RU200329U1 - Устройство контроля качества очистки поверхности кремниевых пластин - Google Patents
Устройство контроля качества очистки поверхности кремниевых пластин Download PDFInfo
- Publication number
- RU200329U1 RU200329U1 RU2020105119U RU2020105119U RU200329U1 RU 200329 U1 RU200329 U1 RU 200329U1 RU 2020105119 U RU2020105119 U RU 2020105119U RU 2020105119 U RU2020105119 U RU 2020105119U RU 200329 U1 RU200329 U1 RU 200329U1
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- silicon wafers
- cleaning
- quality
- light filter
- corrective
- Prior art date
Links
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/17—Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
- G01N21/47—Scattering, i.e. diffuse reflection
- G01N21/4738—Diffuse reflection, e.g. also for testing fluids, fibrous materials
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Immunology (AREA)
- Pathology (AREA)
- Investigating, Analyzing Materials By Fluorescence Or Luminescence (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
Abstract
Полезная модель относится к области измерительной техники и предназначена для контроля качества очистки поверхности кремниевых пластин, используемых при изготовлении силовых полупроводниковых приборов, после операции механической обработки. Устройство контроля качества очистки поверхности кремниевых пластин включает светонепроницаемую камеру, обеспечивающую геометрию измерения 45°, источник излучения, апертурную диафрагму, обеспечивающую стандартные условия наблюдения, и корригирующий светофильтр, оно дополнительно содержит коллиматор излучения для получения пучка параллельных лучей, установленный между корригирующим светофильтром и светонепроницаемой камерой, и быстродействующий прибор с зарядовой связью для обеспечения спектральной визуализации фотолюминесценции. Технический результат - идентификация вида загрязнения и его распределение по поверхности кремниевой пластины. 2 ил.
Description
Полезная модель относится к области измерительной техники и предназначена для контроля качества очистки поверхности кремниевых пластин, используемых при изготовлении силовых полупроводниковых приборов, после операции механической обработки.
Известно устройство контроля, содержащее источник света, на который устанавливают спектральный фильтр и с помощью фиксатора фиксируют положение источника света по высоте и углу наклона таким образом, чтобы каждая контролируемая поверхность освещалась косонаправленным пучком света, имеющим цветовую окраску (см. патент РФ №2621469, МПК G01B 11/30, G01N 21/01, опубл. 2017 г.)
К недостаткам этого устройства следует отнести невозможность получения информации о природе имеющихся загрязнений и их распределении по поверхности исследуемой кремниевой пластины.
Наиболее близким техническим решением, выбранным в качестве прототипа, является устройство для определения спектральной зависимости коэффициента диффузного отражения, включающее спектрофотометр СФ-46, кюветное отделение которого оснащено светонепроницаемой камерой с фотоумножителем, обеспечивающей геометрию измерения 45/0, апертурную диафрагму, создающую стандартные условия наблюдения, и корригирующий светофильтр, отсекающий энергию в полосе люминесценции, (см. патент на полезную модель РФ №112426, МПК G01N 21/47, опубл. 2012 г.)
Недостатком этого устройства является невозможность с его помощью получить информацию о распределении каждого вида загрязнения по поверхности исследуемых кремниевых пластин, а следовательно, идентифицировать источник загрязнения в производственной линии.
Задача, на решение которой направлена полезная модель, состоит в обеспечении быстродействующего неразрушающего контроля качества очистки поверхности кремниевых пластин после операций механической обработки с высоким пространственным разрешением, высокой надежностью и чувствительностью, позволяющего идентифицировать вид загрязнения и его распределение по поверхности кремниевой пластины.
Это достигается тем, что устройство контроля качества очистки поверхности кремниевых пластин, включающее светонепроницаемую камеру, обеспечивающую геометрию измерения 45/0, источник излучения, апертурную диафрагму, обеспечивающую стандартные условия наблюдения, и корригирующий светофильтр, согласно полезной модели, дополнительно содержит коллиматор излучения для получения пучка параллельных лучей, установленный между корригирующим светофильтром и светонепроницаемой камерой, и быстродействующий прибор с зарядовой связью для обеспечения спектральной визуализации фотолюминесценции.
Технический результат состоит в том, что предлагаемое устройство позволяет идентифицировать вид загрязнения и его распределение по поверхности кремниевой пластины.
Сущность полезной модели поясняется следующим образом.
На фиг. 1 представлена схема устройства контроля качества очистки поверхности кремниевых пластин; на фиг. 2 - вид поверхности кремниевых пластин с органическими загрязнениями.
