KR20030043220A - Apparatus for sensing breakage in base glass plate of LCD - Google Patents

Apparatus for sensing breakage in base glass plate of LCD Download PDF

Info

Publication number
KR20030043220A
KR20030043220A KR1020010074290A KR20010074290A KR20030043220A KR 20030043220 A KR20030043220 A KR 20030043220A KR 1020010074290 A KR1020010074290 A KR 1020010074290A KR 20010074290 A KR20010074290 A KR 20010074290A KR 20030043220 A KR20030043220 A KR 20030043220A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
glass substrate
substrate
substrates
transfer
transfer device
Prior art date
Application number
KR1020010074290A
Other languages
Korean (ko)
Inventor
이재오
Original Assignee
엘지.필립스 엘시디 주식회사
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 엘지.필립스 엘시디 주식회사 filed Critical 엘지.필립스 엘시디 주식회사
Priority to KR1020010074290A priority Critical patent/KR20030043220A/en
Publication of KR20030043220A publication Critical patent/KR20030043220A/en

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G02F1/1303—Apparatus specially adapted to the manufacture of LCDs
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67242—Apparatus for monitoring, sorting or marking
    • H01L21/67259—Position monitoring, e.g. misposition detection or presence detection
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L22/00—Testing or measuring during manufacture or treatment; Reliability measurements, i.e. testing of parts without further processing to modify the parts as such; Structural arrangements therefor
    • H01L22/30—Structural arrangements specially adapted for testing or measuring during manufacture or treatment, or specially adapted for reliability measurements

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • Nonlinear Science (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)

Abstract

PURPOSE: A damage sensing device for a glass substrate of a liquid crystal display device is provided to sense the damage on the overall parts of glass substrates by sensors before introducing the glass substrates in a chamber, thereby taking proper measures without stopping the operation of all the equipment. CONSTITUTION: A damage sensing device for a glass substrate of a liquid crystal display device includes a plurality of convey/return units(2,3) for stacking a plurality of substrates on cassettes(21,31), a load lock(10) for supporting corner parts of the substrates to supply the substrates(5) into a chamber, a carrier unit(4) for carrying the substrates between the load lock and the convey/return units, substrate sensors(41,42) mounted at both sides of the carrier unit for sensing parts of both corners of the substrates, a plurality of positioning units(110) for supporting each of the corner parts of the substrates positioned on the carrier unit, and sensors(120) mounted at an end of the load lock for sensing the positions of the adjacent positioning parts simultaneously when the positioning parts support the substrates.

Description

액정표시장치의 유리 기판 파손 감지장치{Apparatus for sensing breakage in base glass plate of LCD}Glass substrate breakage detection device of liquid crystal display {Apparatus for sensing breakage in base glass plate of LCD}

본 발명은 액정표시장치(LCD)의 제작공정 중 발생하는 기판의 파손을 감지하는 장치에 관한 것으로, 특히 액정표시장치의 제작공정 중 기판을 건식 식각 장비(Dry Etching Apparatus) 같은 공정 수행 장치의 챔버 내부에 공급하여 주는 로더부에서 유리 기판의 각 모서리부분의 파손 여부를 자동으로 감지하여 주는 장치에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a device for detecting breakage of a substrate generated during a manufacturing process of a liquid crystal display (LCD), and in particular, a chamber of a process performing apparatus such as dry etching equipment (Dry Etching Apparatus) during a manufacturing process of a liquid crystal display The present invention relates to a device for automatically detecting whether a corner portion of a glass substrate is damaged by a loader that is supplied inside.

일반적으로, 건식 식각 장비(Dry Etching Apparatus)는 로더부에서 이전 공정으로부터 기판을 받아 이를 진공 챔버 내부에 공급하여 식각공정을 수행한 다음, 다시 로더부에서 진공 챔버로부터 식각이 완료된 유리 기판을 받아서 다음 공정으로 반송시키도록 구성된다.In general, the dry etching apparatus (Dry Etching Apparatus) receives the substrate from the previous process in the loader unit and supplies it to the inside of the vacuum chamber to perform the etching process, and then again receives the etched glass substrate from the vacuum chamber in the loader unit It is configured to return to the process.

건식 식각 공정은 액정표시장치의 공정 중 게이트나 소오스, 드레인전극을 형성하거나 절연막을 실리콘 산화물, 실리콘 질화물로 형성할 때 주로 이용된다.The dry etching process is mainly used to form a gate, a source, a drain electrode, or to form an insulating layer of silicon oxide or silicon nitride during the liquid crystal display.

첨부된 도면의 도 1은 종래의 건식 식각 장비의 로더부 구성의 일례를 나타낸 것으로, 로더부는 공급받은 유리 기판(5)을 챔버(미도시) 내부로 공급하는 이송장치(1)(load lock)와, 카세트(21, 31)에 복수개의 유리 기판을 수직으로 적재하는 복수개의 이송/회송부(2,3)와, 상기 이송장치(1)와 이송/회송부(2,3) 사이에서 유리 기판(5)을 반송하여 주는 반송장치(4)로 이루어진다.1 of the accompanying drawings shows an example of a loader part configuration of a conventional dry etching equipment, the loader part (load lock) for supplying the supplied glass substrate 5 into the chamber (not shown) (load lock) And a plurality of transfer / return units 2 and 3 for vertically loading a plurality of glass substrates into the cassettes 21 and 31 and between the transfer device 1 and the transfer / return units 2 and 3. It consists of the conveying apparatus 4 which conveys the board | substrate 5.

