KR20090066221A - Light irradiation apparatus - Google Patents
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Abstract
Description
본 발명은, 액정디스플레이패널 등에 사용되는 2장의 기판을 접합시키는 공정에서 사용되는 광 조사장치에 관한 것이다.The present invention relates to a light irradiation apparatus used in a step of bonding two substrates used for a liquid crystal display panel or the like.
이러한 종류의 광 조사장치에는, 광경화성수지 재료로 된 씰재가 개재된 2장의 기판(붙여 맞댄 기판)에 대하여 자외선 등의 빛(光)을 조사하는 것으로, 상기 씰재를 경화시켜 상기 기판끼리 접착처리시키고 있다. 또한, 자외선 등의 빛을 조사하는 것에 의해 액정 등의 특성이 변화하는 것을 방지하기 위해 2장의 기판 사이에 개재된 액정 등에 자외선이 조사되지 않도록 하고 있다. 예를들면, 특허문헌1(일본특허공개 2006-66585호)에 기재된 광 조사장치에는, 자외선을 조사하는 광원과 접합 기판과의 사이에 차광마스크를 배치시킨 상태에서 조사를 행하여 상기 접합 기판의 씰재 부분에만 자외선이 조사되도록 하고 있다.In this type of light irradiation apparatus, light such as ultraviolet rays is irradiated to two substrates (butt-butted substrates) interposed with a seal member made of a photocurable resin material, thereby curing the seal member and bonding the substrates together. I'm making it. Moreover, in order to prevent the characteristic of liquid crystals etc. from changing by irradiating light, such as an ultraviolet-ray, ultraviolet rays are not irradiated to the liquid crystal etc. interposed between two board | substrates. For example, the light irradiation apparatus described in Patent Document 1 (Japanese Patent Laid-Open No. 2006-66585) is irradiated in a state where a light shielding mask is disposed between a light source for irradiating ultraviolet rays and a bonding substrate to seal the sealing member of the bonding substrate. Ultraviolet rays are irradiated to only the part.
그런데, 상기 특허문헌1에서는, 접합 기판의 전면을 일괄하여 조사하기 때문에, 상당히 큰 전력이 필요로 하게 되어, 접합 기판의 제조단가가 상승된다라고 하는 문제가 있다. 특히, 최근에는 제조되는 접합 기판이 대형화가 진행되고 있어, 소비전력의 증가가 현저하게 나타나고 있다. 또한, 종래에는 광원으로써 아크방전 식 메탈하라이드램프 등이 사용되고 있기 때문에 기판의 반송시 등 비조사시에 있어서도 계속해서 점등시켜 놓아야 하므로 소비전력이 더욱 증가하게 된다. By the way, in the said
또한, 접합 기판내에 도포된 씰재의 패턴은 접합 기판의 종류(제조된 액정디스플레이 종류)에 따라 다르다. 이 때문에, 상기 종래의 구성에서는 씰재의 패턴마다 복수 종류의 차광마스크를 준비하게 되어, 부품점수가 증가하므로 단가(코스트)가 증가하게 된다. 더욱이, 접합 기판의 대형화에 따라 차광마스크의 휨이 커지게 되므로 상기 차광마스크를 휨없이 취부시키는 것이 곤란하게 되는 문제가 있었다.In addition, the pattern of the seal | sticker material apply | coated in the bonding board | substrate changes with the kind of bonding board | substrate (type | mold liquid crystal display manufactured). For this reason, in the above-mentioned conventional structure, a plurality of kinds of light shielding masks are prepared for each pattern of the seal member, and the number of parts is increased, thereby increasing the unit cost (cost). Moreover, since the warpage of the shading mask increases with the increase of the size of the bonded substrate, there is a problem that it is difficult to attach the shading mask without bending.
이에, 본 발명은 상술한 문제점을 해소하기 위해 안출된 것으로서, 생전력화를 도모함과 아울러 부품수를 증가시키지 않고 또한, 씰재의 패턴에 따르지 않으면서 씰재에 대하여 빛을 조사할 수 있도록 한 광 조사장치를 제공함에 그 목적이 있다.Accordingly, the present invention has been made to solve the above-described problems, and the light irradiation apparatus which enables to irradiate light to the seal member without increasing the number of parts and increasing the number of parts and according to the pattern of the seal member The purpose is to provide.
상술한 목적을 달성하기 위한 본 발명에서는, 2장의 기판 사이에 개재된 광경화성수지로 된 선형상의 씰재에 빛을 조사하는 광 조사장치는, 상기 씰재에 의해 접합된 상기 2장의 기판으로 된 접합기판을 재치하는 면을 갖는 스테이지와, 빛을 조사가능함과 아울러 개별로 온/오프가능한 복수의 반도체소자가 선형상으로 배열되고, 상기 씰재의 폭에 대응된 선형상의 빛을 상기 접합 기판에 향하여 조사하는 조사부와, 상기 접합 기판이 재치된 상기 스테이지의 면과 평행한 면내에서 상기 조사부를 상기 반도체소자의 배열방향과 교차하는 방향에 따라 이동시키는 제1구동부와, 상기 각 반도체소자를 상기 씰재의 패턴에 대하여 온/오프시키는 제어부를 구비한다.In the present invention for achieving the above object, a light irradiation apparatus for irradiating light to a linear seal member made of a photocurable resin interposed between two substrates is a bonded substrate comprising the two substrates bonded by the seal member. And a stage having a surface on which the substrate is mounted, and a plurality of semiconductor elements capable of irradiating light and individually on / off are arranged in a linear shape, and irradiating the linear light corresponding to the width of the seal member toward the bonding substrate. An irradiating portion, a first driving portion for moving the irradiating portion along a direction intersecting the arrangement direction of the semiconductor element in a plane parallel to the surface of the stage on which the bonding substrate is placed; It is provided with a control unit to turn on / off.
상기한 바와 같이 본 발명에 따른 광 조사장치에 따르면, 생전력화를 도모함과 아울러 부품수를 증가시키지 않고 또한, 씰재의 패턴에 따르지 않으면서 씰재에 대하여 빛을 조사할 수 있도록 함으로써 접합 기판의 제조단가를 낮출 수 있고, 소 비전력을 감소시킬 수 있는 효과가 있다.As described above, according to the light irradiation apparatus according to the present invention, it is possible to increase the power consumption and increase the number of parts and to irradiate light to the seal member without conforming to the pattern of the seal member, thereby manufacturing the bonded substrate. It can be lowered, there is an effect that can reduce the power consumption.
(제1실시형태)(First embodiment)
이하, 본 발명의 제1실시형태에 따른 접합 기판 제조장치의 자외선조사장치(광 조사장치)를 도면에 의거하여 설명한다.EMBODIMENT OF THE INVENTION Hereinafter, the ultraviolet irradiation device (light irradiation apparatus) of the bonded substrate manufacturing apparatus which concerns on 1st Embodiment of this invention is demonstrated based on drawing.
