KR20070031315A - 평판 디스플레이 패널 제조를 위한 ｎｈ3 고유량 전달시스템 및 그 방법 - Google Patents

Abstract

평판 디스플레이 패널 제조 위치 등으로 액체 암모니아와 같은 액화 생성물을 고유량으로 전달하기 위한 시스템은 상기 생성물을 액상으로 저장하되 상기 액체 생성물의 상부에 상기 생성물의 기상이 위치된 적어도 하나의 용기를 포함하는 액화 생성물의 벌크 저장 수단과, 상기 액체 생성물을 상기 벌크 저장 수단으로부터 주 기화기 수단까지 유동시킴과 동시에 상기 주 기화기 수단까지 전달되는 동안 상기 액체 생성물을 사실상 액체 형태로 유지하기 위한 액체 공급 전달 수단과, 제조 위치에서 제조된 기상 생성물의 요구에 반응해서 상기 액체 생성물을 기화시키기 위한 주 기화기 수단을 포함한다.

액화 생성물 고유량 전달 시스템, 벌크 저장 수단, 기화기, 액상 저장, 증기 공급, 액체 정화

Description

평판 디스플레이 패널 제조를 위한 ＮＨ3 고유량 전달 시스템 및 그 방법{SYSTEM AND METHOD FOR HIGH FLOW DELIVERY OF NH3 FOR FLAT DISPLAY PANEL MANUFACTURE}

본 발명은 평판 디스플레이 패널의 제조에 사용하기 위한 NH₃와 같은 액화 생성물의 고유량 전달 시스템 및 그 방법에 관한 것이다. NH₃ 가스 생성물은 CVD 반응기 등의 세척에 특히 유용하게 사용된다.

오늘날, 이런 평판 디스플레이 패널의 제조업자는 액화 생성물의 유속을 순식간에 2000 ℓ/min에서 비유동 상태로 만들 것을 필요로 한다. 전달 설비와 시스템은 최소 전달 압력 밑으로 떨어지지 않는 소정 전달 압력을 유지하면서 높고 가변적인 유량 조건에 반응할 수 있어야만 한다.

발명의 명칭이 사용 지점으로 기상 생성물을 전달하는 시스템 및 방법인 미국 특허 제6,032,483호에서는 사용 지점으로 높은 가스 유속을 제공하기 위해 증기를 형성하는 기화기로 액상 생성물을 전달하기 위한 시스템과 방법을 설명하고 있는 바, 본 시스템은 펌프의 사용을 필요로 한다. 펌프는 모든 생성물의 유동 중단을 수반하기도 하는 기계적 고장을 겪을 수 있다. 그러나, 생성물이 액상으로 유 지되도록 보장하기 위한 특별한 설계 사항이 주어지지 않는다면, 기화 지점까지 전달 라인의 길이가 길면 라인에는 기상이 존재하게 될 것이다. 기상의 존재는 액체를 전달함에 있어 문제를 일으킬 수 있다.

미국 특허 제6,647,930호는 고속 액체 전달 시스템 및 그 방법을 개시한다. 기화가 발생하는 2차 격납 탱크로의 액체 전달을 보장하기 위해 응축기가 요구된다. 2차 격납 탱크는 열전달 유체의 격납과, 액체 생성물 진입과, 기상 회수와, 압력, 온도 및 수준 측정을 위한 배관이 내측에서 운행될 수 있도록 맞춤 설계되어야 한다.

미국 특허 제6,637,212호는 기화 유닛으로 진입하는 가용성 불순물과 액화 가스 모두를 완전히 기화시킴으로써 액상 및 기상에서 일정한 불순물 수준을 갖는 NH₃ 가스 전달 시스템을 개시한다. 따라서, 본 발명과 달리 여기에 개시된 발명은 일상적이지 않은 기화기를 사용한다.

상술한 바와 같은 기존 시스템을 이용하여 공급원에서 원거리에 위치될 수 있는 사용 지점까지의 전달을 포함한 액화 가스의 벌크 유량을 공급할 경우 아래와 같이 요약될 수 있는 여러가지 어려움에 직면하게 된다.