상기 반송장치(4)의 일측에는 유리 기판(5)의 유무를 감지하는 기판 유무 감지센서(41)가 고정되게 설치되고, 이송/회송부(2,3)의 일측에는 카세트(21, 31) 내에 유리 기판(5)이 위치됨을 감지하게 되는 기판 측정센서(22, 32)(mapping sensor)가 설치된다.A substrate presence sensor 41 for detecting the presence or absence of the glass substrate 5 is fixedly installed at one side of the transfer device 4, and cassettes 21 and 31 are disposed at one side of the transfer / return unit 2 and 3. Substrate measuring sensors 22 and 32 (mapping sensors) for detecting the position of the glass substrate 5 are installed in the chamber.

여기서, 상기 기판 유무 감지센서(41)는 반송장치(4) 상에 놓여진 유리 기판(5)의 중간측 모서리부분을 감지하여 반송장치 상에서의 기판 유무를 확인하고, 기판 측정센서(22, 32)는 이송/회송부(2,3)에 적치된 유리 기판(5)의 일측 모서리부분을 감지하여 카세트 상에서의 기판 수를 확인하는 역할을 수행하는데, 기판 유무 감지센서(41)와 기판 측정센서(22, 32)는 공정중 유리 기판의 파손여부를 감지하는 데에도 이용된다.Here, the substrate presence sensor 41 detects the presence of the substrate on the conveying device by detecting the middle edge portion of the glass substrate 5 placed on the conveying device 4, the substrate measuring sensor (22, 32) Serves to check the number of substrates on the cassette by detecting one edge of the glass substrate 5 deposited on the transfer / return units 2 and 3, and the substrate presence sensor 41 and the substrate measuring sensor ( 22 and 32 are also used to detect the breakage of the glass substrate during the process.

또한, 도 2에 도시된 것과 같이 이송장치(1)에는 유리 기판(5)이 이송장치(1) 상에 위치할 때 유리 기판(5)을 지지하며 정렬하기 위한 한 쌍의 위치부(11)가 구비되는데, 이들 각 위치부(11)들은 기판의 대각방향의 2개 코너부를 지지하는 한 쌍의 바(bar)로 이루어져, 유리 기판(5)이 이송장치(1)에 위치하게 되면 상기 위치부(11)들이 상승한 후 기판 대각방향 코너부 쪽으로 이동하여 2장의 기판을 동시에 지지하며 정렬하게 된다.In addition, as shown in FIG. 2, the transfer apparatus 1 has a pair of position portions 11 for supporting and aligning the glass substrate 5 when the glass substrate 5 is positioned on the transfer apparatus 1. Each of the position portions 11 is composed of a pair of bars supporting two corner portions in the diagonal direction of the substrate, so that the glass substrate 5 is positioned at the transfer device 1. After the portions 11 are raised, they move toward the substrate diagonal corners to support and align the two substrates at the same time.

또한, 상기 이송장치(1)에는 상기 위치부(11)의 위치에 의해 유리 기판(5)의 파손 여부를 감지하도록 발광부(12a)와 수광부(12b)로 이루어진 위치부 감지센서(12)가 설치되는 바, 유리 기판(5)의 코너부가 정상인 경우에는 발광부(12a)로부터 방사된 빛이 위치부(11) 중간에 형성된 관통공(11a)을 통과하여 수광부(12b)로 빔이 입사되면서 빔이 정상적으로 진행하지만, 유리 기판(5)이 파손된 경우에는 위치부(11)가 기판 내측으로 이동하면서 발광부(12a)로부터 방사된 빔이 위치부(11)의 관통공(11a)을 통과하지 못하고 위치부(11)에 의해 차단되어 유리 기판의 파손을 감지하게 된다.In addition, the transfer device 1 includes a position detection sensor 12 including a light emitting unit 12a and a light receiving unit 12b to detect whether the glass substrate 5 is damaged by the position of the position unit 11. When the corner portion of the glass substrate 5 is normal, the light emitted from the light emitting portion 12a passes through the through hole 11a formed in the middle of the position portion 11 and the beam is incident on the light receiving portion 12b. Although the beam proceeds normally, when the glass substrate 5 is broken, the beam radiated from the light emitting part 12a passes through the through hole 11a of the location part 11 while the location part 11 moves inside the substrate. It can not be blocked by the position portion 11 to detect the breakage of the glass substrate.

그런데, 상기와 같이 구성된 종래의 건식 식각 장치의 이송부에서는 상기 기판 유무 감지센서(41)와 측정센서(22, 32) 및 위치부 감지센서(12)에 의한 기판의 파손 여부가 불완전하게 이루어지는 문제점이 있다.However, in the transfer part of the conventional dry etching apparatus configured as described above, there is a problem in that the substrate presence sensor 41, the measurement sensors 22 and 32, and the position detection sensor 12 are incompletely damaged or not. have.

