KR200468035Y1 - 반도체 소자들을 픽업하기 위한 장치 - Google Patents

Abstract

반도체 소자들을 픽업하기 위한 장치에서, 상기 장치는 고정 프레임과, 수평 방향으로 이동 가능하도록 상기 고정 프레임에 결합된 가동 프레임과, 상기 고정 프레임과 상기 가동 프레임에 각각 장착되며 반도체 소자들을 각각 픽업하기 위한 피커들과, 상기 고정 및 가동 프레임들 중 어느 하나에 장착되며 경사면을 갖는 캠블록과, 상기 경사면 상에 배치된 롤러와, 상기 고정 및 가동 프레임들 중 나머지 하나에 장착되며 상기 롤러와 연결되고 상기 피커들 사이의 간격을 조절하기 위하여 상기 롤러를 수직 방향으로 이동시키는 구동부를 포함한다.

Description

반도체 소자들을 픽업하기 위한 장치{APPARATUS FOR PICKING UP SEMICONDUCTOR DEVICES}

본 고안의 실시예들은 반도체 소자들을 픽업하기 위한 장치에 관한 것이다. 보다 상세하게는, 반도체 소자들을 테스트 핸들러 등과 같은 반도체 장치 제조 설비의 트레이들 사이에서 이송하기 위하여 상기 반도체 소자들을 픽업하는 장치에 관한 것이다.

집적 회로 소자들과 같은 반도체 소자들은 일반적으로 실리콘웨이퍼와 같은 기판 상에 일련의 반복적인 미세 처리 공정들에 의해 형성될 수 있다. 예를 들면, 기판 상에 막을 형성하는 증착 공정, 상기 막을 특정 패턴들로 형성하기 위한 식각 공정, 상기 패턴들에 전기적인 특성들을 부여하기 위한 이온 주입 공정 또는 확산 공정, 상기 패턴들이 형성된 기판으로부터 불순물들을 제거하기 위한 세정 및 린스 공정 등을 반복적으로 수행함으로써 다양한 형태의 반도체 소자들이 기판 상에 형성될 수 있다.

상기와 같이 형성된 반도체 소자들은 다양한 테스트 과정들을 통해 동작 특성들이 검사된 후 출하된다. 테스트 핸들러는 상기 반도체 소자들을 검사하기 위하여 상기 반도체 소자들을 테스트 챔버로 이송한다. 특히, 상기 반도체 소자들은 커스터머 트레이로부터 버퍼 트레이를 경유하여 테스트 트레이로 이송되며, 상기 테스트 챔버에서 검사된 반도체 소자들은 테스트 트레이로부터 버퍼 트레이를 경유하여 커스터머 트레이로 이송된다.

테스트 핸들러는 상기 트레이들 사이에서 반도체 소자들을 이송하기 위한 픽업 장치를 구비할 수 있다. 상기 픽업 장치는 반도체 소자들을 픽업하기 위한 다수의 피커들을 포함할 수 있으며, 상기 커스터머 트레이와 테스트 트레이 사이에서 상기 반도체 소자들을 이송하기 위하여 사용될 수 있다.

한편, 상기 커스터머 트레이와 테스트 트레이의 피치가 서로 다르기 때문에 상기 픽업 장치는 상기 피커들 사이의 간격을 조절하기 위한 메커니즘을 포함할 수 있다. 일 예로서, 본 출원인에 의해 2007년 5월 22일자로 출원되고 2008년 11월 26일자로 공개된 한국공개특허 제10-2008-0102746호에는 간격안내홈이 형성된 캠플레이트 형태의 간격조절부재를 사용하여 다수의 피커들 사이의 간격을 조절하는 픽업장치가 개시되어 있다.

특히, 상기 픽업 장치는 복수의 제1 피커들과 복수의 제2 피커들을 구비할 수 있으며, 상기 제2 피커들은 상기 제1 피커들에 대하여 제1 수평 방향으로 이동 가능하도록 서로 결합될 수 있다. 상기 제1 피커들과 제2 피커들은 가이드 부재와 제1 구동부에 의해 상기 제1 수평 방향으로 간격이 조절될 수 있으며, 또한 상기 제1 및 제2 피커들은 캠플레이트와 제2 구동부에 의해 제2 수평 방향으로 간격이 조절될 수 있다.

그러나, 최근 반도체 소자들의 종류가 다양해짐에 따라 상기 트레이들의 소켓 사이즈 및 상기 소켓들 사이의 간격이 매우 다양하게 변경되고 있으며, 이에 대응하기 위하여 새로운 형태의 픽업 장치가 요구되고 있다.

