KR20050010735A - 디스플레이 코팅장치의 베이스 - Google Patents
디스플레이 코팅장치의 베이스 Download PDFInfo
- Publication number
- KR20050010735A KR20050010735A KR1020040114429A KR20040114429A KR20050010735A KR 20050010735 A KR20050010735 A KR 20050010735A KR 1020040114429 A KR1020040114429 A KR 1020040114429A KR 20040114429 A KR20040114429 A KR 20040114429A KR 20050010735 A KR20050010735 A KR 20050010735A
- Authority
- KR
- South Korea
- Prior art keywords
- suction hole
- air suction
- substrate
- display
- air
- Prior art date
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J9/00—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture, installation, removal, maintenance of electric discharge tubes, discharge lamps, or parts thereof; Recovery of material from discharge tubes or lamps
- H01J9/20—Manufacture of screens on or from which an image or pattern is formed, picked up, converted or stored; Applying coatings to the vessel
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
- B05C—APPARATUS FOR APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
- B05C11/00—Component parts, details or accessories not specifically provided for in groups B05C1/00 - B05C9/00
- B05C11/02—Apparatus for spreading or distributing liquids or other fluent materials already applied to a surface ; Controlling means therefor; Control of the thickness of a coating by spreading or distributing liquids or other fluent materials already applied to the coated surface
- B05C11/08—Spreading liquid or other fluent material by manipulating the work, e.g. tilting
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J2209/00—Apparatus and processes for manufacture of discharge tubes
- H01J2209/01—Generalised techniques
- H01J2209/012—Coating
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J2209/00—Apparatus and processes for manufacture of discharge tubes
- H01J2209/01—Generalised techniques
- H01J2209/012—Coating
- H01J2209/015—Machines therefor
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Devices For Indicating Variable Information By Combining Individual Elements (AREA)
Abstract
본 발명은 디스플레이 코팅 장치의 베이스에 관한 것이다.
본 발명은 평탄면을 갖고 피 코팅품인 PDP(Plasma Display Panel)의 뒷면이 길이 방향으로 놓여지는 기판; 상기 기판에 수직 방향으로 관통된 에어 흡입홀; 상기 에어 흡입홀과 연결된 에어 공급관; 및 상기 에어 공급관과 연결 설치되며 진공 흡입력을 발생시키는 진공펌프를 포함하는 디스플레이 코팅 장치의 베이스에 있어서, 상기 에어 흡입홀의 내부에 구비되며 관축 방향으로 에어 흡입홀과 연결되는 제2 에어 흡입홀이 형성된 관체 형상의 케이스가 고정 설치된다.
따라서, 디스플레이 코팅장치의 베이스에서 특히 석재로 제작된 기판의 상측에 놓여지는 피 코팅품인 PDP를 진공 흡입력에 의해 흡착 고정하기 위한 에어 흡입홀의 구조를 개선하여 기판의 상측에 놓여진 피 코팅품을 진공흡착 후 해지할 때 에어 압이 외부로 분출되더라도 그 내부에 산재된 돌가루가 외부로 분출되는 에어 압과 함께 분출되지 않는다.
Description
본 발명은 디스플레이 코팅장치의 베이스에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 디스플레이 코팅장치의 베이스에서 특히 석재로 제작된 기판의 상측에 놓여지는 피 코팅품인 PDP를 진공 흡입력에 의해 흡착 고정하기 위한 에어 흡입홀의 구조를 개선하여 기판의 상측에 놓여진 피 코팅품을 진공흡착 후 해지할 때 에어 압이 외부로 분출되더라도 그 내부에 산재된 돌가루가 외부로 분출되는 에어 압과 함께 분출되지 않도록 한 디스플레이 코팅 장치의 베이스에 관한 것이다.
디스플레이 장치 중 가장 기초적인 CRT는 1887년 브라운이 최초로 전자관(음극선관 또는 브라운관이라고도 한다)을 발명하면서 시작하여 현재까지 다양한 장치에서 이용되고 있지만, 최근에는 LCD와 PDP라는 디스플레이 장치의 기술이 발달하여 CRT를 뒤로한 채 디스플레이 시장을 평정하며 양분할 정도로 비약적인 발전이 지속되고 있다.