도 1에 도시된 자외선조사장치(1)는, 2종류의 기판(하부기판, 상부기판) 사이에 액정을 봉입시켜 액티브 매트리스형 액정디스플레이패널(접합기판)을 제조하는 라인(도시생략)에 구비시킨다. 접합 기판은, 액정패널을 구성하는 2장의 기판을 자외선경화수지로 된 씰재에 의해 접합시킨 것에 의해 형성된다. 자외선조사장치(1)는, 액정디스플레이패널의 제조공정 중에 접합기판((이하, 기판(W)이라고 함))내의 씰내에 자외선을 조사시켜 상기 씰재를 경화시키는 공정에 있어 사용된다.The ultraviolet irradiating
도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 자외선조사장치(1)를 구성하는 대략 직육면체 형상의 기부(11) 위에는 직사각형틀형상으로 형성된 외벽(12)이 입설됨과 아울러, 상기 외벽(12) 내측에는 기판(W)이 재치되는 스테이지(13)가 설치된다. 외벽(12)에는, 그 상단이 내측으로 굴곡되어 직사각 형상의 개구부(14)가 형성된다. 그리고, 외벽(12)의 상단면(15)에는, 개구부(14)에 다리를 벌리고 선 암새(16)가 고정된다. 암새(16)는 대향하는 2변 각각의 대략 중앙에서부터 상방으로 향하여 서로 평행하게 늘어난 한 쌍의 지지다리(17)와, 2개의 지지다리(17) 사이에 가설되어 양 지지다리(17)의 상단부끼리 연결된 연결부(18)에 의해 "コ"자 형상을 하고 있다. 암새(16)의 연결부(18)에는, 제1구동부로써 X축 엑츄에이터(19)에 의해 상기 연결부(18)에 길이방향(이하, X방향 이라고 함)으로 이동하는 복수(본 실시형태에서는 4개)의 X축 베이스(20)가 연결부(18)에 길이방향으로 설치된다. 그리고, 각 X축 베이스(20)에는, 취부부재(21)를 개재시켜 기부(11)의 상면과 평행한 면내에서 X방향과 직교하는 방향(도 1참조, 이하 Y방향이라고 함)을 따라 펼쳐진 조사부(22a~22d)가 설치된다. 조사부(22a~22d)는, 각각 개별적으로 이동가능함과 아울러 기판(W)의 각 변보다도 Y방향으로 길게 형성된다. 또한, 본 실시형태에서는, X축 엑츄에이터(19)에는, 리니어모터가 채용됨과 아울러, 각 X축 엑츄에이터(19)는 서로 작동범위를 오버랩하여 이동하는 것이 가능하게 되어 있다. 또한, 도 1 및 도 2에서는 설명의 편의상, 조사부(22a~22d)와 기판(W) 사이를 실제보다도 넓게 표시하고 있다.As shown in FIGS. 1 and 2, an
도 2에 도시된 바와 같이, 외벽(12)의 내측에는 스테이지(13)를 구성하는 스테이지이동기구(31)가 기부(11)위에 고정된다. 스테이지이동기구(31)에는 기둥형상으로 형성된 복수의 샤프트(32)가 입설됨과 아울러, 이 샤프트(32)의 상단에는 평판상의 베이스(33)가 고정되어 있다. 스테이지이동기구(31)는, 제어부(34)에 접속되어 베이스(33)의 상하방향(이하, Z방향이라고 함)의 이동을 제어한다. 또한, 스테이지이동기구(31)는, 예를들면 모터에 의해 중공샤프트를 회전시키는 것으로 볼나사를 직선운동시키는 볼나사기구 등에 의해 샤프트(32) 및 베이스(33)를 Z방향으로 이동시키도록 되어 있다.As shown in FIG. 2, inside the
베이스(33)의 중앙에는 제2구동부로써 기판이동기구(35)를 개재하여 상단이 원판상으로 형성된 얼라이먼트부(36)가 설치된다. 기판이동기구(35)는, 얼라이먼트 부(36)를 X방향, Y방향 및 Z방향으로 이동시킴과 아울러 상기 얼라이먼트부(36)를 회전축(L) 주위로 회전시킬 수 있다. 기판이동기구(35)는, 제어부(34)에 접속되어 얼라이먼트부(36)의 X방향, Y방향 및 Z방향으로 이동 및 회전축(L) 주위의 회전을 제어한다. 또한, 기판이동기구(35)의 X방향 양측에는, 복수의 기둥형상의 지지부재(27)가 베이스(33) 위에 입설됨과 아울러 각 지지부재(37)의 상단에는 Y방향(도 2에 있어서 저면과 직교하는 방향)으로 펼쳐진 장방형판상의 부상스테이지(38)가 고정된다. 더욱이, X방향에 있어서 가장 외측에 위치하는 2개의 부상스테이지(38)의 그 위 외측에는 복수의 기둥형상의 지지부재(39)가 베이스(33)위에 입설됨과 아울러 각 지지부재(39)의 상단에는 Y방향으로 펼쳐진 장방형판상의 보호지지스테이지(40)가 고정된다. 각 보호지지스테이지(40)에는, 관통공(41)이 형성됨과 아울러, 상기 관통공(41)과 동축상(Z축상)에는 얼라이먼트카메라(42)가 배설된다. 스테이지(13)의 상면 즉, 얼라이먼트부(36), 각 부상스테이지(38) 및 각 보호지지스테이지(40)의 상면은 기부(11)의 상면과 평행을 이루고 있다. 그리고, 기판(W)은 얼라이먼트부(36), 각 부상스테이지(38) 및 각 보호지지스테이지(40)위에 재치됨과 아울러 얼라이먼트부(36)에 의해 이것들의 상면과 평행한 면내에서 회전하도록 되어 있다.In the center of the
또한, 얼라이먼트부(36) 및 각 부상스테이지(38)에는 복수의 흡착공(도시생략)이 형성됨과 아울러, 상기 흡착공은 진공펌프(미도시)에 접속된다. 진공펌프는 제어부(34)에 접속되어 조사부(22a~22d)에서 자외선이 조사될 때 기판(W)을 흡착시켜 위치 차이를 방지한다. 진공에 의한 흡착기구에는, 조사시 기판(W)의 열팽창을 풀어주기 때문에 압력조정이 가능함과 아울러, 흡착력을 없애기 위해서 대기 개방상태로 제어가능하게 된다. 기판(W)을 스테이지(13) 위에 이동시킬 때에는, 얼라이먼트부(36)가 기판(W)을 흡착함과 아울러, 부상스테이지(38)의 흡착공으로부터 공기가 배기되는 것으로 기판(W)을 부상스테이지(38)위에 부상시킨 상태에서 얼라이먼트부(36)가 기판(W)을 이동시키게 된다. 이것들에 의해 기판(W)의 얼라이먼트를 행할 때에 상기 기판(W)이 부상스테이지(38) 및 보호지지스테이지(40)와 접촉하여 손상되는 것을 방지발 수 있다.Further, a plurality of suction holes (not shown) are formed in the alignment portion 36 and each floating