본 고안의 실시예들은 반도체 소자들을 픽업하기 위한 피커들 사이의 간격을 보다 자유롭게 조절할 수 있는 새로운 형태의 반도체 소자 픽업 장치를 제공하는데 그 목적이 있다.

상기 목적을 달성하기 위한 본 고안의 일 측면에 따르면, 반도체 소자 픽업 장치는 고정 프레임과, 수평 방향으로 이동 가능하도록 상기 고정 프레임에 결합된 가동 프레임과, 상기 고정 프레임과 상기 가동 프레임에 각각 장착되며 반도체 소자들을 각각 픽업하기 위한 피커들과, 상기 고정 및 가동 프레임들 중 어느 하나에 장착되며 경사면을 갖는 캠블록과, 상기 경사면 상에 배치된 롤러와, 상기 고정 및 가동 프레임들 중 나머지 하나에 장착되며 상기 롤러와 연결되고 상기 피커들 사이의 간격을 조절하기 위하여 상기 롤러를 수직 방향으로 이동시키는 구동부와, 상기 고정 프레임과 상기 가동 프레임 사이에 연결되며 상기 피커들 사이의 간격을 감소시키는 방향으로 탄성 복원력을 인가하는 탄성 부재를 포함할 수 있다.

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본 고안의 실시예들에 따르면, 상기 구동부는 공압 또는 유압 실린더를 포함할 수 있으며 상기 롤러는 브래킷을 통하여 상기 구동부의 실린더 로드에 장착될 수 있다.

상기 목적을 달성하기 위한 본 고안의 다른 측면에 따르면, 반도체 소자 픽업 장치는 수직 방향으로 배치된 제1 베이스 플레이트를 포함하는 고정 프레임과, 상기 제1 베이스 플레이트와 마주하도록 상기 제1 베이스 플레이트로부터 제1 수평 방향으로 이격된 제2 베이스 플레이트를 포함하며, 상기 제1 수평 방향으로 이동 가능하도록 상기 고정 프레임에 결합된 가동 프레임과, 상기 제1 수평 방향에 대하여 수직하는 제2 수평 방향으로 배열되도록 상기 제1 및 제2 베이스 플레이트들에 각각 장착되며 반도체 소자들을 각각 픽업하기 위한 제1 및 제2 피커들과, 상기 고정 및 가동 프레임들 중 어느 하나에 장착되며 경사면을 갖는 캠블록과, 상기 경사면 상에 배치된 롤러와, 상기 고정 및 가동 프레임들 중 나머지 하나에 장착되며 상기 롤러와 연결되고 상기 제1 수평 방향으로 상기 제1 피커들과 제2 피커들 사이의 간격을 조절하기 위하여 상기 롤러를 상기 경사면을 따라 이동시키는 구동부를 포함할 수 있다.

본 고안의 실시예들에 따르면, 상기 반도체 소자 픽업 장치는 상기 제1 및 제2 베이스 플레이트들에 각각 인접하도록 배치되며 상기 제2 수평 방향으로 상기 제1 피커들 및 제2 피커들 사이의 간격을 조절하기 위하여 서로 다른 방향으로 연장하는 캠슬롯들을 각각 구비한 제1 및 제2 캠플레이트들과, 상기 캠슬롯들 내에 각각 배치되어 상기 제1 피커들 및 제2 피커들에 연결되는 제2 롤러들과, 상기 제1 및 제2 캠플레이트들을 수직 방향으로 이동시키기 위한 제2 구동부들을 더 포함할 수 있다.

본 고안의 실시예들에 따르면, 상기 반도체 소자 픽업 장치는 상기 제2 구동부들과 연결되는 이동 플레이트들을 더 포함할 수 있으며, 상기 제1 및 제2 캠플레이트들은 상기 이동 플레이트들에 각각 장착될 수 있다.

본 고안의 실시예들에 따르면, 상기 반도체 소자 픽업 장치는 상기 캠블록에 인접하도록 상기 제1 또는 제2 캠플레이트에 장착되며 상기 캠블록보다 작은 경사각을 갖도록 형성된 제2 경사면을 갖는 제2 캠블록을 더 포함할 수 있으며, 상기 롤러는 상기 제2 구동부들 중 어느 하나에 의해 상기 제2 캠블록이 상기 캠블록에 인접하도록 위치된 경우 상기 구동부에 의해 상기 제2 경사면을 따라 이동되도록 구성될 수 있다.

본 고안의 실시예들에 따르면, 상기 제2 캠블록은 마운팅 브래킷을 통하여 상기 제1 또는 제2 캠플레이트에 장착될 수 있다.

