KR970053315A - 정전척의 구조및 디척킹 방법 - Google Patents

정전척의 구조및 디척킹 방법 Download PDF

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KR970053315A
KR970053315A KR1019950059355A KR19950059355A KR970053315A KR 970053315 A KR970053315 A KR 970053315A KR 1019950059355 A KR1019950059355 A KR 1019950059355A KR 19950059355 A KR19950059355 A KR 19950059355A KR 970053315 A KR970053315 A KR 970053315A
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KR
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chucking power
power supply
electrode
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electrostatic chuck
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KR1019950059355A
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Inventor
지경구
Original Assignee
김광호
삼성전자 주식회사
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Abstract

전극, 유전체막, 두개의 코일, 척킹 전원, 역 척킹 전원, 스위치로 구성된 정전척에 있어서, 전극내부와 척킹전원의 마이너스단이 코일을 통하여 직렬로 연결되고, 척킹전원의 플러스단은 접점 a와 직렬로 연결되고, 상기 척킹 전원과는 반대의 극성을 가지는 역 척킹 전원이 접점 b와 직렬로 연결되고, 상기 척킹 전원과 역척킹 전원의 연결 부위와 접점 c가 직렬로 연결되고, 접점 c는 그라운드와 연결되고, 상기 스위치의 타단은 코일을 통하여 상기 전극의 표면과 직렬로 연결되고, 상기와 같은 전극상에 유전체막이 형성되어 정전척 장치를 디척킹하기 위하여 스위치를 접점 b에 1~2초 동안 스위칭한 후, 접점 c에 스위칭 하면, 척킹 전원으로 인한 전하들이 웨이퍼와 정전척의 전극에 남아 있지 않게 되고, 700V 이상의 척킹 전원이 인가되더라도, 효과적으로 전하들을 제거할 수 있게 되어 반도체 제조 공정의 안정화를 기할 수있다.

Description

정전척의 구조 및 디척킹 방법
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제2도는 본 발명의 방법에 의한 본 발명의 정전척을 개략적으로 나타낸 구성도.

Claims (3)

  1. 전극(21), 유전체막(23), 두개의 코일(24-1)(24-2), 척킹 전원(25-1), 역척킹 전원(25-2), 스위치(26)로 구성된 정전척에 있어서, 전극(21)내부와 척킹전원(
    25-1)의 마이너스단이 코일(24-1)을 통하여 직렬로 연결되고, 척킹 전원(25-1)의 플러스단은 접점 a와 직렬로 연결되고, 상기 척킹 전원(25-1)과는 반대의 극성을 가지는 역 척킹 전원(25-2)이 접점 b와 직렬로 연결되고, 상기 척킹 전원(25-1)과 역 척킹 전원(25-2)의 연력부위와 접점 c가 직렬로연결되고, 상기의 접점 c는 그라운드와 연결되고, 상기 스위치(26)의 일단은 코일(24-2)을 통하여 상기 전극(21)의 표면과 직렬로 연결되고, 상기와 같은전극(21)상에 유전체막(23)이 형성되어 정전척 장치를 구성하는 것을 포함하는 정전척의 구조.
  2. 전극(21), 유전체막(23), 접점 a,b,c 두개의 코일(24-1)(24-2), 척킹 전원(
    25-1), 역 척킹 전원(25-2), 스위칭(26)로 구성된 정전척을 디척킹하기 위하여, 접점 b에 스위칭하여 역 척킹 전원(25-2)을 인가한 후, 접점 c에 스위칭하는 것을 포함하는 것을 특징으로 하는 정전척의 디척킹 방법.
  3. 제2항에 있어서, 접점 b에 역 척킹 전원(25-2)을 인가하는 시간은 1~2초인 것을 특징으로 하는 정전척의 디척킹 방법.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
KR1019950059355A 1995-12-27 1995-12-27 정전척의 구조및 디척킹 방법 KR970053315A (ko)

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Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100282421B1 (ko) * 1998-02-04 2001-03-02 김영환 이에스씨（esc：electrostaicchuck）장치
KR100376879B1 (ko) * 2000-11-01 2003-03-19 주식회사 하이닉스반도체 스틱킹이 없는 정전척
KR100555236B1 (ko) * 2004-07-08 2006-03-03 주식회사 템네스트 반도체 및 ｌｃｄ 제조용 정전척 구조
KR100800627B1 (ko) * 1999-08-23 2008-02-05 어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드 부품상의 도전성 재료 이동 감소 방법 및 장치
KR101295776B1 (ko) * 2007-08-02 2013-08-12 삼성전자주식회사 직류 및 교류 전압들을 교대로 사용하는 웨이퍼의 디척킹방법 및 이를 채택하는 반도체 소자의 제조 장치

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