다음에 조사부(22a)에 대하여 설명한다. 또한, 조사부(22b~22d)는 조사부(22a)와 동일하게 구성된다.Next, the
도 3(a)에 도시된 바와 같이, 조사부(22a)의 통체(51)는 직육면체상으로 형성되고, 상기 통체(51)에는 각각 반도체소자로서 복수의 UV LED(자외선조사 다이오드)(52)가 Y방향으로 직선상으로 배열된다. 구체적으로는, 도 3(a),(b)에 도시된 바와 같이 통체(51)는 장방형판상으로 형성됨과 아울러 취부부재(21)를 개재시켜 X축 베이스(20)(도 1참조)에 고정된 베이스플레이트(53)와, 베이스플레이트(53)의 하단에 고정된 단면 コ자 형상의 커버플레이트(54)와, 이것들 베이스플레이트(53)와 커버플레이트(54)의 양단(Y방향)을 폐색하는 한 쌍의 캡(55)((도 3(a)에서는 1개만 도시함)을 구비하고 있다. 커버플레이트(54)((통체(51))의 하부(56)에는, Z방향으로 관통된 복수의 직사각형상의 조사공(57)이 형성되어 있다. 그리고, 각 조사공(57)은, 커버플레이트(54)에 Y방향((도 3(a)에 있어서 좌우방향))으로 등간격으로 형성되어 있다. 커버플레이트(54)의 하부(56)의 상면에는 Y방향으로 펼쳐진 한 개의 회로기판(58)이 고정됨과 아울러, 상기 회로기판(58)의 상기 조사공(57)과 대응되는 위치에는 각 UV LED(52)가 실장되어 있다. 그리고, 각 UV LED(52)는 조사공(57)의 내측면 사이에 간극을 형성하여 조사광(57)내에 배치되어 있다. 각 UV LED(52)는, 제어부(34)에 접속되어 각각 독립적으로 온/오프된다. 또한, 서로 이웃하는 2개의 UV LED(52)의 사이 및 조사부(22a)의 양단에 배치된 2개의 UV LED(52)와 각각의 캡(55) 사이에는, 자외선을 반사하는 반사판(59)이 배치되어 있다. 더욱이, 커버플레이트(54)의 하부(56)에는, Y방향으로 펼쳐진 슬릿이 하면에 형성된 아파체(60)가 고정되어 있다. 또한, 슬릿은, X방향에 있어서 예를들면 0.5mm~1mm 정도의 폭으로 형성되어 있고, 같은 폭을 초과하여 조사된 각 UV LED(52)의 자외선은, 아파체(60)의 내측표면에 반사되어 슬릿으로 안내된다. 그리고, 슬릿의 상방에는 상기 복수의 UV LED(52)와 대응되는 위치에, Y방향으로 펼쳐진 실린드리칼 렌즈(61)(광학소자)가 배치되어 있다.As shown in Fig. 3A, the
각 UV LED(52)로부터 조사된 자외선의 조사영역은, 실린드리칼 렌즈(61)에 의해 X방향으로만 수속되어 대략 타원형상으로 됨과 아울러, 도 4(a),(b)에 도시된 바와 같이, 2개의 반사판(59)에 의해 그 타원형상의 조사광의 장축방향(Y방향) 양단 부분이 조사되어 장방형상으로 된다. 이와 같이, 각 UV LED(52)의 조사영역은, 상기 타원형상의 조사광의 장축방향 양단 부분이 반사되어 각각의 조사영역과 겹쳐지게 형성된다. 이것에 의해 각 조사영역에 놓인 조도가 길이방향으로 균일화됨과 아울러, 각 조사영역에 놓인 조도가 높게 된다. 그리고, 복수의 UV LED(52)가 Y방향으로 배열된 것으로, 그들의 조사영역이 Y방형으로 인접하게 배치된다. 따라서, 각 조사부(22a~22d)로부터 조사된 자외선이 Y방향으로 조도의 격차가 저감된다. 또한, 도 4(b)에는 설명의 편의상, 오른쪽으로부터 첫 번째, 세 번째 및 다섯 번째의 UV LED(52)로부터 각각 조사되는 자외선의 조사영역을 파선으로 표시함과 아울러, 오른쪽으로부터 두 번째 및 네 번째의 UV LED(52)로부터 각각 조사된 자외선의 조사영역을 2점쇄선으로 표시하고 있다. 또한, 서로 이웃한 조사영역의 경계선은 편의적으로 파선으로 표시하고 있다.The irradiation area of the ultraviolet rays irradiated from the
또한, 도 3(a),(b)에 도시된 바와 같이, 커버플레이트(54)의 측부에는 Y방향에 따라 복수의 배관구(62)가 형성됨과 아울러, 각 배관구(62)에는, 관로(63)가 접속된다.그리고, 통체(51)내부에는 조사공(57)과 배관구(62) 이외에는 외부와의 기밀이 확보되도록 형성된다. 각 관로(63)에는, 부압원(64)이 접속되어 있고, 각 부압원(64)이 작동되는 것으로 베이스플레이트(53), 커버플레이트(54) 및 캡(55)에 둘러싸인 공간내의 공기가 흡인된다. 한편, 외부의 공기가 조사공(57)과 UV LED(52)와의 사이 간극을 통하여 상기 통체(51)내부의 공간부내에 유입되는 것으로 빛의 조사에 의해 발열된 UV LED(52)를 냉각시킬 수 있도록 되어 있다.3 (a) and 3 (b), a plurality of piping holes 62 are formed in the side portion of the
다음으로, 기판(W)에 도포된 씰재에 대한 자외선의 조사에 대하여 설명한다.Next, the irradiation of ultraviolet rays to the seal member applied to the substrate W will be described.
