KR880009380A - 불휘발성 반도체메모리 - Google Patents
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Abstract
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Description
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 본 발명에 따른 불휘발성 반도체메모리로 사용되는 메모리셀의 소자구성을 도시해 놓은 단면도.
제2도는 제1도에 도시된 소자의 등가회로도.
제3도는 제1도에 도시된 셀의 각 동작모드에서의 전압을 정리해서 도시해 놓은 도면.
Claims (19)
- 제1도 전형의 반도체기판(10) ; 상기 기판내에 설치된 제2도 전형의 제1확산층(11)과, 제2확산층(12), 제3확산층(13), 제4확산층(14) ; 상기 제1, 제2확산층(11)(12)의 상호간에 설치된 제1챈널영역(15) ; 상기 제2, 제3확산층(12)(13)의 상호간에 설치된 제2챈널영역(18) ; 상기 제3, 제4확산층(13)(14)의 상호간에 설치된 상기 제3챈널영역(24) ; 상기 제1챈널영역(15)위에 설치된 제1게이트전극(17)상기 제2챈널영역(18)위에 설치되어서 일부가 얇은 절연막을 통해 상기 제3확산층(13)위에 포개진 플로우팅게이트전극(20), 상기 플로우팅게이트전극(20)위에 설치된 제어게이트전극(23), 상기 제3챈널영역(24)위에 설치된 제2게이트전극(26), 데이터소거시와 기록시 및 독출시에 각각 소정의 전압을 상기 제4확산층(14)에 공급해주는 기록선(WL), 데이터의 소거시와 기록시 및 독출시에 각각 소정의 전압을 상기 제2게이트전극(26)에 공급해주는 기록게이트선(WG), 데이터의 소거시와 기록시 및 독출시에 각각 소정의 전압을 상기 게이트전극(23)에 공급해주는 제어게이트선(CG), 데이터의 소거시와 기록시 및 독출시에 각각 소정의 전압을 상기 제1게이트전극(17)에 공급해주는 독출게이트선(RG), 데이터의 소거시와 기록시 및 독출시에 각각 소정의 전압을 상기 제1확산층(11)에 공급해주는 독출선(RL)등을 구비하여 구성된 것을 특징으로 하는 불휘발성 반도체메모리.
- 제1항에 있어서, 상기 기록선(WL)이 데이터의 기록시에는 제1의 전압을, 소거시 및 독출시에는 제1의 전압보다 낮은 제2의 전압을 각각 상기 제4확산층(14)에 공급해주고 ; 기록게이트선(WG)은 데이터의 소거시 및 기록시에 제1의 전압을, 데이터의 독출시에는 제1의 전압보다 낮으면서 상기 제2의 전압보다는 높은 제3의 전압을 상기 제2게이트전극(26)에 공급해주며 ; 제어게이트선(CG)은 데이터의 소거시에는 제1의 전압을, 데이터의 기록시 및 독출시에는 제2의 전압을 상기 제어게이트전극(23)에 공급해주고 ; 독출게이트선(RG)은 데이터의 소거시 및 기록시에 제2의 전압을 데이터의 독출시에는 제3의 전압을 상기 제1게이트전극(17)에 공급해주며 ;독출선(RL)은 데이터의 독출시에 제3의 전압을 상기 제1확산층(11)에 공급해주도록 구성된 것을 특징으로 하는 불휘발성 반도체메모리.
- 제2항에 있어서, 상기 독출선(RL)이 부하회로(34)를 통해서 전원에 접속되어 있고, 이 독출선(RL)의 신호가 감지증폭회로(35)에 공급되는 것을 특징으로 하는 불휘발성 반도체메모리.
- 제3항에 있어서, 상기 부하회로가 항상 도통되도록 된 MOS 트랜지스터(36)로 구성된 것을 특징으로 하는 불휘발성 반도체메모리.
- 제3항에 있어서, 상기 부하회로가 클럭신호(ø)에 의해서 일시적으로 도통상태로 제어되도록 된 MOS 트랜지스터(36)로 구성된 것을 특징으로 하는 불휘발성 반도체메모리.
- 제5항에 있어서, 상기 독출게이트선(RL)의 전압을 상기 클럭신호(ø)에 동기시키므로서 상기 제1게이트전극(17)으로 공급되는 것을 제어해주도록 된 것을 특징으로 하는 불휘발성 반도체메모리.
- 제3항에 있어서, 상기 감지증폭회로가 인버터회로(35)인 것을 특징으로 하는 불휘발성 반도체메모리.
- 제1항에 있어서, 상기 기록게이트선과 독출게이트선이 서로 접속되어 있는 것을 특징으로 하는 불휘발성 반도체메모리.
- 제1항에 있어서, 상기 제어게이트선과 독출게이트선이 서로 접속되어 있는 것을 특징으로 하는 불휘발성 반도체메모리.