·공급원에서의 액화 생성물을 기상으로 전달하는 것은 기상을 생성하기 위해 얼마나 많은 에너지가 액상으로 전달될 수 있는가에 따라 제한된다. 기상 생성을 위한 액상의 부적절한 기화는 헤드 공간 압력을 감소시키고 전달될 수 있는 가스 유속을 최종적으로 제한하는 요인이다.

·공급원 용기에서 장거리에 걸친 가스 분배 라인으로 인한 압력 강하는 달성될 수 있는 최대 유속을 제한하는 다른 요인이다.

·또한, 시스템이 변경되는 사용 지점 유속에 얼마나 신속히 반응할 수 있는가에 따른 제한이 있다(많은 경우, 여러 사용 지점이 서로 다른 길이를 갖는 여러 라인에 의해 동일 공급 시스템에 연결되되 각 사용 지점에서의 생성물 조건은 시간이 예측 가능하지 않고 서로 독립적이다).

·대형 공급원 용기는 일반적으로 실외에 위치됨으로써 넓은 범위의 온도 및 습도 편차를 겪게 되며, 이는 공급원 용기로 에너지를 전달하는 압력과 성능에 영향을 미친다[그 조건은, 예컨대 5 ℃, 5×10⁵ 파스칼(겨울) 내지 40 ℃, 15×10⁵ 파스칼(여름)이다].

·대형 공급원 용기는 기상을 회수할 때 나머지 액상에 불순물을 농축시킬 수 있다.

·액상 전달 생성물은 실외에서 장거리에 걸쳐 액상으로 유지되어야 한다.

·증기 서지(surge) 용량은 유동 조건 변경을 보상하기 위해 커야 한다.

종래의 시스템과 방법의 상술한 단점은 본 발명에 의해 해결되는 바, 본 발명의 일 실시예에 따르면, 압력 증진 회로(기화기)가 액체를 고유량 조건으로 회수하는 동안 용기에서의 압력 유지를 돕기 위해 잠재적으로 용량이 20,000 리터보다 큰 ISO-용기인 공급원에 사용된다. 용기 내에서 액체 상부의 기상 헤드 공간에서 유지되는 이런 압력은 펌프를 사용하지 않고도 본 액체의 전달을 도움과 동시에 전달 동안 액상을 유지하도록 돕는다. NH₃ 생성물은 바람직하게는 NH₃ 공급원에서 이로부터 원거리에 위치된 주 기화기까지 액상으로 전달된다. 기화는 바람직하게는 NH₃ 가스의 사용 지점에 가까운 실내에서 수행됨으로써 기상 생성물을 운반하기 위한 거리를 최소화시킨다. 바람직한 실시예에 따르면, 잠재적 유동 조건 변경을 보상하기 위해 요구되는 가스 서지 탱크의 크기를 최소화하기 위해 배압 조절 수단(배압 조절기)가 사용된다.

본 발명에 유용한 기화기는 예컨대 전기식 기화기 또는 셸 및 튜브 열교환기형 기화기로서, 액상 공급을 이용하여 기상 생성물을 고유량으로 공급하도록 작동될 수 있다. 이들 기화기는 피드백 모드와 피드스루(feed through) 모드인 두 가지의 작업 모드를 갖는다. 피드백 모드는 기화기가 공급원 탱크용 압력 증진기로서 사용될 때이고, 피드스루 모드는 기화기가 사용 지점 또는 공급원 탱크의 헤드 공간으로 가스를 제공할 때이다.

본 발명의 장점은 다음과 같이 요약될 수 있다.

·공급원으로부터 액상 전달을 이용함으로써, 예컨대 다중형 고객 제조 설비 또는 동일 고객의 다중 플랜트의 경우 가스 전달 시스템을 이용하는 것에 비해 장거리에 걸쳐 요구되는 동일한 압력 강하에 필요한 배관의 크기가 감소된다.

·기화를 위한 주된 에너지 조건은 보다 작은 체적의 액체를 이용하여 보다 제어된 환경으로 실내에서 달성될 수 있다.

·주 기화기는 요구되는 전달 압력을 유지함과 동시에 0의 유량에서 최대 유량까지의 변화에 대한 반응을 보장함과 함께 하류에 서지 탱크를 포함하는 가스 라인을 공급할 수 있다.

·주 기화기의 하류에 위치된 배압 조절기와 같은 배압 조절 시스템을 사용함으로써 가스 서지 탱크의 크기를 최소화하면서 공급원 용기로부터 주 기화기까지의 액체 전달을 제공한다.

