KR102638066B1 - 농도 제어 장치, 가스 제어 시스템, 성막 장치, 농도 제어 방법, 및 농도 제어 장치용 프로그램 기록 매체 - Google Patents

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Abstract

기화 탱크로부터 재료 가스를 간헐적으로 도출하는 농도 제어 장치에 있어서, 재료 가스의 공급 기간의 개시 직후에 있어서의 재료 가스의 농도의 오버 슛을 억제하도록, 캐리어 가스나 희석 가스의 유량을 제어할 수 있도록, 농도 모니터(50)로부터의 출력 신호에 기초하여 재료 가스의 농도를 산출하는 농도 산출부(32)와, 재료 가스가 공급되는 제1 공급 기간에 있어서의 제1 소정 시각에 농도 산출부(32)가 산출하는 실제 농도와, 당해 제1 공급 기간에 있어서의 제1 소정 시각에 유량 제어 기기(40)로부터 출력되는 실제 유량 또는 당해 제1 공급 기간에 있어서의 제1 소정 시각의 유량 제어 기기(40)의 설정 유량과, 미리 설정된 목표 농도에 기초하여, 제1 공급 기간보다도 후의 제2 공급 기간에 있어서의 개시부터 제2 소정 시각까지의 기간인 초기 구간에 있어서의 유량 제어 기기(40)의 초기 설정 유량을 산출하는 설정 유량 산출부(33)를 구비하도록 했다.

Description

농도 제어 장치, 가스 제어 시스템, 성막 장치, 농도 제어 방법, 및 농도 제어 장치용 프로그램 기록 매체{Concentration controller, gas control system, deposition apparatus, concentration control method, and program recording medium for concentration controller}
본 발명은 예를 들면 반도체 제조 프로세스 등에 이용되는 농도 제어 장치, 가스 제어 시스템, 성막 장치, 농도 제어 방법, 및 농도 제어 장치용 프로그램에 관한 것이다.
종래, 반도체 제조 프로세스 등에 이용되는 가스의 농도를 제어하는 것으로서, 특허 문헌 1에 나타내는 것처럼, 액체 또는 고체의 재료를 기화시키는 기화 장치와 함께 이용되는 농도 제어 장치가 있다.
이 기화 장치는 액체 또는 고체의 재료를 저장하는 기화 탱크에 캐리어 가스를 간헐적으로 공급함으로써, 그 재료가 기화되어 이루어지는 재료 가스를 기화 탱크로부터 간헐적으로 도출하고, 도출된 재료 가스에 희석 가스를 혼합하여 이루어지는 혼합 가스를 예를 들면 반도체 제조 프로세스에 이용되는 챔버 등에 공급하고 있다. 이러한 구성에 의해, 혼합 가스의 공급 기간과 그 공급을 정지하는 정지 기간이 반복되고, 농도 제어 장치는 공급 기간에 있어서는 캐리어 가스나 희석 가스의 유량을 제어함으로써, 혼합 가스에 포함되는 재료 가스의 농도가 미리 설정된 목표 농도에 가까워지도록 피드백 제어하고 있다.
그렇지만, 상술한 구성에서는, 공급 기간과 정지 기간이 반복되므로, 정지 기간 중은 기화 탱크 내의 재료 가스 농도가 서서히 높아지고, 공급 기간이 개시된 직후는, 혼합 가스 중의 재료 가스의 농도가 오버 슛된다고 하는 문제가 있다.
특허 문헌 1: 일본 특개 2014－224307호 공보
이에 본 발명은 상기 문제점을 해결할 수 있도록 이루어진 것으로, 공급 기간의 개시 직후에 있어서의 재료 가스 농도의 오버 슛을 억제하도록, 캐리어 가스나 희석 가스의 유량을 제어하는 것을 그 주된 과제로 하는 것이다.
즉, 본 발명에 따른 농도 제어 장치는 액체 또는 고체의 재료를 저장하는 기화 탱크와, 상기 기화 탱크에 캐리어 가스를 공급하는 캐리어 가스 공급로와, 상기 재료가 기화되어 상기 기화 탱크로부터 도출된 재료 가스가 흐르는 재료 가스 도출로와, 상기 재료 가스 도출로에 합류되어, 당해 재료 가스 도출로에 희석 가스를 공급하는 희석 가스 공급로와, 상기 캐리어 가스 공급로 및 상기 희석 가스 공급로 중 적어도 한쪽에 마련된 유량 제어 기기와, 상기 재료 가스 도출로에 있어서의 상기 희석 가스 공급로와의 합류점보다도 하류측에 마련된 농도 모니터를 구비하고, 상기 재료 가스의 공급과 정지를 반복하는 기화 장치에 이용되는 것이다.
그리고, 이 농도 제어 장치는 상기 농도 모니터로부터의 출력 신호에 기초하여 상기 재료 가스의 농도를 산출하는 농도 산출부와, 상기 재료 가스가 공급되는 공급 기간(이하, 제1 공급 기간이라고 함)에 있어서의 제1 소정 시각에 상기 농도 산출부가 산출하는 실제 농도와, 당해 제1 공급 기간에 있어서의 제1 소정 시각에 상기 유량 제어 기기로부터 출력되는 실제 유량 또는 당해 제1 공급 기간에 있어서의 제1 소정 시각의 상기 유량 제어 기기의 설정 유량과, 미리 설정된 목표 농도에 기초하여, 상기 제1 공급 기간보다도 후의 공급 기간(이하, 제2 공급 기간이라고 함)에 있어서의 개시부터 제2 소정 시각까지의 기간인 초기 구간에 있어서의 상기 유량 제어 기기의 초기 설정 유량을 산출하는 설정 유량 산출부를 구비하는 것을 특징으로 하는 것이다.
이와 같이 구성된 농도 제어 장치이면, 제1 공급 기간에 있어서의 제1 소정 시각에 산출된 실제 농도와, 당해 제1 공급 기간에 있어서의 제1 소정 시각에 유량 제어 기기로부터 출력되는 실제 유량 또는 당해 제1 공급 기간에 있어서의 제1 소정 시각의 유량 제어 기기의 설정 유량과, 미리 설정된 목표 농도에 기초하여 산출한 초기 설정 유량을, 제2 공급 기간의 초기 구간에 유량 제어 기기에 설정할 수 있으므로, 제2 공급 기간의 개시 직후의 오버 슛을 저감시킬 수 있다.