씰재에서의 자외선조사에 앞서, 반송포크(도시생략)에 의해 기판(W)이 스테이지(13)상에 재치된다. 계속해서, 얼라이먼트카메라(42)를 이용하여 광학적으로 스테이지(13)상에 놓인 기판(W)의 위치 맞춤을 행한다. 그리고, 각 조사부(22a~22d)를, 반송시킨 기판(W)의 종류에 대응하게 이동시켜, 씰재에 자외선의 조사를 행한다. 또한, 자외선조사장치(1)는, 외부장치로부터 제어부(34)에 입력된 씰 폭에 대응되게 기판(W)((부상스테이지(38) 및 보호지지스테이지(40))을 Z방향으로 이동시키는 것에 의해 상기 씰 폭과 대략 동일한 폭의 자외선을 조사시킨다. 또한, 제어부(34)에 의해 씰재에 조사된 자외선 광량은 대략 일정하게 제어된다.Prior to ultraviolet irradiation from the seal member, the substrate W is placed on the
상세하게 기술하면, 도 5(a)에 도시된 기판(W)내에는, 기판(W)의 외주면을 따라 형성된 외측 씰재(71)와, 그 내측에 제조된 액정디스플레이패널의 크기에 대응되게 형성된 복수(도면에서는 15개)의 내측 씰재(72)가 도포되어 있다. 본 실시형태에서는, 외측 씰재(71)의 내측에 각각 동일 형상으로 도포된 내측 씰재(72)가 종으로 5열, 횡으로 3열 도포되어 있다. 또한, 외측 씰재(71)와 내측 씰재(72)는 약 동일한 폭으로 도포되어 있다. Specifically, in the substrate W shown in FIG. 5A, the
먼저, 조사부(22a,22d)에 의해, Y방향으로 외측 씰재(71)의 상변부와 하변부에 자외선을 조사한다. 다음에, 조사부(22b,22c)에 의해, 위에서부터 2열째의 내측 씰재(72)의 상변부 및 아래에서부터 2열째의 내측 씰재(72)의 하변부를 각각 조사한다. 이때, 외측 및 내측 씰재(71,72)의 폭과 동일한 폭의 자외선이 조사되기 때문에, 내측 씰재(72) 내측에 물방울져 떨어진 액정에는 자외선이 조사되지 않는다. 다음에, 도 5(b)에 도시된 바와 같이, 각 조사부(22a~22d)를 기판(W)의 중앙으로 향하게 이동시켜 조금 전(先程) 조사된 외측 씰재(71) 또는 내측 씰재(72)에 인접한 내측 씰재(72)를 조사한다. 즉, 조사부(22a,22d)에 의해 위에서부터 1열째의 내측 씰재(72)의 상변부 및 아래에서부터 1열째의 내측 씰재(72)의 하변부를 각각 조사함과 아울러, 조사부(22b,22c)에 의해, 위에서부터 2열째의 내측 씰재(72)의 하변부 및 아래에서부터 2열째 내측 씰재(72)의 상변부를 각각 조사한다. 다음에, 도 5(c)에 도시된 바와 같이, 각 조사부(22a~22d)를 기판(W)의 중앙로 향하게 이동시켜 조금 전 조사된 외측 씰재(71) 또는 내측 씰재(72)에 인접한 내측 씰재(72)를 조사한다. 즉, 조사부(22a,22d)에 의해 위에서부터 1열째의 내측 씰재(72) 하변부 및 아래에서부터 1열째의 내측 씰재(72)의 하변부를 각각 조사함과 아울러, 조사부(22b,22c)에 의해, 위에서부터 3열째의 내측 씰재(72)의 상변부와 하변부를 각각 조사한다.First, the
다음에, 얼라이먼트부(36)에 의해 기판(W)을 90도 회전시킨다. 그리고, 도 6(a)에 도시된 바와 같이, 조사부(22a,22d)에 의해 외측 씰재(71)에 있어서의 이미 조사된 부분과 직교된 부분, 즉 외측 씰재(71)의 다른 2변에 자외선을 조사한다. 다음에, 조사부(22b,22c)에 의해 기판(W)이 회전된 상태에서 위에서부터 1열째의 내측 씰재(72)의 하변부 및 아래에서부터 1열째의 내측 씰재(72)의 하변부를 각각 조사한다. 이때, 외측 및 내측 씰재(71,72)에 있어서 기판(W)의 회전 전((도 5(a)에 도시된 상태))에 자외선이 조사된 피조사부와, 기판(W)의 회전 후((도 6(a)에 도시된 상태))에 자외선이 조사된 피조사부와의 교차부(73)에 자외선을 조사하는 UV LED(52)는 오프된다. 즉, 외측 씰재(71)의 정점부분, 내측 씰재(72)의 정점부분 및 외측 씰재(71)에 있어서 내측 씰재(72)의 각 변에 연장선과 교차하는 부분에 자외선을 조사하는 UV LED(52)는 오프된다. 다음에, 도 6(b)에 도시된 바와 같이, 각 조사부(22a~22d)를 기판(W)의 중앙으로 향하게 이동시키고, 조금 전 조사된 외측 씰재(71) 또는 내측 씰재(72)에 인접한 내측 씰재(72)를 조사한다. 이때, 마찬가지로 전회(前回)의 조사부분과 금회(今回)의 조사부분과의 교차부(73)에 자외선을 조 사하는 UV LED(52)는 오프된다. 따라서, 자외선조사장치(1)는, 기판(W)에 도포된 외측 및 내측 씰재(71,72)에 따라 상기 외측 및 내측 씰재(71,72)에 대응되는 폭의 빛을 조사할 뿐이기 때문에 기판의 전면을 일괄하여 조사하는 경우에 비하여 큰 전력을 필요하지 않아 생전력화를 도모할 수 있다.Next, the alignment portion 36 rotates the substrate W by 90 degrees. And as shown to Fig.6 (a), the ultraviolet part to the other two sides of the part orthogonal to the part irradiated already by the
제1실시형태의 자외선조사장치(1)는 이하의 이점을 갖는다.The
(1)자외선조사장치(1)는, 기판(W)을 재치하는 스테이지(13)와 자외선을 조사가능한 복수(예를들면 4개)의 조사부(22a~22d)를 구비한다. 각 조사부(22a~22d)에는 개별적으로 온/오프가능한 복수의 UV LED(52)가 선형상으로 배열되고, 각 UV LED(52)는 외측 및 내측 씰재(71,72)의 폭과 대략 동일한 폭의 선 형상의 빛을 조사한다. 더욱이, 자외선조사장치(1)는 조사부(22a~22d)를 X축방향으로 이동시킨 X축엑츄에이터(19)와, 각 UV LED(52)를 개별적으로 온/오프시키는 제어부(34)를 구비한다. 따라서, 기판(W)에 도포된 외측 및 내측 씰재(71,72)에 따라 상기 외측 및 내측 씰재(71,72)에 대응되는 폭의 빛만을 조사시킬 수 있다. 따라서, 기판의 전면을 일괄하여 조사하는 경우에 비하여 큰 전력을 필요로 하지 않아 생전력화를 도모할 수 있다. 또한, 내측 씰재(71)의 내측에 물방울져 떨어진 액정에 자외선이 조사되지 않기 때문에 종래와 같이 차광마스크를 이용하지 않고 완료되어 자외선조사장치(1)의 코스트증대를 방지할 수 있다. 더욱이, 자외선을 조사하는 광원으로써 UV LED(52)를 이용하기 때문에, 광원의 수명도 연장시킬 수 있다. 그리고, 종래와 같이 아크방전식 메탈하라이드램프를 이용하는 경우와 다르게, 기판(W)((씰재(71,72))측으로 비조사시에 소등하는 것이 가능하기 때문에, 당연한 생전력화와 동시에 수명연장을 도모할 수 있다.(1) The ultraviolet