상술한 바와 같은 본 고안의 실시예들에 따르면, 서로 평행하게 배열되는 제1 피커들과 제2 피커들 사이의 제1 수평 방향 제1 간격과 제2 수평 방향 제2 간격은 제1 및 제2 캠플레이트들 및 제1 및 제2 캠블록들에 의해 용이하게 조절될 수 있다. 특히, 상기 제1 및 제2 캠블록들에 의하여 서로 다른 간격으로 상기 제2 간격이 조절될 수 있으므로 상기 반도체 소자 픽업 장치의 운용 효율을 더욱 향상시킬 수 있다.

또한, 상기 제1 및 제2 캠플레이트들과 상기 제2 캠블록들은 용이하게 교체 가능하도록 이동 플레이트들과 마운팅 브래킷에 장착되므로 반도체 소자들을 수납하기 위한 트레이들의 소켓 간격 변화에 용이하게 대처할 수 있다.

도 1은 본 고안의 일 실시예에 따른 반도체 소자 픽업 장치를 설명하기 위한 개략적인 정면도이다.
도 2는 도 1에 도시된 반도체 소자 픽업 장치의 제1 구동부를 설명하기 위한 개략적인 평면도이다.
도 3 및 도 4는 도 1에 도시된 반도체 소자 픽업 장치를 설명하기 위한 개략적인 측면도들이다.
도 5는 도 1에 도시된 반도체 소자 픽업 장치를 설명하기 위한 개략적인 정면도이다.
도 6 및 도 7은 도 3 및 도 4에 도시된 제2 캠블록을 이용하여 제1 및 제2 피커들 사이의 간격을 조절하는 방법을 설명하기 위한 개략적인 측면도들이다.

이하, 본 고안은 본 고안의 실시예들을 보여주는 첨부 도면들을 참조하여 더욱 상세하게 설명된다. 그러나, 본 고안은 하기에서 설명되는 실시예들에 한정된 바와 같이 구성되어야만 하는 것은 아니며 이와 다른 여러 가지 형태로 구체화될 수 있을 것이다. 하기의 실시예들은 본 고안이 온전히 완성될 수 있도록 하기 위하여 제공된다기보다는 본 고안의 기술 분야에서 숙련된 당업자들에게 본 고안의 범위를 충분히 전달하기 위하여 제공된다.

하나의 요소가 다른 하나의 요소 또는 층 상에 배치되는 또는 연결되는 것으로서 설명되는 경우 상기 요소는 상기 다른 하나의 요소 상에 직접적으로 배치되거나 연결될 수도 있으며, 다른 요소들 또는 층들이 이들 사이에 게재될 수도 있다. 이와 다르게, 하나의 요소가 다른 하나의 요소 상에 직접적으로 배치되거나 연결되는 것으로서 설명되는 경우, 그들 사이에는 또 다른 요소가 있을 수 없다. 다양한 요소들, 조성들, 영역들, 층들 및/또는 부분들과 같은 다양한 항목들을 설명하기 위하여 제1, 제2, 제3 등의 용어들이 사용될 수 있으나, 상기 항목들은 이들 용어들에 의하여 한정되지는 않을 것이다.

하기에서 사용된 전문 용어는 단지 특정 실시예들을 설명하기 위한 목적으로 사용되는 것이며, 본 고안을 한정하기 위한 것은 아니다. 또한, 달리 한정되지 않는 이상, 기술 및 과학 용어들을 포함하는 모든 용어들은 본 고안의 기술 분야에서 통상적인 지식을 갖는 당업자에게 이해될 수 있는 동일한 의미를 갖는다. 통상적인 사전들에서 한정되는 것들과 같은 상기 용어들은 관련 기술과 본 고안의 설명의 문맥에서 그들의 의미와 일치하는 의미를 갖는 것으로 해석될 것이며, 명확히 한정되지 않는 한 이상적으로 또는 과도하게 외형적인 직감으로 해석되지는 않을 것이다.

본 고안의 실시예들은 본 고안의 이상적인 실시예들의 개략적인 도해들을 참조하여 설명된다. 이에 따라, 상기 도해들의 형상들로부터의 변화들, 예를 들면, 제조 방법들 및/또는 허용 오차들의 변화는 충분히 예상될 수 있는 것들이다. 따라서, 본 고안의 실시예들은 도해로서 설명된 영역들의 특정 형상들에 한정된 바대로 설명되어지는 것은 아니라 형상들에서의 편차를 포함하는 것이며, 도면들에 설명된 영역은 전적으로 개략적인 것이며 이들의 형상은 영역의 정확한 형상을 설명하기 위한 것이 아니며 또한 본 고안의 범위를 한정하고자 하는 것도 아니다.

