den elektromekaniska kopplingskoefficienten k och dielektricitetskon- stenten EI. För användning i filter och resonatorer är i motsats därtill, de materialparametrar som är av huvudsaklig betydelse, förutom den mekaniska kvaliteten, åldring och temperaturberoendet hos resonansfrekvensen.German Offenlegungsschrift 2 206 45 describes ceramic piezoelectric materials with compositions within the quaternary system rb (zn1 / 5Nb2 / 5) o5 + Pb (Mn, / 5Nb2 / 5) o5 + PbTio5 + Pbzro5 Admittedly, these ceramic materials can e.g. . be used for ceramic filters, but for this application, in addition to the mechanical properties, material parameters must be taken into account in the first place, which are partly less important for filter applications, namely the piezoelectric activity expressed by the electromechanical coupling coefficient k and the dielectric cone - stents EI. For use in filters and resonators, in contrast, the material parameters that are of major importance, in addition to the mechanical quality, aging and temperature dependence of the resonant frequency.

Den tyska offentliggörandeskriften 2 514 152 beskriver kera- miska piezoelektriska blandningar på basis av kvaternära system med sammansättningen PbTiO3+PbZr05+Pb(W4/2Mg1/2)O5+Pb(Nba/5Mnq/5)03 eller PbTiO3+PbZrO5+Pb(Nba/3Coq/3)O5+Pb(Nb2/5Mn1/5)O5 eller Pbmio +Pbzro5+Pb(Nb2/šznq/5)o5+Pb(Nb2/5Mn1/5)o5 5 _ vilka är kända för användning i filter. Emellertid uppvisar ae iikasà 1 praktiken icke de optimala materialegenskaperna för aez_ ta ändamål. D Denna uppfinning baseras på att förutom låga åldringsvärden för resonator- och filtertillämpningar är höga mekaniska egenskaper och en ringa förändring i resonansfrekvensen i förhållande till temperaturen av lika stor betydelse.German Offenlegungsschrift 2,514,152 describes ceramic piezoelectric mixtures based on quaternary systems with the composition PbTiO3 + PbZr05 + Pb (W4 / 2Mg1 / 2) O5 + Pb (Nba / 5Mnq / 5) 03 or PbTiO3 + PbZrO5 + / 3Coq / 3) O5 + Pb (Nb2 / 5Mn1 / 5) O5 or Pbmio + Pbzro5 + Pb (Nb2 / šznq / 5) o5 + Pb (Nb2 / 5Mn1 / 5) o5 5 _ which are known for use in filters. However, this practice does not exhibit the optimum material properties for any purpose. This invention is based on the fact that in addition to low aging values for resonator and filter applications, high mechanical properties and a small change in the resonant frequency in relation to the temperature are of equal importance.

Användbarheten av ett keramiskt piezoelektriskt material för resonator- och filtertillämpningar bestämmas därför i första hand av de tre materialparametrarna, nämligen åldring A och förändring i resonansfrekvens i förhållande till temperatur (TD) samt den meka- niska kvalitetsfaktorn Q, medan sådana materialparametrar som graden av piezoelektrisk aktivitet, uttryckt genom den elektromekanâska 3 7809677-3 kopplingskoefficienten k, dielektricitetskonstanten och de di- elektriska förlusterna tgS är av endast sekundär betydelse.The usefulness of a ceramic piezoelectric material for resonator and filter applications is therefore primarily determined by the three material parameters, namely aging A and change in resonant frequency in relation to temperature (TD) and the mechanical quality factor Q, while such material parameters as the degree of piezoelectric activity, expressed by the electromechanical coupling coefficient k, the dielectric constant and the dielectric losses tgS are of only secondary importance.

Ett ändamål med uppfinningen är erhållande av piezoelektriska material, vilka generellt uppvisar egenskapen med en hög stabilitet hos de små signalvärdena och vilka i förhållande till keramiska piezoelektriska material enligt tidigare teknik uppvisar förbättrade materialparametrar. I synnerhet är dessa material mycket lämpliga för resonator- och filtertillämpningar.An object of the invention is to obtain piezoelectric materials which generally have the property of a high stability of the small signal values and which, in relation to ceramic piezoelectric materials according to the prior art, have improved material parameters. In particular, these materials are very suitable for resonator and filter applications.

Ned uttrycket "små signalvärden" avses här dielektricitets- konstant, dielektriska förluster i form av förlustvinkeln tgS , mekaniska förluster i form av kvalitetsfaktorn.ïéå;EÉ, resonans- H1 och parallella resonansfrekvensen, som erhålles vid små ampli- tuder.The term "small signal values" here refers to dielectric constant, dielectric losses in the form of the loss angle tgS, mechanical losses in the form of the quality factor.ïéå; EÉ, resonance- H1 and parallel resonant frequency, which are obtained at small amplitudes.

Uppfinningen kännetecknas av att det keramiska piezoelektriska materialet har följande sammansättning: v.PbTi05+w.Pb(Znq/5Nb2/5)05+x.Pb(Mnq/5Nb2/5)05+y.Pb(Niq/5Nb2/5)05+ +Z.PbZrO5 varvid v, w, X, y och z uppvisar följande värden: OJOOQ, v § 0,500; 0,1 š WQ 0,250; o,o45< xg 0,455; 0,0'l Q yg 0,12; O,250{ z\< 0,450; och varvid v + w + x + y + z = 1, De genom uppfinningen erhållna fördelarna består i synnerhet i att de keramiska piezoelektriska materialen enligt uppfinningen icke endast skiljer sig från de kända keramiska piezoelektriska mate- rialen genom låga àldringsvärden och en ringa förändring i resonans- frekvensen i förhållande till temperaturen, utan även genom en för- bättrad mekanisk kvalitet. Materialen enligt uppfinningen uppvisar en hög stabilitet hos de små siåhalvärdena, dvs. dessa material kan med fördel användas som elektromekaniska resonatorer, men även t.ex. för många slag av elektromekaniska transduktorer, vars egenskaper icke väsentligt får variera med tiden och vilka uppvisar en hög temperaturstabilitet.The invention is characterized in that the ceramic piezoelectric material has the following composition: v.PbTi05 + w.Pb (Znq / 5Nb2 / 5) 05 + x.Pb (Mnq / 5Nb2 / 5) 05 + y.Pb (Niq / 5Nb2 / 5) 05+ + Z.PbZrO5 wherein v, w, X, y and z have the following values: OJOOQ, v § 0.500; 0.1 š WQ 0.250; 0.45 <xg 0.455; 0.0'l Q yg 0.12; 0.250 {z \ <0.450; and wherein v + w + x + y + z = 1. The advantages obtained by the invention consist in particular in that the ceramic piezoelectric materials according to the invention do not only differ from the known ceramic piezoelectric materials by low aging values and a slight change in the resonant frequency in relation to the temperature, but also through an improved mechanical quality. The materials according to the invention show a high stability of the small sieve half-values, i.e. these materials can be used to advantage as electromechanical resonators, but also e.g. for many types of electromechanical transducers, the properties of which must not vary significantly with time and which exhibit a high temperature stability.

Uppfinningen beskrives nedan mera detaljerat med hänvisning till några utföringsformer.The invention is described below in more detail with reference to some embodiments.

Figuren visar en kurva för åldringsegenskaperna i beroende av 78G9677-3 I' den tidigare åldringen av ett kvintärt prov av sammansättningen 4 T' A 0, 4 Pb 10 TO,0ö5 Pn(Zn4/5Nb2/5)05 + 0,105 Pb(Mn1/5Nb¿/3)05 + +p 0,06 Pb(N1,| /5Nb2 /5)o5 + 0,54 Pbzroš.The figure shows a curve for the aging properties depending on 78G9677-3 I 'the previous aging of a quintessential sample of the composition 4 T' A 0, 4 Pb 10 TO, 0ö5 Pn (Zn4 / 5Nb2 / 5) 05 + 0.105 Pb (Mn1 / 5Nb¿ / 3) 05 + + p 0.06 Pb (N1, | / 5Nb2 / 5) o5 + 0.54 Pbzros.