상기한, LCD(Liquid Crystal Display)의 장점은 저소비 전력으로 장시간의 전지구동이 가능한 에너지 절약형이며, 저전압에서 동작하므로 직접 IC 구동이 가능하고 구동 전자회로의 소형화, 간략화가 가능하며, 소자가 얇고 또한 대형표시에서 부터 소형표시까지 가능하여 휴대형(portable)기기에 적합하다는 장점과, 수광형 표시이므로 밝은 장소에서도 표시가 선명하며 컬러화가 쉽기 때문에 표시기능의 확대, 다양화가 이루어질 수 있다는 장점이 있다.
한편, PDP(Plasma Display Panel)는 기체 방전 현상을 이용한 표시소자이므로 기체 방전(Gas Discharge Display) 소자라고도 부르는데, 이와 같은 PDP는 현재 활발히 연구되고 있는 LCD(Liquid Crystal Display), FED(Field Emission Display), ELD(Electro luminescence Display)와 같은 여러 분야의 평판형 디스플레이 중에서도, 대형화에 적합한 많은 장점을 가지고 있다.
이와 같은 PDP의 장점은, 전극간에 전압이 인가되더라도 방전 개시 전압 이하의 인가 전압에 대해서는 방전이 일어나지 않는 강한 비 선형 성을 갖는다는 점과, 이전 상태의 조건에 의해 다음 상태가 결정되는 기억 기능(Memory function)을 이용한 메모리 구동방식에 초대형의 패널에 대해서도 휘도의 저하 없이 고화질의 화상을 표현할 수 있으며, 유전막 위에 스퍼터링 특성이 좋은 MgO와 같은 보호막을 이용하여 수명을 연장시킴으로써 원리적으로는 약 10만 시간 이상의 수명 연장이 가능하며, PDP의 기판 유리로서는 일반적으로 널리 이용되는 Soda-lime glass를 사용함은 물론 보편적인 저가의 재질로써 전극, 유전막 및 격벽 등을 제조 할 수 있으므로 대량의 생산 공정 기술이 확립한다면 저가의 생산 단가로 양산될 수 있다는 등의 장점이 있다.
한편, 상기와 같은 디스플레이 장치는 최근 들어 40인치 이상은 이미 널리 보급되고 점차 크기가 확대되어 70인치 이상의 제품도 생산되고 있지만 이들은 공통적으로 고정밀도를 요구하는 제품이므로 상술한 디스플레이 장치뿐만 아니라 집약된 반도체 칩이나 웨이퍼 등을 별도의 검사장치에 의해 검사하거나 코팅장비로 코팅한 후 제품의 출시가능 여부 및 불량 여부를 판단한다.
이러한, 고 정밀도를 요구하는 제품들은 최종적으로는 안정적으로 고정된 베이스에서 조금의 흔들림이 발생되지 않고 X축, Y축 방향으로 이동되는 코팅 분사노즐로 이루어진 코팅장치에 의해 그 표면이 코팅된다.
도 1에는 이러한 디스플레이 장치인 LCD나 PDP 또는 반도체 장치를 코팅하기 위한 코팅장치의 일 예를 보인 사시도가 도시되어 있다.
도면에 표현된 바와 같이, 디스플레이 코팅장치는 평탄하게 제작된 기판(100)의 상측에 수직 방향으로 수직 프레임(200)이 설치된다.
또 상기 수직 프레임(200)을 매개로 그 상측에는 수평 프레임(300)이 가로질러 설치되고, 수평 프레임(300)의 하측에는 코팅장치(400)가 설치된다.
또 기판(100)의 하측에는 기판의 상측에 놓여진 피 코팅품을 고정 지지하기 위한 고정장치가 설치된다.
상기 고정장치(600)는 상기 기판(100)에 수직 방향으로 관통된 다수의 에어 흡입홀(610)과, 상기 에어 흡입홀(610)과 연결된 에어 공급관(620) 그리고 상기 에어 흡입관(620)과 에어 흡입홀(610)을 통하여 진공 흡입력을 발생시키는 진공펌프(630)로 이루어진다.
도면 중 미 설명문자 "P"는 피 코팅품인 PDP이다.