(2)얼라이먼트부(36)에 의해 기판(W)을 90도 회전시킬 수 있다. 이 때문에, 외측 및 내측 씰재(71,72) 각각에 있어서 대응하는 2변을 조사시킨 후, 기판(W)을 90도 회전시켜 자외선이 조사된 부분과 직교되는 부분((각 씰재(71,72)의 남은 2변))을 조사하는 것으로, 기판(W)을 접착시킬 수 있다. 그 때문에, 각 조사부(22a~22d)를 X축방향으로 이동시키면서, 외측 및 내측 씰재(71,72)의 패턴에 대응하게 반도체소자(LED)의 온/오프를 제어하는 경우 즉, 기판(W)을 회전시키지 않는 경우에 비하여, 기판(W)의 접착처리에 걸리는 시간을 단축시킬 수 있다.(2) The alignment portion 36 can rotate the substrate W by 90 degrees. For this reason, after irradiating the corresponding two sides in each of the outer and
(3)기판(W)의 회전 후에, 전회(前回)의 조사부분과 금회(今回) 조사부분의 교차부(73)에 자외선을 조사하는 UV LED(52)를 오프시킨 상태에서 조사를 행한다. 그 때문에 자외선의 중복조사에 의해 외측 및 내측 씰재(71,72)를 열화시키는 일 없이 단시간에 기판(W)을 접착시킬 수 있다.(3) After the rotation of the substrate W, irradiation is performed while the
(4)각 조사부(22a~22d)는 각 UV LED(52)로부터 조사된 자외선을 Y방향으로 장축을 갖는 타원형으로 집광시키는 실린드리칼 렌즈(61)를 구비한다. 나아가, 각 조사부(22a~22d)는 2개의 서로 이웃한 UV LED(52)간, 및 조사부(22a)의 양단에 배치된 2개의 UV LED(52)와 각각 캡(55)과의 사이에 각각 배치되어 자외선을 반사하는 복수의 반사판(59)을 구비한다. 따라서, 실린드리칼 렌즈(61)에 의해 타원형으로 집광된 자외선은 대응하는 2개의 판사판(59)에 의해 그 장축방향 양단부분이 반사된다. 따라서, 각 UV LED(52)로부터 조사된 자외선은 장방형상의 조사영역으로 형성된다. 이와 같이 각 UV LED(52)의 조사광의 장축방향 양단부분이 반사되어 각 각의 조사영역과 중첩되는 것에 의해, 각 조사영역에 있는 길이방향에 따른 조도가 균일화됨과 아울러, 조도를 높일 수 있다. 또한, 반사판(59)에 의해 조사광의 장축방향 양단부분이 반사되는 것에 의해 서로 이웃하는 UV LED(52)의 조사영역으로 빛이 누설되기 어렵다. 나아가, 각 UV LED(52)를 온/오프시키는 것에 의해 조사부(22a~22d)의 조사범위를 정밀도 있게 잘 제어할 수 있다. 따라서, 교차부(73)에 자외선이 중복되게 조사되지 않아서, 충분하게 외측 및 내측 씰재(71,72)의 열화를 방지할 수 있다.(4) Each
(5)조사부(22a~22d)는 직육면체상으로 형성된 통체(51)와, 상기 통체(51)내에 부압을 공급하는 부압원(64)을 구비한다. 그리고, 통체(51)를 구성하는 커버플레이트(54)의 하부(56)에 Z방향으로 관통된 복수의 직사각형 형상의 조사공(57)을 형성하고 각 UV LED(52)를 조사공(57)의 내측면과의 사이에 간극을 형성하도록 조사공(57)내에 배치시킨다. 통체(51)내에 부압이 공급되는 것에 의해, 외부의 공기가 조사공(57)과 UV LED(52) 사이의 간극을 개재시킨 통체(51)내로 유입되기 때문에 외부의 공기에 의해 자외선의 조사에 의해 발열된 UV LED(52)를 냉각시킬 수 있다.(5) The
(6)조사부(22a~22d)로부터 자외선이 조사될 때에, 얼라이먼트부(36) 및 부상스테이지(38)에서 기판(W)을 흡착시키기 때문에, 기판(W)의 위치차이를 방지할 수 있다.(6) When ultraviolet rays are irradiated from the irradiating
(7)기판(W)을 스테이지(13)상에서 이동시킬 때에, 얼라이먼트부(36)가 기판(W)을 흡착시키는 것과 동시에, 부상스테이지(38)의 흡착공으로부터 공기가 배기 된다. 따라서, 기판(W)을 부상스테이지(38) 위에 부상시킨 상태에서 얼라이먼트부(38) 및 보호지지스테이지(40)와 접촉시키므로 손상되는 것을 방지할 수 있다.(7) When the substrate W is moved on the
(8)조사부(22a~22d)는, 조사부(22a~22d)와 평행한 외측 및 내측 씰재(71,72)에 자외선을 조사시킬 때에, 내측 씰재(72)보다도 먼저 외측 씰재(71)에 자외선을 조사시킨다. 이 때문에, 기판(W)의 외주연이 고정된 것에 의해 접합된 기판끼리가 어긋나는 것을 방지할 수 있다.(8) When
(제2실시형태)(2nd Embodiment)
이하, 본 발명의 제2실시형태를 도면에 의거하여 설명한다. 제2실시형태와 상기 제1실시형태의 주된 차이점은, 각 조사부에 놓인 광학소자의 구성에 있다. 이 때문에 설명의 편의상 제1실시형태와 동일한 부분에 대해서는 동일의 부호를 붙이는 것으로 하여 그 설명을 생략한다. 또한, 각 조사부(22a~22d)는 같은 구성이므로, 조사부(22a)에 대해서만 설명하고, 다른 조사부(22b~22d)에 대해서는 설명의 편의상 생략한다.EMBODIMENT OF THE INVENTION Hereinafter, 2nd Embodiment of this invention is described based on drawing. The main difference between the second embodiment and the first embodiment lies in the configuration of the optical element placed on each irradiation section. For this reason, the same code | symbol is attached | subjected about the same part as 1st Embodiment for the convenience of description, and the description is abbreviate | omitted. In addition, since each