- 제1도 전형의 반도체기판(10)과 ; 상기 기판(10)내에 설치된 제2도 전형의 제1확산층(11), 제2확산층(13), 제3확산층(14) ; 상기 제1, 제2확산층(11)(13)의 상호간에 직렬로 설치된 제1챈널영역(15) 및 제2챈널영역(18) ; 상기 제2, 제3확산층(13)(14)의 상호간에 설치된 제3챈널영역(24) ; 상기 제1챈널영역(15)위에 설치된 제1게이트전극(17), 상기 제2챈널영역(18)위에 설치되어서 일부가 얇은 절연막을 통해 상기 제2확산층(13)위에 포개진 플로우팅게이트전극(20), 상기 플로우팅게이트전극(20)위에 설치된 제어게이트전극(23), 상기 제3챈널영역(24)위에 설치된 제2게이트전극(26), 데이터의 소거시와 기록시 및 독출시에 각각 소정의 전압을 상기 제3확산층(14)에 공급해주는 기록선(WL), 데이터의 소거시와 기록시 및 독출시에 각각 소정의 전압을 상기 제2게이트전극(26)에 공급해주는 기록게이트선(WG), 데이터의 소거시와 기록시 및 독출시에 각각 소정의 전압을 상기 제어게이트전극(23)에 공급해 주는 제어게이트선(CG), 데이터의 소거시와 기록시 및 독출시에 각각 소정의 전압을 상기 제1게이트전극(17)에 공급해주는 독출게이트선(RG), 데이터의 소거시와 기록시 및 독출시에 각각 소정의 전압을 상기 제1확산층(11)에 공급해주는 독출선(RL)등을 구비하여 구성된 것을 특징으로 하는 불휘발성 반도체메모리.
- 제10항에 있어서, 상기 기록선(WL)이 데이터의 기록시에는 제1의 전압을, 소거시 및 독출시에는 제1의 전압보다 낮은 제2의 전압을 각각 상기 제3확산층(14)에 공급해주고 ; 기록케이트선(WG)은 데이터의 소거시 및 기록시에는 제1의 전압을, 데이터의 독출시에는 제1의 전압1보다 낮고 상기 제2의 전압보다는 높은 제3의 전압을 상기 제2게이트전극(26)에 공급해주며 ; 제어게이트선(CG)은 데이터의 소거시에는 제1의 전압을, 데이터의 기록시 및 독출시에는 제2의 전압을 상기 제어게이트전극(23)에 공급해주고 ; 독출게이트선(RG)은 데이터의 소거시 및 기록시에는 제2의 전압을, 데어터의 독출시에는 제3의 전압을 상기 제1게이트전극(17)에 공급해주며, 독출선(RL)은 데이터의 독출시에 제3전압을 상기 제1확산층(11)에 공급해주도록 구성되는 것을 특징으로 하는 불휘발성 반도체 메모리.
- 제10항에 있어서, 상기 독출선(RL)이 부하회로(34)를 통해서 전원에 접속되어 있으며, 이 독출선(RL)의 신호가 감지증폭회로(34)에 공급되는 것을 특징으로 하는 불휘발성 반도체메모리.
- 제12항에 있어서, 상기 부하회로가 항상 도통되도록 된 MOS 트랜지스터로 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 불휘발성 반도체메모리.
- 제12항에 있어서, 상기 부하회로가 클럭신호에 의해 일시적으로 도통상태로 제어되도록 된 MOS 트랜지스터로 구성된 것을 특징으로 하는 불휘발성 반도체메모리.
- 제14항에 있어서, 상기 독출게이트선(RG)의 전압을 상기 클럭신호에 동기시키므로써 상기 제1게이트전극(17)으로 공급되는 것을 제어해주도록 된 것을 특징으로 하는 불휘발성 반도체메모리.
- 제12항에 있어서, 상기 감지증폭회로(34)가 인버터회로인 것을 특징으로 하는 불휘발성 반도체메모리.
- 제10항에 있어서, 상기 기록게이트선(WG)과 독출게이트선(RG)이 서로 접속되어 있는 것을 특징으로 하는 불휘발성 반도체메모리.
- 제10항에 있어서, 상기 제어게이트선(CG)과 독출게이트선(RG)이 서로 접속되어 있는 것을 특징으로 하는 불휘발성 반도체메모리.
- 제10항에 있어서, 상기 제1게이트전극(17)과 제어게이트전극(23)이 서로 접속되어 있는 것을 특징으로 하는 불휘발성 반도체메모리.※ 참고사항 ; 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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Legal Events
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E902 | Notification of reason for refusal | ||
G160 | Decision to publish patent application | ||
E701 | Decision to grant or registration of patent right | ||
GRNT | Written decision to grant | ||
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Payment date: 20030130 Year of fee payment: 13 |
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LAPS | Lapse due to unpaid annual fee |