따라서, 진공펌프(630) 또는 컴프레셔가 구동되며 진공 흡입력이 발생되고 그 흡입력은 에어 흡입관(620)과 에어 흡입홀(610)을 통하여 기판(100)의 상측에 놓여진 피 코팅 품인 PDP에 부여되어 진공 흡입력에 의해 피 코팅 품을 고정하게 된다.
반면, 피 코팅품에 대해 코팅을 완료한 후 진공펌프(630)의 동작을 정지시키면 진공펌프(630)의 진공 흡입력은 없어지며 그 흡입력은 오히려 에어를 분출하는 힘으로 전환되어 기판(100)의 상측에 놓여진 피 코팅품을 순간적으로 부상시키게 된다.
그러나, 상기와 같은 고정장치(600)의 동작에 있어서는 다음과 같은 문제점이 발생되었다.
즉, 기판(100)은 석재로 제작되고 기판(100)에 관통되어 진공 흡입력을 부여하는 에어 흡입홀(610)은 석재로 구비된 기판(100)을 직접 가공한 구조에 의해 진공펌프(630)를 구동시킨 후 정지시키게되면 에어 흡입홀(610)의 내부는 진공상태를 유지하다 진공상태가 해지되면서 에어 흡입홀(610)의 외측으로 에어 압이 분출되며 에어 흡입홀(610)의 내주면에 산재되어 있던 돌가루 등이 외부로 분출되는 문제점이 있었다.
이와 같이 분출되는 돌가루는 피 코팅품인 PDP 등의 배면에 충격을 가하며 스크래치를 유발시키거나 제품의 내부에 돌가루등이 유입되어 제품을 손상시키는 요인이 되는 문제점이 있었다.
따라서, 본 발명이 해결하고자 하는 기술적 과제, 즉 본 발명의 목적은, 종래와 같은 디스플레이 코팅장치의 베이스에서 특히 석재로 제작된 기판의 상측에 놓여지는 피 코팅품인 PDP를 진공 흡입력에 의해 흡착 고정하기 위한 에어 흡입홀의 구조를 개선하여 기판의 상측에 놓여진 피 코팅품을 진공흡착 후 해지할 때 에어 압이 외부로 분출되는 분출력이 발생되더라도 에어 흡입홀의 내부에 산재된 돌가루가 분출력과 함께 외부로 분출되지 않도록 한 디스플레이 코팅 장치의 베이스를 제공하는데 있다.
도 1은 본 발명이 적용되는 일반적인 디스플레이 코팅장치의 일 예를 보인 사시도
도 2는 일반적인 디스플레이 코팅장치에서 고정장치가 설치된 상태를 보인 대략적인 구성도
도 3은 본 발명이 설치된 상태를 보인 단면 구성도
도 4는 본 발명의 변형 예를 보인 단면 구성도
도 5는 본 발명에서 적용되는 제3 에어 흡입홀을 보인 평면도
*** 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명 ***
100;기판 610;에어 흡입홀
620;에어 공급관 630;진공 펌프
700;케이스 710;제2 에어 흡입홀
720;제3 에어 흡입홀
상기한 목적을 달성하기 위하여 본 발명은, 평탄면을 갖고 피 코팅품인 PDP(Plasma Display Panel)의 뒷면이 길이 방향으로 놓여지는 기판; 상기 기판에 수직 방향으로 관통된 에어 흡입홀; 상기 에어 흡입홀과 연결된 에어 공급관; 및 상기 에어 공급관과 연결 설치되며 진공 흡입력을 발생시키는 진공펌프를 포함하는 디스플레이 코팅 장치의 베이스에 있어서, 상기 에어 흡입홀의 내부에 구비되며 관축 방향으로 에어 흡입홀과 연결되는 제2 에어 흡입홀이 형성된 관체 형상의 케이스가 고정 설치된 것을 특징으로 하는 디스플레이 코팅 장치의 베이스를 제공한다.
본 발명의 목적을 효과적으로 구현하기 위한 제1 구성 예는, 상기 케이스는 그 상단면이 상기 기판의 상측면과 일치하는 것이 효과적이다.