Följande utgångsmaterial med de angivna renhetsgraderna an- vändes för att framställa Samtliga prov av de olika kompositionerna. _Pb0 analytisk renhet TiO2 analytisk renhet Zr02 tnalytisk renhet ZnO analytisk renhet Nb2O5 kemiskt ren MnCo5 analytisk renhet Ni0 kemiskt ren.The following starting materials with the specified degrees of purity were used to prepare all samples of the various compositions. _Pb0 analytical purity TiO2 analytical purity Zr02 analytical purity ZnO analytical purity Nb2O5 chemically pure MnCo5 analytical purity Ni0 chemically pure.

Användningen av utgångsmaterial av en teknisk renhet gav i praktiken samma resultat. eUtgångsmaterialen blandades intimt i det viktförhållande, som motsvarade den önskade kompositionen, vartill 1 mol-% Pb0 varje gång tillsattes för att kompensera för Pb0-förlusterna under sintring, under 5 timmar i kvarnar med polyvinylkloridskålar med ZrO2-malnings- kulor i en torrblandningsprocess.The use of starting materials of a technical purity gave in practice the same result. The starting materials were intimately mixed in the weight ratio corresponding to the desired composition, to which 1 mol% PbO was added each time to compensate for the PbO losses during sintering, for 5 hours in mills with polyvinyl chloride dishes with ZrO2 grinding beads in a dry blending process.

Utföringsform 1 De på ovanstående sätt erhållna torra pulvren försintrades därefter under 10 timmar vid 800°0 och, efter en ytterligare torr- malningsprocess, under 1 timme i en polyvinylkloridkvarn med Zr02- kulor, komprimerades de hydrostatiskt utan tillsats av bindemedel med ett tryck av 4 kilobar till prover med en dimension av 7 x 7 x 20 mmš.Embodiment 1 The dry powders obtained in the above manner were then pre-sintered for 10 hours at 800 ° C and, after a further dry grinding process, for 1 hour in a polyvinyl chloride mill with ZrO 2 beads, they were compressed hydrostatically without the addition of binder with a pressure of 4 kilobars for samples with a dimension of 7 x 7 x 20 mmš.

Därefter sintrades dessa prover under 4 timmar vid en temperatur av 1250°C i syrgasatmosfär i övertäckta platinaöverdragna A120;-deglar.Thereafter, these samples were sintered for 4 hours at a temperature of 1250 ° C in an oxygen atmosphere in coated platinum-coated Al 2 O 3 crucibles.

För att hålla förlusterna av Pb0, som förorsakas genom avdunstning, pvid en låg nivå, tillsattes PbZr05, vars àngtryck överstiger ång- tryoket för de sintrade proverna, varje gång i en mängd av 5 g (mot- svarande 10~20 % av provets vikt).To keep the losses of Pb0 caused by evaporation at a low level, PbZr05 was added, the vapor pressure exceeding the vapor pressure of the sintered samples, each time in an amount of 5 g (corresponding to 10 ~ 20% of the weight of the sample ).

För mätningsändamål skars de sintrade proverna till skivor med en diameter av 5 mm och en tjocklek av 0,4 mm. Ytan på dessa skivor polerades och försågs med elektroder bestående av vakuumut- fällda Ni/Cr-Au-skikt. De uppmätta värdena, som anges i tabell 1, bestämdes från medelvärden av flera prover av liknande sammansätt- ningar. Polarisation åstadkoms vid en temperatur av 120°C under 4 5 7809677-3 5 min. vid en spänning av 5 kV/mm, och spänningen anbringades under hela kylningsprocessen.For measurement purposes, the sintered samples were cut into disks with a diameter of 5 mm and a thickness of 0.4 mm. The surface of these discs was polished and provided with electrodes consisting of vacuum precipitated Ni / Cr-Au layers. The measured values, given in Table 1, were determined from the mean values of several samples of similar compositions. Polarization is accomplished at a temperature of 120 ° C for 4 minutes. at a voltage of 5 kV / mm, and the voltage was applied during the entire cooling process.

Samtliga prover, som framställts på detta sätt, uppvisade en densitet av 8,05 i 0,05 g/cmš och var enfasiga. Detta innebär en porositet av mindre än 1 % vid en teoretisk densitet av ca 8,10 g/cmö.All samples prepared in this way showed a density of 8.05 in 0.05 g / cm 2 and were single phase. This means a porosity of less than 1% at a theoretical density of about 8.10 g / cm 2.

De i tabell 1 angivna parametrarna mättes på de prover, som framställts på detta sätt. Resistiviteten .Y CIZ.cm) mättes vid polarisationstemperaturen och vid en spänning av 2,5 kV/mm.The parameters given in Table 1 were measured on the samples prepared in this way. The resistivity (Y CIZ.cm) was measured at the polarization temperature and at a voltage of 2.5 kV / mm.

Dielektricitetskonstanten 8 T55 och de dielektriskà förlus- terna í form av förlustvinkeln tg6' bestämdes vid 16 kHz och låga fältstyrkor (<'K)V/cm) bestämdes med hjälp av en kapacitansbrygga.The dielectric constant 8 T55 and the dielectric losses in the form of the loss angle tg6 'were determined at 16 kHz and low field strengths (<' K) V / cm) were determined by means of a capacitance bridge.

Resonans~ och de parallella resonansfrekvenserna (fr och fa) för skivorna, vilka vibrerade radiellt, mättes och specifikationerna enligt the Institute of Radio Engineers togs med i beräkningen.Resonance and the parallel resonant frequencies (fr and fa) of the discs, which vibrated radially, were measured and the specifications of the Institute of Radio Engineers were taken into account.

I enlighet med IRE-specifikationerna bestämdes den plana kopplinge- koefficienten k och den mekaniska kvaliteten Q(Q=fr/Z§fr, varvid [S fr = bredden för resonanskurvan 5 dB under maximum för resonans- kurvan) från dessa mätningar. Åldring av resonansfrekvensen respektive den parallella reso- nansfrekvensen bestämdes mellan den första och den hundrade dagen efter polarisation och har den i tabell 1 visade formeln av: A(fr)=(1/2).(fr 100:e dagen - fr 1:sta dagen/fr 1:sta dagen) ¿'o/oo tids aekad_7 och A(fa)=(1/2).(fa 100:e dagen _ fa 1:sta dagen/fa 1:sta dagen) ¿"O/OO tids dekad_7 Mätningarna utfördes utan tidigare åldring. Mätningen av förändringen i resonansfrekvensen i förhållande till temperaturen (T.D.) genomfördes genom kontinuerlig bestämning av resonansfrekven- sen med en jämn ökning i temperatur (O,2°C/min.) för det mätta pro- vet mellan O°C och 62°C.In accordance with the IRE specifications, the planar coupling coefficient k and the mechanical quality Q (Q = fr / Z§fr, where [S fr = the width of the resonance curve 5 dB below the maximum of the resonance curve) were determined from these measurements. Aging of the resonant frequency and the parallel resonant frequency, respectively, was determined between the first and the hundredth day after polarization and has the formula shown in Table 1 of: A (fr) = (1/2). (From the 100th day - from 1: sta day / fr 1: sta day) ¿'o / oo time aekad_7 and A (fa) = (1/2). (fa 100th day _ fa 1: sta day / fa 1: sta day) ¿"O The measurements were performed without prior aging The measurement of the change in the resonant frequency in relation to the temperature (TD) was performed by continuously determining the resonant frequency with a steady increase in temperature (0.2 ° C / min.) For the measured pro. - knows between 0 ° C and 62 ° C.