즉, 도 3에 도시된 것과 같이, 기판 유무 감지센서(41)는 유리 기판(5)의 체크포인트1(#1)과 체크포인트2(#2)를 감지하고, 기판 측정센서(22, 32)는 체크포인트1(#1)을 감지하며, 위치부 감지센서(12)에 의해서는 기판의 체크포인트3(#3)에 대한 파손 여부가 확인되지만, 기판의 나머지 부분에 대해서는 파손 여부를 확인할 수가 없었다.That is, as shown in Figure 3, the substrate presence sensor 41 detects the check point 1 (# 1) and the check point 2 (# 2) of the glass substrate 5, the substrate measuring sensors 22, 32 ) Detects checkpoint 1 (# 1), and whether the damage to the checkpoint 3 (# 3) of the substrate is confirmed by the position detection sensor 12, but whether the damage to the rest of the substrate I could not.

또한, 이송장치(1)에서는 위치부(11)가 동시에 2장의 유리 기판을 지지하도록 구성되어 있기 때문에, 1장만 파손이 발생한 경우에는 체크포인트3(#3)에서의 파손조차도 감지할 수 없었다.Moreover, in the transfer apparatus 1, since the position part 11 is comprised so that two glass substrates may be supported simultaneously, even when only one piece breaks, even the breakage in the checkpoint 3 (# 3) could not be detected.

따라서, 상기와 같이 유리 기판의 파손 여부가 완전히 확인되지 않고 파손된기판이 챔버 내부로 공급되면, 기판의 파손으로 인한 파편이 유입되어 장비에 손상이 가해지거나, 장비가동을 중단시키고 챔버를 열어 파손된 기판을 분리시켜야 하므로 생산성이 저하되는 문제점이 있었다.Therefore, if the damaged substrate is not completely checked as described above and the damaged substrate is supplied into the chamber, debris due to the breakage of the substrate is introduced to damage the equipment, or the equipment is stopped and the chamber is opened and broken. There is a problem that the productivity is lowered because the separated substrate must be separated.

이에 본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로, 건식 식각 장비의 로더부의 구성을 개선하여, 유리 기판의 전 부분에 걸쳐 파손 여부를 확인할 수 있도록 함으로써 파손된 기판이 챔버 내부로 공급되는 것을 원천적으로 차단할 수 있도록 한 액정표시장치의 기판 파손 감지장치를 제공함에 그 목적이 있다.Accordingly, the present invention has been made to solve the above problems, by improving the configuration of the loader portion of the dry etching equipment, so that the damaged substrate can be checked over the entire portion of the glass substrate is supplied to the interior of the chamber It is an object of the present invention to provide a substrate breakage detection device of a liquid crystal display device capable of blocking the source.

도 1은 종래의 드라이에칭장비의 로더부 구성을 개략적으로 나타낸 구성도1 is a configuration diagram schematically showing the configuration of the loader unit of a conventional dry etching equipment

도 2는 종래의 로더부에서 이루어지는 유리 기판의 파손 감지장치의 작동을 나타낸 작용도Figure 2 is a functional diagram showing the operation of the glass substrate breakage detection device made in the conventional loader portion

도 3은 종래의 유리 기판 파손 감지장치에 의해 감지되는 유리 기판의 체크포인트를 설명하는 도면3 is a view illustrating a checkpoint of a glass substrate detected by a conventional glass substrate breakage detecting device.

도 4는 본 발명에 따른 유리 기판 파손 감지장치가 설치된 건식 식각 장비의 로더부 구성을 개략적으로 나타낸 구성도Figure 4 is a schematic view showing the configuration of the loader unit of the dry etching equipment is installed glass substrate breakage detection apparatus according to the present invention

도 5는 도 4의 유리 기판 파손 감지장치의 위치부의 일 실시예를 나타낸 도면FIG. 5 is a view showing an embodiment of a position of the glass substrate breakage detecting apparatus of FIG. 4; FIG.

도 6은 도 4의 유리 기판 파손 감지장치의 위치부의 다른 실시예를 나타낸 도면6 is a view showing another embodiment of the position of the glass substrate breakage detecting apparatus of FIG.

도 7은 본 발명의 유리 기판 파손 감지장치에 의해 감지되는 유리 기판의 체크포인트를 설명하는 도면7 is a view for explaining a checkpoint of a glass substrate detected by the glass substrate breakage detecting apparatus of the present invention.

* 도면의 주요부분의 참조부호에 대한 설명 *Explanation of Reference Symbols in Major Parts of Drawings

10 : 이송장치 110 : 위치부10: transfer device 110: position

111, 211 :지주 112, 212 : 지지부재111, 211: 112, 212: support member

113 : 스프링 213 : 고정부재113: spring 213: fixing member

2, 3 : 좌,우측 이송.회송부 4 : 반송장치2, 3: left and right transfer, return unit 4: transfer device