제2 공급 기간의 개시 직후의 오버 슛을 보다 확실히 저감시키기 위해서는, 상기 제2 공급 기간의 초기 구간에 있어서는, 상기 유량 제어 기기를 흐르는 유량이 상기 초기 설정 유량이 되도록 제어하는 것이 바람직하다.
상기 제2 공급 기간의 초기 구간을 지난 후는, 상기 유량 제어 기기의 설정 유량을 제어함으로써 상기 농도 산출부에 의해 산출된 실제 농도가 상기 목표 농도에 가까워지도록 피드백 제어하도록 구성되어 있는 것이 바람직하다.
이러한 구성이면, 제2 공급 기간의 초기 구간을 지난 후에 있어서도, 제어의 안정화를 도모할 수 있다.
구체적인 실시 형태로서는, 상기 설정 유량 산출부가 상기 제1 공급 기간의 초기 구간에 있어서의 제1 소정 시각에 상기 농도 산출부가 산출한 실제 농도에 대한 상기 목표 농도의 비율을 상기 제1 공급 기간의 초기 구간에 있어서의 제1 소정 시각에 상기 유량 제어 기기로부터 출력되는 실제 유량에 곱하여, 상기 제2 공급 기간의 초기 구간에 있어서의 상기 초기 설정 유량을 산출하는 태양을 들 수 있다.
또, 다른 실시 형태로서는, 상기 캐리어 가스의 유량 또는 상기 희석 가스의 유량과, 상기 재료 가스 도출로에 있어서의 상기 희석 가스 공급로와의 합류점보다도 하류측을 흐르는 상기 재료 가스의 농도의 관계를 나타내는 유량-농도 관계 데이터를 기억하는 유량-농도 관계 데이터 기억부를 추가로 구비하고, 상기 설정 유량 산출부가 상기 유량-농도 관계 데이터를 이용하여 상기 제2 공급 기간의 초기 구간에 있어서의 상기 초기 설정 유량을 산출하는 태양을 들 수 있다.
상기 설정 유량 산출부가 상기 재료 가스의 공급이 이미 행해진 복수의 상기 공급 기간 각각에 따라서 산출한 초기 설정 유량을 평균한 평균 초기 설정 유량을 산출하는 것이 바람직하다.
이 평균 초기 설정 유량을 유량 제어 기기에 설정함으로써, 산출한 각각의 초기 설정 유량의 오차를 저감시킬 수 있어, 제2 공급 기간의 개시 직후의 오버 슛을 보다 확실히 저감시킬 수 있다.
유량과 농도의 관계가 초기 설정 유량의 산출식과 합치하지 않는 경우, 연속하는 공급 기간에 있어서의 초기 농도의 증대와 감소가 교대로 반복되는 일이 있다.
이에, 상기 평균 초기 설정 유량은 연속하는 짝수회의 공급 기간 각각에 따라서 상기 설정 유량 산출부가 산출한 상기 초기 설정 유량을 평균한 것인 것이 바람직하다.
이러한 구성이면, 연속하는 짝수회의 추정 유량을 평균화하고 있으므로, 초기 농도의 증대분과 감소분을 상쇄시킬 수 있다.
또, 본 발명에 따른 가스 제어 시스템은, 액체 또는 고체의 재료를 저장하는 기화 탱크와, 상기 기화 탱크에 캐리어 가스를 공급하는 캐리어 가스 공급로와, 상기 재료가 기화되어 상기 기화 탱크로부터 도출된 재료 가스가 흐르는 재료 가스 도출로와, 상기 재료 가스 도출로에 합류되어, 당해 재료 가스 도출로에 희석 가스를 공급하는 희석 가스 공급로와, 상기 캐리어 가스 공급로 및 상기 희석 가스 공급로 중 적어도 한쪽에 마련된 유량 제어 기기와, 상기 재료 가스 도출로에 있어서의 상기 희석 가스 공급로와의 합류점보다도 하류측에 마련된 농도 모니터를 구비하고, 상기 재료 가스의 공급과 정지를 반복하는 기화 장치와, 상기 농도 모니터로부터의 출력 신호에 기초하여 상기 재료 가스의 농도를 산출하는 농도 산출부와, 상기 재료 가스가 공급되는 공급 기간(이하, 제1 공급 기간이라고 함)에 있어서의 제1 소정 시각에 상기 농도 산출부가 산출하는 초기 농도와, 당해 제1 공급 기간에 있어서의 제1 소정 시각에 상기 유량 제어 기기로부터 출력되는 실제 유량 또는 당해 제1 공급 기간에 있어서의 제1 소정 시각의 상기 유량 제어 기기의 설정 유량과, 미리 설정된 목표 농도에 기초하여, 상기 제1 공급 기간보다도 후의 공급 기간(이하, 제2 공급 기간이라고 함)에 있어서의 개시부터 제2 소정 시각까지의 기간인 초기 구간에 있어서의 상기 유량 제어 기기의 초기 설정 유량을 산출하는 설정 유량 산출부를 구비하는 것을 특징으로 하는 것이다.
상술한 가스 제어 시스템과, 상기 재료 가스가 공급되는 챔버를 구비하는 성막 장치도 본 발명의 하나이다.
본 발명에 따른 농도 제어 방법은, 액체 또는 고체의 재료를 저장하는 기화 탱크와, 상기 기화 탱크에 캐리어 가스를 공급하는 캐리어 가스 공급로와, 상기 재료가 기화되어 상기 기화 탱크로부터 도출된 재료 가스가 흐르는 재료 가스 도출로와, 상기 재료 가스 도출로에 합류되어, 당해 재료 가스 도출로에 희석 가스를 공급하는 희석 가스 공급로와, 상기 캐리어 가스 공급로 및 상기 희석 가스 공급로 중 적어도 한쪽에 마련된 유량 제어 기기와, 상기 재료 가스 도출로에 있어서의 상기 희석 가스 공급로와의 합류점보다도 하류측에 마련된 농도 모니터를 구비하고, 상기 재료 가스의 공급과 정지를 반복하는 기화 장치에 이용되는 농도 제어 방법으로서, 상기 농도 모니터로부터의 출력 신호에 기초하여 상기 재료 가스의 농도를 산출하는 스텝과, 상기 재료 가스가 공급되는 공급 기간(이하, 제1 공급 기간이라고 함)에 있어서의 제1 소정 시각에 산출하는 초기 농도와, 당해 제1 공급 기간에 있어서의 제1 소정 시각에 상기 유량 제어 기기로부터 출력되는 실제 유량 또는 당해 제1 공급 기간에 있어서의 제1 소정 시각의 상기 유량 제어 기기의 설정 유량과, 미리 설정된 목표 농도에 기초하여, 상기 제1 공급 기간보다도 후의 공급 기간(이하, 제2 공급 기간이라고 함)에 있어서의 개시부터 제2 소정 시각까지의 기간인 초기 구간에 있어서의 상기 유량 제어 기기의 초기 설정 유량을 산출하는 스텝을 구비하는 것을 특징으로 하는 방법이다.