Temperaturbârâendet viga? i tabell 1 som f 62 G - f O C =_I'___¿_fí_ ¿'1o'6/°c_7 fr (20 C).62_ NH-. ~.o+ ~.o+ Qowfl .qw mm :.o«~v _. o.dH.H om.0 m0.o [email protected] , Q«~.@ °~+ @.°- m.@+ oomñ mw wfi .. om~« H. [email protected]^ O~,o mQ.Q ¶W«Q.O ooN.@ fifiw ~.Q- ~.«+ @QmH_ mv vd . owovff [email protected]^. ~m.o mO.O m«Q.O m¶"o_ MHN m.o- @.m+ OONH mv NH [email protected]» oHofi.m^ ¶m.° mo.O m«O.Q m~H.o w W m.O- N.H+ OQMH m=~« cv. 4 ,omm« . @QH.@ H~.o [email protected] mo~.° 0 Q~-.¶w.O« @.o+ OOQH Nq mm _ amor _ m0H.« Hm.o Q moH.o m«H.o w - ~.o+ @.o« Qmmfl mv ,m~ ». odwr _ _ @Q~.w _ Hm.o @O.@ m0H.O mmo.Q ß - m.°+ @.o+. OONN «« _ mm . omvr.. oñ°H.»;" HmJo_. mO.o mwH.o mwo,O.Temperature-bearing viga? in Table 1 as f 62 G - f O C = _I '___ ¿_fí_ ¿' 1o'6 / ° c_7 fr (20 C) .62_ NH-. ~ .o + ~ .o + Qow fl .qw mm: .o «~ v _. o.dH.H om.0 m0.om@Ho, Q «~. @ ° ~ + @. ° - m. @ + oomñ mw w fi .. om ~« H. o ~ o @ .m ^ O ~, o mQ.Q ¶W «QO ooN. @ fifi w ~ .Q- ~.« + @QmH_ mv vd. owovff. @ HoH.m ^. ~ mo mO.O m «QO m¶" o_ MHN mo- @ .m + OONH mv NH o @ mN »oHo fi. m ^ ¶m. ° mo.O m« OQ m ~ Ho w W mO- N.H + OQMH m = ~ «cv. 4, omm«. @ QH. @ H~.om@Ho mo ~. ° 0 Q ~ -.¶wO «@ .o + OOQH Nq mm _ amor _ m0H.« Hm.o Q moH .om «Ho w - ~ .o + @ .o« Qmm fl mv, m ~ ». odwr _ _ @ Q ~ .w _ Hm.o @ O. @ m0H.O mmo.Q ß - m. ° + @. o +. OONN «« _ mm. omvr .. oñ ° H. »;" HmJo_. mO.o mwH.o mwo, O.

«H+ @.o- m.m+ oomfi av NH. ..@ onwv . .oH@fl.m^ Hm.Q @o.o m«@.O mHH.O mH+ w.°- m.«+. Oovfi .m.~< ..mw _¶ mßff. 0~ofl.N. Hm.o; [email protected] m«O.Q mvñfø NN- «.O- m.o+ Qoww Nv 0? . owfv @OH,« M Hmflo ,mo.@ mmH.o mw0.Q .I mfln «.o| m.o+ oomw mw _ mw .mømrf moH.m fim.o mo.o mcfl.o _mHH.n Q - @.O- @.o+¶ OONN .m.«« md .owff OHOH N _ H~.o. mo.Q mNo.Q m«H.O _-, ,..__ . - 78@9677~3 Hñw @.°, o.w+ oomfl m.N« mfl _. Qwrf O~oH.m~ Hm.Q¶ mO.o «@.@ n~H.o HW”. o.H- m.~+ Onvfl m,m« vfl h_¶ owov >flQH.m^ flw.o .O .m«Q.o mON.O _ _ .. ä , . . . , m L . e, Loa .. .Mmw , fiEur. N _ x 3 .wuh ^ @» v flflmßms ; , 7809677-5 a) mätt vid polarisationstemperaturen och vid 2,5 kV/mm. b) åldring av resonans- resp. parallellresonansfrekvens mellan den fizsta och den 100:e dagen efter polarisation c) T,D, = temperaturvariation för resonansfrekvensen i 1o*6/°c. w.H- @.~- Ooqm ~. w.H- ~.~- OOQN wamm æH._ _ oww _ OHoH.H _ m~«.Q mono mofiwo mwQ.Q _m~mw@ m.fl- «.~- OONN m.m« ON _ o«m_ _ =HoH.fl. .o«[email protected] m0ñ.o mmQ.o mm.o m.~- o.~- ooww m.~« _@H_ __ omm ; __.moH Q [email protected]°.o mOH»0 mwoflo m~mm.o @.Hn_ <.H-_ @om~ m.@« .WN f. omm > _ @Qfl.w m~W.o [email protected] m°H.Q mwo;o m~m.o o.ñ-._ Ota- oomñ mm .mw m. owß _ _@QH.@ _ m~mm.Q @Q.o moH.o mwo.o mßwm.Q «.H-__ m.o-_. oomfl mwmm mm _ owf«.__ @oH.m mm.Q @o_° mpH.o mmowo o«.o m.o- _ m.H+. OONH .mm om _ ommw _ @o«.m _ mßmw.o_ m0.o [email protected] mwQ.o< m~H«.o m.O- m.H+ oomfi mhwq o«-m _ o«mv_ moH.@_ m~m.O [email protected] moH.O mwO.Q _w~«.o m.0- H.H+ OOQH Q.m« Oç ___ovNf _ .moñhm m~H~.b wouo mqfifo mwo.0 mßm«.o «.o- @.O+_ OOON m.~« «m_, ,_ oßor moH.m. [email protected]/@@.o_ [email protected] n@O.@ _m«.o [email protected]_ @.Q+ _ OQNH m.wm _mw . .~_onw _ mo»f@_ _ m~«@°. wo.o mowfo mw@»o mß«.o ~.Q- @.O+ OOHN m.mq Nm _ , ow~f___ @OH.«. ..~m.o modo =mmH.0 mæo.O m«.0 _ N.O- ß.o+ OOON °.«« Om _no@fw @OH.« _mHm,@ mo.Q m~H.o mmo.Q mm«.@W H»Q1, m.o+ Ommfi m.~« _ om W _ omvf _ _@o~J« _ o~.O ~o.Q LmH.Q ~H.Q .m~«.oW ^mmv< _ßL«v<í o % _ vfoñ _ mmm .ñEucw_ N w > _ x 3 _ -> _ An _ u An M 3.5 _ E amy. ._ mofivwmomsox ?809677-3 _ Ömvnowv v Hfiøßnm. 9 7809677-3 a) mätt vid polarisationstemperaturen och vid 2,5 kV/mm. b) åldring av resonans- resp. parallellresonansfrekvens mellan Wzsta och 400:e dagen efter polarisation. c) T.D, = temperaturvariation för resonansfrekvensen i 1o*6/°c.«H + @ .o- m.m + oom fi of NH. .. @ onwv. .oH @ fl. m ^ Hm.Q @ o.o m «@. O mHH.O mH + w. ° - m.« +. Oov fi .m. ~ <..Mw _¶ mßff. 0 ~ o fl .N. Hm.o; m @ .O m «O.Q mvñfø NN-« .O- m.o + Qoww Nv 0? . owfv @OH, «M Hm fl o, mo. @ mmH.o mw0.Q .I m fl n« .o | m.o + oomw mw _ mw .mømrf moH.m fi m.o mo.o mc fl. o _mHH.n Q - @ .O- @ .o + ¶ OONN .m. «« md .owff OHOH N _ H ~ .o . mo.Q mNo.Q m «H.O _-,, ..__. - 78 @ 9677 ~ 3 Hñw @. °, o.w + oom fl m.N «m fl _. Qwrf O ~ oH.m ~ Hm.Q¶ mO.o «@. @ N ~ H.o HW”. o.H- m. ~ + Onv fl m, m «v fl h_¶ owov> fl QH.m ^ fl w.o .O .m« Q.o mON.O _ _ .. ä,. . . , m L. e, Loa .. .Mmw, fi Eur. N _ x 3 .wuh ^ @ »v flfl mßms; 7809677-5 a) measured at the polarization temperature and at 2.5 kV / mm. b) aging of resonance resp. parallel resonant frequency between the fi first and the 100th day after polarization c) T, D, = temperature variation for the resonant frequency in 1o * 6 / ° c. w.H- @. ~ - Ooqm ~. wH- ~. ~ - OOQN wamm æH._ _ oww _ OHoH.H _ m ~ «.Q mono mo fi wo mwQ.Q _m ~ mw @ m. fl-«. ~ - OONN mm «ON _ o« m_ _ = HoH. Fl. .o «.o _. @ o.o m0ñ.o mmQ.o mm.o m. ~ - o. ~ - ooww m. ~« _ @ H_ __ omm; __. moH Q [email protected]°.o mOH »0 mwo fl o m ~ mm.o @ .Hn_ <.H-_ @ om ~ m. @« .WN f. omm> _ @Q fl. wm ~ Wo _ @ oo m ° HQ mwo; om ~ mo o.ñ -._ Ota- oomñ mm .mw m. owß _ _ @ QH. @ _ m ~ mm.Q @Qo moH.o mwo.o mßwm.Q « .H -__ mo-_. oom fl mwmm mm _ owf «.__ @ oH.m mm.Q @ o_ ° mpH.o mmowo o« .o m.o- _ m.H +. OONH .mm om _ ommw _ @o «.m _ mßmw.o_ m0.o _m @ Ho mwQ.o <m ~ H« .o mO- m.H + oom fi mhwq o «-m _ o« mv_ moH. @ _ m ~ mO _ @ Qo moH.O mwO.Q _w ~ «.o m.0- H.H + OOQH Qm« Oç ___ovNf _ .moñhm m ~ H ~ .b wouo mq fi fo mwo.0 mßm «.o«. o- @ .O + _ OOON m. ~ «« m_,, _ oßor moH.m. __ @ n.0f / @@. o_ [email protected] n @ O. @ _m «.o _ @. o-_ @ .Q + _ OQNH m.wm _mw. . ~ _onw _ mo »f @ _ _ m ~« @ °. wo.o mowfo mw @ »o mß« .o ~ .Q- @ .O + OOHN m.mq Nm _, ow ~ f ___ @OH. «. .. ~ mo modo = mmH.0 mæo.O m «.0 _ NO- ß.o + OOON °.« «Om _no @ fw @OH.« _mHm, @ mo.Q m ~ Ho mmo.Q mm «. @WH »Q1, m.o + Omm fi m. ~« _ Om W _ omvf _ _ @ o ~ J «_ o ~ .O ~ oQ LmH.Q ~ HQ .m ~« .oW ^ mmv <_ßL «v < í o% _ vfoñ _ mmm .ñEucw_ N w> _ x 3 _ -> _ An _ u An M 3.5 _ E amy. ._ mo fi vwmomsox? 809677-3 _ Ömvnowv v H fi øßnm. 9) 7809677-3 a) measured at the polarization temperature and at 2.5 kV / mm. b) aging of resonance resp. parallel resonance frequency between Wzsta and the 400th day after polarization. c) T.D, = temperature variation for the resonant frequency in 1o * 6 / ° c.