4a : 회동몸체4b : 이송부4a: rotating body 4b: conveying unit

5 : 유리 기판5: glass substrate

상기와 같은 목적을 달성하기 위하여 본 발명은, 카세트에 복수개의 기판을 수직으로 적재하는 복수개의 이송/회송부와, 유리 기판의 코너부를 지지하여 정렬하는 위치부를 구비하여 유리 기판을 정렬하여 챔버 내부로 공급하는 이송장치와, 상기 이송장치와 이송/회송부 사이에서 유리 기판을 반송하여 주는 반송장치로 이루어진 것에 있어서, 상기 반송장치의 양측부에 유리 기판의 양측 모서리의 일부분을 감지하도록 설치된 기판 유무 감지센서와; 상기 이송장치에 유리 기판의 각 코너부 외측에서 유리 기판 쪽으로 이동가능하게 설치되고 중간에 빔 관통공이 형성된 지주와, 상기 각각의 지주에 연결부재를 매개로 고정되게 설치되어 유리 기판의 각 코너부를 접촉하여 지지하는 한 쌍의 지지부재로 구성된 4개의 위치부와; 상기 이송장치의 일측 단부에 각각 설치되어 상기 위치부의 지지부재가 각 유리 기판 모서리를 지지할 때 인접한 2개의 위치부의 위치를 동시에 감지하는 위치부 감지센서를 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 액정표시장치의 유리 기판 파손 감지장치를 제공한다.In order to achieve the above object, the present invention provides a plurality of transfer / return portions for vertically loading a plurality of substrates in the cassette, and a position portion for supporting and aligning the corner portions of the glass substrate to align the glass substrates inside the chamber. A conveying apparatus for supplying a glass substrate and a conveying apparatus for conveying a glass substrate between the conveying apparatus and the conveying / conveying unit, the substrate having a substrate installed to detect a part of both edges of the glass substrate on both sides of the conveying apparatus A detection sensor; The conveying apparatus is installed to be movable from the outside of each corner portion of the glass substrate toward the glass substrate and has a beam through hole formed in the middle thereof, and is fixedly installed to each of the pillars through a connecting member to contact each corner portion of the glass substrate. Four position portions composed of a pair of support members to support each other; And a position sensor installed at one end of the transfer device to detect the position of two adjacent position portions simultaneously when the support member of the position portion supports each glass substrate edge. Provided is a glass substrate breakage detection device.

상기와 같은 본 발명에 따르면, 상기 기판 유무 감지센서에 의해 유리 기판의 양측 모서리부 일부분의 파손 여부를 확인할 수 있으며, 상기 위치부 및 위치부 감지센서에 의해 유리 기판의 나머지 각 모서리 부분의 파손 여부를 확인할 수 있게 되어, 결국 유리 기판 전체적으로 파손 여부를 확인할 수 있게 된다.According to the present invention as described above, it is possible to confirm whether the edge portion of both sides of the glass substrate by the substrate presence sensor is damaged, and whether the remaining corner portions of the glass substrate by the position and position detection sensors are damaged or not It becomes possible to confirm, eventually it is possible to determine whether the entire glass substrate is broken.

이하, 본 발명에 따른 액정표시장치의 유리 기판 파손 감지장치의 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명한다.Hereinafter, an embodiment of a glass substrate breakage detection device of a liquid crystal display according to the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 4는 본 발명에 따른 유리 기판 파손 감지장치가 설치된 건식식각장비(Dry Etching Apparatus)의 로더부 구성을 나타낸 것으로, 로더부의 양측에는 카세트(21, 31)에 복수개의 유리 기판(5)들을 수직으로 적재하는 좌우측 이송/회송부(2,3)가 위치하고, 중앙부에는 상기 이송/회송부(2,3)로부터 공급되는 유리 기판(5)들을 정렬하면서 지지하여 건식 식각(Dry Etch) 공정을 수행하는 진공 챔버(미도시) 내로 공급하는 이송장치(10)(load lock)가 설치되며, 상기 좌우측 이송/회송부(2,3)와 이송장치(10) 사이에는 이들간에 유리 기판 이송작업을 수행하는 반송장치(4)가 설치되어 구성된다.4 is a view illustrating a loader unit configuration of a dry etching apparatus (Dry Etching Apparatus) in which a glass substrate breakage detecting apparatus is installed according to the present invention, and the plurality of glass substrates 5 are perpendicular to cassettes 21 and 31 on both sides of the loader unit. The left and right transfer / return units 2 and 3 are placed in the center, and the glass substrates 5 supplied from the transfer / return units 2 and 3 are aligned and supported at the center to perform a dry etching process. A transfer device 10 (load lock) is installed to supply a vacuum chamber (not shown), and a glass substrate transfer operation is performed between the left and right transfer / return portions 2 and 3 and the transfer device 10. The conveying apparatus 4 is provided and comprised.

상기 좌,우측 이송/회송부(2,3)의 카세트(21, 31)의 한 쪽 끝단부에는 이 카세트에 적치되는 유리 기판(5)의 한쪽 모서리부를 감지함으로써 이송/회송부(2,3)에 적치되는 유리 기판 수를 확인하는 기판 측정센서(22, 32)가 설치된다.One end of the cassettes 21 and 31 of the left and right transfer / return units 2 and 3 detects one corner portion of the glass substrate 5 which is placed on the cassette. The substrate measuring sensors 22 and 32 which confirm the number of glass substrates which are piled up in) are provided.