도 1은 본 고안의 일 실시예에 따른 반도체 소자 픽업 장치를 설명하기 위한 개략적인 정면도이고, 도 2는 도 1에 도시된 반도체 소자 픽업 장치의 제1 구동부를 설명하기 위한 개략적인 평면도이며, 도 3 및 도 4는 도 1에 도시된 반도체 소자 픽업 장치를 설명하기 위한 개략적인 측면도들이다.

도 1 내지 도 4를 참조하면, 본 고안의 일 실시예에 따른 반도체 소자 픽업 장치(100)는 테스트 핸들러와 같은 반도체 검사 설비에서 사용될 수 있다. 특히, 반도체 소자들(미도시)을 수납하기 위한 트레이들(미도시) 사이에서 상기 반도체 소자들을 이송하기 위하여 사용될 수 있다. 예를 들면, 상기 반도체 소자 픽업 장치(100)는 테스트 트레이, 커스터머 트레이, 버퍼 트레이 등과 같은 트레이들은 상기 반도체 소자들을 수납하기 위한 다수의 소켓들을 가질 수 있으나, 상기 소켓들의 피치가 서로 다르기 때문에 상기 반도체 소자들을 픽업하기 전 또는 후 상기 반도체 소자들을 픽업하기 위한 피커들(102) 사이의 간격을 각 트레이들의 피치에 대응하도록 조절할 필요성이 있다.

본 고안의 일 실시예에 따른 반도체 소자 픽업 장치(100)는 고정 프레임(110)과 가동 프레임(120)을 포함할 수 있으며, 상기 고정 프레임(110)과 가동 프레임(120)에는 각각 다수의 피커들(102)이 장착될 수 있다. 상기 가동 프레임(120)은 제1 수평 방향(이하 Y축 방향이라 한다; 도 2 참조)으로 이동 가능하도록 상기 고정 프레임(110)에 결합될 수 있다.

상기 고정 프레임(110)은 수직 방향으로 배치되며 상기 제1 수평 방향에 대하여 수직하는 제2 수평 방향(이하 X축 방향이라 한다; 도 2 참조)으로 연장하는 제1 베이스 플레이트(112)를 포함할 수 있다. 또한, 상기 고정 프레임(110)은 상기 제1 베이스 플레이트(112)와 평행하게 배치되는 중앙 플레이트(114) 및 상기 중앙 플레이트(114)의 양측에 결합되는 한 쌍의 사이드 플레이트들(116)을 포함할 수 있으며, 상기 제1 베이스 플레이트(112)는 상기 사이드 플레이트들(116)과 결합될 수 있다.

상기 가동 프레임(120)은 상기 중앙 플레이트(114)를 사이에 두고 상기 제1 베이스 플레이트(112)와 마주하도록 즉 상기 제1 베이스 플레이트(112)로부터 상기 Y축 방향으로 이격되어 상기 제1 베이스 플레이트(112)와 평행하게 연장하는 제2 베이스 플레이트(122)를 포함할 수 있다. 특히, 상기 가동 프레임(120)은 상기 고정 프레임(110)에 상기 Y축 방향으로 이동 가능하게 결합될 수 있다. 상세히 도시되지는 않았으나, 상기 제2 베이스 플레이트(122)의 하부에는 가이드 브래킷들(미도시)이 장착될 수 있으며, 상기 가이드 브래킷들과 상기 사이드 플레이트들(116) 사이에는 상기 Y축 방향으로 상기 가동 프레임(120)의 이동을 위한 가이드 레일(미도시) 및 가이드 블록들(124)이 배치될 수 있다.

상기 제1 베이스 플레이트(112)에는 상기 X축 방향으로 배열되는 다수의 제1 피커들(102A)이 장착될 수 있으며, 상기 제2 베이스 플레이트(122)에는 상기 X축 방향으로 배열되는 다수의 제2 피커들(102B)이 장착될 수 있다. 상기 제1 및 제2 피커들(102A,102B) 각각은 수직 방향으로 연장할 수 있으며, 각각 반도체 소자들을 픽업하기 위하여 사용될 수 있다.

본 고안의 일 실시예에 따르면, 상기 반도체 소자 픽업 장치(100)는 상기 Y축 방향으로 상기 제1 피커들(102A)과 상기 제2 피커들(102B) 사이의 제1 간격을 조절하기 위한 제1 캠블록(130)과 제1 롤러(132) 및 제1 구동부(134)를 포함할 수 있다. 구체적으로, 상기 제1 캠블록(130)은 상기 고정 및 가동 프레임들(110,120) 중 어느 하나, 예를 들면, 상기 고정 프레임(110)에 장착되며 소정의 제1 경사각을 갖는 제1 경사면(130A)을 구비할 수 있다.

