NL8402493A - Verdampercel. - Google Patents
Verdampercel. Download PDFInfo
- Publication number
- NL8402493A NL8402493A NL8402493A NL8402493A NL8402493A NL 8402493 A NL8402493 A NL 8402493A NL 8402493 A NL8402493 A NL 8402493A NL 8402493 A NL8402493 A NL 8402493A NL 8402493 A NL8402493 A NL 8402493A
- Authority
- NL
- Netherlands
- Prior art keywords
- vapor
- plug
- evaporation
- evaporator cell
- evaporator
- Prior art date
Links
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims description 7
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 3
- 238000007738 vacuum evaporation Methods 0.000 claims description 3
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 description 21
- 230000008020 evaporation Effects 0.000 description 19
- 238000010276 construction Methods 0.000 description 4
- 230000005855 radiation Effects 0.000 description 4
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 3
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 3
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 3
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 3
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 2
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 2
- 230000008859 change Effects 0.000 description 2
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 2
- 238000009833 condensation Methods 0.000 description 2
- 230000005494 condensation Effects 0.000 description 2
- 230000001276 controlling effect Effects 0.000 description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 2
- 239000007921 spray Substances 0.000 description 2
- 230000008016 vaporization Effects 0.000 description 2
- ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N Molybdenum Chemical compound [Mo] ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000009471 action Effects 0.000 description 1
- 230000000903 blocking effect Effects 0.000 description 1
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 1
- 239000002826 coolant Substances 0.000 description 1
- 238000005485 electric heating Methods 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 1
- 239000000155 melt Substances 0.000 description 1
- 230000008018 melting Effects 0.000 description 1
- 238000002844 melting Methods 0.000 description 1
- 238000002156 mixing Methods 0.000 description 1
- 229910052750 molybdenum Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011733 molybdenum Substances 0.000 description 1
- 239000010453 quartz Substances 0.000 description 1
- 230000001105 regulatory effect Effects 0.000 description 1
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000005507 spraying Methods 0.000 description 1
- 229910052715 tantalum Inorganic materials 0.000 description 1
- GUVRBAGPIYLISA-UHFFFAOYSA-N tantalum atom Chemical compound [Ta] GUVRBAGPIYLISA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000001052 transient effect Effects 0.000 description 1
- 238000009834 vaporization Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
- C23C14/24—Vacuum evaporation
- C23C14/243—Crucibles for source material
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Metallurgy (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Description
ΝΟ 32,505
Verdampercel.
De uitvinding heeft betrekking op een verdampercel voor het vacuum. opdampen van dunne lagen op onderlagen met een uitlaatopening voor damp, die door een mechanisch element beïnvloedbaar is, voor het sturen van de dampafgifte. Onder verdampercel in de zin van de 5 beschrijving van de uitvinding moeten als gesloten houders uitgevoerde verdampers verstaan worden, waarbij de damp door één of meer openingen in de wand van de houder heen naar buiten treedt.
Dampbronnen met daarboven aangebrachte beweegbare diafragma’s zijn bekend, waarmee de dampstroom aan-* en uitgeschakeld kan worden, 10 Daarmee is het mogelijk de tijd van het bedampen aan de onderhavige behoeften aan te passen, maar is het niet mogelijk de dampafgifte van de bron zelf te veranderen.
Eveneens is een inrichting voor de sturing van de snelheid van het bedampen bij het bedampen van banden bekend, waarbij tussen de dampbron 15 en de lopende band verstelbare diafragma’s aanwezig zijn waarmee de grootte van het aan de dampstraal blootgestelde banddeel en daarmee de tijd gedurende welke elke plaats van de voorbijgaande band aan de bedamping onderworpen wordt, ingesteld kan worden. Ook bij deze bekende inrichting wordt bijgevolg de dampafgifte van de bron niet geregeld 20 maar slechts de tijd van het bedampen van elke plaats van de band. Voor het verdampen van substanties die bij het opsmelten tot sproeien neigen, worden in de vacuumverdamptechniek eveneens dampbronnen gebruikt, die in hoofdzaak als gesloten houders uitgevoerd zijn, die een wanddeel met dampuitlaatopeningen (zeef) hebben. Door de gesloten 25 wand worden de versproeiingen voor het grootste deel belet op de te bekleden substraten te geraken. Om ook nog die versproeiingen op te vangen, die door de dampuitlaatopeningen heen in de opdampruimte kunnen raken, is voorgesteld deze openingen met een extra afscherming af te dekken, die eveneens openingen voor de dampdoorgang omvat, maar die 30 echter ten opzichte van de openingen in de wand van de houder zo verplaatst zijn, dat de verbinding die bij recht kijken gezien wordt tussen de verdampende substantie en de substraten onderbroken is.