그리고, 상기 반송장치(4)는 회동몸체(4a)에 전후진 가능하게 설치되어 유리 기판(5)을 안착시켜 반송시키는 이송부(4b)를 구비하며, 반송장치(4)의 양측에는 이송부(4b) 상에 놓여진 유리 기판(5)의 양측 모서리부 일부를 감지하는 제 1,2기판 유무 감지센서(41, 42)가 고정되게 설치되는데, 상기 제 1,2기판 유무 감지센서(41, 42)는 반송장치(4)의 이송부(4b)가 전진하여 이송/회송부(2,3)의 카세트(21, 31)로부터 유리 기판을 홀딩한 후 다시 후진하여 유리 기판을 인출할 때 그 위를 지나는 유리 기판의 양측 모서리부를 감지하게 되는 바, 결국 제 1기판 유무 감지센서(41)는 7에 도시된 것과 같이 유리 기판의 체크포인트1(CP1)과 체크포인트 2(CP2)를 감지하고, 제 2기판 유무 감지센서(41)는 유리 기판의 체크포인트3(CP3)과 체크포인트 4(CP4)를 감지하게 된다.And the conveying apparatus 4 is provided in the rotating body 4a so that forward and backward can be provided and the conveying part 4b which seats and conveys the glass substrate 5, and the conveying part 4b on both sides of the conveying apparatus 4 is carried out. The first and second substrate presence sensors (41, 42) for detecting a part of both edges of the glass substrate (5) placed on the) is fixedly installed, the first and second substrate presence sensors (41, 42) When the conveying part 4b of the conveying apparatus 4 advances and holds a glass substrate from the cassettes 21 and 31 of the conveying / returning parts 2 and 3, it moves backward, and when it pulls out a glass substrate, Bar edges of the glass substrate are sensed, so the first substrate presence sensor 41 detects the checkpoint 1 (CP1) and the checkpoint 2 (CP2) of the glass substrate as shown in FIG. The substrate presence sensor 41 detects the check point 3 (CP3) and the check point 4 (CP4) of the glass substrate.

한편, 이송장치(10)의 각 코너부에는 유리 기판(5)의 각 코너부 쪽으로 이동가능하게 설치되어 유리 기판(5)의 네 코너부를 지지하며 정렬하는 4개의 위치부(110)들이 설치되는데, 도 5에 상세히 도시된 것과 같이 이들 각 위치부(110)는 이송장치(10)의 각 코너부에 이동가능하게 설치되며 중간에 빔 관통공이 형성된 지주(111)와, 이 지주(111)에 연결부재인 스프링(113)을 매개로 탄성적으로 결합되어 유리 기판(5)의 각 코너부와 접촉하며 지지하는 지지부재(112)로 구성된다.On the other hand, four corners 110 of the transfer apparatus 10 are installed to be movable toward each corner of the glass substrate 5 so as to support and align four corners of the glass substrate 5. As shown in detail in FIG. 5, each of the position parts 110 is movable to each corner of the transfer device 10 and has a support 111 formed therein with a beam through hole in the middle of the support 111. It is composed of a support member 112 is elastically coupled via a spring 113, which is a connecting member, in contact with and support each corner of the glass substrate (5).

여기서, 상기 지지부재(112)는 하나의 유리 기판만을 지지하도록 그 높이가 기존의 위치부보다 작게 설정되어 있으며, 테프론(Teflon)과 같은 재질로 이루어진다.Here, the support member 112 is set smaller than the existing position portion so as to support only one glass substrate, it is made of a material such as Teflon (Teflon).

그리고, 이송장치(10)의 일단부에는 유리 기판(5)의 일측의 두 코너부들을 지지하는 2개의 위치부(110)의 위치를 동시에 감지하는 위치부 감지센서(120)가 설치되는데, 상기 위치부 감지센서(120)는 이송장치(10) 일단부에서 일직선상으로 대향되게 설치되는 발광부(121)와 수광부(122)로 이루어지며, 유리 기판(5)이 이송장치(10)에 위치된 후 위치부(110)에 의해 정렬되며 지지되었을 때 상기 발광부(121)와 수광부(122) 및 유리 기판(5) 일단부를 지지하는 2개의 위치부(110)의 지주(111)는 일직선 상으로 배열된다.In addition, at one end of the transfer apparatus 10, a position detection sensor 120 for simultaneously detecting the positions of two position units 110 supporting two corner portions of one side of the glass substrate 5 is installed. The position detecting sensor 120 includes a light emitting unit 121 and a light receiving unit 122 that are installed to face in a straight line at one end of the transfer device 10, and the glass substrate 5 is positioned at the transfer device 10. The posts 111 of the two location parts 110 supporting the light emitting part 121, the light receiving part 122, and one end of the glass substrate 5 when aligned and supported by the location part 110 are aligned in a straight line. Is arranged.

따라서, 위치부 감지센서(120)는 그의 발광부(121)에서 방사된 빔은 2개의 위치부(110)의 지주(111)에 형성된 빔 관통공(111a)을 통과하여 수광부(122)로 입사되면서 각 위치부(110)의 위치를 감지하게 된다.Therefore, the position detection sensor 120 is incident on the light receiving portion 122 by passing through the beam through hole 111a formed in the support 111 of the two position portions 110, the beam emitted from the light emitting portion 121 thereof. While detecting the position of each position unit 110.

