RU2601049C1 - Method of applying gas-tight coating of silicon carbide - Google Patents

Method of applying gas-tight coating of silicon carbide Download PDF

Info

Publication number
RU2601049C1
RU2601049C1 RU2015116407/02A RU2015116407A RU2601049C1 RU 2601049 C1 RU2601049 C1 RU 2601049C1 RU 2015116407/02 A RU2015116407/02 A RU 2015116407/02A RU 2015116407 A RU2015116407 A RU 2015116407A RU 2601049 C1 RU2601049 C1 RU 2601049C1
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
silicon
silicon carbide
coating
gas
tight
Prior art date
Application number
RU2015116407/02A
Other languages
Russian (ru)
Inventor
Владимир Николаевич Курлов
Ирина Алексеевна Шикунова
Сергей Леонидович Шикунов
Антон Евгеньевич Ершов
Original Assignee
Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Институт физики твердого тела Российской академии наук (ИФТТ РАН)
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Институт физики твердого тела Российской академии наук (ИФТТ РАН) filed Critical Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Институт физики твердого тела Российской академии наук (ИФТТ РАН)
Priority to RU2015116407/02A priority Critical patent/RU2601049C1/en
Application granted granted Critical
Publication of RU2601049C1 publication Critical patent/RU2601049C1/en

Links

Images

Classifications

    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C16/00Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
    • C23C16/22Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the deposition of inorganic material, other than metallic material
    • C23C16/30Deposition of compounds, mixtures or solid solutions, e.g. borides, carbides, nitrides
    • C23C16/42Silicides
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C16/00Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
    • C23C16/44Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating
    • C23C16/448Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating characterised by the method used for generating reactive gas streams, e.g. by evaporation or sublimation of precursor materials

Abstract

FIELD: chemistry.
SUBSTANCE: invention relates to heat-protective and anti-oxidation coatings, and can be used to increase chemical resistance and operating temperature of materials, used in aerospace industry, fuel and energy sector, etc. Method of applying a gas-tight coating of silicon carbide on high-temperature material involves placing said part in a furnace heat zone and supplying to surface of said part gaseous silicon-containing and carbon-containing components. Gaseous silicon-containing component is obtained using silicon vapour source, in form of a silicon melt, which is placed in crucible in heat zone of furnace. Carbon-containing component used is gaseous hydrocarbons.
EFFECT: reduced cost and faster process of producing coatings of gas-tight silicon carbide, higher thermal oxidative stability of protected materials, increased adhesion of silicon carbide, higher thermal oxidative strength of coated parts from various high-temperature materials.
1 cl, 1 tbl, 8 dwg

Description

Изобретение относится к области высокотемпературных, коррозионностойких материалов, а именно термозащитных и антиокислительных покрытий, и может быть использовано для повышения химической инертности и температуры эксплуатации материалов (композиционные материалы на основе карбида кремния (SiC), углерод-углеродные композиционные материалы (УУКМ), высокотемпературные сплавы, тугоплавкие металлы и др.), используемых в авиакосмической промышленности, топливо-энергетическом комплексе и др.The invention relates to the field of high-temperature, corrosion-resistant materials, namely heat-protective and antioxidant coatings, and can be used to increase the chemical inertness and operating temperature of materials (composite materials based on silicon carbide (SiC), carbon-carbon composite materials (CCCM), high-temperature alloys refractory metals, etc.) used in the aerospace industry, fuel and energy complex, etc.

Наиболее близким к заявляемому изобретению является способ осаждения из газовой (паровой) фазы (CVD). Так известен способ изготовления покрытий из карбида кремния заданного состава и свойств (US 2014356549, A1 опубл. 04.01.2014). Способ заключается в осаждении покрытия из карбида кремния на материале путем подачи к поверхности материала газообразных кремнийсодержащих и углеродсодержащих компонентов, в качестве которых используются органические прекурсоры. Данный способ позволяет получать на поверхности материалов газоплотные покрытия из карбида кремния с высокими защитными свойствами и однородностью.Closest to the claimed invention is a method of deposition from the gas (vapor) phase (CVD). So there is a known method of manufacturing coatings of silicon carbide of a given composition and properties (US 2014356549, A1 publ. 04.01.2014). The method consists in depositing a silicon carbide coating on a material by supplying gaseous silicon-containing and carbon-containing components to the surface of the material, which use organic precursors. This method allows to obtain on the surface of materials gas-tight coatings of silicon carbide with high protective properties and uniformity.