·주변 온도 및 습도의 편차와 그로 인한 단점이 상쇄될 수 있다. 즉, 액체 공급원(NH₃)의 온도와 압력을 안정화시키기 위해 공급원(용기)으로부터 상기 용기(들)의 근처에 위치된 기화기로의 압력 전달부를 포함하는 압력 증진 회로를 사용한다. 본 기화기는 액상으로부터 기상을 생성하며 상기 기상은 공급원 용기의 헤드 공간으로 반송된다.

·본 발명의 다른 실시예에 따르면, 공급원 용기 내에서 액상 상부에서 기상의 압력 강하는 액체 공급원에서 주 기화기까지 보상 액체를 전달하기 위한 펌프를 이용함으로써 방지될 수 있다.

·이와 같은 압력 증진 기화기를 사용함으로써 기화기의 출구로부터 용기의 헤드 공간까지 압력을 증진시킬 수 있고 그리고/또는 유동이 제조업자의 유속 조건을 충족하도록 할 수 있다.

·본 발명에 따르면, 액체 회수가 벌크 저장 탱크에서의 불순물 축적을 최소화시킴으로써 기상 회수가 이루어지는 상황에 비해 상기 불순물이 용기의 바닥에 덜 축적되기 때문에, 기화기에서의 불순물 축적 또는 기화기로의 액체 공급에 관련된 우려는 최소화된다.

·그러나, 기화기는 바람직하게는 상기 기화기의 바닥에 위치되어 내부에 축적될 수 있는 불순물을 주기적으로 그리고/또는 정량적으로 방출하기 위한 액체 정화 밸브를 포함한다. 본 발명의 다른 실시예에 따르면, 액체 정화는 보수를 위해 기화기를 분리 및 재연결한 후 수행된다.

이하, 다음의 도면에 개시된 두 가지 서로 다른 방식의 실시예를 이용하여 본 발명을 추가로 설명한다.

도 1은 본 발명의 바람직한 실시예이다.

도 2는 액체를 순환시키기 위해 펌프를 이용하는 다른 실시예이다.

본 발명에 따른 시스템과 공정은 일반적으로 (NH₃의 유동에 따라 상류로부터 하류까지) 세 개의 서로 다른 부분인, (a) 벌크 저장 수단을 포함하는 제1 부분과, (b) 제2 부분 또는 액체 공급 수단과, (c) 제3 부분 또는 기화기 및 기상 공급 수단을 포함한다.

제1 부분(a)의 경우, 바람직하게는 압력 증진 수단을 포함하는 벌크 저장 수단이 상류측에 마련되되, 본 벌크 저장 수단은 (평판 디스플레이 제조의 경우) 바람직하게는 내부가 대규모의 사용 용량으로 계획된 이소(iso)-용기와 같은 하나 이 상 복수의 용기를 포함할 수 있다. 이들 용기(일반적으로 두 개)는 일반적으로 병렬 연결(직렬/병렬 가능)되며 시스템의 PLC 제어부는 필요에 따라 어느 하나로부터 다른 것으로의 절환을 허용한다(스위치는 일반적으로 수위 검출에 의해 제어되거나 용기의 하부에 위치되어 용기에 여전히 수용된 액체의 체적을 지시하는 계량기를 이용함으로써 제어된다). 각각의 용기는 바람직하게는 내부에 수용된 액체의 대부분 또는 전부를 유동시키기 위해 용기의 바닥에 도달할 수 있는 배관 시스템이 마련된다. 이런 배관 시스템은 필요할 때마다 배관을 정화하기 위한 서로 다른 밸브 시스템(체크 밸브, 폐쇄 밸브, 삼방 밸브)과, 그 출구가 공통 액체 공급관을 형성하는 다른 용기의 다른 제어 밸브의 출구와 시스템의 제2 부분(액체 공급 수단)의 배관 시스템에 연결된 라인을 개폐하도록 PLC 시스템에 의해 제어되는 적어도 하나의 제어 밸브를 포함할 수 있다. 또한, 이런 공통 액체 공급관에는 그 압력이 기화기로 제공되는 에너지(열)에 의존하는 기상을 생성하기 위해 공통 액체 공급 라인으로부터 회수되는 액체를 기화시키기 위한 압력 증진 기화기를 포함하는 압력 증진 회로로 액체를 공급하기 위한 공급관과 제어 밸브가 연결되며, 적절한 밸브가 개방될 때 용기 내에 위치되는 배관 시스템 내에서 액체를 밀어내어 하류에 요구되는 액체의 조건을 충족시키기 위해 위해, 압력을 받는 기상은 이런 헤드 공간에 적절한 압력[일반적으로 10⁵ 내지 10⁶ 파스칼(150 내지 200 psig)]을 생성하여 유지하도록 (적어도 용기당 하나인) 제어 밸브를 통해 용기 중 적어도 하나(바람직하게는 모두)의 헤드 공간으로 배분된다. 이런 압력 증진 회로는 예컨대 공통 액체 공급 관 내에 위치된 펌프로 대체될 수 있다(도2 참조).