상기 제1 롤러(132)는 상기 제1 경사면(130A)을 따라 이동 가능하도록 상기 제1 경사면(130A) 상에 배치될 수 있다. 상기 제1 구동부(134)는 상기 고정 및 가동 프레임들(110,120) 중 나머지 하나, 예를 들면, 상기 가동 프레임(120)에 장착될 수 있으며, 상기 제1 피커들(102A)과 제2 피커들(102B) 사이의 제1 간격을 조절하기 위하여 상기 제1 롤러(132)를 수직 방향으로 이동시킬 수 있다.

예를 들면, 도 3 및 도 4에 도시된 바와 같이, 상기 제1 구동부(134)는 상기 제1 롤러(132)를 하방으로 이동시킬 수 있으며, 이에 의해 상기 제1 롤러(132)는 상기 제1 캠블록(130)의 제1 경사면(130A)을 따라 이동할 수 있다. 결과적으로, 상기 제1 피커들(102A)과 제2 피커들(102B) 사이의 제1 간격이 상기 제1 캠블록(130)의 Y축 방향 위상차만큼 증가될 수 있다.

한편, 상기 제1 캠블록(130)은 상기 고정 프레임(110)의 제1 베이스 플레이트(112)에 장착될 수 있으며, 상기 제1 구동부(134)는 상기 가동 프레임(120)의 제2 베이스 플레이트(122)에 제1 마운팅 브래킷(136)을 통하여 장착될 수 있다.

상기 제1 구동부로(134)는 공압 또는 유압 실린더가 사용될 수 있으며, 상기 제1 롤러(132)는 제1 구동 브래킷(138)과 롤러 브래킷(140)을 통하여 상기 제1 구동부(134)에 연결될 수 있다. 예를 들면, 도 3 및 도 4에 도시된 바와 같이, 상기 제1 구동 브래킷(138)은 알파벳 'L'자 형태를 가질 수 있으며, 상기 롤러 브래킷(140)은 상기 제1 구동 브래킷(138)의 일측에 장착될 수 있다. 특히, 상기 제1 구동 브래킷(138)은 상기 제1 구동부(134)의 실린더 튜브에 수직 방향으로 이동 가능하도록 장착될 수 있다. 예를 들면, 상세히 도시되지는 않았으나, 상기 제1 구동 브래킷(138)과 상기 제1 구동부(134)의 실린더 튜브는 리니어 모션 가이드를 통해 서로 결합될 수 있다.

상기 제1 피커들(102A)과 제2 피커들(102B) 사이의 제1 간격은 탄성 부재(142)에 의해 감소될 수 있다. 예를 들면, 도 3 및 도 4에 도시된 바와 같이, 상기 탄성 부재(142)는 상기 고정 프레임(110)과 가동 프레임(120) 사이에 연결될 수 있으며, 상기 제1 간격을 감소시키는 방향으로 상기 가동 프레임(120)에 탄성 복원력을 인가할 수 있다. 일 예로서, 상기 탄성 부재(142)는 코일 스프링을 포함할 수 있다. 결과적으로, 상기 제1 구동부(134)에 의해 상기 제1 롤러(132)가 상승되는 경우 상기 제1 롤러(132)는 상기 탄성 부재(142)의 탄성 복원력에 의해 상기 제1 경사면(130A)을 따라 상방으로 이동될 수 있으며, 상기 제1 피커들(102A) 및 제2 피커들(102B) 사이의 제1 간격이 감소될 수 있다.

도 5는 도 1에 도시된 반도체 소자 픽업 장치를 설명하기 위한 개략적인 정면도이다.

도 1 내지 도 5를 참조하면, 본 고안의 일 실시예에 따른 반도체 소자 픽업 장치(100)는 상기 X축 방향으로 상기 제1 피커들(102A) 및 제2 피커들(102B) 사이의 제2 간격을 조절하기 위하여 제1 캠플레이트(150)와 제2 캠플레이트(152)를 구비할 수 있다.