Недостатком данного способа является малая производительность, высокая стоимость компонентов (реагентов) и затраты на производство за счет большой продолжительности процесса нанесения покрытия путем химического осаждения из газовой фазы.The disadvantage of this method is the low productivity, high cost of components (reagents) and production costs due to the long duration of the coating process by chemical vapor deposition.

Изобретение направлено на упрощение технологического процесса нанесения газоплотного покрытия из карбида кремния на поверхность материалов, уменьшение стоимости, сокращение времени процесса нанесения покрытий.The invention is aimed at simplifying the process of applying a gas-tight coating of silicon carbide to the surface of materials, reducing cost, reducing the time of the coating process.

Технический результат состоит в уменьшении стоимости и сокращении времени технологического процесса получения покрытий газоплотного карбида кремния, повышении термоокислительной стойкости защищаемых материалов, увеличении адгезии покрытия из карбида кремния с материалом, на который оно наносится, увеличении термоокислительной прочности покрываемых деталей из различных высокотемпературных материалов (УУКМ, композиционный материал SiC-Si или SiC-C-Si, графит, металл, металлический сплав и т.д.).The technical result consists in reducing the cost and time of the process of producing gas-tight silicon carbide coatings, increasing the thermal oxidative resistance of the materials to be protected, increasing the adhesion of the silicon carbide coating to the material on which it is applied, and increasing the thermal oxidative strength of the coated parts from various high-temperature materials (CCCM, composite material SiC-Si or SiC-C-Si, graphite, metal, metal alloy, etc.).

Технический результат достигается за счет того, что способ нанесения газоплотного покрытия из карбида кремния заключается в осаждении покрытия из карбида кремния на установленном в тепловой зоне печи материале путем подачи к поверхности материала газообразных кремнийсодержащего и углеродсодержащего компонентов, в качестве кремнийсодержащего компонента используются пары кремния из расплава кремния, расположенного в тигле в тепловой зоне печи, в качестве углеродсодержащего компонента используются газообразные углеводороды.The technical result is achieved due to the fact that the method of applying a gas-tight coating of silicon carbide is to deposit a coating of silicon carbide on a material installed in the furnace heat zone by supplying gaseous silicon-containing and carbon-containing components to the surface of the material, silicon vapor from silicon melt is used as the silicon-containing component located in the crucible in the thermal zone of the furnace, gaseous hydrocarbons are used as the carbon-containing component.

Технический результат достигается также за счет того, что в способе нанесения газоплотного покрытия из карбида кремния в образовании покрытия участвует также расплав кремния, содержащийся в материале, на который наносится покрытие.The technical result is also achieved due to the fact that the melt of silicon contained in the material on which the coating is applied also participates in the method of applying a gas-tight coating of silicon carbide.