Als dampbronnen voor de vacuumbedampinstallaties zijn eveneens zogenaamde effusiecellen bekend, waarbij de te verdampen substantie in 35 een gesloten houder verwarmd wordt en het naar buiten treden van damp door een opening in de wand van de houder plaats vindt, waarvan de diameter klein is in verhouding tot de gemiddelde vrije weglengte van de damp in het gebied van de uitlaatopening.
8402433 ' '5 2 (
In de laatste jaren zijn eveneens in toenemnde mate verdampers met een groter vermogen en met grote verdampingssnelheden ontwikkeld om het opbrengen van lagen economisch uit te kunnen voeren. Gebleken is echter dat de met dergelijke verdampers als zodanig te bereiken hoge verdamr 5 pingssnelheden vaak in het geheel niet gebruikt kunnen worden omdat de thermische traagheid daarvan te groot is. Zo treedt bijvoorbeeld bij het opbrengen van lagen materiaalmengsels, waarbij de afzonderlijke componenten uit twee of meer gescheiden verdampers door verdampen afgevoerd worden, en wanneer daarbij de samenstelling van de laag loodrecht 10 op het laagoppervlak volgens een voorgeschreven programma moet veranderen, het probleem op, dat bij te hoge verdampingssnelheden de mengver-houding niét snel genoeg veranderd kan worden. De via thermische weg mogelijke instelling, via het aan de verdamper toegevoerde thermische vermogen, van de verdampings- en daarmede bekledingssnelheid, leidt tot 15 tijdconstanten in grootteorde van 10 tot 60 seconden en is daarmede voor een economische vervaardiging veel te langzaam. De verdampings-snelheid moet in plaats daarvan met wezenlijk kleinere tijdconstanten zodanig ingesteld worden, dat deze met de onderhavige behoeften van het onderhavige door te voeren bekledingsproces overeenkomt.
20 Het is een doel van de uitvinding in een verdampercel te voorzien, waarbij een snelle mechanische sturing van de dampafgifte .mogelijk is.
Dit doel wordt volgens de uitvinding verwezenlijkt door een verdampercel voor het vacuumopdampen van dunne lagen op onderlagen met een door een mechanisch element te beïnvloeden dampuitlaatopening voor het 25 sturen van de dampafgifte, die gekenmerkt wordt doordat het mechanische element als in het inwendige van de cel aangebrachte verschuifbare stop voor de dampuitlaatopening uitgevoerd is.
De plaatsing van het genoemde mechanische element voor het regelen van de dampafgifte in het inwendige van de cel geeft het aanzienlijke 30 voordeel, dat de temperatuur daarvan tijdens het verdampen gedwongen voldoende hoog is, om condensatie van de damp bij de stop te beletten, waarmee het gevaar wezenlijk verminderd wordt dat het uittreden van damp door condensatie op de stop niet exact meer gestuurd kan worden of zelfs blokkering van het beweegbare mechanische element optreedt.
35 Bovendien komt de thermische energie die aan de stop in het inwendige van de cel toegevoerd wordt, in verregaande mate eveneens de verdam-pingshandeling ten goede.
Bij een constructie die in het bijzonder bleek te voldoen van een verdampercel volgens de uitvinding is de stop hol uitgevoerd en is in 40 het inwendige van de stop een elektrische weerstandsverhitting aanwe- 84 0 2 4 9 3- * 3 zig. Bij veel te verdampen materialen is het eveneens mogelijk de verwarming van de stop als de enige verwarming voor de verdampingshande-ling te gébruiken. Omgekeerd is het mogelijk de stop niet afzonderlijk te verwarmen, maar deze slechts vanaf de smelt, waar- voor een verwar-5 mingsinrichting aanwezig is, te verwarmen. In elk geval is het in alle gevallen gemakkelijk te verwezenlijken dat de stop bij de voorzijde daarvan in het gebied van de dampuitlaatopening dezelfde of alnaargerlang de constructie zelfs een hogere temperatuur heeft dan voor de verdamping noodzakelijk is, hetgeen de bedrijfszekerheid van de inrichting 10 ten opzichte van alle reeds voorgestelde andere constructies van ver-dampercellen wezenlijk verhoogt.