Устройство (фиг. 1) представляет собой светонепроницаемую измерительную камеру, обеспечивающую геометрию измерения 45/0 и содержащую корпус 1 с зачерненными внутри стенками, источник 2 излучения, коллиматор 3 излучения и корригирующий светофильтр 4. На основании корпуса 1 светонепроницаемой камеры сориентированного под углом 45° к параллельному пучку лучей источника 2 с помощью адаптера 5, позволяющего закреплять образцы разного диаметра, крепится исследуемая кремниевая пластина 6. Крышка 7 служит для обеспечения светонепроницаемости измерительной камеры. В стенку корпуса 1, противолежащую исследуемой кремниевой пластине 6, вмонтирован тубус 8, содержащий апертурную диафрагму 9 и быстродействующий прибор с зарядовой связью (ПЗС) 10, соединенный с блоком обработки полученной информации (на фиг. 1 не показан) и предназначенный для обеспечения спектральной визуализации фотолюминесценции. В качестве источника излучения может быть использован, например, ультрафиолетовый светодиод марки 3838 rzxled 275 нм. В качестве корригирующего светофильтра может быть использован стеклянный абсорбционный светофильтр БС-3.
Устройство работает следующим образом.
Исследуемую кремниевую пластину 6 помещают в корпус 1 измерительной камеры и адаптером 5 фиксируют пластину 6 под углом 45° к параллельному пучку лучей от источника 2. Пучок лучей, выходящий из коллиматора 3, диффузно отражается от поверхности исследуемой пластины 6 и после прохождения апертурной диафрагмы 9, создающей стандартные условия наблюдения, поступает на быстродействующую ПЗС-камеру 10, визуализирующую результаты исследования и передающую на блок обработки полученную информацию.
Использование быстродействующей ПЗС-камеры, помимо спектральной визуализации фотолюминесценции, дает информацию о распределении каждого вида загрязнений по поверхности исследуемых кремниевых пластин. Использование корригирующих светофильтров, осуществляющих селекцию энергии источника излучения в полосе возбуждения люминесценции конкретного вида загрязнений, позволяет идентифицировать вид загрязнения. Это в совокупности позволяет установить источники загрязнений в производственной линии.
Для контроля были подготовлены кремниевые пластины с предварительно нанесенными на их поверхность органическими загрязнениями: подсолнечное масло 11; оливковое масло 12 (фиг. 2).
Пример 1.
При отсутствии корригирующего светофильтра (фиг. 2а) оба пятна загрязнения 11 и 12 имеют яркую фотолюминесценцию в интервале длин волн λ 430-450 нм. Это позволяет установить распределение каждого вида загрязнений по поверхности исследуемых пластин, но не позволяет осуществить идентификацию вида загрязнения.
Пример 2.
При использовании в качестве корригирующего светофильтра стеклянного абсорбционного светофильтра БС-3 (фиг. 2б), полностью поглощающего излучение при длине волны λ <270 нм (коэффициент пропускания τ=0,5 при длине волны λ ≈ 300 нм), интенсивность флуоресценции оливкового масла при длине волны λ ≈ 430-450 нм существенно снижалась. Это позволяет отличить один вид загрязнения от другого.
Claims (1)
- Устройство контроля качества очистки поверхности кремниевых пластин, включающее светонепроницаемую камеру, обеспечивающую геометрию измерения 45°, источник излучения, апертурную диафрагму, обеспечивающую стандартные условия наблюдения, и корригирующий светофильтр, отличающееся тем, что оно дополнительно содержит коллиматор излучения для получения пучка параллельных лучей, установленный между корригирующим светофильтром и светонепроницаемой камерой, и быстродействующий прибор с зарядовой связью для обеспечения спектральной визуализации фотолюминесценции.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
RU2020105119U RU200329U1 (ru) | 2020-02-03 | 2020-02-03 | Устройство контроля качества очистки поверхности кремниевых пластин |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
RU2020105119U RU200329U1 (ru) | 2020-02-03 | 2020-02-03 | Устройство контроля качества очистки поверхности кремниевых пластин |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