В заявляемом способе газоплотное покрытие из карбида кремния на материале формируется за счет прямого взаимодействия углерода, образующегося при высокотемпературном пиролитическом разложении молекул углеводорода (например, метана) с парами кремния, источником которого служит расплав кремния, размещенный в тепловой зоне печи и/или жидким кремнием, содержащимся в материале детали, на которую наносится покрытие. Использование паров и/или расплава кремния для проведения реакции образования карбида кремния на поверхности материала детали существенно упрощает конструкцию технологической зоны, сокращает время проведения процесса и снижает его себестоимость за счет более доступного и дешевого компонента по сравнению с кремнийсодержащими прекурсорами, используемыми в CVD процессах нанесения SiC покрытий. Адгезия защитного покрытия с поверхностью углерод-углеродного композиционного материала, композиционного материала SiC-Si или SiC-C-Si, графита и других углерод или кремнийсодержащих материалов при использовании предлагаемого способа существенно выше, т.к. процесс проводится при высокой температуре с частичным участием компонент, находящихся непосредственно в детали, на которую наносится покрытие. Также способ позволяет наносить SiC покрытия на металлы и металлические сплавы.In the inventive method, a gas-tight coating of silicon carbide on the material is formed due to direct interaction of carbon formed during the high-temperature pyrolytic decomposition of hydrocarbon molecules (e.g. methane) with silicon vapors, the source of which is a silicon melt placed in the thermal zone of the furnace and / or liquid silicon, contained in the material of the part to be coated. The use of vapors and / or silicon melt to conduct the reaction of silicon carbide formation on the surface of the material of the part significantly simplifies the design of the process zone, reduces the time of the process, and reduces its cost due to the more affordable and cheaper component compared to silicon-containing precursors used in CVD SiC deposition processes coatings. The adhesion of the protective coating with the surface of the carbon-carbon composite material, composite material SiC-Si or SiC-C-Si, graphite and other carbon or silicon-containing materials when using the proposed method is significantly higher, because the process is carried out at high temperature with partial participation of components located directly in the part to be coated. The method also allows you to apply SiC coatings on metals and metal alloys.

Реализация изобретения поясняется чертежами и примером реализации изобретения:The implementation of the invention is illustrated by drawings and an example implementation of the invention:

Фиг. 1. Схема установки для нанесения покрытий по заявляемому способу.FIG. 1. Scheme of the installation for coating by the present method.

Фиг. 2. Защитное газоплотное SiC покрытие со средним размером кристаллитов ~80 нм на графите. Температура Т=1600°С, давление Р=4 мм рт.ст., скорость V=0,39 литр/мин.FIG. 2. Protective gas-tight SiC coating with an average crystallite size of ~ 80 nm on graphite. Temperature Т = 1600 ° С, pressure Р = 4 mm Hg, speed V = 0.39 liter / min.

Фиг. 3. Защитное газоплотное SiC покрытие со средним размером кристаллитов ~50 мкм на графите. Температура Т=1480°С, давление Р=2 мм рт.ст., скорость V=0,6 литров/мин.FIG. 3. Protective gas-tight SiC coating with an average crystallite size of ~ 50 μm on graphite. Temperature Т = 1480 ° С, pressure Р = 2 mm Hg, speed V = 0.6 liters / min.

Фиг. 4. Защитное газоплотное SiC покрытие на углерод-углеродном композиционном материале (УУКМ).FIG. 4. Protective gas-tight SiC coating on a carbon-carbon composite material (CCCM).

Фиг. 5. Защитное газоплотное SiC покрытие карбидокремниевой керамики с участием в качестве источника кремния остаточного кремния материала.FIG. 5. Protective gas-tight SiC coating of silicon carbide ceramics with the participation of residual silicon material as a source of silicon.

Фиг. 6. Микроструктура композиционного материала SiC-C-Si/50-40-10 без покрытия (а) и с газоплотным SiC покрытием (б) после отжига при 1000°С на воздухе в течение 60 часов.FIG. 6. The microstructure of the composite material SiC-C-Si / 50-40-10 without coating (a) and with a gas-tight SiC coating (b) after annealing at 1000 ° C in air for 60 hours.

Фиг. 7. Защитное газоплотное SiC покрытие на биоморфной керамике.FIG. 7. Protective gas-tight SiC coating on biomorphic ceramics.

Фиг. 8. Защитное газоплотное SiC покрытие на молибденовом нагревателе.FIG. 8. Protective gas-tight SiC coating on a molybdenum heater.