한편, 전술한 실시예에서는 각 위치부(110)의 지주(111)에 지지부재(112)를 연결하는 연결부재로서 스프링(113)을 사용하여 지지부재(112)가 유리 기판과 접촉시 소정의 완충력을 제공하도록 구성되어 있으나, 이와는 다르게 도 6에 도시한 것처럼 지주(211)와 지지부재(212)를 연결하는 연결부재로서 강체로 된 고정바아(213)를 사용하여 위치부를 구성할 수도 있다.On the other hand, in the above embodiment, when the support member 112 is in contact with the glass substrate by using the spring 113 as a connecting member for connecting the support member 112 to the support 111 of each position portion 110. It is configured to provide a buffer force, but alternatively, as shown in FIG. 6, the position portion may be configured by using a rigid bar 213 made of a rigid body as a connecting member connecting the support 211 and the support member 212.

상기와 같이 구성된 본 발명의 유리 기판 파손 감지장치의 작용은 다음과 같이 이루어진다.The action of the glass substrate breakage detection device of the present invention configured as described above is made as follows.

전(前) 공정이 완료된 유리 기판(5)이 좌우측의 이송/회송부(2,3)의 카세트(21, 31)에 적치되면, 반송장치(4)가 좌우측 이송/회송부(2,3)의 유리 기판(5)을 하나씩 꺼내어 이송장치(10)로 공급한다.When the glass substrate 5 on which the previous process is completed is placed in the cassettes 21 and 31 of the left and right transfer / return portions 2 and 3, the conveying apparatus 4 is the left and right transfer / return portions 2 and 3. The glass substrates 5) are taken out one by one and supplied to the transfer device 10.

이 때, 반송장치(4)의 양측에 설치된 제 1,2기판 유무 감지센서(41, 42)가 유리 기판의 양측 모서리의 체크포인트1(CP1) 내지 체크포인트4(CP4)를 감지하여 유리 기판의 존재 여부 및 파손 여부를 동시에 확인하고, 제 1,2기판 유무 감지센서(41)에 의해 유리 기판(5)의 체크포인트1(CP1) 내지 체크포인트4(CP4) 중 어느 부분에서 파손이 감지된 경우에는 장비 전체의 가동을 중단시킬 필요없이 로더부의 가동만 중단시켜 반송장치로부터 파손된 유리 기판을 제거하면 된다.At this time, the first and second substrate presence sensors 41 and 42 installed on both sides of the conveying apparatus 4 detect the check points 1 (CP1) to the check points 4 (CP4) at both edges of the glass substrate. The presence or absence of damage is checked at the same time, and the breakage is detected at any part of checkpoint 1 (CP1) to checkpoint 4 (CP4) of the glass substrate 5 by the first and second substrate presence sensor 41. In this case, the broken glass substrate can be removed from the conveying apparatus by only stopping the operation of the loader without having to stop the operation of the whole equipment.

제 1,2기판 유무 감지센서(41, 42)에 의해 이상이 없는 것으로 판정된 유리 기판(5)이 이송장치(10)에 위치하게 되면, 공압실린더(미도시)의 작동에 의해 각 위치부(110)가 상승한 후 유리 기판(5)의 각 코너부 쪽으로 이동하게 되고, 위치부(110)의 지지부재(112)가 유리 기판(5)의 각 코너부와 밀착되면 위치부(110)는 이동을 멈추게 된다.When the glass substrate 5 determined by the first and second substrate presence sensors 41 and 42 that there is no abnormality is placed in the transfer device 10, each position portion is operated by the operation of a pneumatic cylinder (not shown). After the 110 rises and moves toward each corner of the glass substrate 5, and the support member 112 of the position portion 110 comes into close contact with each corner of the glass substrate 5, the position portion 110 is moved. The movement stops.

이 때, 유리 기판(5)의 모든 부분이 파손없이 정상상태라면, 상기 위치부 감지센서(120)의 발광부(121)로부터 방사된 빔은 2개의 위치부(110)의 지주(111)의 빔 관통공(111a)을 차례로 통과하며 수광부(122)에 입사되도록 되어 있다.At this time, if all parts of the glass substrate 5 are in a steady state without being damaged, the beams emitted from the light emitting part 121 of the position detecting sensor 120 may be formed by the struts 111 of the two positioning parts 110. It passes through the beam through hole 111a in turn and is incident on the light receiving portion 122.

그러나, 유리 기판(5)의 체크포인트5(CP5) 또는 체크포인트6(CP6) 중 어느 부분이 파손된 경우에는 파손된 부분에 위치한 위치부(110)가 내측으로 이동하게 되고, 이에 따라 발광부(121)에서 방사된 빔이 위치부(110)의 빔 관통공(111a)을 통과하지 못하고 지주(111)에 의해 차단되어 수광부(122)로 입사되지 못하게 된다.However, when any part of check point 5 (CP5) or check point 6 (CP6) of the glass substrate 5 is broken, the position part 110 located at the broken part moves to the inside, and accordingly, the light emitting part The beam radiated from 121 does not pass through the beam through hole 111a of the location unit 110 and is blocked by the support 111 to prevent the beam from being incident to the light receiving unit 122.