제2 부분(b)은 액체를 제1 부분(a)에서 제3 부분(c)까지 운반하기 위해 적어도 하나의 액체 공급 라인을 포함한다. 라인이 여러 개인 경우, 여러 개의 공급 라인을 동일한 제3 부분(c)으로 제공해야할 특별한 이유가 없다면 각각의 라인은 별도의 제3 부분(c)으로 액체를 제공할 수 있다. 일반적으로 이런 제2 부분은 (일반적으로 제1 부분에서와 같이) 온도가 -20 ℃ 내지 80 ℃까지 변할 수 있는 실외에 위치된다. 이들 라인도 또한 상기 라인부에 기상이 전혀 또는 사실상 전혀 존재하지 않도록 절연되어야 한다(필요한 경우 적절한 완화에 관련된 정화 밸브/체크 밸브가 적절한 경우 이들 라인 상에 마련될 수 있다). 이런 절연은 주 기화기에 도달할 때까지 생성물이 사실상 기상으로 되는 것을 방지하기 위해 압력 증진 회로 및/또는 (제3 부분의) 배압 조절 수단에 추가로 마련될 수 있다.

제 3 부분(c)은 의무적이지 않지만 일반적으로 실내에 위치된다. 제3 부분은 일반적으로 (상류로부터 하부까지) 두 개의 하위부를 포함한다.

즉, 상류부 또는 주 기화기 수단은 (정화부를 포함하는) 서로 다른 밸브 시스템을 통해 부분(b)에서 공급된 액상 생성물을 수용하며, 이때 상기 액체는 배관을 통해 선택적으로 그러나 바람직하게는 기화기의 바닥에서 나오는 액체 및 가능한 잔여물을 정화하기 위한 액체 정화 시스템을 갖는 주 기화기의 (일반적으로) 바닥으로 공급된다. 주 기화기는 바람직하게는 열 제어되며 기화된 생성물은 주 기화기의 상부에서 (또는 주 기화기에 인접해서) 회수되고, 그 후 이런 기상은 배관을 통해 이런 생성물의 사용 지점까지 순환된다. 바람직하게는, (압력 센서를 경 유하는) 압력 제어부가 탱크의 하류에 위치된 이런 배관에는 (압력 조건에 따른) 적절한 크기의 증기 서지 탱크가 마련된다. 또한, 사용 지점에서 고객의 요구에 의해 제어되는 적절한 밸브 수단에는 라인에 대한 정화가 수행될 때 완화 시스템(습식 및/또는 건식)으로 생성물의 흐름을 유동시킬 수 있는 연결부가 하류에 마련된다.

물론, 압력 검출기 신호, 온도 검출기 신호, 고객으로부터의 생성물 신호에 대한 요구(예컨대, 반응기 세척), 경보 신호, 고갈 용기 신호, 정화 신호 등에 응답해서 밸브의 개폐를 제어하기 위해 PLC와 같은 전기 제어부가 사용된다.

이하, 본 발명의 서로 다른 실시예를 도면을 참조하여 설명하기로 하며, 도 1은 본 발명의 바람직한 실시예이고 도 2는 액체를 순환시키기 위해 펌프를 이용하는 다른 실시예이다.

도 1은 제1 실시예의 서로 다른 부분들과 하위 부분들을 도시한다.