Som jämförelse framställdes ett prov av kompositionen Pb(Zn1/5Nb2/5)O,25TiO,44Zr0,51O3 + 5 mol-% Mn + 2 mol-% Ni och mättes pà samma sätt som beskrivits i exempel 1, ße i tabell 2 visade värdena erhölls. I motsats till proverna enligt utförings- formerna 1 _ 5, där komponenterna bildar ett reellt kristallsystem av fem blandade material, vari därför komponenterna i systemet är i ett stökiometriskt förhållande till varandra, vilket sålunda möj- liggör bildning av en enfasig perovskitstruktur, hänför sig detta prov till ett trematerialsystem, dopat endast med Mn och Ni. Tabell 2 visar, att särskilt värdena för parametrarna: mekanisk kvalitets- faktor Q och temperaturberoendet hos resonansfrekvensen T.D., relevant för resonatortillämpningar, icke uppfyller de i praktiken ställda kraven. Värdet för den mekanfiska kvalitetsfaktorn Q är för lågt och värdet för temperaturvariationen hos resonansfrekven- sen T.D. är definitivt alltför högt, En jämförelse mellan de föl- jande tabellerna 5 och 4 (prov nrs, 9 och 26) med värdena i tabell 2 (prov nr 1) visar, att endast i fem-materialsystemet enligt upp- finningen kan optimala värden, i synnerhet för den mekaniska kvali- tetsfaktorn Q och temperaturberoendet hos resonansfrekvensen T.D, erhållas på ett reproducerbart sätt. '10 vsøeevv-zí N flflwnma .oo\w|ov w flwwdw>MmHmwømøomwH nmw floflvmfinm>nflPmnwmEmu .Q.a Ao no-Émmfinmflom .Hmvww flmwmø mfloov www noe muwnv :mv nmflfimä mQw>Mwnwwdmnomwnflfimafimhmm .mwmn umflmflowwn >m mflflnvam A9 EHÉÉ må 4.7? noo flwnøpanwmaw»mnofivmwflnwfiom wÉ. upmfl Am m . w m É_ ~ n om+ N el. Nå: oow mém o: oomP moïn 3.0 fiz a .å .m nwó ïïo f _ w _ 3øz~+ 302 n+ _ H å O_. . N h M _ 3 > oz fißä mm < ng 4 a m :1 nn Mao .GW _. . w^o WVnv.%^nv x www B W Am M flofivfiwomEo& flz anüš N + n: aåoz n + noåónflš.oflßmm.o^n\mnzn\fnwvnm 4, 7809677~3 Figuren visar àldríngsegenskaperna, bestämda som den relativa variationen hos resonansfrekvensen fr i förhållande till resonans- frekvensen vid den 4:sta dagen efter polarisation fr (1:a dagen) för ett valt prov inom ramen för den första utföringsformen med kompositionen o,44 Pbmioš + o,os5 Pb(zn1/šnba/5) 05 + o,1o5 rb(Mn,/5Nb2/5) 05 + o,oe Pb(Ni,/5Nb2/5)o5 + 0,51 rbzroš, vilket prov polariserades under 5 min. vid 120°C vid en spänning av 5 kV/mm under olika slutliga behandlingsbetingelser. Det framgår, att åldringsgraden minskar, då en föregående áldringsprocess, som varar en timme, införas kort efter polarisationsprocessen, utan elektriskt fält vid temperaturer mellan 60 och 150°C. Denna egen- skap visade sig vara karakteristisk för samtliga material, vilka undersöktes inom ramen för utföríngsformerna.For comparison, a sample of the composition Pb (Zn1 / 5Nb2 / 5) 0.25Ti0.44Zr0.51O3 + 5 mol-% Mn + 2 mol-% Ni was prepared and measured in the same manner as described in Example 1, shown in Table 2. the values were obtained. In contrast to the samples according to embodiments 1 to 5, where the components form a real crystal system of five mixed materials, wherein therefore the components of the system are in a stoichiometric relation to each other, thus enabling the formation of a single-phase perovskite structure, this sample to a wood material system, doped only with Mn and Ni. Table 2 shows that in particular the values for the parameters: mechanical quality factor Q and the temperature dependence of the resonant frequency T.D., relevant for resonator applications, do not meet the requirements set in practice. The value of the mechanical quality factor Q is too low and the value of the temperature variation of the resonant frequency T.D. is definitely too high. A comparison between the following tables 5 and 4 (samples nos., 9 and 26) with the values in table 2 (sample no. 1) shows that only in the five-material system according to the invention can optimal values, in particular for the mechanical quality factor Q and the temperature dependence of the resonant frequency TD, are obtained in a reproducible manner. '10 vsøeevv-Zi N flfl wnma .oo \ w | ov w fl wwdw> MmHmwømøomwH NMW f O fl vm fi nm> n al PmnwmEmu .Qa Ao no EMM fi nm al if .Hmvww al mwmø et al oov www noe muwnv: MW nm flfi tra MQW> Mwnwwdmnomwn flfi ma fi mhmm .mwmn microns al etc. owwn> etc. flfl nvam A9 EHÉÉ feel 4.7 ? noo fl wnøpanwmaw »mno fi vmw fl nw fi om wÉ. upm fl Am m. w m É_ ~ n om + N el. Now: oow mém o: oomP moïn 3.0 fi z a .å .m nwó ïïo f _ w _ 3øz ~ + 302 n + _ H å O_. . N h M _ 3> oz fi ßä mm <ng 4 a m: 1 nn Mao .GW _. . w ^ o WVnv.% ^ nv x www BW Am M fl o fi v fi womEo & fl z anüš N + n: aåoz n + noåón fl š.o fl ßmm.o ^ n \ mnzn \ fnwvnm 4, 7809677 ~ 3 fr in relation to the resonant frequency on the 4th day after polarization fr (1st day) for a selected sample within the framework of the first embodiment with the composition o, 44 Pbmioš + o, os5 Pb (zn1 / šnba / 5) 05 + o, 1o5 rb (Mn, / 5Nb2 / 5) 05 + o, oe Pb (Ni, / 5Nb2 / 5) o5 + 0.51 rbzroš, which sample was polarized for 5 min. at 120 ° C at a voltage of 5 kV / mm under different final treatment conditions. It can be seen that the degree of aging decreases when a previous aging process, which lasts one hour, is introduced shortly after the polarization process, without electric field at temperatures between 60 and 150 ° C. This property proved to be characteristic of all the materials which were examined within the framework of the embodiments.