본 발명에 따른 농도 제어 장치용 프로그램은, 액체 또는 고체의 재료를 저장하는 기화 탱크와, 상기 기화 탱크에 캐리어 가스를 공급하는 캐리어 가스 공급로와, 상기 재료가 기화되어 상기 기화 탱크로부터 도출된 재료 가스가 흐르는 재료 가스 도출로와, 상기 재료 가스 도출로에 합류되어, 당해 재료 가스 도출로에 희석 가스를 공급하는 희석 가스 공급로와, 상기 캐리어 가스 공급로 및 상기 희석 가스 공급로 중 적어도 한쪽에 마련된 유량 제어 기기와, 상기 재료 가스 도출로에 있어서의 상기 희석 가스 공급로와의 합류점보다도 하류측에 마련된 농도 모니터를 구비하고, 상기 재료 가스의 공급과 정지를 반복하는 기화 장치에 이용되는 농도 제어 장치용 프로그램으로서, 상기 농도 모니터로부터의 출력 신호에 기초하여 상기 재료 가스의 농도를 산출하는 농도 산출부와, 상기 재료 가스가 공급되는 공급 기간(이하, 제1 공급 기간이라고 함)에 있어서의 제1 소정 시각에 상기 농도 산출부가 산출하는 초기 농도와, 당해 제1 공급 기간에 있어서의 제1 소정 시각에 상기 유량 제어 기기로부터 출력되는 실제 유량 또는 당해 제1 공급 기간에 있어서의 제1 소정 시각의 상기 유량 제어 기기의 설정 유량과, 미리 설정된 목표 농도에 기초하여, 상기 제1 공급 기간보다도 후의 공급 기간(이하, 제2 공급 기간이라고 함)에 있어서의 개시부터 제2 소정 시각까지의 기간인 초기 구간에 있어서의 상기 유량 제어 기기의 초기 설정 유량을 산출하는 설정 유량 산출부로서의 기능을 컴퓨터에 발휘시키는 것을 특징으로 하는 프로그램이다.
이러한 가스 제어 시스템, 성막 장치, 농도 제어 방법, 및 농도 제어 장치용 프로그램이면, 상술한 농도 제어 장치와 같은 작용 효과를 발휘시킬 수 있다.
이와 같이 구성한 본 발명에 의하면, 재료 가스를 간헐적으로 공급하는 구성에 있어서, 공급 기간의 개시 직후에 있어서의 재료 가스 농도의 오버 슛을 억제하도록, 캐리어 가스나 희석 가스의 유량을 제어할 수 있다.
도 1은 본 실시 형태의 가스 제어 시스템의 전체 구성을 모식적으로 나타내는 도면이다.
도 2는 동 실시 형태의 가스 제어 시스템에 있어서의 재료 가스의 간헐적인 흐름을 나타내는 그래프이다.
도 3은 동 실시 형태의 농도 제어 장치의 기능을 나타내는 기능 블럭도이다.
도 4는 동 실시 형태의 초기 설정 유량의 산출 방법을 설명하기 위한 그래프이다.
도 5는 동 실시 형태의 농도 제어 장치의 동작을 나타내는 순서도이다.
이하에, 본 발명에 따른 농도 제어 장치의 일 실시 형태에 대해서, 도면을 참조하여 설명한다.
본 실시 형태의 가스 제어 시스템(100)은, 예를 들면 반도체 제조 라인 등에 조립되어 반도체 제조 프로세스에 이용되는 챔버(CH)에 소정 농도의 가스를 공급하기 위한 것이다. 또한, 이 가스 제어 시스템(100)은 챔버(CH)와 함께 반도체 제조 등에 이용되는 성막 장치를 구성하고 있다.
구체적으로 이 가스 제어 시스템(100)은, 도 1에 도시하는 것처럼, 액체 또는 고체의 재료를 저장하는 기화 탱크(10)와, 기화 탱크(10)에 캐리어 가스를 공급하는 캐리어 가스 공급로(L1)와, 재료가 기화한 재료 가스를 기화 탱크(10)로부터 도출하는 재료 가스 도출로(L2)와, 재료 가스를 희석하는 희석 가스를 재료 가스 도출로(L2)에 공급하는 희석 가스 공급로(L3)와, 챔버(CH)로의 재료 가스의 공급과 그 정지를 전환하기 위한 전환 기구(20)와, 챔버(CH)에 공급되는 재료 가스의 농도를 제어하는 농도 제어 장치(30)를 구비하고 있다.
캐리어 가스 공급로(L1)에는, 캐리어 가스의 유량을 제어하는 제1 유량 제어 기기(40)가 마련되어 있다. 이 제1 유량 제어 기기(40)는, 예를 들면 열식의 유량 센서와, 피에조 밸브 등의 유량 조정 밸브와, CPU나 메모리 등을 구비한 제어 회로를 구비한 매스 플로우 콘트롤러이다.
재료 가스 도출로(L2)에는, 혼합 가스에 포함되는 재료 가스의 농도를 측정하기 위한 농도 모니터(50)이 마련되어 있다. 본 실시 형태의 농도 모니터(50)는 혼합 가스에 포함되는 재료 가스의 농도(vol%)가, 혼합 가스의 압력(전압(全壓))에 대한 혼합 가스에 포함되는 재료 가스의 압력(분압)의 비율로 나타내지는 것을 이용한 것으로, 구체적으로는 전압(全壓)을 측정하는 압력계(51)와, 분압을 측정하는 예를 들면 비분산형 적외 흡수법을 이용한 분압계(52)를 구비하고 있다.
희석 가스 공급로(L3)는 재료 가스 도출로(L2)에 있어서의 농도 모니터(50)의 상류측에 접속되어 있고, 희석 가스의 유량을 제어하는 제2 유량 제어 기기(60)가 마련되어 있다. 이 제2 유량 제어 기기(60)는 제1 유량 제어 기기(40)와 마찬가지로, 예를 들면 열식의 유량 센서와, 피에조 밸브 등의 유량 조정 밸브와, CPU나 메모리 등을 구비한 제어 회로를 구비한 매스 플로우 콘트롤러이다.