RU200329U1 true RU200329U1 (ru) | 2020-10-16 |
Family
ID=72882839
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
RU2020105119U RU200329U1 (ru) | 2020-02-03 | 2020-02-03 | Устройство контроля качества очистки поверхности кремниевых пластин |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
RU (1) | RU200329U1 (ru) |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
RU94046436A (ru) * | 1992-06-01 | 1996-09-20 | Кока-Кола Компани (US) | Способ и система для отбора проб и определения наличия химических соединений в емкостях |
RU62458U1 (ru) * | 2006-11-30 | 2007-04-10 | Общество с ограниченной ответственностью "Научно-производственное предприятие "Лазерные системы" | Система обнаружения взрывчатых веществ методом спектроскопии многократно нарушенного полного внутреннего отражения (мнпво) в процессе биометрической идентификации |
CN102812347A (zh) * | 2010-01-04 | 2012-12-05 | Bt成像股份有限公司 | 用于光伏电池和晶片的光致发光成像的照射***和方法 |
CN104020148A (zh) * | 2009-07-20 | 2014-09-03 | Bt成像股份有限公司 | 光致发光测量中掺杂浓度和少数载流子寿命分离 |
EA028127B9 (ru) * | 2011-08-29 | 2018-01-31 | Амген Инк. | Устройство и способ для подсчета и определения размера нерастворенных частиц в сосуде, по меньшей мере частично заполненном текучей средой |
RU2712610C2 (ru) * | 2015-04-03 | 2020-01-29 | Эбботт Лэборетриз | Устройства и способы для анализа образца |
-
2020
- 2020-02-03 RU RU2020105119U patent/RU200329U1/ru active
Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
RU94046436A (ru) * | 1992-06-01 | 1996-09-20 | Кока-Кола Компани (US) | Способ и система для отбора проб и определения наличия химических соединений в емкостях |
RU62458U1 (ru) * | 2006-11-30 | 2007-04-10 | Общество с ограниченной ответственностью "Научно-производственное предприятие "Лазерные системы" | Система обнаружения взрывчатых веществ методом спектроскопии многократно нарушенного полного внутреннего отражения (мнпво) в процессе биометрической идентификации |
CN104020148A (zh) * | 2009-07-20 | 2014-09-03 | Bt成像股份有限公司 | 光致发光测量中掺杂浓度和少数载流子寿命分离 |
CN102812347A (zh) * | 2010-01-04 | 2012-12-05 | Bt成像股份有限公司 | 用于光伏电池和晶片的光致发光成像的照射***和方法 |
EA028127B9 (ru) * | 2011-08-29 | 2018-01-31 | Амген Инк. | Устройство и способ для подсчета и определения размера нерастворенных частиц в сосуде, по меньшей мере частично заполненном текучей средой |
RU2712610C2 (ru) * | 2015-04-03 | 2020-01-29 | Эбботт Лэборетриз | Устройства и способы для анализа образца |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US7411673B2 (en) | Scanning spectrophotometer for high throughput fluorescence detection | |
US8207508B2 (en) | Device and method for quantifying a surface's cleanliness | |
US6836332B2 (en) | Instrument and method for testing fluid characteristics | |
EP0486504B1 (en) | Optical read head for immunoassay instrument | |
EP0127418B1 (en) | Equipment for the measurement of fluorescence, turbidity, luminescence, or absorption | |
JP2005500513A (ja) | ハイスループットの蛍光の検出のためのスキャニング分光光度計 | |
US5035508A (en) | Light absorption analyser | |
JP2005106815A (ja) | X線マイクロアナライザーの光学的心合せ | |
JPH03503454A (ja) | 免疫試験法のための光学式読取装置 | |
Kricka et al. | 9 Optical Techniques | |
JPH0695070B2 (ja) | 懸濁物中の物質の大きさ及び又は濃度の測定方法 | |
CN107561073A (zh) | 一种设计有八通道比色皿座的全谱酶标仪 | |
JP2006519364A (ja) | 分光光度計 | |
US7321423B2 (en) | Real-time goniospectrophotometer | |
RU200329U1 (ru) | Устройство контроля качества очистки поверхности кремниевых пластин | |
WO2005100955A1 (en) | Method and apparatus for determining the absorption of weakly absorbing and/or scattering liquid samples | |
EP3189325B1 (en) | Method and apparatus for optical measurement of a liquid sample | |
CN109406402B (zh) | 一种吸收荧光通用比色皿装置及测量方法 | |
US20110057093A1 (en) | Method for calibrating a deflection unit in a tirf microscope, tirf microscope, and method for operating the same | |
JPH03214038A (ja) | 空気中に散布されたエアロゾルと粉麈などの測定装置 | |
CN218726656U (zh) | 能够提供全波长光束的pcr光路及检测装置 | |
Zwinkels et al. | Development of a new reference spectrofluorimeter | |
CN214408685U (zh) | 一种基于全反射折光法的食品分析仪 | |
CN203720075U (zh) | 一种ph值检测仪 | |
JP2001091455A (ja) | 生化学分析装置 |