상기 제1 캠플레이트(150)는 상기 제1 베이스 플레이트(112)에 인접하도록 배치될 수 있으며, 상기 X축 방향으로 상기 제1 피커들(102A) 사이의 제2 간격을 조절하기 위하여 서로 다른 방향들로 각각 연장하는 다수의 캠슬롯들(154)을 구비할 수 있다. 상기 제2 캠플레이트(152)는 상기 제2 베이스 플레이트(122)에 인접하도록 배치될 수 있으며, 상기 X축 방향으로 상기 제2 피커들(102B) 사이의 제2 간격을 조절하기 위하여 서로 다른 방향들로 각각 연장하는 다수의 캠슬롯들(154)을 구비할 수 있다. 상기 캠슬롯들(154)은 상기 제2 간격의 조절을 위하여, 예를 들면, 부채꼴 형태로 연장될 수 있다.

특히, 상기 캠슬롯들(154) 내에는 각각 제2 롤러들(156)이 배치될 수 있으며, 상기 제2 롤러들(156)은 상기 제1 피커들(102A) 및 제2 피커들(102B)에 각각 연결될 수 있다. 이때, 상기 제1 피커들(102A)은 상기 제1 베이스 플레이트(112) 상에서 상기 X축 방향으로 이동 가능하도록 장착될 수 있으며, 상기 제2 피커들(102B)은 상기 제2 베이스 플레이트(122) 상에서 상기 X축 방향으로 이동 가능하도록 장착될 수 있다. 예를 들면, 상기 제1 및 제2 베이스 플레이트들(112,122) 상에는 상기 X축 방향으로 연장하는 가이드 레일들(158)이 장착될 수 있으며, 상기 제1 및 제2 피커들(102A,102B)은 각각 가이드 블록(160)을 통하여 상기 가이드 레일들(158)에 결합될 수 있다.

또한, 상기 반도체 소자 픽업 장치(100)는 상기 제1 및 제2 캠플레이트들(150,152)을 수직 방향으로 이동시키기 위한 제2 구동부들(162)을 포함할 수 있다. 상기 제2 구동부들(162)은 상기 제1 및 제2 베이스 플레이트(112,122)에 각각 연결된 제2 및 제3 마운팅 브래킷들(164,166)에 의해 상기 고정 및 가동 프레임들(110,120)에 장착될 수 있다. 예를 들면, 상기 제2 구동부들(162) 각각으로는 공압 또는 유압 실린더가 사용될 수 있으며, 상기 제2 구동부들(162)의 실린더 로드에 상기 제1 및 제2 캠플레이트들(150,152)이 장착될 수 있다.

특히, 상기 제1 및 제2 캠플레이트들(150,152)은 제2 구동 브래킷(168)과 제3 구동 브래킷(170)을 통해 상기 제2 구동부들(162)에 장착될 수 있다. 일 예로서, 상기 제2 및 제3 구동 브래킷(168,170)은 도 3 및 도 4에 도시된 상기 제1 구동 브래킷(138)과 유사한 형태를 가질 수 있으며, 또한 상기 제2 및 제3 구동 브래킷(168,170)은 상기 제1 구동 브래킷(138)과 유사한 방법으로 상기 제2 구동부들(162)의 실린더 튜브에 수직 방향으로 이동 가능하게 장착될 수 있다.

본 고안의 일 실시예에 따르면, 상술한 바와 같이, 상기 제1 및 제2 캠플레이트들(150,152)은 상기 제2 및 제3 구동 브래킷들(168,170)을 통하여 상기 제2 구동부들(162)에 직접 장착되도록 구성될 수도 있으나, 이와 다르게, 도 1 및 도 5에 도시된 바와 같이 이동 플레이트들(172)을 이용하여 상기 제2 구동부들(162)에 장착될 수도 있다. 즉, 상기 이동 플레이트들(172)이 상기 제2 및 제3 구동 브래킷들(168,170)을 통하여 상기 제2 구동부들(162)에 장착될 수 있으며, 상기 이동 플레이트들(172)에 상기 제1 및 제2 캠플레이트들(150,152)이 각각 장착될 수 있다. 이는 상기 트레이들의 제2 간격 변화에 대응하여 상기 제1 및 제2 캠플레이트들(150,152)의 교체가 필요한 경우 이를 용이하게 하기 위함이다.

상술한 바와 같이 구성된 제1 및 제2 캠플레이트들(150,152)은 상기 제2 구동부들(162)에 의해 수직 방향으로 이동될 수 있으며, 이에 따라 상기 제2 롤러들(156)이 상기 캠슬롯들(154)의 내측면을 따라 이동될 수 있다. 결과적으로, 상기 제2 롤러들(156)과 연결된 제1 및 제2 피커들(102A,102B)의 상기 X축 방향 제2 간격이 도 1 및 도 5에 도시된 바와 같이 조절될 수 있다.