Пример реализации изобретенияAn example implementation of the invention

Для нанесения газоплотного покрытия из карбида кремния на материал 1 (графит) использовалась вакуумная высокотемпературная печь резистивного нагрева с графитовым нагревателем 2 и углеродной теплоизоляцией 3 (Фиг. 1). Печь готовили следующим образом: открыли тепловую зону печи 4, произвели загрузку кремния в тигель 5, расположенный в нижней части тепловой зоны на подставке 6. Над тиглем на высоте 100 мм разместили покрываемую деталь 1 из графита с помощью графитовой оснастки 7. Далее произвели закрытие тепловой зоны 4 углеродной теплоизоляцией 3, установку рассекателя на магистраль подачи углеводорода 8. В качестве углеводорода был использован метан. Далее печь вакуумировали с использованием форвакуумного насоса, провели нагревание тепловой зоны 4 печи до температуры 1600°С для получения расплава кремния, находящегося в тигле 5. После этого осуществили подачу метана в тепловую зону (давление Р=4 мм рт.ст., скорость V=0,39 литр/мин). Покрытие выращивалось со скоростью 100 мкм/час. Когда необходимая толщина покрытия была достигнута (30 мкм), прекратили подачу метана в камеру печи, в течение 1 часа снизили рабочую мощность нагревателя 2 до нуля. После этого была выключена система обеспечения вакуума 9, и после полного охлаждения печи последовала ее разгрузка. Увеличенное изображение структуры полученного покрытия с размером частиц карбида кремния 80 нм показано на Фиг. 2.To apply a gas-tight coating of silicon carbide to material 1 (graphite), a high-temperature vacuum resistive heating furnace with a graphite heater 2 and carbon thermal insulation 3 was used (Fig. 1). The furnace was prepared as follows: the thermal zone of furnace 4 was opened, silicon was loaded into the crucible 5 located in the lower part of the thermal zone on the stand 6. A coated part 1 made of graphite was placed above the crucible at a height of 100 mm using graphite tooling 7. Next, the thermal was closed zone 4 with carbon thermal insulation 3, installing a divider on the hydrocarbon supply line 8. Methane was used as the hydrocarbon. Next, the furnace was evacuated using a foreline pump, the thermal zone 4 of the furnace was heated to a temperature of 1600 ° C to obtain a silicon melt in the crucible 5. After that, methane was supplied to the thermal zone (pressure P = 4 mm Hg, speed V = 0.39 liter / min). The coating was grown at a speed of 100 μm / hour. When the required coating thickness was reached (30 μm), methane supply to the furnace chamber was stopped, and the operating power of heater 2 was reduced to zero within 1 hour. After that, the vacuum system 9 was turned off, and after the furnace was completely cooled, its unloading followed. An enlarged image of the structure of the obtained coating with a particle size of silicon carbide of 80 nm is shown in FIG. 2.

В зависимости от определенного сочетания температуры, времени протекания реакции, скорости потока газообразного углеводорода через камеру, степени его разложения, парциального давления углеводорода в зоне реакции можно получать нано- и микрокристаллические газонепроницаемые покрытия с разной структурой, регулируемым политипным составом и толщиной (от 300 нм до сотен микрон) с размером частиц карбида кремния от 50 нм до сотен микрон. Пример газоплотного SiC покрытия из кристаллитов размером несколько десятков микрон на графите показан на Фиг. 3. Температура, при котором наносилось покрытие составляла Т=1480°С, параметры подачи метана при этом составили: давление Р=2 мм рт.ст., скорость V=0,6 литров/мин.Depending on the combination of temperature, reaction time, the flow rate of gaseous hydrocarbon through the chamber, the degree of its decomposition, the partial pressure of the hydrocarbon in the reaction zone, nano- and microcrystalline gas-tight coatings with different structures, controlled by polytype composition and thickness (from 300 nm to hundred microns) with a particle size of silicon carbide from 50 nm to hundreds of microns. An example of a gas-tight SiC coating of crystallites several tens of microns in size on graphite is shown in FIG. 3. The temperature at which the coating was applied was T = 1480 ° C; the methane supply parameters in this case were: pressure P = 2 mm Hg, speed V = 0.6 liters / min.