따라서, 이 경우에는 유리 기판의 체크포인트5(CP5) 또는 체크포인트6(CP6) 중 어느 한 부분이 파손된 경우가 되므로 로더부의 가동이 중단되고 작업자는 이를확인하여 이송장치(10)로부터 파손된 유리 기판을 제거하면 된다.Therefore, in this case, since any part of check point 5 (CP5) or check point 6 (CP6) of the glass substrate is damaged, the operation of the loader is stopped, and the worker confirms this and is damaged from the transfer device 10. What is necessary is just to remove a glass substrate.

이상에서와 같이 본 발명에 따르면, 반송장치의 양측에 구비된 2개의 기판 유무 감지센서에 의해 유리 기판의 양측 모서리부분의 일부분의 파손 여부가 감지되고, 이송장치의 위치부 및 위치부 감지센서에 의해 유리 기판의 나머지 부분의 파손 여부가 감지되므로, 결국 유리 기판을 공정 진행 챔버 내부에 인입하기 전에 유리 기판의 전(全)부분에 걸쳐 파손 여부를 감지하여 장비 전체의 가동을 중단시키지 않고 로더부만의 가동을 중단시켜 적절한 조치를 취할 수 있게 되고, 이에 따라 장비의 손상을 방지하고 생산성을 향상시킬 수 있게 된다.As described above, according to the present invention, two substrate presence sensors provided on both sides of the conveying device detect whether or not a part of the corner portion of both sides of the glass substrate is damaged, the position and position detection sensor of the transfer device By detecting whether the remaining part of the glass substrate is damaged by the detection, before detecting the glass substrate in the process chamber, the entire area of the glass substrate is detected before the end of the loader without stopping the operation of the entire equipment By taking the bay out of service, appropriate measures can be taken, thus preventing damage to the equipment and improving productivity.

Claims (8)

카세트에 복수개의 기판을 적재하는 복수개의 이송/회송부와, 기판의 코너부를 지지하여 챔버 내부로 공급하는 이송장치와, 상기 이송장치와 이송/회송부 사이에서 기판을 반송하여 주는 반송장치와, 상기 반송장치의 양측부에 기판의 양측 모서리의 일부분을 감지하도록 설치된 기판 유무 감지센서와, 상기 이송장치에 위치된 기판의 각 코너부를 지지하는 복수개의 위치부와, 상기 위치부가 기판을 지지할 때 인접한 위치부의 위치를 동시에 감지하는 위치부 감지센서를 포함하여 구성된 액정표시장치의 유리 기판 파손 감지장치.A plurality of transfer / return units for loading a plurality of substrates into a cassette, a transfer device for supporting a corner portion of the substrate and feeding the inside of the chamber, a transfer device for transferring substrates between the transfer device and the transfer / return unit; A substrate presence sensor installed at both sides of the transfer device to detect a part of both edges of the substrate, a plurality of position portions supporting each corner portion of the substrate positioned in the transfer apparatus, and the position portion supporting the substrate Glass substrate breakage detection device of the liquid crystal display device comprising a position detection sensor for detecting the position of the adjacent position at the same time. 제 1항에 있어서, 상기 위치부는, 상기 이송장치의 각 코너부에 유리 기판의 각 코너부 쪽으로 이동가능하게 설치되고 중간에 빔 관통공이 형성된 지주와, 상기 각각의 지주에 연결부재를 매개로 고정되게 설치되어 유리 기판의 각 코너부와 접촉하는 한 쌍의 지지부재로 구성된 것을 특징으로 하는 액정표시장치의 유리 기판 파손 감지장치.According to claim 1, wherein the position portion, each corner portion of the transfer device is installed to be movable toward each corner portion of the glass substrate, and a beam through hole formed in the middle, and fixed to each of the pillars via a connecting member Glass substrate breakage detection device of the liquid crystal display device, characterized in that consisting of a pair of support members which are installed to contact each corner of the glass substrate. 제 2항에 있어서, 상기 연결부재는 일단이 위치부의 지주에 부착되고 타단은 지지부재에 부착되어 유리 기판 쪽으로 탄성력을 가하는 탄성체로 된 것을 특징으로 하는 액정표시장치의 유리 기판 파손 감지장치.3. The glass substrate breakage detecting apparatus of claim 2, wherein the connection member is made of an elastic body having one end attached to a support of the position portion and the other end attached to the support member to apply an elastic force toward the glass substrate. 제 3항에 있어서, 상기 연결부재는 스프링인 것을 특징으로 하는 액정표시장치의 유리 기판 파손 감지장치.4. The glass substrate breakage detecting device of claim 3, wherein the connection member is a spring. 제 2항에 있어서, 상기 연결부재는 일단이 위치부의 지주에 부착되고 타단은 지지부재에 부착되는 강체인 것을 특징으로 하는 액정표시장치의 유리 기판 파손 감지장치.3. The glass substrate breakage detection apparatus of claim 2, wherein the connection member is a rigid body having one end attached to a support of the position portion and the other end attached to the support member. 제 1항에 있어서, 상기 위치부 감지센서는 상기 이송장치의 일측 단부에 각각 설치된 것을 특징으로 하는 액정표시장치의 유리 기판 파손 감지장치.The glass substrate breakage detection device of claim 1, wherein the position sensor is installed at one end of the transfer device. 제 1항 또는 제 6항에 있어서, 상기 위치부 감지센서는 이송장치의 일측단의 양쪽에 각각 설치되는 발광부와 수광부로 구성된 것을 특징으로 하는 액정표시장치의 유리 기판 파손 감지장치.The glass substrate breakage detection device of claim 1, wherein the position detection sensor comprises a light emitting part and a light receiving part which are respectively provided at both ends of one side of the transfer device. 제 7항에 있어서, 상기 위치부 감지센서의 발광부에서 방사된 빔이 동일 선상의 2개의 위치부를 동시에 관통하여 수광부로 입사되며 위치부의 위치를 감지하도록 한 것을 특징으로 하는 액정표시장치의 유리 기판 파손 감지장치.The glass substrate of claim 7, wherein the beam radiated from the light emitting part of the position detecting part sensor penetrates two position parts on the same line at the same time and enters the light receiving part to sense the position of the location part. Breakage detection device.
KR1020010074290A 2001-11-27 2001-11-27 Apparatus for sensing breakage in base glass plate of LCD KR20030043220A (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020010074290A KR20030043220A (en) 2001-11-27 2001-11-27 Apparatus for sensing breakage in base glass plate of LCD