De uitvinding wordt hieronder aan de hand van een in de tekening afgebeeld uitvoeringsvoorbeeld volgens de uitvinding nader verduidelijkt.
15 In de tekening is met 1 een kroes aangegeven, die bijvoorbeeld uit kwarts bestaat, waarin zich het te verdampen materiaal 2 bevindt, terwijl de opening van de kroes door deksel 3 afgesloten wordt, zodat een in wezen gesloten verdampingshouder gevormd wordt. In het deksel 3 is een dampuitlaatopening 4 aangebracht en de kroes 1 is van een elek-20 trische verwarmingsspiraal 5 voorzien met stroomtoevoer 6 en 7 voor de verwarming daarvan. Een in axiale (verticale) richting verschuifbare holle stop 8 dient voor het regelen van de dampafgifte door de dampuitlaatopening 4 en is van verwarming sspiraal 9 met stroomtoevoer 10 en 11 voorzien voor de verwarming daarvan. Voor de stroomtoevoer 6/7 en 10/11 25 zijn gemeenschappelijke achter elkaar liggende (en daarom in de tekening niet gescheiden zichtbaar) aansluitklemmen 12/13 aanwezig. In het huis 14 bevinden zich eveneens cilindrische beschermingsplaten 15 tegen straling, bijvoorbeeld uit molybdeen of tantaal alsmede schijfvormige beschermingsplaten 16 tegen straling. De schuifdoorvoer van de stop 8 30 door de bodem van de kroes 1 is met 17 aangegeven terwijl 18 de opening voor het doorvoeren van de stop 8 door het huis 14 aangeeft. Voor het bevestigen van de verdampercél en aansluitleidingen is een beugel 19 aanwezig. Met behulp van veer 20 wordt getracht de stop 8 in de sluitstand te drukken op welke stop eveneens hefboom 21 - gelagerd bij 22 -35 inwerkt voor het naar boven en naar beneden brengen van de stop 8. Deze inwerking vindt door zijdelings aan de stop bevestigde tappen 23 plaats, waarop hefboom 21 aangrijpt welke hefboom door hefstang 24 bediend wordt. Hefstang 24 wordt door vacuumdichte doorleiding 25 door de wand 26 van de vacuümkamer heen geleid. Voor de koeling van de wand 40 26 dienen koelmiddelleidingen 27. Bovendien is een keramisch buisje 28 8402493 4 c-v --¾ voor het eventueel inbrengen van een thermoelement aanwezig alsmede een keramische ondersteuningsbuis voor de kroes.
Bij het in de tekening afgebeelde uitvoeringsvoorbeeld kan door het bedienen van de hefboom 21 met de hefstang 24, zoals daaruit · 5 blijkt, de stop 8 naar boven en naar beneden gebracht worden en daarbij zo ingesteld worden dat precies de gewenste hoeveelheid damp door de opening 4 naar buiten treedt. Indien de dampuitlaatopening kleiner dan de gemiddelde vrije weglengte van de dampmoleculen bij de temperatuur in het gebied van de dampuitlaatopening bemeten wordt, werkt de 10 beschreven verdampercel als zogenaamde Knudsencel. Als werkzaam verdampingsvlak werkt daarbij slechts de van buiten door dampuitlaatopening 1 heen geziene voorzijde van de stop. In het geval van een Knudsencel is dit oppervlak zeer klein en kan praktisch als puntvormig gezien worden en wordt een nauwkeurig gekozen verdeling van 15 de dampstraling verkregen. Wordt daarentegen een grotere dampuitlaatopening door het openen van de stop bewerkstelligd, dan kan een verdeling verkregen worden waarbij de richtingen met maximale dampemissie een kegelmantel vormen, waarvan de as met de as van de stop 8 samenvalt. In de richting van deze as heerst dan een minimum 20 dampstraling. Een dergelijke werkwijze kan van voordeel zijn, bijvoorbeeld bij een opdampinstallatie, om het op een draaiende bolkap (waarvan de as eveneens met de genoemde assen overeenkomt ) bevestigde substraat te bekleden, terwijl in de asrichting een ander construetiedeel van de installatie, bijvoorbeeld een drukmeettoestel of 25 een meettoestel voor de laagdikte aangebracht kan worden. Wanneer de afstand van de voorzijde van de stop tot de dampuitlaatopening ongeveer op het dubbele van de diameter van de genoemde opening ingesteld wordt, heeft de plaats van de stop geen invloed meer op de dampverdeling en verkrijgt men weer in hoofdzaak een cosinusverdeling maar nu met een 30 wezenlijk groter werkzaam verdampingsoppervlak.