На Фиг. 4 показан материал УУКМ с нанесенным по предлагаемому способу газоплотным покрытием из карбида кремния. Хорошая адгезия SiC покрытия к УУКМ достигалась за счет частичного участия углерода, находящегося в УУКМ. Использовались режимы для получения покрытия на графите с размером частиц карбида кремния 80 нм, приведенные в примере реализации изобретения. Также газоплотное покрытие из карбида кремния по предлагаемому способу может быть нанесено на материалы с содержанием остаточного кремния, такие как силицированные графиты и реакционносвязанные графиты (композиционные материалы SiC-C-Si) и реакционно-связанный карбид кремния (SiC-Si), биоморфную карбидокремниевую керамику для существенного повышения их термоокислительной стойкости. Участие свободного кремния, содержащегося в данных материалах, позволяет получать газоплотные покрытия с высокой адгезией к поверхности материала. На Фиг. 5 показана микроструктура композиционного материала SiC-C-Si/50-40-10% масс., с защитным карбидокремниевым покрытием, полученным с параметрами нанесения, приведенными в примере реализации. На Фиг. 6 приведены структуры данного материала без защитного покрытия (Фиг. 6а) и с SiC газоплотным покрытием (Фиг. 6б), после отжига на воздухе при температуре 1000°С в течение 60 часов. Видно, что структура материала без защитного покрытия сильно нарушена за счет выгорания углерода из керамики. Потеря веса детали без покрытия составила 36% вес. Вес детали с SiC покрытием не изменился.In FIG. 4 shows the UUKM material coated with a gas-tight silicon carbide coating by the proposed method. Good adhesion of the SiC coating to CCCM was achieved due to the partial participation of carbon in CCCM. The modes used to obtain a coating on graphite with a particle size of silicon carbide of 80 nm, given in the example implementation of the invention. Also, a gas-tight coating of silicon carbide according to the proposed method can be applied to materials containing residual silicon, such as siliconized graphites and reactive graphites (SiC-C-Si composite materials) and reactive silicon carbide (SiC-Si), biomorphic silicon carbide ceramics to significantly increase their thermo-oxidative stability. The participation of free silicon contained in these materials makes it possible to obtain gas-tight coatings with high adhesion to the surface of the material. In FIG. 5 shows the microstructure of the composite material SiC-C-Si / 50-40-10 wt.%, With a protective silicon carbide coating obtained with the application parameters shown in the example implementation. In FIG. Figure 6 shows the structures of this material without a protective coating (Fig. 6a) and with a SiC gas-tight coating (Fig. 6b), after annealing in air at a temperature of 1000 ° C for 60 hours. It can be seen that the structure of the material without a protective coating is severely disturbed due to the burning of carbon from ceramics. The weight loss of the uncoated part was 36% by weight. The weight of the SiC coated part has not changed.

На Фиг. 7 показана микроструктура газоплотного покрытия из карбида кремния по предлагаемому способу, нанесенного на биоморфную карбидокремниевую керамику, где в качестве углеродного компонента используется пиролизованная древесина (в данном случае - береза). Покрытие позволяет защитить от окисления остаточные углерод и кремний в объеме биоморфной керамики.In FIG. 7 shows the microstructure of a gas-tight coating of silicon carbide according to the proposed method, applied to biomorphic silicon carbide ceramics, where pyrolyzed wood (in this case, birch) is used as the carbon component. The coating allows you to protect from oxidation residual carbon and silicon in the volume of biomorphic ceramics.

Нанесение SiC покрытия на композиционные SiC-C-Si также может улучшать механические характеристики материала за счет снижения вклада поверхностных дефектов при испытании образцов на изгиб, сжатие и растяжение. В таблице 1 представлены результаты испытаний деталей из карбидокремниевой керамики с карбидокремниевым покрытием.SiC coating of composite SiC-C-Si can also improve the mechanical characteristics of the material by reducing the contribution of surface defects when testing samples for bending, compression and tension. Table 1 presents the test results of parts made of silicon carbide ceramics with silicon carbide coating.

Figure 00000001
Figure 00000001

Из таблицы следует, что показатели прочности изделий из карбидокремниевой керамики на сжатие и изгиб увеличены для изделий с нанесенным карбидокремниевым покрытием с частичным источником кремния, находящимся в структуре покрываемого материала.It follows from the table that the compressive and bending strengths of silicon carbide ceramic products are increased for products with silicon carbide coating with a partial silicon source located in the structure of the coated material.