도 7(a),(b)에 도시된 바와 같이, 제2실시형태의 조사부(22a)는 직육면체 상의 통체(81)을 구비하고 있다. 통체(81)는 장방형판상으로 형성됨과 아울러 취부부재(21)를 개재시켜 X축베이스(20)(도 1참조)에 고정된 베이스플레이트(82)와 장방형판상으로 형성된 한 쌍의 사이드플레이트(83)와, 이것들 베이스플레이트(82) 및 사이드플레이트(83)의 양단(Y방향)에 설치된 한 쌍의 캡(84)((도 7(a)에는 1개만 도시함))을 구비하고 있다. 각 사이드플레이트(83)는 베이스플레이트(82)의 하단에 놓인 X방향 양단에 고정되어 있다. 그리고, 한 쌍의 사이드플레이트(83) 사이에는 복수의 조사유니트(91)가 Y방향으로 배열되어 있다.As shown to Fig.7 (a), (b), the
구체적으로는, 각 조사유니트(91)는 한 쌍의 사이드플레이트(83) 사이에 배치고정된 회로기판(92)과 그 회로기판(92)의 하면(반 Z방향측의 면)에 Y방향으로 실장된 복수(제2실시형태에서는 8개)의 UV LED(자외선조사 다이오드)(93)를 갖추고 있다. 또한, 제2실시형태에서는, 회로기판(92)은, 열전도율에 뛰어난 알루미늄판상에 고열전도성절연층을 개재시킨 도체회로가 형성되어 있다. 이것에 의해 회로기판(92)에 실장된 UV LED(93)의 열이 효율 좋은 알루미늄판을 개재시켜 방열된다.Specifically, each
회로기판(92)의 하면에 Y방향으로 배열된 각 UV LED(93)는, 인접한 UV LED(93)로부터 조사된 빛을 Y방향에 겹치도록 배열되어 있다. 또한, 각 UV LED(93)는, 제어부(34)(도 2참조)에 접속되어 각각 독립적으로 온/오프된다.Each
그리고, 각 UV LED(93)의 하측에는 반구렌즈(94)의 구면이 하측이 되도록 배치되어 있다. 각 UV LED(93)의 하측에 배치된 반구렌즈(94)의 하측에는, 각 반구렌즈(94) 전체를 덮는 봉형상의 실린드리칼 렌즈(95)가 Y방향으로 배치되어 있다. 또한, 제2실시형태에서는, 실린드리칼 렌즈(95)는, 축방향에서 봐서 대략 반구형상의 한쪽이 돌출된 실린드리칼 렌즈에 의해 구성된 제1실시형태의 실린드리칼 렌즈(61)과 다르게, 축방향에서 봐서 대략 타원형상의 양쪽이 돌출된 실린드리칼 렌즈에 의해 구성되어 있다. 이것들 각 반구 렌즈(94) 및 실린드리칼 렌즈(95)는 회로기판(92)의 하면에 설치된 한 쌍의 보호지지부(96)에 의해 보호지지되어 있다. And below the
구체적으로는, 한 쌍의 보호지지부(96)은, 회로기판(92)의 하면에 놓인 Y방향으로 배열된 각 UV LED(93)의 양측에 배치되어 있다. 양 보호지지부(96)는, 각 반구렌즈(94)를 UV LED(93)의 직하에 위치되어 협지 고정됨과 아울러, 실린드리칼 렌즈(95)는 복수의 계지조(係止爪)(97)에 계지되어 그 탈락이 방지된다.Specifically, the pair of
그리고, 각 반구렌즈(94)는 UV LED(93)로부터 조사된 빛의 확산을 억제한다. 또한, 2개의 인접한 UV LED(93)로부터 조사된 빛은, 대응하는 각 반구렌즈(94)에 의해 그 확산이 억제된 후에 있어서도 Y방향에서 서로 겹친다. 즉, 각 UV LED(93)로부터 조사된 빛은, 각 반구렌즈(94)를 투과한 후에도 확산된다.And each
한편, 각 반구렌즈(94)의 하측에 배치된 실린드리칼 렌즈(95)는, 각 반구렌즈(94)로부터 출사된 빛을 X방향으로만 수속시켜 타원형상으로 집광한다. 따라서, 제2실시형태에서는, 각 반구렌즈(94) 및 실린드리칼 렌즈(95)에 의해 광학소자가 구성되어 있다.On the other hand, the
도 8(a),(b)에 도시된 바와 같이 각 UV LED(93)로부터 출사된 빛은 직하에 배치된 각 반구렌즈(94)에 입사되는 것으로, 그 확산이 억제된다. 그리고, 각 반구렌즈(94)로부터 출사된 빛은, 실린드리칼 렌즈(95)에 입사하여 X방향으로만 수속되어 타원형상으로 집광된다. 따라서, 각 UV LED(93)로부터 조사된 자외선의 조사영역(T)은, Y방향으로 장축을 갖는 대략 타원형상으로 된다. 그리고, 상기와 같이, 각 조사영역(T)의 장축방향단부(Te)가, 인접하는 조사영역(T)의 단부(Te)와 겹쳐 조사부(22a)로부터 선형상의 빛이 조사된다. 또한, 도 8(a),(b)에서는 설명의 편의상, 오른쪽으로부터 첫 번째, 세 번째 및 다섯 번째의 UV LED(93)로부터 조사되는 자외선의 조사영역을 파선으로 표시함과 아울러, 오른쪽으로부터 두 번째 및 네번 째의 UV LED(93)로부터 조사된 자외선의 조사영역을 이점쇄선으로 표시하고 있다. As shown in Figs. 8A and 8B, the light emitted from each
즉, 도 9에 도시된 바와 같이, 인접한 UV LED(93)의 조사영역(T)의 장축방향단부(Te)끼리가 서로 겹치게 된다. 그 결과, 조사부(22a)로부터 선형상의 빛이 조사된다. 또한 도 9는 2개의 UV LED(93)로부터 빛의 조사분포를 도시한 시뮬레이션결과 이고, 빛의 조도를 점햇칭의 소밀(疎密)로 표시하였다(조도가 높은 정도 촘촘함). 이와 같이, 각 UV LED(93)의 조사영역(T)의 장축방향단부(Te)끼리가 겹쳐져 선상의 빛이 Y방향으로 조도를 균일화시키고 있다. 그리고, 기판(W)의 도포된 씰재에 대한 자외선의 조사에 대해서는 상기 제1실시형태와 동일하게 행해진다. That is, as shown in FIG. 9, the major axis direction ends Te of the irradiation regions T of
제2실시형태는 상기 제1실시형태의 (1)~(3),(5)~(8)의 이점에 더하여 이하의 이점을 갖는다.2nd Embodiment has the following advantages in addition to the advantage of (1)-(3), (5)-(8) of the said 1st Embodiment.
(9)각 UV LED(93)로부터 조사된 빛을 각 반구렌즈(94) 및 실린드리칼 렌즈(95)를 개재시켜 기판(W)에 조사하도록 하였다. 그 때문에, UV LED(93)로부터 조사된 빛이 다른 부분((예를들면, 사이드플레이트(83))에 조사되는 것을 저감시키고, 효율적으로 실린드리칼 렌즈(95)에 입사시키는 것이 가능하다.(9) The light irradiated from each
또한, 상기 각 실시형태는, 이하의 상태로 변경하여도 좋다.In addition, you may change each said embodiment to the following states.