전환 기구(20)는 밸브 전환 신호를 접수하여 개폐하는 복수의 밸브(V1~V3)를 가지고 있고, 이러한 밸브(V1~V3)를 예를 들면 유저가 미리 설정한 타이밍에서 개폐함으로써, 기화 탱크(10)로의 캐리어 가스의 공급과 정지가 반복된다. 이것에 의해, 도 2에 도시하는 것처럼, 재료 가스가 기화 탱크(10)로부터 간헐적으로 도출되어 챔버(CH)에 간헐적으로 공급된다. 즉, 본 실시 형태의 가스 제어 시스템(100)에서는, 재료 가스(구체적으로는 재료 가스와 희석 가스가 혼합되어 이루어지는 혼합 가스)를 챔버(CH)로 공급하는 공급 기간과, 그 공급을 정지하는 정지 기간이 반복되도록 구성되어 있다.
여기서의 전환 기구(20)는 캐리어 가스 공급로(L1) 및 재료 가스 도출로(L2)를 접속하는 우회 유로(L4)와, 캐리어 가스 공급로(L1)에 있어서의 우회 유로(L4)와의 접속 지점보다도 하류측에 마련된 제1 밸브(V1)와, 재료 가스 도출로(L2)에 있어서의 우회 유로(L4)와의 접속 지점보다도 상류측에 마련된 제2 밸브(V2)와, 우회 유로(L4)에 마련된 제3 밸브(V3)를 가지고 있다.
그리고, 제1 밸브(V1) 및 제2 밸브(V2)가 열림과 아울러 제3 밸브(V3)가 닫힘으로써 공급 기간이 되고, 제1 밸브(V1) 및 제2 밸브(V2)가 닫힘과 아울러 제3 밸브(V3)가 열림으로써 정지 기간이 된다.
농도 제어 장치(30)는 캐리어 가스나 희석 가스의 유량을 제어함으로써, 챔버(CH)에 공급되는 재료 가스의 농도를 제어하는 것이다.
구체적으로 이 농도 제어 장치(30)는 CPU, 메모리, AC/DC 컨버터, 입력 수단 등을 가진 컴퓨터이고, 상기 메모리에 격납된 프로그램을 CPU에 의해서 실행함으로써, 도 3에 도시하는 것처럼, 목표 농도 접수부(31), 농도 산출부(32), 설정 유량 산출부(33)로서의 기능을 가지는 것이다.
목표 농도 접수부(31)는, 예를 들면 키보드 등의 입력 수단에 의한 유저의 입력 조작이나 타 기기로부터 송신된 목표 농도를 나타내는 목표 농도 신호를 접수하는 것이다.
농도 산출부(32)는 농도 모니터(50)로부터 출력된 출력 신호에 기초하여 혼합 가스에 포함되는 재료 가스의 농도(이하, 실제 농도라고도 함)를 산출하는 것이다. 구체적으로는, 압력계(51) 및 분압계(52) 각각으로부터 출력 신호를 취득하여, 압력계(51)에 의해 검출된 전압에 대한 분압계(52)에 의해 검출된 분압의 비율을, 혼합 가스에 포함되는 재료 가스의 실제 농도(vol%)로서 산출한다.
설정 유량 산출부(33)는 농도 산출부(32)로부터 출력되는 실제 농도 신호와, 목표 농도 접수부(31)가 접수한 목표 농도 신호를 취득하여, 실제 농도가 목표 농도에 가까워지도록, 제1 유량 제어 기기(40)의 피드백 제어시용 설정 유량(이하, FB 설정 유량이라고 함)을 산출하는 것이다.
그리고 본 실시 형태에서는, 설정 유량 산출부(33)가, 도 4에 도시하는 것처럼, 목표 농도 접수부(31)가 접수한 목표 농도 Cg와, 재료 가스가 공급되는 공급 기간(이하, 제1 공급 기간이라고 함)의 초기 구간에 있어서의 소정 시각에 농도 산출부(32)가 산출하는 실제 농도 C1과, 당해 제1 공급 기간의 초기 구간에 있어서의 소정 시각에 제1 유량 제어 기기(40)로부터 출력되는 캐리어 가스의 실제 유량 Q1에 기초하여, 제1 공급 기간보다도 후의 공급 기간(이하, 제2 공급 기간이라고 함)의 초기 구간에 있어서의 제1 유량 제어 기기(40)의 초기 설정 유량 Q2를 산출하도록 구성되어 있다.
여기서, 「제1 공급 기간의 초기 구간」이란, 제1 공급 기간의 개시부터 미리 설정된 제1 소정 시간 T1이 경과한 제1 소정 시각까지의 기간이다. 제1 소정 시각은 제1 공급 기간에 있어서 실제 농도의 피크가 처음에 나타나는 시각 또는 그 전후로 설정되어 있고, 여기에서는 실제 농도의 처음 피크가 떨어지는 것을 멈출 때까지의 시각으로 설정되어 있다.
또, 「제2 공급 기간의 초기 구간」이란, 제2 공급 기간의 개시부터 미리 설정된 제2 소정 시간 T2가 경과한 제2 소정 시각까지의 기간이며, 여기에서는 제2 소정 시간 T2를 제1 소정 시간 T1과 같은 시간으로 설정해 둔다. 즉, 제2 소정 시각은, 제1 소정 시각과 마찬가지로, 제2 공급 기간에 있어서 실제 농도의 피크가 처음에 나타나는 시각 또는 그 전후로 설정되어 있고, 여기에서는 실제 농도의 처음 피크가 떨어지는 것을 멈출 때까지의 시각으로 설정되어 있다.
구체적으로 설정 유량 산출부(33)는, 제1 공급 기간의 초기 구간에 있어서의 제1 소정 시각에 농도 산출부(32)가 산출하는 실제 농도 C1과, 제1 공급 기간의 초기 구간에 있어서의 제1 소정 시각에 제1 유량 제어 기기의 CPU가 산출하는 캐리어 가스의 실제 유량 Q1을 취득하고, 소정의 산출식을 이용하여 제2 공급 기간의 초기 설정 유량 Q2를 산출한다.
본 실시 형태에서는, 혼합 가스에 포함되는 재료 가스의 농도와 캐리어 가스의 유량이 비례 관계에 있다고 가정하고, 설정 유량 산출부(33)는 하기의 산출식을 이용하여 제1 공급 기간의 직후의 제2 공급 기간의 초기 설정 유량 Q2를 산출한다.