본 발명의 목적을 효과적으로 구현하기 위한 제2 구성 예는, 상기 기판의 상측면으로 노출된 에어 흡입홀은 적어도 상기 에어 흡입홀의 중심을 기준으로 대향된 슬릿 형상의 제3 흡입홀과 연결되며 관로를 형성하는 것이 효과적이다.
본 발명의 목적을 효과적으로 구현하기 위한 제3 구성 예는, 상기 제3 흡입홀은 상기 에어 흡입홀의 중심을 기준으로 방사상으로 배열된 것이 효과적이다.
본 발명의 목적을 효과적으로 구현하기 위한 제4 구성 예는, 상기 제3 흡입홀은 그 길이가 서로 다른 것이 효과적이다.
본 발명의 목적을 효과적으로 구현하기 위한 제5 구성 예는, 상기 케이스는 매끄러운 표면을 갖는 금속 또는 합성수지 중 적어도 어느 한 가지로 구비된 것이 효과적이다.
본 발명의 목적을 효과적으로 구현하기 위한 제6 구성 예는, 상기 케이스는 하단면이 원주 방향으로 연장되어 환상의 테두리를 형성하고, 상기 테두리는 상기 기판에 대해 볼트 또는 접착부재 중 적어도 어느 한 가지로 고정된 것이 효과적이다.
이하에서는 상기의 목적을 달성하는 본 발명의 바람직한 실시 예를 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명한다.
설명의 편의를 위해 종래와 동일한 부분, 부재에 대해서는 종래와 동일한 부호를 부여하여 설명한다.
부연하면, 본 발명에서 적용되는 기판은 평판 형상으로 형성될 수도 있고, 본 출원인이 선 출원중인 2004년 특허출원 58743호의 기판 형상도 적용 가능함은 물론이다.
도 1은 본 발명이 적용되는 일반적인 디스플레이 코팅 장치의 일 예를 보인 사시도이고, 도 3 내지 도 4에는 본 발명의 실시 예를 보인 단면도가 도시되어 있고, 도 5에는 본 발명에서 적용되는 제3 흡입홀의 평면도가 도시되어 있다.
이에 도시된 바와 같이, 본 발명이 적용되는 디스플레이 코팅 장치의 베이스는 평탄면을 갖고 피 코팅품인 PDP(Plasma Display Panel)의 뒷면이 길이 방향으로놓여지는 기판(100)이 구비된다.
상기 기판(100)에는 수직 방향으로 에어 흡입홀(610)이 관통되고, 상기 에어 흡입홀(610)은 에어 공급관(620)과 연결되고, 상기 에어 공급관(620)은 진공 흡입력을 발생시키는 진공펌프(630)와 연결 설치되는데 이들 구성은 종래의 기술에서 설명한 바와 대동소이하다.
다만 여기서 본 발명의 지배적인 특징부는, 상기 에어 흡입홀(610)의 내부에 는 관축 방향으로 에어 흡입홀(610)과 연결되는 제2 에어 흡입홀(710)이 형성된 관체 형상의 케이스(700)가 고정 설치된다는 점이다.
상기 케이스(700)는 그 상단면이 도 3에서 보는 바와 같이 기판(100)의 내측에 위치될 수도 있지만, 도 4와 같이 기판(100)의 상측면과 일치하도록 설치될 수도 있다.
또 상기 기판(100)의 상측면으로 노출된 에어 흡입홀(610)은 적어도 상기 에어 흡입홀(610)의 중심을 기준으로 대향되거나, 방사상으로 연결된 다수의 슬릿 형상의 제3 흡입홀(720)과 연결되며 관로를 형성할 수도 있고, 그 길이를 다르게 형성할 수도 있다.(도 5 참조)
또한 상기 케이스(700)는 부스러기가 발생되지 않는 매끄러운 표면을 갖는 금속 또는 합성수지 중 적어도 어느 한 가지로 구비될 수 있지만, 바람직하게는 금속 특히 스테인레스 스틸로 구비되는 것이 효과적이다.
상기와 같이 구성된 본 발명의 동작에 대해 설명한다.