·상기 각 실시형태에서는, 암새(16)를 외벽(12)에 고정함과 아울러, 각 조사부(22a~22d)를 개별적으로 X방향으로 이동시켰지만, 이것에 한정하지 않고, 각 조사부를 암새에 고정함과 아울러, 암새를 Y방향으로 이동시켜도 좋다. 예를들면, 도 10에 도시된 바와 같이, 외벽(101)의 상단면(102)에 Y방향으로 레일(103)을 배치하고, 조사부(104a,104b)가 설치된 암새(105a,105b)를 양 레일(103)을 따라 이동시켜도 좋다. 또한, 조사부(104a,104b)는 조사부(22a)와 같게 구성한다.In each of the above embodiments, the female 16 is fixed to the
·상기 각 실시형태에서는, 스테이지(13)위에 재치된 기판(W)을 얼라이먼트부(36)에 의해 회전시키지만, 이것에 한정하지 않고, 조사부를 회전하도록 하여도 좋다. 구체적으로는, 도 11에 도시된 바와 같이 암새(111)를 외벽(112)의 상단면(113)에 X방향으로 한 쌍의 레일(114)상을 Y방향으로 이동가능하게 설치된다. 그리고, 암새(111)의 연결부(115)에 놓인 대략 중앙부에 돌출부(116)를 형성하고, 상기 돌출부(116)에 설치된 모터 등의 구동부에 조사부(117)를 회전가능하게 설치시킨다. 이 구성에서는, 암새(111)와 구동부를 갖는 돌출부(117)는 조사부(22a)와 같게 구성한다.In each of the embodiments described above, the substrate W mounted on the
·상기 각 실시형태에서는 스테이지(13)을 Z방향으로 이동시켰지만, 이것에 한정하는 것이 아니며, 각 조사부(22a~22d)를 Z방형으로 이동시키는 것에 의해 조사된 자외선의 폭을 조절하도록 하여도 좋다.In each of the above embodiments, the
·상기 각 실시형태에는, 도 5에 도시된 바와 같이, 각 내측 실재(72)가 동일 형상으로 도포되어 있지만, 이것에 한정하는 것은 아니며, 도 12에 도시된 바와 같이, 외측 씰재(121)의 내측에 다른 형상의 내측 씰재(122,123)가 동일의 기판(W)내에 도포되어 있어도 좋다. 이 경우에는, 예를들면 도 13(a),(b)에 도시된 바와 같이, 봉 형상의 베이스부재(126)에 Y방향으로 배열된 복수의 분할부(125)에 의해 조사부(124)를 구성하는 것이 바람직하다. 복수의 분할부(125)의 각각은, 기판(W)의 일변보다도 짧은 길이로 형성하고, 선형상으로 배열된 복수의 UV LED를 구비한다. 그리고, 각 분할부(125)를 기부(11)의 상면과 평행한 면내에서 회전가능하게 베이스부재(126)에 취부한다. 이것에 의해, 예를들면, 각 내측 씰재(123)의 상변부 및 하변부가 몇인가를 정리해서 조사가능하다. 그 때문에, 크기가 다른 복수의 패턴이 도포된 기판(W)의 접착처리에 대한 효율화를 도모할 수 있다.In each of the above embodiments, as shown in FIG. 5, each inner
또한, 도 14에 도시된 바와 같이 선형상으로 배열된 복수의 제2의 UV LED를 갖는 직각부(131)(제2조사부)를 조사부(22d)(제1조사부)에 대하여 직교하도록 설치하여도 좋다. 또한, 조사부(22d) 및 직각부(131) 각각은, 상기 각 실시형태에 놓인 조사부(22a)와 같게 구성되어 있다. 이것에 의해, 예를들면, 조사부(22d)와 평행한 내측 씰재(123)의 좌변부를 조사할 때에, 직각부(131)에 의해 내측 씰재(123)의 상변부 및 하변부를 동시에 조사할 수 있다. 그 때문에 크기가 다른 복수의 패턴이 도포된 기판(W)의 접착처리의 효율화를 도모할 수 있다.In addition, as shown in Fig. 14, a right angle part 131 (second irradiation part) having a plurality of second UV LEDs arranged in a linear shape may be provided to be orthogonal to the
·상기 각 실시형태에서는 교차부(73)에 자외선을 조사하는 UV LED(52,93)에 기판(W)을 상대회전 후에 오프시켰지만, 이것에 한정하지 않고 상기 UV LED(52,93)을 상대회전 전에 오프시키도록 하여도 좋다.In each of the above embodiments, the substrate W is turned off after the relative rotation of the
·상기 제1실시형태에서는, 2개의 서로 이웃한 UV LED(52)의 사이에 반사판(59)을 배치시켰지만, 이것에 한정하지 않고 반사판(59)을 배치시키지 않아도 좋다. 예를들면, 각 UV LED(52)의 조사 빛의 장축방향 양당부분이 서로 이웃하는 UV LED(52)의 조사영역과 겹치도록 하여도 좋다. 이와 같이 하는 것으로서, 타원의 장축방향에 따른 조도의 격차를 저감시켜 조사부(22a~22d)로부터 조사된 선형상의 자외선이 Y방향으로 조도의 격차를 저감시킬 수 있다. 따라서, 외측 및 내측 씰재(71,72)를 균일하게 경화시키는 것이 가능하게 되고, 외측 및 내측 씰재(71,82)의 부분적인 열화를 방지할 수 있다. 또한, 상기 제2실시형태에서는, 2개의 서로 이웃하는 UV LED(93)의 사이에 제1실시형태와 같이 반사판을 배치하여도 좋다.In the first embodiment, the reflecting
·상기 각 실시형태에 있어서, 외측 및 내측 씰재(71,72)를 조사하는 순번을 변경하여도 좋다. 예를들면, 조사부(22a~22d)와 평행한 외측 씰재(71) 2개의 변에 자외선을 조사시키고, 기판(W)을 90도 회전시키며, 외측 씰재(71)에 놓이기 이전에 조사된 부분과 직교된 부분((외측 씰재(71)의 남은 2변))에 자외선을 조사시킨 후에 각 내측 씰재(72)를 조사시켜도 좋다. 즉, 외측 씰재(71)를 경화시킨 후에 각 내측 씰재(72)를 조사시켜도 좋다. 더욱이 그 다른 순번으로 외측 및 내측 씰재(71,72)를 조사하도록 하여도 좋다. In each of the above embodiments, the order of irradiating the outer and
·상기 각 실시형태에서는 부상스테이지(38)에서부터 공기가 배기됨과 동시에 얼라이먼트부(36)에 의해 기판(W)을 흡착시킨 상태에서, 상기 얼라이먼트부(36)를 회전시키는 것으로 기판(W)을 회전시키도록 되었지만, 이것에 한정하지 않고 기판(W)을 회전시킬 수 있다면, 스테이지(13)를 어느 것으로 구성하여도 좋다.In each of the above embodiments, the substrate W is rotated by rotating the alignment unit 36 while the air is exhausted from the floating
·상기 제1실시형태에서 조사부(22a~22d)는, 직사각형으로 형성된 통체(51)와 상기 통체(51)내에 부압을 공급하는 부압원(64)을 구비하였지만, 이것에 한정하지 않고, 통체(51)내에 부압을 공급하지 않는 구성으로 하여도 좋다. 또한, 상기 제2실시형태에서는 통체(81)내에 부압을 공급하도록 구성하여도 좋다.In the first embodiment, the irradiating
·상기 제2실시형태에서는 각 조사 유니트(91)를 통체(81)내에 설치하였지만, 이것에 한정하지 않고, 예를들면, 각 조사 유니트(91)를 X축 베이스(20)에 직접 고정하여도 좋다.Although each