초기 설정 유량 Q2=실제 유량 Q1×(목표 농도 Cg/실제 농도 C1)
본 실시 형태의 설정 유량 산출부(33)는, 제2 공급 기간에 있어서의 초기 구간에 있어서는 상술한 산출식에 의해 산출한 초기 설정 유량을 제1 유량 제어 기기(40)에 출력한다. 한편, 제2 공급 기간에 있어서의 초기 구간을 지난 후는, 상술한 FB 설정 유량을 제1 유량 제어 기기(40)에 출력한다.
본 실시 형태에서는, 상술한 것처럼 캐리어 가스 유량과 희석 가스 유량의 합계 유량이 일정하게 되도록 제어하고 있고, 설정 유량 산출부(33)는 소정의 합계 유량으로부터 제1 유량 제어 기기(40)에 출력하는 설정 유량을 빼서, 제2 유량 제어 기기(60)의 설정 유량을 산출하여 출력한다.
이어서, 본 실시 형태의 농도 제어 장치(30)의 동작에 대해 도 5의 순서도를 참조하면서 설명한다. 또한, 이하의 동작 설명에서는 편의상, 제1 공급 기간 및 제2 공급 기간은 단지 공급 기간이라고 하고, 제1 소정 시각 및 제2 소정 시각은 같은 시각으로 설정되어 있으므로 단지 소정 시각이라고 한다.
우선 가스 제어 시스템(100)의 동작이 개시되면, 농도 제어 장치(30)는 공급 기간인지 여부를 판단한다. 여기에서는, 설정 유량 산출부(33)가 밸브 전환 신호를 취득하고, 이 신호에 기초하여 공급 기간인지 여부를 판단한다(S1).
S1에 있어서 공급 기간은 아니라고 판단했을 경우, 즉 정지 기간인 경우, 설정 유량 산출부(33)는 제1 유량 제어 기기(40) 및 제2 유량 제어 기기(60)의 유량을 후술하는 S5에 있어서 산출된 초기 설정 유량으로 설정하고, 그 초기 설정 유량을 유지한다(S2). 또한, 가스 제어 시스템(100)의 동작이 개시되고 나서 처음 공급 기간이 시작될 때까지의 정지 기간에 있어서는, 예를 들면 유저가 제1 유량 제어 기기(40) 및 제2 유량 제어 기기(60) 각각에 대해 미리 설정한 설정 유량의 출력을 유지한다.
한편, S1에 있어서 공급 기간이라고 판단했을 경우, 설정 유량 산출부(33)는 소정 시각 이후인지 여부를 판단한다(S3).
S3에 있어서 소정 시각 이후는 아니라고 판단했을 경우, 즉 공급 기간의 초기 구간인 경우, 설정 유량 산출부(33)는, 실제 농도에 관계없이, 제1 유량 제어 기기(40)에 설정되어 있는 설정 유량, 즉 초기 설정 유량의 출력을 유지한다(S2).
S3에 있어서 소정 시각 이후라고 판단했을 경우, 설정 유량 산출부(33)가 소정 시각인지 여부를 판단한다(S4).
S4에 있어서 소정 시각이라고 판단했을 경우, 설정 유량 산출부(33)는 다음의 공급 기간의 초기 설정 유량을 산출한다(S5). 또한, 상세한 산출 방법은 상술한 바와 같다.
한편, S4에 있어서 소정 시각은 아니라고 판단했을 경우, 상술한 초기 설정 유량의 산출은 행해지지 않고, 설정 유량 산출부(33)는 제1 유량 제어 기기(40)에 FB 설정 유량을 출력하여 재료 가스의 농도를 피드백 제어한다(S6).
또한, S2나 S6에 있어서, 설정 유량 산출부(33)는 소정의 합계 유량으로부터 제1 유량 제어 기기(40)에 출력하는 설정 유량을 빼서, 제2 유량 제어 기기(60)의 설정 유량을 산출하여 출력한다.
그 다음은, 농도 제어 장치(30)에 의한 제어 종료 신호를 접수했는지 여부를 판단하여(S7), 제어 종료 신호를 접수할 때까지는 S1~S7를 반복하고, 제어 종료 신호를 접수한 경우는 동작을 종료한다.
이와 같이 구성된 본 실시 형태에 따른 가스 제어 시스템(100)에 의하면, 도 4에 도시하는 것처럼, 설정 유량 산출부(33)가 목표 농도 Cg, 제1 공급 기간의 초기 구간에 있어서의 제1 소정 시각의 실제 유량 Q1, 및 제1 공급 기간의 초기 구간에 있어서의 제1 소정 시각의 실제 농도 C1에 기초하여, 제2 공급 기간의 초기 설정 유량 Q2를 산출하고, 이 초기 설정 유량 Q2를 제2 공급 기간의 초기 구간에 제1 유량 제어 기기로 출력하고 있으므로, 제2 공급 기간의 초기 농도 C2를 목표 농도 Cg에 접근시킬 수 있어, 제2 공급 기간의 개시 직후의 오버 슛을 억제할 수 있다.
또한, 본 발명은 상기 실시 형태로 한정되는 것은 아니다.
예를 들면, 상기 실시 형태의 설정 유량 산출부(33)는, 제2 공급 기간에 있어서의 제1 유량 제어 기기(40)의 초기 설정 유량을 산출하고 있었지만, 제2 공급 기간에 있어서의 제2 유량 제어 기기(60)의 초기 설정 유량을 산출해도 된다. 구체적으로는, 목표 농도와, 제1 공급 기간의 초기 구간에 있어서의 소정 시각에 농도 산출부(32)가 산출하는 실제 농도와, 당해 제1 공급 기간의 초기 구간에 있어서의 소정 시각에 제2 유량 제어 기기(60)로부터 출력되는 희석 가스의 실제 유량에 기초하여, 제2 공급 기간의 초기 구간에 있어서의 제2 유량 제어 기기(60)의 초기 설정 유량을 산출하는 구성을 들 수 있다.
이 경우, 제1 유량 제어 기기의 초기 설정 유량은, 소정의 합계 유량으로부터 제2 유량 제어 기기의 초기 설정 유량을 공제한 유량으로 하면 된다.