Het is voor de vakman duidelijk dat het getoonde uitvoeringsvoorbeeld natuurlijk op de meest verschillende wijzen veranderd kan worden zonder van het idee van de uitvinding af te wijken. De stop hoeft niet axiaal door de verdampingscel heenstekend 35 aangebracht te worden, maar kan eveneens zijdelings van het verdampingsvat plaats vinden, waarbij er door een overeenkomstig mechanisme voor gezorgd wordt dat deze de dampuitlaatopening in gewenste mate kan openen respectievelijk sluiten.
8402493
Claims (4)
1. Verdampercel voor het vacuum opdampen van dunne lagen op onderlagen met een dampultlaatopening, die door een mechanisch element beïnvloedbaar is, voor het sturen van de dampafgifte, met het kenmerk, 5 dat het mechanische element als in het inwendige van de cel (1/3) aangebrachte verschuifbare stop (8) voor de dampuitlaatopening (4) uitgevoerd is.
2. Verdampercel volgens conclusie 1, met het kenmerk, dat de stop (8) hol uitgevoerd is en in het inwendige van de stop een elektrische 10 weerstandsverwarming (9) aanwezig is.
3. Verdampercel volgens conclusie 1, met het kenmerk, dat de verdampercel als vat (1) uitgevoerd is, in het deksel (3) waarvan de dampuitlaatopening (4) aanwezig is en in de bodem waarvan een schuifdoorleiding voor de bediening van de stop aanwezig is.
4. Verdampercel volgens conclusie 2, met het kenmerk, dat vat (1) en stop (8) uit materialen met de overeenkomstige thermische uitzettingsco'éfficiënt bestaan. 8402493
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CH4848/83A CH654596A5 (de) | 1983-09-05 | 1983-09-05 | Verdampferzelle. |
CH484883 | 1983-09-05 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
NL8402493A true NL8402493A (nl) | 1985-04-01 |
Family
ID=4283607
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
NL8402493A NL8402493A (nl) | 1983-09-05 | 1984-08-13 | Verdampercel. |
Country Status (7)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US4565158A (nl) |
JP (1) | JPS6056065A (nl) |
CH (1) | CH654596A5 (nl) |
DE (1) | DE3414669C2 (nl) |
FR (1) | FR2551458B1 (nl) |
GB (1) | GB2146046B (nl) |
NL (1) | NL8402493A (nl) |
Families Citing this family (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0757297B2 (ja) * | 1987-04-22 | 1995-06-21 | 日本真空技術株式会社 | 真空排気系用微粒子トラツプ |
IT1240199B (it) * | 1990-04-19 | 1993-11-27 | Cselt Centro Studi Lab Telecom | Effusore di vapori per impianti di deposizione epitassiale. |
US5951769A (en) * | 1997-06-04 | 1999-09-14 | Crown Roll Leaf, Inc. | Method and apparatus for making high refractive index (HRI) film |
DE10211573A1 (de) * | 2002-03-15 | 2003-10-16 | Unaxis Balzers Ag | Vakuumverdampfungseinrichtung |
EP1505167B1 (en) * | 2003-08-04 | 2014-09-17 | LG Display Co., Ltd. | Evaporation source |
JP4344631B2 (ja) * | 2004-03-02 | 2009-10-14 | 長州産業株式会社 | 有機物薄膜堆積用分子線源 |
KR100671673B1 (ko) * | 2005-03-09 | 2007-01-19 | 삼성에스디아이 주식회사 | 다중 진공증착장치 및 제어방법 |
SG10201603129PA (en) * | 2011-10-21 | 2016-05-30 | Oerlikon Advanced Technologies Ag | Direct liquid deposition |
CN104018121A (zh) * | 2014-05-14 | 2014-09-03 | 深圳市华星光电技术有限公司 | 防止高温金属材料泄漏的加热容器及其制造方法 |
Family Cites Families (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