벌크 저장 용기 및 압력 증진부

벌크 공급은 도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이 일반적으로 ISO 용기와 같은 대형 공급원 용기를 이용하여 달성된다. 이들 공급원 용기는 일반적으로 실외에 저장되어 주변 온도의 온도 변동을 겪게 된다. 낮은 실외 온도와 액상 벌크재의 회수를 보상하기 위해, 압력 증진 회로(10)가 기상을 생성하는 압력 증진 기화기(들)로 향하는 액상의 일부를 수용하여 벌크 용기의 헤드 공간으로 복귀시킨다. 이는 압력 증진 회로(벌크 탱크에 연결된 전기 기화기)이다. 이에 따라, 헤드 공간 압력은 액상 벌크재를 수 킬로미터 떨어져서 위치될 수 있는 (실내) 주 기화기 (들)로 전달하도록 구동할 수 있다.

진공/압력 정화는 오래된/신규의 공급원 용기를 분리/재연결하는 동안 N₂ 또는 다른 적절한 정화 가스를 이용하여 수행될 수 있다. 정화 작업은 공급원 용기에 대한 액체 및 가스 연결부 상에서 수행되어야 한다.

실외 액체 공급부

실외 액체 공급부는 여러 개의 고객 제조 설비로 공급하기 위해 수 킬로미터에 걸친 실외 환경의 온도 및 습도 변경을 겪을 수 있다. 배관이 극도로 높거나 낮은 온도로 가열되거나 냉각되는 것을 방지하기 위해 진공 자켓이나 절연체가 배관에 사용될 수 있다.

실내 기화기

액체 공급이 제조 설비의 내측에 도달할 때, 액체는 기화기(들)로 진입하여 열교환됨으로써 기상 생성물을 생성한다. 기화기(들)에 대한 히터 수단은 언제나 켜져 있을 수 있다. 기화기(들)의 상류에 위치된 밸브는 하류의 서지 탱크의 압력에 기초하여 개폐된다. 배압 조절기는 이중 목적을 위해 주 기화기의 바로 하류에서 사용된다. 고압으로 작동될 때, 배압 조절기는 가스 서지 탱크의 크기를 최소화시킬 뿐 아니라 기화기로 공급되는 액체를 단일한 상으로 유지하도록 돕는다.

또한, 공급되는 액체의 오염으로 인해 불순물 수준이 높아진 경우 기화기(들)의 바닥에 액체 정화부를 제공할 가능성이 있다. 이는 필요한 경우 공급원 재료를 기본적으로 일부 정화시킬 수 있도록 한다.

실내 증기 공급부

적색으로 도시된 기화기(들)로부터의 증기 공급 라인은 전압(forward pressure) 조절기까지 절연될 수 있다. 가열은 요구되는 가스와 유속에 다라 요구되거나 요구되지 않을 수 있다. 고객 유속 조건의 변화를 보상하기 위해 서지 탱크(30)가 마련된다. 고객이 운행하지 않고 다음 순간에 전체 설계 용량을 필요로 할 경우, 서지 탱크는 주 기화기(20)가 완전 전달 용량에 이를 때까지 공급하기 위한 크기를 갖는다. 고객이 완전 유동 조건으로 운행하다 생산을 완전 중단할 경우, 서지 탱크(30)에서 압력 센서(31)로 측정된 압력은 인증된 상한 압력보다 상승한다. 인증된 상한 압력은 이에 도달시 주 기화기(20)의 상류에 있는 밸브(32)의 폐쇄를 촉발한다. 이 경우 서지 탱크(30)는 기화기 내의 최대 액체 잔류량의 기화에 의해 생성되는 가스를 수용하기 위한 크기일 수 있다. 바람직하게는, 사용된 기화기는 폐쇄될 때 후방 유동을 허용함으로써 이런 사항을 감안하여 서지 탱크의 크기를 정할 필요가 없게 된다.