또, 제2 공급 기간에 있어서의 초기 설정 유량 Q2의 산출은, 상기 실시 형태의 산출식으로 한정하지 않고, 예를 들면 실제 유량 Q1 대신에 제1 공급 기간의 초기 구간에 있어서의 소정 시각에 있어서의 제1 유량 제어 기기(40)의 초기 설정 유량 Q1＇를 이용하여 하기의 산출식을 이용해도 된다.
초기 설정 유량 Q2=초기 설정 유량 Q1＇×(목표 농도 Cg/실제 농도 C1)
또한, 초기 설정 유량 Q2의 산출식은, 상기 실시 형태의 것으로 한정할 필요는 없다.
예를 들면, 농도 제어 장치(30)는 캐리어 가스 또는 희석 가스의 유량과, 재료 가스 도출로에 있어서의 희석 가스 공급로의 합류점보다도 하류측을 흐르는 재료 가스의 농도의 관계를 나타내는 유량-농도 관계 데이터를 기억하는 유량-농도 관계 데이터 기억부를 추가로 구비하고, 설정 유량 산출부(33)가 그 유량-농도 관계 데이터를 이용하여 제2 공급 기간에 있어서의 초기 설정 유량을 산출하는 태양을 들 수 있다.
유량-농도 관계 데이터로서는, 예를 들면 혼합 가스에 포함되는 재료 가스의 농도와 캐리어 가스의 유량이나 희석 가스의 유량이 비례 관계가 아닌 경우에 적용 가능한 산출식이며, 상기 실시 형태와는 다른 예를 들면 비선형인 산출식 등이다.
이러한 유량-농도 관계 데이터를 이용하면, 혼합 가스에 포함되는 재료 가스의 농도와 캐리어 가스의 유량이나 희석 가스의 유량이 비례 관계가 아닌 경우에도, 제2 공급 기간에 있어서의 초기 설정 유량을 정밀도 좋게 산출할 수 있다.
설정 유량 산출부(33)에 의한 초기 설정 유량의 산출 타이밍은, 상기 실시 형태의 소정 시각으로 한정하지 않고, 예를 들면 소정 시각에 있어서의 실제 농도 C1이나 실제 유량 Q1을 일시적으로 메모리에 격납해 두면, 소정 시각을 지난 후에 산출해도 상관없다.
상기 실시 형태에서는, 제1 공급 기간의 종료시에 다음의 제2 공급 기간에 있어서의 초기 설정 유량을 출력하도록 구성되어 있었지만, 출력 타이밍은 이것으로 한정하지 않고, 예를 들면 제1 공급 기간부터 다음의 제2 공급 기간까지의 정지 기간의 임의의 타이밍이어도 되고, 오버 슛을 저감시킬 수 있으면, 예를 들면 제2 공급 기간의 개시 직후여도 된다.
설정 유량 산출부(33)로서는, 재료 가스의 공급이 이미 행해진 복수의 공급 기간 각각에 대해 산출한 초기 설정 유량을 평균한 평균 초기 설정 유량을 산출하도록 구성되어 있어도 된다.
이러한 구성이면, 이 평균 초기 설정 유량을 공급 기간의 초기 구간에 있어서의 유량 제어 기기에 설정함으로써, 산출한 각각의 초기 설정 유량의 오차를 저감시킬 수 있어, 공급 기간의 초기 구간의 오버 슛을 보다 확실히 저감시킬 수 있다.
또, 유량과 농도의 관계가 초기 설정 유량의 산출식과 합치하지 않는 경우, 연속하는 공급 기간에 있어서의 초기 농도의 증대와 감소가 교대로 반복되는 일이 있다.
이에, 설정 유량 산출부(33)로서는, 상술한 평균 초기 설정 유량을, 예를 들면 초기 설정 유량을 설정하려고 하는 공급 기간의 직전의 공급 기간을 포함하는 연속하는 짝수회의 공급 기간 각각에 대하여 산출한 초기 설정 유량을 평균하여 산출하는 것이 바람직하다.
이러한 구성이면, 연속하는 공급 기간에 있어서의 초기 농도의 증대분과 감소분이 평균화되어 상쇄되므로, 실제 농도가 목표 농도에 가까워지기 위한 초기 설정 유량을 보다 정밀도 좋게 설정할 수 있다.
상기 실시 형태의 농도 제어 장치(30)는, 설정 유량 산출부(33)가 FB 설정 유량과 초기 설정 유량의 양쪽을 산출하여 출력하도록 구성되어 있었지만, 농도 제어 장치로서는, FB 설정 유량을 산출하는 기능과 초기 설정 유량을 산출하는 기능을 따로 구비하고 있어도 된다.
또, 설정 유량 산출부(33)로서는, 예를 들면 제1 공급 기간의 초기 구간에 있어서의 실제 농도가 미리 설정된 임계치를 초과한 경우에, 그때의 실제 농도(임계치)와, 그때의 실제 유량에 기초하여, 제2 공급 기간의 초기 설정 유량을 산출해도 된다. 이 경우, 실제 농도가 임계치를 초과한 시각이 소정 시각이다.
제1 유량 제어 기기(40)나 제2 유량 제어 기기(60)는, 차압식의 유량 센서를 구비한 매스 플로우 콘트롤러여도 된다.
또, 제1 유량 제어 기기(40)나 제2 유량 제어 기기(60)로서 매스 플로우 콘트롤러를 이용하는 일 없이, 피에조 밸브 등의 유체 제어 밸브를 이용해도 된다.
농도 모니터(50)는, 예를 들면 초음파 등에 의해서 재료 가스의 농도를 직접 측정하는 것이어도 된다. 또, 농도 모니터(50)에 농도 산출부(32)로서의 기능을 구비하게 하고, 농도 모니터(50)로부터 농도 제어 장치(30)에 농도를 출력하도록 해도 된다.
버블러(bubbler)-방식(버블링 방식)의 가스 제어 시스템에 대해 설명하고 있지만, 제어 방법에 대해서는, 기본적으로 어떠한 것이어도 되고, 캐리어 가스를 사용하는 것이면 된다. 예를 들면, 가스 제어 시스템(100)으로서는, 제2 유량 제어 기기(60)를 구비하고 있지 않은 것이어도 된다. 이 경우의 가스 제어 시스템(100)은, 예를 들면 재료 가스 도출로(L2)에 있어서의 농도 모니터(50)의 하류에 피에조 밸브 등의 밸브가 마련되어 있고, 이 밸브의 개도를 제어함으로써 재료 가스의 공급량을 압력 제어하도록 구성된 것을 들 수 있다. 또한, 재료를 액체 상태로 반송하고, 유스 포인트(use point)(예를 들면, 성막실) 가까이에서 기화시켜 유량 제어하는 방식인 DLI 방식(직접 기화 방식)의 것에도 적용할 수도 있다.