Utföringsform 2 Prover av den kvintära kompositionen (o,s55-z_w).PbTio5+w.rb(zu,/5Nb2/5)o5 + 0,105 Pb(Mn,/5Nb2/5) 05 + 0,06 Pb(Ni,/3Nb2/5)o3+z.rbzroš med en konstant Mn-halt, en konstant Ni-halt och ett variabelt Ti/Zn/Zr-förhållande undersöktes som den andra gruppen.Embodiment 2 Samples of the quintessential composition (o, s55-z_w) .PbTio5 + w.rb (zu, / 5Nb2 / 5) o5 + 0.105 Pb (Mn, / 5Nb2 / 5) 05 + 0.06 Pb (Ni, / 3Nb2 / 5) o3 + z.rbzroš with a constant Mn content, a constant Ni content and a variable Ti / Zn / Zr ratio were examined as the second group.

Utföringsform 3 Prover av den kvintära kompositionen 0,44 Pbrioš + 0,31 Pbzroš + (o,25_x-y).Pb(zn1/¿Nb2/5)o5 + x.Pb(Mn,/5Nb2/5)o5+y.rb(Ni,/5Nb2/5)o5 med konstant Ti-halt, konstant Zr-halt och ett variabelt Zn/Ni/Mn- förhållande, där w + X + y = 0,25, undersöktes som den tredje grup- pen.Embodiment 3 Samples of the quintessential composition 0.44 Pbrioš + 0.31 Pbzroš + (o, 25_x-y) .Pb (zn1 / ¿Nb2 / 5) o5 + x.Pb (Mn, / 5Nb2 / 5) o5 + y .rb (Ni, / 5Nb2 / 5) o5 with constant Ti content, constant Zr content and a variable Zn / Ni / Mn ratio, where w + X + y = 0.25, was examined as the third group .

Proverna i utföríngsformerna 2 och 5 framställdes på samma sätt från samma utgångsmaterial som proverna i den första utförings- formen och behandlades vidare på ett liknande sätt. Emellertid försintrades proverna i utföringsformerna 2 och 5 vid 950°0 och síntrades i en syrgasatmosfär vid 120000.The samples in Embodiments 2 and 5 were prepared in the same manner from the same starting material as the samples in the first embodiment and further processed in a similar manner. However, the samples in Embodiments 2 and 5 were sintered at 950 ° 0 and sintered in an oxygen atmosphere at 120,000.

Densiteten för proverna var likaså i densitetsområdet 8,05 É 0,05 g/cmš. Detta innebär, att vid en teoretisk densitet 7so9677-s 5 Q2 av ca 8,10 g/cmš uppvisade proverna en porositet av under 1 %, Skivor med en diameter av 5 mm och tjockleken 0,4 mm fram- ställdes från de sintrade proverna från exemplen 2 och 5. Ytorna på dessa skivor polerades och försågs med elektroder bestående av vakuumutfäliaa Ni/crmu-skikt. Poiarisation åstadkoms vid 45o°c under 5 min. vid en spänning av 5 kV/mm, varvid spänningen förblir påkopplad under hela kylningsprocessen.The density of the samples was also in the density range 8.05 É 0.05 g / cmš. This means that at a theoretical density of about 8.10 g / cm 2 the samples showed a porosity of less than 1%. Discs with a diameter of 5 mm and a thickness of 0.4 mm were prepared from the sintered samples. from Examples 2 and 5. The surfaces of these discs were polished and provided with electrodes consisting of vacuum precipitated Ni / crmu layers. Poiarization was accomplished at 45 ° C for 5 minutes. at a voltage of 5 kV / mm, the voltage remaining switched on during the entire cooling process.

Dessutom för-åldrades proverna för minskning av åldringsvär- det, dvs. de hölls under 4 timme vid 120°C i frånvaro av ett fält, omedelbart efter polarisation men före mätning.In addition, the samples were aged for reduction of the aging value, ie. they were kept for 4 hours at 120 ° C in the absence of a field, immediately after polarization but before measurement.

De i tabellerna 5 och 4 visade parametrarna uppmättes på samtliga prover, som framställts på detta sätt i enlighet med ut- föringsformerna 2 och 5, varvid mätningarna utfördes under samma förhållanden som för proverna i utföringsformni. Värdena i tabell 5 hänför sig till proverna från utföringsform 2, och värdena i tabell 4 hänför sig till proverna i utföringsform 5.The parameters shown in Tables 5 and 4 were measured on all samples prepared in this way in accordance with Embodiments 2 and 5, the measurements being carried out under the same conditions as for the samples in the embodiment. The values in Table 5 refer to the samples from Embodiment 2, and the values in Table 4 refer to the samples in Embodiment 5.