Защитное газоплотное покрытие из карбида кремния по предлагаемому способу может быть нанесено также на металлы и металлические сплавы. На Фиг. 8 показана молибденовая пластина с SiC покрытием, которая использовалась в качестве нагревателя (контактные зоны нагревателя на краях не защищены покрытием), работающего в окислительной атмосфере при температуре 1500°С свыше 100 часов.Protective gas-tight coating of silicon carbide by the proposed method can also be applied to metals and metal alloys. In FIG. Figure 8 shows a molybdenum plate with a SiC coating, which was used as a heater (the contact zones of the heater at the edges are not protected by the coating) operating in an oxidizing atmosphere at a temperature of 1500 ° C for more than 100 hours.

Claims (1)

Способ нанесения газоплотного покрытия из карбида кремния на деталь из высокотемпературного материала, включающий размещение упомянутой детали в тепловой зоне печи и подачу к поверхности упомянутой детали газообразных кремнийсодержащего и углеродсодержащего компонентов, отличающийся тем, что газообразный кремнийсодержащий компонент получают с использованием источника паров кремния, в качестве которого используют расплав кремния, который размещают в тигле в тепловой зоне печи, а в качестве углеродсодержащего компонента используют газообразные углеводороды. A method of applying a gas-tight coating of silicon carbide to a part of a high-temperature material, comprising placing said part in the furnace heat zone and supplying gaseous silicon-containing and carbon-containing components to the surface of said part, characterized in that the gaseous silicon-containing component is obtained using a source of silicon vapor, the quality of which use a silicon melt, which is placed in a crucible in the thermal zone of the furnace, and use as a carbon-containing component gaseous hydrocarbons.
RU2015116407/02A 2015-04-29 2015-04-29 Method of applying gas-tight coating of silicon carbide RU2601049C1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2015116407/02A RU2601049C1 (en) 2015-04-29 2015-04-29 Method of applying gas-tight coating of silicon carbide

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2015116407/02A RU2601049C1 (en) 2015-04-29 2015-04-29 Method of applying gas-tight coating of silicon carbide

Publications (1)

Publication Number Publication Date
RU2601049C1 true RU2601049C1 (en) 2016-10-27

Family

ID=57216583

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2015116407/02A RU2601049C1 (en) 2015-04-29 2015-04-29 Method of applying gas-tight coating of silicon carbide

Country Status (1)

Country Link
RU (1) RU2601049C1 (en)

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2684128C1 (en) * 2018-04-06 2019-04-04 Общество с ограниченной ответственностью "Научно технический центр "Новые технологии" Article with silicon carbide coating and method for manufacturing of article with silicon carbide coating
RU2695423C1 (en) * 2018-02-26 2019-07-23 Общество с ограниченной ответственностью "Научно технический центр "Новые технологии" Article from graphite with modified near-surface layer and method of modification of article surface, having base from graphite
WO2021034214A1 (en) * 2019-08-19 2021-02-25 Генадий Викторович СВЯТЕЦ Article with silicon carbide coating and method for producing article with silicon carbide coating
WO2021034215A1 (en) * 2019-08-19 2021-02-25 СВЯТЕЦ, Генадий Викторович Article made of graphite with modified subsurface layer and method for modifying the surface of an article having a graphite base

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
SU310508A1 (en) * 1969-07-23 1975-01-25 В. В. Конокотин, Г. А. Кравецкий, В. С. Дергунова , Н. П. Гусева Method of protecting carbon and graphite materials from oxidation
US4194028A (en) * 1977-08-31 1980-03-18 Wacher-Chemitronic Gesellschaft fur Elektronik-Grundstoffe mbH Process for applying a protective layer to shaped carbon bodies
RU2165999C2 (en) * 1991-01-30 2001-04-27 Научно-исследовательский институт молекулярной электроники Method of forming protective coats for graphite substrate holders and device for method embodiment
US20140302299A1 (en) * 2007-06-19 2014-10-09 Markisches Werk Gmbh Thermally sprayed gastight protective layer for metal substrates