상기 실시 형태의 농도 제어 장치는, 공급 기간의 개시 직후에 있어서의 재료 가스 농도의 오버 슛을 억제하는 것이었지만, 본 발명의 농도 제어 장치는, 공급 기간의 개시 직후에 있어서의 재료 가스 농도의 언더 슛을 억제하는 것이어도 된다.
그 외, 본 발명은 상기 실시 형태로 한정되지 않고, 그 취지를 일탈하지 않는 범위에서 다양한 변형이 가능한 것은 말할 필요도 없다.
100···가스 제어 시스템
10···기화 탱크
L1···캐리어 가스 공급로
L2···재료 가스 도출로
L3···희석 가스 공급로
30···농도 제어 장치
31···목표 농도 접수부
32···농도 산출부
33···설정 유량 산출부
50···농도 모니터

Claims (11)

  1. 액체 또는 고체의 재료를 저장하는 기화 탱크와, 상기 기화 탱크에 캐리어 가스를 공급하는 캐리어 가스 공급로와, 상기 재료가 기화되어 상기 기화 탱크로부터 도출된 재료 가스가 흐르는 재료 가스 도출로와, 상기 재료 가스 도출로에 합류(合流)되어, 당해 재료 가스 도출로에 희석 가스를 공급하는 희석 가스 공급로와, 상기 캐리어 가스 공급로 및 상기 희석 가스 공급로 중 적어도 한쪽에 마련된 유량 제어 기기와, 상기 재료 가스 도출로에 있어서의 상기 희석 가스 공급로와의 합류점보다도 하류측에 마련된 농도 모니터를 구비하고, 상기 재료 가스의 공급과 정지를 반복하는 기화 장치에 이용되는 것으로서,
    상기 농도 모니터로부터의 출력 신호에 기초하여 상기 재료 가스의 농도를 산출하는 농도 산출부와,
    상기 재료 가스가 공급되는 공급 기간(이하, 제1 공급 기간이라고 함)에 있어서의 제1 소정 시각에 상기 농도 산출부가 산출하는 실제 농도와, 당해 제1 공급 기간에 있어서의 제1 소정 시각에 상기 유량 제어 기기로부터 출력되는 실제 유량 또는 당해 제1 공급 기간에 있어서의 제1 소정 시각의 상기 유량 제어 기기의 설정 유량과, 미리 설정된 목표 농도에 기초하여, 상기 제1 공급 기간보다도 후의 공급 기간(이하, 제2 공급 기간이라고 함)에 있어서의 제2 소정 시각까지의 기간인 초기 구간에 있어서의 상기 유량 제어 기기의 초기 설정 유량을 산출하는 설정 유량 산출부를 구비하고,
    상기 제1 소정 시각은 상기 제1 공급 기간의 개시부터 당해 제1 공급 기간에 있어서의 상기 실제 농도가 최초의 피크로부터 떨어지는 것을 멈출 때까지의 시각이고,
    상기 제2 소정 시각은 상기 제2 공급 기간의 개시부터 당해 제2 공급 기간에 있어서의 상기 실제 농도가 최초의 피크로부터 떨어지는 것을 멈출 때까지의 시각인 농도 제어 장치.
  2. 청구항 1에 있어서,
    상기 제2 공급 기간의 초기 구간에 있어서는, 상기 유량 제어 기기를 흐르는 유량이 상기 초기 설정 유량이 되도록 제어하는 농도 제어 장치.
  3. 청구항 1에 있어서,
    상기 제2 공급 기간의 초기 구간을 지난 후는, 상기 유량 제어 기기의 설정 유량을 제어함으로써 상기 농도 산출부에 의해 산출된 실제 농도가 상기 목표 농도에 가까워지도록 피드백 제어하는 농도 제어 장치.
  4. 청구항 1에 있어서,
    상기 설정 유량 산출부가 상기 제1 공급 기간의 초기 구간에 있어서의 제1 소정 시각에 상기 농도 산출부가 산출한 실제 농도에 대한 상기 목표 농도의 비율을 상기 제1 공급 기간의 초기 구간에 있어서의 제1 소정 시각에 상기 유량 제어 기기로부터 출력되는 실제 유량에 곱하여, 상기 제2 공급 기간의 초기 구간에 있어서의 상기 초기 설정 유량을 산출하는 농도 제어 장치.
  5. 청구항 1에 있어서,
    상기 캐리어 가스의 유량 또는 상기 희석 가스의 유량과, 상기 재료 가스 도출로에 있어서의 상기 희석 가스 공급로와의 합류점보다도 하류측을 흐르는 상기 재료 가스의 농도의 관계를 나타내는 유량-농도 관계 데이터를 기억하는 유량-농도 관계 데이터 기억부를 추가로 구비하고,
    상기 설정 유량 산출부가 상기 유량-농도 관계 데이터를 이용하여 상기 제2 공급 기간의 초기 구간에 있어서의 상기 초기 설정 유량을 산출하는 농도 제어 장치.
  6. 청구항 1에 있어서,
    상기 설정 유량 산출부가, 상기 재료 가스의 공급이 이미 행해진 복수의 공급 기간 각각에 따라서 산출한 초기 설정 유량을 평균한 평균 초기 설정 유량을 산출하는 농도 제어 장치.
  7. 청구항 6에 있어서,
    상기 평균 초기 설정 유량이, 연속하는 짝수회의 공급 기간 각각에 따라서 상기 설정 유량 산출부가 산출한 상기 초기 설정 유량을 평균한 것인 농도 제어 장치.