한편, 도 3 및 도 4를 참조하면, 본 고안의 일 실시예에 따른 반도체 소자 픽업 장치(100)는 상기 제1 피커들(102A)과 제2 피커들(102B) 사이의 상기 Y축 방향 제1 간격을 조절하기 위한 제2 캠블록(180)을 포함할 수 있다. 상기 제2 캠블록(180)은 상기 제1 캠블록(130)에 인접하도록 상기 제1 또는 제2 캠플레이트(150,152), 예를 들면, 상기 제1 캠플레이트(150)에 장착될 수 있으며, 상기 제1 캠블록(130)보다 작은 경사각을 갖도록 형성된 제2 경사면(180A)을 구비할 수 있다.

도 6 및 도 7은 도 3 및 도 4에 도시된 제2 캠블록을 이용하여 제1 및 제2 피커들 사이의 간격을 조절하는 방법을 설명하기 위한 개략적인 측면도들이다.

도 6 및 도 7을 참조하면, 상기 제2 캠블록(180)은 상기 제1 캠플레이트(150)와 함께 상기 제2 구동부(162)에 의해 수직 방향으로 이동될 수 있으며, 상기 제1 캠블록(130)에 인접하게 위치된 경우 상기 제1 롤러(132)는 상기 제2 캠블록(180)의 제2 경사면(180A)을 따라 이동되도록 구성될 수 있다. 도 2에 도시된 바에 의하면, 상기 제2 롤러(132)는 상기 제1 및 제2 경사면(130A,180A) 각각에 접하도록 두 개의 롤러들로 이루어질 수 있다. 그러나, 이와 다르게, 상기 제2 롤러(132)는 하나의 롤러로 구성될 수도 있다.

결과적으로, 상기 제1 캠플레이트(150)가 상기 제2 구동부(162)에 의해 하방으로 이동된 경우, 상기 제1 롤러(132)는 도 3 및 도 4에 도시된 바와 같이 상기 제1 캠블록(130)의 제1 경사면(130A)을 따라 이동될 수 있으며, 이와 다르게, 상기 제1 캠플레이트(150)가 상기 제2 구동부(162)에 의해 상방으로 이동된 경우, 상기 제2 캠블록(180)은 상기 제1 캠블록(130)에 인접하게 위치될 수 있으며, 상기 제1 롤러(132)는 도 6 및 도 7에 도시된 바와 같이 상기 제2 캠블록(180)의 제2 경사면(180A)을 따라 이동될 수 있다. 결과적으로, 상기 제1 롤러(132)가 상기 제2 캠블록(180)의 제2 경사면(180A)을 따라 하방으로 이동하는 경우 상기 제1 피커들(102A) 및 제2 피커들(102B) 사이의 상기 Y축 방향 제1 간격은 도 6 및 도 7에 도시된 바와 같이 상기 제1 경사면(130A)을 따라 이동하는 경우와 비교하여 더 넓게 조절될 수 있다.

한편, 상기 제2 캠블록(180)은 상기 제1 캠블록(130) 상에서 수직 방향으로 이동 가능하게 구성될 수 있다. 예를 들면, 도시된 바와 같이 상기 제1 캠블록(130)과 제2 캠블록(180) 사이에는 리니어 모션 가이드가 배치될 수 있다. 또한, 상기 제2 캠블록(180)은 상기 제1 캠플레이트(150)에 제4 마운팅 브래킷(182)을 통해 장착될 수 있으며, 필요에 따라 교체 가능하도록 구성될 수 있다. 이는 상기 트레이들의 제1 간격이 변화되는 경우 상기 제2 캠블록(180)의 교체를 용이하게 하기 위함이다.

상술한 바와 같은 본 고안의 실시예들에 따르면, 서로 평행하게 배열되는 제1 피커들과 제2 피커들 사이의 Y축 방향 제1 간격과 X축 방향 제2 간격은 제1 및 제2 캠플레이트들 및 제1 및 제2 캠블록들에 의해 용이하게 조절될 수 있다. 특히, 상기 제1 및 제2 캠플레이트들과 상기 제2 캠블록들은 용이하게 교체 가능하도록 구비됨으로써 반도체 소자들을 수납하기 위한 트레이들의 소켓 간격 변화에 용이하게 대처할 수 있다.

상기에서는 본 고안의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 실용신안등록청구의 범위에 기재된 본 고안의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 고안을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.