즉, 본 발명이 적용된 기판(100)의 상측에 피 코팅품인 PDP 등을 올려놓은상태에서 진공펌프(630) 또는 컴프레셔를 구동시키면 진공 흡입력이 발생되고 그 진공 흡입력은 에어 흡입관(620)과 에어 흡입홀(610)을 통하여 기판(100)의 상측에 놓여진 피 코팅품인 PDP의 배면에 부여되어 진공 흡입력에 의해 피 코팅품을 고정하게 된다.
물론, 피 코팅품에 대해 코팅을 완료한 후 진공펌프(630)의 동작을 정지시키면 진공펌프(630)의 진공 흡입력은 없어지며 그 흡입력은 오히려 에어를 분출하는 힘으로 전환되어 기판(100)의 상측에 놓여진 피 코팅품을 순간적으로 부상시키게 되는데 이들 동작은 종래와 동일하다.
다만, 본 발명에서의 특징부는 기판(100)에 매입 설치되어 진공 흡입력을 부여하는 케이스(700)는 그 내부면이 매끄러운 금속재 또는 합성수지재로 제작된 구조에 의해 진공펌프(630)를 구동시킨 후 정지시킬 때 에어 흡입홀(610)의 외측으로 에어 압이 분출되더라도 에어 흡입홀(610)을 통하여 돌가루 등이 외부로 분출되지 않는다는 점이다.
따라서, 피 코팅품인 PDP 등의 배면에 돌가루 등이 분출되며 별도의 충격을 가하지 않게 된다는 점이다.
이와 같이, 본 발명이 속하는 기술분야의 당업자는 본 발명이 그 기술적 사상이나 필수적 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 실시 예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적인 것이 아닌 것으로서 이해해야만 한다.
본 발명의 범위는 상기 상세한 설명보다는 후술하는 특허청구범위에 의하여나타내어지며, 특허청구범위의 의미 및 범위 그리고 그 등가개념으로부터 도출되는 모든 변경 또는 변형된 형태가 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 한다.
이상에서 상세히 설명한 바와 같이 본 발명에 의하면, 디스플레이 코팅장치의 베이스에서 특히 석재로 제작된 기판의 상측에 놓여지는 피 코팅품인 PDP를 진공 흡입력에 의해 흡착 고정하기 위한 에어 흡입홀의 구조를 개선하여 기판의 상측에 놓여진 피 코팅품을 진공흡착 후 해지할 때 에어 압이 외부로 분출되는 분출력을 가지며 외부로 분출되더라도 에어 흡입홀에 산재된 돌가루가 외부로 함께 분출되지 않는 효과가 있다.
Claims (7)
- 평탄면을 갖고 피 코팅품인 PDP(Plasma Display Panel)의 뒷면이 길이 방향으로 놓여지는 기판; 상기 기판에 수직 방향으로 관통된 에어 흡입홀; 상기 에어 흡입홀과 연결된 에어 공급관; 및 상기 에어 공급관과 연결 설치되며 진공 흡입력을 발생시키는 진공펌프를 포함하는 디스플레이 코팅 장치의 베이스에 있어서,상기 에어 흡입홀의 내부에 구비되며 관축 방향으로 에어 흡입홀과 연결되는 제2 에어 흡입홀이 형성된 관체 형상의 케이스가 고정 설치된 것을 특징으로 하는 디스플레이 코팅 장치의 베이스.
- 제 1 항에 있어서,상기 케이스는 그 상단면이 상기 기판의 상측면과 일치하는 것을 더 포함하는 디스플레이 코팅 장치의 베이스.
- 제 1 항에 있어서,상기 기판의 상측면으로 노출된 에어 흡입홀은 적어도 상기 에어 흡입홀의 중심을 기준으로 대향된 슬릿 형상의 제3 흡입홀과 연결되며 관로를 형성하는 것을 더 포함하는 디스플레이 코팅 장치의 베이스.
- 제 3 항에 있어서,상기 제3 흡입홀은 상기 에어 흡입홀의 중심을 기준으로 방사상으로 배열된 것을 더 포함하는 디스플레이 코팅 장치의 베이스.
- 제 3 항에 있어서,상기 제3 흡입홀은 그 길이가 서로 다른 것을 포함하는 디스플레이 코팅 장치의 베이스.
- 제 1 항에 있어서,상기 케이스는 매끄러운 표면을 갖는 금속 또는 합성수지 중 적어도 어느 한 가지로 구비된 것을 특징으로 하는 디스플레이 코팅 장치의 베이스.