도 1에서, 상류에는 압력 증진 수단(1)을 포함하는 벌크 저장 수단이 마련되며, 벌크 저장 수단은 바람직하게는 (평판 디스플레이 패널에서) 내부가 대규모의 사용 용량으로 계획된 이소-용기와 같은 두 개의 용기(11, 12)를 포함한다. 이들 용기는 각각 계량기(13, 14) 위에 위치된다. 각각의 용기는 각각 상부에 기상 헤드 공간(16, 18)을 갖는 액체(15, 17)로 충전된다. 액체는 배관(19, 21)(택일적)을 통해 회수되어 밸브(22, 23, 24)와 배관(28)을 통해 유동하고 각각 밸브(25, 26, 27)와 배관(29)을 통해 한편으로는 실외 액체 공급부(2)의 일부인 배관(50)과 압력 증진 회로(10)에 액체(15 또는 17)를 공급하는 배관(40)으로 유동한다. 배관(40)은 밸브(42)와 배관(42)으로 연결되어 압력 증진 회로(10)의 기화기로 입력되며, 압력 증진 회로의 기화기는 압력을 받아 기화된 기상 생성물을 배관(43) 내에서 전달한다(압력 증진 회로는 예컨대 액체를 기화시켜서 가압 기상을 생성하기 위한 전기 가열 수단을 포함한다). 그 후, 기상 생성물은 밸브(44), 배관(46) 및 밸브(47)를 통해 액체(15) 상부의 기상 헤드 공간(16)으로 공급되어 용기(11) 내의 압력을 증진시키고, 각각 밸브(45), 배관(48) 및 밸브(49)를 통해 액체(17) 상부의 기상 헤드 공간(18)으로 공급되어 용기(12) 내의 압력을 증가시킨다. 본 시스템의 PLC 제어부(미도시)는 필요할 때 일 용기(11)로부터 다른 용기(12)로 또는 그 역으로의 절환을 허용한다[절환은 일반적으로 수위 검출에 의해 또는 각각의 용기 내에 여전히 수용된 액체의 체적을 지시하는 계량기(13, 14)를 사용하여 제어된다]. 배관 시스템은 필요할 때마다 배관을 정화하기 위한 서로 다른 밸브 시스템(체크 밸브, 폐쇄 밸브, 삼방 밸브)과, PLC 시스템에 의해 제어되어 라인을 개폐하기 위한 적어도 하나의 제어 밸브를 포함할 수 있다.

제2 부분 또는 액체 공급 수단(2)은 액체를 제1 부분[벌크 저장부(1)]에서 주 기화기(20)까지 운반하기 위해 적어도 하나의 공통 액체 공급 라인(50)을 포함한다. 이런 공통 라인(50)(단지 하나만이 도시됨)에는 기화기(20)[도 1의 3과 같은 기상 공급부와 여러 개의 기화기가 있을 수 있다]로의 공급을 위해 여러 개의 분지 라인(51, 52 등)이 연결된다. [일반적으로 제1 부분(1)과 같이] 일반적으로 이런 제2 부분(2)은 온도가 -20 ℃ 내지 80 ℃까지 변할 수 있는 실외에 위치된다. 이들 라인(50, 51, 52)도 또한 상기 라인부에 기상이 전혀 또는 사실상 전혀 존재하지 않도록 절연되어야 한다(필요한 경우 적절한 완화에 관련된 정화 밸브/체크 밸브가 적절한 경우 이들 라인 상에 마련될 수 있다).

제 3 부분 또는 증발기 및 기상 공급 수단(4)은 의무적이지 않지만 일반적으로 실내에 위치된다. 제3 부분은 일반적으로 (상류로부터 하부까지) 두 개의 하위부(4, 5)를 포함한다.

즉, 상류부(4) 또는 주 기화기 수단은 배관(52)으로부터 (정화부를 포함한) 서로 다른 밸브 시스템(53, 54, 55, 56)을 통해 공급되는 액상 생성물을 수용하며, 이때 상기 액체는 선택적으로 그러나 바람직하게는 기화기(20)의 바닥에 마련된 입구(61)에서 나오는 액체 및 가능한 잔여물을 정화하기 위한 액체 정화 시스템(58)을 갖는 주 기화기(20)의 (일반적으로) 바닥에 마련된 입구(61)로 배관(57)을 통해 공급된다. 주 기화기(20)는 열 제어되며 기화된 생성물은 주 기화기(20)의 상부에서 (또는 주 기화기에 인접해서) 회수되며 이런 기상은 그후 밸브(63, 64)와 배관(66)을 통해 직접적으로 이런 생성물의 사용 지점까지 순환되거나 바람직하게는 (압력 조건에 따른) 적절한 크기의 증기 서지 탱크(30)로 순환되며, 이때 기상 생성물은 증기 서지 탱크로부터 밸브 시스템[68, 69(압력 조절기), 70) 및 배관(71)을 통해 사용 지점(VMB)으로 전달될 수 있다.