100 : 반도체 소자 픽업 장치 102 : 피커
110 : 고정 프레임 112 : 제1 베이스 플레이트
120 : 가동 프레임 122 : 제2 베이스 플레이트
130 : 제1 캠블록 130A : 제1 경사면
132 : 제1 롤러 134 : 제1 구동부
142 : 탄성 부재 150 : 제1 캠플레이트
152 : 제2 캠플레이트 154 : 캠슬롯
156 : 제2 롤러 162 : 제2 구동부
172 : 이동 플레이트 180 : 제2 캠블록
180A : 제2 경사면

Claims (8)

1. 고정 프레임;
   수평 방향으로 이동 가능하도록 상기 고정 프레임에 결합된 가동 프레임;
   상기 고정 프레임과 상기 가동 프레임에 각각 장착되며 반도체 소자들을 각각 픽업하기 위한 피커들;
   상기 고정 및 가동 프레임들 중 어느 하나에 장착되며 경사면을 갖는 캠블록;
   상기 경사면 상에 배치된 롤러;
   상기 고정 및 가동 프레임들 중 나머지 하나에 장착되며 상기 롤러와 연결되고 상기 피커들 사이의 간격을 조절하기 위하여 상기 롤러를 수직 방향으로 이동시키는 구동부; 및
   상기 고정 프레임과 상기 가동 프레임 사이에 연결되며 상기 피커들 사이의 간격을 감소시키는 방향으로 탄성 복원력을 인가하는 탄성 부재를 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 소자들을 픽업하기 위한 장치.
2. 삭제
3. 제1항에 있어서, 상기 구동부는 공압 또는 유압 실린더를 포함하며 상기 롤러는 브래킷을 통하여 상기 구동부의 실린더 로드에 장착되는 것을 특징으로 하는 반도체 소자들을 픽업하기 위한 장치.
4. 수직 방향으로 배치된 제1 베이스 플레이트를 포함하는 고정 프레임;
   상기 제1 베이스 플레이트와 마주하도록 상기 제1 베이스 플레이트로부터 제1 수평 방향으로 이격된 제2 베이스 플레이트를 포함하며, 상기 제1 수평 방향으로 이동 가능하도록 상기 고정 프레임에 결합된 가동 프레임;
   상기 제1 수평 방향에 대하여 수직하는 제2 수평 방향으로 배열되도록 상기 제1 및 제2 베이스 플레이트들에 각각 장착되며 반도체 소자들을 각각 픽업하기 위한 제1 및 제2 피커들;
   상기 고정 및 가동 프레임들 중 어느 하나에 장착되며 경사면을 갖는 캠블록;
   상기 경사면 상에 배치된 롤러; 및
   상기 고정 및 가동 프레임들 중 나머지 하나에 장착되며 상기 롤러와 연결되고 상기 제1 수평 방향으로 상기 제1 피커들과 제2 피커들 사이의 간격을 조절하기 위하여 상기 롤러를 상기 경사면을 따라 이동시키는 구동부를 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 소자들을 픽업하기 위한 장치.
5. 제4항에 있어서, 상기 제1 및 제2 베이스 플레이트들에 각각 인접하도록 배치되며 상기 제2 수평 방향으로 상기 제1 피커들 및 제2 피커들 사이의 간격을 조절하기 위하여 서로 다른 방향으로 연장하는 캠슬롯들을 각각 구비한 제1 및 제2 캠플레이트들;
   상기 캠슬롯들 내에 각각 배치되어 상기 제1 피커들 및 제2 피커들에 연결되는 제2 롤러들; 및
   상기 제1 및 제2 캠플레이트들을 수직 방향으로 이동시키기 위한 제2 구동부들을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 소자들을 픽업하기 위한 장치.
6. 제5항에 있어서, 상기 제2 구동부들과 연결되는 이동 플레이트들을 더 포함하며, 상기 제1 및 제2 캠플레이트들은 상기 이동 플레이트들에 각각 장착되는 것을 특징으로 하는 반도체 소자들을 픽업하기 위한 장치.
7. 제5항에 있어서, 상기 캠블록에 인접하도록 상기 제1 또는 제2 캠플레이트에 장착되며 상기 캠블록보다 작은 경사각을 갖도록 형성된 제2 경사면을 갖는 제2 캠블록을 더 포함하며,
   상기 롤러는 상기 제2 구동부들 중 어느 하나에 의해 상기 제2 캠블록이 상기 캠블록에 인접하도록 위치된 경우 상기 구동부에 의해 상기 제2 경사면을 따라 이동되도록 구성된 것을 특징으로 하는 반도체 소자들을 픽업하기 위한 장치.
8. 제7항에 있어서, 상기 제2 캠블록은 마운팅 브래킷을 통하여 상기 제1 또는 제2 캠플레이트에 장착되는 것을 특징으로 하는 반도체 소자들을 픽업하기 위한 장치.

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