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
SU310508A1 (en) * 1969-07-23 1975-01-25 В. В. Конокотин, Г. А. Кравецкий, В. С. Дергунова , Н. П. Гусева Method of protecting carbon and graphite materials from oxidation
US4194028A (en) * 1977-08-31 1980-03-18 Wacher-Chemitronic Gesellschaft fur Elektronik-Grundstoffe mbH Process for applying a protective layer to shaped carbon bodies
RU2165999C2 (en) * 1991-01-30 2001-04-27 Научно-исследовательский институт молекулярной электроники Method of forming protective coats for graphite substrate holders and device for method embodiment
US20140302299A1 (en) * 2007-06-19 2014-10-09 Markisches Werk Gmbh Thermally sprayed gastight protective layer for metal substrates

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2695423C1 (en) * 2018-02-26 2019-07-23 Общество с ограниченной ответственностью "Научно технический центр "Новые технологии" Article from graphite with modified near-surface layer and method of modification of article surface, having base from graphite
RU2684128C1 (en) * 2018-04-06 2019-04-04 Общество с ограниченной ответственностью "Научно технический центр "Новые технологии" Article with silicon carbide coating and method for manufacturing of article with silicon carbide coating
WO2021034214A1 (en) * 2019-08-19 2021-02-25 Генадий Викторович СВЯТЕЦ Article with silicon carbide coating and method for producing article with silicon carbide coating
WO2021034215A1 (en) * 2019-08-19 2021-02-25 СВЯТЕЦ, Генадий Викторович Article made of graphite with modified subsurface layer and method for modifying the surface of an article having a graphite base

Similar Documents

Publication Publication Date Title
RU2601049C1 (en) Method of applying gas-tight coating of silicon carbide
Zhao et al. The influence of thermal gradient on pyrocarbon deposition in carbon/carbon composites during the CVI process
Das et al. Carbothermal synthesis of boron nitride coating on PAN carbon fiber
RU2458888C1 (en) Method of producing protective coatings on articles with carbon-containing base
RU2011105001A (en) METHOD FOR COATING AND ANTI-CORROSION COATING FOR TURBINE COMPONENTS
US5660880A (en) Anti-oxidation protection of carbon-based materials
CN109182996B (en) Tungsten alloy coating preparation equipment and method
Wang et al. Recovery in oxidation behavior of damaged SiCZrB2/SiC coating of carbon/carbon composites
CN110022623B (en) Preparation and application of high-temperature-resistant electric heating fiber
Zhang et al. Preparation of Mg and Al phosphate coatings on ferritic steel by wet-chemical method as tritium permeation barrier
CN114405797B (en) Graphene coating based on liquid material plasma spraying technology and spraying process thereof
CN110129746A (en) The plasma treatment and reactor of thermochemical treatment for metal parts surface
RU2470857C1 (en) Method of making parts from carbon-carbide-silicon material
CN105503270B (en) A kind of preparation method of SiC coatings
CN105705678A (en) DLC film formation method
CN105130498A (en) Method for preparing silicon carbide coating on carbon material by employing reaction diffusion process
RU2716323C1 (en) Method of protecting carbon-containing composite materials of large-size articles from oxidation
Kohzaki et al. Large-area diamond deposition and brazing of the diamond films on steel substrates for tribological applications
Grenadyorov et al. Thermal stability of aC: H: SiOx thin films in hydrogen atmosphere
RU2464250C1 (en) Method of making articles from carbon-silicon carbide material
Nagasaka et al. Tribological properties of polycrystalline diamond films prepared by hot-filament chemical vapor deposition methods
Ye et al. Deposition of Hexagonal Boron Nitride from N‐Trimethylborazine (TMB) for Continuous CVD Coating of SiBNC Fibers
RU2675618C1 (en) Method of applying oxidation-resistant and ultra-high-temperature titanium, zirconium and hafnium diboride coatings to composite materials
RU2484013C2 (en) Method of making articles from composite material
Ghanem et al. Oxidation behavior of silicon carbide based biomorphic ceramics prepared by chemical vapor infiltration and reaction technique