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020010074290A KR20030043220A (en) 2001-11-27 2001-11-27 Apparatus for sensing breakage in base glass plate of LCD

Publications (1)

Publication Number Publication Date
KR20030043220A true KR20030043220A (en) 2003-06-02

Family

ID=29571629

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020010074290A KR20030043220A (en) 2001-11-27 2001-11-27 Apparatus for sensing breakage in base glass plate of LCD

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR20030043220A (en)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100809125B1 (en) * 2005-05-18 2008-03-03 동경 엘렉트론 주식회사 Processing apparatus, positioning method and computer memory medium
US20110174700A1 (en) * 2008-09-02 2011-07-21 Grenzebach Maschinebau Gmbh Method and Device for Storing Glass Plates for Photovoltaic Modules
CN104103481A (en) * 2013-04-10 2014-10-15 上海和辉光电有限公司 Unfilled corner detection apparatus for glass substrate, dry etching machine table with the apparatus, and unfilled corner detection method

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100809125B1 (en) * 2005-05-18 2008-03-03 동경 엘렉트론 주식회사 Processing apparatus, positioning method and computer memory medium
US20110174700A1 (en) * 2008-09-02 2011-07-21 Grenzebach Maschinebau Gmbh Method and Device for Storing Glass Plates for Photovoltaic Modules
US8870515B2 (en) * 2008-09-02 2014-10-28 Grenzebach Maschinebau Gmbh Method and device for storing glass plates for photovoltaic modules
CN104103481A (en) * 2013-04-10 2014-10-15 上海和辉光电有限公司 Unfilled corner detection apparatus for glass substrate, dry etching machine table with the apparatus, and unfilled corner detection method
TWI496234B (en) * 2013-04-10 2015-08-11 Everdisplay Optronics Shanghai Ltd A corner detection device for a glass substrate, a dry etching machine having the same, and a low angle detection method

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR20030043220A (en) Apparatus for sensing breakage in base glass plate of LCD
JP3904843B2 (en) Substrate detection apparatus, substrate processing apparatus, and substrate detection method
KR101766594B1 (en) Loader chamber with adapter unit
JP2651617B2 (en) Plate mounting device
KR101041458B1 (en) Substrate transferring device, substrate manufacturing system having the same and method of transferring substrate
KR100218254B1 (en) Wafer cassette stage
JPH04293250A (en) Substrate carrier
KR100510720B1 (en) Glass Transfer System have Sensor which sense breakage of glass
KR100763251B1 (en) Apparatus for moving wafer
KR20080008443A (en) Equipment for detecting wafer flat zone of semiconductor coating device
KR20040054054A (en) Indexer for cassette of equipment for fabricating of semiconductor
KR100725095B1 (en) Wafer detector of cleaning equipment for manufacturing semiconductor
KR20070067894A (en) Substrate treating apparatus comprising substrate detecting means and method of detecting substrate sliding using the same
KR20040021985A (en) Structure for sensing of cassette loading in Automatically Guided Vehichle
KR100495419B1 (en) Semiconductor manufacturing device
KR20030037579A (en) A carrier stage
JP2010278044A (en) Substrate conveying device
KR100246850B1 (en) Wafer carrier elevator for sensing a wafer incongruent loading after dry etching process
KR20220090926A (en) Method for detecting a postion of a wafer in a semiconductor device manunfacturing apparatus and apparatus of manufacturing a semiconductor device
KR100971944B1 (en) substrate cleaning module using ultraviolet rays
JPH11111813A (en) Positioning device for body to be processed
KR100342397B1 (en) Wafer counting apparatus and method of SMIF
KR20020037850A (en) System for loading wafer in loadlock chamber
JPH07147314A (en) Wafer transfer equipment
KR20070066583A (en) Apparatus including wafer aligner having sensing system

Legal Events

Date Code Title Description
WITN Withdrawal due to no request for examination