- 제 1 항에 있어서,상기 케이스는 하단면이 원주 방향으로 연장되어 환상의 테두리를 형성하고,상기 테두리는 상기 기판에 대해 볼트 또는 접착부재 중 적어도 어느 한 가지로 고정된 것을 더 포함하는 디스플레이 코팅 장치의 베이스.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020040114429A KR100727865B1 (ko) | 2004-12-28 | 2004-12-28 | 디스플레이 코팅장치의 베이스 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020040114429A KR100727865B1 (ko) | 2004-12-28 | 2004-12-28 | 디스플레이 코팅장치의 베이스 |
Related Child Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
KR20-2004-0037115U Division KR200380683Y1 (ko) | 2004-12-28 | 2004-12-28 | 디스플레이 코팅장치의 베이스 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
KR20050010735A true KR20050010735A (ko) | 2005-01-28 |
KR100727865B1 KR100727865B1 (ko) | 2007-06-14 |
Family
ID=37223095
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
KR1020040114429A KR100727865B1 (ko) | 2004-12-28 | 2004-12-28 | 디스플레이 코팅장치의 베이스 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
KR (1) | KR100727865B1 (ko) |
Family Cites Families (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2004265962A (ja) | 2003-02-28 | 2004-09-24 | Hirata Corp | 基板回転装置 |
-
2004
- 2004-12-28 KR KR1020040114429A patent/KR100727865B1/ko not_active IP Right Cessation
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR100727865B1 (ko) | 2007-06-14 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US7275577B2 (en) | Substrate bonding machine for liquid crystal display device | |
US7426010B2 (en) | Method for fabricating LCD | |
EP2105942A3 (en) | Plasma display panel and method for manufacturing same | |
US6800008B2 (en) | Method and apparatus for removing film and method for manufacturing display panel | |
KR200380683Y1 (ko) | 디스플레이 코팅장치의 베이스 | |
KR100727865B1 (ko) | 디스플레이 코팅장치의 베이스 | |
KR20070056316A (ko) | 기판 흡착용 정전척과 이를 이용한 액정표시소자용 기판합착 장치와 기판 합착 방법 | |
US5989450A (en) | Etchant for etching glass substrate | |
US20030147039A1 (en) | Method for fabricating liquid crystal display | |
KR100652051B1 (ko) | 액정표시소자 제조 공정용 기판 합착 장치 | |
US20070044908A1 (en) | Method of Forming Spacers on a Substrate | |
TW589243B (en) | A robot preventing static electro damage | |
KR20120133511A (ko) | 광학접착필름 접착장치 | |
TWI651555B (zh) | 製造顯示模組之設備 | |
KR101470921B1 (ko) | 기판 합착장치 및 기판 합착 방법 | |
JP4435506B2 (ja) | 電界放出ディスプレイの支持柱の設置構造と支持柱の設置方法 | |
KR102562341B1 (ko) | 척 시스템 | |
KR20070103120A (ko) | 광학 부재 부착 방법 및 장치 | |
KR101468540B1 (ko) | 확장된 가스분배판을 포함하는 가스 분배 조립체 및 화학 기상 증착 장치 | |
JPH10110891A (ja) | ガラス基板の支持装置 | |
KR200371130Y1 (ko) | 디스플레이 검사장치의 베이스 | |
KR100921444B1 (ko) | 플라즈마 디스플레이 광고 패널 및 그 제조 방법 | |
CN103794434A (zh) | 等离子显示屏的制备方法及由其制得的等离子显示屏 | |
KR100703197B1 (ko) | 디스플레이 검사장치의 베이스 지지장치 | |
KR200371131Y1 (ko) | 디스플레이 검사장치의 베이스 지지장치 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A201 | Request for examination | ||
G15R | Request for early opening | ||
E902 | Notification of reason for refusal | ||
E701 | Decision to grant or registration of patent right | ||
GRNT | Written decision to grant | ||
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20130607 Year of fee payment: 7 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20140528 Year of fee payment: 8 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20150605 Year of fee payment: 9 |
|
LAPS | Lapse due to unpaid annual fee |