Av de diskuterade värdena för gruppen av prover i de tre ut- föringsformerna framgår, att materialen enligt uppfinningen ger en uttalad förbättring, i synnerhet i de elektromekaniska parametrarna, vilka är viktiga för resonatortillämpningar. Medan hittills endast ett mycket lågt temperaturberoende hos resonansfrekvensen T.D. av ca 50.1O'6/°C har varit kända, kan temperaturvariationer av 40.10"6/°C erhållas med material enligt uppfinningen. Jämfört med de kända värdena av 1000 - 1500 kan markant ökade.värden överstigan- de 2500 erhållas för den mekaniska kvalitetsfaktorn Q. De låga åld- ringsvärdena för resonansfrekvensen respektive den parallella reso- nansfrekvensen av 0,2 o/oo /tidsdekad, vilka var kända endast för vissa exceptionella kompositioner, kan erhållas på ett reproduoer- bart sätt inom breda sammansättningsområden med materialen enligt uppfinningen. 7809677-3 ß ~.o+ m.o+ ooflm Hm mn omofl @ofl.m.~ »n.o mo.o .mo«.Q mmo.o. o+ m.o+ OONN m.mfl ¶. nx o~flfl¶ mo«.m.~ mm.ø wo.o mofl.o mmo.o H.o+ m.0+ oøsw mz mn onofl møfl.~ mm.o @o.o. moH.o mmo.o «.o+ n.o+ oomw m.mm Nm omm mo¶.~ flmwo @o.o mofl.o mmo.o. o+ fl.o+ oomm m.mm mm om» @ofi.fl m~.o _wo»o. mofl.o mmo.o «.o+ m.o+ 0o=~ m.w= 0: omflfi . @o«,~ .~m.o @o.o mofl.o [email protected] m.o+ >.o+ ooow Hm mä owofi mø«.m.N ,mn.o wo.o mofi.o mwo.o ,«.o+ U.o+ QQNN Q: 1 nn ommfl mo«.m.~ mm.o mo.o moflmo [email protected] ~.o+ . n.o+ omqm m.=q M mm ozwfl . mofi.~ _fim.o wo.o mod.o mwo.o m .fl.o+ ~.o+ oowm 0% mm ßwofl mofi.m.« @N.o .mo.o møfl.o .m@o.ø mh «.o+ m.o+ ooßw wm ¶- an. Qom. mo«.m.fi .>~.o _wo.o mofl.o [email protected] .>. ~.o+ _ m.o+ øozm w: NJ owmfl mo«.~ om.o Qc.o mofl.o oflfl.o w ~.o+ J.0+ ooqm ms, f mm om* mofi. .N 3m.o [email protected] mofi.o mmfi.o .m ~.o+ w.0+ OONN mz .N= owofi ¶ mofi.~ ~m.o mo.o .mofl.o mmfl.o_ 2 ~.o+ m.o+ oofiw m.~= N: ,oo:fl mofl.~ omwo wo.o [email protected] mn«.o M N.o+w =.o+ oomm m.m3 au onmfi mofi. .fi @N.o mo.ow mofi.o .mmfi.o ¶~ N.o+W m.@+ oozw NJ. mn oßflfi mofl. .fl @~.o mQ.Q_ mofl.o mmfl.o W « _ . i _. å @@V Av. Û. av., .w ma. .L Tv nowuflmomëom m .fiamßmß 7899677-3 44 .a) mätt vid polarisationstemperaturen och vid 2,5 kV/mm b) åldring av resonans- resp, parallellresonansfrekvens mellan den 'lzsta och den ”lO0:e dagen efter polarisation c) TJ). = temperaturvariatíon hos resonansfrekvensen i 1o*6/°c.From the discussed values for the group of samples in the three embodiments, it appears that the materials according to the invention give a pronounced improvement, in particular in the electromechanical parameters, which are important for resonator applications. While so far only a very low temperature dependence of the resonant frequency T.D. of about 50.16'6 / ° C have been known, temperature variations of 40.10 "6 / ° C can be obtained with materials according to the invention. Compared with the known values of 1000 - 1500 can be markedly increased. values exceeding 2500 can be obtained for the mechanical the quality factor Q. The low aging values for the resonant frequency and the parallel resonant frequency of 0.2 o / oo / time decade, which were known only for certain exceptional compositions, can be obtained in a reproducible manner within wide composition ranges with the materials according to the invention. 7809677-3 ß ~ .o + m.o + oo fl m Hm mn omo fl @o fl. M. ~ »No mo.o .mo« .Q mmo.o. o + m.o + OONN m.m fl ¶. Nx o ~ flfl¶ mo «.m. ~ mm.ø wo.o mo fl. o mmo.o H.o + m.0 + oøsw mz mn ono fl mø fl. ~ mm.o @oo moH.o mmo.o« .o + n.o + oomw m.mm Nm omm mo¶. ~ fl mwo @oo mo fl .o mmo.o. o + fl. o + oomm m.mm mm om »@o fi.fl m ~ .o _wo» o. mo fl. o + m.o + 0o = ~ mw = 0: om flfi. @o «, ~. ~ mo @oo mo fl. oo @ oo m.o +> .o + ooow Hm mä owo fi mø« .mN, mn.o wo.o mo fi .o mwo.o, «. o + U.o + QQNN Q: 1 nn omm fl mo« .m. ~ mm.o mo.o mo fl mo [email protected] ~ .o +. n.o + omqm m. = q M mm ozw fl. mo fi. ~ _fi m.o wo.o mod.o mwo.om .fl. o + ~ .o + oowm 0% mm ßwo fl mo fi. m. «@No .mo.o mø fl. o .m @ o.ø mh«. o + m.o + ooßw wm ¶- an. Qom. mo «.m. fi.> ~ .o _wo.o mo fl .o .m @ o.o.>. ~ .o + _ m.o + øozm w: NJ owm fl mo «. ~ om.o Qc.o mo fl. o o flfl. o w ~ .o + J.0 + ooqm ms, f mm om * mo fi. .N 3m.o. @ Oo mo fi. O mm fi .o .m ~ .o + w.0 + OONN mz .N = owo fi ¶ mo fi. ~ ~ Mo mo.o .mo fl. .o + oo fi w m. ~ = N:, oo: fl mo fl. ~ omwo wo.om@Ho mn «.o M N.o + w = .o + oomm m.m3 au onm fi mo fi. .fi @ N.o mo.ow mo fi. o .mm fi. o ¶ ~ N.o + W m. @ + oozw NJ. mn oß flfi mo fl. .fl @ ~ .o mQ.Q_ mo fl. o mm fl. o W «_. i _. å @@ V Av. Û. av., .w ma. .L Tv nowu fl momëom m .fi amßmß 7899677-3 44 .a) measured at the polarization temperature and at 2.5 kV / mm b) aging of resonance or, parallel resonance frequency between the 'lst and the' l00th day after polarization c) TJ ). = temperature variation of the resonant frequency in 1o * 6 / ° c.

.Oo\w|Ov w flmmñw>MmHmwflnflowwH won Gow»mflhm>H5PmhmmEmP u fn.B dowvmwfinmflom .Hoßmw flmwmw wuoov flwø floo flwwmø mumuv 333. flmflflmfl wdwšmnmwfimfiomwmflfiwflflmnmm .mmmn umflmflowwn .vw mflwnflflm EE\>M m.m 30.? noo nwnøßmnwmäwumnoflpmmwnmflom ä; »Ewa 7809677-3 45 m.0+ 3.0+ 00n~ m.N3. NN 0033 0303.~ 3n.0_ m0.0 00.0 03.0 3330 33 ~.~+ 3.~+ 0033 m.~3 33 0m~3 0303.m 3m.0 00.0 m30.0 m33.0 33.0 03 n.m+ m.0+ 0m3 m.33 33 0333 . 0303.mß 3n.0 .m0.0 00.0 33.0 33.0 N3 .0.0+ .3.3+ m33. m.m3 NN3 0333 0303.mA 30.0, m0.0 0 33.0 33.0 33 3.0+ ~.0+ 0033 03 m0 0303 ~03.m 3m.0 0 m~.0 0 33.0 03 N.0+ 3.04 0033 m.~3 mm 0333 03.3 3m.0 0 mm3.0 m33.0 33.0 0 _. _. 0 . . _ . _ N.0+ N.0+ 0003 m.~3 03 0033 w03.~.3 3m.0 0 ~3»0 n3.0 33.0 0 ~.0+ w.0+ 0033 m.fi3 Nm 0333 .m03.~. 3n.0. 0. 003.0 m33.0 33.0 _» m.0+. m.0+. 00nN m.m3. mn 0-3 _ 003.0 3nd0 .0 00.0 03.0 33.0 0..Oo \ w | Ov w fl mmñw> MmHmw fl n al owwH won Gow »et al hm> H5PmhmmEmP u fn.B dowvmw fi nm al if .Hoßmw al mwmw wuoov al WØ al oo al wwmø mumuv 333. fl m flfl et al wdwšmnmw f m f omwm flfi w flfl mnmm .mmmn microns al etc. owwn .vw et al wn flfl m EE \> M M.M 30.? noo nwnøßmnwmäwumno fl pmmwnm fl om ä; »Ewa 7809677-3 45 m.0 + 3.0+ 00n ~ m.N3. NN 0033 0303. ~ 3n.0_ m0.0 00.0 03.0 3330 33 ~. ~ + 3. ~ + 0033 m. ~ 3 33 0m ~ 3 0303.m 3m.0 00.0 m30.0 m33.0 33.0 03 n.m + m.0 + 0m3 m.33 33 0333. 0303.mß 3n.0 .m0.0 00.0 33.0 33.0 N3 .0.0+ .3.3+ m33. m.m3 NN3 0333 0303.mA 30.0, m0.0 0 33.0 33.0 33 3.0+ ~ .0 + 0033 03 m0 0303 ~ 03.m 3m.0 0 m ~ .0 0 33.0 03 N.0 + 3.04 0033 m. ~ 3 mm 0333 03.3 3m.0 0 mm3.0 m33.0 33.0 0 _. _. 0. . _. _ N.0 + N.0 + 0003 m. ~ 3 03 0033 w03. ~ .3 3m.0 0 ~ 3 »0 n3.0 33.0 0 ~ .0 + w.0 + 0033 m. Fi3 Nm 0333 .m03 . ~. 3n.0. 0. 003.0 m33.0 33.0 _ »m.0 +. m.0 +. 00nN m.m3. mn 0-3 _ 003.0 3nd0 .0 00.0 03.0 33.0 0.