·상기 제1실시형태에서는 실린드리칼 렌즈(61)로서 편철 실린드리칼 렌즈를 사용하였지만, 이것에 한정하지 않고 양철 실린드리칼 렌즈를 사용하여도 좋다. 또한, 상기 제2실시형태에 있어서, 실린드리칼 렌즈(95)로서 편철 실린드리칼 렌즈를 사용하여도 좋다.In the first embodiment, a single-cylindrical cylindrical lens is used as the
·상기 제1실시형태에서는 실린드리칼 렌즈(61)에 의해 광학소자를 구성하였지만, 이것에 한정하지 않고 반구렌즈 및 실린드리칼 렌즈(61)에 의해 광학소자를 구성하여도 좋다. 동일하게 상기 제2실시형태에 있어서, 실리드리칼 렌즈(95)만 광학소자로 구성하여도 좋다.In the first embodiment, the optical element is constituted by the
·상기 각 실시형태에서는 UV LED(52)로부터 조사된 자외선을 대략 타원형 형상으로 수속시킨 광학소자로서 실린드리칼 렌즈(61,95)를 사용하여지만, 이것에 한정하지 않고, 예를들면 로드렌즈(rod lens)를 사용하여도 좋다. 또한, 포물선 형상의 거울을 조사부(22a~22d)에 배치시키고, 자외선의 조사각도를 보다 무한원광원인 평행광선에 근접시켜 보다 집광효율을 개선시킬 수 있다. In each of the above embodiments,
·상기 각 실시형태에서는 기판(W)의 외주연에 외측 씰재(71)를 도포하였지만, 이것에 한정하는 것은 아니며, 기판(W)내에 내측 씰재(72)만을 형성하여도 좋다.In each of the above embodiments, the
·상기 각 실시형태에서는 기판(W)을 회전축(L) 주변으로 회전시켜 외측 및 내측 씰재(71,72)에 자외선을 조사시켰지만, 이것에 한정하지 않는다. 기판(W)을 회전시키지 않고 각 조사부(22a~22d)를 X축방향으로 이동시키면서 외측 및 내측 씰재(71,72)의 패턴에 대하여 반도체소자(LED)의 온/오프를 제어시켜 조사하도록 하여도 좋다.In each of the above embodiments, ultraviolet rays are irradiated to the outer and
·상기 각 실시형태에서는 외측 및 내측 씰재(71,72)에 자외선을 조사하도록 하였지만, 이것에 한정하지 않고 씰재가 경화된다면 자외선 이외의 빛을 조사하도록 하여도 좋다.In each of the above embodiments, the outer and
도 1은 자외선조사장치를 도시한 사시도1 is a perspective view showing an ultraviolet irradiation device
도 2는 자외선조사장치를 도시한 단면도2 is a cross-sectional view showing an ultraviolet irradiation device
도 3(a)는, 제1실시형태의 조사부 하면을 도시한 일부 파단면도이도, (b)는 제2실시형태에 있어서 조사부의 광학소자의 구성을 도시한 모식단면도3 (a) is a partially broken cross-sectional view showing the bottom surface of the irradiation section of the first embodiment, and (b) is a schematic cross-sectional view showing the structure of an optical element of the irradiation section in the second embodiment.
도 4(a),(b)는 제1실시형태의 조사부로부터 조사된 자외선의 조사영역을 도시한 모식도4 (a) and 4 (b) are schematic diagrams showing an irradiation region of ultraviolet rays irradiated from the irradiation section of the first embodiment.
도 5(a)~(c)는 회전시키기 전의 기판에 대한 조사순서를 도시한 작동설명도5 (a) to 5 (c) are operation explanatory diagrams showing the irradiation procedure for the substrate before rotation;
도 6(a),(b)는 회전시킨 후의 기판에 대한 조사순서를 도시한 작동설명도6 (a) and 6 (b) are operation explanatory diagrams showing the irradiation procedure for the substrate after the rotation;
도 7(a)는 제2실시형태의 조사부 하면도이고, (b)는 제2실시형태에 있어서 조사부의 광학소자의 구성을 도시한 모식 단면도FIG. 7A is a bottom view of the irradiation part of the second embodiment, and FIG. 7B is a schematic sectional view showing the configuration of an optical element of the irradiation part in the second embodiment.
도 8(a),(b)는 제2실시형태의 조사부로부터 조사된 자외선의 조사영역을 도시한 모식도8 (a) and 8 (b) are schematic diagrams showing an irradiation region of ultraviolet rays radiated from the irradiation section of the second embodiment.
도 9는 UV LED가 2개의 경우에 있어서 제2실시형태의 조사부의 조도분포를 도시한 설명도Fig. 9 is an explanatory diagram showing the illuminance distribution of the irradiation section of the second embodiment when two UV LEDs are present;
도 10은 다른 자외선조사장치의 사시도10 is a perspective view of another ultraviolet irradiation device
도 11은 다른 자외선조사장치의 사시도11 is a perspective view of another ultraviolet irradiation device
도 12는 다른 씰재의 도포 패턴을 도시한 평면도12 is a plan view showing an application pattern of another seal material;
도 13(a),(b)는 다른 조사부를 도시한 사시도13 (a) and 13 (b) are perspective views showing another irradiation unit
도 14는 다른 조사부를 도시한 사시도14 is a perspective view showing another irradiation unit;
*도면의 주요부분에 대한 부호의 설명** Description of the symbols for the main parts of the drawings *
1 ; 자외선조사장치 13 ; 스테이지One ;
19 ; X축 엑츄에이터 22a~22d,104a,104b,117,124 ; 조사부19;
34 ; 제어부 35 ; 기판이동기구34;
51 ; 통체 52,93 ; UV LED51;
56 ; 하부 57 ; 조사공56;
59 ; 반사판 61,95 ; 실린드리칼 렌즈59;
64 ; 부압원 71,121 ; 외측 씰재64; Negative pressure source 71121; Outer seal material
72,122,123 ; 내측 씰재 73 ; 교착부72,122,123;
94 ; 반구렌즈 125 ; 분할부94;
131 ; 직각부 W ; 기판131; Right angle W; Board
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