FR872840A (fr) * | 1940-06-04 | 1942-06-19 | Fides Gmbh | Procédé de revêtement de surfaces quelconques avec une couche métallique |
DE747257C (de) * | 1943-03-05 | 1944-09-18 | Bosch Gmbh Robert | Vorrichtung zur Metallisierung laufender Baender durch Metallbedampfung im Vakuum |
US3751310A (en) * | 1971-03-25 | 1973-08-07 | Bell Telephone Labor Inc | Germanium doped epitaxial films by the molecular beam method |
US4061800A (en) * | 1975-02-06 | 1977-12-06 | Applied Materials, Inc. | Vapor desposition method |
GB1455973A (en) * | 1975-02-21 | 1976-11-17 | Fisker H J J | Vacuum relief valve |
GB2032580B (en) * | 1978-10-06 | 1982-12-01 | Wirral Borough Council | Flow restrictor device |
US4401052A (en) * | 1979-05-29 | 1983-08-30 | The University Of Delaware | Apparatus for continuous deposition by vacuum evaporation |
CH651592A5 (de) * | 1982-10-26 | 1985-09-30 | Balzers Hochvakuum | Dampfquelle fuer vakuumbedampfungsanlagen. |
-
1983
- 1983-09-05 CH CH4848/83A patent/CH654596A5/de not_active IP Right Cessation
-
1984
- 1984-04-18 DE DE3414669A patent/DE3414669C2/de not_active Expired
- 1984-06-19 JP JP59126305A patent/JPS6056065A/ja active Pending
- 1984-07-26 GB GB08419073A patent/GB2146046B/en not_active Expired
- 1984-07-30 US US06/635,906 patent/US4565158A/en not_active Expired - Fee Related
- 1984-08-13 NL NL8402493A patent/NL8402493A/nl not_active Application Discontinuation
- 1984-08-31 FR FR848413490A patent/FR2551458B1/fr not_active Expired
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
FR2551458B1 (fr) | 1989-06-16 |
DE3414669A1 (de) | 1985-03-21 |
GB8419073D0 (en) | 1984-08-30 |
US4565158A (en) | 1986-01-21 |
GB2146046A (en) | 1985-04-11 |
CH654596A5 (de) | 1986-02-28 |
GB2146046B (en) | 1986-11-26 |
DE3414669C2 (de) | 1985-09-19 |
FR2551458A1 (fr) | 1985-03-08 |
JPS6056065A (ja) | 1985-04-01 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US4543467A (en) | Effusion type evaporator cell for vacuum evaporators | |
NL8402493A (nl) | Verdampercel. | |
EP1924721B1 (en) | Method for vaporizing material at a uniform rate | |
CN111441015A (zh) | 沉积装置、沉积设备及其操作方法 | |
KR101212581B1 (ko) | 증착 제어 방법 및 장치 | |
KR100996338B1 (ko) | 진공 상태에서 연속으로 재료를 투입하여 고온 초전도체를 증착하기 위한 장치 및 방법 | |
JP5144268B2 (ja) | 有機材料の気化を制御するための方法と装置 | |
US6021582A (en) | Temperature control of parylene dimer | |
US20120052189A1 (en) | Vapor deposition system | |
JPH0610118A (ja) | 蒸着方法及び蒸発装置 | |
US3373050A (en) | Deflecting particles in vacuum coating process | |
KR20040032737A (ko) | 증착장치에서의 유기재료용 증발원 및 그 증착장치 | |
US3386853A (en) | Spiral vacuum deposition apparatus and method | |
US3603285A (en) | Vapor deposition apparatus | |
US20050061244A1 (en) | Method and device for the localized application of parting means | |
JPH0254426B2 (nl) | ||
US3307515A (en) | Vapor deposition apparatus including tumbler | |
SU910842A1 (ru) | Испаритель | |
RU2031187C1 (ru) | Испаритель | |
KR0119913B1 (ko) | 고분자-금속 접합장치 및 접합방법 | |
JPH0941128A (ja) | 有機化合物用蒸発源 | |
JPH05117845A (ja) | 化合物材料の成膜装置および成膜方法 | |
JPS61163267A (ja) | 真空蒸着装置 | |
JP2022165867A (ja) | 真空蒸着装置用の蒸着源 | |
JPH0322464B2 (nl) |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
BV | The patent application has lapsed |