N.0+ m.0+ 0m3~ m3.- mw 0033 0«03.3 3m.0 0 m30.0 m>3.0 33.0 m 3.0+ m.0+ 0m- m.m3 3 ,0~. 0m33 0303.N. 3m.0 0 00.0 33.0 .33.0 3 0.0+ m.0+ 00m3 m.~3 om. 0333 303.m^w 3n»0 0 w m30 0 m0~.0 33.0 n m.0+ m.w+ omw . mn Nm 0333 «03.m 3m.0 0 _ m0.0. -.o 33.0 N f _ >.3+ ~.m+ 0N3 03 3m3 0033 0303.m^~ 3030 0 . 0 m~.0 33.0 3 < . . 3330313. u _» _ x .< 3 > A333. 3-33 0 .3 3-03 3.30 f _.. f., _ . _ _ .å A0. . A0. ax .www t x Am. doflvfiwomñom .U HHwPmB 46 .Oo\w|Ov w flwwflo>MoHmmfiwflomwn mofl floflvmflnmbhflvmhmmâov u .Q.B no . flofißmwflhwfiom nmPww flmmmø æuoov flwfl floo flwwmø mvmuv flwfl cwafimfl wflw>MwHmmflmflowwnfiamfiamnmm .mwmn umflmflomwn ba wflfinøflm Aß EE\>M m.m øfl> floo ømnßpmnmmflwumflowvøwflnmaom øw> anwa Am MN- fi.o+ m.o» øoßfl .umfi mm ommfl moflJ=.fi flfi@o wo.o mmfl.o mmo.o J:.o wm Nm» N.o+ ~.o+ oøflm nu mm o~«fl mofl.fl. flm.o .wo.o ~fl.o ~o.o 3u.ø NN m~| ~flo+ m.o+ omzw m.z: mn ozmfl @ofi.w flm.o_ wo.o mo«.o .,mwo.o S=.o ww mm- ~,o+ =.o+ om=~ m: om om~fl mo«.m .fin.o ;.wo 0 mo.o _ H.o z=.o m~_ wm| ~.o+ :.o+ oomm ¶m.ø= mw ooflfl @oñ.> .flm.o [email protected] n>o.o mflfi.ø :q.o :N fiml :.o+. m.o+ øoflmf m: NN onmfl @o«.> Hn.o @o;o @o.w m«.o ßz.o mm » o.«+. m.fl+ oomfl m.m: NN oonfl oflø«.mß «n.o. .wo.@ m:o.o m:fl.o =:.o NN | u.=+ ~.w+ oofl. m.mn .wz .oïmfl ofiofi.mß. fim.o wo.o mø.o w«.o ¶=:.o fiw | m.o+ w.H+ odd m.w: wnfl omwfl o«ofl.m». «m.o .wo.o 0 . @d.o J=.o ON flm| ~.o+ w.o+ oofiw m.n: »N omfifl wo«.@ «m.o mo~o mfl.o m@ø.o :J.o md mm» ~.o+ ~.o+ oomw m.m: NN. oflflfl mofi.« «n.o no.o Nflßo .fl.o _::.o æfl mm: ~.o+ fl.o+ oomm m.n= om owflfl mofl.~ flm~o mo.o o«.o mHH.o :z.o »H mm» N=o+ :Jo+ ooww m.m= mm ømflfl mofl.m _ «m.o mo.o mo.o mfl.o .=:.o mfl :~| m.o+ :.o+ omzm m.m: flw oßflfl oflofl fim.o ..no.o m>o.o m=fl.o. 31.0 md ;u.@ .^-v< ^h«v< Q R_ ruofl mww mswwnw N > X _ _: > .em ho An An ¶ ax www E fim Qofivwmomaom . ¶^.w»HoMv à Hflmpwa oOO\@IO_\ H .flümflwkrummflfiwflmflOwmfH MDS GOfiPMMHNEÉPNHUQÉÜP H nånn. fioflvmmwnmfiom .Hmvmm nowmv wuoov flwø zoo flwwmw mvwnv nav flmflflwä mdwšwhwwnwflowwnflfiwaflmnmm Åman nwnmuowwn >m mnflnøflm 7809677-3 1? Efišfl MHN där zoo flwnfluønmmñwvmflofivmmfinmflom 35 »Ewa Am 1 ..~.o+ o.m+ oofl mn :wfl oowfl o«ofl.m^ flm.o m~.o 0 _ 0 u1.o flz. ßw| m.o+ m.o+ øoßfl m.mH Nm, ßmmfi .w fl.m flmqo. mflfl.o mm«.o . 0 flfl.o .ou NN» ~wo+ m.o+ øøwfi m.m: om ommfl wofl.w flmqø. N«.o ~H.o . flo.Q fl;.o mm Mm» ¶~.o+ .~.@+ owwfl == nw H owfifi .wofl.m .fim.o ~fi.o moH.o m~o.o zJ.o mm mm; ~.o+ N.o+ oomfl mz. :M omwfi mofl m «m.o mo.o mmfl.o m~n.0. .:H.o ßn mm: m.o+ n.o+ ooom . mn mm øomfl mofifw. fln.o mø.o Nfi~o 30.0 23.0 wm mm» «.o» .m.o+ oofim m.m: o@_¶ owwfl @ofl.~_ Hmwo. .mo.o modho mmo.o flJ.o mn @~| m.o+ m.o+ oowmí @=. mn _ .ømwfl mofl.= «m.o. mono mo.o ~o.o Jf.o Jm m~| m.o+ z.o+ oonm m.mï wm. . omwfl mofl.@ flm.o mo.o m>o.o mwø.o .§,.o mw mu m.o+ m.o+ ooñw mn mm oflmfl oflofl.~. «m.o [email protected] wo.o fl.o ~».o W Nm w :.~+ m.~+ ooofi m.@: mm.. oænfl ofio«.m fln.o [email protected] m=ø.o mH«.o 13.0 ß fim .æ.~+ fi.m+ owfl m.w= Nm . oomfi ofiofl.m^. «n.o .ao.o moßo mfi.o 33.0 .fi.o+ _ @.fi+ oofi m.mJ fififl. omflfl oflOfi.m^ Hmfo. @o.o= o . mfl.o ,”.o Ü AMS/__ M Anu: G. x ...ofl mm __. mfinwå N h x h... > ^n »Q ax mm» B w Am. . øøfipfiwomaow ^.w»~o«V a Hfiwpwa f\ O fx .QN.0 + m.0 + 0m3 ~ m3.- mw 0033 0 «03.3 3m.0 0 m30.0 m> 3.0 33.0 m 3.0+ m.0 + 0m- m.m3 3, 0 ~. 0m33 0303.N. 3m.0 0 00.0 33.0 .33.0 3 0.0+ m.0 + 00m3 m. ~ 3 om. 0333 303.m ^ w 3n »0 0 w m30 0 m0 ~ .0 33.0 n m.0 + m.w + omw. mn Nm 0333 «03.m 3m.0 0 _ m0.0. -.o 33.0 N f _> .3+ ~ .m + 0N3 03 3m3 0033 0303.m ^ ~ 3030 0. 0 m ~ .0 33.0 3 <. . 3330313. u _ »_ x. <3> A333. 3-33 0 .3 3-03 3.30 f _ .. f., _. _ _ .å A0. . A0. ax .www t x Am. do fl v fi womñom .U HHwPmB 46 .Oo \ w | Ov w fl ww fl o> MoHmm fi w fl omwn mo fl fl o fl vm fl nmbh fl vmhmmâov u .Q.B no. fl o f ßmw al hw fi if nmPww al mmmol æuoov al w fl fl oo al wwmø mvmuv al w fl CWA fi et al w f w> MwHmm al etc. owwn f am f amnmm .mwmn microns al etc. omwn ba w flfi NØ fl m Aß EE \> M mm ø fl> al oo ømnßpmnmm al Wum al owvøw al nmaom OW> Anwa Am MN f. o + Mo »øoß al .um fi mm iff al mo al J =. fi flfi @ o wo.o mm fl. o mmo.o J: .o wm Nm »N.o + ~ .o + oø fl m nu mm o ~« fl mo fl.fl. fl m.o .wo.o ~ fl. o ~ o.o 3u.ø NN m ~ | ~ fl o + m.o + omzw mz: mn ozm fl @o fi. w fl m.o_ wo.o mo «.o., mwo.o S = .o ww mm- ~, o + = .o + om = ~ m: om om ~ fl mo «.m .fi n.o; .wo 0 mo.o _ Ho z = .om ~ _ wm | ~ .o +: .o + oomm ¶m.ø = mw oo flfl @ oñ.> .fl m.o m @ .o n> o.o m flfi. ø: q.o: N fi ml: .o +. m.o + øo fl mf m: NN onm fl @o «.> Hn.o @o; o @ o.w m« .o ßz.o mm »o.« +. m. fl + oom fl m.m: NN oon fl o fl ø «.mß« n.o. .wo. @ m: o.o m: fl. o = :. o NN | u. = + ~ .w + oo fl. m.mn .wz .oïm fl o fi o fi. mß. fi m.o wo.o mø.o w «.o ¶ = :. o fi w | m.o + w.H + odd m.w: wn fl omw fl o «o fl. m». «M.o .wo.o 0. @ d.o J = .o ON fl m | ~ .o + w.o + oo fi w m.n: »N om fifl wo«. @ «m.o mo ~ o m fl. o m@ø.o: J.o md mm» ~ .o + ~ .o + oomw m.m: NN. o flflfl mo fi. «« no no.o N fl ßo .fl. o _ ::. o æ fl mm: ~ .o + fl. o + oomm mn = om ow flfl mo fl. ~ fl m ~ o mo.oo «.o mHH.o: zo »H mm» N = o +: Jo + ooww mm = mm øm flfl mo fl. M _ «mo mo.o mo.o m fl. O. = :. o m fl: ~ | m.o +: .o + omzm m.m: fl w oß flfl o fl o fl fi m.o ..no.o m> o.o m = fl. o. 31.0 md; u. @. ^ - v <^ h «v <Q R_ ruo fl mww mswwnw N> X _ _:> .em ho An An ¶ ax www E fi m Qo fi vwmomaom. ¶ ^ .w »HoMv à H fl mpwa oOO \ @IO_ \ H .fl üm fl wkrumm flfi w fl m fl OwmfH MDS GO fi PMMHNEÉPNHUQÉÜP H nånn. fi o fl vmmwnm fi om .Hmvmm nowmv wuoov fl wø zoo fl wwmw mvwnv nav fl m flfl wä mdwšwhwwnw fl owwn flfi wa fl mnmm Åman nwnmuowwn> m mn fl nø fl m 7809677-3 1? E fi š fl MHN where zoo fl wn fl uønmmñwvm fl o fi vmm fi nm fl about 35 »Ewa Am 1 .. ~ .o + o.m + oo fl mn: w fl oow fl o« o fl. M ^ fl m.o m ~ .o 0 _ 0 u1.o fl z. ßw | m.o + m.o + øoß fl m.mH Nm, ßmm fi .w fl. m fl mqo. m flfl. o mm «.o. 0 flfl. O .ou NN »~ wo + m.o + øøw fi m.m: om omm fl wo fl. W fl mqø. N «.o ~ H.o. fl o.Q fl ;. o mm Mm »¶ ~ .o +. ~. @ + oww fl == nw H ow fifi .wo fl. m .fi m.o ~ fi. o moH.o m ~ o.o zJ.o mm mm; ~ .o + N.o + oom fl mz. : M omw fi mo fl m «m.o mo.o mm fl. O m ~ n.0. .: H.o ßn mm: m.o + n.o + ooom. mn mm øom fl mo fi fw. fl n.o mø.o N fi ~ o 30.0 23.0 wm mm »« .o ».m.o + oo fi m m.m: o @ _¶ oww fl @o fl. ~ _ Hmwo. .mo.o modho mmo.o fl J.o mn @ ~ | m.o + m.o + oowmí @ =. mn _ .ømw fl mo fl. = «m.o. mono mo.o ~ o.o Jf.o Jm m ~ | m.o + z.o + oonm m.mï wm. . omw fl mo fl. @ fl m.o mo.o m> o.o mwø.o .§, .o mw mu m.o + m.o + ooñw mn mm o fl m fl o fl o fl. ~. «Mo m @ .o wo.o fl. O ~» .o W Nm w:. ~ + M. ~ + Ooo fi m. @: Mm .. oæn fl o fi o «.m fl n.o. @ Oo m = ø. o mH «.o 13.0 ß fi m .æ. ~ + fi. m + ow fl mw = Nm. oom fi o fi o fl. m ^. «N.o .ao.o moßo m fi. O 33.0 .fi. O + _ @ .fi + oo fi m.mJ fififl. om flfl o fl O fi .m ^ Hmfo. @ o.o = o. m fl. o, ”. o Ü AMS / __ M Anu: G. x ... o fl mm __. m fi nwå N h x h ...> ^ n »Q ax mm» B w Am. . øø fi p fi womaow ^ .w »~ o« V a H fi wpwa f \ O fx .Q

