KR20080052424A - 마이크로 스위칭 소자 및 마이크로 스위칭 소자 제조 방법 - Google Patents
마이크로 스위칭 소자 및 마이크로 스위칭 소자 제조 방법 Download PDFInfo
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Description
Claims (5)
- 베이스 기판과,상기 베이스 기판에 접합되어 있는 고정부와,상기 고정부에 고정된 고정단을 갖고 상기 베이스 기판을 따라 연장되는 가동부와,상기 가동부에서의 상기 베이스 기판과는 반대의 측에 형성된 가동 컨택트 전극과,상기 가동 컨택트 전극에 대향하는 부위를 각각이 갖고 또한 각각이 상기 고정부에 접합되어 있는 한쌍의 고정 컨택트 전극과,상기 가동부에서의 상기 베이스 기판과는 반대의 측에서 상기 가동 컨택트 전극 및 상기 고정단의 사이에 형성된 가동 구동 전극과,상기 가동 구동 전극에 대향하는 부위를 포함하는 고가부(高架部)를 갖고 또한 상기 고정부에 접합되어 있는 고정 구동 전극을 구비하고,상기 고가부는, 상기 가동 구동 전극측에, 복수단으로 이루어지는 계단 형상을 갖고, 그 계단 형상의 각 단은, 상기 가동 컨택트 전극으로부터 먼 단일수록 상기 베이스 기판에 가까운 마이크로 스위칭 소자.
- 제1항에 있어서,상기 고정 구동 전극은, 상기 고가부로부터 상기 가동 구동 전극측으로 돌출하는 돌기부를 더 갖는 마이크로 스위칭 소자.
- 제2항에 있어서,상기 가동부 상의 상기 가동 구동 전극은, 상기 돌기부에 대응하는 개소에, 상기 가동부가 부분적으로 임하는 개구부를 갖는 마이크로 스위칭 소자.
- 베이스 기판과, 그 베이스 기판에 접합되어 있는 고정부와, 그 고정부에 고정된 고정단을 갖고 상기 베이스 기판을 따라 연장되는 가동부와, 그 가동부에서의 상기 베이스 기판과는 반대의 측에 형성된 가동 컨택트 전극과, 그 가동 컨택트 전극에 대향하는 부위를 각각이 갖고 또한 각각이 상기 고정부에 접합되어 있는 한쌍의 고정 컨택트 전극과, 상기 가동부에서의 상기 베이스 기판과는 반대의 측에서 상기 가동 컨택트 전극 및 상기 고정단의 사이에 형성된 가동 구동 전극과, 그 가동 구동 전극에 대향하는 부위를 포함하는 고가부를 갖고 또한 상기 고정부에 접합되어 있는 고정 구동 전극을 구비하고, 상기 고가부는, 상기 가동 구동 전극측에, 복수단으로 이루어지는 계단 형상을 갖고, 그 계단 형상의 각 단은, 상기 가동 컨택트 전극에 가까운 단일수록 상기 베이스 기판으로부터 먼, 마이크로 스위칭 소자를, 제1 층과, 제2 층과, 그 제1 및 제2 층 사이의 중간층으로 이루어지는 적층 구조를 갖는 재료 기판에 대하여 가공을 실시함으로써 제조하기 위한 방법으로서,상기 제1 층에서 가동부로 가공되는 제1 부위 상에 가동 컨택트 전극 및 가 동 구동 전극을 형성하는 공정과,상기 제1 부위, 및, 상기 제1 층에서 고정부로 가공되는 제2 부위를 마스크 하는 마스크 패턴을 통하여, 상기 제1 층에 대하여 상기 중간층에 이르기까지 이방성 에칭 처리를 실시함으로써, 고정부 및 가동부를 형성하는 공정과,상기 재료 기판의 상기 제1 층측을 덮도록 희생막을 형성하는 공정과,상기 희생막에서 상기 가동 구동 전극에 대응하는 개소에, 계단 형상을 갖는 고가부를 형성하기 위한 오목부를 형성하는 공정과,한쌍의 고정 컨택트 전극 및 고정 구동 전극이 접합하게 되는, 상기 고정부 상의 영역이 노출되도록, 상기 희생막에 복수의 개구부를 형성하는 공정과,상기 희생막을 개재하여 상기 가동 구동 전극에 대향하는 부위를 포함하는 고가부를 적어도 갖고 또한 상기 고정부에 접합되어 있는 고정 구동 전극, 및, 상기 희생막을 개재하여 상기 가동 컨택트 전극에 대향하는 부위를 각각이 갖고 또한 각각이 상기 고정부에 접합되어 있는 한쌍의 고정 컨택트 전극을 형성하는 공정과,상기 희생막을 제거하는 공정과,상기 제2 층 및 상기 가동부 사이에 개재하는 중간층을 에칭 제거하는 공정을 포함하는 마이크로 스위칭 소자 제조 방법.
- 제4항에 있어서,상기 고가부로부터 상기 가동 구동 전극측으로 돌출하는 돌기부를 형성하기 위한 오목부를 상기 희생막에 형성하는 공정을 더 포함하는 마이크로 스위칭 소자 제조 방법.
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