물론, 검출기 등(59, 60, 65, 72, 31) 또는 도면 상에 특별히 지시되지 않은 다른 부분에 의해 전송되는 압력 검출기 신호, 온도 검출기 신호, 고객으로부터의 생성물 신호에 대한 요구(예컨대, 반응기 세척), 경보 신호, 고갈 용기 신호, 정화 신호 등에 응답해서 밸브의 개폐를 제어하기 위해 PLC(도 2에는 130으로 지시됨)와 같은 전기 제어부가 사용된다. 본 도면에는 (후술하는 다른 수단과 연계해서) 주 기화기까지의 액체 전달을 유지하기 위해 배압 조절기(64)가 사용된다.

도 2는 20과 같은 실내 기화기로 액체를 전달하기 위해 압력 증진 회로 대신 펌프(104)를 이용함으로써 동일한 기능을 달성하는 다른 실시예를 도시한다. 도 2에서, 동일한 장치는 도 1과 동일한 인용 부호를 갖는다. 펌프(104)는 밸브(101)와 배관(102)을 통해 공급을 받아서 밸브(105, 106) 내의 가압된 액체를 배관(57)으로 저달하며, PLC(130)는 132, 131, 134, 135, 136, 133, 140, 141, 142 등과 같이 다양한 센서, 밸브 등에서 나오는 신호를 제어한다.

도 1의 실시예에 비해, 본 실시예에서는 압력 증강 회로 수단이 마련되지 않고 펌프가 용기(바닥)으로부터 액체를 퍼올리기 위해 사용된다.

Claims (6)

1. 평판 디스플레이 패널 제조 위치 등으로 액체 암모니아와 같은 액화 생성물을 고유량으로 전달하기 위한 시스템이며, 상기 생성물을 액상으로 저장하되 상기 액체 생성물의 상부에 상기 생성물의 기상이 위치된 적어도 하나의 용기를 포함하는 액화 생성물의 벌크 저장 수단과, 상기 액체 생성물을 상기 벌크 저장 수단으로부터 주 기화기 수단까지 유동시킴과 동시에 상기 주 기화기 수단까지 전달되는 동안 상기 액체 생성물을 사실상 액체 형태로 유지하기 위한 액체 공급 전달 수단과, 제조 위치에서 제조된 기상 생성물의 요구에 반응해서 상기 액체 생성물을 기화시키기 위한 주 기화기 수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 액화 생성물 고유량 전달 시스템.
2. 제1항에 있어서, 압력 증진 회로 수단은 벌크 저장 수단의 일부로 마련되되, 그 일 단부는 액체 생성물을 수용하고 타 단부는 관련된 적어도 하나의 용기에 의해 액체 공급 전달 수단으로 사실상 액체 생성물만을 공급하기에 충분한 압력을 상기 액체 상부에 유지하기 위해 액체 생성물을 저장하는 용기 중 적어도 하나의 상부의 공간으로 공급되는 기상 생성물을 전달하는 것을 특징으로 하는 액화 생성물 고유량 전달 시스템.
3. 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 주 기화기 수단의 출구는 밸브 시스템을 통해 제조 위치에서의 요구에 관련된 적절한 크기를 갖는 증기 서지 탱크에 연결되는 것을 특징으로 하는 액화 생성물 고유량 전달 시스템.
4. 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서, 제조 위치의 사용 지점까지 액체 및/또는 기체 생성물의 유동을 제어하기 위한 PLC 수단을 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는 액화 생성물 고유량 전달 시스템.
5. 제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서, 주 기화기의 하류에 위치되어 용기로부터 주 기화기까지 액체 전달을 제공하도록 기여하는 수단인 배압 조절 수단을 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는 액화 생성물 고유량 전달 시스템.
6. 제5항에 있어서, 주 기화기의 하류에 위치된 서지 탱크를 포함하되, 배압 조절 수단은 상기 서지 탱크의 상류에 위치되는 것을 특징으로 하는 액화 생성물 고유량 전달 시스템.

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