Claims (1)

1. Patentkrav 'lt. Keramiskt piezoelektriskt material på. basis av blyzir- lconat/titanat/niobat, k ä n n e t e c k n a t av att dess àamman- sättning; motsvarar formeln Nb2/5)O5+z.PbZrO5 , varvid mängzderna av komponenterna v, w, x, y och z är i följande områden: O,500_§ v _<_ 0,500 0,01 i w_<_ 0,250 0,0”f5_§ X g 0,455 :__ 0,0'l _<_ y_<_ 0,12 ' 0,250; zg 0,450 ochv+w+x+y+z='l. 2_ Användning av keramiekt piezoelektriskt material enligt “fu-av 'l för elektromekaníska resonatorer och filter,Claim 1't. Ceramic piezoelectric material on. base of lead zirconate / titanate / niobate, k ä n n e t e c k n a t of its composition; corresponds to the formula Nb2 / 5) O5 + z.PbZrO5, where the amounts of the components v, w, x, y and z are in the following ranges: 0, 500_§ v _ <_ 0,500 0,01 in w _ <_ 0,250 0.0 ”F5_§ X g 0.455: __ 0.0'l _ <_ y _ <_ 0.12 '0.250; zg 0.450 ochv + w + x + y + z = 'l. 2_ Use of ceramic piezoelectric material according to fu-av 'l for electromechanical resonators and filters,