  8. 액체 또는 고체의 재료를 저장하는 기화 탱크와, 상기 기화 탱크에 캐리어 가스를 공급하는 캐리어 가스 공급로와, 상기 재료가 기화되어 상기 기화 탱크로부터 도출된 재료 가스가 흐르는 재료 가스 도출로와, 상기 재료 가스 도출로에 합류되어, 당해 재료 가스 도출로에 희석 가스를 공급하는 희석 가스 공급로와, 상기 캐리어 가스 공급로 및 상기 희석 가스 공급로 중 적어도 한쪽에 마련된 유량 제어 기기와, 상기 재료 가스 도출로에 있어서의 상기 희석 가스 공급로와의 합류점보다도 하류측에 마련된 농도 모니터를 구비하고, 상기 재료 가스의 공급과 정지를 반복하는 기화 장치와,
    상기 농도 모니터로부터의 출력 신호에 기초하여 상기 재료 가스의 농도를 산출하는 농도 산출부와,
    상기 재료 가스가 공급되는 공급 기간(이하, 제1 공급 기간이라고 함)에 있어서의 제1 소정 시각에 상기 농도 산출부가 산출하는 실제 농도와, 당해 제1 공급 기간에 있어서의 제1 소정 시각에 상기 유량 제어 기기로부터 출력되는 실제 유량 또는 당해 제1 공급 기간에 있어서의 제1 소정 시각의 상기 유량 제어 기기의 설정 유량과, 미리 설정된 목표 농도에 기초하여, 상기 제1 공급 기간보다도 후의 공급 기간(이하, 제2 공급 기간이라고 함)에 있어서의 개시부터 제2 소정 시각까지의 기간인 초기 구간에 있어서의 상기 유량 제어 기기의 초기 설정 유량을 산출하는 설정 유량 산출부를 구비하고,
    상기 제1 소정 시각은 상기 제1 공급 기간의 개시부터 당해 제1 공급 기간에 있어서의 상기 실제 농도가 최초의 피크로부터 떨어지는 것을 멈출 때까지의 시각이고,
    상기 제2 소정 시각은 상기 제2 공급 기간의 개시부터 당해 제2 공급 기간에 있어서의 상기 실제 농도가 최초의 피크로부터 떨어지는 것을 멈출 때까지의 시각인 가스 제어 시스템.
  9. 청구항 8에 기재된 가스 제어 시스템과,
    상기 재료 가스가 공급되는 챔버를 구비하는 성막 장치.
  10. 액체 또는 고체의 재료를 저장하는 기화 탱크와, 상기 기화 탱크에 캐리어 가스를 공급하는 캐리어 가스 공급로와, 상기 재료가 기화되어 상기 기화 탱크로부터 도출된 재료 가스가 흐르는 재료 가스 도출로와, 상기 재료 가스 도출로에 합류되어, 당해 재료 가스 도출로에 희석 가스를 공급하는 희석 가스 공급로와, 상기 캐리어 가스 공급로 및 상기 희석 가스 공급로 중 적어도 한쪽에 마련된 유량 제어 기기와, 상기 재료 가스 도출로에 있어서의 상기 희석 가스 공급로와의 합류점보다도 하류측에 마련된 농도 모니터를 구비하고, 상기 재료 가스의 공급과 정지를 반복하는 기화 장치에 이용되는 농도 제어 방법으로서,
    상기 농도 모니터로부터의 출력 신호에 기초하여 상기 재료 가스의 농도를 산출하는 스텝과,
    상기 재료 가스가 공급되는 공급 기간(이하, 제1 공급 기간이라고 함)에 있어서의 제1 소정 시각에 산출하는 실제 농도와, 당해 제1 공급 기간에 있어서의 제1 소정 시각에 상기 유량 제어 기기로부터 출력되는 실제 유량 또는 당해 제1 공급 기간에 있어서의 제1 소정 시각의 상기 유량 제어 기기의 설정 유량과, 미리 설정된 목표 농도에 기초하여, 상기 제1 공급 기간보다도 후의 공급 기간(이하, 제2 공급 기간이라고 함)에 있어서의 개시부터 제2 소정 시각까지의 기간인 초기 구간에 있어서의 상기 유량 제어 기기의 초기 설정 유량을 산출하는 스텝을 구비하고,
    상기 제1 소정 시각은 상기 제1 공급 기간의 개시부터 당해 제1 공급 기간에 있어서의 상기 실제 농도가 최초의 피크로부터 떨어지는 것을 멈출 때까지의 시각이고,
    상기 제2 소정 시각은 상기 제2 공급 기간의 개시부터 당해 제2 공급 기간에 있어서의 상기 실제 농도가 최초의 피크로부터 떨어지는 것을 멈출 때까지의 시각인 농도 제어 방법.
  11. 액체 또는 고체의 재료를 저장하는 기화 탱크와, 상기 기화 탱크에 캐리어 가스를 공급하는 캐리어 가스 공급로와, 상기 재료가 기화되어 상기 기화 탱크로부터 도출된 재료 가스가 흐르는 재료 가스 도출로와, 상기 재료 가스 도출로에 합류되어, 당해 재료 가스 도출로에 희석 가스를 공급하는 희석 가스 공급로와, 상기 캐리어 가스 공급로 및 상기 희석 가스 공급로 중 적어도 한쪽에 마련된 유량 제어 기기와, 상기 재료 가스 도출로에 있어서의 상기 희석 가스 공급로와의 합류점보다도 하류측에 마련된 농도 모니터를 구비하고, 상기 재료 가스의 공급과 정지를 반복하는 기화 장치에 이용되는 농도 제어 장치용 프로그램을 기록한 기록 매체로서,
    상기 농도 모니터로부터의 출력 신호에 기초하여 상기 재료 가스의 농도를 산출하는 농도 산출부와,
    상기 재료 가스가 공급되는 공급 기간(이하, 제1 공급 기간이라고 함)에 있어서의 제1 소정 시각에 상기 농도 산출부가 산출하는 실제 농도와, 당해 제1 공급 기간에 있어서의 제1 소정 시각에 상기 유량 제어 기기로부터 출력되는 실제 유량 또는 당해 제1 공급 기간에 있어서의 제1 소정 시각의 상기 유량 제어 기기의 설정 유량과, 미리 설정된 목표 농도에 기초하여, 상기 제1 공급 기간보다도 후의 공급 기간(이하, 제2 공급 기간이라고 함)에 있어서의 개시부터 제2 소정 시각까지의 기간인 초기 구간에 있어서의 상기 유량 제어 기기의 초기 설정 유량을 산출하는 설정 유량 산출부로서의 기능을 컴퓨터에 발휘시키고,
    상기 제1 소정 시각은 상기 제1 공급 기간의 개시부터 당해 제1 공급 기간에 있어서의 상기 실제 농도가 최초의 피크로부터 떨어지는 것을 멈출 때까지의 시각이고,
    상기 제2 소정 시각은 상기 제2 공급 기간의 개시부터 당해 제2 공급 기간에 있어서의 상기 실제 농도가 최초의 피크로부터 떨어지는 것을 멈출 때까지의 시각인 농도 제어 장치용 프로그램을 기록한 기록 매체.
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